DE4435914C2 - Piezoelektrischer Antrieb für einen Tintenstrahlaufzeichnungskopf und Verfahren zu dessen Herstellung - Google Patents
Piezoelektrischer Antrieb für einen Tintenstrahlaufzeichnungskopf und Verfahren zu dessen HerstellungInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung betrifft einen piezoelektri
schen Antrieb für einen Tintenstrahlaufzeichnungskopf, nach
dem Oberbegriff des Patentanspruches 1, und ein Verfahren zu
dessen Herstellung.
Aus Patent Abstracts of Japan M-1456 mit JP 5-84 907A
ist ein derartiger piezoelektrischer Antrieb bekannt, bei dem
an der der Vibrationsplatte zugewandten Stirnfläche der Vi
bratoren ein die Kontaktfläche mit der Vibrationsplatte ver
größerndes Element vorgesehen ist. Dieses Element übergreift
dabei die Stirnfläche des Vibrators und schließt damit nicht
bündig mit dieser ab. Ein ähnlicher Stand der Technik ist
auch aus JP 5-212 861A (vgl. die zugehörigen nachveröffent
lichten Patent Abstracts of Japan M-1520) bekannt.
Es ist daher die Aufgabe der Erfindung, einen neuen pie
zoelektrischen Antrieb für einen Tintenstrahlaufzeichnungs
kopf anzugeben, der bei geringer Größe der piezoelektrischen
Vibratoren eine Verschiebung eines für die Tröpfchenerzeugung
ausreichend großen Abschnittes einer Vibrationsplatte gewähr
leistet, und ein Verfahren zur leichten Herstellung des pie
zoelektrischen Antriebs mit großer Genauigkeit bereitzustel
len.
Diese Aufgabe löst die Erfindung durch einen piezoelek
trischen Antrieb gemäß dem unabhängigen Patentanspruch 1 und
den Verfahren zu dessen Herstellung gemäß den unabhängigen
Patentansprüchen 13 und 18.
Vorteilhafte Ausgestaltungen, Details und Aspekte der
vorliegenden Erfindung ergeben sich aus den abhängigen Pa
tentansprüchen, der Beschreibung sowie den Zeichnungen.
Die beiliegenden Zeichnungen zeigen:
Fig. 1 eine perspektivische Darstellung einer piezoelek
trischen Vibratoranordnung gemäß einer Ausführungs
form der Erfindung,
Fig. 2 eine Schnittdarstellung eines Beispiels eines Tin
tenstrahlaufzeichnungs- bzw. -druckkopfes, der die
piezoelektrische Vibratoranordnung gemäß Fig. 1 ver
wendet,
Fig. 3 perspektivische Darstellungen zur Erläuterung eines
Herstellungsverfahrens für die Anordnung gemäß
Fig. 1,
Fig. 4 eine perspektivische Darstellung einer Anordnung
einer Vorrichtung zur Bildung von piezoelektrischen
Vibratoren,
Fig. 5 eine andere Ausführungsform der Erfindung, insbe
sondere Fig. 5(a) eine Schicht zur Bildung einer
Frontplatte und einer Hinterplatte, Fig. 5(b) eine
Schicht zur Bildung einer piezoelektrischen Platte,
Fig. 5(c) ein Laminat dieser Schichten,
Fig. 6 eine perspektivische Darstellung einer piezoelek
trischen Platte einer anderen Ausführungsform der
Erfindung,
Fig. 7 eine perspektivische Darstellung zur Erläuterung
eines Herstellungsverfahrens der piezoelektrischen
Platte gemäß Fig. 6,
Fig. 8 eine perspektivische Darstellung einer anderen Aus
führungsform der Erfindung,
Fig. 9 eine perspektivische Darstellung einer piezoelek
trischen Vibratoranordnung gemäß einer weiteren
Ausführungsform der Erfindung,
Fig. 10 eine piezoelektrische Vibratoranordnung gemäß einer
weiteren Ausführungsform der Erfindung, nämlich die
Teile (a) und (b) von Fig. 10 perspektivische Dar
stellungen des oberen und des unteren Teils der
piezoelektrischen Vibratoranordnung, und der Teil
(c) eine Frontansicht der piezoelektrischen Vibra
toranordnung,
Fig. 11 eine perspektivische Darstellung eines Herstel
lungsverfahrens für die piezoelektrische Vibra
toranordnung gemäß Fig. 10,
Fig. 12 eine Schnittdarstellung eines Beispiels eines Tin
tenstrahldruckkopfes, der die piezoelektrischen Vi
bratoranordnungen gemäß Fig. 10 verwendet, wobei
die Dummyvibratoren und die piezoelektrischen Vi
bratoren davon gezeigt werden,
Fig. 13 eine perspektivische Darstellung einer piezoelek
trischen Vibratoranordnung gemäß einer weiteren
Ausführungsform der Erfindung,
Fig. 14 eine perspektivische Darstellung der Anordnung ge
mäß Fig. 13, die in vorgegebenen Abständen wie die
Zähne eines Kamms in Stücke geschnitten ist,
Fig. 15 die Herstellungsschritte gemäß einer weiteren Aus
führungsform der Erfindung,
Fig. 16 die Herstellungsschritte für eine weitere Ausfüh
rungsform der Erfindung,
Fig. 17 eine Schnittdarstellung einer Struktur eines Tin
tenstrahldruckkopfes, der die piezoelektrische Vi
bratoranordnung gemäß Fig. 16 verwendet.
Bevorzugte Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung
werden mit Bezug auf die beiliegenden Zeichnungen beschrie
ben.
Fig. 1 zeigt einen piezoelektrischen Antrieb gemäß einer
Ausführungsform der Erfindung.
In Fig. 1 bezeichnet das Bezugszeichen 1 eine piezoelek
trische Vibratoranordnung, aus der der piezoelektrische An
trieb gebildet wird. Die Anordnung 1 umfaßt eine piezoelek
trische Platte 2, die wie die Zähne eines Kamms in Stücke ge
schnitten ist, mit einer Frontplatte 6, die geeignet ist, um
eine Kontaktfläche zu vergrößern, und einer Metallplatte 10,
die durch eine Hinterplatte 7 fest an dem rückwärtigen Be
reich der piezoelektrischen Platte 2 befestigt ist, wobei die
Hinterplatte 7 geeignet ist, die piezoelektrischen Elemente
zu verbinden und somit die piezoelektrische Platte 2 an einen
Tintenstrahldruckkopf zu koppeln.
In der Anordnung 1 wird insbesondere eine der wesentli
chen Bestandteile, nämlich die piezoelektrische Platte 2, wie
folgt gebildet: Zuerst wird eine pastenartige Schicht 2a aus
piezoelektrischem Material mit einem Frontbereich, einem
rückwärtigen Bereich und einem mittleren Bereich erhalten,
der sich in Längsrichtung gesehen dazwischen befindet. Lei
tende Schichten 2b werden in dem mittleren Bereich auf die
pastenartige Schicht 2a aus piezoelektrischem Material lami
niert, so daß der mittlere Bereich als ein aktiver Bereich 5
dient. Die verbleibenden Bereiche, d. h. der Frontbereich und
der rückwärtige Bereich dienen jeweils als
inaktiver Frontbereich 4f und inaktiver rückwärtiger Bereich
4r. Die Frontplatte 6 und die Hinterplatte 7 werden gebildet,
indem ein pastenartiges freischneidbares keramisches Material
verwendet wird, beispielsweise das gleiche Material wie das
piezoelektrische Material. Die so gebildete Frontplatte 6 und
Hinterplatte 7 sind jeweils am inaktiven Frontbereich 4f und
inaktiven rückwärtigen Bereich 4r angebracht. Diese
Bestandteile werden dann durch Sintern als eine Einheit
ausgebildet.
Bei der in Fig. 3(e) gezeigten Ausführungsform wird der
Frontbereich der piezoelektrischen Platte 2 zusammen mit der
Frontplatte 6 wie die Zähne eines Kamms mit einer Drahtsäge
oder einer Würfelsäge in Stücke geschnitten bis die
Schnittlinie die gerade Linie erreicht, die die rückwärtige
Kante der Spitze 6a der Frontplatte 6 und die Frontkante 4ra
des inaktiven rückwärtigen Bereichs 4r verbindet. Die so
erhaltenen Stücke sind piezoelektrische Antriebselemente 3,
welche, als Antwort auf eine daran angelegte Spannung, quer
zu dem elektrischen Feld bewegt werden, um die Tinte in den
entsprechenden Druckkammern unter Druck zu setzen.
