FR2710877A1 - Organe piézoélectrique de tête d'enregistrement à jets d'encre, et son procédé de fabrication. - Google Patents
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Abstract
L'invention concerne un organe piézoélectrique de tête d'enregistrement. Elle se rapporte à un organe qui comprend une plaque piézoélectrique (2) ayant une face d'extrémité arrière et, au moins, une partie d'extrémité avant comme région inactive, et une autre partie dans laquelle des couches conductrices sont stratifiées. La plaque (2) étant découpée à des intervalles prédéterminés pour la formation de plusieurs vibrateurs piézoélectriques. Une plaque d'extrémité avant (6) est montée sur une première surface de la région inactive de la plaque piézoélectrique (2) afin qu'une face d'extrémité avant de la première plaque d'extrémité avant (6) se trouve au niveau de la face d'extrémité avant des vibrateurs piézoélectriques. Application aux têtes d'impression à jets d'encre.
Description
La présente invention concerne un organe piézo-
électrique de pilotage destiné à une tête d'enregistrement à jets d'encre, ainsi qu'un procédé de fabrication d'un tel
organe piézoélectrique.
La demande de brevet japonais non examinée n 1052/1992 décrit une tête d'enregistrement à jets d'encre ayant un mode de vibration verticale, comprenant une plaque à buses ayant plusieurs buses, des panneaux
vibrants disposés derrière la plaque à buses, des vibra-
teurs piézoélectriques ayant un mode de vibration verticale et suffisamment petits pour s'adapter aux buses qui sont en butée contre le dos des panneaux vibrants, et des chambres de pression formées par la plaque à buse des panneaux vibrants et dans lesquelles circulent l'encre provenant
d'un trajet de circulation d'encre. Dans la tête d'enregis-
trement, les vibrateurs piézoélectriques sont pilotés par un signal donné d'enregistrement afin que l'encre soit mise
sous pression et projetée sous forme de gouttelettes.
Une tête d'enregistrement à jets d'encre de ce type est avantageuse en ce que la réduction de dimension du vibrateur piézoélectrique permet une réduction du pas de montage des buses. Cependant, pour que la dimension des vibrateurs piézoélectriques puisse être réduite, il est nécessaire d'allonger chacune des chambres de pression dans la direction de projection d'encre afin qu'elle puisse avoir un volume interne suffisamment grand pour contenir des gouttelettes d'encre. En outre, il est nécessaire de former des gorges annulaires dans les parties des panneaux vibrants qui sont tournées vers les périphéries des chambres de pression afin que les parties ainsi amincies
subissent un petit déplacement des vibrateurs piézoélec-
triques avec un rendement élevé.
La tête d'enregistrement peut être modifiée afin qu'elle corresponde aux conditions précitées, mais les effets d'une telle modification sont limités. Ainsi, si la partie d'îlot délimitée par la gorge annulaire dépasse une certaine valeur, seule la partie qui est en butée contre le vibrateur piézoélectrique fléchit et la pression qui peut
être appliquée à l'encre dans la chambre de pression est limitée.
Compte tenu de la description qui précède, l'inven-
tion a pour objet la réalisation d'un nouvel organe piézo- électrique de pilotage destiné à une tête d'enregistrement à jets d'encre ayant des vibrateurs piézoélectriques dont le déplacement est limité et qui sont destinés à mettre l'encre sous pression dans des chambres de pression avec un10 rendement élevé, ainsi qu'un procédé de fabrication facile
d'un tel organe piézoélectrique avec une précision élevée.
Cet objet précité de l'invention est atteint par les réalisations suivantes: (1) un organe piézoélectrique de pilotage pour tête d'enregistrement à jets d'encre comprenant une plaque piézoélectrique ayant au moins une partie d'extrémité avant formant une région inactive et une autre
partie dans laquelle des couches conductrices sont strati-
fiées, la plaque piézoélectrique étant découpée à inter-
valles prédéterminés pour la formation de segments ana-
logues à des dents de peigne qui forment plusieurs vibra-
teurs piézoélectriques, la partie d'extrémité avant de chaque vibrateur piézoélectrique étant formée dans la partie inactive, et une plaque d'extrémité avant favorisant la pression et montée sur une surface au moins de la région inactive de manière que sa face d'extrémité avant se trouve au niveau
de la face d'extrémité externe de chaque vibrateur piézo-
électrique, et
(2) un procédé de fabrication d'un organe piézo-
électrique de pilotage d'une tête d'enregistrement à jets d'encre dans lequel, selon l'invention,
un matériau piézoélectrique et un matériau conduc-
teur sont stratifiés pour la formation d'une plaque piézo-
électrique dans une partie d'extrémité avant au moins de laquelle se trouve une région inactive, une plaque d'extrémité avant favorisant la pression est montée sur une surface au moins de la région inactive de manière que sa face d'extrémité avant se trouve au niveau de la face d'extrémité avant de la plaque5 piézoélectrique, la plaque piézoélectrique, avec la plaque d'extré- mité avant, est découpée à intervalles prédéterminés pour la formation de segments analogues à des dents de peigne qui forment plusieurs éléments piézoélectriques, et10 lorsque la plaque d'extrémité avant est montée sur la partie d'extrémité avant de la plaque piézoélectrique comme décrit précédemment, la plaque d'extrémité arrière
est montée sur la partie d'extrémité arrière de celle-ci.
En conséquence, la plaque d'extrémité arrière maintient des vibrateurs piézoélectriques qui sont obtenus par découpe du produit résultant comme décrit précédemment. En outre, la plaque d'extrémité arrière peut être utilisée pour le montage de l'ensemble à vibrateur résultant sur un organe
ayant des trous, d'une manière commode.
D'autres caractéristiques et avantages de l'inven-
tion seront mieux compris à la lecture de la description
qui va suivre d'exemples de réalisation, faite en référence aux dessins annexés sur lesquels: la figure 1 est une vue en perspective d'un ensemble à vibrateurs piézoélectriques dans un mode de réalisation de l'invention; la figure 2 est une coupe d'un exemple de tête d'enregistrement à jets d'encre utilisant l'ensemble à vibrateurs piézoélectriques représenté sur la figure 1; les figures 3(a- 1), 3(a-2) et 3(b) à 3(e) sont des
vues en perspective permettant la description d'un procédé
de fabrication de l'ensemble représenté sur la figure 1; la figure 4 est une vue en perspective représentant
la disposition d'un appareil destiné à former des vibra-
teurs piézoélectriques; les figures 5(a) à 5(c) représentent un autre mode de réalisation, la figure 5(a) étant un schéma représentant une couche formant des plaques d'extrémité avant et arrière, la figure 5(b) étant un schéma représentant une couche formant une plaque piézoélectrique et la figure 5(c) étant un schéma représentant le stratifié formé par ces couches; la figure 6 est une vue en perspective d'une plaque piézoélectrique dans un autre mode de réalisation de l'invention; la figure 7 est une vue en perspective utile pour la
description d'un procédé de fabrication de la plaque
piézoélectrique représentée sur la figure 6; la figure 8 est une vue en perspective d'un autre mode de réalisation de l'invention; la figure 9 est une vue en perspective d'un ensemble à vibrateurs piézoélectriques constituant un autre mode de réalisation de l'invention; les figures 10(a) à 10(c) représentent un ensemble à
vibrateurs piézoélectriques dans un autre mode de réali-
sation, les figures 10(a) et 10(b) étant des vues en perspective représentant le dessus et le dessous de l'ensemble à vibrateurs piézoélectriques, et la figure O10(c) étant une vue en élévation frontale de l'ensemble à vibrateurs piézoélectriques; la figure 11 est une vue en perspective illustrant un procédé de fabrication de l'ensemble à vibrateurs piézoélectriques représenté sur la figure 10; la figure 12 est une coupe d'un exemple de tête d'enregistrement par jets d'encre utilisant les ensembles à vibrateurs piézoélectriques représentés sur la figure 10 et
représentant aussi les vibrateurs factices et les vibra-
teurs piézoélectriques; la figure 13 est une vue en perspective d'un ensemble à vibrateurs piézoélectriques dans un autre mode de réalisation de l'invention; la figure 14 est une vue en perspective de
l'ensemble de la figure 13, découpé à intervalles prédéter-
minés en pièces analogues à des dents de peigne; les figures 15(a) à 15(c) illustrent des étapes de fabrication d'un autre mode de réalisation de l'invention; les figures 16(a) à 16(c) illustrent les étapes de fabrication dans un autre mode de réalisation de l'invention; et la figure 17 est une coupe représentant la structure d'une tête d'enregistrement à jets d'encre mettant en
oeuvre les ensembles à vibrateurs piézoélectriques repré-
sentés sur les figures 16(a) à 16(c).
