DE602005002797T2 - Tragvorrichtung - Google Patents

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Description

  • Anwendungsgebiet der Erfindung
  • Die vorliegende Erfindung betrifft ein Transportsystem unter Verwendung eines Überkopflauffahrzeugs, eines schienengeführten, am Boden fahrenden Fahrzeugs oder eines automatisch geführten Fahrzeugs.
  • Beschreibung des Standes der Technik
  • In einem Transportsystem kann ein Fahrzeugsteuergerät zwei Transportnachrichten empfangen: Transport eines Gegenstandes von einer Ladeöffnung eines Bearbeitungsgeräts und Transport eines Gegenstandes zur Ladeöffnung des Bearbeitungsgeräts. Dies geschieht z. B. wenn das Bearbeitungsgerät die Bearbeitung eines Gegenstands beendet. Dies bedeutet, dass der Gegenstand aus dem Bearbeitungsgerät abtransportiert werden muss, was auch erfordert, dass der nächste Gegenstand in das Gerät transportiert werden muss. Im Stand der Technik erhält in diesem Falle ein erstes Fahrzeug einen Befehl, den Gegenstand aus der Ladeöffnung zu transportieren. Dann erhält nach Bestätigung der Beendigung des Transports ein zweites Fahrzeug einen Befehl, einen neuen Gegenstand zur Ladeöffnung zu transportieren. Auf diese Weise wird die Transportreihenfolge strikt eingehalten. Dies geschieht, da, wenn das zweite Fahrzeug die Ladeöffnung früher erreicht, an der ein Gegenstand bereits vorhanden ist, es warten muss, bis der Gegenstand aus der Ladeöffnung entfernt ist, z. B. durch Umlaufen auf einer Route. Dies verschlechtert den Transportwirkungsgrad signifikant. Selbstverständlich kann in diesem Falle, bei dem die beiden Transportbefehle die gemeinsame Ladeöffnung betreffen, der Befehl zum Transport eines Gegenstands zur Ladeöffnung nicht begonnen werden, bis das Steuergerät bestätigt hat, dass der Gegenstand, der bereits an der Ladeöffnung vorhanden ist, aus der Ladeöffnung abtransportiert wurde. Dies verzögert den Transport. Das japanische Patent Nr. 3067656 offenbart, ein Zwischenspeicherregal unter einer Laufschiene für ein Überkopflauffahrzeug vorzusehen. Ein weiteres Transportsystem mit Fahrzeugen und Speichereinheiten ist in WO 2004/034438 A2 beschrieben.
  • Zusammenfassung der Erfindung
  • Eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, es einem Fahrzeugsteuergerät zu ermöglichen, Transportbefehle leicht zuzuordnen.
  • Eine weitere Aufgabe eines Aspektes der Erfindung, der im Anspruch 2 erläutert ist, besteht darin, den Transportbefehl dadurch zu vervollständigen, dass ein Gegenstand, der vorübergehend von einem ersten Fahrzeug abgelegt wurde, zu einer Ladeöffnung zu transportieren.
  • Eine zusätzliche Aufgabe eines Aspekts der Erfindung, der im Anspruch 3 erläutert ist, besteht darin, den Transport zwischen einem Speicherregal und dem Fahrzeug zu erleichtern.
  • Eine weitere Aufgabe eines Aspekts der Erfindung, der im Anspruch 4 erläutert ist, besteht darin, ein einfaches Regal zu verwenden, das keine Förderer oder dgl. hat, so dass Gegenstände zwischen dem Regal und einer Ladeöffnung oder einem anderen Regal leicht transportiert werden können.
  • Die vorliegende Erfindung schafft ein Transportsystem, bestehend aus einem Fahrzeug, das auf einer Route längs Bearbeitungsgeräten mit Ladeöffnungen fährt, um Gegenstände zu transportieren, und einem Fahrzeugsteuergerät, das dem Fahrzeug den Bestimmungsort des Gegenstands anzeigt, und einem Speicherregal, das nahe jeder der Ladeöffnungen angeordnet ist, wobei das Transportsystem so ausgebildet ist, dass, wenn das Fahrzeug einen Befehl erhalten hat, einen Gegenstand in eine bestimmte Ladeöffnung zu transportieren, diese Ladeöffnung erreicht hat, und wenn ein anderer Gegenstand bereits an der Ladeöffnung vorhanden ist, das Fahrzeug den mitgeführten Gegenstand auf das Speicherregal ablädt und den anderen Gegenstand aus der Ladeöffnung transportiert.
  • Wenn mehrere Speicherregale vorgesehen sind, müssen nicht alle Ladeöffnungen mit Regalen versehen sein. Die vorliegende Erfindung soll nur auf Ladeöffnungen angewandt werden, die nahe Speicherregale haben. Wenn außerdem mehrere Gegenstände vorübergehend auf dem Speicherregal angeordnet werden können, ist die nachstehend beschriebene Arbeitsweise möglich. Das Fahrzeug setzt vorübergehend auf dem Regal nicht nur den mitgeführten Gegenstand ab, sondern auch den bereits an der Ladeöffnung vorhandenen Gegenstand. Dann transportiert das Fahrzeug den vorübergehend abgesetzten mitgeführten Gegenstand zur Ladeöffnung. Danach transportiert das Fahrzeug den vorübergehend abgesetzten Gegenstand, der aus der Ladeöffnung abtransportiert werden soll.
