DE4439661A1 - Wortleitungstreiberschaltkreis für eine Halbleiterspeichereinrichtung - Google Patents
Wortleitungstreiberschaltkreis für eine HalbleiterspeichereinrichtungInfo
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Description
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Halbleiter
speichereinrichtung und bezieht sich insbesondere auf einen
Wortleitungstreiberschaltkreis in einer Halbleiterspeicher
einrichtung, die eine geringe Versorgungsspannung benötigt.
Mit der rasch ansteigenden Nachfrage nach portablen Computern
oder Mikroprozessoren, welche batteriebetrieben sind, ist es
notwendig, hochintegrierte Halbleiterspeichereinrichtungen für
derartige Einrichtungen zur Verfügung zu stellen. Derartig hoch
integrierte Halbleiterspeichereinrichtungen sollten einen so
gering wie möglichen Stromverbrauch aufweisen. In einer her
kömmlichen Speichereinrichtung, wie etwa einem dynamischen RAM
(Random Access Memory), einem pseudostatischem RAM sind die
Wortleitungen mit einer Vielzahl von Speicherzellen verbunden,
und es wird ein ausreichender Spannungspegel zum Auswählen
einer Wortleitung zur Verfügung gestellt, um die gewünschte
Speicherzelle durch Treiben dieser Wortleitungen auszuwählen. Da
die Wortleitungen sich über eine beträchtliche Länge innerhalb
des Speicherzellenfeldes in einer Halbleiterspeichereinrichtung
erstrecken können, wird eine höhere Spannung als üblich über
einen internen Booster-Schalt-kreis der ausgewählten Wortlei
tung zugeführt, um den Spannungsverlust, der durch den Lei
tungswiderstand verursacht wird, auszugleichen. Eine bekannte
Struktur für einen Wortleitungstreiberschaltkreis ist in IEEE
JOURNAL OF SOLID-STATE CURCIUT, Vol. 26, Nr. 11, November 1991,
Seite 1557, beschrieben und wird in Zusammenhang mit Fig. 1 im
folgenden beschrieben.
In Fig. 1 wird ein Reihendecodiersignal XD, welches von einem
Reihendecoder erzeugt wurde, über einen Transfertransistor M1,
dessen Gateanschluß mit der Vorsorgungsspannung Vcc verbunden
ist, dem Gateanschluß eines pull-up-Transistors M2 zugeführt,
um ein Wortleitungstreibersignal ΦXI an die Wortleitung WL
zur Verfügung zu stellen. Das Wortleitungstreibersignal ΦXI
stellt ein hohes Spannungssignal dar, welches durch den inter
nen Booster-Schaltkreis der Halbleiterspeichereinrichtung
erzeugt wurde und eine Spannung von Vcc+VTN (wobei VTN die
Schwellspannung eines n-Typ MOS-Transistors ist) aufweist.
Ein Gateanschlußknoten N1 ist zwischen dem Gateanschluß des
pull-up-Transistors M2 und dem Transfertransistor M1 ver
schaltet und wird auf eine Spannung Vcc-VTN vorgeladen, wenn
das Reihendecodiersignal XD aktiviert wird. Diese vorgeladene
Spannung Vcc-VTN weist einen Pegel auf, der den Spannungsab
fall aufgrund der Schwellspannung des Transfertransistors
M1 berücksichtigt. Der pull-up-Transistor M2 wird durch die
Vorladespannung am Knoten N1 angeschaltet, und das Wortlei
tungstreibersignal ΦXI wird an die Wortleitung WL über den
Kanal des angeschalteten Transfertransistors M2 übertragen.
Da durch die Gateanschlußkapazität des pull-up-Transistors
M2 eine selbstverstärkende Operation implementiert ist, kann
das Wortleitungstreibersignal ΦXI in Höhe der Spannung Vcc+VTN
der Wortleitung WL ohne Spannungsabfall zugeführt werden.
Um das Wortleitungstreibersignal ΦXI der Wortleitung WL ohne
Spannungsabfall unter Berücksichtigung der geringeren Versor
gungsspannung einer hoch integrierten Halbleiterspeicherein
richtung zur Verfügung zu stellen, sollte die Gatespannung des
pull-up-Transistors M2, die durch die Gatekapazität des pull-
up-Transistors M2 verstärkt wurde, eine Spannung aufweisen,
die ausreichend ist, um das Wortleitungstreibersignal ΦXI mit
der Spannung Vcc+VTN der Wortleitung WL ohne Spannungsabfall
zur Verfügung zu stellen.
