JPH05305592A - 真空チャック - Google Patents
真空チャックInfo
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- JPH05305592A JPH05305592A JP13605292A JP13605292A JPH05305592A JP H05305592 A JPH05305592 A JP H05305592A JP 13605292 A JP13605292 A JP 13605292A JP 13605292 A JP13605292 A JP 13605292A JP H05305592 A JPH05305592 A JP H05305592A
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- vacuum chuck
- needle pin
- suction
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 簡単な機構で被搬送物を吸着することができ
る真空チャックを提供する。 【構成】 本体ケース2のシリンダ21と連通した吸気
孔32をニードルピン4の円錐部41でふさぐととも
に、その先端を吸着面から突出させる。また、ニードル
ピン4と連動して設けられてピストン5により排気孔6
をふさぐ。さらに、ニードルピン4をバネ7により付勢
されたピストン5を介して吸気孔32側へ押し付け、し
かも、排気孔6とシリンダ21との間を開放状態のまま
保持するストッパー9を設ける。
る真空チャックを提供する。 【構成】 本体ケース2のシリンダ21と連通した吸気
孔32をニードルピン4の円錐部41でふさぐととも
に、その先端を吸着面から突出させる。また、ニードル
ピン4と連動して設けられてピストン5により排気孔6
をふさぐ。さらに、ニードルピン4をバネ7により付勢
されたピストン5を介して吸気孔32側へ押し付け、し
かも、排気孔6とシリンダ21との間を開放状態のまま
保持するストッパー9を設ける。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、吸気孔による空気の吸
引力を用いて電子部品等の被搬送物を吸着する真空チャ
ックに関するものである。
引力を用いて電子部品等の被搬送物を吸着する真空チャ
ックに関するものである。
【0002】
【従来の技術】電子部品をプリント配線板等に搭載する
自動実装装置や、板材等を搬送する装置には、被搬送物
の保持部分にポンプ等の負圧を利用した真空チャックが
使用されている。このような真空チャックを図9に基づ
いて説明する。すなわち、この真空チャック1は、例え
ば、本体ケース2の上面から下面に向けて配管用の貫通
孔を穿設して、下面側の開口部を吸気孔32とし、また
上面側の開口部を排気孔6としたものである。この排気
孔6に真空ポンプ等のバキューム源を取り付けて、吸気
孔32から排気孔6に向けて空気を吸い込む。この吸気
孔32の吸引力を用いて電子部品10等の被搬送物を吸
着し、配管内の圧力と外気の圧力との差を利用して被搬
送物を吸着した状態で保持する。
自動実装装置や、板材等を搬送する装置には、被搬送物
の保持部分にポンプ等の負圧を利用した真空チャックが
使用されている。このような真空チャックを図9に基づ
いて説明する。すなわち、この真空チャック1は、例え
ば、本体ケース2の上面から下面に向けて配管用の貫通
孔を穿設して、下面側の開口部を吸気孔32とし、また
上面側の開口部を排気孔6としたものである。この排気
孔6に真空ポンプ等のバキューム源を取り付けて、吸気
孔32から排気孔6に向けて空気を吸い込む。この吸気
孔32の吸引力を用いて電子部品10等の被搬送物を吸
着し、配管内の圧力と外気の圧力との差を利用して被搬
送物を吸着した状態で保持する。
【0003】また、図10の断面図に示すように、複数
の電子部品10等を同時に搬送する場合には、本体ケー
ス2に複数の貫通孔を穿設し、この各排気孔6にバキュ
ーム源をそれぞれ取り付けることで、複数の電子部品1
0等を各吸気孔32に同時に吸着する。この電子部品1
0等を所定の位置に搬送した後、バキューム源の作動を
停止することにより、吸着された電子部品10等の被搬
送物が取り外される。
の電子部品10等を同時に搬送する場合には、本体ケー
ス2に複数の貫通孔を穿設し、この各排気孔6にバキュ
ーム源をそれぞれ取り付けることで、複数の電子部品1
0等を各吸気孔32に同時に吸着する。この電子部品1
0等を所定の位置に搬送した後、バキューム源の作動を
