DE3731861C2

DE3731861C2 -

Info

Publication number: DE3731861C2
Application number: DE3731861A
Authority: DE
Inventors: Kenta Hachiohji Tokio/Tokyo Jp Mikuriya; Akira Hino Tokio/Tokyo Jp Ohya; Minoru Nakagawara; Hideo Musashino Tokio/Tokyo Jp Hirukawa; Shoji Hino Tokio/Tokyo Jp Uehara
Original assignee: Yokogawa Electric Corp
Current assignee: Yokogawa Electric Corp
Priority date: 1986-12-18
Filing date: 1987-09-22
Publication date: 1992-06-11
Also published as: FR2608790A1; US4850695A; DE3731861A1; NL8702254A; GB2199137B; FR2608790B1; GB2199137A; JPS63153456A; GB8722238D0

Description

Die Erfindung betrifft eine Meßanordnung für optische Platten nach dem Oberbegriff des Patentanspruches 1.

Eine Meßanordnung der eingangs genannten Art ist aus J.D. Lenk, Complete quide to compact disc (CD) player trouble-shooting and repair, Englewood Cliffs, N.J., 1986, Seiten 2 bis 25, 37 bis 39, bekannt. Bei dieser bekannten Meßanordnung handelt es sich um einen CD-Spieler.

Die mechanischen Eigenschaften einer optischen Platte betreffen deren Form, wie Axialschlag oder Konzentrizität, und bedingen, wie wirksam Fokussier- und Spurnachführservosteuerungen arbeiten. Bezüglich des Fokussierservos ist die Dicke des Substrats für die Aberration von Bedeutung, während der Axialschlag und seine Hochfrequenzkomponenten, d. h. Beschleunigung, im Hinblick auf die Steuerbarkeit von Bedeutung ist. Für den Spurnachführservo sind Kippwinkel Konzentrizität und radiale Beschleunigung, d. h. Kreisform, wichtige Faktoren.

Fig. 1 veranschaulicht schematisch ein Beispiel für eine bisherige Meßanordnung für optische Platten, daß der Anmelderin aus der betrieblichen Praxis bekannt ist. Dieses Beispiel umfaßt eine optische Platte 1, einen Spindelmotor 2 zum Aufspannen der optischen Platte 1 und zum Drehen derselben mit einer konstanten Drehzahl sowie einen Meßkopf 3 mit Fokussier- und Spurnachführservomechanismen, um den Brennpunkt eines die Platte 1 bestrahlenden Laserstrahls der Leitrille der optischen Platte 1 nachzuführen, und einem Wegdetektor zur optischen Erfassung der Verschiebung bzw. des Wegs einer durch die Servomechanismen angetriebenen Fokussierlinse 31. Der Meßkopf 3 erzeugt ein dem Weg der Fokussierlinse 31 proportionales Ausgangsssignal. Ein Vorschubmechanismus 4 dient zum Verschieben des Meßkopfes 3 in Radialrichtung der Platte 1. Diese Meßanordnung weist grundsätzlich eine Funktion ähnlich derjenigen eines Wiedergabesystems auf. Dabei wird die Fokussierlinse 31 der Servosteuerung in Fokussierrichtung F und in Spurnachführrichtung T unterworfen, so daß die Position (im Wiedergabe- oder Abspielzustand) der Leitrille der optischen Platte 1 mit dem Laserstrahl bestrahlt werden kann. Wenn daher dabei die Verschiebungen der Fokussierlinse 31 in den beiden Richtungen F und T gemessen werden, können damit die Größen von Axialschlag und Konzentrizität oder Rundlauf der Platte 1 ermittelt werden. Anhand der Verschiebung in Fokussierrichtung ist es z. B. möglich, den Axialschlag, die Schlagbeschleunigung, die Neigung bzw. den Kippwinkel und die Trägerdicke zu messen. Anhand der Verschiebung in Spurnachführrichtung ist es weiterhin möglich, die Konzentrizität und die radiale Beschleunigung d. h. Unrundheit, zu messen. Für die Bestimmung dieser Verschiebungen der Fokussierlinse 31 wird ein Ansteuer- oder Treiberstrom eines Linsenstelltriebs zum Verschieben der Fokussierlinse 31 herangezogen, oder es wird ein Differentialtransformator oder ein Kapazitäts-Weggeber benutzt. Wenn die Verschiebung oder der Weg der Fokussierlinse 31 mittels des erwähnten Ansteuerstroms bestimmt wird, wird die Messung durch den Frequenzgang, die Hysterese und die Reibungskraft des Linsenstelltriebs beeinträchtigt, so daß die Verschiebung der Fokussierlinse 31 nicht genau bestimmt werden kann. Da der Differentialtransformator oder der Kapazitäts-Weggeber andererseits ein eine eindimensionale Verschiebung erfassender Detektor ist, müssen zwei getrennte Detektoren zur Bestimmung der Verschiebungen der Fokussierlinse 31 in Fokussier- Spurnachführrichtung F bzw. T eingesetzt werden. Da weiterhin Interferenz oder Störung zwischen den Servomechanismen für Fokussier- und Spurnachführrichtung F bzw. T auftritt, müssen die Aus gangssignale der einzelnen Detektoren zur Beseitigung dieser Einflüsse korrigiert werden.