Bei der so geformten und in Fig. 3(c) gezeigten
piezoelektrischen Platte 2 wird eine externe Elektrode 8
beispielsweise durch Aufdampfen ausgebildet, welche sich von
der untere Oberfläche des aktiven Bereichs 5 über die
Oberfläche der Frontplatte 6 zu der oberen Oberfläche des
aktiven Bereichs 5 erstreckt, und auf ähnliche Weise wird
eine externe gemeinsame Elektrode 9 ausgebildet, welche sich
von dem inaktiven rückwärtigen Bereich 4r zur rückwärtigen
Endfläche 7a der Hinterplatte 7 erstreckt. Danach wird die
Metallplatte 10 aus rostfreiem Stahl oder ähnlichem fest an
der in Fig. 3(d) gezeigten Hinterplatte 7 angebracht. Somit
wurde die piezoelektrische Vibratoranordnung 1 ausgebildet.
Fig. 2 zeigt einen Tintenstrahldruckkopf, der mit den oben
beschriebenen piezoelektrischen Vibratoranordnungen 1
versehen ist.
Wie ebenfalls in Fig. 2 gezeigt, bezeichnet das Bezugszeichen
41 eine Düsenplatte, die eine Anzahl von Düsen 43 auf beiden
Seiten eines flußweg-bildenden Abstandhalters, die in einer
Richtung senkrecht zur Zeichenebene angeordnet sind. Hinter
der Düsenplatte 41, wird eine Vibrationsplatte 47 parallel zu
der Düsenplatte 41 durch eine gemeinsame Tintenkammer 44 und
Druckkammern 45 bereitgestellt, welche auf einer flußweg
bildenden Platte ausgebildet sind, so daß ein flußweg
bildendes Element 40 gebildet wird.
Auf der rückwärtigen Oberfläche der Vibrationsplatte 47 sind
ringförmige Rillen 48 entlang der Ränder der Druckkammern 45
ausgebildet, so daß Inselbereiche 49 bereitgestellt werden,
die wie folgt wirken: Als Antwort auf die Verschiebung der
piezoelektrischen Vibratoren 3 werden die Inselbereiche 49
nach innen gebogen während sie parallel zu der Düsenplatte 41
gehalten werden.
Weiterhin bezeichnet in Fig. 2 das Bezugszeichen 51 einen
Halteblock aus Plastik, der fest an der rückwärtigen
Oberfläche des flußweg-bildenden Elements 40 befestigt ist,
um die piezoelektrischen Vibratoranordnungen 1 zu
positionieren. Der Halteblock 51 besitzt zwei Löcher 52 zur
Anbringung der piezoelektrischen Vibratoreinheit, welche eine
Breite besitzen, die der longitudinalen Länge der
Druckkammern 45 entspricht, und welche entlang der Linie der
Düsen 43 angeordnet sind. Der Halteblock 51 ist mittels eines
Klebstoffs auf der Vibrationsplatte angebracht, indem ein in
dem Flußwege bildenden Element 40 ausgebildetes Referenzloch
ausgenutzt wird.
Ein Paar piezoelektrischer Vibratoranordnungen 1 werden in
die Anbringungslöcher 52 so eingesetzt, daß sie einander
gegenüberliegen. Wie in Fig. 3(d) gezeigt, ist die
Metallplatte 10 größer als die Hinterplatte 7, dies bedeutet,
die Metallplatte 10 steht über das obere, das untere, das
linke sowie das rechte Ende der Hinterplatte 7 hinaus. Die
Metallplatten 10 sind an die Oberfläche der Anbringungslöcher
52 durch einen Klebstoff 54 gebunden. Bei diesem Vorgang wird
jede der Metallplatten 10 positioniert, indem Führungsrillen
verwendet werden, die an beiden Seiten des Anbringungslochs
52 ausgebildet sind, so daß die piezoelektrischen Vibratoren
3 mit hoher Genauigkeit auf den Inselbereich 49 der
Vibrationsplatte 47 gesetzt werden und auch verhindert wird,
daß die piezoelektrischen Vibratoren 3 in der Richtung der
Dicke geneigt sind. Dies bedeutet, das Positionieren der
Metallplatte 10 in der oben beschriebenen Art und Weise
ermöglicht es, daß die piezoelektrischen Vibratoren 3 mit der
rückwärtigen Oberfläche der Inselbereiche 49 der
Vibrationsplatte 47 mit einem Klebstoff 59 verbunden werden.
Der Klebstoff 59 wird auf die Endflächen der
piezoelektrischen Vibratoren 3 aufgebracht, wobei die
Endflächen der piezoelektrischen Vibratoren 3 in ebenen
Kontakt mit den Inselbereichen 49 stehen. Fig. 2 zeigt
ebenfalls ein Schaltungsplatte 55, die auf dem Positionier-
und Halteblock 51 bereitgestellt ist, und flexible Kabel 56.
Mit Bezug auf Fig. 2 bietet die piezoelektrische
Vibratoranordnung der vorliegenden Erfindung die folgenden
Vorteile. Die Hinterplatte 7 erhöht die Stabilität der
piezoelektrischen Platte 2. Die Anordnung 1 kann leicht mit
einem Halteblock 51 verbunden werden, der auf der Rückseite
eines flußweg-bildenden Elements 40 angebracht ist. Die
piezoelektrischen Antriebselemente 3 einschließlich der
Frontplattenstücke 6 liegen gleichmäßig an den gesamten
Flächen der auf der Vibrationsplatte 47 ausgebildeten
Inselbereiche 49 an, so daß die Inselbereiche 49 gleichmäßig
gegen die Oberfläche der Düsenplatte 41 gedrückt werden, um
die Tinte in den Druckkammern 45 unter Druck zu setzen.
Im Folgenden wird die Herstellung der oben beschriebenen
piezoelektrischen Vibratoranordnung 1 mit Bezug auf Fig. 3
beschrieben.
Zuerst wird eine Schicht 2a aus piezoelektrischen Material,
die im wesentlichen die gleiche Konfiguration und Dicke wie
die piezoelektrische Platte 2 besitzt, ausgebildet, indem ein
pastenartiges piezoelektrisches Material wie
Bleititanzirconat oder Bariumtitanat verwendet wird. Als
nächstes wird die Schicht 2a aus piezoelektrischen Material
in Randbereiche unterteilt. Insbesondere werden in dem
mittleren Bereich der Schicht 2a aus piezoelektrischem
Material bis auf den Frontbereich mit einer Länge von 0,2 bis
1,0 mm, und dem rückwärtigen Bereich von etwa 3 mm Länge
leitende Schichten 2b aus Silberpalladium ausgebildet, so daß
diese sich überlappen. Die leitenden Schichten werden bis zu
einer Dicke von etwa 3 µm durch Beschichtung oder Aufdampfen
ausgebildet. Somit wurde ein Rohling für eine
piezoelektrische Platte 2 vom Einzelschichttyp mit dem
inaktiven Frontbereich 4f, dem inaktiven rückwärtige Bereich
4r und dem aktiven mittleren Bereich ausgebildet (siehe Fig.
3 (a-1)).
Eine piezoelektrische Platte vom Mehrschichttyp wird, wie in
Fig. 3 (a-2) gezeigt, ausgebildet. Eine pastenartige Schicht
2a aus piezoelektrischen Material wird bis zu einer Dicke von
etwa 15 bis 30 µm und leitende Schichten 2b werden
abwechseelnd bis zu einer Dicke von etwa 3 µm so ausgebildet,
daß sich interne Elektroden, die sich von dem Frontende und
rückwärtige Ende erstrecken, in dem mittleren Bereich der
Schicht 2a aus piezoelektrischen Material überlappen, wobei
Ränder im Frontbereich und im rückwärtigen Bereich zurück
bleiben. Dieser Vorgang wird mehrere Male wiederholt, um
einen Rohling für eine piezoelektrische Platte 2 vom
Mehrschichttyp zu erhalten, die inaktive Frontbereiche 4f und
inaktive rückwärtige Bereiche 4r besitzt.
Die verbleibenden Herstellungsschritte werden mit Bezug auf
die piezoelektrische Platte 2 vom Mehrschichttyp beschrieben.
Der so geformte Rohling für die piezoelektrische Platte 2
wird, wie in Fig. 3(b) gezeigt, weiterverarbeitet. Dies
bedeutet, die Frontplatte 6 und die Hinterplatte 7 werden
jeweils an dem inaktiven Frontbereich 4f bzw. am inaktiven
rückwärtigen Bereich 4r angebracht.