  • Vorzugsweise ist das Fahrzeug ein erstes Fahrzeug, und wenn ein zweites Fahrzeug, das vom Fahrzeugsteuergerät einen Befehl erhalten hat, den Gegenstand aus der Ladeöffnung zu transportieren, die Ladeöffnung später als das erste Fahrzeug erreicht, transportiert das zweite Fahrzeug den Gegenstand, der vom ersten Fahrzeug auf das Speicherregal abgeladen wurde, in die zweite Ladeöffnung.
  • Vorzugsweise befinden sich die Ladeöffnung und das Speicherregal in Laufrichtung des Fahrzeugs an der gleichen Position, so dass das Fahrzeug an einer Position angehalten werden kann, an der das Fahrzeug den Gegenstand entweder zur Ladeöffnung oder zum Speicherregal übertragen kann.
  • Vorzugsweise ist das Speicherregal entweder auf der rechten oder auf der linken Seite der Route angeordnet, und das Fahrzeug ist mit einer Transfervorrichtung versehen, die den Gegenstand in vertikaler Richtung übertragen kann, und einer Einrichtung, um die Transfervorrichtung in Laufrichtung nach rechts oder links zu verstellen. Das Fahrzeug muss sich nur entweder nach rechts oder links in Laufrichtung bewegen und muss sich nicht in dieser Richtung nach rechts und links bewegen.
  • Gemäß der vorliegenden Erfindung setzt das Fahrzeug, wenn ein Gegenstand bereits an der Bestimmungsort-Ladeöffnung vorhanden ist, den mitgeführten Gegenstand vorübergehend an dem in der Nähe befindlichen Speicherregal ab. Das Fahrzeug transportiert dann den Gegenstand aus der Ladeöffnung. Somit ist der Lauf des Fahrzeugs zur Ladeöffnung nicht vergeblich, und das gleiche Fahrzeug kann auch den Gegenstand aus der Ladeöffnung transportieren. Dies verbessert den Transportwirkungsgrad. Das Fahrzeugsteuergerät kann die Transportbefehle zuordnen, ohne dass es notwendig ist, den Zustand der Ladeöffnung strikt zu organisieren. Dies erleichtert die Zuordnung der Transportbefehle.
  • Der im Anspruch 2 erläuterte Aspekt der vorliegenden Erfindung ist für das Fahrzeug bestimmt, das den Befehl erhielt, den Gegenstand aus der Ladeöffnung zu transportieren. Wenn das Fahrzeug in die Nähe der Ladeöffnung kommt, überträgt es den Gegenstand, der vorübergehend auf das Speicherregal abgesetzt wurde, zur Ladeöffnung. Dies macht es möglich, zwei Befehle durchzuführen: den Befehl, den Gegenstand aus der Ladeöffnung zu transportieren, und den Befehl, den Gegenstand zur Ladeöffnung zu transportieren.
  • Gemäß dem in Anspruch 3 erläuterten Aspekt der vorliegenden Erfindung sind das Speicherregal und die Ladeöffnung an der gleichen Position in Laufrichtung des Fahrzeugs angeordnet. Daher kann das Fahrzeug in der gleichen Position den Gegenstand zu und von der Ladeöffnung und zu und von dem Regal transportieren. Dies ermöglicht es, die Steuerung des Anhaltens des Fahrzeugs am Speicherregal leicht zu steuern. Außerdem kann der Transport zwischen dem Regal und der Ladeöffnung erleichtert werden.
  • Gemäß dem in Anspruch 4 erläuterten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist das Speicherregal wenigstens entweder an der rechten oder an der linken Seite der Route angeordnet, und das Fahrzeug ist mit der Transfervorrichtung versehen, die den Gegenstand in vertikaler Richtung übertragen kann, und mit einer Einrichtung, um die Transfervorrichtung rechts oder links in Laufrichtung zu verstellen. Dies ermöglicht, dass Gegenstände zwischen dem Speicherregal und dem Fahrzeug leicht übertragen werden können. Das Speicherregal muss mit keinen Einrichtungen wie einem Förderer versehen sein.
  • Kurzbeschreibung der Zeichnungen
  • 1 ist eine Aufsicht, die schematisch den Aufbau eines Transportsystems gemäß einer Ausführungsform zeigt.
  • 2 ist eine Frontansicht eines wesentlichen Teils des Transportsystems, die die Positionsbeziehung zwischen einem Überkopflauffahrzeug und einer Lastöffnung sowie einem Speicher zeigt, die bei dieser Ausführungsform verwendet sind.
  • 3 ist ein Blockschaltbild, das das Steuersystem gemäß der Ausführungsform zeigt.
