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Hintergrund
der Erfindung und Stand der Technik
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Die
vorliegende Erfindung betrifft eine piezoelektrische/elektrostriktive
Vorrichtung, die einen beweglichen Abschnitt umfasst, der basierend
auf der Verschiebung eines piezoelektrischen/elektrostriktiven Elements
betätigt
wird, oder eine piezoelektrische/elektrostriktive Vorrichtung, die
in der Lage ist, die Verschiebung eines beweglichen Abschnitts durch
ein piezoelektrisches/elektrostriktives Element zu detektieren,
und insbesondere betrifft sie eine piezoelektrische/elektrostriktive
Vorrichtung mit besserer mechanischer Festigkeit, Stoßfestigkeit
und Feuchtigkeitsbeständigkeit,
dessen beweglicher Teil mit hoher Auslenkung effizient bewegt werden
kann.
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In
den letzten Jahren zeigte sich, dass im Bereich der Optik, der magnetischen
Aufzeichnung, der Feinbearbeitung und dergleichen ein Verschiebungselement
erforderlich ist, das zur Einstellung einer optischen Weglänge oder
einer Position im Submikrometerbereich in der Lage ist, und so wurde
ein Verschiebungselement entwickelt, das eine Verschiebung aufgrund
des inversen piezoelektrischen Effekts oder des elektrostriktiven
Effekts nutzt, der auftritt, wenn Spannung an ein piezoelektrisches/elektrostriktives
Material (z.B. eine ferroelektrische Substanz oder dergleichen)
angelegt wird. Wie in 2 zu sehen, wird beispielsweise
ein piezoelektrischer Aktuator 21 offenbart, in dem durch
Bereitstellung eines Lochs 28 in einem plattenartigen Körper aus
einem piezoelektrischen/elektrostriktiven Material, ein Befestigungsabschnitt 25,
ein beweglicher Abschnitt 24 und ein damit verbundener
Brücken-Stab 26 einstückig ausgebildet
sind, wobei der Brücken-Stab 26 weiters
mit einer Elektrodenschicht 22 ausgestattet ist (siehe
JP-A-10-136665).
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Wenn
eine Spannung an die Elektrodenschicht 22 angelegt wird,
führt der
inverse piezoelektrische Effekt oder der elektrostriktive Effekt
zu einer Ausdehnung oder Kontraktion des Stabs 26 im Aktuator 21,
und zwar in die Richtung, in der die Befestigungsplatte 25 mit
dem beweglichen Abschnitt 24 befestigt ist, wodurch dem
beweglichen Abschnitt 24 eine bogenförmige Verschiebung oder Rotationsverschiebung
in der Ebene des plattenförmigen
Körpers ermöglicht wird.
Die JP-A-63-64640 offenbart andererseits ein Verfahren in Bezug
auf einen Aktuator unter Einsatz eines Bimorphs, worin der Bimorph
mit geteilten Elektroden bereitgestellt ist, sodass durch Ansteuern
des Aktuators durch Auswahl der geteilten Elektroden eine präzise Positionierung
mit hoher Geschwindigkeit erfolgen kann. In der Beschreibung ist beispielsweise
in 4 eine Struktur mit zwei einander gegenüber liegenden
Bimorphen dargestellt.
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Beim
Aktuator 21 besteht jedoch, da die Verschiebung in Ausdehnungs-
oder Kontraktionsrichtung (d.h. eine Richtung innerhalb der Ebene
des plattenartigen Körpers)
eines piezoelektrischen/elektrostriktiven Materials per se zum beweglichen
Abschnitt übertragen
wird, das Problem, dass das Betätigungsausmaß des beweglichen
Abschnitts 24 klein ist.
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Außerdem bringt
der Aktuator 21, wenn alle seine Elemente aus einem piezoelektrischen/elektrostriktiven
Material bestehen, das zerbrechlich und relativ schwer ist, weiters
das Problem mit sich, dass der Aktuator 21 an sich schwer
ist und beim Betrieb wahrscheinlich durch schädliche Vibrationen wie Restvibrationen
oder Schallvibrationen beeinflusst wird, wenn er bei hoher Geschwindigkeit
betrieben wird, und dass er geringe mechanische Festigkeit, schlechtere
Handhabungseigenschaften, Stoßfestigkeit
und Feuchtigkeitsbeständigkeit
aufweist.
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Um
die oben beschriebenen Probleme des Aktuators 21 zu lösen, wurde
vorgeschlagen, das Loch 28 mit einem flexiblen Füllmaterial
zu füllen,
wobei jedoch klar ist, dass das Verschiebungsausmaß durch
den inversen piezoelektrischen Effekt oder den elektrostriktiven
Effekt auch dann reduziert wird, wenn das Füllmaterial eingesetzt wird.
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In 4 der
JP-A-63-64640 ist jedoch andererseits dargestellt, dass durch Verbinden
eines Zwischenelements 3 und eines Bimorphs, das Verbinden einer
Stelle ohne die geteilten Elektroden mit dem Zwischenelement und
daher ein Vorteil der geteilten Elektroden nicht an der Verbindungsstelle
angewandt werden kann. Anders gesagt, wird lediglich eine Stelle
des Bimorphs gebunden, die kein Abschnitt ist, der Verschiebungen
durchführt.
Eine Verbindungsform an einer Verbindungsstelle eines Kopfs und
des Bimorphs ist andererseits ähnlich.
Dadurch ergibt sich, dass eine Biegungsverschiebung des Bimorphs
zwischen dem Zwischenelement und dem Kopf nach innen hin entwickelt
und die Struktur so aussieht, dass eine Aktion zur effektiven Verschiebung
des Kopfs per se nach außen
hin nicht möglich ist.
Außerdem
ist der in der JP-A-63-64640 geoffenbarte Aktuator so strukturiert,
dass ein Verschiebungserzeugungselement und ein so genanntes Rahmenelement
(Zwischenelement oder dergleichen) separat hergestellt und – um verbunden
zu werden – miteinander
befestigt werden, wodurch die Struktur so aussieht, dass die Verbindung
des Rahmens mit dem Bimorph im Laufe der Zeit variiert und dass
wahrscheinlich auch ein Driften der Verschiebung, Abheben des Films
oder dergleichen verursacht wird. Außerdem weist eine Struktur
mit einem Kleber an einer Verbindungsstelle des Bimorphs mit dem
Zwischenelement und an einer Verbindungsstelle des Kopfs mit dem
Bimorph, nämlich
an einem Halteabschnitt eines Verschiebungselements, geringe Steifigkeit
in Bezug auf den Halteabschnitt an sich auf, wodurch eine Steigerung
der Resonanzfrequenz, die bei Hochgeschwindigkeitsbetrieb erforderlich
ist, schwer zu erreichen ist.
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Die
vorliegende Erfindung wurde angesichts solcher Probleme des Stands
der Technik entwickelt, und eines ihrer Ziele besteht in der Bereitstellung
eines Verschiebungselements, das in der Lage ist, das Verschiebungsausmaß des beweglichen
Abschnitts weiter zu steigern und kaum von schädlichen Vibrationen beeinflusst
wird und zu Hochgeschwindigkeitsantworten mit hoher mechanischer
Festigkeit in der Lage ist, wobei es ausgezeichnete Handhabungseigenschaften,
Stoßfestigkeit
und Feuchtigkeitsbeständigkeit
aufweist, eines Sensorelements, das in der Lage ist, Vibrationen
des beweglichen Abschnitts mit hoher Genauigkeit zu detektieren,
sowie die Bereitstellung von Verfahren zur Herstellung der Elemente.
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Fukuda,
T. et al. beschreiben in ihrer Arbeit mit dem Titel "Parallel beam micro
sensor/actuator unit using PZT thin films and its application examples", vorgetragen an
der zwischen 16. und 20. März 1998
in Lueven, Belgien stattgefundenen IEEE International Conference
on Robotics and Automation, S. 1498-1503, eine Parallelstrahl-Mikrosensor/Aktuator-Einheit
mit einem Basissubstrat in Form eines rechteckigen Ti tanblocks,
der ein durch diesen führendes
rechteckiges Loch aufweist, und zwar mit einer Form, dass die dicken
Endabschnitte des Blocks mit dünnen
Seitenabschnitten verbunden sind. Auf den Seiten, die dem Block
gegenüberliegen,
sind PZT-Dünnfilme
aufgebracht und Elektroden an die PZT-Filme angelegt. Jede der Elektroden
liegt über einem
der Dünnseitenabschnitte
und über
einem an den dicken Endabschnitt angrenzenden Teil.
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Zusammenfassung
der Erfindung
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Gemäß der vorliegenden
Erfindung ist eine wie in Anspruch 1 dargelegte piezoelektrische/elektrostriktive
Vorrichtung bereitgestellt.
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Wenn
das Loch rechteckig ist, beträgt
das Verhältnis
a/b zwischen der Dicke a des Lochs und der Breite b des dünnen Plattenabschnitts
vorzugsweise 0,5 bis 20.
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Vorzugsweise
gilt in der vorliegenden Erfindung Folgendes:
die Breite des
dünnen
Plattenabschnitts ist gleich wie die Breite des auf dem dünnen Plattenabschnitt
ausgebildeten piezoelektrischen/elektrostriktiven Elements; Das
Verhältnis
e/a zwischen der Länge
e des dünnen
Plattenabschnitts und der Dicke a des Lochs beträgt 0,5 bis 10; das Verhältnis a/b
zwischen der Dicke a des Lochs und der Breite b des dünnen Plattenabschnitts
beträgt
1 bis 10, und das Verhältnis
e/a zwischen der Länge
e des dünnen
Plattenabschnitts und der Dicke a des Lochs beträgt 0,7 bis 5; und der bewegliche
Abschnitt sowie der Befestigungsabschnitt sind jeweils ein rechteckiger
Festkörper.
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Weitere
bevorzugte Merkmale umfassen Folgende:
die Dicke a des Lochs
beträgt
200 μm bis
1.000 μm, und
die Breite b des dünnen
Plattenabschnitts beträgt
100 μm bis
500 μm;
die Breite b des dünnen Plattenabschnitts
ist größer als
die Dicke d davon, und die Dicke d beträgt 2 μm bis 100 μm; die Länge e des dünnen Plattenabschnitts beträgt 200 μm bis 3.000 μm; eine piezoelektrische/elektrostriktive
Vorrichtung, dadurch gekennzeichnet, dass die Länge f des beweglichen Abschnitts
50 μm bis
2.000 μm
beträgt;
die Vorrichtung weist zumindest zwei Ansteuerabschnitte auf; das
piezoelektrische/elektrostriktive Element ist ein piezoelektrisches/elektrostriktives Element
vom laminierten Typ, das durch eine untere Elektrodenschicht, eine
piezoelektrische/elektrostriktive Schicht und eine obere Elektrodenschicht
in Schichten laminiert ist; das piezoelektrische/elektrostriktive
Element weist eine piezoelektrische/elektrostriktive Schicht sowie
eine erste Elektrodenschicht und zweite Elektrodenschicht auf, die
auf zumindest einer Hauptfläche
der piezoelektrischen/elektrostriktiven Schicht ausgebildet ist;
das piezoelektrische/elektrostriktive Element weist eine Struktur
auf, worin das piezoelektrische/elektrostriktive Element eine piezoelektrische/elektrostriktive
Schicht sowie eine erste Elektrodenschicht und eine zweite Elektrodenschicht
in Kammstruktur mit Zähnen
umfasst, wobei die Zähne
der ersten Elektrodenschicht und der zweiten Elektrodenschicht zwischen
den jeweiligen Zähnen
jedes Kammes mit einem vorbestimmten Spalt ineinander greifen; der
Keramikkörper
ist ein Laminat der Keramikschichten; und das Ende des piezoelektrischen
Betätigungsabschnitts
des piezoelektrischen/elektrostriktiven Elements, das auf dem beweglichen
Abschnitt oder dem Befestigungsabschnitt angeordnet ist, erstreckt
sich darauf in der zweiten Richtung vom Verbindungspunkt zwischen dem
beweglichen Abschnitt bzw. dem Befestigungsabschnitt und dem dünnen Plattenabschnitt
aus über einen
Abstand von zumindest der Hälfte
der Dicke d des dünnen
Plattenabschnitts.
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Ferner
stellt die vorliegende Erfindung ein wie in Anspruch 18 dargelegtes
Verfahren zur Herstellung der piezoelektrischen/elektrostriktiven
Vorrichtung der vorliegenden Erfindung bereit. Bevorzugte optionale
Merkmale des Verfahrens sind in den Ansprüchen 19 bis 30 dargelegt.
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Es
wird bevorzugt, dass eine piezoelektrische/elektrostriktive Vorrichtung
gemäß der vorliegenden
Erfindung, wie zuvor erwähnt,
Folgendes umfasst: einen beweglichen Abschnitt, einen dünnen Plattenabschnitt
und einen Befestigungsabschnitt in einem einstückig ausgebildeten Keramikkörper, wobei
noch bevorzugter ist, dass der bewegliche Abschnitt, der dünne Plattenabschnitt
und der Befestigungsabschnitt aus einem Material mit vollständig stabilisiertem
Zirconiumdioxid als Hauptkomponente oder aus einem Material mit
teilweise stabilisiertem Zirconiumdioxid als Hauptkomponente bestehen, und
besonders bevorzugt wird, dass zumindest ein beweglicher Abschnitt,
ein dünner
Plattenabschnitt und ein Befestigungsabschnitt ein gesintertes grünes Keramiklaminat
ist. Der Grund dafür
ist, dass Verbindungsabschnitte mit dem beweglichen Abschnitt, den dünnen Plattenabschnitten
und dem Befestigungsabschnitt so strukturiert werden können, dass
sie keine Grenzen aufweisen, indem sie durch Sintern einstückig ausgebildet
werden, wodurch die Langzeitzuverlässigkeit verbessert werden
kann, ein Phänomen wie
Driften oder dergleichen als mit der Zeit durch Verschiebung auftretende
Variation der Vorrichtung auf ein Minimum verringert werden kann
und eine große
Verschiebung mit höherer
Reproduzierbarkeit gebildet werden kann.
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Es
gilt anzumerken, dass bei der Herstellung einer Vorrichtung mit
einer Struktur gemäß der vorliegenden
Erfindung neben dem Verfahren, bei dem alle ihre Elemente durch
Sintern einstückig
ausgebildet werden, auch ein Verfahren zur Verfügung steht, bei dem ein in
eine zu den dünnen
Plattenabschnitten entgegengesetzte Richtung geteilter Laminatkörper, d.h.
ein Keramiklaminatkörper,
der einen dünnen Plattenabschnitt
und ein Element umfasst, die zu einem Befestigungsabschnitt und
einem beweglichen Abschnitt werden sollen, in rechteckiger Festkörperform
hergestellt wird, ein piezoelektrisches/elektrostriktives Element
durch Siebdruck ausgebildet wird, sodass das Element einen dünnen Plattenabschnitt und
einen beweglichen Abschnitt und/oder einen Befestigungsabschnitt
des Keramiklaminats überlappt und
zumindest zwei jeweils durch einstückiges Sintern mit den Keramiklaminaten
ausgebildete gesinterte Strukturen hergestellt werden, sowie durch
Verbinden der gesinterten Strukturen, sodass die dünnen Plattenabschnitte
voneinander (ab-)getrennt werden, d.h. durch Verbinden jedes der
oben beschriebenen Abschnitte, die den Befestigungsabschnitt und
den beweglichen Abschnitt bilden sollen, um sie unter Einsatz eines
Klebers oder dergleichen miteinander zu verbinden, wodurch auch
eine Vorrichtung erhalten werden kann.
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Da
jedoch eine durch einstückiges
Sintern sämtlicher
Elemente hergestellte Vorrichtung in ihrer Struktur keinen Unterbrechungsabschnitt
aufweist, wie etwa einen Verbindungsabschnitt, an dem ein drittes
Element dazwischenliegt, wodurch die Vorrichtung höhere Stabilität und Zuverlässigkeit
aufweist, auch wenn sie durch die Betätigung des Ansteuerabschnitts
einer Beanspruchung ausgesetzt wird, ist es daher bevorzugt, eine
Vorrichtung durch ein Verfahren auszubilden, bei dem sämtliche
Elemente wie oben beschrieben ohne Verwendung eines Klebers oder
dergleichen einstückig
gesintert werden.
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Weiters
ist es in einer piezoelektrischen/elektrostriktiven Vorrichtung
der Erfindung bevorzugt, dass eine ein piezoelektrisches/elektrostriktives
Element ausbildende piezoelektrische/elektrostriktive Schicht vorzugsweise
aus einem Material gebildet ist, das ein Gemisch aus Bleizirconat,
Bleititanat und Bleimagnesiumniobat als Hauptkomponente enthält, und
ein Material, das Natriumbismuttitanat als Hauptkomponente enthält, ist
auch bevorzugt. Details zu den Materialien, die verwendet werden
können,
finden sich weiter unten.
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Darüber hinaus
ist gemäß der vorliegenden Erfindung
ein optischer Verschluss bereitgestellt. Der optische Verschluss
dient zur Steuerung des Durchlassens und des Abschirmens von Lichts
durch Bewegung von zwei Schutzschilden in Bezug zueinander, wobei
zumindest eines der Schutzschilder auf einem beweglichen Abschnitt
der oben beschriebenen piezoelektrischen/elektrostriktiven Vorrichtung
angebracht ist.
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Kurzbeschreibung
der Zeichnungen
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1 ist
eine schematische perspektivische Ansicht einer Ausführungsform
einer piezoelektrischen/elektrostriktiven Vorrichtung der vorliegenden Erfindung.
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2 ist
eine schematische perspektivische Ansicht einer Ausführungsform
eines herkömmlichen Aktuators.
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3 ist
eine schematische erklärende
Ansicht eines Betriebsmodus einer piezoelektrischen/elektrostriktiven
Vorrichtung der vorliegenden Erfindung.