Da jedoch der Gateknoten N1 des pull-up-Transistors M2 selbst
die Spannung Vcc-VTN aufweist, benötigt es eine lange Zeit,
um das Wortleitungstreibersignal ΦXI mit der Spannung Vcc+VTN
an die Wortleitung WL ohne Spannungsabfall zur Verfügung zu
stellen. Wenn der Spannungspegel geringer wird, wird das ver
stärkte Wortleitungstreibersignal nicht vollständig zur Wort
leitung übertragen. Deshalb weist der Schaltkreis der Fig. 1
keine optimale Funktion für Halbleiterspeichereinrichtungen mit
geringer Versorgungsspannung und hoher Betriebsgeschwindigkeit
auf.
Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Wortlei
tungstreiberschaltkreis mit hoher Operationsgeschwindigkeit in
einer Halbleiterspeichereinrichtung zur Verfügung zu stellen.
Eine bevorzugte Ausführungsform der vorliegenden Erfindung soll
einen Wortleitungstreiberschaltkreis zur Verfügung stellen, der
in einer Halbleiterspeichereinrichtung mit geringer Versor
gungsspannung und hoher Arbeitsgeschwindigkeit effektiv benutzt
werden kann.
Eine weitere Ausführungsform der Erfindung soll eine Halblei
terspeichereinrichtung zur Verfügung stellen, die eine hohe
Datenzugriffsgeschwindigkeit für jede Speicherzelle gestattet.
Gemäß der Erfindung wird ein Wortleitungstreiberschaltkreis an
gegeben, der einen Feldeffekt-pull-up-Transistor mit isoliertem
Gate aufweist, wobei der Gateknoten mit einem Reihendecodiersi
gnal über den Feldeffekttransistor verbunden ist. Weiterhin zwi
schen der Wortleitung und einem Wortleitungstreibersignal mit
vorgegebener Spannung verbunden ist. Weiterhin weist der
Schaltkreis einen Schaltkreis zum Bereitstellen eines
Transferverstärkungssignals auf, welches in Antwort auf ein vor
gegebenes Steuersignal erzeugt wurde, an das Gate des Transfer
transistors, wodurch eine Vorladung des Gateknotens auf eine
Spannung erfolgt, die zumindest vor und nachdem das
Wortleitungstreibersignal aktiviert wurde, über der Spannungs
versorgung liegt.
Im folgenden werden bevorzugte Ausführungsformen unter Bezug
nahme auf die beiliegenden Zeichnungen näher erläutert. Dabei
zeigen die Zeichnungen im einzelnen:
Fig. 1 einen Schaltkreis eines herkömmlichen Wortleitungs
treiberschaltkreises;
Fig. 2 einen Schaltkreis eines Wortleitungstreiberschalt
kreises gemäß der vorliegenden Erfindung;
Fig. 3 ein Zeitablaufdiagramm zum Verdeutlichen des Betriebs
des Schaltkreises der Fig. 2; und
Fig. 4 eine graphische Darstellung der Ausgangscharakteristiken
der Schaltkreise der Fig. 1 und der Fig. 2.
In Fig. 2 enthält der erfindungsgemäße Wortleitungstreiber
schaltkreis einen Transferverstärkungsschaltkreis 10 zum Be
reitstellen einer Spannung Vcc+VTN an den Gateanschluß des
Transfertransistors M1. Ein Transferverstärkungssignal ΦXDI,
welches den Ausgang des Transferverstärkungsschaltkreises 10
darstellt, wird dem Gateanschluß des Transfertransistors M1
zugeführt, wobei der Kanal des Transistors M1 zwischen einem
Anschluß für das Reihendecodiersignal Xd und dem Gateknoten
N1 verschaltet ist (das Reihendecodiersignal Xd wird von
dem Reihendecoder erzeugt). Wie in Fig. 1, ist ebenso in Fig. 2
ein Inverter Io zum Empfangen des Reihendecodiersignals Xd
vorgesehen, außerdem ein pull-up-Transistor M2, dessen Gate
anschluß mit dem Gateknoten N1 verbunden ist und dessen Kanal
zwischen einem Anschluß für das Wortleitungstreibersignal ΦXI
und der Wortleitung WL verschaltet ist. Weiterhin ist ein
pull-down-Transistor M3 vorgesehen ist, dessen Gateanschluß
mit dem Ausgangssignal des Inverters Io beaufschlagt wird und
dessen Kanal zwischen der Wortleitung WL und dem Massepotential
verschaltet ist.
