JP3452133B2 - インクジェット式記録ヘッド、及びこれに使用する圧電振動子ユニット、及び圧電振動子ユニットの製造方法 - Google Patents
インクジェット式記録ヘッド、及びこれに使用する圧電振動子ユニット、及び圧電振動子ユニットの製造方法Info
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Description
させて複数の内部電極を交互に積層した縦振動モードの
圧電振動子を圧力発生手段に使用するインクジェット式
記録ヘッドに関する。
ンクジェット記録ヘッドは、ノズル開口に連通し、一部
を弾性変形可能な板材により封止された圧力発生室を同
列に複数配列し、各圧力発生室を駆動信号に対応して軸
方向に変位する個々の圧電振動子により膨張、収縮させ
てインク滴を吐出させるように構成されている。
ように複数個分のサイズを持つ圧電振動板を固定基板6
0に固定し、ワイヤソウ等により一定のピッチで刃割し
て複数の圧電振動子61が一体となったユニットとして
構成されている。
高めるため、列設方向の両側にインク滴に関与しないダ
ミーの圧電振動子62、63を形成し、このダミーの圧
電振動子62、63の外側面62’、63’を基準とし
てケースにセットすることにより、各圧電振動子61を
流路ユニットに対して所定の公差内で位置決めされてい
る。
動板は、金属を含む内部電極構成材料と圧電材料と複数
層積層し、これを焼成して構成されているため、ワイヤ
ソウでの刃割工程で内部電極64、65の高い硬度に基
因して切断線に微妙なずれが生じる。このずれは、印刷
密度の向上をはかるために圧電振動子の先端面積が縮小
化されると、圧電振動子ユニットの相対的な位置決め精
度に大きな影響を与えることになる。本発明はこのよう
な事情に鑑みてなされたものであって、その目的とする
ところは圧電振動子を高い精度で所定の位置に位置決め
したインクジェット式記録ヘッドを提供することであ
る。本発明の他の目的は、高い形状精度を備えた圧電振
動子ユニットを提供することである。本発明の第3の目
的は、同上圧電振動子ユニットの製造方法を提案するこ
とである。
るために本発明においては、圧電材料と内部電極とを交
互に積層して軸方向に伸長する圧電振動子を複数、同一
基板に配列した圧電振動子ユニットを備え、前記圧電振
動子により圧力発生室の容積が膨張、縮小されるインク
ジェット式記録ヘッドにおいて、前記圧電振動子の列設
方向の両側に前記内部電極が存在しない領域が設けら
れ、該内部電極が存在しない領域に形成され、スリット
により分離された前記内部電極が存在しない折損片と、
前記内部電極が存在する領域と前記内部電極が存在しな
い領域とを含むダミーの圧電振動子と、を備えている。
電極が存在しないので、ダミーの圧電振動子の外方側面
の切り出し時に、内部電極の高い硬度に基因する切断線
のずれを可及的に防止して、高い精度での切断が可能と
なる。
した実施例の基づいて説明する。図1は本発明の一実施
例を示すものであって、本発明が特徴とする圧電振動子
ユニット1は、軸方向に平行に異なる極の内部電極2、
3をそれぞれ一端で露出させ、かつ振動領域でラップす
るように圧電材料4を介装して積層した圧電振動子5
を、図4に示したように固定基板6に一定ピッチで配置
して構成され、圧電振動子の列設方向の端部には、ダミ
ーの圧電振動子7、7が配置されている。そして、ダミ
ーの圧電振動子7、7の外側には、ダミーの圧電振動子
7、7の形成時の残骸7’、7’が付着している。
に、その外方側面には電極が存在せず、圧電材料4だけ
で形成されている。各圧電振動子5の先端、後端の内部
電極2、3の露出面から固定基板6の表面側にかけて
は、駆動信号を供給するフレキシブルケーブル8との接
続部を形成する外部電極9、10が蒸着やスパッタリン
グにより形成されている。
インク供給口13、及び圧力発生室14を区画、形成す
る流路形成基板15と、圧電振動子5の先端に当接して
圧力発生室14の容積を膨張、縮小させる弾性板16