Insbesondere wird die Frontplatte 6 aus freischneidbarem
keramischen Material, die im wesentlichen die gleiche Dicke
wie die piezoelektrische Platte 2 besitzt, an dem inaktiven
Frontbereich 4f angebracht, wobei einer kleiner Spalt δ,
bevorzugt 0,0 bis 0,5 mm, zwischen der Frontplatte 6 und dem
aktiven Bereich 5 verbleibt. Die Hinterplatte 7, die dicker
als die Frontplatte 6 ist, wird in ähnlicher Weise an dem
inaktiven rückwärtigen Bereich 4r angebracht. Danach werden
die piezoelektrische Platte 2 und die Frontplatte 6
geschnitten, so daß ihre Frontflächen miteinander fluchten,
und dann werden die piezoelektrische Platte 2, die
Frontplatte 6 und die Hinterplatte 7 durch Sintern zu einer
Einheit verbunden. Alternativ können die Platten 2, 6 und 7
wie folgt bearbeitet werden: Nachdem sie durch Sintern zu
einer Einheit verbunden wurden, werden die piezoelektrische
Platte 2 und die Frontplatte 6 mit einer Würfelsäge oder
ähnlichem geschnitten, so daß die Frontflächen der Platten 2
und 6 miteinander fluchten. Die Frontplatte 6 und die
Hinterplatte 7 können über den aktiven Bereich 5 reichen,
wenn sie das Verschieben der piezoelektrischen Vibratoren
nicht behindern.
Als nächstes werden, wie in Fig. 3(c) gezeigt, externe
Segmentelektroden 8 auf der oberen und unteren Oberfläche des
aktiven Bereichs 5 einschließlich der Frontplatte 6
aufgedampft, indem Dampf in Richtung der Pfeile D und E
angewendet wird. Eine externe gemeinsame Elektrode 9 wird auf
der unteren Oberfläche des inaktiven rückwärtigen Bereichs 4r
und auf der Rückseite 7a der Hinterplatte 7 aufgedampft,
indem Dampf in Richtung des Pfeils F angewendet wird.
Wie oben beschrieben, wird die externe Segmentelektrode 8 auf
der Rückseite 6b der Frontplatte 6 und der oberen Oberfläche
der piezoelektrischen Platte 2 durch Aufdampfen in die
Richtung des Pfeils D ausgebildet. Um zu verhindern, daß die
Elektrode an der Kante 6a der Frontplatte 6 bricht, sollte
die Rückseite 6b der Frontplatte 6, wie in Fig. 9 gezeigt,
abgeschrägt sein. Zu diesem Zweck kann der vorgenannte
Sintervorgang verwendet werden, den Kontraktionskoeffizienten
des piezoelektrischen Materials etwas größer als den der
Frontplatte 6 zu machen, oder die Frontplatte 6 sollte
bearbeitet werden, daß die Rückseite 6b abgeschrägt ist.
Danach wird, wie in Fig. 3(d) gezeigt, die Metallplatte 10,
die sowohl länger als auch breiter als die Hinterplatte 7
ist, fest mit einem Klebstoff an der Hinterplatte 7
angebracht.
Schließlich wird die so gebildete piezoelektrische
Vibratoranordnung 1 wie folgt weiterbearbeitet: Die Anordnung
1 wird mit einer Spannvorrichtung festgehalten. Dann wird,
wie in Fig. 3(e) gezeigt, der Frontbereich der Anordnung 1 in
Abständen, die den Abständen der Anordnung der Düsen 43 (als
Winkel θ gezeigt) entsprechen, wie die Zähne eines Kamms in
Stücke geschnitten, bis die Schnittlinie die gerade Linie L
erreicht, die die rückwärtige Kante 6a der Spitze der
Frontplatte 6 und die Frontkante 4ra des inaktiven
rückwärtigen Bereichs 4r verbindet.
Fig. 4 zeigt ein Beispiel einer Vorrichtung zum Schneiden der
piezoelektrischen Vibratoranordnung 1. Abgeschrägte
Befestigungselemente 34 sind auf dem Körper einer
Spannvorrichtung 32 angebracht, der vertikal bewegt wird
während er parallel zu einer Drahtsäge 31 gehalten wird.
Inbesondere besitzt jedes abgeschrägte Befestigungselement 34
eine Oberfläche 33 zur Befestigung eines Werkstücks, die in
Übereinstimmung zu dem Neigungswinkel der obengenannten
geraden Linie L abgeschrägt ist, und ist fest auf dem Körper
der Spannvorrichtung 32 angebracht, wobei die Oberfläche 33
zur Befestigung eines Werkstücks schräg zu der Drahtsäge 31
gesetzt ist. Die Metallplatte 10 wird fest an der Oberfläche
33 zur Befestigung eines Werkstücks so befestigt, daß sich
der Frontbereich der piezoelektrischen Platte 2 nach oben
erstreckt. Unter diesen Bedingungen wird der Körper der
Spannvorrichtung 32 vertikal gegenüber der Drahtsäge 31
bewegt, um die piezoelektrische Vibratoranordnung in der oben
beschriebenen Art und Weise zu schneiden.
Fig. 5 zeigt eine andere Ausführungsform der Erfindung, bei
der eine Anzahl piezoelektrischer Platten 2 aus einer großen
Platte gebildet werden kann. Fig. 5(a) zeigt eine Schicht
zur Bildung einer Front- und einer Hinterplatte. Fig. 5(b)
zeigt eine Schicht 12a zur Bildung einer piezoelektrischen
Platte und Fig. 5(c) zeigt die Lamination dieser Schichten.
Zuerst wird eine Schicht 12a zur Bildung einer
piezoelektrischen Platte gebildet, indem ein pastenartiges
piezoelektrisches Material verwendet wird, das groß genug
ist, eine Anzahl von piezoelektrischen Platten 12 in der
Längsrichtung und in der Querrichtung darauf anzuordnen. Als
nächstes werden, wie in Fig. 5(b) gezeigt, zwei Arten von
internen Elektroden 12b, welche durch Schraffierungen
angedeutet sind, die nach recht und nach links aufwärts
abgeschrägt sind, als Muster abwechselnd gedruckt, während
die Schicht 12a zur Bildung einer piezoelektrischen Platte
festgeklemmt ist, wodurch aktive Bereiche 15 (Regionen mit
einer Kreuzschraffierung) in Abständen gebildet werden,
welche gleich oder etwas größer als Längsdimension der
piezoelektrischen Platte 12 sind.
Die Bildung der zwei verschiedenen Arten von internen
Elektroden 12b wird durchgeführt, indem eine Druckmaske
verwendet wird, welche auf das Zeichen (+) auf der Schicht
12a zur Bildung einer piezoelektrischen Platte gesetzt wird.
Bei der Bildung dieser internen Elektroden 12b, ist es
wichtig, daß sie sich nicht über die Schicht 12a zur Bildung
einer piezoelektrischen Platte hinaus erstrecken.
Die Schicht 14 zur Bildung der Frontplatte und der
Hinterplatte soll die Frontplatte 14f und die Hinterplatte
14r ausbilden. Die Schicht 14 zur Bildung der Frontplatte und
der Hinterplatte ist gleich groß wie die Schicht 12a zur
Bildung einer piezoelektrischen Platte. Wie in Teil (a) von
Fig. 5 gezeigt, besitzt die Schicht 14 zur Bildung der
Frontplatte und der Hinterplatte Bezugslöchern 14c, die mit
Bezugslöchern 12c in der Schicht 12a zur Bildung einer
piezoelektrischen Platte ausgerichtet sind. Mit den
Bezugslöchern 14c als Bezugspunkte werden Fenster 14d in der
Schicht 14 ausgebildet, die den Regionen der aktiven Bereiche
15 entsprechen. Danach wird die Schicht 14 auf die Schicht
12a zur Bildung einer piezoelektrischen Platte aufgebracht,
wobei Stifte in die Bezugslöcher 12c und 14c eingesetzt
werden, und dann werden diese Schichten durch Sintern unter
Druck zu einer Einheit ausgebildet.
Als nächstes wird das resultierende Produkt entlang einer
oder zwei Schnittlinien B geschnitten, welche die Frontplatte
14f und die Hinterplatte 14r definieren, und externe
Elektroden werden auf der Oberfläche davon ausgebildet.
Wie oben beschrieben, erstrecken sich die internen Elektroden
12b nicht über die Schicht 12a zur Bildung einer
piezoelektrischen Platte hinaus. Daher kann die Bildung der
externen Elektroden ohne eine Maske erreicht werden, die die
Außenseite der piezoelektrischen Platte bedeckt. Nach der
Bildung der externen Elektroden, wird für eine Minute eine
Spannung von 75 V zur Polarisation an diese Elektroden
angelegt. Danach wird das resultierende Produkt entlang
Schnittlinien A geschnitten, um eine Anzahl von
piezoelektrischen Platten 2 zu erhalten.
Wie in Fig. 2 gezeigt, sind die piezoelektrischen Vibratoren
3 bei der so gebildeten piezoelektrischen Vibratoranordnung 1
mit der Hinterplatte 7 zu einer gemeinsamen Basis verbunden
und die Frontplatte 6 ist in Übereinstimmung mit den
piezoelektrischen Vibratoren 3 geschnitten, so daß die
Inselbereiche 49 auf der Vibrationsplatte 47 gleichmäßig
gedrückt werden.