On décrit maintenant des modes de réalisation
préférés de l'invention en référence aux dessins annexés.
La figure 1 représente un organe piézoélectrique de
pilotage dans un mode de réalisation de l'invention.
Sur la figure 1, la référence 1 désigne un ensemble à vibrateurs piézoélectriques dont est formé l'organe de pilotage. L'ensemble 1 comprend une plaque piézoélectrique 2 découpée en pièces analogues aux dents d'un peigne, une plaque d'extrémité avant 6 destinée à accroitre la surface de contact et une plaque métallique 10 fixée à la partie d'extrémité arrière de la plaque 2 par l'intermédiaire d'une plaque d'extrémité arrière 7 destinée à combiner les éléments piézoélectriques les uns aux autres, si bien que
la plaque piézoélectrique 2 est couplée à une tête d'enre-
gistrement à jets d'encre.
Plus précisément, dans l'ensemble 1, l'un des éléments essentiels, c'est-à-dire la plaque piézoélectrique 2, est formé de la manière suivante. D'abord, une couche 2a d'une matière piézoélectrique en pâte ayant une partie d'extrémité avant et une partie d'extrémité arrière ainsi
qu'une partie médiane entre elles, en direction longitudi-
nale, est obtenue. Les couches conductrices 2b sont collées
à la partie médiane de la couche 2a de matière piézoélec-
trique en pâte afin que la partie médiane soit utilisée comme partie active 5. Les parties restantes, c'est-à-dire la partie d'extrémité avant et la partie d'extrémité
arrière sont utilisées comme parties inactives 4f d'extré-
mité avant et comme parties inactives 4r d'extrémité arrière respectivement. La plaque 6 d'extrémité avant et la plaque 7 d'extrémité arrière sont formées par utilisation d'une matière céramique en pâte qui se coupe facilement et
qui est par exemple la même que la matière piézoélectrique.
Les plaques d'extrémité avant et arrière 6 et 7 ainsi formées sont montées sur la partie inactive d'extrémité avant 4f et la partie inactive d'extrémité arrière 4r respectivement. Ces éléments sont alors mis en une seule
pièce par frittage.
Dans le mode de réalisation représenté sur la figure
3(e), la partie d'extrémité avant de la plaque piézoélec-
trique 2, avec la plaque d'extrémité avant 6, est découpée en pièces telles que les dents d'un peigne avec une scie à fil ou une scie de tranchage jusqu'à ce que le trait de coupe atteigne la ligne droite reliant le bord arrière de la partie supérieure 6a de la plaque d'extrémité avant 6 et le bord avant 4ra de la partie inactive 4r d'extrémité arrière. Les pièces ainsi obtenues sont des éléments de pilotage piézoélectrique 3 qui, lorsqu'une tension leur est
appliquée, se déplacent transversalement au champ élec-
trique pour mettre sous pression l'encre contenue dans les
chambres respectives de pression.
Dans la plaque piézoélectrique 2 ainsi formée et comme indiqué sur la figure 3(c), une électrode externe 8 est réalisée ou formée par exemple par dépôt en phase vapeur qui s'étend de la surface inférieure de la partie active 5 à la surface de la plaque d'extrémité avant 6 jusqu'à la surface supérieure de la partie active 5 et, de manière analogue, une électrode externe commune 9 est
formée afin qu'elle s'étende de la partie inactive d'extré-
mité arrière 4r jusqu'à la face d'extrémité arrière 7a de
la plaque d'extrémité arrière 7. Ensuite, la plaque métal-
lique 10 formée d'acier inoxydable ou analogue est montée à demeure sur la plaque d'extrémité arrière 7 comme indiqué
sur la figure 3(d). Ainsi, l'ensemble à vibrateurs piézo-
électriques 1 a été réalisé.
La figure 2 représente une tête d'enregistrement à jets d'encre équipée des ensembles à vibrateurs piézoélec-
triques précités 1. Sur la figure 2, la référence 41 désigne une plaque à buses ayant un certain nombre de buses 43 des deux côtés d'une entretoise 42 formant un trajet d'écoulement, placées en direction perpendiculaire à la surface du dessin. Derrière la plaque à buses 41, un panneau vibrant 47 est placé parallèlement à la plaque 41 avec interposition d'une10 chambre commune 44 d'encre et de chambres 45 de pression formées sur un panneau destiné à former un trajet de circulation si bien qu'un organe 40 formateur d'un trajet
de circulation est réalisé.
A la surface arrière du panneau vibrant 47, des gorges annulaires 48 sont formées le long des périphéries des chambres 45 de pression et constituent donc des parties d'îlot 49 qui travaillent de la manière suivante. Lors du
déplacement des vibrateurs 3, les parties 49 d'îlot flé-
chissent vers l'intérieur tout en restant parallèles à la
plaque à buses 41.
Sur la figure 2, la référence 51 désigne un bloc de support de matière plastique qui est fixé à la surface arrière de l'organe 40 afin que les ensembles à vibrateurs piézoélectriques 1 soient positionnés. Le bloc 51 a deux
trous 52 de montage de l'ensemble à vibrateurs piézoélec-
triques, dont la largeur correspond à la longueur des chambres de pression 45 et qui sont placés suivant les lignes de buses 43. Le bloc 51 est monté sur le panneau vibrant 47 avec un agent adhésif par utilisation d'un trou de référence formé sur l'organe 40 qui forme le trajet de circulation. Deux ensembles à vibrateurs piézoélectriques 1 sont introduits dans les trous de montage 52 de manière qu'ils soient tournés l'un vers l'autre. Comme l'indique la figure 3(d), la plaque métallique 10 est plus grande que la plaque d'extrémité arrière 7, c'est- à-dire que la première plaque dépasse aux extrémités supérieure et inférieure et aux extrémités droite et gauche de la plaque 7. La plaque métallique 10 est collée aux surfaces des trous de montage 52 par un agent adhésif 54. Dans cette opération, chaque plaque métallique 10 est positionnée par des gorges de guidage formées des deux côtés du trou 52 si bien que les vibrateurs piézoélectriques 3 sont positionnés sur la partie 49 du panneau 47 avec une grande précision et que les vibrateurs 3 ne peuvent pas s'incliner dans la direc- tion de l'épaisseur. Ainsi, le positionnement de la plaque10 10 de la manière précitée permet le collage des vibrateurs 3 aux faces arrière des parties 49 d'îlot du panneau 47 avec des agents adhésifs 59. Ces derniers sont appliqués aux faces d'extrémité des vibrateurs 3 avec les faces d'extrémité des vibrateurs 3 en contact plan avec les parties 49 d'îlot. La figure 2 représente le panneau 55 de circuit formé sur le bloc 51 de positionnement et de
support et des câbles souples 56.