Die P-Kanal-Feldeffekttransistoren mit isoliertem Gate (im fol
genden P-Kanal-Transistoren genannt) P1 und P2 weisen von ihren
Grundsubstraten (bodies) und den Sourceanschlüssen gemeinsame
Verbindungen zu einer Pumpspannung Vpp auf und ihre Gatean
schlüsse und Drainanschlüsse sind über Kreuz miteinander ge
koppelt. Ein N-Kanal-Feldeffektor mit isoliertem Gate (im fol
genden N-Kanal-Transistor genannt) M4 weist einen Kanal auf,
der zwischen dem Drainanschluß des P-Kanaltransistors P1 und
der Substratspannung Vss verschaltet ist und dessen Gate
anschluß mit dem Boosteraktivierungssignal ΦXE verschaltet
ist. Ein Inverter I1 empfängt das Boosteraktivierungssignal
ΦXE. Ein N-Kanaltransistor M5 weist einen Gateanschluß auf, der
mit dem Ausgangsanschluß des Inverters I1 verbunden ist und
weist einen Kanal auf, der zwischen dem Drainanschluß des P-
Kanaltransistors P2 und der Substratspannung Vss verschaltet
ist. Ein Inverter I2 empfängt ein Signal, welches an dem
Steuerknoten 11 auftritt und die Spannung am Drainanschluß
des P-Kanaltransistors P2 darstellt (oder dem Gateanschluß
des P-Kanaltransistors P1). Ein P-Kanal-Transistor P3 weist
einen Gateanschluß auf, der mit dem Steuerknoten 11 verbun
den ist und weist einen Sourceanschluß und einen Substratan
schluß (body) auf, die mit der Pumpspannung Vpp verbunden
sind. Sein Drainanschluß ist mit einem Transferverstärkungs
anschluß 12 verbunden, von wo das Transferverstärkungssi
gnal ΦXDI erzeugt wird. Ein P-Kanal-Transistor P4 weist einen
Gateanschluß auf, der mit dem Ausgangsanschluß des Inverters
I2 verbunden ist und weist einen Substrat (body)- und Source
anschluß auf, wobei der Substrat (body)-Anschluß mit Vpp und
dem Sourceanschluß der Versorgungsspannung Vcc verbunden ist.
Der entsprechende Drainanschluß ist mit dem Transverstärkungs
anschluß 12 verbunden. Für den Fachmann wird klar sein, daß die
Pumpspannung Vpp an das Substrat (body) und den Sourceanschluß
der P-Kanal-Transistoren P1, P2, P3 und P4 dazu dient, die Ver
schlechterung der Stromtreiberfähigkeiten, die durch den Sub
strateffekt (bodyeffect) bewirkt werden, zu beheben. Die ver
wendete Pumpspannung beträgt mindestens Vcc+ VTN.
Wie in Fig. 3 gezeigt ist, ist, solange das Verstärkungs-
(boosting)-Aktivierungssignal ΦXE zum Steuern des Transfer
verstärkungsschaltkreises 10 sich im logischen "low"-Zustand
befindet (d. h. vor der Zeit t1), der N-Kanal-Transistor M4 aus
geschaltet und der N-Kanal-Transistor M5, welcher an seinem
Gate das invertierte Verstärkungsaktivierungssignal empfängt,
angeschaltet. Die Spannung am Steuerknoten 11, die dem Drain
anschluß des ausgeschalteten N-Kanal-Tranistors M5 zugeführt
wird, bleibt somit bei logisch "low". Der P-Kanal-Transistor
P3, dessen Gateanschluß mit dem Steuerknoten 11 verbunden
ist, wird angeschaltet, wohingegen der P-Kanal-Transistor P4,
der den invertierten logischen Zustand des Steuerknotens 11
erhält, ausgeschaltet wird. Die Pumpspannung Vpp wird dem
Transferverstärkungsanschluß 12 durch den Kanal des ange
schalteten P-Kanal-Transistors P3 zugeführt, und im Ergebnis
führt das Transferverstärkungssignal ΦXDI die Pumpspannung
Vpp dem Gateanschluß des Transfertransistors M1 zu.