停止することにより、吸着された電子部品10等の被搬
送物が取り外される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな真空チャックを用いると次のような問題がある。す
なわち、排気孔と吸気孔とが直接連通しているため、真
空チャックに被搬送物を吸着させない場合にも、吸気孔
から空気が吸い込まれている。このため、排気孔に取り
付けたバキューム源が常に作動状態となっており、多大
な負荷をかけることになる。
うな真空チャックを用いると次のような問題がある。す
なわち、排気孔と吸気孔とが直接連通しているため、真
空チャックに被搬送物を吸着させない場合にも、吸気孔
から空気が吸い込まれている。このため、排気孔に取り
付けたバキューム源が常に作動状態となっており、多大
な負荷をかけることになる。
【0005】また、複数の被搬送物を吸着する真空チャ
ックにおいて、各貫通孔を連通させてバキューム源を一
箇所だけにした場合、複数の吸気孔のうち一つでも被搬
送物が吸着されないものがあると、その吸気孔から空気
が漏れてしまう。このため、配管内全体の圧力と外気の
圧力との差が少なくなり、他の吸気孔全てにおいて被搬
送物を吸着できなくなってしまう。したがって、複数の
被搬送物を吸着する真空チャックでは、各貫通孔にそれ
ぞれ独立したバキューム源を取り付ける必要があるた
め、配管等が複雑になってしまう。よって、本発明は簡
単な機構で被搬送物を吸着することができる真空チャッ
クを提供することを目的とする。
ックにおいて、各貫通孔を連通させてバキューム源を一
箇所だけにした場合、複数の吸気孔のうち一つでも被搬
送物が吸着されないものがあると、その吸気孔から空気
が漏れてしまう。このため、配管内全体の圧力と外気の
圧力との差が少なくなり、他の吸気孔全てにおいて被搬
送物を吸着できなくなってしまう。したがって、複数の
被搬送物を吸着する真空チャックでは、各貫通孔にそれ
ぞれ独立したバキューム源を取り付ける必要があるた
め、配管等が複雑になってしまう。よって、本発明は簡
単な機構で被搬送物を吸着することができる真空チャッ
クを提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、このような課
題を解決するために成された真空チャックである。すな
わち、本体ケースに円筒形のシリンダを穿設し、このシ
リンダと吸着部に設けられた吸気孔とが連通する状態に
し、このシリンダ内からニードルピンの円錐部により吸
気孔をふさぐとともに、この円錐部の先端が吸着部の吸
着面から突出する状態にする。さらに、ニードルピンと
連動してシリンダ内を平行移動するピストンを設け、本
体ケースの側面側からシリンダと連通する状態で、しか
もピストンの平行移動によりシリンダとの間の開閉が行
われる位置に排気孔を形成したものである。
題を解決するために成された真空チャックである。すな
わち、本体ケースに円筒形のシリンダを穿設し、このシ
リンダと吸着部に設けられた吸気孔とが連通する状態に
し、このシリンダ内からニードルピンの円錐部により吸
気孔をふさぐとともに、この円錐部の先端が吸着部の吸
着面から突出する状態にする。さらに、ニードルピンと
連動してシリンダ内を平行移動するピストンを設け、本
体ケースの側面側からシリンダと連通する状態で、しか
もピストンの平行移動によりシリンダとの間の開閉が行
われる位置に排気孔を形成したものである。
【0007】また、このニードルピンを、バネにより付
勢されたピストンを介して吸気孔側へ押し付けたもの
で、さらに、排気孔とシリンダとの間を開放状態のまま
保持するためのストッパーを設ける。しかも、吸着部を
着脱自在にしたものである。
勢されたピストンを介して吸気孔側へ押し付けたもの
で、さらに、排気孔とシリンダとの間を開放状態のまま
保持するためのストッパーを設ける。しかも、吸着部を
着脱自在にしたものである。
【0008】
【作用】シリンダ内に配置されたニードルピンは、自重
またはバネの力により吸着部側に押し付けられている。
これにより、ニードルピンの円錐部が吸気孔をふさぐ状
態となるとともに、円錐部に先端が吸着部の吸着面から
突出した状態となる。しかも、ニードルピンに連結して
設けられたピストンが、本体ケースに形成された排気孔
をふさいでいるため、バキューム源を用いて排気孔から
空気を排出しようとしても排出されない。
またはバネの力により吸着部側に押し付けられている。
これにより、ニードルピンの円錐部が吸気孔をふさぐ状
態となるとともに、円錐部に先端が吸着部の吸着面から