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4 ist
eine schematische erklärende
Ansicht einer weiteren Ausführungsform
einer piezoelektrischen/elektrostriktiven Vorrichtung der vorliegenden
Erfindung.
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5 ist
eine schematische erklärende
Ansicht noch einer weiteren Ausführungsform
einer piezoelektrischen/elektrostriktiven Vorrichtung der vorliegenden
Erfindung.
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6 ist
eine schematische perspektivische Ansicht noch einer weiteren Ausführungsform
einer piezoelektrischen/elektrostriktiven Vorrichtung der vorliegenden
Erfindung.
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7 ist
eine schematische perspektivische Ansicht noch einer weiteren Ausführungsform
einer piezoelektrischen/elektrostriktiven Vorrichtung der vorliegenden
Erfindung.
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8 ist
eine schematische perspektivische Ansicht noch einer weiteren Ausführungsform
einer piezoelektrischen/elektrostriktiven Vorrichtung der vorliegenden
Erfindung.
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9 ist
eine schematische perspektivische Ansicht noch einer weiteren Ausführungsform
einer piezoelektrischen/elektrostriktiven Vorrichtung der vorliegenden
Erfindung.
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10 ist
eine schematische perspektivische Ansicht noch einer weiteren Ausführungsform einer
piezoelektrischen/elektrostriktiven Vorrichtung der vorliegenden
Erfindung.
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11 ist
eine schematische perspektivische Ansicht noch einer weiteren Ausführungsform einer
piezoelektrischen/elektrostriktiven Vorrichtung der vorliegenden
Erfindung.
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12 ist
eine schematische perspektivische Ansicht noch einer weiteren Ausführungsform einer
piezoelektrischen/elektrostriktiven Vorrichtung der vorliegenden
Erfindung.
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13 ist
eine schematische perspektivische Ansicht noch einer weiteren Ausführungsform einer
piezoelektrischen/elektrostriktiven Vorrichtung der vorliegenden
Erfindung.
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14 ist
eine schematische perspektivische Ansicht noch einer weiteren Ausführungsform einer
piezoelektrischen/elektrostriktiven Vorrichtung der vorliegenden
Erfindung.
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15 ist
eine schematische perspektivische Ansicht noch einer weiteren Ausführungsform einer
piezoelektrischen/elektrostriktiven Vorrichtung der vorliegenden
Erfindung.
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16 ist
eine schematische erklärende
Ansicht noch einer weiteren Ausführungsform
einer piezoelektrischen/elektrostriktiven Vorrichtung der vorliegenden
Erfindung.
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17 ist
eine schematische perspektivische Ansicht einer Ausführungsform
eines piezoelektrischen Elements, welches eine piezoelektrische/elektrostriktive
Vorrichtung der vorliegenden Erfindung bildet.
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18 ist
eine schematische perspektivische Ansicht einer weiteren Ausführungsform
eines piezoelektrischen Elements, welches eine piezoelektrische/elektrostriktive
Vorrichtung der vorliegenden Erfindung bildet.
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19 ist
eine schematische perspektivische Ansicht einer weiteren Ausführungsform
eines piezoelektrischen Elements, welches eine piezoelektrische/elektrostriktive
Vorrichtung der vorliegenden Erfindung bildet.
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Die 20(a) und (b) sind schematische erklärende Ansichten
einer weiteren Ausführungsform eines
Anordnungsverfahrens für
Elektrodenleitungen einer piezoelektrischen/elektrostriktiven Vorrichtung der
vorliegenden Erfindung.
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Die 21(a) und (b) sind schematische erklärende Ansichten
von Beispielen für
grüne Keramiklagen,
die bei der Herstellung einer piezoelektrischen/elektrostriktiven
Vorrichtung der vorliegenden Erfindung verwendet werden.
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22 ist
eine Seitenansicht einer Ausführungsform
eines Verfahrens zur Herstellung einer piezoelektrischen/elektrostriktiven
Vorrichtung der vorliegenden Erfindung.
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Die 23(a), (b), (c) und (d) sind Prozessansichten
einer Ausführungsform
eines Verfahrens zur Herstellung einer piezoelektrischen/elektrostriktiven
Vorrichtung der vorliegenden Erfindung.
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24 ist eine perspektivische Ansicht einer weiteren
Ausführungsform
eines Verfahrens zur Herstellung einer piezoelektrischen/elektrostriktiven
Vorrichtung der vorliegenden Erfindung, wobei 24(a) eine perspektivische Ansicht einer Schnittposition
ist und 24(b) eine perspektivische Ansicht
einer Vorrichtung nach erfolgtem Schnitt ist.
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25 ist eine schematische erklärende Ansicht
einer Ausführungsform
eines optischen Verschlusses der vorliegenden Erfindung, wobei 25(a) eine perspektivische Ansicht davon ist und 25(b) eine Draufsicht davon ist.
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26 ist eine schematische erklärende Ansicht
einer weiteren Ausführungsform
eines optischen Verschlusses der vorliegenden Erfindung, wobei 26(a) eine perspektivische Ansicht davon ist und 26(b) eine Draufsicht davon ist und 26(c) eine vergrößerte Ansicht eines Schutzschilds
davon ist.
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27 ist
ein Diagramm, das die Messergebnisse des Verschiebungsausmaßes in X-Achsen- und
Y-Achsenrichtung zeigt, wenn eine Impulsspannung an eine piezo elektrische/elektrostriktive
Vorrichtung der vorliegenden Erfindung durch Einsatz des Laser-Doppler-Vibrometers
angelegt wird.
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28 ist eine schematische Ansicht eines Beispiels
für ein
Verfahren zur Herstellung einer piezoelektrischen/elektrostriktiven
Vorrichtung der vorliegenden Erfindung, wobei 28(a) eine schematische Schnittansicht eines Falls
ist, bei dem keine grüne
Keramiklage mit zumindest einem darin ausgebildeten Loch, das auf
einer Plastikfolie aufgebracht ist, verwendet wird, und 28(b) eine schematische Schnittansicht eines Falls
ist, bei dem die Vorrichtung hergestellt wird, indem eine auf einer Plastikfolie
angebrachte grüne
Keramiklage mit zumindest einem darin ausgebildeten Locht durch
Laminieren auf der äußersten
Schicht des Laminats der grünen
Lagen hergestellt wird, wobei jedes davon zumindest ein darin ausgebildetes
Loch aufweist, und die Plastikfolie anschließend entfernt und eine grüne Lage,
welche eine dünne
Platte bildet, laminiert wird.
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29 ist
eine schematische erklärende
Ansicht noch einer weiteren Ausführungsform
einer piezoelektrischen/elektrostriktiven Vorrichtung der vorliegenden
Erfindung.
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30 ist
eine schematische erklärende
Ansicht noch einer weiteren Ausführungsform
einer piezoelektrischen/elektrostriktiven Vorrichtung der vorliegenden
Erfindung.
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31 ist
eine schematische erklärende
Ansicht noch einer weiteren Ausführungsform
einer piezoelektrischen/elektrostriktiven Vorrichtung der vorliegenden
Erfindung.
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32 ist
eine schematische Ansicht von Beispielen für jeweilige grüne Keramiklagen
zur Verwendung in einem Laminat aus grünen Lagen bei einem Verfahren
zur Herstellung einer piezoelektrischen/elektrostriktiven Vorrichtung
der vorliegenden Erfindung.
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33 ist
ein Diagramm, welches das Verschiebungsausmaß in Bezug auf die angelegten Spannungen
zeigt.
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34 ist
eine perspektivische erklärende Ansicht
noch einer weiteren Ausführungsform
eines piezoelektrischen Elements, welches eine piezoelektrische/elektrostriktive
Vorrichtung der vorliegenden Erfindung bildet.
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35 ist
eine schematische perspektivische Ansicht eines als Vergleichsbeispiel
verwendeten piezoelektrischen Aktuators.
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Beschreibung
der bevorzugten Ausführungsformen
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Im
Folgenden wird eine piezoelektrische/elektrostriktive Vorrichtung
der vorliegenden Erfindung anhand von Zeichnungen beschrieben. Die vorliegende
Erfindung ist jedoch nicht auf die in den Zeichnungen gezeigten
Ausführungsformen
beschränkt.
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Es
gilt anzumerken, dass in den folgenden Beschreibungen "piezoelektrisch" "piezoelektrisch und/oder elektrostriktiv" bedeuten kann. Außerdem steht
ein piezoelektrisches/elektrostriktives Element in der vorliegenden
Anmeldung für
ein Element, das zumindest ein Paar an Elektrodenschichten und eine piezoelektrische/elektrostriktive
Schicht umfasst, oder es kann auch ein Abschnitt vorliegen, der
nur eine Elektrode und eine piezoelektrische/elektrostriktive Schicht
aufweist. Ferner wird die Bezeichnung piezoelektrischer Bearbeitungsabschnitt
oder piezoelektrischer/elektrostriktiver Abschnitt verwendet, wenn
ein Beispiel mit einem Verschiebungselement in einem piezoelektrischen/elektrostriktiven
Element der vorliegenden Anmeldung durch einen Abschnitt beschrieben
wird, bei dem eine Beanspruchung erzeugt wird und es zu einer Verschiebung
kommt, wenn eine Spannung von außen angelegt wird, und zwar
durch einen Abschnitt, der im Wesentlichen ein Paar an Elektroden
und eine piezoelektrische/elektrostriktive Schicht umfasst. Darüber hinaus
steht "Länge" für den Abstand
in eine Richtung, in der ein beweglicher Teil mit einem Befestigungsabschnitt verbunden
ist, d.h. in die Z-Achsenrichtung in den Zeichnungen, "Breite" steht für den Abstand
in eine Richtung, die durch ein Loch führt, d.h. in die Y-Achsenrichtung
in den Zeichnungen, und "Dicke" steht für den Abstand
in eine Richtung, in der eine piezoelektrische/elektrostriktive
Vorrichtung mit einem dünnen
Plattenabschnitt laminiert ist, d.h. die X-Achsenrichtung in den
Zeichnungen. Es gilt anzumerken, dass in den Zeichnungen Teile mit
gleicher oder ähnlicher
Funktion im Prinzip mit den gleichen Symbolen bezeichnet sind.
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1. Ausführungsformen
der Vorrichtung
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Eine "piezoelektrische/elektrostriktive
Vorrichtung" (hierin
im Folgenden einfach als "Vorrichtung" bezeichnet) ist
ein Begriff, der sich auf ein Element zur Umwandlung von elektrischer
Energie in mechanische Energie und umgekehrt mittels eines piezoelektrischen/elektrostriktiven
Materials bezieht. Demgemäß kann die
Vorrichtung vorzugsweise als aktives Element für eine Reihe von Aktuatoren,
Oszillatoren und dergleichen eingesetzt werden, insbesondere als
Verschiebungselement, das die Verschiebung aufgrund des inversen
piezoelektrischen Effekts oder des elektrostriktiven Effekts nutzt,
es kann aber auch als passives Element für ein Beschleunigungsaufnehmerelement,
Stoßaufnehmer oder
dergleichen verwendet werden.
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1 ist
eine schematische perspektivische Ansicht einer Ausführungsform
einer Vorrichtung 1 gemäß einem
ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung. Die Vorrichtung 1 umfasst
jedes Element eines Ansteuerabschnitts 3, der durch die
Verschiebung eines piezoelektrischen Elements 2 angesteuert
wird, eines beweglichen Abschnitts 4, der bezogen auf die Ansteuerung
des Ansteuerabschnitts 3 verschoben wird, und eines Befestigungsabschnitts 5,
der den Ansteuerabschnitt 3 und den beweglichen Abschnitt 4 hält. Der
Ansteuerabschnitt 3 umfasst ein Paar an einander gegenüberliegenden
dünnen
Plattenabschnitten 6, 7 und ein filmartiges piezoelektrisches/elektrostriktives
Element 2, das auf der Außenfläche zumindest eines dünnen Plattenabschnitts der
dünnen
Plattenabschnitte ausgebildet ist, wobei der Befestigungsabschnitt 5 mit
dem beweglichen Abschnitt 4 über den Ansteuerabschnitt 3 gekoppelt ist,
wobei ein Teil des piezoelektrischen Betätigungsabschnitts auf dem Befestigungsabschnitt
vorliegt und ein Loch durch eine Innenwand des Ansteuerabschnitts 3,
eine Innenwand des beweglichen Abschnitts 4 und eine Innenwand
des Befestigungsabschnitts 5 definiert ist. Eine Struktur,
bei der ein piezoelektrischer Betätigungsabschnitt gemäß der vorliegenden
Erfindung den Befestigungsabschnitt oder den beweglichen Abschnitt überlappt,
ist dadurch gekennzeichnet, dass die Ver schiebungsform des Ansteuerabschnitts
so geformt ist, dass sich der dünne Plattenabschnitt
nach außen
hin biegt, wodurch der bewegliche Abschnitt mittels Verschiebungsmechanismus
stark verschoben werden kann. Um die Verschiebung zu gewährleisten
wird dabei bevorzugt, dass der Abstand des piezoelektrischen/elektrostriktiven
Betätigungsabschnitts,
der den Befestigungsabschnitt oder den beweglichen Abschnitt überlappt, mehr
als die Hälfte
der Dicke d des dünnen
Plattenabschnitts beträgt.
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Die
Vorrichtung 1 ist so strukturiert, dass das Verhältnis a/b
der Dicke des Lochs, nämlich
des Abstands a in X-Achsenrichtung in 1, und der
Breite des dünnen
Plattenabschnitts, nämlich
des Abstands b in Y-Achsenrichtung in 1 0,5 bis
20 beträgt. Das
Verhältnis
a/b beträgt
vorzugsweise 1 bis 10, noch bevorzugter 2 bis 8. Der definierte
Wert von a/b basiert auf der Erkenntnis, dass eine Verschiebung einer
piezoelektrischen/elektrostriktiven Vorrichtung gemäß der vorliegenden
Erfindung verstärkt
wird und eine dominante Verschiebung in der X-Z-Ebene in 1 erhalten
werden kann. Andererseits beträgt das
Verhältnis
e/a der Länge
des dünnen
Plattenabschnitts, nämlich
des Abstands e in Z-Achsenrichtung in 1 und der
Dicke a des Lochs a vorzugsweise 0,5 bis 10, noch bevorzugter 0,7
bis 5. Der definierte Wert von e/a basiert auf der Erkenntnis, dass eine
piezoelektrische/elektrostriktive Vorrichtung gemäß der vorliegenden
Erfindung eine hohe Verschiebung bei hoher Resonanzfrequenz, nämlich bei
hoher Ansprechgeschwindigkeit erzeugen kann. Damit also die vorliegende
Vorrichtung zu einer Struktur wird, bei der eine Schwung- oder Schwenkverschiebung
oder Vibration in Y-Achsen-Richtung unterdrückt wird und die Vorrichtung
eine bessere Hochgeschwindigkeitsansprechverhalten aufweist sowie
auch über
eine stärkere
Verschiebung bei relativ niedriger Spannung verfügt, ist es noch bevorzugter,
dass das Verhältnis
a/b bei 0,5 bis 20 liegt und das Verhältnis e/a bei 0,5 bis 10 liegt
und besonders bevorzugt, dass das Verhältnis a/b 1 bis 10 beträgt und das
Verhältnis
e/a 0,7 bis 5 beträgt.
Das Loch 8 kann darüber
hinaus mit einem Gelmaterial, wie z.B. einem Silicongel, befüllt sein.
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Die
Länge f
des in 1 gezeigten beweglichen Abschnitts ist vorzugsweise
kürzer.
Mit einer kürzeren
f kann der bewegliche Abschnitt 4 zu einem leichteren Abschnitt gemacht
werden und die Resonanzfrequenz kann höher sein. Um die Steifigkeit
des beweglichen Abschnitts 4 in X-Achsenrichtung zu sichern
und um eine Verschiebung dessen zu gewährleisten, sollte das Verhältnis f/d
in Bezug auf die Dicke d der oben angeführten dünnen Platte 3 oder mehr
betragen, vorzugsweise 10 oder mehr. Es gilt anzumerken, dass die
eigentlichen Dimensionen jeder der Komponenten bestimmt werden,
indem Folgendes in die Messungen einbezogen wird: die Verbindungsfläche zur
Anbringung der Komponenten an den beweglichen Abschnitt 4,
die Verbindungsfläche zur
Anbringung des Befestigungsabschnitts 5 an ein anderes
Element, die Verbindungsfläche
zur Anbringung von Elektrodenanschlüssen oder dergleichen, die
mechanische Festigkeit und Beständigkeit
der Vorrichtung als Ganzes, die erforderliche Verschiebung und Resonanzfrequenz,
die Ansteuerspannung und dergleichen. Normalerweise beträgt der Wert
a vorzugsweise 100 μm
bis 2.000 μm,
noch bevorzugter 200 μm
bis 1.000 μm.
Normalerweise beträgt
der Wert b vorzugsweise 50 μm
bis 2.000 μm,
noch bevorzugter 100 μm
bis 500 μm.
Damit eine Schwenkverschiebung oder eine Verschiebungskomponente in
Y-Achsenrichtung wirksam unterdrückt
werden kann, beträgt
der Wert d normalerweise b > d
in Bezug auf die Dicke d des Lochabschnitts, vorzugsweise 2 μm bis 100 μm, noch bevorzugter
4 μm bis
50 μm. Normalerweise
beträgt
der Wert e vorzugsweise 200 μm
bis 3.000 μm,
noch bevorzugter 500 μm
bis 2.000 μm.
Für gewöhnlich beträgt der Wert
f vorzugsweise 50 μm
bis 2.000 μm,
noch bevorzugter 100 μm bis
1.000 μm.
