EP2414111A1 - Verfahren und vorrichtung zur identifizierung von gegenständen sowie zum verfolgen von gegenständen in einem produktionsprozess - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur identifizierung von gegenständen sowie zum verfolgen von gegenständen in einem produktionsprozess

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EP2414111A1
EP2414111A1 EP10718509A EP10718509A EP2414111A1 EP 2414111 A1 EP2414111 A1 EP 2414111A1 EP 10718509 A EP10718509 A EP 10718509A EP 10718509 A EP10718509 A EP 10718509A EP 2414111 A1 EP2414111 A1 EP 2414111A1
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EP
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unique
article
characteristic
wafer
tracking
Prior art date
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Withdrawn
Application number
EP10718509A
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English (en)
French (fr)
Inventor
Edgar RÜTH
Wolfgang Becker
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Singulus Technologies AG
Original Assignee
Singulus Technologies AG
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Publication date
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    • G05B19/02Programme-control systems electric
    • G05B19/04Programme control other than numerical control, i.e. in sequence controllers or logic controllers
    • G05B19/12Programme control other than numerical control, i.e. in sequence controllers or logic controllers using record carriers
    • G05B19/128Programme control other than numerical control, i.e. in sequence controllers or logic controllers using record carriers the workpiece itself serves as a record carrier, e.g. by its form, by marks or codes on it
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T7/00Image analysis
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    • G06T7/0004Industrial image inspection
    • G06T7/001Industrial image inspection using an image reference approach
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06VIMAGE OR VIDEO RECOGNITION OR UNDERSTANDING
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    • G06V20/80Recognising image objects characterised by unique random patterns
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    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
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    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/31From computer integrated manufacturing till monitoring
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    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T2207/00Indexing scheme for image analysis or image enhancement
    • G06T2207/30Subject of image; Context of image processing
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    • G06T2207/30148Semiconductor; IC; Wafer
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P90/00Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
    • Y02P90/02Total factory control, e.g. smart factories, flexible manufacturing systems [FMS] or integrated manufacturing systems [IMS]

Definitions

  • the present invention relates to a method and a device for identifying objects, wherein these are each assigned a unique identifier.
  • the objects can be tracked in a production process and the relevant data of each process step and further process steps are stored together with the indicator.
  • an item goes through many different process steps. At each process step, a system is run through. To enable identification of the item, the item is marked. There are several ways to mark the item (e.g., writing with a special pen, carving or notching with a sharp object, etc.).
  • the item is changed by marking. With a marker, the object can be tracked throughout the editing process, as it is clearly marked by the marker. Identification at various points in the production process is thus possible. Individual parameters and / or production data from different process steps can also be assigned to a marked object.
  • the marking must be firmly connected to the object, so that it can not come to a damage of the marking. The marking must remain on the object during the production process and the readability of the mark must not deteriorate during a process step.
  • the object of the present invention is to provide a method and a device with which the identification of an object and the assignment of a license plate to this object can be reliably ensured.
  • a reliable system for tracking and process data collection of the object in the production process is achieved with the features of the claims.
  • the invention is based on the basic idea of identifying the object on the basis of its unique, characteristic, optical features, so that a clear identification can be assigned to the object.
  • the identification of the article is e.g. based on the unique structure of its surface. This eliminates the additional application of an identifier on the object.
  • the object does not have to be changed by an additional marking, so that it can also not affect the legibility of the marking in the identification of the object. This provides a reliable system for identification, product tracking and process data collection.
  • the object is identified by its unique, characteristic, optical features.
  • the identification of the article may e.g. on the basis of a recorded image of the object.
  • the identification can be carried out before or in a plant.
  • An electronic data processing device e.g., a host computer
  • the respective location of the object is tracked and the object is managed by a facility.
  • the relevant process parameters and / or production data of the object are stored in the electronic data processing device together with the unique identifier.
  • the item may be re-identified with another means for identifying the item. This can be used to check whether the tracking of the object within the system is faulty.
  • the item may be assigned a new tag if the unique, characteristic, optical features have changed during a process step. In the production process, the item can go through several systems in succession. At each installation, identification, tracking and management and storage of process parameters and / or production data under the unique identifier of the item is possible.
  • a re-identification of the item may take place after each pass through a facility. This checks whether the tracking of the object within the respective system is error-free. Between the individual plants, the object can be stored.
  • the inventive method and device for identifying objects with unique, characteristic, optical features is well suited for wafers.
  • the wafer may be a PV wafer (PV: photovoltaic) based on polycrystalline silicon.