  • 4 ist ein Blockschaltbild, das die Konfiguration eines Fahrzeugsteuergeräts gemäß der Ausführungsform zeigt.
  • 5 ist ein Ablaufdiagramm, das einen Steueralgorithmus für das Fahrzeug gemäß der Ausführungsform zeigt.
  • Detaillierte Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen
  • Nachstehend wird eine optimale Ausführungsform zur Durchführung der vorliegenden Erfindung beschrieben.
  • [Ausführungsform]
  • Die 1 bis 5 zeigen ein Transportsystem 2 gemäß der Ausführungsform.
  • Bei der Ausführungsform wird das Überkopflauffahrzeug 12 als Beispiel beschrieben. Es ist jedoch möglich, ein schienengeführtes Fahrzeug, ein automatisch geführtes Fahrzeug oder dgl. zu verwenden.
  • Wie 1 zeigt, ist eine Route für das Überkopflauffahrzeug 12 in eine Interbay-Route 4 und eine Intrabay-Route 6 unterteilt. Die Interbay-Route 4 ist eine Hauptlinie für Langstreckentransport. Die Intrabay-Route 6 ist eine Schleifenroute für jeden Prozess, die für eine große Anzahl von Bearbeitungsgeräten 16, 18 installiert ist. 7 ist ein Verzweigungsabschnitt, 8 ist ein Verbindungsabschnitt und 10 ist eine Abkürzung. Im Transportsystem 2 läuft eine große Anzahl von Überkopflauffahrzeugen. Die nachfolgende Beschreibung konzentriert sich jedoch auf zwei Überkopflauffahrzeuge: ein Überkopflauffahrzeug 12a, das einen Befehl erhalten hat, einen Gegenstand von einer Ladeöffnung 20a des Bearbeitungsgeräts 16 zu transportieren, und ein Überkopflauffahrzeug 12b, das einen Befehl erhalten hat, einen Gegenstand zur Ladeöffnung 20a zu transportieren.
  • 14 ist ein Lager z. B. an der Grenze zwischen der Interbay-Route 4 und der Intrabay-Route 6. 16, 18 sind Beispiele mehrerer Bearbeitungsgeräte. 22 ist ein Speicherregal, zu und von dem Gegenstände an der gleichen Position übertragen werden können. Zusätzlich kann ein Speicherregal 23 verwendet werden, das unter der Laufschiene für die Intrabay-Route 6 angeordnet ist. Die strichpunktierte Linie in 1 gibt den Verwaltungsbereich eines Herstellungssteuergeräts an, das die Bearbeitungsgeräte 16, 18 und dgl. steuert. Der restliche Teil wird von einem Verteilungssteuergerät verwaltet. Transportierte Gegenstände umfassen Halbleitersubstrate und Flüssigkristallsubstrate. Die Bearbeitungsgeräte 16, 18 können nicht nur Geräte umfassen, die Gegenstände bearbeiten, sondern auch diese Geräte inspizieren.
  • 2 zeigt den Aufbau des Fahrzeugs 12 und des Speicherregals 22.
  • 28 ist eine Laufschiene, die z. B. an einer Decke eines Reinraums aufgehängt ist. Das Fahrzeug 12 hat eine Laufantriebsstufe 30 und läuft längs einer Laufschiene 28. Das Fahrzeug 12 hat auch eine Elektrizitätsversorgungsstufe 32, um von der Laufschiene 28 kontaktlos Elektrizität aufzunehmen und mit dem Fahrzeugsteuergerät und dgl. zu kommunizieren. Wenn die automatische Steuerung des Fahrzeugs 12 von Bedeutung ist, kann die Kommunikation zwischen dem Fahrzeug und dem Schlittensteuergerät von einem anderen Fahrzeug aufgenommen werden, das dann Information speichert, welche Transportbefehle welchem Fahrzeug zugeordnet sind.
  • 34 ist eine Lateralverstellstufe, die eine Hubantriebsstufe 36, eine Plattform 38 und eine von der Plattform 38 getragene Kassette 40 in lateraler Richtung der Laufschiene 28 verstellt. Diese Bewegung muss nur entweder nach rechts oder links erfolgen. Bei der Ausführungsform kann sich die Lateralverstellstufe 34 z. B. seitlich zu einer Seite der Laufschiene 28 bewegen, die entgegengesetzt zum Bearbeitungsgerät 16 ist. Die Hubantriebsstufe 36 hebt und senkt die Plattform 38 durch Zuführen und Aufwickeln eines Riemens, eines Drahtseils oder dgl. Weiterhin nimmt eine zu transportierende Kassette 40 Halbleitersubstrate oder Flüssigkristallsubstrate auf.
  • 42 ist ein Schutzdeckel, der verhindert, dass die Kassette 40 während des Laufs herabfällt. 44 bis 46 sind Ladesensoren. Der Ladesensor 44 stellt fest, ob irgendein Gegenstand auf dem Speicherregal 22 vorhanden ist oder nicht. Der Ladesensor 45 stellt fest, ob irgendein Gegenstand an der Ladeöffnung 20 vorhanden ist oder nicht. Der Ladesensor 46 wird verwendet, wenn das Speicherregal auf der Seite der Laufschiene 28 angeordnet ist, die dem Bearbeitungsgerät 16 näherliegt. Außerdem ist das Fahrzeug 12 mit einer Kommunikationsstufe versehen, die mit der Ladeöffnung 20 kommuniziert. Ohne die Kommunikationsstufe kommuniziert das Fahrzeug 12 mit der Ladeöffnung über das Fahrzeugsteuergerät.