Fig. 6 und 7 zeigen ein weiteres Beispiel einer
piezoelektrischen Vibratoranordnung gemäß der Erfindung und
deren Herstellungsverfahren.
Bei der piezoelektrischen Vibratoranordnung 1 besitzt eine
piezoelektrische Platte 22 Dummyvibratoren 23' auf beiden
Seiten. Die Dummyvibratoren 23' werden nur dazu benutzt die
anderen Bestandteile während des Aufbau zu positionieren;
dies bedeutet, sie haben nichts mit dem Aufzeichnungsvorgang
des Aufzeichnungkopfes zu tun. Eine Frontplatte 26 und eine
Hinterplatte 27 sind miteinander über Seitenplatten 28
gekoppelt, die an den Dummyvibratoren 23' der
piezoelektrischen Platte 22 angebracht sind, so daß die
piezoelektrische Platte 22 während der Bildung und dem Einbau
der piezoelektrischen Vibratoranordnung 1 verstärkt wird.
Die Anordnung wird, wie in Fig. 7 gezeigt, hergestellt. Ein
Rohling 60 zur Bildung einer piezoelektrischen Platte von
relativ großer Fläche wird vorbereitet. Der Rohling 60 ist
ein Laminat mit einer Schicht 21a aus piezoelektrischen
Material und leitenden Schichten 21b, welche in den aktiven
Schichten der Schicht 21a bereitgestellt werden. In der
Längsrichtung des Rohlings 60 werden eine Vielzahl von
Platten 24, deren Breite a gleich oder etwas größer als die
Summe der Breiten w' der Frontplatte 26 und w" der
Hinterplatte 27 (siehe Fig. 6) ist, in Abständen auf die
inaktiven Bereiche des Rohlings 60 zur Bildung einer
piezoelektrischen Platte gelegt, die wenigstens der Länge der
piezoelektrischen Platte 22 entsprechen. In der Querrichtung
des Rohlings 60 werden Platten 29, deren Breite b gleich oder
etwas größer als zweimal die Breite w''' der Seitenplatte 28
ist, in Abständen auf die aktive Bereiche 25 des Rohlings 60
gelegt, die wenigstens der Breite der piezoelektrischen
Platte 22 entsprechen.
Als nächstes wird das resultierende Produkt in die
Längsrichtung und in die Querrichtung geschnitten.
Insbesondere in der Längsrichtung wird das Produkt entlang
der Linien B oder B' (doppelte Linie) geschnitten, welche die
Platten 24 in Frontplatten 26 und Hinterplatten 27 teilen;
und in der Querrichtung wird es entlang der Schnittlinien A
oder A' (doppelte Linie) geschnitten, welche die Platten 29
in zwei gleiche Teile teilen, um eine Vielzahl von
piezoelektrischen Platten 22 zu erhalten. Die
piezoelektrischen Platten 22 werden dann gesintert.
Alternativ kann zuerst das obengenannte Produkt gesintert,
und dann in der oben beschriebenen Weise geschnitten werden,
um eine Vielzahl von piezoelektrischen Platten 22 zu
erhalten. Danach wird, wie zuvor beschrieben, der
Frontbereich jeder der piezoelektrischen Platten 22 wie die
Zähne eines Kamms in Stücke geschnitten, um eine Anzahl von
piezoelektrischen Vibratoren 23 zu bilden.
Bei dem oben beschriebenen Verfahren werden die Frontplatte 6
(oder 26) und die Hinterplatte 7 (oder 27) an der
piezoelektrischen Platten 2 (oder 22) angebracht und zu einer
Einheit gesintert (siehe Fig. 3(b)). Die gleiche Wirkung kann
jedoch erzielt werden, indem die Bestandteile wie folgt
bearbeitet werden. Die piezoelektrische Platte 2 (oder 22),
die Frontplatte 6 (oder 26) und die Hinterplatte 7 (oder 27)
werden getrennt gesintert und zu einer Einheit
zusammengefaßt, indem ein passender Klebstoff verwendet wird.
Zusätzlich kann, wie in Fig. 8 gezeigt, ein Paar Frontplatten
6 fest an der oberen und unteren Oberfläche des inaktiven
Frontbereichs 4f der piezoelektrischen Platte 2 angebracht
werden. In diesem Fall können die Inselbereiche 49 der
Vibrationsplatte 47 mit hoher Stabilität über einen weiteren
Bereich gepreßt werden.
Fig. 10 zeigt eine andere Ausführungsform der Erfindung.
Insbesondere Fig. 10(a) ist eine perspektivische Draufsicht
und Fig. 10(b) ist eine perspektivische Unteransicht des
oberen und des unteren Teils eines weiteren Beispiels der
piezoelektrischen Vibratoranordnung der Erfindung, und Fig.
10(c) ist eine vordere Seitenansicht der Anordnung. In Fig.
10 bezeichnet das Bezugszeichen 23 die oben beschriebenen
piezoelektrischen Vibratoren; und das Bezugszeichen 23' die
oben beschriebenen piezoelektrischen Dummyvibratoren. Die
Dummyvibratoren 23' sind auf beiden Seiten einer Gruppe von
piezoelektrischen Vibratoren 23 bereitgestellt und sie werden
nur dazu benutzt die anderen Bestandteile während des Aufbau
zu positionieren; dies bedeutet, sie haben nichts mit dem
Aufzeichnungsvorgang des Aufzeichnungkopfes zu tun. Die oben
beschriebenen Hinterplatten 27 und 27' sind jeweils an den
oberen und unteren Oberflächen der rückwärtigen Bereiche der
piezoelektrischen Vibratoren 23 und der Dummyvibratoren 23'
angebracht. Auf ähnliche Art und Weise sind die oben
beschriebenen Frontplatten 26 und 26' jeweils an der oberen
und unteren Oberfläche der piezoelektrischen Vibratoren 23
angebracht. Zusätzlich sind Seitenplatten 28 und 28', die die
gleiche Länge wie die Dummyvibratoren 23' besitzen, an den
oberen und unteren Oberflächen von jedem der Dummyvibratoren
23' und 23' in solch einer Weise angebracht, daß sie mit den
Hinterplatten 27 und 27' verschmelzen.
Ein Herstellungsverfahren für die in Fig. 10 gezeigte
piezoelektrische Vibratoranordnung wird mit Bezugnahme auf
Fig. 11 beschrieben.
Zuerst wird ein Rohling 60 zur Bildung einer
piezoelektrischen Platte von relativ großer Fläche gebildet,
welcher ein Laminat aus Schichten 21a aus piezoelektrischen
Material und leitenden Schichten 21b ist. Eine Schicht 61
wird an einer Oberfläche des Rohling 60 gebildet, indem ein
keramisches Material oder das Material des Rohlings 60
verwendet wird. Insbesondere umfaßt die Schicht 61: eine
Vielzahl von Platten 24 mit einer Breite a, die gleich oder
etwas größer als die Summe der Breiten w' der Frontplatte 26
und w" der Hinterplatte 27 ist, die in Längsrichtung in
Abständen auf die inaktiven Bereiche 24 gelegt werden, die
wenigstens der Länge der piezoelektrischen Platte 22
entsprechen; und Platten 29, deren Breite b gleich oder etwas
größer als zweimal die Breite w''' der Seitenplatte 28 ist,
die in Querrichtung in Abständen auf die aktive Bereiche 25
gelegt werden, die wenigstens der Breite der
piezoelektrischen Platte 22 entsprechen.
Eine andere keramische Schicht 61' mit dem gleichen Aufbau
wie die oben beschriebene keramische Schicht 61 wird auf der
anderen Oberfläche des Rohlings 60 ausgebildet.
Als nächstes wird das resultierende Produkt in die
Längsrichtung und in die Querrichtung geschnitten.
Insbesondere in der Längsrichtung wird das Produkt entlang
der Linien B oder B' (doppelte Linie) geschnitten, welche die
Platten 24 in Frontplatten 26 und Hinterplatten 27 teilen;
und in der Querrichtung wird es entlang der Linien A oder A'
(doppelte Linie) geschnitten, welche die Platten 29 in zwei
gleiche Teile teilen, um eine Vielzahl von piezoelektrischen
Platten 22 zu erhalten. Die piezoelektrischen Platten 22
werden gesintert. Alternativ kann zuerst das obengenannte
Produkt gesintert, und dann in der oben beschriebenen Weise
geschnitten werden, um eine Vielzahl von piezoelektrischen
Platten 22 zu erhalten. Danach wird, wie zuvor beschrieben,
der Frontbereich jeder der piezoelektrischen Platten 22 wie
die Zähne eines Kamms in Stücke geschnitten, um eine Anzahl
von piezoelektrischen Vibratoren 23 zu bilden.