  • Fig. 1 shows a schematic representation of the surface of a wafer
  • Fig. 2 shows a schematic representation of an apparatus for identifying and tracking an article (wafer) with unique, characteristic, optical features.
  • an object 1 is shown, the surface of which has unique, characteristic, optical features 10.
  • This object 1 is, for example, a wafer 1, in particular a square wafer 1 with a side length of, for example, 100-160 mm and a thickness of approximately 0.05-0.25 mm.
  • the wafer 1 shown in FIG. 1 is manufactured on the basis of polycrystalline silicon. These wafers 1 are particularly suitable for photovoltaic (PV); Such wafers 1 are also referred to as PV wafers 1.
  • the structure of the surface is unique for each wafer 1, similar to the fingerprint of a human.
  • an embodiment of the present invention for such a wafer 1 will be described.
  • FIG. 2 shows an apparatus for identifying and tracking a wafer 1 comprising a plurality of machines or processing stations 3-1, 3-2, ... 3-n, a plurality of devices 2-1, 2-2, ... 2-n and 2 for identifying the wafer 1, a plurality of memory devices 4-1 and 4-2 for storing the wafer between the devices 3-1, 3-2, ... 3-n, a final memory device 4-n, a plurality of each Annex belonging data processing facilities 5-1, 5-2, ... 5-n and a central data processing device 6 has.
  • the structure of the wafer 1 with unique, unique, optical features 10 is formed prior to the first production step, i. before or in the first system 3-1, with a device 2-1 for identifying the wafer 1 detected.
  • this device 2-1 for identifying the wafer 1 may be a camera which takes an image of the surface of the wafer 1.
  • the picture, i. the electronic data of the image are transmitted to the data processing device 5-1 of the first system 3-1.
  • the data reach the central data processing device 6 via the data processing device 5-1 of the first system 3-1.
  • the data processing device 6 can be designed as a host computer 6.
  • the host computer 6 assigns the unique structure of the surface of the wafer 1 a unique name (label) and stores them in a database. Such a unique designation may e.g.
  • the processing of the wafer 1 in the first Appendix 3-1 represents the first process step in the production process.
  • the process parameters and the production data of the wafer 1 for the first system 3-1, which are to be stored during the first process step, are transmitted via the data processing device 5 -1 of the first system 3-1 transmitted to the host computer 6.
  • the process parameters and the production data of the wafer 1 are stored under the unique number assigned to the wafer.
  • the device for tracking and managing the object 1 within Appendix 3-1 it is possible to check the device for tracking and managing the object 1 within Appendix 3-1. This is done by taking a picture of the structure of the surface of the wafer 1 with another camera 2-2 at the end of the first system 3.1. This picture will compared with the data stored in the host computer 6. This can ensure that the device for tracking and managing the item 1 within the entire system 3 works properly.
  • a re-identification of a wafer 1 according to an appendix 3-1, 3- 2,... 3-n can also be used to associate the wafer 1 with updated unique, characteristic, optical features. This may be required if the surface texture of the wafer changes in a plant 3-1, 3-2, ... 3-n. Such a change may occur, for example, in a coating process.
  • the tag which has been assigned to the item due to the original or formerly unique optical features, is assigned the changed (updated) unique, optical features in order to subsequently identify the item.
  • the process parameters and / or production data to be newly stored are correlated with the updated one-time characteristics and are thus again assigned to the associated identifier of the object.
  • the transfer can be done both directly and automatically by hand.
  • any number of systems can be used in the method according to the invention and in the device according to the invention.
  • the process parameters and / or the production data for the wafer 1 in the database are supplemented for each additional installation 3-1, 3-2,... 3-n under the unique identifier of the object.
  • the wafer 1 during the process step in the respective system 3-1, 3-2, ... 3-n all relevant data assigned, so that at the end of the entire production history is displayed.
  • the processed object 1 is subsequently identified and thus checked for the correct assignment.
  • the wafer 1 is identified on the basis of its surface structure and this characteristic is identified. (eg a number).
  • a reliable system for identification and process data collection is created from a combination of camera surveillance and tracking of the wafer 1 in a facility (with means for tracking and management of the wafer 1).