  • 50 ist eine Gegenstandsablagefläche auf dem Speicherregal 22, auf die ein Gegenstand gesetzt wird, und diese Gegenstandsablagefläche befindet sich etwas unterhalb der Bodenfläche der Kassette 40, z. B. etwa 1 bis 30 cm unter der Bodenfläche. Das Speicherregal 22 hängt mittels Streben 52 von der Decke herab. Das Speicherregal 22 ist mit keinem Förderer oder Sensor wie einem Ladesensor versehen. Das Speicherregal 22 kann jedoch mit einem Förderer und einem Sensor versehen sein. Außerdem können die Speicherregale 22 und die Ladeöffnungen 20 in einer Eins-zu-eins-Entsprechung vorgesehen sein, oder ein langes Speicherregal kann für mehrere Ladeöffnungen 20 vorgesehen sein. Das lange Speicherregal kann mehrere Gegenstände aufnehmen. Außerdem ist das Speicherregal 22 an wenigstens der rechten oder der linken Seite der Route angeordnet, kann jedoch auf beiden Seiten der Route angeordnet sein. 54 ist im Bearbeitungsgerät 15 eine Tür zwischen der Ladeöffnung 20 und dem Inneren des Bearbeitungsgeräts 16. Außerdem ist die Ladeöffnung 20 mit einem Förderer (in den Zeichnungen nicht gezeigt) versehen, so dass ein Gegenstand zwischen der Ladeöffnung 20 und dem Inneren des Bearbeitungsgeräts 16 über die Tür 54 bewegt werden kann.
  • 3 zeigt das Steuersystem für das Transportsystem 2. 60 ist ein Verteilungssteuergerät, das ein Fahrzeugsteuergerät 62 und ein Speichersteuergerät 64 verwaltet. Das Verteilungssteuergerät 60 empfängt eine Transportanforderung von einem Produktionssteuergerät 68 über das Hauptsteuergerät 66. Das Verteilungssteuergerät 60 informiert das Produktionssteuergerät 68 vom Ergebnis des Transports über das Hauptsteuergerät 62. Das Speichersteuergerät 64 steuert das Lager 14. Das Fahrzeugsteuergerät 62 verwaltet die Speicherregale 22, 23.
  • 4 zeigt den Aufbau des Fahrzeugsteuergeräts 62. Eine Fahrzeugverwaltungsdatei 70 verwaltet den Zustand des Fahrzeugs und speichert z. B. einen durch einen Transportbefehl zugeordneten Zustand, einen Standby-Zustand, einen Fehlerzustand oder dgl. Eine Speicherverwaltungsdatei 72 verwaltet die Zustände der Speicherregale 22, 23 und speichert Aufzeichnungen 76 an jedem Speicherregal wie Adressen des Speicherregals, ob ein Gegenstand auf dem Speicherregal vorhanden ist oder nicht, die ID eines Gegenstands, wenn vorhanden, und Bestimmungsortdaten (T0-Daten). Eine Transportbefehl-Verwaltungsdatei 74 speichert Transportbefehle für das Verteilungssteuergerät 60 und die Zustände, die angeben, wie die Befehle durchgeführt werden. Wenn die Inhalte der Transportbefehle geändert werden, während sie durchgeführt werden, wie im Falle der Ausführungsform, werden die Transportbefehle 78, 80 nach der Änderung in Verbindung mit den Transportbefehlen vor der Änderung gespeichert. Z. B. gibt der Transportbefehl 78 an, dass der Transport eines Gegenstands von einer Ladeöffnung A zu einer Ladeöffnung B (der transportierte Gegenstand ist durch eine ID spezifiziert) von einem Fahrzeug 1 zu einem Fahrzeug 2 geändert wurde. Für den Transportbefehl 80 ist dies, da kein Gegenstand von einem Speicherregal zu einer Ladeöffnung transportiert wurde, als ein Transportbefehl beschrieben. Der Transportbefehl 80 gibt die ID des Gegenstandes an, und das Fahrzeug (das Fahrzeug 1), dem dieser Transportbefehl zugeordnet ist.
  • Bezugnehmend auf 1 wird die Arbeitsweise der Ausführungsform unter der Annahme beschrieben, dass zwei Transportbefehle durchgeführt werden: der Befehl erfordert, dass ein Gegenstand von der Ladeöffnung 20a zum Bearbeitungsgerät 16 transportiert wird, bzw. ein Gegenstand vom Lager 14 zur Ladeöffnung 20a transportiert wird. Außerdem wird angenommen, dass der Transport des Gegenstands von der Ladeöffnung 20a zu einem geeigneten Bearbeitungsgerät bzw. einem geeigneten Lager dem Fahrzeug 12a zugeordnet ist, und dass der Transport des Gegenstands vom Lager 14 zur Ladeöffnung 20 dem Fahrzeug 12b zugeordnet ist.