と、流路形成基板15の他方の面を封止して圧力発生室
14のインクをインク滴として吐出させるノズル開口1
7を備えたノズルプレート18とを液密に積層して構成
されている。
9の開口面19aに固定され、また圧電振動子ユニット
1は、圧電振動子5の先端に接着剤を塗布して弾性板1
6のアイランド部16aに当接させ、固定基板6とヘッ
ドホルダ19とを接着剤で固定されてインクジェット式
記録ヘッドが構成されている。圧電振動子ユニット11
は、両側に位置するダミーの圧電振動子の側面が図3に
示したようにヘッドホルダ19の圧電振動子収容室の内
壁面19bに当接してその位置が規制されている。
るべきノズル開口17に連通する圧力発生室14に対向
する圧電振動子5に駆動信号を印加すると、圧電振動子
5が収縮、膨張して、圧力発生室14を膨張、収縮させ
る。これによりリザーバ12のインクがインク供給口1
3を介して圧力発生室14に流れ込み、ついで圧力発生
室14のインクが加圧されてノズル開口17からインク
滴として吐出する。
の製造方法に一実施例を示すものであって、表面が平坦
な定盤20に、圧電振動子ユニットの圧電振動子、及び
ダミーの圧電振動子よりも幅W1が若干大きめの幅W2
で、かつ各層の厚みに予め成形された圧電材料のグリー
ンシート21を載置する(図5(I))。
2を、ダミーの圧電振動子の側面よりも内側で、かつ隣
接する圧電振動子よりも外側となる幅W3のパターンを
備えたマスクを使用して形成し(図5(II))、前述と
同サイズの圧電材料のグリーンシート21を重ねる(図
5(III))。
層23を、ダミーの圧電振動子の側面よりも内側で、か
つ隣接する圧電振動子よりも外側となる幅W3’のパタ
ーン備えたマスクを使用して形成し(図6(I))、前
述と同サイズの圧電材料のグリーンシート21を重ねる
(図6(II))。
だけ繰り返し(図6(III))グリーンシートを乾燥さ
せてから焼成して、表面にフレキシブルケーブルとの接
続用の電極となる外部電極24、25をスパッタリング
や蒸着により形成し、これら電極24、25に電圧を印
加して所定の分極処理を行って圧電材料板27を構成す
る。この圧電材料板27の非振動領域を固定基板28に
位置決めして接着剤で固定する(図7(I))。
線が導電層21、23よりも外側に位置するように設定
して、ダミー7の圧電振動子の幅、及び駆動用圧電振動
子5の幅に一致するように歯割する。この切断工程にお
いて、最側方の切断線C、Cは、導電層21、23が存
在せず圧電材料21だけで形成された領域に位置するか
ら(図8)、導電層21、23を構成する金属材料の影
響で滑りを生じることが無く、スムーズに切断が進行す
る。このため、意図した切断線に一致する切断面で切断
が可能となる。
29を除去すると、圧電振動子ユニットが完成する(図
7(III))。もとより、ここには導電層21、23が
存在しないから比較的強度が低く、簡単に折る取ること
ができる。
用の電極24、25を幅一杯に形成しているが、図9に
示したようにダミーの駆動用圧電振動子を形成すべき領
域で、かつ最側方の切断線C、Cよりも幅W4だけ内側
まで後退させて形成すると、歯割工程時に外部接続用の
電極24、25の硬度の影響を排除してより一層、スム
ーズに切断することができる。
板を単一の圧電振動子ユニットを形成できるサイズとし
て形成しているが、圧電振動子ユニット複数個分を1枚
の大判として形成する場合には、個々の圧電振動子ユニ
ット分に切分ける境界に上述の内部電極を形成しない領
域を設ければよい。
成された圧電定数d33の圧電振動子ユニットの一実施例
を示すものであって、異なる極の内部電極30、31を
それぞれ前後の側面で露出するように振動領域でラップ
するように圧電材料32(図10(ロ))を介装して積
層した駆動用圧電振動子33を、固定基板34に一定ピ
ッチで配置し、圧電振動子33の列設方向の端部には、
ダミーの圧電振動子35、35が配置されている。そし
て、ダミーの圧電振動子35、35の外側には、ダミー
の圧電振動子35、35の形成時の残骸35’、35’