Sur la figure 2, l'ensemble à vibrateurs piézoélec-
triques selon l'invention présente les avantages suivants.
La plaque d'extrémité arrière 7 accroît la rigidité de la
plaque piézoélectrique 2. L'ensemble 1 peut être facile-
ment couplé à un bloc 51 de support monté à l'arrière de l'organe 40 formant le trajet de circulation. Les éléments 3 de pilotage piézoélectrique, comprenant les pièces 6 de la plaque d'extrémité avant, sont uniformément en butée contre toutes les surfaces des parties 49 d'îlot formées sur un panneau vibrant 47 si bien que les parties d'îlot 49 sont poussées uniformément contre la surface de la plaque
41 et mettent l'encre des chambres 45 sous pression.
On décrit maintenant, en référence aux figures 3(a-1), 3(a-2), 3(b) à 3(e) la fabrication de l'ensemble à
vibrateurs piézoélectriques précité 1.
D'abord, une couche d'une matière piézoélectrique 2a, ayant une configuration et une épaisseur pratiquement
identiques à celles de la plaque 2, est formée par utili-
sation d'une matière piézoélectrique analogue à une pâte, par exemple de titanate-zirconate de plomb ou de titanate de baryum. Ensuite, la couche de matière piézoélectrique 2a est retirée dans ses parties marginales. Plus précisément, dans la partie médiane de la couche 2a sauf à la partie d'extrémité avant correspondant à 0,2 à 1,0 mm de longueur et à la partie arrière correspondant à environ 3,0 mm de longueur, des couches conductrices 2b d'argent-palladium sont formées afin qu'elles se recouvrent. Les couches conductrices sont formées avec une épaisseur d'environ 3 pm par revêtement ou dépôt en phase vapeur. Ainsi, une feuille crue destinée à une plaque piézoélectrique 2 à une seule couche et ayant la partie inactive 4f, la partie inactive arrière 4r et la partie active médiane a été formée (comme
indiqué sur la figure 3(a-l)).
Une plaque piézoélectrique de type multicouche est formée comme représenté sur la figure 3(a-2). Une couche de matière piézoélectrique 2a analogue à une pâte est formée à une épaisseur de 15 à 30 pm, et des couches conductrices 2b sont formées en alternance sur une épaisseur d'environ 3 pm de manière que des électrodes internes partant des extré-20 mités avant et arrière se recouvrent dans la partie médiane
de la couche 2a en laissant des marges aux parties d'extré-
mité avant et arrière. Cette opération est répétée plu-
sieurs fois pour l'obtention d'une feuille crue destinée à une plaque piézoélectrique multicouche 2 ayant les parties
inactives avant et arrière 4f et 4r.
Les étapes restantes de fabrication sont décrites
maintenant en référence à la plaque piézoélectrique multi-
couche 2. La feuille crue ainsi formée pour la plaque 2 est traitée comme indiqué sur la figure 3(b). Ainsi, les plaques d'extrémité avant et arrière 6 et 7 sont montées sur les parties inactives avant et arrière 4f et 4r respectivement. Plus précisément, la plaque d'extrémité avant 6 formée d'une matière céramique qui se coupe facilement et qui a pratiquement la même épaisseur que la plaque 2 est montée sur la partie inactive 4f avec un petit espace 6, de préférence compris entre 0,0 et 0, 5 mm, entre la plaque 6 et la partie active 5. De même, la plaque d'extrémité arrière 7, dont la largeur est supérieure à celle de la
plaque 6, est montée sur la partie inactive 4r de l'extré-
mité arrière. Ensuite, la plaque 2 et la plaque 6 sont découpées afin que leurs faces d'extrémité avant se trouvent au même niveau, et la plaque 2 et les plaques 6 et 7 sont combinées en un tout par frittage. Dans une variante, les plaques 2, 6 et 7 peuvent être traitées de la manière suivante. Après combinaison comme un tout par
frittage, la plaque piézoélectrique 3 et la plaque d'extré-
mité avant 6 sont découpées à la scie de tranchage ou analogue afin que les faces d'extrémiité avant des plaques 2 et 6 se trouvent au même niveau. La plaque 6 et la plaque 7 peuvent être polies sur la partie active 6 si elles ne
gênent pas le déplacement des vibrateurs piézoélectriques.
Ensuite, comme l'indique la figure 3(c), des élec-
trodes segmentées externes 8 sont déposées en phase vapeur aux surfaces supérieure et inférieure de la couche active 5 comprenant la plaque 6 d'extrémité avant par application de
vapeur dans les directions des flèches D et E. Une élec-
trode externe commune 9 est déposée en phase vapeur à la surface inférieure de la partie 4r et à la face d'extrémité arrière 7a de la plaque 7 par application de vapeur dans la direction de la flèche F. Comme décrit précédemment, l'électrode segmentée externe 8 est formée à la face d'extrémité arrière 6b de la plaque d'extrémité avant 6 et à la face supérieure de la plaque 2 par dépôt en phase vapeur dans la direction de la flèche D. Pour que l'électrode ne soit pas brisée au bord 6a de la plaque 6, la face d'extrémité arrière 6b de la
plaque 6 doit être inclinée comme indiqué sur la figure 9.
A cet effet, l'opération précitée de frittage peut être utilisée de manière que le coefficient de contraction de la matière piézoélectrique soit légèrement supérieur à celui de la plaque 6, ou la plaque 6 peut être usinée afin que sa
face 6 d'extrémité arrière soit inclinée.
l1
Ensuite, comme l'indique la figure 3(d), une plaque métallique 10 dont la longueur et la largeur sont supé-
rieures à celles de la plaque 7 est montée à demeure sur cette plaque 7 avec un agent adhésif. 5 Enfin, l'ensemble du moteur piézoélectrique 1 ainsi formé est traité de la manière suivante. L'ensemble 1 est maintenu à demeure par un dispositif de montage. Ensuite, comme l'indique la figure 3(e), la partie d'extrémité avant
de l'ensemble 1 est découpée à des intervalles correspon-
dant au pas de montage des buses 43 (représenté par l'angle 0) en pièces analogues aux dents d'un peigne jusqu'à ce que la ligne de coupe atteigne la droite L reliant le bord arrière 6a de la partie supérieure de la plaque 6 au bord
avant 4ra de la partie inactive 4r.