  • Im Stand der Technik erhält das Fahrzeug 12a zuerst einen Befehl, den Gegenstand von der Ladeöffnung 20a zu transportieren, um die folgende Situation zu verhindern: das Fahrzeug 12b kann seinen Gegenstand nicht an die Ladeöffnung 20a abladen und wartet somit, bis die Ladeöffnung 20a leer wird, indem es in der Intrabay-Route 6 umläuft. Das Steuergerät befiehlt dem Fahrzeug 12b nicht, den Gegenstand vom Lager 14 zur Ladeöffnung 20a zu transportieren, bis das Fahrzeug 12a dem Steuergerät berichtet, dass der Gegenstand, der ursprünglich an der Ladeöffnung 20a vorhanden war, auf das Fahrzeug 12a geladen wurde. Solch eine Transportsteuerung ist ineffizient.
  • Im Gegensatz dazu befiehlt gemäß der Ausführungsform das Steuergerät dem Fahrzeug 12b, den Gegenstand vom Lager 14 zur Ladeöffnung 20a ohne Warten auf den Bericht zu transportieren, der angibt, dass der ursprünglich an der Ladeöffnung 20a vorhandene Gegenstand vollständig aus der Ladeöffnung 20a transportiert wurde. In einem extremen Fall können das Fahrzeug 12a und das Fahrzeug 12b gleichzeitig den Befehl erhalten, Gegenstände zu transportieren. Dies ermöglicht es dem Fahrzeugsteuergerät, Transportbefehle den Fahrzeugen leichter zuzuordnen.
  • 5 zeigt einen Prozess, der durchgeführt wird, wenn ein erstes Fahrzeug (das Fahrzeug 1) den Befehl erhält, einen Gegenstand vom Lager 14 zu einem Bearbeitungsgerät A zu transportieren, und wenn das nächste Fahrzeug (das Fahrzeug 2) dann den Befehl erhält, den Gegenstand vom Bearbeitungsgerät A zum Bearbeitungsgerät B zu transportieren. Das Fahrzeug 1 fährt zum Bearbeitungsgerät A, um zu prüfen, ob ein Gegenstand an der Ladeöffnung vorhanden ist oder nicht. Wenn kein Gegenstand an der Ladeöffnung vorhanden ist, wurde der ursprünglich an der Ladeöffnung vorhandene Gegenstand bereits auf das Fahrzeug 2 geladen. Das Fahrzeug 1 kann somit den Transportbefehl durch Abladen seines Gegenstandes an die Ladeöffnung durchführen. Wenn ein Gegenstand an der Ladeöffnung vorhanden ist, prüft das Fahrzeug 1, ob ein Gegenstand auf dem Speicherregal vorhanden ist oder nicht. Wenn auch ein Gegenstand auf dem Speicherregal vorhanden ist, kommuniziert das Lauffahrzeug 1 mit dem Steuergerät, um dies dem Steuergerät mitzuteilen. Entsprechend einem Befehl des Steuergeräts setzt dann z. B. das Fahrzeug 1 seinen Gegenstand auf ein weiteres nahes Speicherregal oder wartet durch Umlaufen durch die Intrabay-Route. Wenn ein Gegenstand an der Ladeöffnung vorhanden ist, während kein Gegenstand auf dem Speicherregal vorhanden ist, kommuniziert das Fahrzeug 1 mit dem Steuergerät, um dies dem Steuergerät mitzuteilen. Entsprechend einem Befehl des Steuergeräts lädt dann das Fahrzeug 1 seinen Gegenstand auf dem Speicherregal ab und nimmt den Gegenstand von der Ladeöffnung auf. Das Fahrzeug 1 informiert dann das Fahrzeugsteuergerät, dass das Fahrzeug 1 seinen Gegenstand auf das Speicherregal entladen hat, ebenso wie über die ID eines Befehls zum Transport zum Bearbeitungsgerät A oder über die ID des Gegenstands, der von dem Transportbefehl spezifiziert ist. Das Fahrzeug 1 nimmt auch vom Fahrzeugsteuergerät einen Transportbefehl auf, der den Bestimmungsort des von der Ladeöffnung aufgenommenen Gegenstands angibt, die ID des Gegenstandes und dgl. Die in 5 gezeigte Aufgabe ist beendet, wenn das Fahrzeug 1 zum spezifizierten Bestimmungsort B läuft und dann seinen Gegenstand ablädt.