が付着している。
電振動板の両側面からダミーの圧電振動子35、35を
切り出すために形成されたスリットS、Sの内側までの
幅W5には、図10(イ)に示したように、その外方側
面の領域には電極が存在せず、圧電材料32だけで形成
されている。
電振動子については内部電極を形成しないようにしてい
るが、図11に示したように、ダミーの圧電振動子7’
については、切断する領域Dにだけ内部電極3’、4’
が存在しないようにすると、折り取るべき領域、つまり
領域Dよりも上部の領域を内部電極37で補強できて、
目的の位置で確実に折ることができ、また圧電振動板全
体の厚みを可及的に均一化できて、焼成時の歪みや反り
を最小限に抑えることができる。
封止した流路ユニットを外部から膨張、収縮させる形式
の記録ヘッドについて説明したが、図12に示したよう
に圧電振動子40の間の空間41を圧力発生室として使
用するザール方式のインクジェット式記録ヘッドに対し
ても同様に適用することができる。
0’の側方領域には内部電極42が存在しない圧電材料
43だけの領域を形成し、この圧電材料43だけで形成
された領域W6に切断線Cを設定することにより、全体
の幅を正確に規定することができる。
他の実施例を、その製造工程で示すものであって、この
実施例におけるダミーの圧電振動子は、圧電振動板と第
2の部材とを合体させて構成されている。
の接続用の電極となる外部電極24、25が形成された
圧電振動板27の両側面に、圧電振動板27の厚みより
も若干ΔG1薄く、しかも先端面よりも若干ΔG2だけ
固定基板28側に位置するように、アルミナ等のセラミ
ックや、不錆鋼等の金属のブロック50を接着層を介し
て固定する。またブロック50の固定基板28との対向
面も接着層を介して固定する(図13(I))。
する場合には、圧電振動板27は、前述した実施例と同
様に側面に内部電極を露出させないようにするのが望ま
しい。
カバー出来る面積を備えた分極電圧印加用電極を、各接
続用電極24、25に当接させて分極処理を行う。この
とき、ブロック50が圧電振動板27よりも薄いため、
分極電圧印加用電極が圧電振動板27に確実に接触す
る。
断具により、両側の切断線C、Cがブロック50に位置
するように設定して、ダミーの圧電振動子7’の幅、及
び駆動用圧電振動子5の幅に一致するように歯割する
(図13(II))。この切断工程において、ブロック5
0は単一の材料で構成されているから、スムーズに切断
が進行し、意図した切断線に一致する切断面で切断が可
能となる。
0’、50’を除去すると、圧電振動子ユニットが完成
する(図13(III))。もとより、単一材料であるか
ら比較的簡単に折る取ることができる。
トのダミーの圧電振動子7’は、先端位置を高い精度で
形成された圧電振動板27により規定されるから、流路
ユニットに対して高い位置精度で位置決めが可能とな
り、またダミーの圧電振動子7’は、圧電材料よりも靭
性が高いブロック50により補強されているため、ブロ
ック50の外側面を基準とするようにヘッドホルダに挿
入しても、その組立工程中の外力に十分抗して破損を防
止することができる。
d31の圧電振動板にブロックを設ける場合について説明
したが、圧電定数d33として構成された圧電振動板から
圧電振動子を切り出す場合のダミーの圧電振動子の形成
に適用しても同様の作用を奏することは明らかである。
圧電振動子の列設方向の少なくとも一端にダミーの振動
子を配置するとともに、ダミーの圧電振動子の外方側面
近傍領域に内部電極が存在しない領域を設けたので、ダ
ミーの圧電振動子の外方側面の切り出し時に、内部電極
の高い硬度に基因する切断線のずれが少なく、高い精度
で形状を整えることができ、ダミーの圧電振動子を位置
決め基準体に使用して圧電振動子ユニットを高い精度で
位置決めできる。
例を、駆動用圧電振動子の領域での断面構造で示す図で
ある。
の断面構造で示す図である。
付け構造を示す図である。
図である。
トの製造方法の内、圧電振動板の製造方法の前半の工程