La figure 4 représente un exemple d'appareil de coupe de l'ensemble à vibrateurs piézoélectriques 1. Des organes inclinés 34 de montage sont disposés sur un corps 32 de dispositif de montage qui est déplacé verticalement tout en étant maintenu parallèle à une scie à fil 31. Plus précisément, chaque organe incliné 34 de montage a une surface 33 de montage de pièce inclinée d'une manière correspondant à l'angle d'inclinaison de la droite L, puis est monté à demeure sur le corps 32, la surface 33 de montage étant disposée obliquement par rapport à la scie à fil 31. La plaque métallique 10 est fixée sur la surface 33 de manière que la partie d'extrémité avant de la plaque 2 soit tournée vers le haut. Dans ces conditions, le corps 32 est déplacé verticalement vers la scie à fil 31 de manière que l'ensemble à vibrateurs piézoélectriques soit coupé de
la manière précitée.
Les figures 5(a) à 5(c) représentent un autre mode de réalisation de l'invention dans lequel peuvent être formées un certain nombre de plaques piézoélectriques 2 à partir d'une plaque de grande dimension. La figure 5(a) représente une couche formant des plaques d'extrémité avant et arrière. La figure 5(b) représente une couche 12a formant une plaque piézoélectrique et la figure 5(c)
représente l'empilement de ces couches.
D'abord, une couche 12a destinée à former une plaque piézoélectrique est formée par utilisation d'une matière piézoélectrique en pâte qui est suffisamment grande pour la disposition d'un certain nombre de plaques piézoélectriques
12 en directions longitudinale et latérale sur elle.
Ensuite, comme l'indique la figure 5(b), deux types d'élec-
trodes internes 12b qui sont indiquées en hachures incli-
nées vers le haut et la droite et vers le haut et la gauche sont imprimés en alternance sous forme de dessins avec serrage de la couche 12a, aveà formation de parties actives 15 (régions hachurées) à certains intervalles égaux ou légèrement supérieurs à la dimension longitudinale de la
plaque piézoélectrique 12.
La formation des deux types d'électrodes internes 12b est réalisée à l'aide d'un masque d'impression qui est disposé vers la marque (+) sur la couche 12a formant la
plaque piézoélectrique. Lors de la formation de ces élec-
trodes internes 12b, il est essentiel qu'elles ne dépassent
pas de la couche 12a.
La couche 14 est destinée à former les plaques d'extrémité avant et arrière 14f et 14r. Cette couche 14 a une dimension égale à celle de la couche 12a. Comme l'indique la figure 5(a), la couche 14 a des trous 14c de référence alignés sur les trous 12c de référence formés dans la couche 12a. Lorsqu'on utilise des trous 14c comme points de référence, des fenêtres 14d correspondant aux régions des parties actives 15 sont formées dans la couche 14. Ensuite, la couche 14 est placée sur la couche 12a, des broches pénétrant dans les trous de référence 12c et 14c, les couches étant mises sous forme d'un tout par frittage
sous pression.
Ensuite, le produit résultant est découpé suivant une ou deux lignes de coupe B qui délimitent la plaque 14f d'extrémité avant et la plaque 14r d'extrémité arrière, et
des électrodes externes 12b sont formées à la surface.
Comme décrit précédemment, les électrodes internes 12b n'atteignent pas l'extérieur de la couche 12a. En conséquence, la formation des électrodes externes peut être réalisée sans masque qui couvre la face externe de la plaque piézoélectrique. Après formation des électrodes externes, une tension de 75 V est appliquée aux électrodes
pendant une minute afin qu'elles soient polarisées. Ensuite, le produit résultant est découpé suivant les lignes de coupe A pour l'obtention d'un certain nombre de10 plaques piézoélectriques 2.
Comme l'indique la figure 2, dans l'ensemble à vibrateurs piézoélectriques 1 formé'de la manière précitée, les vibrateurs piézoélectriques 3 sont combinés à la plaque 7 comme base commune et la plaque 6 est découpée d'une manière correspondant aux vibrateurs piézoélectriques 3 si bien que les parties d'îlot 49 sont uniformément en retrait
sur le panneau vibrant 47.
Les figures 6 et 7 représentent un autre exemple d'ensemble à vibrateurs piézoélectriques selon l'invention,
ainsi que son procédé de fabrication.
Dans l'ensemble à vibrateurs piézoélectriques, une plaque piézoélectrique 22 a des vibrateurs factices 23' sur les deux faces. Les vibrateurs factices 23' sont utilisés uniquement pour le positionnement des autres éléments pendant le montage, c'est-à-dire qu'ils ne sont pas liés à
l'opération d'enregistrement de la tête d'enregistrement.
Une plaque d'extrémité avant 26 et une plaque d'extrémité arrière 27 sont couplées mutuellement par des plaques latérales 28 montées sur les vibrateurs factices 23' de la plaque piézoélectrique 22 si bien que cette plaque 22 est renforcée pendant la mise en forme et l'installation de
l'ensemble à vibrateur 1.
L'ensemble est fabriqué comme indiqué sur la figure
7. Une feuille crue 60 destinée à former la plaque piézo-
électrique de surface relativement grande est préparée.
Cette feuille crue 60 est un stratifié comprenant une couche 21a de matière piézoélectrique et des couches conductrices 21b placées dans les parties actives 25 de la couche 21a. Dans la direction longitudinale de la feuille crue 60, plusieurs plaques 24 ayant une largeur a égale ou légèrement supérieure à la somme de la largeur w' de la plaque d'extrémité avant 26 et de la largeur w" de la plaque d'extrémité arrière 27 (voir figure 6) sont placées sur les parties inactives de la feuille crue 60 formant la plaque piézoélectrique à des intervalles correspondant au moins à la longueur de la plaque 22. Dans la direction latérale de la feuille crue 60, les plaques 29 ayant une largeur b égale ou légèrement supérieure à deux fois la largeur w''' de la plaque latérale 28 sont placées sur les parties actives 25 de la feuille crue 60 à des intervalles correspondant au moins à la largeur de la plaque
piézoélectrique 22.
Ensuite, le produit résultant est découpé en direc-
tion longitudinale et en direction latérale. Plus précisé- ment, dans la direction longitudinale, le produit est découpé le long de
lignes de coupe B ou B' (double trait) qui divisent les plaques 24 en plaques d'extrémité avant et arrière 26 et 27, et dans la direction latérale, il est découpé le long des lignes de coupe A ou A' (trait double) qui divisent les plaques 29 en deux parties égales pour l'obtention de plusieurs plaques piézoélectriques 22. Ces plaques 22 sont alors frittées. Dans une variante, le produit précité peut d'abord être fritté puis découpé de la
manière précitée afin qu'il donne plusieurs plaques piézo-
électriques 22. Ensuite, comme décrit précédemment, la partie d'extrémité avant de chaque plaque 22 est découpée en pièces analogues à des dents de peigne pour la formation
d'un certain nombre de vibrateurs piézoélectriques 23.
Dans le procédé précité, la plaque 6 (ou 26) d'extrémité avant et la plaque 7 (ou 27) d'extrémité arrière sont montées sur la plaque piézoélectrique 2 (ou
22) et sont frittées comme un tout (voir figure 3(b)).