Während das Transferverstärkungssignal ΦXDI der Pumpspannung
Vpp dem Gateanschluß des Transfertransistors M1 zugeführt
wird, für den Fall, daß das Reihendecodiersignal Xd zum Zeit
punkt t0 auf den logischen "high"-Zustand der Leistungsver
sorgung Vcc gebracht wird, wird dem Gateknoten N1 über den
Kanal des Transfertransistors M1, welcher eine ausreichende
Gate-Source-Spannung über dem Spannungspegel Vcc+VTN auf
weist, eine Spannung in Höhe der Versorgungsspannung Vcc zu
geführt. Die Spannung am Knoten N1 ist eine Vorladespannung,
die im nächsten Schritt verwendet wird.
Nachdem eine ausreichende Vorladespannung in Höhe von zumindest
der Leistungsversorgung Vcc am Gateknoten N1 gebildet wurde,
wird das Verstärkungs (boosting)-Aktivierungssignal ΦXE zum
Zeitpunkt t1 auf den logischen "high"-Zustand gebracht. Der
N-Kanaltransistor M4 wird dabei angeschaltet und der Transi
stor M5 wird ausgeschaltet. Dann wird der P-Kanal-Transistor
P2 angeschaltet und die Pumpspannung Vpp wird dem Steuerknoten
11 über den Kanal des P-Kanal-Transistors P2 zugeführt. Da die
Spannung des Steuerknotens 11 auf Höhe des Pumpspannungspegels
Vpp liegt, wird der P-Kanal-Transistor P3 ausgeschaltet und der
Transistor P4 angeschaltet. Die Versorgungsspannung Vcc, die
dem Sourceanschluß des P-Kanal-Tranistors P4 zugeführt wird,
wird zum Transferverstärkungsanschluß 12 über den Kanal des
P-Kanaltransistors P4 übertragen, und somit wird das Trans
ferverstärkungssignal ΦXDI von dem Pumpspannungspegel Vpp
auf den Versorgungsspannungspegel Vcc zum Zeitpunkt t2 ernie
drigt.
Wenn das Wortleitungstreibersignal ΦXI mit einem Spannungs
pegel von Vcc+VTN zum Zeitpunkt t3 aktiviert wird, nachdem
das Transferverstärkungssignal ΦXDI auf den Versorgungs
spannungspegel Vcc gebracht worden ist, wird die Gatespannung
des pull-up-Transistors M2, die auf die Vorladespannung in
Höhe des Versorgungspegels Vcc vorgeladen worden ist, selbst
verstärkt (self boosted) auf die Spannung Vcc+VTN, ausgehend
vom Versorgungsspannungspegel Vcc, wobei dies aufgrund der
Gate-Drain-Kapazität erfolgt. Das Wortleitungstreibersignal ΦXI
mit Spannungspegel Vcc+VTN wird zur Wortleitung WL über den
Kanal des pull-up-Transistors M2 übertragen. Die Wortleitung
WL weist eine Spannung von Vcc+VTN auf. Lese- und Schreibope
rationen werden dadurch erreicht, daß eine Speicherzelle mit
der Wortleitung WL, die auf die Spannung Vcc+VTN gebracht
worden ist, verbunden wird. Wenn das Wortleitungstreibersignal
ΦXI zum Zeitpunkt t4 nicht zur Verfügung gestellt wird, wird
die Spannung der Wortleitung WL auf das Massepotential Vss
mit logischem "low"-Pegel erniedrigt.
Wenn das Verstärkungsaktivierungssignal ΦXE auf logisch "low"
zum Zeitpunkt t5 gebracht wird, wird der P-Kanaltransistor P3
des Transferverstärkungsschaltkreises 10 angeschaltet und der
P-Kanaltransistor P4 ausgeschaltet. Das Transferverstärkungs
signal ΦXDI wird zum Zeitpunkt t6 erneut auf den Pumpspannungs
pegel Vpp mit der Spannung Vcc+VTN, ausgehend von der Versor
gungsspannung Vcc verstärkt (erhöht; boosted) und wird dem Ga
teanschluß des Transfertransistors M1 zugeführt. Da das Reihen
decodiersignal Xd noch immer logisch "high" ist, wird der Ga
teknoten N1 erneut auf die Versorgungsspannung Vcc vorgeladen.