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Abstract

Anhand der einmaligen, charakteristischen, optischen Merkmale (10) wird ein Gegenstand (1) identifiziert, bevor er in einer Anlage (3) bearbeitet wird. Zusätzlich wird dem Gegenstand (1) ein eindeutiges Kennzeichen zugeteilt. Alle Produktionsdaten und Prozessparameter für alle Anlagen (3), die der Gegenstand (1) durchläuft, werden zusammen mit dem Kennzeichen in einer elektronischen Datenverarbeitungseinrichtung (6) gespeichert. Nachdem der Gegenstand (1) eine Anlage (3) durchlaufen hat, kann der Gegenstand (1) anhand seiner einmaligen, charakteristischen, optischen Merkmale (10) erneut identifiziert werden. Damit lässt sich überprüfen, ob das Verfolgungssystem des Gegenstands (1) innerhalb einer Fertigungsanlage (3) fehler frei funktioniert. Alternativ kann die erneute Identifizierung auch dazu verwendet werden, einem Gegenstand (1), bei dem sich während des Produktionsprozesses die einmaligen, charakteristischen, optischen Merkmale (10) geändert haben, ein neues Kennzeichen zuzuordnen.

Description

Verfahren und Vorrichtung zur Identifizierung von Gegenständen sowie zum Verfolgen von Gegenständen in einem Produktionsprozess
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Identifizierung von Gegenständen, wobei diesen entsprechend jeweils ein eindeutiges Kennzeichen zugeordnet wird. Mit Hilfe dieser Kennzeichen können die Gegenstände bei einem Produktionsverfahren verfolgt werden und die relevanten Daten jedes Prozessschrittes und weiterer Prozessschritte zusammen mit dem Kennzeichen gespeichert werden.
In einem Produktionsprozess durchläuft ein Gegenstand viele verschiedene Prozessschritte. Bei jedem Prozessschritt wird eine Anlage durchlaufen. Um eine Identifizierung des Gegenstands zu ermöglichen, wird der Gegenstand markiert. Es gibt verschiedene Möglichkeiten den Gegenstand zu markieren (z.B. Beschriften mit einem speziellen Stift, Einritzen oder Einkerben mit einem spitzen Gegenstand, usw.). Der Gegenstand wird durch das Markieren verändert. Mit einer Markierung lässt sich der Gegenstand im gesamten Bearbeitungsprozess verfolgen, da er durch die Markierung eindeutig gekennzeichnet ist. Eine Identifizierung an verschiedenen Stellen des Produktionsprozesses ist damit möglich. Auch einzelne Parameter und/oder Produktionsdaten von verschiedenen Prozessschritten lassen sich so einem markierten Gegenstand zuordnen. Die Markierung muss fest mit dem Gegenstand verbunden sein, damit es nicht zu einer Beschädigung der Markierung kommen kann. Die Markierung muss an dem Gegenstand während des Produktionsprozesses verbleiben und die Lesbarkeit der Markierung darf sich während eines Prozessschrittes nicht verschlechtern.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, ein Verfahren und eine Vorrichtung bereitzustellen, mit dem bzw. der die Identifizierung eines Gegenstands und die Zuordnung eines Kennzeichens zu diesem Gegenstand sicher gewährleistet werden kann. Zusätzlich soll ein zuverlässiges System zur Verfolgung und Prozessdatensammlung des Gegenstands im Produktionsprozess geschaffen werden. Diese Aufgabe der Erfindung wird mit den Merkmalen der Patentansprüche gelöst.
Dabei geht die Erfindung von dem Grundgedanken aus, den Gegenstand anhand seiner einmaligen, charakteristischen, optischen Merkmale zu identifizieren, so dass dem Gegenstand eine eindeutige Kennzeichnung zugeordnet werden kann. Die Identifizierung des Gegenstands erfolgt z.B. anhand der eindeutigen Struktur seiner Oberfläche. Damit entfällt das zusätzliche Aufbringen einer Kennung auf dem Gegenstand. Der Gegenstand muss dadurch nicht durch eine zusätzliche Markierung verändert werden, so dass es auch nicht zu einer Beeinträchtigung der Lesbarkeit der Markierung bei der Identifizierung des Gegenstands kommen kann. So kann ein zuverlässiges System zur Identifizierung, Produkt- Verfolgung und Prozessdatensammlung geschaffen werden.
Mit einer Einrichtung zum Identifizieren des Gegenstands wird der Gegenstand anhand seiner einmaligen, charakteristischen, optischen Merkmale identifiziert. Die Identifizierung des Gegenstands kann z.B. anhand eines aufgenommenen Bildes des Gegenstands erfolgen. Die Identifizierung kann vor oder in einer Anlage durchgeführt werden. Durch eine elektronische Datenverarbeitungseinrichtung (z.B. einem Hostrechner) wird dem Gegenstand eine eindeutige Kennzeichnung zugeordnet.