Cependant, le même effet peut être obtenu par traitement de ces éléments de la manière suivante. La plaque piézoélectrique 2 (ou 22), la plaque d'extrémité avant 6 (ou 26) et la plaque d'extrémité arrière 7 (ou 27) sont frittées séparément puis sont combinées sous forme d'un tout par utilisation d'un adhésif convenable.5 En outre, comme l'indique la figure 8, deux plaques d'extrémité avant 6 peuvent être montées à demeure sur les surfaces supérieure et inférieure de la partie inactive d'extrémité avant 4f de la plaque piézoélectrique 2. Dans ce cas, les parties d'ilot 49 du panneau vibrant 4710 peuvent être repoussées plus largement avec une stabilité élevée. Les figures 10(a) à 10(c) représentent un autre mode de réalisation de l'invention. Plus précisément, les figures 10(a) et 10(b) sont une vue en perspective de dessus et une vue en perspective de dessous représentant la partie supérieure et la partie inférieure d'un autre exemple d'ensemble à vibrateurs piézoélectriques selon l'invention respectivement, et la figure 10(c) est une vue en élévation frontale de l'ensemble. Sur ces figures, la référence 23 désigne les vibrateurs piézoélectriques précités et la référence 23' les vibrateurs factices précités. Les vibrateurs 23' sont placés des deux côtés d'un groupe de vibrateurs 23 et sont utilisés uniquement pour le positionnement des autres éléments lors du montage, c'est-à-dire qu'ils ne sont nullement liés à l'opération d'enregistrement de la tête d'enregistrement. Les plaques d'extrémité arrière précitées 27 et 27' sont montées sur
les surfaces supérieure et inférieure des parties d'extré-
mité arrière des vibrateurs 23 et des vibrateurs factices 23' respectivement. De même, les plaques d'extrémité avant 26 et 26' sont montées sur les surfaces supérieure et inférieure des vibrateurs piézoélectriques 23. En outre, les plaques latérales 28 et 28' de même longueur que les vibrateurs 23' sont montées aux surfaces supérieure et inférieure de chaque vibrateur factice 23' de manière
qu'elles se raccordent aux plaques d'extrémité arrière 27.
On décrit maintenant, en référence à la figure 11, un procédé de fabrication de l'ensemble à vibrateurs piézoélectriques des figures 10(a) à 10(c). D'abord, une feuille crue 60 de formation de plaque piézoélectrique ayant une surface relativement grande est
formée avec un stratifié de couches d'une matière piézo-
électrique 21a et de couches conductrices 21b. Une couche 61 est formée sur une surface de la feuille crue 60 à l'aide d'une céramique ou de la même matière que la feuille crue 60. Plus précisément, la couche 60 comprend plusieurs
plaques 24 ayant une largeur a égale ou légèrement supé-
rieure à la somme des largeurs e' et w" des plaques d'extrémité avant et arrière 26 et 27, placées sur les parties inactives 24 dans la direction longitudinale à des intervalles correspondant au moins à la longueur de la plaque 22, et des plaques 29 ayant une largeur b qui est égale ou légèrement supérieure au double de la largeur w''' de la plaque 28, placées sur les parties actives 25 en direction latérale à des intervalles correspondant au moins
à la largeur de la plaque piézoélectrique 22.
Une autre couche céramique 61' de même structure que la couche 61 est formée sur l'autre surface de la feuille
crue 60.
Ensuite, le produit résultant est coupé en direction longitudinale et en direction latérale. Plus précisément, en direction longitudinale, le produit est coupé suivant des lignes de coupe B ou B' (trait double) qui divisent les plaques 24 en plaques d'extrémité avant et arrière 26 et 27 et, en direction latérale, il est coupé le long des lignes de coupe A ou A' (trait double) qui divisent les plaques 29 en deux parties égales pour l'obtention de plusieurs
plaques piézoélectriques 22. Ces plaques 22 sont frittées.
Dans une variante, le produit précité peut être d'abord fritté puis coupé de la manière précitée pour l'obtention de plusieurs plaques piézoélectriques 22. Ensuite, comme décrit précédemment, la partie d'extrémité avant de chacune des plaques 22 est coupée en pièces telles que les dents
d'un peigne avec formation d'un certain nombre de vibra-
teurs piézoélectriques 23. Comme l'indique la figure 12, les ensembles à vibrateurs piézoélectriques ainsi fabriqués sont introduits dans les trous de montage 52 de manière qu'ils soient tournés les uns vers les autres. Dans chacun des ensembles, la plaque métallique 10 dépasse aux extrémités supérieure et inférieure et aux extrémités gauche et droite des plaques 27 et 27'. Les plaques métalliques 10 sont collées aux surfaces des trous 52 de montage par un agent adhésif 54. Dans cette opération, chaque plaque métallique 10 est positionnée par utilisation de gorges de guidage formées
des deux côtés du trou 22 de montage afin que les vibra-
teurs piézoélectriques soient positionnés sur les parties d'ilôts 49 du panneau 47 avec une grande précision et les vibrateurs 3 ne peuvent pas être inclinés dans la direction de l'épaisseur. Ainsi, le positionnement de la plaque métallique 10 de la manière précitée permet la fixation des vibrateurs piézoélectriques 3 aux surfaces arrière des parties d'îlot 49 du panneau vibrant 47 avec des agents adhésifs 59. Ces agents adhésifs 59 sont appliqués aux faces d'extrémité des vibrateurs 3, les faces d'extrémité des vibrateurs piézoélectriques étant en contact plan avec
les parties d'îlot 49.
Dans le mode de réalisation précité, les vibrateurs factices 23' sont renforcés par les plaques latérales 28 et 28' et ne peuvent donc pas fléchir dans la tête d'enregistrement. La figure 13 représente un autre mode de réalisation
de l'invention. Dans celui-ci, un panneau vibrant piézo-
électrique 64 est formé par stratification en alternance de matières piézoélectriques 60 et de couches conductrices 61 et 62. Des plaques 65 et 66 d'extrémité arrière sont montées à demeure aux surfaces supérieure et inférieure de la partie d'extrémité arrière du panneau 64. Les autres électrodes, c'est-à-dire des couches conductrices externes 67 qui sont des électrodes communes dans ce mode de réalisation, sont formées aux surfaces supérieure et inférieure du panneau 64 de manière qu'elles dépassent de l'extrémité avant du panneau 64 vers les lignes formant les limites des plaques d'extrémité arrière 65 et 66 respecti- 5 vement. Les plaques d'extrémité avant 69 et 70 sont montées
à demeure à la surface supérieure et à la surface infé-
rieure de la partie d'extrémité avant du panneau 64. Les plaques d'extrémité arrière 65 et 66 et les plaques d'extrémité avant 69 et 70 sont formées de céramique, de
préférence de matière piézoélectrique.
Une couche conductrice 73 est formée à la face d'extrémité avant du produit résultant de manière qu'elle soit connectée électriquement à la couche conductrice 67 à la face supérieure du panneau 64 et aux couches conduc-15 trices 62 apparaissant à la face d'extrémité avant. Les plaques d'extrémité arrière 65 et 66 ont des couches
conductrices 74 et 75 et des couches conductrices 77 et 78.