Es gilt anzumerken, dass durch eine solche Strukturierung der Vorrichtung
die Verschiebung in Y-Achsenrichtung in Bezug auf die Verschiebung
in X-Achsenrichtung, der Hauptachse, die Richtung üblicherweise
nicht über
10 % steigt, wobei durch geeignete Einstellung in einem Bereich
der bevorzugten Dimensionsverhältnisse
und der eigentlichen Dimensionen ist eine Ansteuerung bei niedriger Spannung
möglich,
und die Verschiebungskomponente in Y-Achsenrichtung auf 5 % oder
weniger eingestellt werden kann, was einen deutlichen Vorteil darstellt.
Anders gesagt wird eine im Wesentlichen dominante Verschiebung für eine Achse
der X-Achse, die die Hauptachse ist, erhalten. Dadurch kann eine
Vorrichtung erhalten werden, die ein besseres Hochgeschwindigkeitsansprechverhalten
aufweist und eine stärkere
Verschiebung bei relativ niedriger Spannung bewirkt.
-
Die
Ansteuerrichtung des Ansteuerabschnitts 3 ist in 3 schematisch
dargestellt. In 3 wird ein Fall gezeigt, bei
dem das piezoelektrische Element 2 der Vorrichtung 1 auf
einer Oberfläche
eines Paars an dünnen
Plattenabschnitten 6 ausgebildet ist und sich über den
Befestigungsabschnitt erstreckt, wobei in diesem Fall der Ansteuerabschnitt in
eine Richtung gesteuert wird, die orthogonal zur Verschiebungsrichtung
des piezoelektrischen Elements steht, was durch ein Symbol a' in 3 dargestellt
wird, und zwar in eine Richtung, die mit dem Symbol b' gekennzeichnet ist.
Anders gesagt kann der bewegliche Abschnitt 4, wie durch
das Symbol c' gezeigt,
in großem
Ausmaß betrieben
werden, da eine unendlich kleine Verschiebung in Ausdehnungs-/Kontraktions-Richtung
des piezoelektrischen Elements 2 durch Biegen des dünnen Plattenabschnitts 6 zuerst
zu einer größeren Ansteuerung
verstärkt
und anschließend
an den beweglichen Abschnitt übertragen
wird.
-
Es
gilt anzumerken, dass die Vorrichtung 1, dadurch dass die
Form der Vorrichtung, wie in 2 gezeigt,
kein plattenartiger Körper
ist, während
der bewegliche Abschnitt 4 und der Befestigungsabschnitt 5 eine
rechteckige Festkörperform
aufweisen und die dünnen
Plattenabschnitte 6 und 7 so bereitgestellt sind,
dass die Seitenflächen
des beweglichen Abschnitts 4 und des Befestigungsabschnitts 5 kontinuierlich
verlaufen, die Steifigkeit der Vorrichtung in Y-Achsenrichtung selektiv
erhöht
werden kann. Mit anderen Worten kann in der Vorrichtung 1 eine
Betätigung
des beweglichen Abschnitts 4 in nur einer Ebene, welche
die Ansteuerrichtung des Ansteuerabschnitts 3 umfasst,
nämlich
in der X-Z-Ebene, selektiv erzeugt werden, und die Betätigung des
beweglichen Abschnitts 4 in der Y-Z-Ebene, d.h. die Betätigung in
die so genannte Schwenkrichtung, kann unterdrückt werden.
-
Die
durch Innenwände
des Ansteuerabschnitts 3, eine Innenwand des beweglichen
Abschnitts 4 und eine Innenwand des Befestigungsabschnitts 5 definierte
Gestalt des Lochs 8 ist optional, solange die Betätigung des
Ansteuerabschnitts nicht behindert wird. Die Form kann beispielsweise
so sein, dass der Hauptabschnitt Wölbungen aufweist, sowohl links
als auch rechts, wie in 4 gezeigt, nach außen hin
ausgebildet sind, oder dass der Hauptabschnitt Wölbungen aufweist, die sowohl
links als auch rechts, wie in 5 gezeigt
nach innen ausgebildet sind. Bei beiden Formen ist die Vorrichtung in
Verschiebungsrichtung gebogen, womit eine gewünschte Verschiebung bei relativ
niedriger Spannung erhalten werden kann.
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Das
Loch 8 kann so ausgebildet sein, dass ein Teil davon in
einen Teil des beweglichen Abschnitts 4, wie in 6 gezeigt,
eindringt oder mit einem Teil davon ausgebildet sein kann, der in
einen Teil des Befestigungsabschnitts 5 sowie des beweglichen
Abschnitts 4, wie in 7 gezeigt,
eindringt. Im beweglichen Abschnitt 4 und Befestigungsabschnitt 5 ausgebildete
Teile des Lochs 8 müssen
sich nicht unbedingt ähneln
oder gleich sein, und die Formen können je nach Anwendungsart
der Vorrichtung oder dergleichen bestimmt werden. Natürlich muss die
Form des im beweglichen Abschnitt 4 und/oder Befestigungsabschnitt 5 auszubildenden
Lochs kein rechteckiger Festkörper
oder kubisch sein und kann je nach Anwendungsart oder dergleichen
aus bekannten Formen optional ausgewählt werden. In jedem der oben
beschriebenen Fälle
kann das Volumen des beweglichen Abschnitts 4 und/oder
des Befestigungsabschnitts 5 reduziert werden. Dadurch
ergibt sich der Vorteil, dass natürlich eine Vorrichtung mit
leichterem Gewicht erhalten werden kann, was insbesondere im beweglichen
Abschnitt 4 vorteilhafterweise bewirkt, dass die Resonanzfrequenz
erhöht wird.
Da der Verbindungsabschnitt des dünnen Plattenabschnitts mit
dem beweglichen Abschnitt oder dem Befestigungsabschnitt eine stufenförmige Struktur
aufweist, kann ferner eine im Verbindungsabschnitt zentrierte Beanspruchung,
verglichen mit einer Ausführungsform,
die keine solche stufenförmige Struktur
aufweist, wirksam aufgehoben werden, wodurch sich die Langzeitzuverlässigkeit
verbessert.
-
Wie
in 8 gezeigt, kann ein Durchgangsloch 8' in einem Teil
des beweglichen Abschnitts 4 so ausgebildet werden, dass
es mit dem Loch 8 kommuniziert. Obwohl nicht angeführt, kann
das Durchgangsloch 8' in
einem Teil des Befestigungsabschnitts 5 in einer 7 entsprechenden
Form auf ähnliche
Weise wie im beweglichen Abschnitt 4 auf eine mit dem Loch 8 kommunizierende
Weise ausgebildet werden. Das Durchgangsloch 8' kann natürlich in
einem Teil des Befestigungsabschnitts 5 statt im beweglichen
Abschnitt 4 in einer mit dem Loch 8 kommunizierenden
Form ausgebildet werden, auch wenn dies nicht angeführt ist.
Die im beweglichen Ab schnitt 4 und im Befestigungsabschnitt 5 ausgebildeten
Durchgangslöcher 8' müssen nicht ähnliche
oder gleich geformt sein, und die Form kann je nach Anwendungsart
der Vorrichtung oder dergleichen bestimmt werden. Die im beweglichen
Abschnitt 4 und/oder Befestigungsabschnitt 5 ausgebildeten Durchgangslöcher 8' müssen natürlich keine
rechteckige Festkörperform
oder kubische Form aufweisen und es ist klar, dass deren Form je
nach Anwendungsart davon oder dergleichen aus bekannten Formen optional
ausgewählt
werden kann.
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Im
Folgenden wird eine piezoelektrische/elektrostriktive Vorrichtung
beschrieben, die Folgendes umfasst: einen durch eine Verschiebung angesteuerten
Ansteuerabschnitt, einen beweglichen Abschnitt, der bezogen auf
die Ansteuerung des Ansteuerabschnitts betätigt wird, und einen Befestigungsabschnitt
zum Halten des Ansteuerabschnitts und des beweglichen Abschnitts,
wobei der Ansteuerabschnitt ein Paar an einander gegenüberliegenden
dünnen
Plattenabschnitten und einen filmartigen piezoelektrischen/elektrostriktiven
Betätigungsabschnitt
umfasst, der zumindest auf einem Teil der Außenfläche zumindest eines dünnen Plattenabschnitts
der dünnen
Plattenabschnitte ausgebildet ist und eine Länge aufweist, die länger ist
als die Länge
des dünnen
Plattenabschnitts, der den Ansteuerabschnitt bildet, und zumindest
bis zu einem Teil des beweglichen Abschnitts reicht und/oder eine Breite
aufweist, die gleich ist wie die Breite des dünnen Plattenabschnitts, wobei
der Befestigungsabschnitt mit dem beweglichen Abschnitt über den
Ansteuerabschnitt gekoppelt ist, wobei ein Loch durch eine Innenwand
des Ansteuerabschnitts, eine Innenwand des beweglichen Abschnitts
und eine Innenwand des Befestigungsabschnitts definiert ist.
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Zuerst
wird eine Ausführungsform
beschrieben, bei der ein piezoelektrisches/elektrostriktives Element
verwendet wird, dass auf zumindest einem Teil der Außenfläche zumindest
eines dünnen
Plattenabschnitts der dünnen
Plattenabschnitte ausgebildet ist und die gleiche Breite wie die
Breite des dünnen
Plattenabschnitts aufweist, wie in 9 dargestellt
ist. Wenn die Breite des piezoelektrischen/elektrostriktiven Elements,
wie in 9 und 10 gezeigt,
die gleiche Breite wie der dünne
Plattenabschnitt aufweist, wird die erzeugende Kraft des Ansteuerabschnitts
gesteigert, wodurch vorteilhafterweise eine höhere Verschiebung bewirkt wird.
In einem solchen Fall kann eine Vorrichtung umgesetzt werden, die
auf jeweils beiden Paaren der dünnen Plattenabschnitte
piezoelektrische Elemente 2 aufweist, wobei die untere
Elektrode 2c der zwei piezoelektrischen Elemente 2 so
bereitgestellt ist, dass sie herkömmlich verwendet werden kann,
und auf einer Oberflächenseite,
auf der Loch 8 offen ist, zum Befestigungsabschnitt 5 nach
außen
fortgesetzt, wobei eine obere Elektrode 2b auf der Oberflächenseite,
wo die einzelnen piezoelektrischen Elemente 2 ausgebildet
sind, direkt zum Befestigungsabschnitt 5 nach außen geführt ist.
In dieser Ausführungsform
kann die Vorrichtung zuverlässig
befestigt werden und vorteilhafterweise zur Komprimierung oder dergleichen
dienen, was von Vorteil ist, da ein Teil der Seite des Befestigungsabschnitts 5 auf
der anderen Oberfläche, auf
welcher das Loch 8 geöffnet
ist, nämlich
der Ziffer 9 in 9, keine darauf ausgebildete
Elektrode aufweist und der Teil zur Befestigung der Vorrichtung verwendet
werden kann. Wie im weiteren Verlauf beschrieben wird, kann die
Oberfläche
der Elektrode 2c als Befestigungsoberfläche dienen, wobei das Verbinden
und Befestigen mit Schaltkreisen und dergleichen gleichzeitig durch
geführt
werden kann. Darüber
hinaus zeigt 10 eine Ausführungsform eines in einem Teil
des beweglichen Abschnitts 4, wie in oben beschriebener 8 gezeigt,
in mit dem Loch 8 kommunizierender Weise ausgebildeten
Durchgangslochs 8',
wobei die Länge
des piezoelektrischen/elektrostriktiven Elements zu einem Teil des beweglichen
Abschnitts 4 unter Verwendung eines Elements, das in Bezug
auf die Z-Achsenrichtung länger
ist, hin verlängert
wird. In dieser Ausführungsform
werden ein Vorteil durch die Bildung des Durchgangslochs 8' und ein weiterer
Vorteil durch die Verlängerung
des piezoelektrischen/elektrostriktiven Elements in die Z-Achsenrichtung
veranschaulicht, was zu bevorzugen ist. Eine ähnliche Struktur ist natürlich in
Ausführungsformen,
die in 1 und in den 3 bis 8 gezeigt
werden, verwendbar. In 9 wird es jedoch hinsichtlich
des Verschiebungsmechanismus der Vorrichtung gemäß der vorliegenden Struktur
trotz der Ausbildung eines Elements in der Nähe des beweglichen Abschnitts 4 bevorzugt, ein
Element an einer Stelle über
einer Länge
von 65 % bis 85 % der Länge
des dünnen
Plattenabschnitts auszubilden, was zu einer großen Verschiebung führen kann.
-
Im
Folgenden wird eine Ausführungsform beschrieben,
bei der ein piezoelektrischer/elektrostriktiver Betätigungsabschnitt
eine Länge
aufweist, die länger
ist als die Länge
des dünnen
Plattenabschnitts, der den Ansteuerabschnitt bildet und, wie in 11 und 29 gezeigt,
bis zumindest einem Teil des beweglichen Abschnitts reicht. Wenn
diese Struktur verwendet wird, kann die mechanische Festigkeit des
Verbindungsabschnitts zwischen dem beweglichen Abschnitt und dem
dünnen
Plattenabschnitt verstärkt
und die Resonanzfrequenz gesteigert werden. Zudem zeigt 29 einen
Fall, bei dem ähnlich
wie in 9 die Breite eines piezoelektrischen Elements
die gleiche Breite aufweist wie jene des dünnen Plattenabschnitts und
ein Ende davon das Ende des beweglichen Abschnitts teilt. Gemäß dieser
Struktur wird zur in 11 gezeigten Wirkung der Struktur
zusätzlich
eine stark erzeugte Verschiebung und erzeugende Kraft in Bezug auf
die Wirkung der Breite eines piezoelektrischen Elements hinzugefügt. Darüber hinaus
ergibt sich das Merkmal, dass es unter den einander gegenüberliegenden
piezoelektrischen Elementen zu geringen Abweichungen kommt, da die
Form des piezoelektrischen Elements gemeinsam mit dem Befestigungsabschnitt
durch später
beschriebene mechanische Bearbeitung oder dergleichen bestimmt wird.
Obwohl in den 11 und 29 die
Längen
der unteren Elektrode, der piezoelektrischen Schicht und der oberen
Elektrode in einem piezoelektrischen Element gleich sind, müssen die
Längen
nicht zwingend gleich sein, und hinsichtlich des Verschiebungsmechanismus
der Vorrichtung gemäß der vorliegenden
Struktur wird bevorzugt, dass zumindest die obere Elektrode kürzer als
die piezoelektrische Schicht ist und die untere Elektrode etwa 50
% der Länge
des dünnen
Plattenabschnitts (Lochteillänge)
aufweist. Diese Art der Elektrodenstruktur wird bevorzugt, da eine
große Verschiebung
erhalten werden kann, während
gleichzeitig die mechanische Festigkeit des Verbindungsabschnitts
des dünnen
Plattenabschnitts mit dem beweglichen Abschnitt gewährleistet
ist.
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In
wie in 30 und 31 gezeigten
Ausführungsformen
wird im Unterschied zu einer Ausführungsform in oben beschriebener 9 ein
Element im dünnen
Plattenabschnitt in der Nähe
des Befestigungsabschnitts 5 ausgebildet. Mit anderen Worten wird
der piezoelektrische Betätigungsabschnitt
in 30 und 31 im
Gegensatz zu jenem Element, das als piezoelektrischer Betätigungsabschnitt
auf eine sich über den
dünnen
Plattenabschnitt und den Befestigungsabschnitt erstreckende Weise
in 9 ausgebildet ist, in einer sich über den
dünnen
Plattenabschnitt und den beweglichen Abschnitt erstreckende Weise
ausgebildet. Wie auch in 9 ist die Breite des piezoelektrischen/elektrostriktiven
Elements auch in 30 und 31 gleich
wie die Breite des dünnen
Plattenabschnitts, wodurch sich ein Vorteil wie in 9 ergibt
und der bewegliche Abschnitt per se in grundsätzlich gleicher Weise wie in 9 verschoben
werden kann. Es gilt anzumerken, dass 30 eine
Ausführungsform
ist, bei der auf dem Befestigungsabschnitt ein Anschluss auf der gleichen
wie auf der mit einem Element ausgebildeten Oberfläche ausgebildet
ist, während 31 eine Ausführungsform
ist, bei der auf dem Befestigungsabschnitt und dem beweglichen Abschnitt
ein Anschluss auf der gleichen wie auf der mit einem Element ausgebildeten
Oberfläche
ausgebildet ist, wobei ein Element mit einem an einer spezifischen
Stelle bereitgestellten Anschluss je nach Art der jeweiligen Vorrichtungsverpackung
zur Verwendung ausgewählt
werden kann.
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Nun
wird eine Anordnung von Anschlüssen zum
Anlegen von Ansteuersignalen 10 beschrieben, wie sie in 12 und 13 dargestellt
ist. 12 zeigt eine Ausführungsform, bei der die Anschlüsse zum
Anlegen von Ansteuersignalen 10 auf einer Seite des Befestigungsabschnitts 5 angeordnet
sind, nämlich
auf der gleichen Oberfläche,
auf der auch das piezoelektrische/elektrostriktive Element ausgebildet
ist. Gemäß dieser
Struktur kann die Vorrichtung unabhängig von der Oberfläche, auf
der die Anschlüsse
angeordnet sind, befestigt werden, wodurch hohe Zuverlässigkeit
in Bezug auf die Befestigung der Vorrichtung und die Verbindung
zwischen Schaltkreisen und Anschlüssen erhalten werden kann.
In dieser Ausführungsform
sind Anschlüsse
und Stromkreise mithilfe einer flexiblen gedruckten Schaltung (auch
FPC genannt), eines flexiblen Flachkabels (auch FCC genannt), Drahtbonden
oder dergleichen verbunden. 13 zeigt
Anschlüsse
zum Anlegen von Ansteuersignalen 10, die auf einer Oberfläche angeordnet
sind, die orthogonal zu einer Oberfläche steht, auf der ein piezoelektrisches/elektrostriktives Element
angeordnet ist. Wenn die Oberfläche,
auf der die Anschlüsse
zum Anlegen von Ansteuersignalen 10 ausgebildet sind, als
Befestigungsoberfläche genutzt
wird, kann das Verbinden der Anschlüsse zum Anlegen von Ansteuersignalen 10 mit
Schaltkreisen (nicht dargestellt) vorteilhafterweise gleichzeitig
mit dem Befestigen der Vorrichtung per se durchgeführt werden.