Das Wortleitungstreibersignal ΦXI und die Wortleitung WL befin
den sich auf dem Substratspannungspegel Vss und es fließt kein
Strom durch den pull-up-Transistor M2. Das Reihendecodiersignal
Xd wird zum Zeitpunkt t7 auf logisch "low" gebracht, nachdem
der Gateknoten N1 erneut vorgeladen wurde.
Der Prozeß von Zeitpunkt t0 bis zum Zeitpunkt t7 beschreibt
das Treiben einer Wortleitung. Da der erfinderische Schalt
kreis vor dem Treiben der Wortleitung die Vorladespannung
am Gateknoten N1 des pull-up-Transistors M2 auf einen höheren
Pegel als den Vcc-VTN-Pegel bringen kann, wird eine erwünschte
Gatespannung während der Selbstverstärkung (self boosting) für
das Treiben der Wortleitung schnell geladen.
Fig. 4 zeigt eine graphische Repräsentation einer Wortleitung
PWL gemäß der vorliegenden Erfindung im Vergleich zu einer her
kömmlichen Wortleitung CWL, wobei die Darstellung durch eine
Computersimulation erhalten wurde. Die Simulationsbedingungen
betrugen für die Versorgungsspannung Vcc etwa 1,8 V, um eine
Halbleiterspeichereinrichtung zu simulieren, die eine geringe
Spannung benötigt. Die Temperatur wurde mit zu 83°C angenommen,
was etwa der Betriebstemperatur im Inneren einer Halbleiter
speichereinrichtung entspricht. Der Verlauf des eingezeichneten
Verstärkungsaktivierungssignals ΦXE wurde gewählt, um ein bes
seres Verständnis der Wortleitungstreiberoperation zu ermög
lichen. Wie in Fig. 4 gezeigt ist, benötigt die erfindungsge
mäße Wortleitung PWL eine um ΔT kürzere Zeit, um die Versor
gungsspannung Vcc von 1,8 V zu erreichen, als dies der Fall
sein würde, wenn eine herkömmliche Wortleitung CWL Verwen
dung finden würde. Um den Spannungspegel Vcc+VTN des Wortlei
tungstreibersignals ΦXI in der Halbleiterspeichereinrichtung
mit geringer Versorgungsspannung zu erreichen, weist die er
findungsgemäß Wortleitung PWL eine Spannungssignalform auf,
die fast identisch zu der des Wortleitungstreibersignals ΦXI
ist. Jedoch erreicht die herkömmliche Wortleitung CWL den
erwünschten Spannungspegel nicht, selbst wenn das Wortleitungs
treibersignal ΦXI mit Spannung Vcc+VTN zugeführt wird, da die
Wortleitung CWL gegenüber dem Wortleitungstreibersignal ΦXI
einen wesentlich sanfteren Anstieg aufweist.
Der Wortleitungstreiberschaltkreis gemäß der vorliegenden Er
findung verkürzt die Wortleitungstreiberzeit und erhöht die
Wortleitungstreibereffizienz in einer Halbleiterspeicherein
richtung mit geringer Versorgungsspannung. Daher wird der Zu
griff auf die Halbleiterspeichereinrichtung verbessert.
Der Transferverstärkungsschaltkreis 10 der Fig. 2 verwendet
eine Stromspiegelschaltkreisstruktur, um auf den Spannungs
zustand des Verstärkungsaktivierungssignals ΦXE zu antworten.
Der Übertragungsverstärkungsschaltkreis 10 kann auch eine ande
re Struktur mit gleicher Funktion aufweisen. Für den Fachmann
wird klar sein, daß der Transferverstärkungsanschluß I2 mit
bekannten Einrichtungen zur Stabilisierung der Spannung des
Transferverstärkungssignals ΦXDI kombiniert werden kann.