Les couches conductrices 74 et 75 sont placées d'un côté et sur une partie de la surface supérieure de la plaque d'extrémité arrière 65 respectivement de manière qu'elles soient connectées électriquement à la couche conductrice 67 formée à la surface supérieure du panneau 64. Une région isolante 76 de largeur prédéterminée est placée à la surface supérieure de la plaque 65 près de la couche conductrice 75. En outre, la couche conductrice 78 est adjacente à la région isolante 76 à la face supérieure de la plaque 65, et la couche conductrice 77 est placée à la face d'extrémité arrière du produit de manière qu'elle soit connectée électriquement aux autres électrodes (électrodes de pilotage de ce mode de réalisation), c'est-à-dire aux couches conductrices 61 apparaissant à la face d'extrémité
arrière du panneau 64.
Comme l'indique la figure 14, le panneau 64 ainsi formé est monté à demeure sur un substrat 10 puis sa partie d'extrémité avant est découpée en pièces telles que les dents d'un peigne comme décrit précédemment. Ensuite, un câble 82 ayant un ruban conducteur 80 et des rubans conducteurs 81 à son extrémité avant est soudé au panneau 64 ainsi traité si bien que le ruban conducteur 80 est connecté à l'électrode commune, c'est-à-dire la couche 75,
et les rubans conducteurs 81 sont connectés à la couche5 conductrice 78 divisée à intervalles prédéterminés.
Dans le mode de réalisation représenté sur la figure 14, les plaques d'extrémité avant 69 et 70 ont la même structure et sont montées aux surfaces supérieure et
inférieure de la partie d'extrémité avant de chaque vibra-
teur 23. De même, les plaques d'extrémité arrière 65 et 66, qui ont une même structure, sont montées sur les surfaces supérieure et inférieure de la partie d'extrémité arrière des vibrateurs 23. Les plaques d'extrémité avant et les
plaques d'extrémité arrière empêchent la flexion du vibra-
teur piézoélectrique. Les couches conductrices externes 67 empêchent aussi la flexion des vibrateurs piézoélectriques par renforcement de ceux-ci. Comme les plaques 65 ont une résistance mécanique supérieure à celle des vibrateurs 23, le câble 82, qui est connecté aux plaques d'extrémité arrière, peut être connecté positivement aux vibrateurs piézoélectriques. En outre, le cas échéant, des couches conductrices peuvent être formées en plus entre le câble 82 et les plaques d'extrémité arrière 65 de manière que la résistance de connexion électrique soit réduite. Il s'agit d'un aspect important de l'invention car les vibrateurs de la tête d'enregistrement permettant une impression de haute densité ont traditionnellement une dimension extrêmement petite si bien que la surface de contact entre le câble et
les vibrateurs est extrêmement petite et crée une résis-
tance électrique extrêmement élevée. En conséquence, une grande quantité de chaleur est dégagée dans la région entourant ces points de connexion et peut détériorer la
tête d'enregistrement. Grâce à la réduction de la résis-
tance de connexion, l'invention telle que représentée sur la figure 14 permet la réduction de l'amplitude de la détérioration thermique de têtes d'enregistrement et réduit donc la détérioration due à une perte d'énergie de pilotage. Les figures 15(a) à 15(c) illustrent un procédé de fabrication de l'ensemble à vibrateurs piézoélectriques précité. Sur ces figures, la référence 64 désigne le panneau piézoélectrique vibrant formé par stratification des matières piézoélectriques 60 et des couches conductrices 61 et 62 qui alternent. Les couches d'électrodes externes 67, de même polarité que les couches conductrices10 61, sont formées aux surfaces supérieure et inférieure du panneau 64 par revêtement ou dépôt en phase vapeur, de manière qu'elles se prolongent de' l'extrémité avant du panneau 64 vers le lignes formant des limites des plaques d'extrémité arrière 65 et 66, comme indiqué respectivement
(figures 15(a) et 15(b)).
Les plaques d'extrémité avant 69 et 70 sont montées à demeure aux surfaces supérieure et inférieure de la partie d'extrémité avant du panneau 64. De même, les plaques d'extrémité arrière 65 et 66 sont montées à demeure
aux surfaces supérieure et inférieure de la partie d'extré-
mité arrière du panneau 64. Le cas échéant, les parties d'extrémité externe des plaques d'extrémité avant et celles des plaques d'extrémité arrière sont découpées le long des traits C-C et C'-C' respectivement comme indiqué sur la
figure 15(b).
Les plaques d'extrémité avant 69 et 70 et les plaques d'extrémité arrière 65 et 66 peuvent être formées à l'aide d'une feuille crue de même composition que le panneau 64 ou d'une feuille crue d'une céramique qui se coupe librement. Dans une variante, ces feuilles crues peuvent être empilées à l'épaisseur voulue. Le produit
résultant est fritté (voir figure 15(c)).
Ensuite, la couche conductrice 73 est formée aux faces d'extrémité avant du panneau 64 et aux plaques d'extrémité arrière 65 et 66, et la couche conductrice 78 est formée sur une partie de la surface supérieure de la plaque d'extrémité arrière 65. La couche conductrice 78 est
utilisée comme borne de connexion de dispositifs externes.
Le produit ainsi formé est monté à demeure sur le substrat 10, par exemple par un adhésif, et sa partie d'extrémité avant est ensuite découpée à intervalles
prédéterminés en pièces analogues aux dents d'un peigne.
Les figures 16(a) à 16(c) représentent les étapes de fabrication d'un autre exemple de panneau vibrant piézoélectrique. Comme dans le cas précédent, le panneau 64 est formé par stratification de matières piézoélectriques 60 et de couches conductrices 61 et 62 placées en alternance. Des couches 67 d'électrodes externes de même polarité que les
couches 61 sont formées aux surfaces supérieure et infé-
rieure du panneau 64, de manière qu'elles s'étendent de l'extrémité avant du panneau 64 jusqu'aux lignes formant les limites des plaques d'extrémité arrière 65 et 66
(figure 16(a)).
Comme l'indique la figure 16(b), les plaques d'extrémité avant 85 et 86 sont montées à demeure sur les surfaces supérieure et inférieure de la partie d'extrémité avant du panneau 64 respectivement. De même, les plaques d'extrémité arrière 87 et 88 sont montées à demeure sur les surfaces supérieure et inférieure de la partie d'extrémité
arrière du panneau 64.
Dans ce mode de réalisation, les plaques 85, 86, 87 et 88 sont formées par stratification de feuilles crues 91, 93, 95 et 97 de matière piézoélectrique et de couches
conductrices 90, 92, 94 et 96 placées de la manière sui-
vante. Plus précisément, comme dans le cas du panneau vibrant piézoélectrique, les feuilles crues 91 et la couche conductrice 90 sont stratifiées en alternance pour la formation de la plaque d'extrémité avant 85, les feuilles crues 93 et les couches conductrices 92 sont destinées à former la plaque d'extrémité avant 86 et les feuilles crues et les couches conductrices 94 sont destinées à former la plaque d'extrémité arrière 87 et les feuilles crues 97 et les couches conductrices 96 sont destinées à former la plaque d'extrémité arrière 88. Dans la stratification précitée et afin que les couches conductrices externes 75 et 77 ne puissent pas mettre en court-circuit les couches conductrices 94 et 96 enfouies dans les plaques d'extrémité arrière 87 et 88, les couches 94 et 96 sont décalées d'une distance prédéterminée g vers l'intérieur depuis les faces d'extrémité externe de ces plaques 87 et 88. Le même effet peut être obtenu par10 réalisation de découpes dans les couches conductrices 94 et 96. Dans le mode de réalisation décrit précédemment, les couches conductrices sont enfouies dans les feuilles crues céramique. En conséquence, le produit résultant, lorsqu'il15 est fritté, présente un degré de contraction pratiquement égal à celui du panneau vibrant piézoélectrique, empêchant
ainsi le gauchissement du panneau vibrant piézoélectrique.