In dieser Ausführungsform werden
vorher Durchgangslöcher
im Befestigungsabschnitt 5 ausgebildet, und nachdem die
Durchgangslöcher
mit einem leitfähigen
Material gefüllt wurden,
wird die Struktur des piezoelektrischen/elektrostriktiven Elements
so ausgebildet, dass die jeweiligen Elektroden mit den Durchgangslöchern verbunden
sind, wonach die Fülloberflächen der
Durchgangslöcher
durch mechanische Bearbeitung freigelegt werden, sodass die Oberfläche als
Anschluss zum Anlegen von Ansteuersignalen 10 verwendet wird.
Als leitfähiges
Material kann ein Leitungsdraht eingebettet werden. Es wird angemerkt,
dass das in der Nähe
des Lochs 8 bereitgestellte Durchgangsloch in dieser Ausführungsform
als gemeinsamer Anschluss verwendet wird.
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Im
Folgenden wird eine Ausführungsform
mit einem im Loch 8 ausgebildeten Stab beschrieben. 14 zeigt
eine Ausführungsform
eines parallel in Z-Achsenrichtung ausgebildeten Stabs 12,
und 15 zeigt eine Ausführungsform eines senkrecht in
Z-Achsenrichtung ausgebildeten Stabs 12. In der in 14 gezeigten
Ausführungsform
kann die Steifigkeit der Vorrichtung ohne wesentliche Verringerung
der Verschiebung gesteigert werden, was zu einer erhöhten Resonanzfrequenz
führt,
was als Vorteil zu sehen ist. In einer in 15 gezeigten
Ausführungsform
kann die Steifigkeit der Vorrichtung gesteigert werden, wodurch
sich der Vorteil ergibt, dass die Resonanzfrequenz erhöht wird. 16 zeigt
eine Ausführungsform
eines, wie in 15 gezeigten, senkrecht in Z-Achsenrichtung
ausgebildeten Stabs 12, wobei zusätzlich zwei jeweils piezoelektrische/elektrostriktive
Elemente zwischen den jeweiligen Löchern 8 angeordnet
sind.
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In
oben beschriebener Ausführungsform
ist durch einzelne Steuerung einer Vielzahl von piezoelektrischen
Elementen 2 sowie durch Differenzieren des Verschiebungsausmaßes ohne
weiteres eine Betätigung
möglich,
bei der eine bogenförmige
Betätigung
innerhalb der X-Z-Ebene sowie eine Ausdehnungs-/Kontraktions-Betätigung in
Z-Achsenrichtung synthetisiert werden. Die in 16 gezeigte
Ausführungsform
stellt eine Struktur dar, die sich zur Anwendung für den Gebrauch
zum unabhängigen Durchführen von
Verschiebungen der oberen Stelle 4 und der unteren Stelle 4 in 16 eignet.
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Darüber hinaus
ist es möglich,
einen der zwei piezoelektrischen Elemente 2 als Ansteuerelement
und das andere als Vibrationsdetektionselement zu verwenden. Anders
gesagt kann der Ansteuerabschnitt als Beschleunigungssensor oder
Aufprallsensor betrieben werden, indem der Ansteuerabschnitt der
Vorrichtung zur Detektion einer Verschiebung des beweglichen Abschnitts
verwendet wird, wodurch eine Detektion einer Abweichung des Ansteuerelements
ermöglicht
wird, und wenn eine an das Ansteuerelement angelegte Spannung in
Bezug auf ein Signal aus dem Detektionselement gesteuert wird, ist
eine noch genauere Steuerung des Betätigungsausmaßes möglich. Durch
Detektion einer Vibration einer Stelle per se, bei der eine piezoelektrische/elektrostriktive
Vorrichtung bereitgestellt ist und indem der bewegliche Abschnitt
in Umkehrphase betrieben wird, um die detektierte Vibration auszugleichen,
kann die relative Vibration des beweglichen Abschnitts unterdrückt werden,
was von Vorteil ist.
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Ferner
ist nicht auf jeder der dünnen
Plattenabschnitte ein piezoelektrisches Element ausgebildet, und
das Element kann je nach Bedarf in eine Vielzahl von Elementen aufgeteilt
werden. Wenn beispielsweise das Element, wenn auch nicht angeführt, in
Y-Achsenrichtung geteilt ist, kann die Verschiebung jedes einzelnen
piezoelektrischen Elements gesteuert werden, wodurch die Verschiebung
in der Y-Z-Ebene (so genannte Schwenkkomponente) unterdrückt werden
kann, und wenn ein Element in Z-Achsenrichtung geteilt ist, wird
es am geteilten Abschnitt wahrscheinlich gebogen, wodurch das Betätigungsausmaß des beweglichen
Abschnitts erhöht wird
und die Auflösung
des Betätigungsausmaßes verbessert
werden kann. Wenn ein piezoelektrisches Element ferner geteilt ist,
kann eines der geteilten piezoelektrischen Elemente zu einem Ansteuerelement
und das andere zu einem Detektionselement gemacht werden, wodurch
eine kompakte Struktur und Detektion sowie Steuerung mit besserer
Präzision
umgesetzt wird.
-
Wenn
ein piezoelektrisches Element jeder der dünnen Plattenabschnitte wie
oben beschrieben geteilt ist, wird vorzugsweise ein Schlitz, wenn
auch nicht angeführt,
am dünnen
Plattenabschnitt zwischen den geteilten piezoelektrischen Elementen
bereitgestellt. Da der dünne
Plattenabschnitt dazu neigt, am Schlitz gebogen zu werden, tendiert
ein einzelnes piezoelektrisches Element aufgrund einer solchen Strukturierung
dazu, verschoben zu werden, wodurch die Verschiebung eines piezoelektrischen Elements
wirksam an den beweglichen Abschnitt übertragen werden kann, was
einen weiteren Vorteil darstellt.
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Wenn
es zwei oder mehr Ansteuerabschnitte gibt, müssen der bewegliche Abschnitt
und der Befestigungsabschnitt natürlich nicht an beiden Enden der
Vorrichtung vorliegen, und in einer in 16 gezeigten
Ausführungsform
können
beide Enden durch die Befestigungsabschnitte positioniert sein und
der bewegliche Abschnitt 4 kann zwischen den Befestigungsabschnitten
5-5 angeordnet sein.
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In
einer solchen Struktur können
mechanische Festigkeit und Stoßfestigkeit
trotz reduziertem Betätigungsausmaß des beweglichen
Abschnitts verbessert werden, da die Vorrichtung 1 sicher
befestigt werden kann, und die Betätigung innerhalb der Y-Z-Ebene (eine so
genannte Betätigung
in Schwenkrichtung) kann unterdrückt
werden, was noch einen Vorteil darstellt.
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In
einem Fall, bei dem eine Vielzahl von Ansteuerabschnitten wie oben
beschrieben bereitgestellt ist, wird es bevorzugt, dass jeder Spalt,
wenn auch nicht angeführt,
zwischen jedem der Ansteuerabschnitte, verglichen mit den Spalten
im Befestigungsabschnitt und beweglichen Abschnitt, mit einem kürzeren Abstand
strukturiert ist. Dadurch kann nämlich
das Betätigungsausmaß in einer
solchen Struktur erhöht
werden.
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Jeder
der Ansteuerabschnitte kann darüber hinaus
so strukturiert sein, dass dessen Länge zum beweglichen Abschnitt
hin kürzer
wird. In einer solchen Struktur wird am kürzeren Ansteuerabschnitt eine
genaue Steuerung des Ansteuerausmaßes möglich, während das Ansteuerausmaß am längeren Ansteuerabschnitt
erhalten bleibt, was zu bevorzugen ist, da der bewegliche Abschnitt
ein großes
Betätigungsausmaß erhalten
kann und auch eine genaue Einstellung möglich wird. Obwohl eine ausgeglichene
mechanische Festigkeit berücksichtigt
werden sollte, wird es ferner bevorzugt, dass die Vorrichtung, wenn
auch nicht angeführt,
eine zwischen jedem der Ansteuerabschnitte ausgebildete Kerbe aufweist.
An der Kerbe neigt ein dünner
Plattenabschnitt dazu, gebogen zu werden, wodurch das Betätigungsausmaß des beweglichen
Abschnitts erhöht
werden kann. Eine Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung
weist neben den oben beschriebenen Vorteilen den weiteren Vorteil
auf, dass ein Material für
andere Elemente neben einem piezoelektrischen/elektrostriktiven
Element gemäß den erforderlichen Merkmalen
jedes der Elemente geeignet ausgewählt werden kann, da es bei
der Strukturierung der Gesamtvorrichtung nicht erforderlich ist,
ein piezoelektrisches/elektrostriktives Material zu verwenden. Anders
gesagt, indem außer
dem piezoelektrischen/elektrostriktiven Element andere Elemente
mit einem leichtergewichtigen Material erstellt werden, kann die
Vorrichtung beständiger
gegenüber
schädigenden
Vibrationen gemacht werden, und auf gleiche Weise kann die mechanische
Festigkeit, Handhabungseigenschaften, Stoßfestigkeit und Feuchtigkeitsbeständigkeit
der Vorrichtung einfach verbessert werden.
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Da
der Gebrauch eines Füllstoffs
nicht erforderlich ist, wird die Verschiebungswirksamkeit aufgrund
einer inversen piezoelektrischen Wirkung oder einer elektrostriktiven
Wirkung reduziert.
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2. Komponenten
der Vorrichtung
-
Nun
wird jedes Element, aus denen eine Vorrichtung der vorliegenden
Erfindung besteht, mittels einer in 1 gezeigten
Ausführungsform
der Erfindung detailliert und einzeln beschrieben, auch wenn es
dabei teilweise zu Wiederholungen mit oben Beschriebenem kommt.
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(1) Beweglicher Abschnitt
und Befestigungsabschnitt
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Ein
beweglicher Abschnitt 4 ist ein Abschnitt zur Ansteuerung
basierend auf dem Ansteuerausmaß eines
Ansteuerabschnitts 3, und je nach Anwendungszwecken der
Vorrichtung 1 ist darauf eine Reihe von Elementen befestigt.
Wenn die Vorrichtung 1 beispielsweise als Verschiebungselement
eingesetzt wird, sind beispielsweise ein Schutzschild für einen optischen
Verschluss befestigt, oder wenn die Vorrichtung 1 als Mechanismus
zur Ausrichtung oder Unterdrückung
von Schwingungen einer Festplatte verwendet wird, kann ein Element,
das einer Positionierung bedarf, wie etwa ein Magnetkopf, ein Gleitstück mit einem
darauf befestigten Magnetkopf, eine Aufhängung mit einem darauf befestigten
Gleiter oder dergleichen befestigt sein.
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Ein
Befestigungsabschnitt 5 ist ein Abschnitt zum Halten des
Ansteuerabschnitts 3 und des beweglichen Abschnitts 4,
und durch Halten und Befestigen des Befestigungsabschnitts 5 an
einer beliebigen Basis, z.B. einem Trägerarm eines Schwingspulenmotors
(VCM), entweder über
eine Befestigungsplatte oder eine am Trägerarm befestigte Aufhängung und
dergleichen, wird die Vorrichtung 1 als Ganzes befestigt,
wenn sie zum Positionieren der oben beschriebenen Festplatte verwendet
wird.
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Weiters
können
auch Elektrodenleitungen oder andere Elemente angeordnet werden,
um ein piezoelektrisches/elektrostriktives Element 2 zu
steuern. In Bezug auf das Material für den beweglichen Abschnitt 4 und
den Befestigungsabschnitt 5 gibt es keine Einschränkungen,
solange Steifigkeit darin vorhanden ist, wobei jedoch Keramikmaterialien,
auf die das nachstehend beschriebene Laminierverfahren für grüne Keramiklagen
angewandt wird, bevorzugt sind. Diese Keramikmaterialien umfassen
insbesondere Materialien, die Zirconiumdioxid, wie z.B. vollständig stabilisiertes
Zirconiumdioxid, teilweise stabilisiertes Zirconiumdioxid oder dergleichen,
Aluminiumoxid, Magnesiumoxid, Siliciumnitrid, Aluminiumnitrid oder
Titanoxid, als Hauptkomponente umfassen, und außerdem können Materialien eingesetzt
werden, die ein Gemisch daraus als Hauptkomponente umfassen, aber
im Hinblick auf hohe mechanische Festigkeit und hohe Zähigkeit
ist Zirconiumdioxid, insbesondere ein Material, das vollständig stabilisiertes
Zirconiumdioxid als Hauptkomponente umfasst, oder ein Material,
das teilweise stabilisiertes Zirconiumdioxid als Hauptkomponente
umfasst, bevorzugt.
-
(2) Ansteuerabschnitt
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Ein
Ansteuerabschnitt 3 ist ein Abschnitt zur Ansteuerung durch
die Verschiebung eines piezoelektrischen/elektrostriktiven Elements 2,
der einander gegenüberliegende
dünne Plattenabschnitte 6 und 7 und
filmartige piezoelektrische/elektrostriktive Elemente 2 umfasst,
die auf der Oberfläche
der dünnen Plattenabschnitte 6 und 7 ausgebildet
sind.
-
➀ Dünner Plattenabschnitt
-
Die
dünnen
Plattenabschnitte 6 und 7 sind dünne plattenartige
Elemente mit Biegsamkeit, die dazu dienen, eine Ausdehnungs- oder
Kontraktionsverschiebung eines piezoelektrischen/elektrostriktiven
Elements 2, das auf ihren Oberflächen ausgebildet ist, in eine
Biegeverschiebung zu verstärken
und zu einem beweglichen Abschnitt 4 zu übertragen.
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Demgemäß wird der
Form oder dem Material der dünnen
Plattenabschnitte 6 und 7 genüge getan, wenn das Material über eine
ausreichende Biegsamkeit und mechanische Festigkeit verfügt, um während einer
Biegeverformung nicht zu Bruch zu kommen, und das Material kann,
unter Berücksichtigung
der Zuverlässigkeit
und Ansteuerbarkeit des beweglichen Abschnitts, passend ausgewählt werden.
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Für gewöhnlich beträgt die Dicke
der dünnen Plattenabschnitte 6 und 7 vorzugsweise
etwa 2 μm bis
100 μm,
und die Gesamtdicke der dünnen
Plattenschichten 6 und 7 und der piezoelektrischen
Elemente 2 beträgt
vorzugsweise 7 μm
bis 500 μm.
Die Breite der dünnen
Plattenabschnitte 6 und 7 beträgt vorzugsweise 50 μm bis 2.000 μm.
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Als
Material für
die dünnen
Plattenabschnitte 6 und 7 wird vorzugsweise ein
Keramikkörper
auf gleiche Weise wie im beweglichen Abschnitt 4 und Befestigungsabschnitt 5 verwendet,
wobei Zirconiumdioxid, insbesondere ein Material mit vollständig stabilisiertem
Zirconiumdioxid als Hauptkomponente, oder ein Material mit teilweise
stabilisiertem Zirconiumdioxid als Hauptkomponente, aufgrund hoher
mechanischer Festigkeit, hoher Zähigkeit
und geringer Reaktivität
mit piezoelektrischen Schichten oder Elektrodenmaterial besonders
bevorzugt wird. Es gilt anzumerken, dass das oben angeführte vollständig stabilisierte
Zironiumdioxid vorzugsweise wie später beschrieben stabilisiert
ist. Als Verbindungen zur Stabilisierung von Zirconiumdioxid kommen
nämlich
Yttriumoxid, Ytterbiumoxid, Ceroxid, Calciumoxid und Magnesiumoxid
in Frage. Obwohl Zirconiumdioxid teilweise oder vollständig stabilisiert
sein kann, indem zumindest eines der oben angeführten Verbindungen zugesetzt
wird oder enthalten ist, ist die gewünschte Stabilisierung von Zirconiumdioxid
nicht nur durch den Zusatz einer der oben angeführten Verbindungen möglich, sondern
auch durch den Zusatz einer Kombination dieser Verbindungen.
-
Es
gilt anzumerken, dass eine Beladung mit den jeweiligen Verbindungen
für Yttriumoxid
oder Ytterbiumoxid 1 bis 30 Mol-% (Molprozent), vorzugsweise 1,
5 bis 10 Mol-%, für
Ceroxid 6 bis 50 Mol-%, vorzugsweise 8 bis 20 Mol-%, und für Calciumoxid oder
Magnesiumoxid 5 bis 40 Mol-%, vorzugsweise 5 bis 20 Mol-%, ausmacht,
und davon ist Yttriumoxid als Stabilisator besonders bevorzugt,
wobei in diesem Fall die Beladung vorzugsweise 1,5 bis 10 Mol-%,
noch bevorzugter 2 bis 4 Mol-% beträgt. Außerdem kann als Additiv für eine Sinterhilfe
vorzugsweise auch Aluminiumoxid, Siliciumoxid, ein Übergangsmetalloxid
oder dergleichen innerhalb eines Bereichs von 0,05 bis 20 Gew.-%
zugesetzt werden.
-
Damit
die oben beschriebene mechanische Festigkeit und die stabilisierte
Kristallphase erhalten werden können,
wird vorzugsweise Zirconiumoxid mit einem mittleren Kristallkorndurchmesser
von 0,05 bis 3 μm,
vorzugsweise 0,05 bis 1 μm
oder weniger, verwendet. In Bezug auf die dünnen Plattenabschnitte 6 und 7 kann,
wie schon beschrieben, ein ähnliches
oder das gleiche Keramikmaterial wie für den beweglichen Abschnitt 4 und
den Befestigungsabschnitt 5 verwendet werden, obwohl es
im Hinblick auf eine höhere
Zuverlässigkeit
der Verbindungsabschnitte, höhere
mechanische Festigkeit der Vorrichtung und einfachere Herstellung
vorzugsweise aus im Wesentlichen demselben Material besteht.