突出した状態となる。しかも、ニードルピンに連結して
設けられたピストンが、本体ケースに形成された排気孔
をふさいでいるため、バキューム源を用いて排気孔から
空気を排出しようとしても排出されない。
【0009】この吸着面に被搬送物を押し付けると、吸
着面から突出する円錐部がシリンダ内に押し込まれると
ともに、ニードルピンと連動してピストンが平行移動す
る。これにより、円錐部と吸気孔との間に隙間が形成さ
れるとともに、排気孔とシリンダ内とが連通状態とな
り、吸気孔から排気孔に向けて空気が流通する。すなわ
ち、被搬送物がニードルピンに当接する時のみ吸気孔か
ら空気が吸い込まれ、当接しない時には空気が吸い込ま
れない。この吸気孔からの空気の吸引力により、被搬送
物を吸着面に吸着するとともに、シリンダ内の圧力と外
気との圧力との差で被搬送物を吸着面に保持することが
できる。しかも、この状態でストッパーをシリンダ内に
押し込めば、ピストンがこのストッパーに引っ掛かり、
そのままの位置で保持される。
着面から突出する円錐部がシリンダ内に押し込まれると
ともに、ニードルピンと連動してピストンが平行移動す
る。これにより、円錐部と吸気孔との間に隙間が形成さ
れるとともに、排気孔とシリンダ内とが連通状態とな
り、吸気孔から排気孔に向けて空気が流通する。すなわ
ち、被搬送物がニードルピンに当接する時のみ吸気孔か
ら空気が吸い込まれ、当接しない時には空気が吸い込ま
れない。この吸気孔からの空気の吸引力により、被搬送
物を吸着面に吸着するとともに、シリンダ内の圧力と外
気との圧力との差で被搬送物を吸着面に保持することが
できる。しかも、この状態でストッパーをシリンダ内に
押し込めば、ピストンがこのストッパーに引っ掛かり、
そのままの位置で保持される。
【0010】一方、吸着面から被搬送物を取り外す場合
には、ストッパーをシリンダ内から引っ込めて、さらに
バキューム源の作動を止めて排気孔からの空気の排出を
停止することにより、ニードルピンの自重またはバネの
力により、ニードルピンが吸着部側に押し付けられる。
この際、円錐部の先端が吸着面より突出することにな
り、被搬送物を吸着面から押し出して取り外すことがで
きる。また、これにより、再び円錐部が吸気孔をふさぐ
とともに、ピストンが排気孔をふさぐ状態となる。
には、ストッパーをシリンダ内から引っ込めて、さらに
バキューム源の作動を止めて排気孔からの空気の排出を
停止することにより、ニードルピンの自重またはバネの
力により、ニードルピンが吸着部側に押し付けられる。
この際、円錐部の先端が吸着面より突出することにな
り、被搬送物を吸着面から押し出して取り外すことがで
きる。また、これにより、再び円錐部が吸気孔をふさぐ
とともに、ピストンが排気孔をふさぐ状態となる。
【0011】
【実施例】以下に、本発明の実施例を図に基づいて説明
する。図1は、本発明の真空チャックを説明する図で、
(a)は断面図、(b)はニードルピンの拡大斜視図で
ある。また、図2は本発明の真空チャックの側断面図で
ある。なお、以下の実施例において説明を簡単にするた
めに、被搬送物として電子部品を用いて説明する。
する。図1は、本発明の真空チャックを説明する図で、
(a)は断面図、(b)はニードルピンの拡大斜視図で
ある。また、図2は本発明の真空チャックの側断面図で
ある。なお、以下の実施例において説明を簡単にするた
めに、被搬送物として電子部品を用いて説明する。
【0012】図1(a)に示すように、この真空チャッ
ク1は、本体ケース2に下面側に設けられた電子部品1
0を吸着するための吸着部3と、この吸着部3に形成さ
れた吸気孔32と連通する状態で、本体ケース2に穿設
された円筒形のシリンダ21と、このシリンダ21と連
通して本体ケースの側面側に穿設された排気孔6とを有
するものである。
ク1は、本体ケース2に下面側に設けられた電子部品1
0を吸着するための吸着部3と、この吸着部3に形成さ
れた吸気孔32と連通する状態で、本体ケース2に穿設
された円筒形のシリンダ21と、このシリンダ21と連
通して本体ケースの側面側に穿設された排気孔6とを有
するものである。
【0013】このシリンダ21の内部には、円錐部41
を有するニードルピン4(図1(b)参照)が設けられ
ており、この円錐部41が吸気孔32をふさぐ状態で、
しかもその先端が吸着部3の吸着面31から突出するよ
うに配置されている。また、ニードルピン4の上方には
ピストン5が設けられており、ニードルピン4と連動し
てシリンダ21内を平行移動できる。さらに、このピス
トン5は排気孔6をふさぐ状態に配置されており、平行