  • Das Fahrzeug 2 fährt zum Bearbeitungsgerät A. Wenn ein Gegenstand an der Ladeöffnung vorhanden ist, nimmt das Fahrzeug 2 diesen Gegenstand auf und transportiert ihn zum Bearbeitungsgerät B. Wenn kein Gegenstand an der Ladeöffnung vorhanden ist, prüft das Fahrzeug 2, ob ein Gegenstand am Speicherregal vorhanden ist oder nicht. Wenn kein Gegenstand am Speicherregal vorhanden ist, führt auch das Fahrzeug 2 einen Befehl des Steuergeräts durch. Wenn ein Gegenstand am Speicherregal vorhanden ist, empfängt das Fahrzeug 2 den Bestimmungsort dieses Gegenstands, die ID des Gegenstands und dgl. vom Steuergerät. In manchen Fällen ist der Bestimmungsort die Ladeöffnung, die dem Speicherregal zugewandt ist. Somit ist die Aufgabe in 5 erledigt, wenn der bereits am Speicherregal vorhandene Gegenstand zur Ladeöffnung des Bearbeitungsgeräts A transportiert ist. Immer dann, wenn das Fahrzeug den entsprechenden Prozess durchführt, informiert es das Steuergerät vom Ergebnis der Durchführung.
  • Wie oben beschrieben, führt das Fahrzeug 1 einen Befehl zum Transport eines Gegenstands zum Bearbeitungsgerät A durch Änderung auf einen Befehl zum Transport des Gegenstands zum Speicherregal durch. Das Fahrzeug 2 stellt fest, dass der Befehl zum Transport des Gegenstands vom Bearbeitungsgerät A zum Bearbeitungsgerät B aufgehoben wurde, und transportiert statt dessen den Gegenstand vom Speicherregal zur Ladeöffnung des Bearbeitungsgeräts A. Auf diese Weise ist es möglich, effizient Gegenstände aus der und in die gleiche Ladeöffnung ohne Berücksichtigung der Reihenfolge, in der die Fahrzeuge 1 und 2 ankommen, zu transportieren.
  • Wenn bei der vorliegenden Ausführungsform das Fahrzeug 2 das Bearbeitungsgerät A erreicht und dem Steuergerät berichtet, dass kein Gegenstand an der Ladeöffnung vorhanden ist, während ein Gegenstand am Speicherregal vorhanden ist, ordnet das Steuergerät dem Fahrzeug 2 den Befehl neu zu, der erfordert, dass der bereits am Speicherregal vorhandene Gegenstand zur Ladeöffnung des Bearbeitungsgeräts A transportiert wird. Auf der Grundlage des Berichts des Fahrzeugs 1 hat das Steuergerät jedoch bereits bestätigt, dass das Fahrzeug 1 seinen Gegenstand auf das Speicherregal abgeladen und dann den Gegenstand aus der Ladeöffnung aufgenommen und abtransportiert hat, bevor das Fahrzeug 2 die Ladeöffnung erreicht. Entsprechend ordnet das Steuergerät den Transportbefehl ohne Notwendigkeit zu, auf eine Anfrage des Fahrzeugs 2 zu warten. Z. B. kann eine effiziente Kommunikation durchgeführt werden, wenn nach Empfang eines Berichts vom Fahrzeug 1 das Steuergerät mit dem Fahrzeug 2 kommuniziert, um den ursprünglichen Transportbefehl, der bereits dem Fahrzeug 2 zugeordnet wurde, aufzuheben, während dem Fahrzeug 2 ein Transportbefehl zugeordnet wird, der erfordert, dass der bereits am Speicherregal vorhandene Gegenstand zur Ladeöffnung des Bearbeitungsgeräts transportiert wird.
  • Wenn mehrere Speicherregale nahe einer Ladeöffnung vorhanden sind, setzt das Fahrzeug 1, das in 5 gezeigt ist, einen Gegenstand vorübergehend auf einem ersten Speicherregal ab, das nahe der Ladeöffnung vorhanden ist. Das Fahrzeug 1 setzt dann den Gegenstand, der bereits an der Ladeöffnung vorhanden ist, vorübergehend auf das zweite Speicherregal. Dann kann der Gegenstand, der bereits auf dem ersten Speicherregal vorhanden ist, an die Ladeöffnung abgeladen werden, um den Transport des Gegenstandes vom Speicherregal zur Ladeöffnung zu vervollständigen. Dann wird der Gegenstand aus dem zweiten Speicherregal transportiert, um die Aufgaben der Fahrzeuge 1 und 2, die in 5 gezeigt sind, zu vervollständigen. Folglich kann zu diesem Zeitpunkt ein weiterer Transportbefehl dem Fahrzeug 2 zugeordnet werden.