Le cas échéant, les parties d'extrémité externe de l'ensemble à vibrateurs piézoélectriques peuvent être
découpées comme indiqué sur la figure 16(b).
Ensuite, comme l'indique la figure 16(c), une première couche conductrice 73 est formée aux faces d'extrémité avant du panneau 64 et des plaques 85 et 86, une seconde couche conductrice 78 est formée sur les faces d'extrémité arrière des plaques 87 et 88 et une troisième couche conductrice 75 et 78 est formée sur une partie de la
surface supérieure de la plaque d'extrémité arrière 87.
Dans ces conditions, comme dans le mode de réalisa-
tion précité, le produit résultant est monté à demeure sur le substrat 10, puis découpé à intervalles prédéterminés en
pièces analogues aux dents d'un peigne comme décrit précé-
demment pour le mode de réalisation des figures 15(a) à (c). La figure 17 est une coupe de la structure d'une tête d'enregistrement à jets d'encre ayant des ensembles à
* vibrateurs piézoélectriques formés de la manière précitée.
La couche conductrice 73 formée aux faces d'extrémité avant des plaques 85 et 86 et du panneau 65 est au contact de la partie d'ilot 49. Les couches conductrices 75 et 78 formées sur la plaque d'extrémité arrière 87 sont connectées au câble 82.5 Comme l'indique la figure 16(b), et comme décrit précédemment, les couches conductrices 90, 92, 94 et 96
sont enfouies dans les plaques d'extrémité avant 85 et 86 et les plaques d'extrémité arrière 87 et 88 qui empêchent efficacement le gauchissement du panneau vibrant10 piézoélectrique.
En conséquence, même si le panneau 64 et donc la matière piézoélectrique 60 ont Une épaisseur réduite,
l'ensemble à vibrateurs piézoélectriques résultant tra-
vaille avec une grande précision. Ce résultat permet la miniaturisation et le fonctionnement à basse tension de la
tête d'enregistrement.
Dans le mode de réalisation précité, les couches conductrices sont enfouies dans les plaques 85 et 86 d'extrémité avant et les plaques 87 et 88 d'extrémité arrière montées à demeure sur les surfaces supérieure et inférieure du panneau piézoélectrique 64. Ce principe technique peut être appliqué à l'ensemble à vibrateurs piézoélectriques représenté sur la figure 1 dans lequel la plaque d'extrémité avant et la plaque d'extrémité arrière sont formées d'un côté de la plaque piézoélectrique par frittage d'une céramique. Ainsi, dans ce cas aussi, l'incorporation des couches conductrices dans les plaques d'extrémité avant et arrière empêche le gauchissement de la
plaque piézoélectrique.
Bien entendu, diverses modifications peuvent être apportées par l'homme de l'art aux organes piézoélectriques qui viennent d'être décrits uniquement à titre d'exemples
non limitatif sans sortir du cadre de l'invention.
Claims (24)
1. Organe piézoélectrique de pilotage destiné à une tête d'enregistrement à jets d'encre, caractérisé en ce qu'il comprend: une plaque piézoélectrique (2) ayant une face d'extrémité arrière et, au moins, une partie d'extrémité avant comme région inactive, et une autre partie dans laquelle des couches conductrices sont stratifiées, la plaque piézoélectrique (2) étant découpée à des intervalles prédéterminés pour la formation de plusieurs vibrateurs piézoélectriques ayant chacun une face d'extrémité avant et une face d'extrémité arrière, et une première plaque d'extrémité avant (6, 69, 70) favorisant la pression, montée sur une première surface de la région inactive de la plaque piézoélectrique (2) afin qu'une face d'extrémité avant de la première plaque d'extrémité avant (6, 69, 70) se trouve au niveau de la
face d'extrémité avant des vibrateurs piézoélectriques.
2. Organe selon la revendication 1, caractérisé en ce qu'il comprend une seconde plaque d'extrémité avant (6, 69, 70) favorisant la pression, montée sur une seconde
surface de la région inactive opposée à la première sur-
face, afin que la face d'extrémité avant de la seconde plaque d'extrémité avant (6, 69, 70) soit au niveau de la
face d'extrémité avant des vibrateurs piézoélectriques.
3. Organe selon l'une des revendications 1 et 2,
caractérisé en ce qu'une face d'extrémité arrière opposée à la face d'extrémité avant de la première et de la seconde plaque d'extrémité avant (6, 69, 70) favorisant la pression
est inclinée vers l'arrière.
4. Organe selon la revendication 1, caractérisé en
ce que la plaque piézoélectrique (2) a une partie d'extré-
mité arrière inactive n'ayant pas de couches conductrices, l'organe piézoélectrique de pilotage comprenant en outre une plaque d'extrémité arrière (7, 65, 66) de couplage de l'élément piézoélectrique, montée d'un premier côté de la partie d'extrémité arrière, cette plaque d'extrémité arrière (7, 65, 66) ayant une face d'extrémité arrière et une surface supérieure.
5. Organe selon la revendication 4, caractérisé en ce qu'il comprend des plaques latérales (28, 28') montées sur les côtés opposés de la plaque piézoélectrique (2) de manière que les plaques latérales (28, 28') se raccordent à la plaque d'extrémité avant (6, 69, 70) et à la plaque d'extrémité arrière (7, 65, 66).
6. Organe selon la revendication 4, caractérisé en ce qu'il comporte en outre: une seconde plaque d'extrémité avant (6, 69, 70) destinée à favoriser la pression, montée sur une seconde
surface de la partie d'extrémité avant opposée à la pre-
mière surface de manière que la face d'extrémité avant de la seconde plaque d'extrémité avant (6, 69, 70) favorisant la pression se trouve au niveau de la face d'extrémité avant du vibrateur piézoélectrique, une seconde plaque d'extrémité arrière (7, 65, 66) montée d'un second côté de la partie d'extrémité arrière, et deux paires de plaques latérales (28, 28') montées sur les surfaces supérieure et inférieure de la plaque piézoélectrique (2) la plus à l'extérieur de manière que les plaques latérales (28, 28') se raccordent aux plaques d'extrémité avant (6, 69, 70) et aux plaques d'extrémité
arrière (7, 65, 66).
7. Organe selon l'une quelconque des revendications
4, 5 et 6, caractérisé en ce que l'une au moins des plaques d'extrémité avant (6, 69,-70) et des plaques d'extrémité arrière (7, 65, 66) est formée par frittage d'une céramique.
8. Organe selon l'une quelconque des revendications
4, 5 et 6, caractérisé en ce qu'il comporte en outre une couche conductrice enfouie dans l'une au moins des plaques d'extrémité avant (6, 69, 70) et d'extrémité arrière (7,
, 66).
9. Organe selon l'une quelconque des revendications
1 à 6, caractérisé en ce que les plaques d'extrémité avant (6, 69, 70) et les plaques d'extrémité arrière (7, 65, 66) montées sur la plaque piézoélectrique (2) sont formées d'une céramique qui se coupe facilement.