移動することで、排気孔6とシリンダ21とが連通する
状態となる。
を有するニードルピン4(図1(b)参照)が設けられ
ており、この円錐部41が吸気孔32をふさぐ状態で、
しかもその先端が吸着部3の吸着面31から突出するよ
うに配置されている。また、ニードルピン4の上方には
ピストン5が設けられており、ニードルピン4と連動し
てシリンダ21内を平行移動できる。さらに、このピス
トン5は排気孔6をふさぐ状態に配置されており、平行
移動することで、排気孔6とシリンダ21とが連通する
状態となる。
【0014】このニードルピン4は、その自重とともに
バネ7で付勢されたピストン5を介して吸着部3側に押
し付けられている。このバネ7は、シリンダ21の上部
に螺合された栓8とピストン5との間に設けられてお
り、栓8を締め込むことでニードルピン4の押し付け強
さを調節することができる。
バネ7で付勢されたピストン5を介して吸着部3側に押
し付けられている。このバネ7は、シリンダ21の上部
に螺合された栓8とピストン5との間に設けられてお
り、栓8を締め込むことでニードルピン4の押し付け強
さを調節することができる。
【0015】例えば、図2の側断面図に示すように、真
空チャック1の吸着面31から高さhだけニードルピン
4の円錐部41が突出する場合、吸着部3に電子部品1
0のパッケージ等、平らな部分を押し付けることで円錐
部41がhだけ引っ込む。さらに、ニードルピン4と連
動してピストン5がhだけシリンダ21内を平行移動す
る。これにより、円錐部41と吸気孔32との間に隙間
を形成できるとともに、シリンダ21と排気孔6とを連
通状態にすることができる。また、ニードルピン4には
平面部42(図1(b)参照)が設けられているため、
この平面部42とシリンダ21との隙間を介して吸気孔
32と排気孔6とが連通状態となる。なお、円錐部41
の先端を丸くすることにより、電子部品10のパッケー
ジを損傷を防ぐことができる。
空チャック1の吸着面31から高さhだけニードルピン
4の円錐部41が突出する場合、吸着部3に電子部品1
0のパッケージ等、平らな部分を押し付けることで円錐
部41がhだけ引っ込む。さらに、ニードルピン4と連
動してピストン5がhだけシリンダ21内を平行移動す
る。これにより、円錐部41と吸気孔32との間に隙間
を形成できるとともに、シリンダ21と排気孔6とを連
通状態にすることができる。また、ニードルピン4には
平面部42(図1(b)参照)が設けられているため、
この平面部42とシリンダ21との隙間を介して吸気孔
32と排気孔6とが連通状態となる。なお、円錐部41
の先端を丸くすることにより、電子部品10のパッケー
ジを損傷を防ぐことができる。
【0016】次に、この真空チャック1を用いた被搬送
物の吸着動作を図3の断面図に基づいて説明する。先
ず、図3(a)に示すように、排気孔6に真空ポンプ等
のバキューム源を取り付けて作動させる。この状態にお
いて、バネ7により付勢されたピストン5が排気孔6を
ふさいでいるとともに、ニードルピン4の円錐部41が
吸気孔32をふさいでいる。
物の吸着動作を図3の断面図に基づいて説明する。先
ず、図3(a)に示すように、排気孔6に真空ポンプ等
のバキューム源を取り付けて作動させる。この状態にお
いて、バネ7により付勢されたピストン5が排気孔6を
ふさいでいるとともに、ニードルピン4の円錐部41が
吸気孔32をふさいでいる。
【0017】次いで、図3(b)に示すように、真空チ
ャック1の吸着部3を電子部品10に押し付ける。これ
により、ニードルピン4がシリンダ21内に押し込まれ
るとともに、ピストン5が平行移動する。なお、予めバ
ネ7によるニードルピン4の押し付け力が、真空チャッ
ク1を電子部品10に押し付ける力より小さく、かつバ
キューム源の吸引力よりも大きくなるように、栓8を用
いて調節しておく。この真空チャック1の押し付けによ
り、吸気孔32と排気孔6とが連通状態となり、吸気孔
32から排気孔6に向けて空気が流通することになる。
このため、吸気孔32の吸引力で電子部品10を吸着面
31に吸着すると同時に、シリンダ21内の圧力と外気
の圧力との差を利用して電子部品10を真空チャック1
に保持することができる。
ャック1の吸着部3を電子部品10に押し付ける。これ
により、ニードルピン4がシリンダ21内に押し込まれ
るとともに、ピストン5が平行移動する。なお、予めバ
ネ7によるニードルピン4の押し付け力が、真空チャッ
ク1を電子部品10に押し付ける力より小さく、かつバ
キューム源の吸引力よりも大きくなるように、栓8を用