Während eines Prozessschrittes innerhalb einer Anlage wird der jeweilige Ort des Gegenstands verfolgt und der Gegenstand durch eine Einrichtung verwaltet. Außerdem werden während der Ausführung des Prozessschritts in der Anlage die relevanten Prozessparameter und/oder Produktionsdaten des Gegenstands in der elektronischen Datenverarbeitungseinrichtung zusammen mit der eindeutigen Kennzeichnung gespeichert.
Nachdem der Gegenstand die Anlage durchlaufen hat, kann der Gegenstand mit einer weiteren Einrichtung zum Identifizieren des Gegenstands erneut identifiziert werden. So kann überprüft werden, ob die Verfolgung des Gegenstands innerhalb der Anlage fehlerhaft ist. Alternativ kann dem Gegenstand eine neue Kennzeichnung zugeordnet werden, falls sich die einmaligen, charakteristischen, optischen Merkmale während eines Prozessschritts geändert haben. Im Produktionsprozess kann der Gegenstand mehrere Anlagen nacheinander durchlaufen. Bei jeder Anlage ist eine Identifizierung, eine Verfolgung und Verwaltung und eine Speicherung der Prozessparameter und/oder Produktionsdaten unter dem eindeutigen Kennzeichen des Gegenstands möglich. Zusätzlich kann nach jedem Durchlaufen einer Anlage eine erneute Identifizierung des Gegenstands stattfinden. Damit wird überprüft, ob die Verfolgung des Gegenstands innerhalb der jeweiligen Anlage fehlerfrei ist. Zwischen den einzelnen Anlagen kann der Gegenstand zwischengelagert werden.
Das erfindungsgemäße Verfahren und die Vorrichtung zur Identifizierung von Gegenständen mit einmaligen, charakteristischen, optischen Merkmalen ist für Wafer gut geeignet. Insbesondere kann der Wafer ein PV-Wafer (PV: Photovoltaik) auf polykristalliner Siliziumbasis sein.
Die Erfindung wird nachstehend mit Bezug auf die Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 zeigt eine schematische Darstellung der Oberfläche eines Wafers;
Fig. 2 zeigt eine schematische Darstellung einer Vorrichtung zum Identifizieren und Verfolgen eines Gegenstands (Wafers) mit einmaligen, charakteristischen, optischen Merkmalen.
In Fig. 1 ist ein Gegenstand 1 dargestellt, dessen Oberfläche einmalige, charakteristische, optische Merkmale 10 aufweist. Allgemein können alle einmaligen, charakteristischen, optischen Merkmale 10 eines Gegenstands 1 zur eindeutigen Identifizierung verwendet werden. Bei diesem Gegenstand 1 handelt es sich z.B. um einen Wafer 1, insbesondere um einen quadratischen Wafer 1 mit einer Seitenlänge von z.B. 100 - 160 mm und einer Dicke von ca. 0,05 - 0,25 mm. Der in Fig. 1 gezeigte Wafer 1 ist auf der Basis von polykristallinem Silizium gefertigt. Diese Wafer 1 sind insbesondere für die Photovoltaik (PV) geeignet; derartige Wafer 1 werden auch als PV- Wafer 1 bezeichnet. Die Struktur der Oberfläche ist für jeden Wafer 1 einmalig, ähnlich dem Fingerabdruck eines Menschen. Im Folgenden wird eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung für einen solchen Wafer 1 beschrieben. Fig. 2 zeigt eine Vorrichtung zur Identifizierung und Verfolgung eines Wafers 1 , die mehrere Anlagen oder Bearbeitungsstationen 3-1 , 3-2, ... 3-n, mehrere Einrichtungen 2-1, 2-2, ... 2-n und 2 zum Identifizieren des Wafers 1, mehrere Speichereinrichtungen 4-1 und 4-2, um den Wafer zwischen den Anlagen 3-1, 3-2, ... 3-n zu speichern, eine Endspeichereinrichtung 4-n, mehrere zur jeweiligen Anlage gehörende Datenverarbeitungseinrichtungen 5-1, 5-2, ... 5-n und eine zentrale Datenverarbeitungseinrichtung 6 aufweist.