-
➁ Piezoelektrisches
Element
-
Ein
piezoelektrisches Element 2 umfasst zumindest eine piezoelektrische
Schicht und ein Paar an Elektroden zum Anlegen einer Spannung an
die piezoelektrische Schicht. Obwohl ein herkömmlicherweise bekanntes piezoelektrisches
Element vom Unimorph-Typ, Bimorph-Typ oder dergleichen eingesetzt
werden kann, besteht das piezoelektrische Element, das der in der
vorliegenden Anmeldung beschriebenen Vorrichtung entspricht, vorzugsweise aus
einem piezoelektrischen Element vom Unimorph-Typ, da der Unimorph-Typ
höhere
Stabilität
in Bezug auf das zu erzeugende Verschiebungsausmaß aufweist
und vorteilhaft bei der Verringerung des Gewichts ist. Wie beispielsweise
in 17 dargestellt wird vorzugsweise ein piezoelektrisches
Element 2 vom Laminat-Typ oder dergleichen mit einer unteren
Elektrode 2c, einer piezoelektrischen Schicht 2a und
einer oberen Elektrode 2b, oder dergleichen, die darauf
in Schichten laminiert sind, verwendet. Zusätzlich zu einem Mechanismus,
bei dem die piezoelektrische Schicht 2a, obwohl nicht gezeigt, zwischen
einem Paar an oberen und unteren Elektroden angeordnet ist, wird
auch bevorzugt, dass ein piezoelektrisches Element in mehrstufiger
Struktur ausgebildet wird, indem weiters eine piezoelektrische Schicht 2a auf
der oberen Elektrode (in einem solchen Fall wird die Elektrode nicht
als obere Elektrode bezeichnet) und ferner eine obere Elektrode
auf der piezoelektrischen Schicht 2a ausgebildet ist.
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Darüber hinaus
kann auch ein wie in 18 gezeigtes piezoelektrisches
Element 2 verwendet werden, das eine erste Elektrode 2b und
eine zweite Elektrode 2c umfasst, wobei beide eine Kammstruktur
aufweisen, wobei die erste Elektrode 2b und die zweite
Elektrode 2c abwechselnd einem Spalt 13 mit vorbestimmter
Breite zwischen den jeweiligen Zähnen
jedes Kamms gegenüberliegen.
In 18 können
die Elektroden zwischen dem dünnen
Plattenabschnitt 6 und der piezoelektrischen Schicht 2a ausgebildet
sein, auch wenn eine erste Elektrode 2b und eine zweite
Elektrode 2c auf der oberen Oberfläche der piezoelektrischen Schicht 2a,
die den Elektrode 2c auf der oberen Oberfläche der
piezoelektrischen Schicht 2a, die den dünnen Plattenabschnitt 6 überlappt,
angeordnet sind, oder die Elektroden sind vorzugsweise sowohl auf
der oberen Oberfläche
der piezoelektrischen Schicht 2a als auch zwischen der dünnen Platte 6 und
der piezoelektrischen Schicht 2a ausgebildet. Mit anderen
Worten sind Elektroden in einem piezoelektrischen Element der vorliegenden Struktur
auf zumindest einer Hauptfläche
zumindest einer piezoelektrischen Schicht 2a ausgebildet.
Ferner umfasst ein wie in 19 gezeigtes
piezoelektrisches Element auch eine erste Elektrode 2b und
eine zweite Elektrode 2c, die beide eine Kammstruktur aufweisen,
und ist so strukturiert, dass die erste Elektrode 2b und
die zweite Elektrode 2c abwechselnd einem Spalt 13 mit
vorbestimmter Breite zwischen den jeweiligen Zähnen jedes Kamms gegenüberliegt.
Obwohl ein piezoelektrisches Element 2 so vorliegt, dass
es in der Lage ist, die piezoelektrische Schicht 2a in
einem Spalt 13 zwischen der ersten Elektrode 2b und
der zweiten Elektrode 2c einzubetten, kann ein solches
piezoelektrisches Element vorzugsweise auch in einer Vorrichtung
gemäß der vorliegenden Erfindung
verwendet werden. Bei Verwendung eines piezoelektrischen Elements
mit Elektroden vom Kammtyp, wie dies bei dem in oben angeführten 18 und 19 der
Fall ist, kann die Verschiebung des piezoelektrischen Elements durch
Verkleinerung des Abstands D zwischen den jeweiligen Zähnen jedes
Kamms erhöht
werden. Die Form des dünnen
Plattenabschnitts, in welchem ein piezoelektrisches/elektrostriktives
Element gemäß der vorliegenden
Anmeldung ausgebildet wird, ist nicht darauf beschränkt, rechteckig
zu sein; es kann auch eine Kreisform gewählt werden, wobei es in einem
solchen Fall bevorzugt wird, ein piezoelektrisches/elektrostriktives
Element vom Komplementärtyp
zu verwenden. In 34 ist ein Paar an Elektroden 2b und 2c jeweils
strukturiert, um Schäfte 20 und 22 aufzuweisen,
die sich zum Mittelpunkt der piezoelektrischen/elektrostriktiven
Schicht 2a hin erstrecken und jeweils Abzweigungen 24 und 26 aufweisen,
die Mehrfachabzweigungen aus den Schäften 20 und 22 aufweisen.
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Es
gilt anzumerken, dass obwohl das piezoelektrische Element 2 wie
die in 1 gezeigte Vorrichtung ausgebildet ist, das piezoelektrische
Element 2 auch innerhalb der Vorrichtung 1 (und
zwar im Loch) und auch sowohl innerhalb als auch außerhalb der
Vorrichtung 1 hinsichtlich dessen, dass der Ansteuerabschnitt
ein großes
An steuerungsausmaß aufweist,
vorzugsweise auf der Außenfläche der
Vorrichtung 1. ausgebildet sein kann. Es gilt anzumerken,
dass bei der Ausbildung des piezoelektrischen Elements 2 innerhalb
der Vorrichtung 1 ein Verfahren angewandt wird, bei dem
das piezoelektrische Element gleichzeitig mit der Herstellung der
Basis, die zumindest einen dünnen
Plattenabschnitt, einen Befestigungsabschnitt und einen beweglichen
Abschnitt umfasst, ausgebildet wird, was später beschrieben ist, wobei
der piezoelektrische Betätigungsabschnitt den
Befestigungsabschnitt und/oder den beweglichen Abschnitt überlappt.
Als piezoelektrische Schicht wird, auch wenn ein piezoelektrischer
Keramikkörper
bevorzugt wird, ein elektrostriktiver Keramikkörper, ein ferroelektrischer
Keramikkörper
oder ein antiferroelektrischer Keramikkörper ebenfalls verwendet. Wenn
das piezoelektrische Element 2 jedoch für einen Magnetkopf oder dergleichen
verwendet wird, wird vorzugsweise ein Material mit geringer Dehnungsshysterese
eingesetzt und ein Material mit einer elektrischen Koerzitivkraft
von 10 kV/mm oder weniger bevorzugt, da die Linearität zwischen
einem Betätigungsausmaß des beweglichen
Abschnitts und einer Ansteuerspannung oder einer Ausgangsspannung
als wichtig erachtet wird.
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Als
spezifischer, für
diesen Zweck verwendbarer piezoelektrischer Keramikkörper, ist
ein solcher angeführt,
der Bleizirconat, Bleititanat, Bleimagnesiumniobat, Bleinickelniobat,
Bleizinkniobat, Bleimanganniobat, Bleiantimonstannat, Bleimanganwolframat,
Bleicobaltniobat, Bariumtitanat, Natriumbismuttitanat, Kaliumnatriumniobat,
Strontiumbismuttantalat und dergleichen jeweils einzeln oder als
Gemisch enthält.
Insbesondere angesichts dessen, dass der Keramikkörper einen
höheren
elektromechanischen Kopplungsfaktor und eine höhere piezoelektrische Konstante
und eine geringe Reaktivität
mit den dünnen
Plattenabschnitten (Keramikkörper)
beim Sintern einer piezoelektrischen Schicht aufweist, und ein in der
Zusammensetzung stabilisierter Keramikkörper erhalten werden kann,
wird vorzugsweise ein Material, das Bleizirconat, Bleititanat und
Bleimagnesiumniobat als Hauptkomponente enthält, oder ein Material, das
Natriumbismuttitanat als Hauptkomponente enthält, bevorzugt verwendet.
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Weiters
können
für die
obengenannten piezoelektrischen Keramiken Oxide von Lanthan, Calcium,
Strontium, Molybdän,
Wolfram, Barium, Niob, Zink, Nickel, Mangan, Cerium, Cadmium, Chrom,
Cobalt, Antimon, Eisen, Yttrium, Tantal, Lithium, Wismuth, Zin,
oder ähnliches
einzeln oder als Keramikmischung verwendet werden. Zum Beispiel,
wenn Lanthan oder Strontium in einem Gemisch aus Bleizirkanat, Bleititanat
und Bleimagnesiumniobat beinhaltet ist, das eine Hauptkomponente
ist, kann ein Vorteil dadurch erzielt werden, dass das elektrische
Koerzitivfeld, die piezoelektrischen Eigenschaften oder ähnliches
einstellbar gemacht wird.
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Andererseits
wird erwünscht,
dass eine Elektrode eines piezoelektrischen Elements bei Raumtemperatur
fest ist und aus einem Metall mit höherer Leitfähigkeit besteht, wobei ein
solches Metall, wie z.B. Aluminium, Titan, Chrom, Eisen, Cobalt,
Nickel, Kupfer, Zink, Niobium, Molybdän, Ruthenium, Palladium, Rhodium,
Silber, Zinn, Tantal, Wolfram, Iridium, Platin, Gold, Blei oder
dergleichen, alleine oder als Legierung jeder dieser Metalle eingesetzt
werden kann. Darüber
hinaus kann zu diesem Zweck auch ein Cermet-Material verwendet werden,
das mit dem gleichen Material wie die piezoelektrische Schicht und/oder
der dünne
Plattenabschnitt dispergiert ist, verwendet werden.
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Die
Auswahl eines Materials für
eine Elektrode eines piezoelektrischen/elektrostriktiven Elements hängt vom
Verfahren zur Ausbildung der piezoelektrischen Schicht ab. Wenn
beispielsweise zuerst eine erste Elektrode auf dem dünnen Plattenabschnitt ausgebildet
wird, und dann durch Sintern eine piezoelektrische/elektrostriktive
Schicht auf der ersten Elektrode ausgebildet wird, ist es notwendig,
ein Metall mit einem hohen Schmelzpunkt zu verwenden, wie z.B. Platin
oder dergleichen, das bei der Sintertemperatur der piezoelektrischen/elektrostriktiven Schicht
nicht beeinflusst wird. Da die zweite Elektrode, die auf der piezoelektrischen
Schicht ausgebildet werden soll, nachdem die piezoelektrische Schicht gebildet
ist, bei einer niedrigen Temperatur ausgebildet werden kann, ist
ein Metall mit einem niedrigen Schmelzpunkt wie Aluminium, Gold,
Silber oder dergleichen verwendbar.
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Da
die Dicke einer Elektrode ebenfalls eine erhebliche Verschlechterung
der Verschiebung eines piezoelektrischen/elektrostriktiven Elements
verursachen kann, besonders bei einer oberen Elektrode, wie sie
in 17 dargestellt ist, die nach dem Sintern der piezoelektrischen/elektrostriktiven
Schicht ausgebildet werden soll, oder im Falle der kammartigen Elektrode,
wie sie in 18 dargestellt ist, wird vorzugsweise
ein Material aus einer organischen Metallpaste, wie z.B. Goldresinatpaste,
Platinresinatpaste, Silberresinatpaste oder dergleichen eingesetzt,
was einen feineren und dünneren
Film nach dem Sintern garantiert.
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Obwohl
in einer Vorrichtung 1, in der jeweils eine piezoelektrische
Elektrode 2 auf zwei gegenüberliegenden dünnen Plattenabschnitten 6 und 7 ausgebildet
ist, eine Vielzahl von Arten für
die Elektrodenleitungen von einem piezoelektrischen Element 2 als
in 9 oder 11 dargestellte
Arten zur Verfügung
stehen, wird herkömmlich
eine untere Elektrode 2c der zwei piezoelektrischen Elemente verwendet
und auf einer Seite, auf der ein Loch 8 offen ist, zum
Befestigungsabschnitt 5 nach außen fortgesetzt, und obere
Elektroden 2b werden auf der Oberflächenseiten, wo die einzelnen
piezoelektrischen Elemente 2 ausgebildet sind, direkt zum
Befestigungsabschnitt 5 nach außen geführt. Da bei solchen Arten auf
einem Abschnitt auf der Seite des Befestigungsabschnitts 5 auf
der anderen Oberfläche, wo
das Loch 8 offen ist (Symbol 9 in 9),
keine Elektrode ausgebildet ist, und der Abschnitt zur Befestigung
der Vorrichtung zur Verfügung
steht, kann die Vorrichtung zuverlässig befestigt werden, was vorteilhaft
für die
Verdichtung und dergleichen ist.
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Als
alternative Art können,
wie in 20(a) dargestellt ist, sowohl
eine obere Elektrode 2b als auch eine untere Elektrode 2c so
nach außen
führen, dass
sie auf der Oberflächenseite
des Befestigungsabschnitts 5, wo die einzelnen piezoelektrischen
Elemente 2 ausgebildet sind, nebeneinander liegen, oder
wie in 20(b) dargestellt ist, können sowohl eine
obere Elektrode 2b als auch eine untere Elektrode 2c auf
den entsprechenden Oberflächen,
wo die piezoelektrischen Elemente 2 ausgebildet sind, jeweils
separat zur Seite des beweglichen Abschnitts 4 und zur
Seite des Befestigungsabschnitts 5 nach außen führen.
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3. Verfahren
zur Herstellung der Vorrichtung
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Nun
wird ein Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung der vorliegenden
Erfindung beschrieben.
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Vorzugsweise
ist das Material, aus dem die einzelnen Elemente bestehen, für eine Vorrichtung der
vorliegenden Erfindung ein Keramikmaterial, und sämtliche
Komponenten, und zwar die Basis der Vorrichtung mit Ausnahme eines
piezoelektrischen Elements, das einen dünnen Plattenabschnitt, einen
Befestigungsabschnitt und einen beweglichen Abschnitt und je nach
Fall einen Stab umfasst, werden mithilfe des Laminierverfahrens
für grüne Keramiklagen
hergestellt, wobei bevorzugt wird, dass die jeweiligen Anschlüsse, wie
etwa ein piezoelektrisches/elektrostriktives Element, unter Einsatz
von Filmbildungsverfahren für
dünne Filme,
dicke Filme oder dergleichen hergestellt werden. Das Laminierverfahren
für grüne Keramiklagen,
das in der Lage ist, jedes der Elemente der Basis der Vorrichtung
einstückig
auszubilden, ist ein einfaches Herstellungsverfahren, das hohe Zuverlässigkeit
in Bezug auf die Verbindungsabschnitte und die Steifigkeit der Vorrichtung bereitstellt,
da es im Laufe der Zeit kaum zu Zustandsänderungen an den Verbindungsabschnitten der
einzelnen Elemente kommt. In einer Vorrichtung gemäß der vorliegenden
Anmeldung stellt die Zuverlässigkeit
beim Verbinden einen äußerst wichtigen Punkt
dar, der für
die Merkmale der Vorrichtung maßgebend
ist, da der Verbindungsabschnitt des dünnen Plattenabschnitts, der
den Ansteuerabschnitt darstellt, mit dem Befestigungsabschnitt und
dem beweglichen Abschnitt als Angelpunkt zur Bildung einer Verschiebung
dient. Da das Verfahren weiters bessere Produktivität und Formbarkeit
mit sich bringt, kann eine Vorrichtung mit einer vorbestimmten Gestalt
dadurch in kürzerer
Zeit und mit besserer Reproduzierbarkeit hergestellt werden. Es
gilt anzumerken, dass, obwohl die Bezeichnungen „dünne Platte" und „dünner Plattenabschnitt" in der Beschreibung
der vorliegenden Anmeldung verwendet werden, Erstere für ein Element
im Zusammenhang mit einer grünen Lage
beim Herstellungsverfahren steht, während Letztere sich auf einen
Abschnitt bezieht, der zusammen mit einem piezoelektrischen Element
einen Ansteuerabschnitt in einem Laminat bildet.
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(1) Verfahren zur Herstellung
des Laminatkörpers
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Zuerst
wird eine Aufschlämmung
hergestellt, indem ein Bindemittel, ein Lösungsmittel, ein Dispersionsmittel,
ein Weichmacher oder dergleichen zu Keramikpulver aus ausgewähltem Zirconiumdioxid oder
dergleichen zugesetzt und eingemischt werden, wonach die Aufschlämmung entgast
und zur Herstellung einer grünen
Keramiklage mit einer vorbestimmten Dicke verwendet wird, und zwar
mittels des Umkehrwalzenbeschichtungsverfahrens, Rakelverfahrens
oder dergleichen.
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Dann
wird die grüne
Keramiklage mittels eines Verfahrens, wie z.B. Stanzen unter Verwendung einer
Stanzform, Laserbearbeitung oder dergleichen, zu verschiedenen Gestalten
verarbeitet, z.B. zu den in 21 dargestellten.