いて調節しておく。この真空チャック1の押し付けによ
り、吸気孔32と排気孔6とが連通状態となり、吸気孔
32から排気孔6に向けて空気が流通することになる。
このため、吸気孔32の吸引力で電子部品10を吸着面
31に吸着すると同時に、シリンダ21内の圧力と外気
の圧力との差を利用して電子部品10を真空チャック1
に保持することができる。
【0018】この状態で電子部品10を所定の場所に搬
送し、バキューム源の作動を停止すると、バネ7の力に
よりピストン5およびニードルピン4が吸着部3側へ押
し戻される。これにより、吸着面31から円錐部41が
再び突出して、吸着面31から電子部品10を押し出す
ことになる。
送し、バキューム源の作動を停止すると、バネ7の力に
よりピストン5およびニードルピン4が吸着部3側へ押
し戻される。これにより、吸着面31から円錐部41が
再び突出して、吸着面31から電子部品10を押し出す
ことになる。
【0019】このように、電子部品10を吸着する場合
には吸気孔32と排気孔6との間が開放状態となり、電
子部品10を吸着しない場合にはニードルピン4および
ピストン5により閉鎖状態となる。このように、必要な
時だけ負圧を利用すればよいため、例えば真空チャック
1とバキューム源との間に真空タンクを設けておき、こ
の真空タンク内を所定の気圧に保つようバキューム源を
制御すれば、バキューム源に多大な負荷をかけることが
ない。
には吸気孔32と排気孔6との間が開放状態となり、電
子部品10を吸着しない場合にはニードルピン4および
ピストン5により閉鎖状態となる。このように、必要な
時だけ負圧を利用すればよいため、例えば真空チャック
1とバキューム源との間に真空タンクを設けておき、こ
の真空タンク内を所定の気圧に保つようバキューム源を
制御すれば、バキューム源に多大な負荷をかけることが
ない。
【0020】次に、図4に基づいてストッパーの説明を
する。すなわち、この真空チャック1の本体ケース2側
面には、貫通孔が穿設されており、この貫通孔にピン状
のストッパー9が挿入されている。ストッパー9は貫通
孔内を平行移動することができ、押し込んだ状態でスト
ッパー9の先端がシリンダ21内に突出するようにな
る。
する。すなわち、この真空チャック1の本体ケース2側
面には、貫通孔が穿設されており、この貫通孔にピン状
のストッパー9が挿入されている。ストッパー9は貫通
孔内を平行移動することができ、押し込んだ状態でスト
ッパー9の先端がシリンダ21内に突出するようにな
る。
【0021】真空チャック1に電子部品10を吸着した
状態で、このストッパー9を押し込むと、ピストン5の
下方にストッパー9の先端が突き出た状態となる。これ
により、排気孔6に取り付けたバキューム源(図示せ
ず)の作動が停止しても、ピストン5がこのストッパー
9上に引っ掛かることになる。したがって、ピストン5
と連動するニードルピン4もそのままの位置に保持され
るため、円錐部41の先端で電子部品10を押し出すこ
とがない。例えば停電等でバキューム源が突然停止して
しまっても、このストッパー9を押し込んでおけば、ピ
ストン5がバネ7により押し戻されることなく保持でき
るため、吸着した電子部品10がニードルピン4により
押し出されて落下することがない。
状態で、このストッパー9を押し込むと、ピストン5の
下方にストッパー9の先端が突き出た状態となる。これ
により、排気孔6に取り付けたバキューム源(図示せ
ず)の作動が停止しても、ピストン5がこのストッパー
9上に引っ掛かることになる。したがって、ピストン5
と連動するニードルピン4もそのままの位置に保持され
るため、円錐部41の先端で電子部品10を押し出すこ
とがない。例えば停電等でバキューム源が突然停止して
しまっても、このストッパー9を押し込んでおけば、ピ
ストン5がバネ7により押し戻されることなく保持でき
るため、吸着した電子部品10がニードルピン4により
押し出されて落下することがない。
【0022】次に、図5に基づいて吸着部の着脱につい
て説明する。すなわち、真空チャック1の本体ケース2
と別体に吸着部3が設けられており、ボルト3a等を用
いて本体ケースの下部に取り付けられている。このた
め、吸着部3の磨耗や破損等が発生した場合であって
も、容易に付け換えることができる。また、吸着する電
子部品10の大きさや形状に応じて、吸着面31の形状
の違うもの、例えば円形のものや四角形のもの等を選択
できるため、どのような電子部品10であっても確実に
吸着することができる。
て説明する。すなわち、真空チャック1の本体ケース2