Claims (6)
1. Wortleitungstreiberschaltkreis zur Verwendung in einer
Halbleiterspeichereinrichtung zum Treiben einer Wortleitung,
die mit einer Speicherzelle verbunden ist, um eine Datenzu
griffsoperation für die Speicherzelle zu ermöglichen, wobei
der Wortleitungstreiberschaltkreis aufweist:
einen Feldeffekt-pull-up-Transistor mit isoliertem Gate, der zwischen der Wortleitung und einem Wortleitungstreibersignal mit vorgegebener Spannung verschaltet ist, wobei der pull-up- Transistor einen Gateknoten aufweist, der über einen Feldeffekttransfertransistor mit isoliertem Gate mit einem Rei hendecodiersignal verbunden ist; und
eine Einrichtung zum Bereitstellen eines Transferverstärkungssignals, das in Antwort auf ein vorgegebe nes Steuersignal erzeugt worden ist, an den Gateanschluß des Feldeffekttransfertransistors mit isoliertem Gate, um den Gate knoten auf eine Spannung vorzuladen, die zumindest vor und nach der Aktivierung des Wortleitungstreibersignals größer ist als die Versorgungsspannung.
einen Feldeffekt-pull-up-Transistor mit isoliertem Gate, der zwischen der Wortleitung und einem Wortleitungstreibersignal mit vorgegebener Spannung verschaltet ist, wobei der pull-up- Transistor einen Gateknoten aufweist, der über einen Feldeffekttransfertransistor mit isoliertem Gate mit einem Rei hendecodiersignal verbunden ist; und
eine Einrichtung zum Bereitstellen eines Transferverstärkungssignals, das in Antwort auf ein vorgegebe nes Steuersignal erzeugt worden ist, an den Gateanschluß des Feldeffekttransfertransistors mit isoliertem Gate, um den Gate knoten auf eine Spannung vorzuladen, die zumindest vor und nach der Aktivierung des Wortleitungstreibersignals größer ist als die Versorgungsspannung.
2. Wortleitungstreiberschaltkreis nach Anspruch 1, wobei das
vorgegebene Steuersignal ein Verstärkungsaktivierungssignal
(boosting activation signal) ist.
3. Wortleitungstreiberschaltkreis mit
einer Wortleitung, die mit einer Speicherzelle verbunden ist,
einem Feldeffekt-pull-up-Transistor mit isoliertem Gate, dessen Kanal zwischen der Wortleitung und einem Wortleitungstreiber signal verschaltet ist,
einem Feldeffekt-pull-down-Transistor mit isoliertem Gate, dessen Kanal zwischen der Wortleitung und dem Massepotential verschaltet ist,
einem Feldeffekttransfertransistor mit isoliertem Gate, dessen Kanal zwischen einem Reihendecodiersignal und dem Gateanschluß des pull-up-Transistors verschaltet ist und
einem Inverter zum Invertieren eines logischen Zustandes des Reihendecodiersignals, um den invertierten logischen Zustand dem Gateanschluß des pull-down-Transistors zuzuführen, wobei der Wortleitungstreiberschaltkreis aufweist:
eine Einrichtung zum Bereitstellen eines Transferverstärkungs signals, welches in Antwort auf ein vorgegebenes Steuersignal erzeugt wurde, an den Gateanschluß des Transfertransistors, um den Gateanschluß des pull-up-Transistors auf eine Spannung vorzuladen, die zumindest vor und nach der Aktivierung des Wortleitungstreibersignals über der Versorgungsspannung liegt.
einer Wortleitung, die mit einer Speicherzelle verbunden ist,
einem Feldeffekt-pull-up-Transistor mit isoliertem Gate, dessen Kanal zwischen der Wortleitung und einem Wortleitungstreiber signal verschaltet ist,
einem Feldeffekt-pull-down-Transistor mit isoliertem Gate, dessen Kanal zwischen der Wortleitung und dem Massepotential verschaltet ist,
einem Feldeffekttransfertransistor mit isoliertem Gate, dessen Kanal zwischen einem Reihendecodiersignal und dem Gateanschluß des pull-up-Transistors verschaltet ist und
einem Inverter zum Invertieren eines logischen Zustandes des Reihendecodiersignals, um den invertierten logischen Zustand dem Gateanschluß des pull-down-Transistors zuzuführen, wobei der Wortleitungstreiberschaltkreis aufweist:
eine Einrichtung zum Bereitstellen eines Transferverstärkungs signals, welches in Antwort auf ein vorgegebenes Steuersignal erzeugt wurde, an den Gateanschluß des Transfertransistors, um den Gateanschluß des pull-up-Transistors auf eine Spannung vorzuladen, die zumindest vor und nach der Aktivierung des Wortleitungstreibersignals über der Versorgungsspannung liegt.