Aus G. Bauwhuis et. al., Principles of Optical Disc Systems, Adam Hilger Ltd., Bristol 1985, S. 129-131, ist eine Meß anordnung für optische Platten bekannt, mit der die Form der Platte, nämlich ihre Verbiegung, geprüft wird.

Aus SPIE Vol. 329, Otical Disk Technology (1982), S. 33-39: "Performance measurements from digital optical disk systems", insbesondere S. 35 "Media testing", bekannt, die Ebenheit, also die Form, von optischen Platten anhand von mit dem Plattenspieler gewonnenen Parametern zu beurteilen.

Aus der DE 35 15 602 A1 ist eine Prüfeinrich richtung für optisch auslesbare plattenförmige Informa tionsträger bekannt.

Aus der bekannten DE 34 11 934 A1 ist eine Fehlerfeststellungs vorrichtung, bei der auf dem zu prüfenden ebenen Ge genstand ein Lichtstrich erzeugt wird, welcher über eine Zylinderoptik auf einem Photoempfänger abgebildet ist. Bei Verwendung eines lichtbeugende Eigenschaften aufweisenden Gegenstandes ist der Lichtstrich im wesent lichen senkrecht zu der die Lichtbeugung hervorrufen den Struktur angeordnet. Durch die Zylinderoptik wird außer der nullten Beugungsordnung wenigstens noch die erste Beugungsordnung des von dem Gegenstand aus gehenden Lichtes erfaßt. Mit der Fehlerfest stellungsvorrichtung werden Fehler von periodische Beugungsstrukturen aufweisenden Gegen ständen, also beispielsweise Bildplatten, Laserschallplatten und Computerspeicherplatten erkannt.

Die US 45 08 450 beschreibt ein System zum Prüfen von Defekten auf flachen Oberflächen eines Objektes, wie beispielsweise einer optischen Platte. Bei diesem System tastet ein Laserstrahl das Objekt spiralförmig ab. Es ist eine Fokussierservoeinheit vorhanden. Ein Sensor zum Erfassen einer Verschiebung der in dem Meßkopf vorhandenen Fokussierlinse ist bei die sem bekannten System nicht expliziert erwähnt.

Aus der US 45 02 134 ist ein Wiedergabe system für optische Platten mit Kippwinkelkompensation bekannt. Auf die Form der optischen Platten und der Erfassung von Formfehlern wird in dieser Druckschrift nicht eingegangen. Das Wiedergabe system weist Mittel zum Steuern der Lage des abtastenden Lichtflecks auf.

Aus der US 45 05 585 ist ein System zum Erfassen von Defekten auf optischen Oberflächen, z. B. von optischen Videoplatten, bekannt. Bei diesem System tastet ein Laserstrahl das Objekt spiralförmig ab. Es ist eine Fokussierservoeinheit vorhanden.

Aus der DE 32 19 503 C2 ist eine Vorrichtung zum selbsttätiigen Fokussieren auf in optischen Geräten zu betrachtende Objekte bekannt. Im Unterschied zur Erfindung werden nur zwei Detektoren verwendet. Eine Messung optischer Eigenschaften von optischen Platten wird mit dieser Vor richtung nicht vorgenommen.