と別体に吸着部3が設けられており、ボルト3a等を用
いて本体ケースの下部に取り付けられている。このた
め、吸着部3の磨耗や破損等が発生した場合であって
も、容易に付け換えることができる。また、吸着する電
子部品10の大きさや形状に応じて、吸着面31の形状
の違うもの、例えば円形のものや四角形のもの等を選択
できるため、どのような電子部品10であっても確実に
吸着することができる。
【0023】次に、本発明の他の実施例を図に基づいて
説明する。図6は、本発明の他の実施例を説明する正面
図、図7は図6の本体ケースのA−A線矢視断面図であ
る。すなわち、この真空チャック1は、本体ケース2に
複数のシリンダ21と吸着部3が設けられており、各シ
リンダ21にそれぞれニードルピン4が設けられたもの
である。さらに、図7に示すように、各シリンダ21は
一つの排気孔6により連通した状態となっている。
説明する。図6は、本発明の他の実施例を説明する正面
図、図7は図6の本体ケースのA−A線矢視断面図であ
る。すなわち、この真空チャック1は、本体ケース2に
複数のシリンダ21と吸着部3が設けられており、各シ
リンダ21にそれぞれニードルピン4が設けられたもの
である。さらに、図7に示すように、各シリンダ21は
一つの排気孔6により連通した状態となっている。
【0024】この真空チャック1を用いて電子部品10
を吸着するには、先ずこの排気孔6にバキューム源を取
り付けて作動させる。この状態では、全てのシリンダ2
1内のピストン5が排気孔6をふさいでおり、さらにニ
ードルピン4が吸気孔32をふさいでいる。次に、各吸
着部3に電子部品10をそれぞれ押し付ける。これによ
り、ニードルピン4が押し上げられ、吸気孔32から排
気孔6へ空気が流通して、複数の電子部品10を同時に
吸着することができる。
を吸着するには、先ずこの排気孔6にバキューム源を取
り付けて作動させる。この状態では、全てのシリンダ2
1内のピストン5が排気孔6をふさいでおり、さらにニ
ードルピン4が吸気孔32をふさいでいる。次に、各吸
着部3に電子部品10をそれぞれ押し付ける。これによ
り、ニードルピン4が押し上げられ、吸気孔32から排
気孔6へ空気が流通して、複数の電子部品10を同時に
吸着することができる。
【0025】また、複数ある吸着部3のうち、一部の吸
着部3にのみ電子部品10が吸着される場合、吸着が行
われない吸着部3の吸気孔32をふさぐニードルピン4
が押し上げられないため、この吸気孔32から空気が吸
い込まれることがない。したがって、電子部品10が吸
着されない吸着部3があっても各シリンダ21内の圧力
と外気の圧力との差を維持することができる。すなわ
ち、複数のシリンダ21を有する真空チャック1であっ
ても、各シリンダ21にそれぞれバキューム源を取り付
けることなく、一つのバキューム源で済むことになる。
着部3にのみ電子部品10が吸着される場合、吸着が行
われない吸着部3の吸気孔32をふさぐニードルピン4
が押し上げられないため、この吸気孔32から空気が吸
い込まれることがない。したがって、電子部品10が吸
着されない吸着部3があっても各シリンダ21内の圧力
と外気の圧力との差を維持することができる。すなわ
ち、複数のシリンダ21を有する真空チャック1であっ
ても、各シリンダ21にそれぞれバキューム源を取り付
けることなく、一つのバキューム源で済むことになる。
【0026】また、一つの電子部品10を複数の吸着部
3にて吸着する場合、必ずしも全ての吸着部3で吸着す
る必要はなく、電子部品10とニードルピン4とが接触
した吸着部3のみで電子部品10を吸着することができ
る。したがって、電子部品10の大きさに差異がある場
合であっても、大きさに関係なく確実に吸着することが
できる。
3にて吸着する場合、必ずしも全ての吸着部3で吸着す
る必要はなく、電子部品10とニードルピン4とが接触
した吸着部3のみで電子部品10を吸着することができ
る。したがって、電子部品10の大きさに差異がある場
合であっても、大きさに関係なく確実に吸着することが
できる。
【0027】なお、電子部品10以外の被搬送物として
板材を用いた例を図8の斜視図に示す。すなわち、複数
の吸着面32で一つの板材10aを吸着する場合には、
本体ケース2の縦横に各吸着面32を配置して、一つの
排気孔6からバキューム源(図示せず)により空気を排
出する。吸着の際、板材10aと接触する吸着面32の
みから空気が吸入され、他の吸気孔32からは空気が吸
入されることがない。したがって、板材10aの大きさ
や形状が違うものであっても、確実に吸着することがで