を示す図である。
トの製造方法の内、圧電振動板の製造方法の後半の工程
を示す図である。
トの製造方法の内、圧電振動板を用いて圧電振動子を形
成する工程を示す図である。
す図である。
クジェット式記録ヘッドの他の実施例を、圧電振動子ユ
ニット、及び駆動用圧電振動子の断面構造を示す図であ
る。
示す斜視図である。
ヘッドへの適用例を示す図である。
電振動子ユニットの他の実施例を、その製造工程で示す
図である。
れている圧電振動子ユニットの一例を示す図である。
Claims (25)
- 【請求項1】 圧電材料と内部電極とを交互に積層して
軸方向に伸長する圧電振動子を複数、同一基板に配列し
た圧電振動子ユニットを備え、前記圧電振動子により圧
力発生室の容積が膨張、縮小されるインクジェット式記
録ヘッドにおいて、 前記圧電振動子の列設方向の両側に前記内部電極が存在
しない領域が設けられ、該内部電極が存在しない領域に
形成され、スリットにより分離された前記内部電極が存
在しない折損片と、前記内部電極が存在する領域と前記
内部電極が存在しない領域とを含むダミーの圧電振動子
と、を備えたインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項2】 前記圧電振動子が、軸方向に平行に異な
る極の第1の内部電極と第2の内部電極とをそれぞれ各
端面でのみ露出させ、かつ振動領域でラップするように
前記圧電材料を介装して積層した圧電定数d31の圧電振
動子として形成されている請求項1に記載のインクジェ
ット式記録ヘッド。 - 【請求項3】 前記圧電振動子が、軸方向に直交する異
なる極の第1の内部電極と第2の内部電極とをそれぞれ
一方の側面でのみ露出させ、かつ振動領域でラップする
ように圧電材料を介装して積層した圧電定数d33の圧電
振動子として形成されている請求項1に記載のインクジ
ェット式記録ヘッド。 - 【請求項4】 前記各内部電極とそれぞれ導通して信号
供給手段と接続する外部電極が形成されている請求項1
に記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項5】 前記ダミーの圧電振動子に形成された前
記外部電極が、前記ダミーの圧電振動子の幅よりも狭い
ことを特徴とする請求項4に記載のインクジェット式記
録ヘッド。 - 【請求項6】 前記圧電振動子ユニットが、リザーバ、
インク供給口、及び圧力発生室を区画、形成する流路形
成基板と、前記圧電振動子の先端に当接して前記圧力発
生室の容積を膨張、収縮させる弾性板と、前記流路形成
基板の他方の面を封止してインク滴を吐出させるノズル
開口を備えたノズルプレートとを液密に積層した流路ユ
ニットに、前記ダミーの圧電振動子を位置決め基準体と
してヘッドホルダを介して当接している請求項1に記載
のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項7】 前記ダミーの圧電振動子の外方側面が、
前記ヘッドホルダーとの位置決め面として機能する請求
項6に記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項8】 前記ダミーの圧電振動子の外方側面に、
ブロックが固定配置されている請求項1に記載のインク
ジェット式記録ヘッド。 - 【請求項9】 前記ブロックが前記圧電振動子の厚みよ
りも薄く、かつ前記圧電振動子の先端面よりも固定基板
側に位置している請求項8に記載のインクジェット式記
録ヘッド。 - 【請求項10】 前記ブロックが、前記圧電振動子より
も靭性の高い材料により構成されている請求項8に記載
のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項11】 前記ブロックがセラミックまたは金属
により構成されている請求項8に記載のインクジェット
式記録ヘッド。 - 【請求項12】 前記ダミーの圧電振動子の外側方に前
記ブロックの折損片が存在する請求項8に記載のインク