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Eine
grüne Keramiklage 101 stellt
eine grüne Keramiklage
schematisch dar, die nach dem Sintern hauptsächlich eine dünne Platte
bildet, und eine grüne
Keramiklage 102 mit zumindest einem darauf ausgebildeten
rechteckigen Loch 103, die eine grüne Keramiklage für Elemente
darstellt, die einen beweglichen Abschnitt und einen Befestigungsabschnitt
bilden. Mit der grünen
Keramiklage 102 kann eine Vielzahl von Vorrichtungen gleichzeitig
erhalten werden, oder zumindest eine Vorrichtung mit einer Vielzahl von
beweglichen Abschnitten kann erhalten werden, indem eine Reihe oder
mehrere Reihen von Löchern 103 nebeneinander
ausgebildet werden. Durch den Einsatz von zumindest zwei grünen Keramiklagen, die
dünne Platten
bilden sollen, und zumindest einer grünen Keramiklage mit zumindest
einem darauf ausgebildeten Loch, das vorher bereitgestellt wird, und
durch Auflaminieren zumindest einer grünen Keramiklage mit zumindest
einem darauf ausgebildeten Loch darauf, beispielsweise zwischen
zumindest zwei grünen
Keramiklagen, die dünne
Platten bilden sollen, kann ein grüner Keramiklaminatkörper erhalten
werden, der grüne
Keramiklagen, die ein Paar dünne
Platten bilden sollen, und eine Reihe von grünen Keramiklagen mit zumindest
einem darauf ausgebildeten Loch umfasst. Natürlich gibt es keinerlei spezielle
Einschränkungen
in Bezug auf das Verfahren zur Herstellung des grünen Keramiklaminatkörpers, mit
anderen Worten in Bezug auf die Laminierreihenfolge der grünen Keramiklagen,
die dünne Platten
bilden sollen, und der grünen
Ke ramiklagen mit zumindest einem darauf ausgebildeten Loch, und normalerweise
kann das Laminieren in beliebiger Reihenfolge durchgeführt werden,
solange die nachfolgenden Verfahren nicht durch den Laminatkörper beeinflusst
werden.
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Schritte
zur Herstellung des grünen
Keramiklaminatkörpers
umfassen einen Schritt des Herstellens von grünen Keramiklagen, die ein Paar
dünne Platten
bilden sollen, um einander gegenüberliegend
laminiert zu werden, einen Schritt des Herstellens von grünen Keramiklagen,
die ein Paar dünne Platten
werden soll, um jeweils so laminiert zu werden, dass sie auf den äußersten
Schichten einander gegenüberliegen,
einen Schritt des Herstellens einer grünen Keramiklage, die eine dünne Platte
bilden soll und mit zumindest einer grünen Keramiklage mit zumindest
einem darauf ausgebildeten Loch laminiert ist, einen Schritt des
Herstellens einer grünen
Keramiklage, die eine dünne
Platte bilden soll und mit einer gewünschten Anzahl von grünen Keramiklagen mit
zumindest einem darauf ausgebildeten Loch laminiert ist, einen Schritt
des Herstellens zumindest einer grünen Keramiklage mit zumindest
einem darauf ausgebildeten Loch, die mit grünen Keramiklagen laminiert
ist, welche ein Paar dünne
Platten auf der äußersten
Schicht bilden sollen, und zwar einander gegenüberliegend, einen Schritt,
bei dem zwei Laminatkörper
A, hergestellt durch Laminieren einer grünen Keramiklage, die eine dünne Platte
bilden soll, mit zumindest einer grünen Keramiklage mit zumindest
einem darauf ausgebildeten Loch, vorbereitet werden und ein Laminatkörper B,
der mit einem oder einer Vielzahl von grünen Keramiklagen, die jeweils ein
darauf ausgebildetes Loch aufweisen, laminiert ist, hergestellt
wird, und wenn die beiden Laminatkörper A laminiert werden, um
die dünnen
Platten zu erhalten, welche die äußersten
Schichten bilden, kann das Laminieren durch das Dazwischenliegen
der einen grünen
Keramiklage mit zumindest einem darauf ausgebildeten Loch oder des
Laminatkörpers
B und dergleichen durchgeführt
werden.
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Es
gilt anzumerken, dass wenn eine Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung
durch solch ein Laminierverfahren für grüne Keramiklagen hergestellt
wird, bei der Ausbildung eines Lochs durch Laminieren dicker Lagen,
wie in 28(a) dargestellt ist, die Wahrscheinlichkeit
hoch ist, dass es zu einem Größenunterschied
in den Längen
L1 und L2 der dünnen
Platten kommt, die mit dem Ansteuerabschnitt verbunden sind, etwa
durch Schrumpfen der grünen
Keramiklagen, durch eine Verschlechterung der Bearbeitungspräzision aufgrund
eines Unterschieds in der Abmessungsgenauigkeit begleitet von einer
Bearbeitung dicker grüner
Keramiklagen, oder durch eine Verlagerung von Positionen während der Verformung
von Lagen während
des Laminierens oder dergleichen. Der Unterschied in den Abmessungen
von L1 und L2 zeigt sich intakt als Unterschied in der Verschiebung
in die Links- und Rechtsrichtung (X-Achsenrichtung) in 28(a).
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Diese
Probleme werden in Angriff genommen, indem ein Schritt durchgeführt wird,
bei dem beim Laminieren zumindest einer Vielzahl von grünen Keramiklagen
mit zumindest einem darauf ausgebildeten Loch eine grüne Keramiklage,
die auf einem Kunststofffilm aufgebracht ist und zumindest ein darauf
ausgebildetes Loch aufweist, auf eine Oberfläche laminiert wird, welche
die äußerste Oberfläche des
grünen
Keramiklaminatkörpers
mit zumindest einem darauf ausgebildeten Loch darstellen soll, sodass
der Kunststofffilm eine neue äußerste Schicht darstellt,
der Kunststofffilm nach dem genauen Positionieren des Lochs entfernt
wird, oder ein Schritt, bei dem eine auf einem Kunststofffilm aufgebrachte
und zumindest ein darauf ausgebildetes Loch aufweisende grüne Keramiklage
auf eine grüne
Keramiklage laminiert wird, welche die dünne Platte bilden soll, sodass
der Kunststofffilm eine neue Außenschicht
darstellt, und nach dem genauen Positionieren des Lochs der Kunststofffilm
entfernt wird. Mittels obigen Schritts kann nicht nur die Verformung
einer grünen Keramiklage
während
ihrer Handhabung im Wesentlichen vermieden werden, sondern auch
beide Oberflächen,
welche die äußersten
Oberflächen
darstellen sollen, können
jeweils mit der gleichen Gestalt ausgebildet werden, was, wie in 28(b) gezeigt, eine genaue Positionierung des
Lochs ermöglicht und
die Laminierpräzision
erhöht,
was wiederum durch die Verbesserung der Bearbeitungspräzision zu
einer Stabilisierung der Abmessungen führt, mit dem Ergebnis, dass
die Eigenschaften der Vorrichtung, z.B. Verschiebungseigenschaften,
verbessert werden.
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Weiters
weist von den oben beschriebenen Verfahren zur Herstellung unter
Einsatz des Kunststofffilms Ersteres eine geringere Anzahl an Laminierschritten
zur Erhal tung des endgültigen
Laminatkörpers
und stellt ein effektives Verfahren zur Verringerung der Herstellungsschritte
dar, während
Letzteres durch die Bereitstellung einer Verbindungshilfsschicht,
die nachstehend beschrieben wird, damit die Verbindungseigenschaften
an eine Laminatgrenzfläche
sichergestellt werden, andererseits vorteilhaft ist.
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Mit
anderen Worten ist Ersteres in Bezug auf die Anzahl von Laminierschritten
effizienter, da eine auf einem Kunststofffilm ausgebildete grüne Keramiklage
auf einmal mit der anderen grünen
Keramiklage mit einem darauf ausgebildeten Loch laminiert werden
kann, und auch das Laminieren mit gegenüberliegenden Oberflächen, wo
nach dem Laminieren Kunststofffilme entfernt werden, und mit grünen Keramiklagen,
die dünne
Platten bilden sollen, auf einmal durchgeführt werden können. Das
gesamte erforderliche Laminieren kann in einem solchen Fall durch
mindest zweimaliges Laminieren durchgeführt werden. Im letzteren Verfahren
müssen
die einander gegenüberliegenden
dünnen
Platten mit einer grünen
Keramiklage mit zumindest einem Loch, die auf einem Kunststofffilm
aufgebracht ist, in jeweils separaten Laminierschritten auflaminiert
werden, um danach mit einer grünen
Keramiklage, die ein darauf ausgebildetes Loch aufweist, auflaminiert
zu werden. Daher beträgt
die Anzahl der Laminierschritte im Letzteren mindestens drei, d.h.
mehr Laminierschritte als im ersteren Verfahren.
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Weiters
wird in Bezug auf die Hafthilfsschicht zur Verbesserung der Laminiereigenschaften
von grünen
Keramiklagen diese Hafthilfsschicht im Wesentlichen auf der gesamten
Oberfläche
einer grünen Keramiklage
ausgebildet, bevor das Loch oder dergleichen bearbeitet wird, und
danach wird ein Loch mit einer vorbestimmten Gestalt durch Stanzen
oder dergleichen unter Einsatz einer Form ausgebildet, wonach eine
vorbestimmte Anzahl davon laminiert wird. Wenn dies jedoch auf ersteres
Verfahren angewandt wird, nachdem der Film abgezogen und entfernt
wurde, muss eine Verbindungshilfsschicht auf einer Laminatoberfläche mit
einer dünnen
Platte ausgebildet werden. An diesem Punkt ist, obwohl die Gestalt
genau mithilfe einer Stanzform oder dergleichen geformt wird, mit
der ausgebildeten Verbindungshilfsschicht die Wahrscheinlichkeit
größer, dass
die Formgenauigkeit abnimmt. Alternativ dazu gibt es Möglichkeiten,
eine Verbindungshilfsschicht für
die grüne
Lage, welche die dünne
Platte bilden soll, bereitzustellen. In einem solchen Fall nimmt,
da normalerweise die Dickevariation der Verbindungshilfsschicht
größer ist
als die Dickevariation der grünen Lage,
welche die dünne
Platte bilden soll, nicht nur die gesamte Dickevariation zu, sondern
die dünne Platte
wird genauso verdickt wie die Verbindungshilfsschicht, wodurch die
Eigenschaften der Vorrichtung verschlechtert werden. Wenn eine Verbindungshilfsschicht
im Gegensatz dazu auf Letzteres angewandt wird, kann die Verbindungshilfsschicht
auf der grünen
Keramiklage ausgebildet werden, und zwar an dem Punkt, an dem die
grüne Keramiklage
auf einem Kunststofffilm aufgebracht wird, wird die Präzision des
Lochs durch die Präzision
der Form sichergestellt, und die grüne Lage, welche die dünne Platte bilden
soll, wird in keinster Weise bearbeitet, wodurch hohe Laminierzuverlässigkeit
und hohe Dimensionsgenauigkeit kombiniert werden können. In Bezug
auf die Oberfläche,
wo ein Kunststofffilm abgezogen und entfernt wird, wird die Laminierzuverlässigkeit
durch eine Verbindungshilfsschicht sichergestellt, die auf einer
separaten grünen
Keramiklage mit einem darauf ausgebildeten Loch ausgebildet wird,
die auf die Oberfläche
auflaminiert werden soll.
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Obwohl
beide Verfahren das gemeinsame Ziel haben, die dünnen Plattenabschnitte zu stabilisieren,
gibt es unterschiedliche Merkmale in den Herstellungsschritten,
und die Verfahren können
je nach Struktur und dergleichen des Laminatkörpers passend ausgewählt werden.
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Es
gilt anzumerken, dass eine auf einem Kunststofffilm aufgebrachte
grüne Keramiklage,
die zumindest ein darauf ausgebildetes Loch aufweist, nicht nur
eine grüne
Keramiklage mit einem darauf ausgebildeten Loch umfasst, die durch
Formstanzen oder Laserbearbeitung aus einer grünen Keramiklage auf einem Kunststofffilm
hergestellt wurde, sondern auch eine grüne Keramiklage mit zumindest
einem Loch, vorher in einer vorbestimmten Gestalt ausgebildet, mit
einem darauf aufgebrachten Kunststofffilm. Weiters ist der Kunststofffilm
vom Standpunkt der Abzieheigenschaften, mechanischen Festigkeit
oder dergleichen vorzugsweise ein Poly(ethylenterephthalat)film.
Weiters ist die Dicke der grünen Keramiklage
auf dem Kunststofffilm vorzugsweise geringer, und noch bevorzugter
ist die Dicke gleich wie die Dicke der grü nen Lage für die dünne Platte. Der Grund dafür ist, dass
durch die dünnere
grüne Keramikplatte
die Bearbeitungspräzision
der grünen Keramiklage
an sich verbessert werden kann. Außerdem werden, um die Handhabung
der einzelnen grünen
Lagen, insbesondere der grünen
Keramiklagen, welche die dünnen
Platten bilden sollen, zu vereinfachen und eine Dehnung und ein
Durchhängen
einer Lage zu verhindern sowie die Gestalt der dünnen Plattenabschnitte zu stabilisieren,
die Lagen vorzugsweise am oben beschriebenen Kunststofffilm haftend
gehandhabt.
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Spezifische
Beispiele für
die Herstellung eines grünen
Keramiklaminats sind nachstehend beschrieben. Hierin angeführte Beispiele
dienen lediglich der Veranschaulichung und es versteht sich von selbst,
dass die Herstellung einer grünen
Keramiklage in keinster Weise auf diese Beispiele eingeschränkt ist.
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Laminierbeispiel 1
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Eine
grüne Keramiklage 1 (hierin
wird „grüne Lage" im Folgenden mit „GS" (für englisch „green sheet") abgekürzt) zur
Ausbildung einer dünnen
Platte, GS1 mit einem darauf ausgebildeten Loch, GS2 mit einem darauf
ausgebildeten Loch, GS3 mit einem darauf ausgebildeten Loch, GS4
mit einem darauf ausgebildeten Loch und GS2 mit einem darauf ausgebildeten
Loch wurden wie in 32 dargestellt nacheinander
laminiert, anschließend
verdichtet, wodurch ein einstückig
ausgebildeter grüner
Keramiklaminat-Verbundkörper
erhalten wurde.
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Laminierbeispiel 2
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Schritt
1: GS1 zur Ausbildung einer dünnen Platte
wurde mit GS1 mit einem darauf ausgebildeten Loch laminiert, die
Platten anschließend
verdichtet, wodurch ein grüner
Keramiklaminat-Verbundkörper erhalten
wurde.
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Schritt
2: GS4 wurde mit einem darauf ausgebildeten Loch mit einer grünen Keramiklage 2 zur Ausbildung
der zweiten dünnen
Platte laminiert, die Platten anschließend verdichtet, wodurch ein
grüner Keramiklaminat-Verbundkörper erhalten
wurde.
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Schritt
3: Ein in Schritt 1 erhaltener grüner Keramiklaminat-Verbundkörper, GS2
mit einem darauf ausgebildeten Loch, GS3 mit einem darauf ausgebildeten
Loch und ein in Schritt 2 erhaltener grüner Keramiklaminat-Verbundkörper wurden
nacheinander laminiert und anschließend verdichtet, wodurch ein
grüner
Keramiklaminat-Verbundkörper
erhalten wurde.
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Laminierbeispiel 3
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Schritt
1: GS1 mit einem darauf ausgebildeten Loch, GS2 mit einem darauf
ausgebildeten Loch, GS3 mit einem darauf ausgebildeten Loch und
GS4 mit einem darauf ausgebildeten Loch wurden nacheinander laminiert
und anschließend
verdichtet, wodurch ein grüner
Keramiklaminat-Verbundkörper
erhalten wurde.
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Schritt
2: GS1 zur Ausbildung einer dünnen Platte,
ein in Schritt 1 erhaltener grüner Keramiklaminat-Verbundkörper und
GS2 zur Ausbildung der zweiten dünnen
Platte wurden nacheinander laminiert und anschließend verdichtet,
wodurch ein grüner
Keramiklaminat-Verbundkörper
erhalten wurde.
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Laminierbeispiel 4
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Schritt
1: GS2 mit einem darauf ausgebildeten Loch wurde mit GS3 mit einem
darauf ausgebildeten Loch laminiert, die Platten anschließend verdichtet,
wodurch ein grüner
Keramiklaminat-Verbundkörper
erhalten wurde.
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Schritt
2: GS1 zur Ausbildung einer dünnen Platte,
ein in Schritt 1 erhaltener grüner
Keramiklaminat-Verbundkörper
mit einem darauf ausgebildeten Loch und GS2 zur Ausbildung der zweiten
dünnen Platte
wurden nacheinander laminiert und anschließend verdichtet, wodurch ein
grüner
Keramiklaminat-Verbundkörper
erhalten wurde.
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Die
in den oben beschriebenen Laminierbeispielen 1 bis 4 erhaltenen
grünen
Keramiklaminatkörper
werden gesintert, sodass gesinterte Verbundkörper erhalten werden. Die oben
beschriebenen Beispiele zeigen jedoch nicht alle Verfahren zur Her stellung
der Vorrichtungen gemäß der vorliegenden Erfindung,
und es gibt keinerlei spezifische Einschränkungen in Bezug auf die Anzahl
und die Reihenfolge der Verdichtungsschritte.
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Die
Anzahl und Reihenfolge der Verdichtungsschritte wird am besten so
bestimmt, dass die gewünschte
Struktur erhalten wird, und zwar in Abhängigkeit von der Struktur,
z.B. der Form des Lochs, der Lagenanzahl der grünen Keramiklagen mit einem darauf
ausgebildeten Loch, die Lagenanzahl der grünen Keramiklagen für die dünnen Platten
oder dergleichen.
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Natürlich muss
die Form des Lochs nicht immer gleich sein, sondern wird in Abhängigkeit
von den gewünschten
Funktionen bestimmt. Außerdem gibt
es keinerlei spezifische Einschränkungen
in Bezug auf die Anzahl an Lagen und die Dicke der einzelnen grünen Keramiklagen.