きる。
板材を用いた例を図8の斜視図に示す。すなわち、複数
の吸着面32で一つの板材10aを吸着する場合には、
本体ケース2の縦横に各吸着面32を配置して、一つの
排気孔6からバキューム源(図示せず)により空気を排
出する。吸着の際、板材10aと接触する吸着面32の
みから空気が吸入され、他の吸気孔32からは空気が吸
入されることがない。したがって、板材10aの大きさ
や形状が違うものであっても、確実に吸着することがで
きる。
【0028】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の真空チャ
ックによれば、次のような効果がある。すなわち、被搬
送物を吸着する時だけ、吸気孔から排気孔に向けて空気
が流通するため、バキューム源に不要な負荷をかけるこ
とがない。また、ニードルピンが自重またはバネの力に
より吸気孔側に押し付けられているため、バキューム源
の作動を停止すれば容易に被搬送物を吸着面から取り外
すことができる。さらに、真空チャックの上下を反対に
して吸着面を上にしても、ニードルピンがバネにより付
勢されていれば自重で落下することがないため、どのよ
うな位置に被搬送物を移動する場合であっても対応する
ことができる。
ックによれば、次のような効果がある。すなわち、被搬
送物を吸着する時だけ、吸気孔から排気孔に向けて空気
が流通するため、バキューム源に不要な負荷をかけるこ
とがない。また、ニードルピンが自重またはバネの力に
より吸気孔側に押し付けられているため、バキューム源
の作動を停止すれば容易に被搬送物を吸着面から取り外
すことができる。さらに、真空チャックの上下を反対に
して吸着面を上にしても、ニードルピンがバネにより付
勢されていれば自重で落下することがないため、どのよ
うな位置に被搬送物を移動する場合であっても対応する
ことができる。
【0029】また、複数のシリンダを有する真空チャッ
クであっても、一つのバキューム源でよいため、複雑な
配管が不要となるとともに、被搬送物が吸着されない吸
着部があっても、他の吸着部の作用に影響を与えること
がない。したがって、被搬送物の大小に関係なく確実に
吸着することが可能となる。
クであっても、一つのバキューム源でよいため、複雑な
配管が不要となるとともに、被搬送物が吸着されない吸
着部があっても、他の吸着部の作用に影響を与えること
がない。したがって、被搬送物の大小に関係なく確実に
吸着することが可能となる。
【0030】また、被搬送物を吸着している際、突然バ
キューム源の作動が停止してもストッパーにピストンが
引っ掛かるため、被搬送物が落下することがない。さら
に、吸着部が着脱可能であるため、吸着部が磨耗した場
合や、吸着する被搬送物の形状や大きさに変更があった
場合にも容易に対処することが可能となる。
キューム源の作動が停止してもストッパーにピストンが
引っ掛かるため、被搬送物が落下することがない。さら
に、吸着部が着脱可能であるため、吸着部が磨耗した場
合や、吸着する被搬送物の形状や大きさに変更があった
場合にも容易に対処することが可能となる。
【図1】本発明の真空チャックを説明する図で、(a)
は断面図、(b)はニードルピンの拡大斜視図である。
は断面図、(b)はニードルピンの拡大斜視図である。
【図2】本発明の真空チャックの側断面図である。
【図3】真空チャックの動作を説明する断面図で(a)
はその1、(b)はその2である。
はその1、(b)はその2である。
【図4】ストッパーを説明する側断面図である。
【図5】吸着部の着脱を説明する断面図である。
【図6】本発明の他の実施例を説明する正面図である。
【図7】本体ケースのA−A線矢視断面図である。
【図8】板材の吸着を説明する斜視図である。
【図9】従来の真空チャックを説明する断面図(その
1)である。
1)である。
【図10】従来の真空チャックを説明する断面図(その
2)である。
2)である。
1 真空チャック 2 本体ケース 3 吸着部 4 ニードルピン 5 ピストン 6 排気孔 7 バネ 8 栓 9 ストッパー 10 電子部品 10a 板材 21 シリンダ 31 吸着面 32 吸気孔 41 円錐部
Claims (4)
- 【請求項1】 本体ケースに設けられた吸着部に被搬送
物を吸着する真空チャックにおいて、 前記吸着部に設けられた吸気孔と連通する状態で前記本
体ケースに穿設された円筒形のシリンダと、 前記シリンダ内から前記吸気孔をふさぐための円錐部を
有し、前記円錐部の先端が前記吸着部の吸着面から突出
する状態に設けられたニードルピンと、 前記ニードルピンと連動して前記シリンダ内を平行移動