In der Druckschrift "The Third International Conference on Manufacturing Engineering", 1986, Newcastle 4-6 August, 1986, S. 67-69, wird das optische System eines CD-Spielers benutzt, um Qualitätsprüfungen vorzunehmen.

Die DE-AS 27 24 121 beschreibt eine Vorrichtung zum Erfassen von Defekten in einer zur Informationsauf zeichnung dienenden Spiralrille, z. B. einer Bildplatte. Bei dieser Vorrichtung empfängt ein Sensor mit vier Feldern das von der optischen Platte reflektierte Licht. Ein Fokussier-Servomechanismus ist bei dieser bekannten Vorrichtung nicht vorgesehen.

Aus der DE-AS 27 24 120 ist ein Schreib gerät mit einer Defektnachweisvorrichtung bekannt, die die Oberfläche einer Aufzeichnungsplatte, welche Spiralrillen hoher Packungsdichte aufweist, ablastet.

Es ist Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen einen einfachen Aufbau aufweisende Meßanordnung für optische Platten zu schaffen, welche Verschiebungen der Fokus sierlinse in Fokussierrichtung und in Spurnachfüh rungsrichtung unabhängig vom Antrieb der Fokussier linse genau zu erfassen vermag.

Diese Aufgabe wird bei einer Meßanordnung nach dem Oberbegriff des Patentanspruches 1 erfindungsgemäß durch die in dessen kennzeichnendem Teil enthaltenen Merkmale gelöst.

Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich insbesondere aus den Patentansprüche 2 bis 6.

Es zeigt:

Fig. 1 eine schematische Darstellung eines Beispiels für eine bisherige Meßanordnung für optische Platten,

Im folgenden sind bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 2 eine schematische Darstellung einer Ausführungsform einer Meßanordnung für optische Platten,

Fig. 3 eine perspektivische Darstellung eines Ausführungsbeispiels eines Sensors bei der Anordnung nach Fig. 1,

Fig. 4 eine Darstellung des Einfallzustands eines Strahlflecks auf einem mehrfach geteilten Sensor bei der Anordnung nach Fig. 3,

Fig. 5 ein Blockschaltbild des Aufbaus einer anderen Ausgestaltung des Sensors nach Fig. 3,

Fig. 6 graphische Darstellungen der Änderungen in der Menge der am mehrfach geteilten Sensor bei der Anordnung nach Fig. 5 einfallenden Lichts,

Fig. 7 eine Darstellung der Anordnung eines Ausführungsbeispiels eines Axialschlag- und Konzentrizitätsmeßsystems,

Fig. 8 eine schematische Darstellung des Prinzips der Messung von Kippwinkel,

Fig. 9 und 10 graphische Darstellungen der geometrischen Form einer optischen Platte zur Erläuterung der Operation der Berechnung von Kippwinkel bei der Anordnung nach Fig. 8,

Fig. 11 eine Darstellung einer Anordnung für eine Korrekturmethode zum Korrigieren des Vertikalachsenfehlers eines Spindelmotors,

Fig. 12 graphische Darstellungen der Wirkungsweise der Korrekturmethode,

Fig. 13 eine Darstellung einer anderen Anordnung für eine Korrekturmethode zum Korrigieren des Vertikalachsenfehlers,

Fig. 14 eine Darstellung einer Anordnung zur Verdeutlichung des Prinzips der Messung einer Trägerdicke,

Fig. 15 bis 18 schematische bzw. graphische Darstellungen zur Verdeutlichung der Meßvorgänge bei der Anordnung nach Fig. 14,

Fig. 19 eine schematische Darstellung eines Schutzmechanismus für einen Vorschubmechanismus in einer Eichoperation und

Fig. 20 eine schematische Darstellung eines Begrenzermechanismus für einen verschiebbaren Abschnitt des Vorschubmechanismus.