Die Struktur des Wafers 1 mit den einmaligen, charakteristischen, optischen Merkmalen 10 wird vor dem ersten Produktionsschritt, d.h. vor oder in der ersten Anlage 3-1 , mit einer Einrichtung 2-1 zum Identifizieren des Wafers 1 erfasst. Insbesondere kann diese Einrichtung 2-1 zum Identifizieren des Wafers 1 eine Kamera sein, die ein Bild der Oberfläche des Wafers 1 aufnimmt. Das Bild, d.h. die elektronischen Daten des Bildes, werden an die Datenverarbeitungseinrichtung 5-1 der ersten Anlage 3-1 übermittelt. Über die Datenverarbeitungseinrichtung 5-1 der ersten Anlage 3-1 gelangen die Daten zur zentralen Datenverarbeitungseinrichtung 6. Die Datenverarbeitungseinrichtung 6 kann als Hostrechner 6 ausgeführt werden. Der Hostrechner 6 ordnet der einmaligen Struktur der Oberfläche des Wafers 1 eine eindeutige Bezeichnung (Kennzeichnung) zu und speichert diese in einer Datenbank. Eine solche eindeutige Bezeichnung kann z.B. eine eindeutige Nummer sein. Anschließend erfolgt die Bearbeitung des Wafers 1 in der ersten Anlage 3-1. Die Bearbeitung des Wafers 1 in der ersten Anlage 3-1 stellt den ersten Prozessschritt im Produktionsprozess dar. Die Prozessparameter und die Produktionsdaten des Wafers 1 für die erste Anlage 3- 1, die während des ersten Prozessschrittes zu speichern sind, werden über die Datenverarbeitungseinrichtung 5-1 der ersten Anlage 3-1 an den Hostrechner 6 übermittelt. Im Hostrechner 6 werden die Prozessparameter und die Produktionsdaten des Wafers 1 unter der dem Wafer zugeordneten eindeutigen Nummer gespeichert.
Am Ende der ersten Anlage 3-1 besteht die Möglichkeit die Einrichtung zum Verfolgen und Verwalten des Gegenstands 1 innerhalb der Anlage 3-1 zu überprüfen. Dies geschieht, indem mit einer weiteren Kamera 2-2 am Ende der ersten Anlage 3.1 ein Bild der Struktur der Oberfläche des Wafers 1 aufgenommen wird. Dieses Bild wird mit den im Hostrechner 6 gespeicherten Daten verglichen. Damit kann sichergestellt werden, dass die Einrichtung zum Verfolgen und Verwalten des Gegenstands 1 innerhalb der Gesamtanlage 3 einwandfrei funktioniert.
Alternativ kann eine erneute Identifizierung eines Wafers 1 nach einer Anlage 3-1, 3- 2, ... 3-n auch dazu verwendet werden, dem Wafer 1 aktualisierte einmalige, charakteristische, optische Merkmale zuzuordnen. Dies kann erforderlich sein, wenn sich die Oberflächenstruktur des Wafers in einer Anlage 3-1, 3-2, ... 3-n ändert. Eine solche Änderung kann beispielsweise bei einem Beschichtungsprozess eintreten. In diesem Fall werden dem Kennzeichen, das auf Grund der ursprünglichen bzw. früherein einmaligen optischen Merkmale dem Gegenstand zugeordnet wurde, die geänderten (aktualisierten) einmaligen, optischen Merkmale zugeordnet, um den Gegenstand nachfolgend identifizieren zu können. Dadurch werden in den folgenden Bearbeitungsstationen die neu zu speichernden Prozessparameter und/oder Produktionsdaten mit den aktualisierten einmaligen Merkmalen korreliert und damit wieder dem zugehörigen Kennzeichen des Gegenstands zugeordnet.
Der Wafer 1 kann nach dem Durchlaufen einer Anlage, z.B. Anlage 3-1, direkt an die nächste Anlage 3-2 (z.B. eine Bearbeitungsstation) weitergegeben werden. Die Weitergabe kann sowohl auf direktem Weg vollautomatisch als auch manuell erfolgen. Zusätzlich besteht die Möglichkeit der Speicherung (Pufferung) des Wafers 1 in einer Speichereinrichtung 4-1 zwischen zwei Anlagen 3-1 und 3-2. Prinzipiell können in dem erfindungsgemäßen Verfahren und in der erfindungsgemäßen Vorrichtung beliebig viele Anlagen verwendet werden. Im Hostrechner 6 werden die Prozessparameter und/oder die Produktionsdaten für den Wafer 1 in der Datenbank für jede weitere Anlage 3-1 , 3-2, ... 3-n unter dem eindeutigen Kennzeichen des Gegenstands ergänzt. Damit werden dem Wafer 1 während des Prozessschritts in der jeweiligen Anlage 3-1, 3-2, ... 3-n alle relevanten Daten zugeordnet, so dass am Ende die gesamte Fertigungshistorie abgebildet ist. Mit Hilfe der entweder vor oder nach der letzten Speichereinheit 4-n angeordneten Kamera 2 wird der bearbeitete Gegenstand 1 anschließend identifiziert und damit auf die richtige Zuordnung geprüft.