10. Organe selon l'une quelconque des revendications
4 à 6, caractérisé en ce qu'il comporte en outre une plaque de surface supérieure à celle de la plaque d'extrémité
arrière (7, 65, 66), montée à demeure à la surface supé-
rieure de la plaque d'extrémité arrière (7, 65, 66) et destinée à supporter les organes piézoélectriques de pilotage directement dans un trou dé montage formé dans un
bloc de support.
11. Organe selon l'une quelconque des revendications
1, 2 et 4 à 6, caractérisé en ce qu'il comporte en outre: une couche conductrice externe placée sur une surface supérieure des vibrateurs piézoélectriques, et
une couche conductrice placée sur les faces d'extré-
mité avant (6, 69, 70) des vibrateurs piézoélectriques sur la face d'extrémité avant de la plaque d'extrémité avant
(6, 69, 70), la couche conductrice étant connectée électri-
quement à la couche conductrice externe.
12. Organe selon l'une quelconque des revendications
4 à 6, caractérisé en ce qu'il comporte en outre: une couche conductrice externe placée sur une surface supérieure des vibrateurs piézoélectriques,
une couche conductrice placée sur la face d'extré-
mité avant de la plaque d'extrémité avant (6, 69, 70) et la face d'extrémité avant des vibrateurs piézoélectriques et connectée électriquement à la couche conductrice externe, une couche conductrice placée à la face d'extrémité arrière de la plaque piézoélectrique (2) et à la face d'extrémité arrière de la plaque d'extrémité arrière (7, , 66), et une couche conductrice formée sur une partie de la surface supérieure de la plaque d'extrémité arrière (7, 65, 66).
13. Procédé de fabrication d'un organe piézoélec-
trique de pilotage destiné à une tête d'enregistrement à jets d'encre, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes: la stratification d'une matière piézoélectrique et d'une matière conductrice pour la formation d'une plaque piézoélectrique (2) ayant une face d'extrémité avant et ayant au moins une partie d'extrémité avant qui constitue une région inactive, le montage d'une plaque d'extrémité avant (6, 69, ) favorisant la pression, ayant une face d'extrémité avant sur au moins une première surface de la région inactive de manière que la face d'extrémité avant de la plaque d'extrémité avant (6, 69, 70) se trouve au niveau de la face d'extrémité avant de la plaque piézoélectrique (2), et la découpe de la plaque piézoélectrique (2) avec la
plaque d'extrémité avant (6, 69, 70) à intervalles prédé-
terminés pour la formation de plusieurs éléments
piézoélectriques.
14. Procédé selon la revendication 13, caractérisé en ce que l'étape de stratification comporte en outre l'étape de formation d'une plaque piézoélectrique (2) avec
une partie inactive d'extrémité avant et une partie inac-
tive d'extrémité arrière, et comprenant en outre le montage d'une plaque d'extrémité arrière (7, 65, 66) de couplage
d'éléments piézoélectriques sur la partie arrière inactive.
15. Procédé selon la revendication 13, caractérisé en ce que la plaque d'extrémité avant (6, 69, 70) est une plaque d'une matière céramique qui se coupe facilement, et comprenant en outre le frittage de la plaque d'extrémité
avant (6, 69, 70) de matière céramique qui se coupe facile-
ment et de la plaque piézoélectrique (2) pour la formation
d'un tout.
16. Procédé selon la revendication 15, caractérisé en ce que l'étape de frittage est réalisée séparément sur la plaque d'extrémité avant (6, 69, 70) et la plaque
piézoélectrique (2) avant l'étape de montage.
17. Procédé selon la revendication 14, caractérisé en ce qu'il comporte en outre les étapes suivantes: la disposition de couches de formation d'une plaque sur un côté au moins des régions inactives de la plaque piézoélectrique (2) à des intervalles correspondant à la longueur de la plaque piézoélectrique (2), et la découpe de la plaque piézoélectrique (2) suivant des droites qui divisent les plaques d'extrémité avant (6, 69, 70) et les plaques d'extrémité arrière (7, 65, 66) des
couches de formation de plaques.
18. Procédé selon l'une des revendications 13 et 17,
caractérisé en ce qu'il comporte en outre le recouvrement de deux types de dessins internes d'électrodes sur la matière piézoélectrique avec une partie de référence comme
référence formée dans une partie de la matière piézoélec-
trique, pour la formation de la plaque piézoélectrique (2).
19. Procédé selon la revendication 18, caractérisé en ce que la plaque piézoélectrique (2) est formée de
manière que des électrodes internes ne puissent pas appa-
raitre des deux côtés de la plaque.
20. Procédé de fabrication d'un ensemble à vibra-
teurs piézoélectriques, caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes: la formation d'un stratifié formant une plaque piézoélectrique (2) et constitué par stratification de couches de matière piézoélectrique (2a) et de couches de matière conductrice (2b), la disposition de matières destinées à former une plaque longitudinale, comprenant chacune une plaque d'extrémité avant (6, 69, 70, 85, 86) et une plaque d'extrémité arrirex(7, 65, 66, 87,88), ameun tout sur le stratifié formant la plaque dans la direction longitudinale du stratifié
formant la plaque, à des intervalles correspondant prati-
quement à la longueur de l'ensemble à vibrateurs piézoélectriques, la disposition de matières destinées à former des plaques latérales (28, 28') sur le stratifié formant la plaque dans la direction latérale du stratifié formant la plaque,5 la découpe du stratifié longitudinalement suivant des droites qui divisent les plaques d'extrémité avant (6, 69, 70) et les plaques d'extrémité arrière (7, 65, 66) des matières formant la plaque, et la découpe du stratifié latéralement le long de lignes qui divisent pratiquement les plaques latérales (28, 28') en deux parties pour la formation de plusieurs plaques piézoélectriques.
21. Procédé selon la revendication 14, caractérisé
en ce que la partie d'extrémité avant de la plaque piézo-
électrique (2) est découpée à intervalles prédéterminés
jusqu'à ce que la ligne de coupe atteigne la droite raccor-
dant le bord arrière de la plaque d'extrémité avant (6, 69, ) sur la plaque piézoélectrique (2) et le bord avant de la région inactive d'extrémité arrière afin que plusieurs
éléments piézoélectriques soient formés.
22. Procédé selon l'une des revendications 13 et 14,
caractérisé en ce qu'il comprend les étapes suivantes: la formation, à la surface supérieure de la plaque piézoélectrique (2), d'une couche conductrice externe qui
est prolongée vers l'extrémité avant de la plaque piézo-
électrique (2), et la formation d'un film conducteur sur les faces d'extrémité avant de la plaque piézoélectrique (2) et sur la plaque d'extrémité avant qui connecte électriquement la
matière conductrice à la couche conductrice externe.
23. Procédé selon la revendication 20, caractérisé en ce que la plaque d'extrémité avant (6, 69, 70) est formée par stratification de plusieurs feuilles crues d'une céramique à une épaisseur prédéterminée et par frittage des
feuilles crues ainsi stratifiées.
24. Procédé selon la revendication 20, caractérisé en ce qu'il comporte la formation de couches conductrices
(90, 92) sur la plaque d'extrémité avant (85, 86).
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