Fig. 2 veranschaulicht schematisch eine Ausführungsform einer Meßanordnung für optische Platten. Dabei sind den Teilen von Fig. 1 entsprechende Teile mit denselben Bezugsziffern wie vorher bezeichnet. Ein Codierer 21 dient zur Erzeugung eines Ausgangsimpulses entsprechend dem Drehwinkel eines Spindelmotors 2. Ein Meßkopf 3 besteht aus einer Fokussierlinse 31, einer Laserstrahlquelle 32, einem Linsenstelltrieb 33, einem Strahlteiler 34, einer λ/4-Platte 35, einem Lichtempfangselement 36 und einem Wegdetektor 37 (s. Fig. 3). Mit diesem Meßkopf 3 wird der Fokussierzustand auf der optischen Platte 1 durch das Lichtempfangselement 36 erfaßt, um Rückkopplungssignale für die Fokussier- und Spurnachführservomechanismen zu liefern, wobei die Verschiebung der Fokussierlinse 31 durch den Wegdetektor 37 erfaßt wird, der daraufhin ein der Verschiebung der Fokussierlinse 31 proportionales Ausgangssignal erzeugt. Der Wegdetektor 37 ist von einem optischen Typ und dient zum Umwandeln des Wegs der Fokussierlinse 31 in Änderung der Lichtmenge. Eine Steuereinheit 5 dient zum Ansteuern des Linsenstelltriebs 33 nach Maßgabe des Ausgangssignals vom Lichtempfangselement 36 zwecks Betätigung der Fokussier- und Spurnachführservomechanismen, und sie steuert die Operationen des Spindelmotors 2 und des Vorschubmechanismus 4. Ein Analog/Digital- bzw. A/D-Wandler 6 bewirkt eine Analog/Digitalumwandlung des Ausgangssignals vom Meßkopf 3 mit einem Takt entsprechend dem Ausgangsimpuls vom Codierer 21. Ein Rechner 7 dient zum Führen der Steuereinheit 5 und zum Berechnen des Ausgangssignals vom A/D-Wandler 6 zwecks Bestimmung der Form der optischen Platte 1. Bei dieser Meßanordnung werden die Operationssequenzen der einzelnen Abschnitte nach Maßgabe von Befehlen vom Rechner 7 gewählt, wobei eine Vielfalt mechanischer Eigenschaften der optischen Platte 1, wie Axialschlag oder Konzentrizität, auf der Grundlage dieser Verschiebungen gemessen werden.

Fig. 3 veranschaulicht den Aufbau eines bei der Maßanordnung verwendeten Wegdetektors 37. In Fig. 3 sind den Teilen von Fig. 2 entsprechende Teile mit denselben Bezugsziffern wie vorher bezeichnet. Eine Abschirmplatte 371 mit einer rechteckigen Apertur bzw. Öffnung 372 ist an der Fokussierlinse 31 angebracht. Eine Lichtquelle 373 bestrahlt die Abschirmplatte 371 mit einem Parallelstrahl eines Durchmessers, der größer ist als der Erstreckungsbereich der Apertur 372. Ein mindestens vierfach geteilter Sensor 374 fängt einen durch die Apertur 372 der Abschirmplatte 371 hindurchtretenden Strahlfleck 375 zur Bestimmung seiner Lage ab. Der Sensor 374 mit mindestens vier Feldern ist dabei beispielhaft als ein in vier Felder unterteilter Sensor dargestellt. Die Abschirmplatte 371 ist in einer die beiden Verschiebungsrichtungen F und T der Fokussierlinse 31 enthaltenden Ebene angeordnet und wird mit der Verschiebung der Fokussierlinse 31 zweidimensional verschoben.

Wenn dabei die Fokussierlinse 31 durch die Fokussier- und Spurnachführservomechanismen in Fokussierrichtung F und Spurnachführrichtung T verschoben wird, wird die Abschirmplatte 371 ebenfalls in den Richtungen F und T verschoben, so daß sich die Einfallsposition des Strahlflecks 375 auf dem Sensor 374 mit mindestens vier Feldern entsprechend verschiebt.