Wie in Fig. 12 gezeigt, werden die so gefertigten
piezoelektrischen Vibratoranordnungen in Anbringungslöcher 52
so eingesetzt, daß sie einander gegenüberliegen. Bei jeder
der Anordnungen steht die Metallplatte 10 über das obere, das
untere, das linke sowie das rechte Ende der Hinterplatten 27
und 27' hinaus. Die Metallplatten 10 sind an die Oberflächen
der Anbringungslöcher 52 durch einen Klebstoff 54 gebunden.
Bei diesem Vorgang wird jede der Metallplatten 10
positioniert, indem Führungsrillen verwendet werden, die an
beiden Seiten des Anbringungslochs 52 ausgebildet sind, so
daß die piezoelektrischen Vibratoren mit hoher Genauigkeit
auf die Inselbereiche 49 der Vibrationsplatte 47 gesetzt
werden und verhindert wird, daß die piezoelektrischen
Vibratoren 3 in der Richtung der Dicke geneigt sind. Dies
bedeutet, das Positionieren der Metallplatte 10 in der oben
beschriebenen Art und Weise ermöglicht es, daß die
piezoelektrischen Vibratoren 3 mit der rückwärtigen
Oberfläche der Inselbereiche 49 der Vibrationsplatte 47 mit
einem Klebstoff 59 verbunden werden. Der Klebstoff 59 wird
auf die Endflächen der piezoelektrischen Vibratoren 3
aufgebracht, wobei die Endflächen der piezoelektrischen
Vibratoren 3 in ebenen Kontakt mit den Inselbereichen 49
stehen.
Bei der oben beschriebenen Ausführungsform werden die
Dummyvibratoren 23' durch Seitenplatten 28 und 28' verstärkt
und daher werden sie positiv daran gehindert, sich im
Aufzeichnungskopf zu biegen.
Fig. 13 zeigt eine andere Ausführungsform der Erfindung. Bei
dieser Ausführungsform wird eine piezoelektrische
Vibrationsplatte 64 dadurch ausgebildet, daß abwechselnd
piezoelektrisches Material 60 und leitende Schichten 63 und
62 laminiert werden. Hinterplatten 65 und 66 werden fest an
der oberen und unteren Oberfläche des rückwärtigen Bereichs
der piezoelektrischen Vibrationsplatte 64 angebracht. Die
anderen Elektroden, nämlich externe leitende Schichten 67,
welche in der Ausführungsform gemeinsame Elektroden sind,
werden auf der oberen und unteren Oberfläche der
piezoelektrischen Vibrationsplatte 64 so ausgebildet, daß sie
sich jeweils vom vorderen Ende der piezoelektrischen
Vibrationsplatte 64 zu den Grenzlinien der Hinterplatten 65
und 66 erstrecken. Frontplatten 69 und 70 werden jeweils fest
an der oberen und unteren Oberfläche des Frontbereichs der
piezoelektrischen Vibrationsplatte 64 angebracht. Die
Hinterplatten 65 und 66 und die Frontplatten 69 und 70 sind
aus keramischen bevorzugt piezoelektrischen Material
hergestellt.
Eine leitende Schicht 73 wird auf der Frontfläche des
resultierenden Produkts so ausgebildet, daß sie elektrisch
leitend mit der leitenden Schicht 67 auf der oberen
Oberfläche der piezoelektrischen Vibrationsplatte 64 und mit
den auf der Frontfläche hevortretenden leitenden Schichten 63
verbunden ist. Die Hinterplatten 65 und 66 besitzen leitende
Schichten 74 und 75 und leitende Schichten 77 und 78. Die
leitenden Schichten 74 und 75 sind auf einer Seite und auf
einem Teil der oberen Oberfläche der Hinterplatte 65 so
bereitgestellt, daß sie elektrisch leitend mit der leitenden
Schicht 67 auf der oberen Oberfläche der piezoelektrischen
Vibrationsplatte 64 verbunden sind. Auf der oberen Oberfläche
der Hinterplatte 65 ist eine isolierende Region 76 mit einer
vorgebenden Breite neben der leitenden Schicht 75
bereitgestellt. Weiterhin ist eine leitende Schicht 78 auf
der oberen Oberfläche der Hinterplatte 65 neben der
isolierenden Region 76 bereitgestellt und die leitende
Schicht 77 ist auf der Rückfläche des Produkts so
bereitgestellt, daß sie elektrisch mit den anderen Elektroden
(Antriebselektroden in der Ausführungsform) nämlich mit den
auf der Rückfläche der piezoelektrischen Vibrationsplatte 64
hevortretenden leitenden Schichten 62 verbunden ist.
Wie in Fig. 14 gezeigt, wird die so ausgebildete
piezoelektrische Vibrationsplatte 64 fest auf einem Substrat
10 angebracht, und dann wird wie oben beschrieben ihr
Frontbereich wie die Zähne eines Kamms in Stücke geschnitten.
Danach wird ein Kabel 82 mit einem leitenden Streifen 80 und
leitenden Streifen 81 im Frontbereich an die so verarbeitete
piezoelektrische Vibrationsplatte 64 angelötet, so daß der
leitende Streifen 80 mit der gemeinsamen Elektrode, nämlich
der leitenden Schicht 75, und die leitenden Streifen 81 mit
der leitenden Schicht 78 verbunden sind, die in einem
vorbestimmten Abstand geteilt ist.
Bei der in Fig. 14 gezeigten Ausführungsform sind die
strukturgleichen Frontplatten 69 und 70 auf der oberen und
unteren Oberfläche des Frontbereichs von jedem der
piezoelektrischen Vibratoren 23 angebracht. Auf ähnliche Art
und Weise sind die strukturgleichen Hinterplatten 65 und 66
auf der oberen und unteren Oberfläche des rückwärtigen
Bereichs der piezoelektrischen Vibratoren 23 angebracht. Die
Frontplatten und die Hinterplatten verhindern aufgrund der
symetrischen Struktur, daß sich die piezoelektrischen
Vibratoren während der Herstellung biegen. Die externen
leitenden Schichten 67 verhindern ebenfalls, daß sich die
piezoelektrischen Vibratoren biegen, indem sie die
piezoelektrischen Vibratoren verstärken. Da die Hinterplatten
65 eine größere mechanische Stärke als die piezoelektrischen
Vibratoren 23 besitzen, kann das Kabel 82, das mit den
Hinterplatten verbunden ist, positiv mit den
piezoelektrischen Vibratoren verbunden werden. Weiterhin
können, wenn notwendig, leitenden Schichten zusätzlich auf
der leitenden Schicht 67 ausgebildet werden, um den
elektrischen Verbindungswiderstand zu verringern. Dies ist
ein wichtiger Aspekt der vorliegenden Erfindung, da, wie in
Fig. 14 gezeigt, die piezoelektrischen Vibratoren in einem
Aufzeichnungskopf zum Drucken mit hoher Dichte traditionell
eine extrem kleine Breite besitzen und dementsprechend die
Verbindungsflächen zwischen dem Kabel und den
piezoelektrischen Vibratoren extrem klein sind, wodurch ein
extrem großer elektrischer Widerstand entsteht. Daher wird
eine große Menge an Wärme in dem Bereich, der die
Verbindungspunkte umgibt wie beispielsweise Ecken oder
Rillenlinien der in Fig. 3(e) gezeigten Frontplatte, erzeugt,
was Schäden in dem Aufzeichnugskopf verursachen kann. Durch
die Verringerung des Verbindungswiderstands ermöglicht es die
vorliegende Erfindung, wie in Fig. 14 gezeigt, die Menge von
thermische Schäden an den Aufzeichnugsköpfen zu verringern
und sie verringert weiter die Schäden, welche durch einen
Verlust an Antriebsenergie entstehen.
Fig. 15 zeigt ein Herstellungsverfahren für die oben
beschriebene piezoelektrische Vibratoranordnung. In Fig. 15
bezeichnet das Bezugszeichen 64 die piezoelektrische
Vibrationsplatte, die dadurch ausgebildet wird, daß
abwechselnd piezoelektrisches Material 60 und leitende
Schichten 63 und 62 laminiert werden. Die externen
Elektrodenschichten 67, die die gleiche Polarität wie die
leitenden Schichten 63 besitzen, werden auf der oberen und
unteren Oberfläche der piezoelektrischen Vibrationsplatte 64
durch Aufdampfen oder Beschichten so ausgebildet, daß sie
sich jeweils vom vorderen Ende der Platte 64 zu den
Grenzlinien der Hinterplatten 65 und 66 erstrecken (Fig. 15
(a) und (b)). Die Frontplatten 69 und 70 werden jeweils fest
an der oberen und unteren Oberfläche des Frontbereichs der
piezoelektrischen Vibrationsplatte 64 angebracht. Auf
ähnliche Art und Weise werden jeweils die Hinterplatten 65
und 66 fest an der oberen und unteren Oberfläche des
rückwärtigen Bereichs der piezoelektrischen Vibrationsplatte
64 angebracht. Wenn notwendig werden jeweils die äußeren
Bereiche der Frontplatten und die der Hinterplatten, wie in
Fig. 15(b) gezeigt, entlang der Linien C-C und C'-C'
geschnitten.