  • Wieder bezugnehmend auf 2 ist das Speicherregal nahezu an der gleichen Position in Laufrichtung der Laufschiene 28 wie diejenige angeordnet, an der die Ladeöffnung 20 angeordnet ist. D. h., dass das Speicherregal 22 an der Position angeordnet ist, an der das Fahrzeug 12 einen Gegenstand übertragen kann, ohne dass ein Lauf erforderlich wäre. Das Fahrzeug 12 hält an einer Stopposition an, von der aus ein Gegenstand zur Ladeöffnung 20 übertragen werden kann. Somit kann an der gleichen Stopposition das Fahrzeug 12 Gegenstände zum Speicherregal 22 und zur Ladeöffnung 20 und von diesen übertragen. Der Halt des Fahrzeugs 12 am Speicherregal 22 kann daher unter Verwendung von Daten bezüglich der Stoppsteuerung an der Ladeöffnung 20 in der vorliegenden Form gesteuert werden. Das Fahrzeug 12 kann die Lateralverstellstufe 34 verwenden, um an der gleichen Position Gegenstände zur Ladeöffnung und zum Speicherregal 22 und von diesen zu übertragen. Folglich können Gegenstände leicht übertragen werden. Außerdem hat das Fahrzeug 12 die Lateralverstellstufe 34. Folglich besteht keine Notwendigkeit, dass irgendwelche Einrichtungen wie ein Förderer auf der Seite des Speicherregals 22 vorgesehen werden.

Claims (4)

  1. Transportsystem (2), bestehend aus einem Fahrzeug (12a, 12b), das auf einer Route (6) längs Bearbeitungsgeräten (16, 18) mit Ladeöffnungen (20) zum Transport von Gegenständen fährt, einem Fahrzeugsteuergerät (62), das dem Fahrzeug (12a, 12b) den Bestimmungsort eines Gegenstands anzeigt, und einem Speicherregal (22, 23), das nahe jeder der Ladeöffnungen (20) angeordnet ist, wobei das Transportsystem so ausgebildet ist, dass, wenn das Fahrzeug, das angewiesen wurde, einen Gegenstand in eine bestimmte Ladeöffnung (20) zu transportieren, die Ladeöffnung erreicht, und wenn ein anderer Gegenstand bereits an der Ladeöffnung (20) vorhanden ist, das Fahrzeug den mitgeführten Gegenstand auf das Speicherregal ablädt, wobei das Transportsystem dadurch gekennzeichnet ist, dass es weiterhin so ausgebildet ist, dass das Fahrzeug dann den anderen Gegenstand aus der Ladeöffnung transportiert.
  2. Transportsystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Fahrzeug ein erstes Fahrzeug (12a) ist, und wenn ein zweites Fahrzeug (12b), das vom Fahrzeugsteuergerät (62) angewiesen wurde, den Gegenstand aus der Ladeöffnung (20) zu transportieren, die Ladeöffnung später als das erste Fahrzeug erreicht, das zweite Fahrzeug (12b) den auf das Speicherregal vom ersten Fahrzeug (12a) abgeladenen Gegenstand in die Ladeöffnung transportiert.
  3. Transportsystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Ladeöffnung (20) und das Speicherregal (22, 23) in Laufrichtung des Fahrzeugs an der gleichen Position sind, so dass das Fahrzeug (12a, 12b) an einer Position. angehalten werden kann, an der das Fahrzeug den Gegenstand entweder zur Ladeöffnung oder zum Speicherregal übertragen kann.
  4. Transportsystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Speicherregal (22, 23) entweder auf der rechten oder auf der linken Seite der Route (6) angeordnet ist und das Fahrzeug (12a, 12b) mit einer Transfervorrichtung versehen ist, die den Gegenstand in vertikaler Richtung übertragen kann, und einer Einrichtung, um die Transfervorrichtung nach rechts oder links in Laufrichtung zu verstellen.
DE602005002797T 2004-08-16 2005-08-09 Tragvorrichtung Active DE602005002797T2 (de)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004236547A JP4337683B2 (ja) 2004-08-16 2004-08-16 搬送システム
JP2004236547 2004-08-16

Publications (2)

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Families Citing this family (36)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4221603B2 (ja) * 2005-03-31 2009-02-12 村田機械株式会社 天井走行車システム
JP4720267B2 (ja) * 2005-04-14 2011-07-13 村田機械株式会社 天井走行車システム
US9330373B2 (en) 2005-07-19 2016-05-03 Amazon Technologies, Inc. Method and system for storing inventory holders
US8483869B2 (en) * 2005-07-19 2013-07-09 Amazon Technologies, Inc. Method and system for fulfilling requests in an inventory system
JP4632091B2 (ja) * 2005-08-30 2011-02-16 株式会社ダイフク 物品搬送設備