するピストンと、 前記本体ケースの側面側から前記シリンダと連通する状
態で、かつ前記ピストンの平行移動により前記シリンダ
との間の開閉が行われる位置に形成された排気孔とから
成ることを特徴とする真空チャック。 - 【請求項2】 前記ニードルピンは、バネにより付勢さ
れた前記ピストンを介して前記吸気孔側へ押し付けられ
ていることを特徴とする請求項1記載の真空チャック。 - 【請求項3】 前記排気孔と前記シリンダとの間を開放
状態のまま保持するためのストッパーが設けられている
ことを特徴とする請求項1記載の真空チャック。 - 【請求項4】 前記吸着部が着脱自在であることを特徴
とする請求項1記載の真空チャック。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13605292A JPH05305592A (ja) | 1992-04-28 | 1992-04-28 | 真空チャック |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP13605292A JPH05305592A (ja) | 1992-04-28 | 1992-04-28 | 真空チャック |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05305592A true JPH05305592A (ja) | 1993-11-19 |
Family
ID=15166060
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP13605292A Pending JPH05305592A (ja) | 1992-04-28 | 1992-04-28 | 真空チャック |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05305592A (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006046379A1 (ja) * | 2004-10-28 | 2006-05-04 | Shin-Etsu Engineering Co., Ltd. | 粘着チャック装置 |
WO2007036996A1 (ja) * | 2005-09-28 | 2007-04-05 | Shin-Etsu Engineering Co., Ltd. | 基板保持構造 |
EP2051920A1 (en) * | 2006-08-18 | 2009-04-29 | Univeyor A/S | Apparatus for handling layers of palletised goods |
JP2009246184A (ja) * | 2008-03-31 | 2009-10-22 | Neturen Takuto Co Ltd | バキュームハンド |
JP2010228909A (ja) * | 2009-03-25 | 2010-10-14 | Au Optronics Corp | 真空吸引装置 |
TWI398687B (zh) * | 2009-10-23 | 2013-06-11 | Au Optronics Corp | 基板組合系統及基板組合方法 |
CN107443661A (zh) * | 2017-09-01 | 2017-12-08 | 东莞市睿奇电子科技有限公司 | 一种机械手吸头 |
CN108247664A (zh) * | 2018-03-22 | 2018-07-06 | 珠海市运泰利自动化设备有限公司 | 一种高效破真空吸嘴 |
-
1992
- 1992-04-28 JP JP13605292A patent/JPH05305592A/ja active Pending
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006046379A1 (ja) * | 2004-10-28 | 2006-05-04 | Shin-Etsu Engineering Co., Ltd. | 粘着チャック装置 |
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KR101038026B1 (ko) * | 2005-09-28 | 2011-05-31 | 신에츠 엔지니어링 가부시키가이샤 | 기판 지지 구조 |
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