Die Frontplatten 69 und 70 und die Hinterplatten 65 und 66
werden ausgebildet, indem ein Rohling verwendet wird, der die
gleiche Zusammensetzung wie die piezoelektrische
Vibrationsplatte 64 besitzt, oder ein Rohling aus
freischneidbarer Keramik verwendet wird. Alternativ können
diese Rohlinge bis zu einer gewünschten Dicke
aufeinandergestapelt werden. Das resultierende Produkt wird
dann gesintert (siehe Fig. 15(b)).
Danach werden die leitende Schicht 73 auf den Frontflächen
der piezoelektrischen Vibrationsplatte 64 und die leitenden
Schichten 74 und 75 auf der oberen und der seitlichen
Oberfläche der Hinterplatten 65 und 66 und die leitenden
Schichten 77 und 78 werden auf einem Teil der oberen
Oberfläche der Hinterplatte 65 und der rückwärtigen Endfläche
jeweils ausgebildet. Die leitende Schicht 78 wird
Verbindungsterminal zu externen Geräten verwendet.
Das so gebildete Produkt wird fest, beispielsweise mit einem
Klebstoff, an einem Substrat 10 angebracht, und dann wird der
Frontbereich davon in vorbestimmten Abständen wie die Zähne
eines Kamms in Stücke geschnitten.
Fig. 16 zeigt Herstellungsschritte für ein anderes Beispiel
der piezoelektrischen Vibrationsplatte.
Auf ähnliche Art und Weise wird die piezoelektrische
Vibrationsplatte 64 ausgebildet, indem abwechselnd
piezoelektrisches Material 60 und leitende Schichten 63 und
62 laminiert werden. Die externen Elektrodenschichten 67, die
die gleiche Polarität wie die leitenden Schichten 63
besitzen, werden jeweils auf der oberen und unteren
Oberfläche der piezoelektrischen Vibrationsplatte 64 so
ausgebildet, daß sie sich jeweils vom vorderen Ende der
Platte 64 zu den Grenzlinien der Hinterplatten 65 und 66
erstrecken (Fig. 16(a)).
Wie in Fig. 16(b) gezeigt, werden die Frontplatten 85 und 86
jeweils fest an der oberen und unteren Oberfläche des
Frontbereichs der piezoelektrischen Vibrationsplatte 64
angebracht. Auf ähnliche Art und Weise werden jeweils die
Hinterplatten 87 und 88 fest an der oberen und unteren
Oberfläche des rückwärtigen Bereichs der Platte 64
angebracht.
Bei dieser Ausführungsform werden diese Platten 85, 86, 87
und 88 ausgebildet, indem abwechselnd Rohlinge 91, 93, 95 und
97 aus piezoelektrischem Material und leitende Schichten 90,
92, 94 und 96 wie folgt laminiert werden: für den Fall einer
piezoelektrischen Vibrationsplatte werden insbesondere die
Rohlinge 91 und die leitende Schicht 90 abwechselnd
laminiert, um die Frontplatte 85 zu bilden; die Rohlinge 93
und die leitenden Schichten 92 werden abwechselnd laminiert,
um die Frontplatte 86 zu bilden; die Rohlinge 95 und die
leitenden Schichten 94 werden abwechselnd laminiert, um die
Hinterplatte 87 zu bilden; und die Rohlinge 97 und die
leitenden Schichten 96 werden abwechselnd laminiert, um die
Hinterplatte 88 zu bilden.
Um zu verhindern, daß die externen leitenden Schichten 75 und
77 die leitenden Schichten 94 und 96, die jeweils in den
Hinterplatten 87 und 88 eingebettet sind, kurzschließen, sind
die leitenden Schichten 94 und 96 jeweils um einen
vorgegebenen Abstand g von den äußeren Endflächen der
Hinterplatten 87 und 88 nach innen verschoben. Die gleiche
Wirkung kann erzielt werden, indem Schnitte in die leitenden
Schichten 94 und 96 gemacht werden.
Bei der oben beschriebenen Ausführungsform sind die leitenden
Schichten in keramische Rohlinge eingebettet. Daher besitzt
das resultierende Produkt, nachdem es gesintert wurde, den
gleichen Grad an Kontraktion wie die piezoelektrischen
Vibrationsplatte, was ein Verziehen der piezoelektrischen
Vibrationsplatte effektiv verhindert. Die äußeren Endbereiche
der piezoelektrischen Vibrationsanordnung können, wenn
notwendig, wie in Fig. 16(b) gezeigt, geschnitten werden.
Danach werden, wie in Fig. 16(c) gezeigt, eine erste
leitende Schicht 73 auf den Frontflächen der
piezoelektrischen Vibrationsplatte 64 und auf den
Frontplatten 85 und 86, eine zweite leitende Schicht 78 auf
den Rückflächen der Hinterplatten 87 und 88 und eine dritte
leitende Schicht 75 auf einem Teil der oberen Oberflächen der
Hinterplatte 87 ausgebildet.
Unter diesen Bedingungen wird das resultierende Produkt,
ähnlich wie die oben beschriebene Ausführungsform, fest auf
einem Substrat 10 angebracht und dann wird es wie die Zähne
eines Kamms in vorgegebenen Abständen in Stücke geschnitten,
wie oben für die in Fig. 14 gezeigte Ausführungsform
beschrieben wurde.
Fig. 17 ist ein Querschnitt, der den Aufbau eines
Tintenstrahlaufzeichnungskopfes zeigt, welcher mit
piezoelektrischen Vibrationsanordnungen ausgestattet ist, die
in der oben beschrieben Art und Weise hergestellt wurden. Die
leitende Schicht 73, die auf der Frontfläche der Frontplatten
85 und 86 und der piezoelektrischen Vibrationsplatte 64
ausgebildet wurde, steht mit den Inselbereiche 49 in Kontakt.
Leitende Schichten 75 und 78, die auf der Hinterplatte 87
ausgebildet sind, sind mit dem Kabel 82 verbunden.
Wie in Fig. 16(b) gezeigt und oben beschrieben, sind
leitende Schichten 90, 92, 94 und 96 in die Frontplatten 85
und 86 und die Hinterplatten 87 und 88 eingebettet, was ein
Verziehen der piezoelektrischen Vibrationsplatte effektiv
verhindert.
Selbst wenn die Dicke der piezoelektrischen Vibrationsplatte
64 und dementsprechend die Dicke des piezoelektrischen
Materials 60 verringert wird, arbeitet daher die
resultierende piezoelektrische Vibratoranordnung mit hoher
Genauigkeit. Dies ermöglicht die Miniaturisierung des
Aufzeichnugskopfes und den Betrieb des Aufzeichnugskopfes bei
niedrigen Spannungen.
Bei der oben beschriebenen Ausführungsform sind die leitende
Schichten in die Frontplatten 85 und 86 und die Hinterplatten
87 und 88 eingebettet, welche fest an den oberen und unteren
Oberflächen der piezoelektrischen Platte 64 angebracht sind.
Dieses technische Konzept kann auf die in Fig. 1 gezeigte
piezoelektrische Vibratoranordnung angewendet werden, bei
welcher die Frontplatte und die Hinterplatte auf einer Seite
der piezoelektrischen Platte ausgebildet sind, indem Keramik
gesintert wurde. Dies bedeutet, auch in diesem Fall
verhindert die Einbettung der leitenden Schichten in die
Frontplatten und die Hinterplatten ein Verziehen der
piezoelektrischen Platte.
Claims (22)
1. Piezoelektrischer Antrieb für einen Tintenstrahlauf
zeichnungskopf, mit einer piezoelektrischen Platte
(2, 12, 22, 64), die zur Bildung von jeweils einer Tinten
druckkammer (45) zugeordneten Vibratoren (3, 23) in vor
gegebenen Abständen geschnitten ist und in die elek
trisch leitende Schichten (2b, 12b, 21b, 61, 62) derart la
miniert sind, daß in einem der Tintendruckkammer (45)
zugewandten Frontbereich der Vibratoren (3, 23) eine in
aktive Region (4f) und in einem an den Frontbereich an
schließenden Bereich eine aktive Region (5, 15, 25) gebil
det ist, wobei die Vibratoren (3, 23) jeweils eine der
Tintendruckkammer (45) zugewandte vordere Stirnfläche
und anderenends eine rückwärtige Stirnfläche aufweisen,
und wobei eine erste Frontplatte (6, 26, 69, 85) im Front
bereich der Vibratoren (3, 23) vorgesehen ist, die an ei
ner Vibrationsplatte (47) der Tintendruckkammer (45) an
liegt,
dadurch gekennzeichnet,
daß die erste Frontplatte (6, 26, 69, 85) an einer von der
vorderen Stirnfläche des Vibrators (3, 23) auf dessen
rückwärtige Stirnfläche zu verlaufenden ersten Oberflä
che des Vibrators (3, 23) in wenigstens der inaktiven Re
gion (4f) des Frontbereiches so angebracht ist, daß die
der Tintendruckkammer (45) zugewandte Fläche der ersten
Frontplatte (6, 26, 69, 85) mit der vorderen Stirnfläche
des jeweiligen Vibrators (3, 23) fluchtet und für jede
Tintendruckkammer (45) eine Kontaktfläche zu der Vibra
tionsplatte (47) gebildet ist aus der vorderen Stirnflä
che des Vibrators (3, 23) und der der Vibrationsplatte
(47) zugewandten Fläche der ersten Frontplatte (6, 26, 69,
85).