US7577487B2 (en) * 2005-09-14 2009-08-18 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for a band to band transfer module
JP2007096140A (ja) * 2005-09-30 2007-04-12 Asyst Shinko Inc 懸垂式昇降搬送台車における物品の授受方法並びに装置
JP2007191235A (ja) * 2006-01-17 2007-08-02 Murata Mach Ltd 天井走行車システム
JP4427755B2 (ja) 2006-02-03 2010-03-10 村田機械株式会社 搬送システム
KR100743194B1 (ko) * 2006-03-22 2007-07-27 삼성전자주식회사 이송시스템
EP2019052A4 (de) * 2006-05-12 2014-10-01 Murata Machinery Ltd Transfersystem und transferverfahren
JP4367440B2 (ja) 2006-06-14 2009-11-18 村田機械株式会社 搬送システム
JP4333701B2 (ja) * 2006-06-14 2009-09-16 村田機械株式会社 搬送システム
JP2007331906A (ja) * 2006-06-16 2007-12-27 Murata Mach Ltd 天井走行車システム
JP4378655B2 (ja) 2007-03-07 2009-12-09 株式会社ダイフク 物品処理設備
JP4378656B2 (ja) 2007-03-07 2009-12-09 株式会社ダイフク 物品搬送設備
US9033638B2 (en) * 2007-04-17 2015-05-19 International Business Machines Corporation OHT accessible high density stocker and method
JP4366663B2 (ja) * 2007-06-28 2009-11-18 村田機械株式会社 搬送台車システム
DE102007035839B4 (de) * 2007-07-31 2017-06-22 Globalfoundries Dresden Module One Limited Liability Company & Co. Kg Verfahren und System zum lokalen Aufbewahren von Substratbehältern in einem Deckentransportsystem zum Verbessern der Aufnahme/Abgabe-Kapazitäten von Prozessanlagen
JP5062485B2 (ja) * 2008-04-09 2012-10-31 株式会社ダイフク 物品搬送設備
JP4984330B2 (ja) * 2008-04-23 2012-07-25 村田機械株式会社 搬送車システム
TW201004853A (en) * 2008-07-25 2010-02-01 Inotera Memories Inc Method for carrying wafer cassette and carrying system thereof
DE102008059711A1 (de) * 2008-11-29 2010-06-10 Eisenmann Anlagenbau Gmbh & Co. Kg Vorrichtung zum Umsetzen von Gegenständen sowie Förderanlagen mit einer solchen Vorrichtung
JP5212200B2 (ja) * 2009-03-17 2013-06-19 村田機械株式会社 天井搬送システム
KR101358928B1 (ko) * 2009-06-02 2014-02-06 무라다기카이가부시끼가이샤 반송차 시스템
JP2011035022A (ja) * 2009-07-30 2011-02-17 Murata Machinery Ltd 天井搬送車
JP5765549B2 (ja) * 2010-10-04 2015-08-19 株式会社ダイフク 物品搬送装置
JP5229363B2 (ja) * 2010-11-04 2013-07-03 村田機械株式会社 搬送システム及び搬送方法
WO2012060291A1 (ja) 2010-11-04 2012-05-10 ムラテックオートメーション株式会社 搬送システム及び搬送方法
JP6048686B2 (ja) * 2014-09-25 2016-12-21 村田機械株式会社 一時保管装置と搬送システム及び一時保管方法
KR102062179B1 (ko) * 2015-08-14 2020-01-03 무라다기카이가부시끼가이샤 반송 시스템
JP6819224B2 (ja) * 2016-10-31 2021-01-27 株式会社ダイフク 搬送車
KR102336425B1 (ko) * 2017-06-30 2021-12-07 무라다기카이가부시끼가이샤 반송 시스템 및 반송 방법
EP3778435A4 (de) 2018-03-27 2022-01-19 Murata Machinery, Ltd. Transportsystem, transportsteuergerät und steuerungsverfahren für transportfahrzeug
US11295973B2 (en) * 2020-02-11 2022-04-05 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Apparatus and method for automated wafer carrier handling
KR20220060028A (ko) * 2020-11-02 2022-05-11 삼성디스플레이 주식회사 적재부 및 그것을 포함하는 윈도우 제조 시스템

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6078532A (ja) 1983-10-05 1985-05-04 Toppan Printing Co Ltd カズノコの包装方法
JPH0423108A (ja) * 1990-05-18 1992-01-27 Toshiba Corp 無人搬送車自動制御装置
JPH08217209A (ja) * 1995-02-10 1996-08-27 Chiyoda Corp ピッキングシステム
TW348162B (en) * 1996-09-30 1998-12-21 Murada Kikai Kk Work carrying system
US5980183A (en) * 1997-04-14 1999-11-09 Asyst Technologies, Inc. Integrated intrabay buffer, delivery, and stocker system
US6281516B1 (en) * 1998-07-13 2001-08-28 Newport Corporation FIMS transport box load interface
KR101510614B1 (ko) * 2002-10-11 2015-04-10 무라다기카이가부시끼가이샤 오버헤드 호이스트를 탑재한 오버헤드 호이스트 수송 차량
JP3991852B2 (ja) * 2002-12-09 2007-10-17 村田機械株式会社 天井搬送車システム
TWI246501B (en) * 2003-02-03 2006-01-01 Murata Machinery Ltd Overhead traveling carriage system
US6990721B2 (en) * 2003-03-21 2006-01-31 Brooks Automation, Inc. Growth model automated material handling system
KR100522994B1 (ko) * 2003-06-27 2005-10-20 신꼬오덴끼가부시끼가이샤 반송시스템
US20050008467A1 (en) * 2003-07-11 2005-01-13 Rich Huang Load port transfer device
JP2006051886A (ja) * 2004-08-12 2006-02-23 Murata Mach Ltd 天井走行車システム

Also Published As

Publication number Publication date
TW200607727A (en) 2006-03-01
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EP1627834B1 (de) 2007-10-10
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JP4337683B2 (ja) 2009-09-30

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