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Da
das oben beschriebene Verdichten durch Erhitzen verbessert werden
kann, kann auch Verdichten unter Erhitzen vorteilhaft eingesetzt
werden. Außerdem
wird eine hauptsächlich
aus Keramikpulver bestehende Paste (dabei wird eine Zusammensetzung,
die gleich oder ähnliche
wie ein Keramikkörper
ist, der für
eine grüne
Keramiklage verwendet wurde, im Hinblick auf die Sicherung der Zuverlässigkeit
bevorzugt), ein Bindemittel und eine Aufschlämmung und dergleichen beschichtet
und aufgedruckt, um eine Verbindungshilfsschicht zu erstellen, wodurch
die Laminiereigenschaft der grünen
Keramiklagen-Grenzfläche
verbessert wird.
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Weiters
kann ein Vorsprung an einem Abschnitt der Außenoberfläche auf zumindest einer Seite
der äußersten
Schicht des grünen
Keramiklaminatkörpers
bereitgestellt werden, wobei zumindest die dünnen Plattenabschnitte ausgenommen
sind. Eine Vorrichtung gemäß der vorliegenden
Anmeldung weist ein piezoelektrisches/elektrostriktives Element
auf, das auf der Außenoberfläche von
einander gegenüberliegenden
dünnen
Plattenabschnitten ausgebildet ist, normalerweise durch bekannte
Mittel wie das Siebdruckverfahren oder dergleichen, sodass bei der
Ausbildung des piezoelektrischen/elektrostriktiven Elements, beispielsweise
durch das Siebdruckverfah ren, eine Beschädigung von Elementen verhindert
werden kann, da die Oberfläche, auf
der die Elemente ausgebildet werden, auf der gegenüberliegenden
Seite dank des gebildeten Vorsprungs nicht direkt mit einem Bett,
wie z.B. einem Gestell für
den Siebdruck, einem Gerüst
zum Sintern oder dergleichen, in Berührung kommt. Außerdem kann
durch geeignete Wahl der Höhe
des Vorsprungs die Dicke der Elemente kontrolliert werden. Obwohl
der Vorsprung auf einem gesinterten grünen Laminatkörper ausgebildet
werden kann, d.h. auf einem Keramiklaminatkörper, wird der Vorsprung vom Standpunkt
der Stabilität
der Struktur und Dimensionsstabilität gesehen noch bevorzugter
auf einem grünen
Laminatkörper
ausgebildet, der gesintert und integriert werden soll.
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Ein
Beispiel für
ein Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung gemäß der vorliegenden
Erfindung wird nun beschrieben. Wie in 23(a) zu
sehen werden eine grüne
Keramiklage 101, die eine dünne Platte bildet, ein grüner Keramiklaminatkörper 102, der
durch Laminieren einer gewünschten
Anzahl an grünen
Keramiklagen, die jeweils über
ein darauf ausgebildetes Loch verfügen, erhalten wird, und eine grüne Keramiklage 101,
die eine dünne
Platte bildet, in dieser Reihenfolge laminiert, wobei eine Positionierung
unter Verwendung von Bezugslöchern 104 erfolgt,
und dann unter Einsatz eines Verfahrens, wie z.B. Thermokompressionsbonden
oder dergleichen, verbunden, wodurch ein grüner Keramiklaminatkörper erhalten
werden kann. Wenn der grüne
Keramiklaminatkörper 102 zu
dick ist, wird er vorher zu einem grünen Keramiklaminatkörper 105 halbiert,
um einen oberen und einen unteren grünen Keramiklaminatkörper zu
bilden, wie in 22 dargestellt ist, und die
durch Halbierung erhaltenen Körper
werden so verbunden, dass die Löcher 103 einander
gegenüberliegen,
wodurch der endgültige
grüne Keramiklaminatkörper 108 erhalten
werden kann. Bei der Herstellung einer Struktur mit einem hohlen
Abschnitt als eine in 8 gezeigte Struktur, ergibt
sich darüber hinaus,
wenn die jeweiligen grünen
Lagen nacheinander laminiert und anschließend durch Thermokompressionsbonden
oder dergleichen verbunden werden, ein Abschnitt, wo in Abhängigkeit
vom Abschnitt kein Druck angelegt ist, was eine Senkung der Laminierzuverlässigkeit
bewirkt. In einem solchen Fall wird bevorzugt, dass grüne Keramiklagen
ausgewählt
und anschließend
laminiert und verbunden werden, um Komponentengruppen im Vorhinein
auszubilden und anschließend
wird eine Gruppe aus grünen
Keramiklagen in Form von Komponenten laminiert, um einen Laminatkörper mit
endgültiger
Form herzustellen, damit es an jedem Abschnitt zur Anlegung eines
Laminierdrucks kommt.
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In
Bezug auf den grünen
Keramiklaminatkörper 108 ist
es erforderlich, dass Verbindungslöcher 106 zur Verbindung
von Abschnitten der grünen
Keramiklage 102, welche Löcher 103 bilden sollen, nach
außen
ausgebildet werden, nachdem der Laminatkörper fertiggestellt wurde.
Solange die einzelnen Löcher 103 jedoch
eine Verbindung nach außen
aufweisen, gibt es keinerlei spezifische Einschränkungen in Bezug auf die Gestalt
der Verbindungslöcher 106,
und eine Vielzahl von Löchern 103 kann,
wie in den 23(a) und (b) gezeigt, vollständig durch
den Laminatkörper
durchdringen. Obwohl ein durch diese Verfahren so integrierter grüner Keramiklaminatkörper 108 bei
einer Temperatur um 1.200 bis 1.600 °C gesintert wird, wie nachstehend
beschrieben ist, kann es jedoch vorkommen, dass ein so erhaltener Keramiklaminatkörper nach
dem Sintern unerwünschte
Wölbungen
aufweist. In diesem Fall wird der Laminatkörper vorzugsweise eingeebnet,
indem er nachgesintert wird (hierin im Folgenden als „Wölbungskorrektur" bezeichnet), wobei
ein Gewicht darauf gegeben wird und bei einer Temperatur nahe der oben
beschriebenen Sintertemperatur eingeebnet wird. Bei dieser Wölbungskorrektur
wird vorzugsweise eine poröse
Keramikplatte aus Aluminiumoxid oder dergleichen als Gewicht verwendet.
Weiters ist bei der Wölbungskorrektur
ein Verfahren zu bevorzugen, bei dem der Schritt nach dem Sintern
erfolgt, oder ein Gewicht bereits beim Sintern darauf gegeben wird,
damit der Laminatkörper
gleichzeitig mit dem Sintern eingeebnet wird.
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(2) Ausbildung eines piezoelektrischen/elektrostriktiven
Elements
-
Beim
Verfahren zur Herstellung der vorliegenden Erfindung kann ein piezoelektrisches
Element 107 auf der Oberfläche von dünnen Platten eines Keramiklaminatkörpers durch
ein Dickfilmverfahren, wie z.B. das Siebdruckverfahren, das Eintauchverfahren,
das Beschichtungsverfahren, das Elektrophoreseverfahren, oder ein
Dünnfilmverfahren,
wie z.B. das Ionenstrahlverfahren, das Sputterverfahren, das Vakuum aufdampfungsverfahren,
das Ionenplattierungsverfahren, das chemische Aufdampfungsverfahren
(CVD), Galvanisieren oder dergleichen (siehe 23(b))
ausgebildet werden. Es wird bevorzugt, dass ein piezoelektrisches
Element durch ein oben beschriebenes Verfahren so ausgebildet wird,
dass zumindest eine Seite des piezoelektrischen Betätigungsabschnitts
des piezoelektrischen/elektrostriktiven Elements an einem Teil des
Befestigungsabschnitts und/oder des beweglichen Abschnitts vorliegt.
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Durch
die Ausbildung eines piezoelektrischen Elements mittels solchen
Filmbildungsverfahren können
das piezoelektrische Element und die dünnen Plattenabschnitte einstückig verbunden
und angeordnet werden, ohne dass ein Klebstoff erforderlich wäre, wodurch
die Zuverlässigkeit
und Reproduzierbarkeit gesichert werden und die Integration vereinfacht
wird. Hinsichtlich des Herstellungsverfahrens der vorliegenden Erfindung
wird bevorzugt, dass ein piezoelektrisches Element 107 mit
einem Dickfilmbildungsverfahren ausgebildet wird. Gemäß dem Verfahren
kann eine piezoelektrische Schicht unter Verwendung einer Paste,
einer Aufschlämmung,
einer Suspension, einer Emulsion, eines Sols oder dergleichen, wovon
ein piezoelektrischer Keramikkörper
mit einer mittleren Teilchengröße von 0,01 bis
5 μm und
vorzugsweise 0,05 bis 3 μm
eine Hauptkomponente darstellt, ausgebildet werden, was zur Verbesserung
der piezoelektrischen Betätigungseigenschaften
führt.
Vor allem das Elektrophoreseverfahren bringt den Vorteil mit sich,
dass ein Film mit hoher Dichte und hoher Formgenauigkeit ausgebildet werden
kann. Das Siebdruckverfahren ermöglich
andererseits eine gleichzeitige Ausbildung eines Films und einer
Struktur, wodurch es vorzugsweise als Verfahren zur Herstellung
einer Vorrichtung gemäß der vorliegenden
Erfindung herangezogen wird.
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Ein
grüner
Keramiklaminatkörper 108 wird insbesondere
bei einer vorbestimmten Temperatur von 1.200 bis 1.600 °C gesintert
und danach eine untere Elektrode an einer vorbestimmten Position
auf der Oberfläche
einer dünnen
Platte (gesinterte grüne Keramikplatte 101)
aufgedruckt und gesintert, dann eine piezoelektrische Schicht aufgedruckt
und gesintert, dann eine obere Elektrode aufgedruckt und gesintert,
wo durch ein piezoelektrisches Element (3(b))
ausgebildet werden kann. Weiters wird eine Elektrodenleitung zur
Verbindung einer Elektrode mit einem Ansteuerkreis aufgedruckt und
gesintert. Wenn hier für
die einzelnen Elemente ein Material ausgewählt wird, sodass eine nach
und nach fallende Sintertemperatur vorhanden ist, wie z.B. Platin (Pt)
für die
untere Elektrode, Bleizirconattitanat (PZT) für das piezoelektrische Element,
Gold (Au) für
die obere Elektrode und Silber (Ag) für die Elektrodenleitung, findet
bei keiner Sinterstufe eine Nachsinterung eines schon gesinterten
Materials statt, wodurch das Entstehen von Problemen wie Abheben
des Films oder Aggregation eines Elektrodenmaterials oder dergleichen
verhindert werden kann.
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Es
gilt anzumerken, dass es durch die Wahl des geeigneten Materials
möglich
ist, die einzelnen Elemente eines piezoelektrischen Elements 107 nacheinander
aufzudrucken, eine gleichzeitige Integrationssinterung durchzuführen, während die
einzelnen Elektroden und dergleichen bei einer niedrigeren Temperatur
bereitgestellt werden können, nachdem
eine piezoelektrische Schicht ausgebildet wurde. Weiters können die
einzelnen Elemente und Elektrodenleitungen des piezoelektrischen
Elements durch ein Dünnfilmverfahren,
wie z.B. das Sputterverfahren, das Abscheideverfahren oder dergleichen,
ausgebildet werden, und in diesem Fall ist eine Wärmebehandlung
nicht unbedingt erforderlich. Außerdem wird vorzugsweise ein
piezoelektrisches Element 107 vorher an einer Position
ausgebildet, die zumindest letztlich den dünnen Plattenabschnitt auf einer
grünen
Keramiklage 101 darstellt, sodass das piezoelektrische
Element 107 und der grüne
Keramiklaminatkörper 108 gleichzeitig
gesintert werden. Beim gleichzeitigen Sintern kann der grüne Keramiklaminatkörper auch
zusammen mit allen Filmen des piezoelektrischen Elements 107 erfolgen,
und verfügbare
Verfahren umfassen ein Verfahren, bei dem nur eine untere Elektrode
und ein grüner
Keramiklaminatkörper 101 gleichzeitig
gesintert werden, ein Verfahren, bei dem Filme, mit Ausnahme einer oberen
Elektrode, und ein grüner
Keramiklaminatkörper
gleichzeitig gesintert werden, und dergleichen. Verfahren zum gleichzeitigen
Sintern eines piezoelektrischen Elements 107 und eines
grünen
Keramiklaminatkörpers 108,
umfassen ein Verfahren, bei dem eine piezoelektrische Schicht durch
das Pressformverfahren mittels Düsen
oder durch das Bandformverfahren unter Verwendung eines Aufschlämmungsmaterials
oder dergleichen ausge bildet wird, die zu sinternde piezoelektrische
Schicht durch Thermokompressionsbonden oder dergleichen auf eine grüne Keramiklage 101 auflaminiert
wird und gleichzeitig gesintert wird, wodurch ein beweglicher Abschnitt,
ein Ansteuerabschnitt, dünne
Plattenabschnitte und eine piezoelektrische Schicht gleichzeitig
hergestellt werden. Bei diesem Verfahren müssen jedoch Elektroden vorher
auf der dünnen
Platte oder piezoelektrischen Schicht mittels eines bereits beschriebenen
Filmbildungsverfahren ausgebildet werden. Ein weiteres mögliches
Verfahren neben dem oben beschriebenen Verfahren besteht darin,
dass Elektroden und eine piezoelektrische Schicht, die jeweils Schicht
eines piezoelektrischen Elements darstellen, durch ein Siebdruckverfahren
an einer Position, welche zumindest am Ende die dünnen Plattenabschnitte
darstellt, eines grünen
Keramiklaminatkörpers 101 ausgebildet
werden, um gleichzeitig gesintert zu werden.
-
Die
Sintertemperatur für
eine piezoelektrische Schicht wird abhängig von den Materialien aus denen
die Schicht besteht geeignet gewählt,
wobei die Temperatur im Allgemeinen 800 bis 1.400 °C, vorzugsweise
1.000 bis 1.400 °C,
beträgt.
In einem solchen Fall wird zur Steuerung der Zusammensetzung der
piezoelektrischen Schicht vorzugsweise in Gegenwart einer Verdampfungsquelle
der Materialien der piezoelektrischen Schicht gesintert. Es gilt
anzumerken, dass wenn eine piezoelektrische Schicht und ein grüner Keramiklaminatkörper 108 gleichzeitig
gesintert werden, ihre Sinterbedingungen vereinheitlicht werden
müssen.
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Bei
der Herstellung einer Vorrichtung mit jeweils einem piezoelektrischen
Element auf beiden dünnen
Plattenabschnitten eines Paars gegenüberliegender Plattenabschnitte
werden eine piezoelektrische Schicht, eine Elektrode und dergleichen
auf beide Seiten eines Keramiklaminatkörpers aufgedruckt. In solch
einem Fall wird vorzugsweise jedoch eine Gegenmaßnahme gesetzt, falls die bedruckte
piezoelektrische Schicht, die bedruckten Elektroden und dergleichen
an einem Druckgestell festkleben oder mit diesem in Kontakt kommen,
indem entweder mithilfe des Verfahrens ➀ gedruckt wird,
wobei das Drucken auf einem Druckrahmen durchgeführt wird, auf dem ein Hohlraum
bereitgestellt ist, oder mithilfe des Verfahrens ➁, wobei
zuerst eine rahmenartige Wölbung
nach außen
auf dem Umfang einer Druckposition auf zumindest einer Druckoberfläche eines
Keramiklaminatkörpers
ausgebildet wird, und dann auf der Oberfläche, auf der die Wölbung nach
außen
bereitgestellt ist, gedruckt wird, und danach auf der anderen Oberfläche, oder
dergleichen. Beim Sintern der oben beschriebenen piezoelektrischen
Schicht, wenn piezoelektrische Elemente auf beiden Seiten eines
Keramiklaminatkörpers
ausgebildet werden, ist ferner die Sinteratmosphäre vorzugsweise auf beiden
Seiten dieselbe. Herkömmlicherweise
wird beispielsweise ein Keramiklaminatkörper mit einem darauf ausgebildeten
piezoelektrischen Element (Film) zum Sintern auf eine Platte, wie
z.B. ein Gestell oder dergleichen, gegeben, und in diesem Fall werden Zwischenräume zwischen
Gestellen, die gestapelt werden sollen, mithilfe eines Abstandshalters
oder dergleichen so eingestellt, dass die Zwischenräume zwischen
der piezoelektrischen Schicht und dem Gestellt gleich sind.
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(3) Schneiden des Laminatkörpers
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Ein
gesinterter Laminatkörper
mit einem oben beschriebenen piezoelektrischen Element wird je nach
Bedarf mit einer Kerbe versehen und das piezoelektrische Element
sowie die Elektrodenleitungen Beschichtungs-, Abschirm- und ähnlichen
Behandlungen unterzogen, dann in die Laminierrichtung einer grünen Keramiklage
geschnitten, sodass die rechteckigen Löcher 103 auf einer
Seite des Laminatkörpers
offen sind, wodurch eine Vielzahl der Vorrichtungen gleichzeitig
erhalten werden können (23(c)). In Bezug auf die Schneideverfahren ist neben
einem Plättchenschneideverfahren
auch ein Drahtsägeverfahren
(mechanische Bearbeitung) oder dergleichen, eine Bearbeitung mittels
eines YAG-Lasers, Excimer-Lasers oder dergleichen oder eine Elektronenstrahlbearbeitung
möglich.
Beim Schneiden in die gewünschten
Einheiten werden die geschnittenen Körper vorzugsweise bei einer
Temperatur von 300 bis 800 °C
wärmebehandelt.
Der Grund dafür
ist, dass die Bearbeitung wahrscheinlich Mängel wie Haarrisse oder dergleichen
innerhalb des gesinterten Körpers
verursacht, und die Mängel
können durch
die Wärmebehandlung
entfernt werden, wodurch die Zuverlässigkeit erhöht wird.