2. Piezoelektrischer Antrieb nach Ansprüch 1, dadurch ge
kennzeichnet, daß eine zweite Frontplatte (6; 70; 86) an
einer der ersten gegenüberliegenden zweiten Oberfläche
in wenigstens der inaktiven Region (4f) so angebracht
ist, daß die der Tintendruckkammer (45) zugewandte Flä
che der zweiten Frontplatte (6; 70; 86) mit der vorderen
Stirnfläche des Vibrators (3; 23) fluchtet und die Kon
taktfläche gebildet ist aus der vorderen Stirnfläche des
Vibrators und den der Vibrationsplatte (47) zugewandten
Flächen der ersten (6, 26, 69, 85) und der zweiten
(6, 70, 86) Frontplatte.
3. Piezoelektrischer Antrieb nach Anspruch 2, dadurch ge
kennzeichnet, daß eine der Tintendruckkammer (45) zuge
wandten Fläche gegenüberliegende rückwärtige Endfläche
(6b) der ersten Frontplatte (6, 26, 69, 85) und der zweiten
Frontplatte (6; 26; 70; 86) nach hinten abgeschrägt ist.
4. Piezoelektrischer Antrieb nach einem der Ansprüche 1 bis
3, dadurch gekennzeichnet, daß die piezoelektrische
Platte (2; 22; 64) eine inaktive rückwärtige Region (4r)
aufweist, wobei der piezoelektrische Antrieb (1) eine
Hinterplatte (7; 27; 65; 87) zur Kopplung der Vibratoren
(3; 23) aufweist, die wenigstens an der ersten Oberfläche
in wenigstens der inaktiven Region (4f) angebracht ist,
wobei die Hinterplatte (7; 27; 65; 87) eine rückwärtige
Endfläche und eine von der ersten Oberfläche der Vibra
toren (3, 23) abgewandte Oberfläche aufweist.
5. Piezoelektrischer Antrieb nach Anspruch 4, dadurch ge
kennzeichnet, daß Seitenplatten (28, 28) an beiden Seiten
der piezoelektrischen Platte (2; 22; 64) so angebracht
sind, daß diese Seitenplatten (28, 28) in die Frontplatte
(6; 26; 69, 70; 85, 86) und/oder die Hinterplatte (7; 27; 65,
87) übergehen.
6. Piezoelektrischer Antrieb nach Anspruch 4, dadurch ge
kennzeichnet, daß vorgesehen sind:
eine zweite Hinterplatte (27; 66; 88), die an der zweiten Oberfläche der inaktiven rückwärtigen Region (4r) angebracht ist, und
zwei Paare von Seitenplatten (28, 28'), die an den am weitesten außen gelegenen, oberen und unteren Oberflä chen der piezoelektrischen Platte (2; 12; 22; 64) so ange bracht sind, daß diese Seitenplatten (28, 28') in die Frontplatten (6; 26; 69, 70; 85, 86) und die Hinterplatten (7; 27; 65, 66; 87, 88) übergehen.
eine zweite Hinterplatte (27; 66; 88), die an der zweiten Oberfläche der inaktiven rückwärtigen Region (4r) angebracht ist, und
zwei Paare von Seitenplatten (28, 28'), die an den am weitesten außen gelegenen, oberen und unteren Oberflä chen der piezoelektrischen Platte (2; 12; 22; 64) so ange bracht sind, daß diese Seitenplatten (28, 28') in die Frontplatten (6; 26; 69, 70; 85, 86) und die Hinterplatten (7; 27; 65, 66; 87, 88) übergehen.
7. Piezoelektrischer Antrieb nach Anspruch 6, dadurch ge
kennzeichnet, daß wenigstens eine der Frontplatten
(6; 26; 69, 70; 85, 86) und/oder der Hinterplatten (7; 27; 65,
66; 87, 88) durch Sintern von Keramik gebildet ist.
8. Piezoelektrischer Antrieb nach Anspruch 6, dadurch ge
kennzeichnet, daß wenigstens eine leitende Schicht (90,
92, 94, 96) in wenigstens eine der Frontplatten (85, 86)
und/oder der Hinterplatten (87, 88) eingebettet ist.
9. Piezoelektrischer Antrieb nach einem der Ansprüche 6-8,
dadurch gekennzeichnet, daß die Frontplatten (6; 26; 69,
70; 85, 86) und die Hinterplatten (7; 27; 65, 66; 87, 88), die
an der piezoelektrischen Platte (2; 12; 22; 64) angebracht
sind, freischneidbare Keramik umfassen.
10. Piezoelektrischer Antrieb nach einem der Ansprüche 4-9,
dadurch gekennzeichnet, daß eine Platte (10), die eine
größere Fläche als die Hinterplatte (7; 27; 65, 66; 87, 88)
besitzt, fest an der von den Vibratoren (3, 23) abgewand
ten Oberfläche der ersten oder der zweiten Hinterplatte
(7; 27; 65, 66; 87, 88) angebracht ist, um die piezoelektri
schen Antriebe (1) gerade in einem Anbringungsloch (52)
in einem Halteblock (51) zu halten.
11. Piezoelektrischer Antrieb (1) nach einem der vorherge
henden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß
eine externe leitende Schicht (8, 67) auf der ersten und/oder der zweiten Oberfläche der piezoelektrischen Vibratoren (3, 23), und
eine leitende Schicht (8, 73) auf der vorderen Stirn fläche der piezoelektrischen Vibratoren (3; 23) und der der Tintendruckkammer (45) zugewandten Fläche der Front platte (69, 70) vorgesehen sind, wobei diese leitende Schicht (8, 73) mit der externen leitenden Schicht (8; 67) elektrisch verbunden ist.
eine externe leitende Schicht (8, 67) auf der ersten und/oder der zweiten Oberfläche der piezoelektrischen Vibratoren (3, 23), und
eine leitende Schicht (8, 73) auf der vorderen Stirn fläche der piezoelektrischen Vibratoren (3; 23) und der der Tintendruckkammer (45) zugewandten Fläche der Front platte (69, 70) vorgesehen sind, wobei diese leitende Schicht (8, 73) mit der externen leitenden Schicht (8; 67) elektrisch verbunden ist.
12. Piezoelektrischer Antrieb nach einem der Ansprüche 6-10,
dadurch gekennzeichnet, daß vorgesehen sind:
eine externe leitende Schicht (8, 67) auf einer oberen Oberfläche der piezoelektrischen Vibratoren (3; 23),
eine leitende Schicht (8, 73) auf der der Tinten druckkammer (45) zugewandten vorderen Fläche der Front platte (69, 70) und der vorderen Stirnfläche der piezo elektrischen Vibratoren (3; 23), wobei diese leitende Schicht (8, 73) mit der externen leitenden Schicht (8, 67) elektrisch verbunden ist,
eine leitende Schicht (8, 77) auf der rückwärtigen Endfläche der piezoelektrischen Platte (2; 12; 22; 64) und der rückwärtigen Endfläche der Hinterplatte (65, 66), und
eine leitende Schicht (78) auf einem Teil der oberen Oberfläche der Hinterplatte (65)
eine externe leitende Schicht (8, 67) auf einer oberen Oberfläche der piezoelektrischen Vibratoren (3; 23),
eine leitende Schicht (8, 73) auf der der Tinten druckkammer (45) zugewandten vorderen Fläche der Front platte (69, 70) und der vorderen Stirnfläche der piezo elektrischen Vibratoren (3; 23), wobei diese leitende Schicht (8, 73) mit der externen leitenden Schicht (8, 67) elektrisch verbunden ist,
eine leitende Schicht (8, 77) auf der rückwärtigen Endfläche der piezoelektrischen Platte (2; 12; 22; 64) und der rückwärtigen Endfläche der Hinterplatte (65, 66), und
eine leitende Schicht (78) auf einem Teil der oberen Oberfläche der Hinterplatte (65)
13. Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen An
triebs (1) für einen Tintenstrahlaufzeichnungskopf, mit
den Schritten:
Laminieren eines piezoelektrischen Materials (2a; 12a; 21a; 60) mit einem leitenden Material (2b; 12b; 21b; 61, 62), um eine piezoelektrische Platte (2; 12; 22; 64) mit einer vorderen Stirnfläche und wenigstens einem Frontbe reich, der eine inaktive Region (4f) ist, zu bilden;
Anbringen einer Frontplatte (6; 26; 69, 70; 85, 86) an we nigstens einer ersten Oberfläche der inaktiven Region (4f),
Schneiden der Frontplatte und der piezoelektrischen Platte im zusammengesetzten Zustand, so daß eine durch gehende Kontaktfläche für die Kontaktierung mit einer Vibrationsplatte (47) einer Tintendruckkammer (45) ge bildet ist aus der Schnittfläche durch die piezoelek trische Platte (2, 12, 22, 64) und die Frontplatte (6; 26; 69, 70; 85, 86), und
Schneiden der piezoelektrischen Platte (2; 12; 22; 64) zusammen mit der Frontplatte (6; 26; 69, 70; 85, 86) in vor gegebenen Abständen, um eine Vielzahl von piezoelektri schen Elementen (3; 23) zu bilden.