Erfindungsgemäß wird daher mit der Hilfe einer Kamera 2-1, 2-2, ... 2-n, 2 der Wafer 1 anhand seiner Oberflächenstruktur identifiziert und dieser Struktur ein Kennzei- chen (z.B. eine Zahl) zugeordnet. Aus einer Kombination aus Kameraüberwachung und Verfolgung des Wafers 1 in einer Anlage (mit einer Einrichtung zur Verfolgung und Verwaltung des Wafers 1) wird ein zuverlässiges System zur Identifizierung und Prozessdatensammlung geschaffen.

Claims

Patentansprüche
1. Verfahren zum Identifizieren eines Gegenstandes (1), gekennzeichnet durch a) Ermitteln einmaliger, charakteristischer, optischer Merkmale (10) des Gegenstandes (1) und b) Speichern der ermittelten Merkmale (10) als Kennzeichen des Gegenstandes (1).
2. Verfahren nach Anspruch 1 , wobei als einmaliges, charakteristisches, optisches Merkmal (10) die optische Oberflächenstruktur des Gegenstandes (1) ermittelt wird.
3. Verfahren nach Anspruch 2, wobei die optische Oberflächenstruktur als Bild durch eine Kamera (2) erfasst wird.
4. Verfahren zum Verfolgen eines Gegenstandes (1) in einem Produktionsprozess mit einem oder mehreren Prozessschritten durch: a) Anwenden des Identifizierungsverfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 3 und b) Zuordnen und Speichern von Prozessparametern und/oder Produktionsdaten für den Gegenstand (1) im jeweiligen Prozessschritt als Prozessschrittdaten zu dem gespeicherten Kennzeichen des Gegenstandes.
5. Verfahren nach Anspruch 4, wobei bei sich ändernden, einmaligen, charakteristischen, optischen Merkmalen (10) während eines Prozessschritts die geänderten einmaligen, charakteristischen, optischen Merkmale (10) nach dem Prozessschritt das aktuelle Kennzeichen des Gegenstands bilden.
6. Verfahren nach Anspruch 4 oder 5, wobei mit einer erneuten Identifizierung des Substrats anhand seiner einmaligen, charakteristischen, optischen Merkmalen (10) nach dem Durchlaufen einer Anlage (3) überprüft wird, ob die Verfolgung innerhalb einer Anlage (3) während eines Prozessschrittes fehlerhaft ist.
7. Verfahren nach Anspruch 4, 5 oder 6, wobei der Gegenstand (1) zwischen den einzelnen Prozessschritten zwischengelagert werden kann.
8. Verfahren nach einem der Ansprüche 4 bis 7, wobei die Produktionsdaten und die Prozessparameter in einer elektronischen Datenverarbeitungseinrichtung (6) dem jeweiligen Kennzeichen zugeordnet gespeichert werden.
9. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 8, wobei der Gegenstand (1) ein Wafer ist.
10. Verfahren nach Anspruch 9, wobei der Wafer ein Photovoltaik (PV)-Wafer auf polykristalliner Siliziumbasis ist.
11. Vorrichtung zur Identifizierung eines Gegenstandes (1) nach Anspruch 1, 2 oder 3, optional zur Verfolgung des Gegenstands (1) nach einem der Ansprüche 4 bis 10, mit: einer Kamera (2) zum Erfassen und Identifizieren des Gegenstands (1) anhand einmaliger, charakteristischer, optischer Merkmale (10) des Gegenstands (1) vor oder in einer Bearbeitungsanlage (3); einer elektronischen Datenverarbeitungseinrichtung (6) zum Speichern der einmaligen, charakteristischen, optischen Merkmale (10) des Gegenstands (1) in digitaler Form und zum Zuordnen eines Kennzeichens für den Gegenstand (1); und einer Einrichtung zum Verfolgen und Verwalten des Gegenstands (1) innerhalb der Bearbeitungsanlage (3).
EP10718509A 2009-04-03 2010-04-06 Verfahren und vorrichtung zur identifizierung von gegenständen sowie zum verfolgen von gegenständen in einem produktionsprozess Withdrawn EP2414111A1 (de)

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