Nach dem Sintern werden die geschnittenen Körper außerdem zur Alterung vorzugsweise
zumindest 10 h lang einer Temperatur um 80 °C ausgesetzt. Durch diese Behandlung
können
verschiedene Beanspru chungen oder dergleichen, die während des
Herstellungsverfahrens aufgetreten sind, reduziert werden, was zu einer
Verbesserung der Eigenschaften beiträgt.
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Bei
einem Herstellungsverfahren gemäß der vorliegenden
Erfindung wird das Schneiden so durchgeführt, dass ein Loch mit einer
gewünschten Form,
z.B. ein rechteckiges Loch 103, erhalten wird, das auf
einer Seite eines Laminatkörpers
offen ist. Dieses Schneiden bringt nicht nur den Vorteil mit sich,
dass mehrere Vorrichtungen getrennt werden, sondern auch dass gleichzeitig
dünne Plattenabschnitte
und ein Loch einer Vorrichtung ausgebildet werden (im Falle der
in 1 dargestellten Vorrichtung die dünnen Plattenabschnitte 6 und 7 und
ein Loch 8) was bevorzugt ist, da eine Struktur, die aufgrund
der Kombination zweier oder mehrerer rechteckiger Feststoffe durch
dünne Platten
kompliziert wird und daher schwer herzustellen ist, leicht erhalten
werden kann. Stattdessen kann ein Laminatkörper an einem Abschnitt, der
in 24(a) mittels punktierter Linien
dargestellt ist, in zwei geteilt werden, um zwei Vorrichtungen herzustellen.
Ein solcher Schneidevorgang bewirkt, dass das Gewicht des beweglichen
Abschnitts leichter wird und sich dadurch die Resonanzfrequenz vorteilhaft
erhöht.
Darüber
hinaus kann die Steifigkeit in X-Achsenrichtung und Y-Achsenrichtung
auf einem breiten Abschnitt des Ansteuerabschnitts 3 gesichert
werden, was dem Laminatkörper
eine bessere Festigkeit gegenüber
Stößen aus
beiden Richtungen verleiht. Gemäß diesem Herstellungsverfahren
können
zwei Vorrichtungen aus einer Vorrichtung hergestellt werden, was
die Produktivität
steigert. Es gilt anzumerken, dass in 24(a),
obwohl eine Oberfläche
auf einer Seite der Vorrichtung, an welcher das Loch offen ist,
senkrecht zur Basis steht, die Oberfläche eine Struktur aufweisen
kann, die über
eine ähnliche
Neigung wie die gegenüberliegende
Oberfläche
verfügt.
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Weiters
kann durch eine geeignete Änderung
der Anzahl der in einer grünen
Keramiklage 102 ausgebildeten Löcher 103 und ihrer
Ausbildungspositionen oder der Schneideposition eines gesinterten Laminatkörpers 108 eine
Vorrichtung mit einer Vielzahl von Ansteuerabschnitten oder eine
Vorrichtung mit unterschiedlich langen Ansteuerabschnitten äußerst leicht
erhalten werden. Durch gleichzeitiges Schneiden des Keramiklaminatkörpers 108 und
eines piezoelektrischen Elements 107 kann au ßerdem leicht
eine Vorrichtung hergestellt werden, bei der die dünnen Plattenabschnitte
und das piezoelektrische Element gleich breit sind, was bevorzugt
ist. Obwohl dieses Schneiden auch in grünem Zustand vor dem Sintern
durchgeführt
werden kann, wird es jedoch vorzugsweise an einem gesinterten Körper durchgeführt, um
die Abmessungsgenauigkeit zu verbessern und die Freisetzung von
Teilchen des jeweiligen Keramikpulvers zu verhindern.
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Weiters
kann eine Vorrichtung der vorliegenden Erfindung zusätzlich zu
den oben beschriebenen Verfahren unter Verwendung einer grünen Keramiklage
mithilfe des Pressformverfahrens oder des Gießformverfahrens unter Einsatz
einer Düse,
des Spritzgussverfahrens, von Photolithographie oder dergleichen
hergestellt werden. Obwohl eine Vorrichtung auch durch Verbinden
jedes Elements, das als getrennter Körper vorliegt, hergestellt
werden kann, ergibt sich neben geringer Produktivität das Problem, dass
die verbundenen Abschnitte leicht beschädigt werden oder dergleichen,
was ebenfalls ein Zuverlässigkeitsproblem
darstellt.
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4. Anwendungsbeispiel
für die
Vorrichtung
-
Zuletzt
wird nun als Anwendungsbeispiel für eine Vorrichtung der vorliegenden
Erfindung ein Beispiel angeführt,
bei dem eine Vorrichtung der vorliegenden Erfindung als Verschiebungselement
eines optischen Verschlusses eingesetzt wird. „Optischer Verschluss" steht in der vorliegenden
Erfindung für ein
Funktionselement zur Steuerung des Durchlassens und des Abschirmens
von Licht durch Bewegung von zwei Schutzschirmen in Bezug zueinander, wobei
der optische Verschluss, da er eine Ein-Aus-Regelung oder eine Regelung der
Lichtmenge erlaubt, als optischer Schalter oder als optische Blende
dienen kann.
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Im
optischen Verschluss der vorliegenden Erfindung wird zumindest einer
der beiden Schutzschilde auf dem beweglichen Abschnitt der Vorrichtung
der vorliegenden Erfindung befestigt.
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Ein
in 25(a) und (b) dargestellter
optischer Verschluss 110 umfasst beispielsweise zwei Einheiten 111A und 111B,
die jeweils mit einer Vorrichtung der vorliegenden Erfindung und
einem Schutzschild ausgestattet sind, und zwei Schutzschilde 113A und 113B sind
jeweils auf beweglichen Abschnitten 114A und 114B der
Vorrichtung angebracht und so angeordnet, dass ihre ebenen Oberflächen parallel
zueinander stehen und Teile der ebenen Oberflächen einander entgegen der
Einfallsrichtung des Lichts L überlappen.
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Obwohl
der optische Verschluss 110 das Licht L im in 25 dargestellten Zustand abschirmt, bewegt
sich, wenn eine Spannung der gleichen Phase an die auf dem beweglichen
Abschnitt der Vorrichtung ausgebildeten piezoelektrischen Elemente 112A und 112B angelegt
wird, der Schutzschild 113A nach links und der Schutzschild 113B in 25 nach rechts, was zu einer Veränderung
des Überlappungszustands
der Schutzschilde 113A und 113B führt, wodurch
eine Ein-Aus-Regelung oder eine Regelung der Lichtmenge möglich wird.
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Weiters
umfasst ein in 26(a) dargestellter optischer
Verschluss 120 zwei Einheiten 121A und 121B,
die jeweils mit einer Vorrichtung der vorliegenden Erfindung und
einem Schutzschild ausgestattet sind, und zwei Schutzschilde 123A und 123B sind
jeweils an beweglichen Abschnitten 124A und 124B angebracht,
und so angeordnet, dass ihre ebenen Flächen parallel zueinander stehen
und die gesamten Oberflächen
sich entgegen der Einfallrichtung des Lichts L vollständig überlappen.
Schlitze 125A und 125B sind jeweils an gegenüberliegenden Positionen
auf den Schutzschilden 123A und 123B ausgebildet.
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Obwohl
der optische Verschluss 120 bei dem in 26(a) und (b) dargestellten Zustand das Licht L
durch die Schlitze 125A und 125B durchlässt, bewegt
sich, wenn eine Spannung der gleichen Phase an die auf dem beweglichen
Abschnitt der Vorrichtung ausgebildeten piezoelektrischen Elemente 122A und 122B angelegt
wird, der Schutzschild 123A nach links und der Schutzschild 123B in 26 nach rechts, was zu einer Veränderung
des Überlappungszustands
der Schutzschilde 125A und 125B führt, wodurch
eine Ein-Aus-Regelung oder eine Regelung der Lichtmenge möglich wird.
Obwohl 26(c) einen Zustand zeigt, bei
dem ein Teil des Lichtes durchgelassen wird, ist es durch eine Änderung
der Gestalt und Ausbildungspositionen der Schlitze 123A und 123B auch
möglich,
das Licht L vollkommen abzuschirmen.
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Im
Gegensatz dazu können
bei dem in 26(a) und (b) dargestellten
Zustand die Schlitze 125A und 125B so vorliegen,
dass sie einander nicht überlappen,
sondern das Licht L abschirmen, und sie können so strukturiert sein,
dass die Schlitze 125A und 125B durch die Bewegung
der Schutzschilde 123A und 123B einander überlappen,
sodass das Licht L durchgelassen wird. Obwohl in den 25 und 26 Beispiele
dargestellt sind, bei denen zwei Schutzschilde an jeweils einer
Vorrichtung befestigt sind, kann der optische Verschluss der vorliegenden Erfindung
das Durchlassen und Abschirmen des Lichts nur durch Befestigung
zumindest eines Schutzschildes an der Vorrichtung und durch Bewegen
nur dieses Schilds steuern. Noch bevorzugter ist jedoch die Befestigung
beider Schutzschilde an den Vorrichtungen, da so das relative Bewegungsausmaß der Schutzschilde
vergrößert werden
kann. Obwohl der optische Verschluss in den Beispielen aus 25 und 26 zwei
Einheiten umfasst, kann der Verschluss auch drei oder mehr Einheiten
umfassen. In diesem Fall kann durch die Festlegung unterschiedlicher
Bewegungsrichtungen für
die einzelnen Schutzschilde der optische Verschluss auch als optische Blende
oder dergleichen mit unterschiedlichen Öffnungsgraden der überlappenden
Abschnitte verwendet werden. Ein optischer Verschluss der vorliegenden
Erfindung kann die Betätigung
eines Schutzschilds in eine Schwenkrichtung verhindern, da der Schutzschild
auf einem beweglichen Abschnitt der vorliegenden Erfindung bereitgestellt
ist. Mit anderen Worten ist, da sich der Schutzschild bewegt, während der
direkt der Einfallsrichtung des Lichts zugewandt ist, eine Ein-Aus-Regelung
und eine Regelung der Lichtmenge mit größerer Genauigkeit möglich, sodass
der optische Verschluss bevorzugt eingesetzt werden kann.
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Nachstehend
wird eine in 9 dargestellte Vorrichtung mit
einem in 17 gezeigten piezoelektrischen
Element befestigt und für
die untere Elektrode ein Material, das Platin als Hauptkomponente
enthielt, für
das piezoelektrische Element ein Material, das eine feste Lösung aus
Bleititanat – Bleizirconat – Bleimagnesiumniobat
als Hauptkomponente enthielt, und für die obere Elektrode Gold
verwendet, und die jeweiligen Elemente mittels Siebdruckverfahren
gedruckt, sodass die Dicke nach dem Sintern 3 μm, 10 μm bzw. 0,3 μm betrug, womit die Vorrichtung
vervollständigt
wurde. Es gilt anzumerken, dass das Sintern bei jedem Drucken jeweils
bei 1.300 °C,
1.250 °C
und 600 °C
durchgeführt
wurde. Die Abmessungen der jeweiligen Elemente gemäß 1 sind übrigens
wie folgt:
- a = 0,3 mm,
- b = 0,3 mm,
- c = 0,32 mm
- d = 0,01 mm,
- e = 1 mm,
- f = 0,3 mm
-
Das
Verschiebungsausmaß der
X-Achsenrichtung und der Y-Achsenrichtung bei Anlegen einer Impulsspannung
an das piezoelektrische Element rechts an der Vorrichtung wurde
mithilfe eines Laser-Doppler-Vibrometers (von Graphtec Corporation) gemessen.
Die Messergebnisse sind in 27 angeführt. Wenn
Verschiebungen bei einer angelegten Spannung von 30 V verglichen
werden, beträgt
die Verschiebung in Y-Achsenrichtung weniger als 3 % der Verschiebung
in X-Achsen- (oder Haupt-) Achsenrichtung, und die Verschiebung
in der X-Achsenrichtung ist im Wesentlichen entscheidend. Die erzeugte
Verschiebung wird mit jener der Struktur mit einem piezoelektrischen/elektrostriktiven
Abschnitt nur am in der JP-A-63-64640 geoffenbarten dünnen Plattenabschnitt
verglichen. Die Vorrichtungsstruktur gemäß der vorliegenden Anmeldung
wird ähnlich
wie die in 9 gezeigte Struktur ausgebildet, 35 stellt
ein Vergleichsbeispiel dar und beide Vorrichtungen weisen eine unimorphe
Struktur auf. Mit Ausnahme des Unterschieds hinsichtlich der Art
der Bereitstellung eines piezoelektrischen Elements, wird jede der
Vorrichtungen durch die gleichen wie oben beschriebenen Verfahren
hergestellt. 33 ist ein Diagramm, welches
das Verschiebungsausmaß in
Bezug auf die angelegte Spannung zeigt. Aus 33 geht
klar hervor, dass eine Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung,
bei welcher sich eine Wirkung von einem piezoelektrischen/elektrostriktiven Betätigungsabschnitt
aus über
den Befestigungsabschnitt erstreckt, eine deutlich bessere Struktur
zur Erzeugung einer großen
Verschiebung aufweist, wobei es bei jeder angelegten Spannung in
Bezug auf die als Vergleichsbeispiel dienende Struktur, bei der ein
pie zoelektrischer/elektrostriktiver Abschnitt nur am dünnen Plattenabschnitt
bereitgestellt ist, zu Verschiebungen von mehr als dem 20fachen
kommt.
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Eine
Vorrichtung gemäß der vorliegenden Erfindung
weist das Merkmal einer hohen Steifigkeit in die Breiterichtung
der dünnen
Platte, d.h. in die Y-Achsenrichtung, auf, wodurch die Struktur
eine stärkere
Verbindung ermöglicht,
wenn funktionelle Elemente wie ein Sensor, Magnetkopf oder dergleichen
an der Vorrichtung befestigt wird oder wenn die vorliegende Vorrichtung
selbst an einer anderen Struktur angebracht wird. Außerdem weist
die Vorrichtung aufgrund dieser Steifigkeit auch das Merkmal auf,
dass auch ein Element mit relativ großer Masse angebracht werden
kann. Weiters liegt, da die Steifigkeit in die Dickerichtung im
Vergleich mit der Breiterichtung relativ gering ist, der Effekt
vor, dass bei Ansteuerung der Vorrichtung basierend auf den Richtungseigenschaften
der Steifigkeit die Verschiebungskomponente in die Y-Achsenrichtung,
d.h. die Schwenkkomponente, effektiv unterdrückt wird. Die vorliegende Erfindung
setzt eine Struktur um, bei der sich ein piezoelektrischer/elektrostriktiver
Betätigungsabschnitt
zur Erzeugung der Verschiebung nicht nur über den dünnen Plattenabschnitt, sondern auch
zum Befestigungs- und/oder beweglichen Abschnitt hin erstreckt,
und die Verschiebungsform des Ansteuerabschnitts nimmt eine Form
an, die nach außen
zeigt, wodurch sich ein Unterschied zur in der JP-A-63-64640 geoffenbarten
Struktur ergibt, wo in vorliegender Erfindung ein dünner Plattenabschnitt
in Richtung des Lochs zeigt und die Struktur es daher ermöglicht,
dass der bewegliche Abschnitt ein großes Verschiebungsausmaß im Verschiebungsmechanismus
aufweist. Der Befestigungsabschnitt, der bewegliche Abschnitt und
der dünne
Plattenabschnitt der vorliegenden Vorrichtung sind darüber hinaus mittels
Sintern einstückig
ausgebildet, und das piezoelektrische/elektrostriktive Element ist
durch Sintern mit dem dünnen
Plattenabschnitt und/oder dem beweglichen Abschnitt mittels Filmbildungsverfahren ohne
Einsatz eines Klebers einstückig
strukturiert, wodurch die Vorrichtung eine Struktur aufweist, die zu
keinen durch Kleben verursachten Abweichungen, wie z.B. ein Driften
der Verschiebung oder dergleichen im Laufe der Zeit führt. Wie
oben beschrieben weist in der Vorrichtung der vorliegenden Anmeldung
der Verbindungsabschnitt des Ansteuerabschnitts oder des dünnen Plattenabschnitts
mit dem Befestigungsabschnitt und der Verbindungsabschnitt des Ansteuerabschnitts
oder des dünnen
Plattenabschnitts mit dem beweglichen Abschnitt eine Struktur ohne
Grenzen auf, an dem kein drittes Element und/oder Material dazwischenliegt,
wodurch die Struktur über
eine hohe Steifigkeit verfügt,
was ohne weiteres eine höhere
Resonanzfrequenz erlaubt, die Hochgeschwindigkeitsantriebe ermöglicht.
Wie bereits angemerkt unterscheidet sich die Vorrichtung gemäß der vorliegenden
Erfindung strukturell und funktionell gänzlich von dem in der JP-A-63-64640 geoffenbarten
Aktuator und weist eine höhere
Zuverlässigkeit
auf.
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Somit
kann die Vorrichtung gemäß der vorliegenden
Erfindung für
aktive Elemente, wie verschiedene Wandler, verschiedene Aktuatoren,
regionale Frequenzfunktionselemente (Filter), Transformatoren, Vibratoren
und Resonatoren für
Kommunikations- und energiebezogene Anwendungen, Oszillatoren, Diskriminatoren
und dergleichen, und als Sensorelement für verschiedene Sensoren, wie
z.B. Ultraschallsensoren und Beschleunigungssensoren, Winkelgeschwindigkeitssensoren,
Stoßsensoren
und Massesensoren und dergleichen verwendet werden, und ist besonders
für verschiedene
Aktuatoren, bei Mechanismen zur Verschiebungseinstellung oder Winkeleinstellung
oder zur Positionierungseinstellung verschiedener Präzisionsteile
von optischen Geräten,
Präzisionsgeräten und
dergleichen bevorzugt.