Laminieren eines piezoelektrischen Materials (2a; 12a; 21a; 60) mit einem leitenden Material (2b; 12b; 21b; 61, 62), um eine piezoelektrische Platte (2; 12; 22; 64) mit einer vorderen Stirnfläche und wenigstens einem Frontbe reich, der eine inaktive Region (4f) ist, zu bilden;
Anbringen einer Frontplatte (6; 26; 69, 70; 85, 86) an we nigstens einer ersten Oberfläche der inaktiven Region (4f),
Schneiden der Frontplatte und der piezoelektrischen Platte im zusammengesetzten Zustand, so daß eine durch gehende Kontaktfläche für die Kontaktierung mit einer Vibrationsplatte (47) einer Tintendruckkammer (45) ge bildet ist aus der Schnittfläche durch die piezoelek trische Platte (2, 12, 22, 64) und die Frontplatte (6; 26; 69, 70; 85, 86), und
Schneiden der piezoelektrischen Platte (2; 12; 22; 64) zusammen mit der Frontplatte (6; 26; 69, 70; 85, 86) in vor gegebenen Abständen, um eine Vielzahl von piezoelektri schen Elementen (3; 23) zu bilden.
14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß
die Frontplatte (6; 26; 69, 70; 85, 86) und die piezoelektri
sche Platte (2; 22; 64) getrennt gesintert werden, bevor
die Frontplatte (6; 26; 69, 70; 85, 86) an der piezoelektri
schen Platte (2; 12; 22; 64) angebracht wird.
15. Verfahren nach einem der Ansprüche 13 oder 14, dadurch
gekennzeichnet, daß plattenbildende Schichten (24) auf
wenigstens einer Seite der inaktiven Regionen (4f, 4r)
der piezoelektrischen Platte (2; 12; 22; 64) in Abständen,
die der Länge der piezoelektrischen Platte (2; 12; 22; 64)
entsprechen, niedergelegt werden; und
die piezoelektrische Platte (2; 12; 22; 64) entlang von
Linien (B, B') geschnitten wird, welche die Frontplatten
(26) und Hinterplatten (27) der plattenbildenden Schich
ten (24) trennen.
16. Verfahren nach einem der Ansprüche 13 bis 15, dadurch
gekennzeichnet, daß zwei Arten von internen Elektroden
(12b) als Muster abwechselnd auf einer eine piezoelek
trische Platte bildenden Schicht (12a) gedruckt werden,
um so aktive Bereiche (15) in Abständen zu bilden, die
gleich oder etwas größer als die Längsdimension der pie
zoelektrischen Platte (12) sind, wobei die Bildung der
zwei Arten von internen Elektroden (12b) ausgeführt
wird, indem eine Druckmaske verwendet wird, welche auf
ein Zeichen (+) auf der die piezoelektrische Platte (12)
bildenden Schicht (12a) gesetzt wird.
17. Verfahren nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß
die Bildung der internen Elektroden (12b) so ausgeführt
wird, daß diese sich nicht über die die piezoelektrische
Platte (12) bildende Schicht (12a) hinaus erstrecken.
18. Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen An
triebs (1) für einen Tintenstrahlaufzeichnungskopf, mit
den Schritten:
ein Laminat mit einer Schicht aus piezoelektrischem Material (2a, 12a, 21a, 60) und einer Schicht aus leitendem Material (2b; 12b; 21b; 61, 62) wird gebildet;
Materialien zur Bildung von Längsplatten (14, 24), von denen jedes eine Frontplatte (6; 26; 69, 70; 85, 86) und eine Hinterplatte (7; 27; 65, 66; 87, 88) als eine Einheit ein schließt, werden in Längsrichtung des Laminats zur Bil dung einer Platte auf das Laminat in Abständen gelegt, die im wesentlichen der Länge der piezoelektrischen Vi bratorenanordnung entsprechen;
Materialien zur Bildung von Querplatten (29) werden in Querrichtung des Laminats auf das Laminat zur Bildung einer Platte gelegt,
die Platte wird in Längsrichtung entlang von Linien (B, B') geschnitten, welche die Frontplatten (6; 26; 69, 70; 85, 86) und die Hinterplatten (7; 27; 65, 66; 87, 88) der plattenbildenden Materialien trennen, und
die Platte wird in Querrichtung entlang von Linien (A, A') geschnitten, welche im wesentlichen die Querplat ten (29) in zwei Teile trennen, um eine Vielzahl von piezoelektrischen Platten (2, 12; 22; 64) zu bilden.
ein Laminat mit einer Schicht aus piezoelektrischem Material (2a, 12a, 21a, 60) und einer Schicht aus leitendem Material (2b; 12b; 21b; 61, 62) wird gebildet;
Materialien zur Bildung von Längsplatten (14, 24), von denen jedes eine Frontplatte (6; 26; 69, 70; 85, 86) und eine Hinterplatte (7; 27; 65, 66; 87, 88) als eine Einheit ein schließt, werden in Längsrichtung des Laminats zur Bil dung einer Platte auf das Laminat in Abständen gelegt, die im wesentlichen der Länge der piezoelektrischen Vi bratorenanordnung entsprechen;
Materialien zur Bildung von Querplatten (29) werden in Querrichtung des Laminats auf das Laminat zur Bildung einer Platte gelegt,
die Platte wird in Längsrichtung entlang von Linien (B, B') geschnitten, welche die Frontplatten (6; 26; 69, 70; 85, 86) und die Hinterplatten (7; 27; 65, 66; 87, 88) der plattenbildenden Materialien trennen, und
die Platte wird in Querrichtung entlang von Linien (A, A') geschnitten, welche im wesentlichen die Querplat ten (29) in zwei Teile trennen, um eine Vielzahl von piezoelektrischen Platten (2, 12; 22; 64) zu bilden.
19. Verfahren nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß
die piezoelektrische Platte (2; 12; 22; 64) in vorgegebenen
Abständen geschnitten wird, bis die Schnittlinie eine
gerade Linie (L) erreicht, die eine rückwärtige Kante
(6a) der Frontplatte (6) auf der piezoelektrischen Plat
te (2; 12; 22; 64) mit einer Frontkante (4ra) eines inakti
ven rückwärtigen Bereichs der piezoelektrischen Platte
(2; 12; 22; 64) verbindet, um eine Vielzahl piezoelektri
scher Vibratoren (3; 23) zu bilden.
20. Verfahren nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß
auf einer sich zwischen der Frontplatte (6; 26; 69, 70; 85,
86) und der Hinterplatte (7; 27; 65, 66; 87, 88) erstrecken
den Oberfläche der piezoelektrischen Platte (2; 12; 22; 64)
eine externe leitende Schicht (8, 67) ausgebildet wird,
die sich zu der Frontfläche der piezoelektrischen Platte
(2; 12; 22; 64) erstreckt; und
auf der Frontplatte (6; 26; 69, 70; 85, 86) ein leitender
Film (8, 73) ausgebildet wird, der das leitende Material
mit der externen leitenden Schicht (8, 67) verbindet.
21. Verfahren nach einem der Ansprüche 13 bis 20, dadurch
gekennzeichnet, daß die Frontplatte (85, 86) gebildet
wird, indem eine Vielzahl von keramischen Rohlingen (91,
93) bis zu einer vorgegebenen Dicke laminiert und die so
laminierten Rohlinge gesintert werden.
22. Verfahren nach einem der Ansprüche 18 bis 21, dadurch
gekennzeichnet, daß leitende Schichten (90; 92) in die
Frontplatte (85, 86) eingebettet werden.
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Effective date: 20120501 |