ジェット式記録ヘッド。 - 【請求項13】 圧電材料と内部電極とを交互に積層し
て軸方向に伸長する圧電振動子を複数、同一基板に配列
した圧電振動子ユニットにおいて、前記圧電振動子の列
設方向の両側に前記内部電極が存在しない領域が設けら
れ、該内部電極が存在しない領域に形成され、スリット
により分離された前記内部電極が存在しない折損片と、
前記内部電極が存在する領域と前記内部電極が存在しな
い領域とを含むダミーの圧電振動子と、を備えた圧電振
動子ユニット。 - 【請求項14】 前記ダミーの圧電振動子の外方側面近
傍が、前記圧電材料だけで形成されている請求項13に
記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項15】 前記圧電振動子が、軸方向に平行に異
なる極の第1の内部電極と第2の内部電極とをそれぞれ
各端面でのみ露出させ、かつ振動領域でラップするよう
に前記圧電材料を介装して積層した圧電定数d31の圧電
振動子として形成されている請求項13に記載の圧電振
動子ユニット。 - 【請求項16】 前記圧電振動子が、軸方向に直交する
異なる極の第1の内部電極と第2の内部電極とをそれぞ
れ一方の側面でのみ露出させ、かつ振動領域でラップす
るように前記圧電材料を介装して積層した圧電定数d33
の圧電振動子として形成されている請求項13に記載の
圧電振動子ユニット。 - 【請求項17】 前記ダミーの圧電振動子の外側方に折
損片が存在する請求項13に記載の圧電振動子ユニッ
ト。 - 【請求項18】 前記各内部電極とそれぞれ導通して信
号供給手段と接続する外部電極が形成されている請求項
13に記載の圧電振動子ユニット。 - 【請求項19】 前記ダミーの圧電振動子に形成された
前記外部電極が、前記ダミーの圧電振動子の幅よりも狭
いことを特徴とする請求項18に記載の圧電振動子ユニ
ット。 - 【請求項20】 前記ダミーの圧電振動子の外方側面
に、ブロックが固定配置されている請求項13に記載の
圧電振動子ユニット。 - 【請求項21】 前記ブロックが前記圧電振動子の厚み
よりも薄く、かつ前記圧電振動子の先端面よりも固定基
板側に位置している請求項20に記載の圧電振動子ユニ
ット。 - 【請求項22】 前記ブロックが、前記圧電振動子より
も靭性の高い材料により構成されている請求項20に記
載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項23】 前記ブロックがセラミックまたは金属
により構成されている請求項20に記載の圧電振動子ユ
ニット。 - 【請求項24】 前記ダミーの圧電振動子の外方側面に
前記ブロックの折損片が存在する請求項20に記載の圧
電振動子ユニット。 - 【請求項25】 所定のサイズと厚みの圧電材料に、ダ
ミーの圧電振動子の外方の切り出し線よりも内側の領域
にだけ導電層を形成しながら交互に積層する工程と、 所定の厚みまで積層が終了した段階で焼成する工程と、 表面に接続用の外部電極を形成する工程と、 非振動領域を固定基板に固定して駆動用圧電振動子を前
記導電層が形成されている領域で歯割し、また前記ダミ
ーの圧電振動子を前記導電層が存在しない領域で歯割す
る工程と、 前記ダミーの圧電振動子の外方側の領域を折損する工程
と、 からなるインクジェット式記録ヘッド用の圧電振動子ユ
ニットの製造方法。
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JP2000086579A JP3452133B2 (ja) | 1999-03-29 | 2000-03-27 | インクジェット式記録ヘッド、及びこれに使用する圧電振動子ユニット、及び圧電振動子ユニットの製造方法 |
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JPH11300961A (ja) | インクジェット式記録ヘッド及びその製造方法 |
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