4. Wortleitungstreiberschaltkreis nach Anspruch 3, bei dem das
vorgegebene Steuersignal ein Verstärkungsaktivierungssignal
ist.
5. Wortleitungstreiberschaltkreis nach Anspruch 3, bei dem die
Spannung des Transferverstärkungssignals mindestens der Span
nung des Wortleitungstreibersignals entspricht.
6. Halbleiterspeichereinrichtung mit
einer Wortleitung, die mit einer Speicherzelle verbunden ist,
einem Feldeffekt-pull-up-Transistor mit isoliertem Gate, dessen Kanal zwischen der Wortleitung und einem Wortleitungstreiber signal verschaltet ist,
einem Feldeffekt-pull-down-Transistor mit isoliertem Gate, dessen Kanal zwischen der Wortleitung und einem Massepotential verschaltet ist,
einem Feldeffekttransfertransistor mit isoliertem Gate, dessen Kanal zwischen einem Reihendecodiersignal und dem Gateanschluß des pull-up-Transistors verschaltet ist, und
einem Inverter zum Invertieren eines logischen Zustandes des Reihendecodiersignals, um den invertierten logischen Zustand dem Gateanschluß des pull-down-Transistors zuzuführen, wobei die Halbleiterspeichereinrichtung aufweist:
eine erste und zweite pull-up-Einrichtung mit Sourceanschlüs sen, die gemeinsam mit einer Pumpspannung verbunden sind, wo bei die erste und zweite pull-up-Einrichtung kreuzgekoppelte Gate- und Drainanschlüsse aufweisen,
erste und zweite Stromquelleneinrichtungen, die zwischen der ersten und zweiten pull-up-Einrichtung und einer Substrat spannung verbunden sind, wobei die ersten und zweiten Strom quelleinrichtungen komplementär gemäß einem Verstärkungs aktivierungssignal betrieben werden,
einem Steuerknoten, der zwischen der zweiten pull-up-Ein richtung und der zweiten Stromquelleinrichtung verbunden ist; und
einer dritten und vierten pull-up-Einrichtung zum Bereit stellen einer Pumpspannung an den Gateanschluß des Transfer transistors, wobei die dritte und vierte pull-up-Einrichtung komplementär gemäß der Spannung an dem Steuerknoten arbeitet.
einer Wortleitung, die mit einer Speicherzelle verbunden ist,
einem Feldeffekt-pull-up-Transistor mit isoliertem Gate, dessen Kanal zwischen der Wortleitung und einem Wortleitungstreiber signal verschaltet ist,
einem Feldeffekt-pull-down-Transistor mit isoliertem Gate, dessen Kanal zwischen der Wortleitung und einem Massepotential verschaltet ist,
einem Feldeffekttransfertransistor mit isoliertem Gate, dessen Kanal zwischen einem Reihendecodiersignal und dem Gateanschluß des pull-up-Transistors verschaltet ist, und
einem Inverter zum Invertieren eines logischen Zustandes des Reihendecodiersignals, um den invertierten logischen Zustand dem Gateanschluß des pull-down-Transistors zuzuführen, wobei die Halbleiterspeichereinrichtung aufweist:
eine erste und zweite pull-up-Einrichtung mit Sourceanschlüs sen, die gemeinsam mit einer Pumpspannung verbunden sind, wo bei die erste und zweite pull-up-Einrichtung kreuzgekoppelte Gate- und Drainanschlüsse aufweisen,
erste und zweite Stromquelleneinrichtungen, die zwischen der ersten und zweiten pull-up-Einrichtung und einer Substrat spannung verbunden sind, wobei die ersten und zweiten Strom quelleinrichtungen komplementär gemäß einem Verstärkungs aktivierungssignal betrieben werden,
einem Steuerknoten, der zwischen der zweiten pull-up-Ein richtung und der zweiten Stromquelleinrichtung verbunden ist; und
einer dritten und vierten pull-up-Einrichtung zum Bereit stellen einer Pumpspannung an den Gateanschluß des Transfer transistors, wobei die dritte und vierte pull-up-Einrichtung komplementär gemäß der Spannung an dem Steuerknoten arbeitet.
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