Der Sensor 374 mit mindestens vier Feldern ist mit vier Lichtempfangsfeldern oder -quadranten a bis d für die Erzeugung von Ausgangssignalen Sa bis Sd versehen, welche der Lichtmenge des auf die einzelnen Quadranten auftreffenden Strahls proportional sind. Wenn der Strahlfleck 375 seine Einfallsposition entsprechend der Verschiebung der Abschirmplatte 371 ändert, ändern sich daher auch die Größen oder das Gleichgewicht zwischen den Größen dieser vier Ausgangssignale Sa bis Sd. Durch arithmetische Verarbeitung dieser Ausgangssignale Sa bis Sd können somit die Verschiebungen der Abschirmplatte 371 und mithin der Fokussierlinse 31 in den beiden Richtungen F und T gleichzeitig bestimmt werden.

Insbesondere läßt sich die Verschiebung Vf der Fokussierlinse 31 in Fokussierrichtung F durch folgende Gleichung ausdrücken:

Vf = Sa + Sb - Sc - Sd

Ebenso läßt sich die Verschiebung Vt in Spurnachführrichtung T durch folgende Gleichung ausdrücken:

Vt = Sa - Sb - Sc + Sd

Fig. 4 veranschaulicht den Einfallszustand des Strahlflecks 375 auf dem Sensor 374 mit mindestens vier Feldern. Da der auf den Sensor 374 mit mindestens vier Feldern auftreffende Strahlfleck, wie dargestellt, rechteckig ist, sind die Mengen des auf die Lichtempfangsfelder a bis d der einzelnen Quadranten auftreffenden Lichts des Strahlflecks 375 der Verschiebung der Abschirmplatte 371 proportional, so daß eine hohe Linearität erzielt werden kann. Der Grund für die rechteckige Ausbildung des Strahlflecks 375 (bzw. der Apertur 372) besteht darin, die Ansprechempfindlichkeiten in den Verschiebungsrichtungen F und T zu vergrößern oder zu vergleichmäßigen. Wenn die senkrecht zur Richtung T liegenden Seiten länger sind, kann die Ansprechempfindlichkeit auf Verschiebung in Richtung T verbessert werden. Dies bedeutet, daß die Ansprechempfindlichkeiten in den Richtungen F und T vergleichmäßigt werden können, wenn der Strahlfleck 375 bzw. die Apertur 372 eine quadratische Form besitzt.

Wenn die Abschirmplatte 371 an der Fokussierlinse 31 so befestigt ist, daß ihre Bewegungen durch den Sensor 374 mit mindestens vier Feldern erfaßbar sind, können die in zwei Richtungen erfolgenden Verschiebungen der Fokussierlinse 31 ohne weiteres in die zweidimensionalen Bewegungen der Abschirmfplatte 371 umgewandelt werden, so daß die Verschiebungen der Fokussierlinse 31, d. h. Konzentrizität und Axialschlag der optischen Platte 1, mittels eines einzigen Detektors (z. B. des Sensors 374 mit mindestens vier Feldern) genau gemessen werden können. Da weiterhin die Verschiebungen in Fokussierrichtung F und Spurnachführrichtung T gleichzeitig gemessen werden, können die Einflüsse aufgrund von Interferenzen oder Störungen zwischen den beiden Servomechanismen vermieden werden.

Gemäß der vorstehenden Beschreibung sind die einzelnen Seiten der Apertur 372 in der Abschirmplatte 371 sowie die Teilungsachsen der Lichtempfangsfelder a bis d des Sensors 374 mit mindestens vier Feldern parallel zu den Richtungen der Verschiebung F und T der Fokussierlinse 31 (bzw. der Abschirmplatte 371) angeordnet, wie dies am günstigsten ist. Falls diese Beziehungen aufgrund von Montage- oder Einbaufehlern der einzelnen Elemente gestört sind, so daß Fehler in den Messungen auftreten, können diese Fehler in einer Rechenschaltung korrigiert werden.

Fig. 5 veranschaulicht eine andere Ausführungsform des Wegdetektors gemäß Fig. 3. Mit der dargestellten Anordnung ist ein Wegdetektor realisiert, welcher die Gesamtsumme der Ausgangssignale von den einzelnen Lichtempfangsfeldern des Sensors mit mindestens vier Feldern erfaßt und die Emission der Lichtquelle so steuert, daß die Gesamtsumme stets konstant ist, um die Abnahme der Linearität aufgrund der Intensitätsverteilung des Lichts ohne jede Meßspannenänderung infolge von Alterung zu kompensieren. Die Anordnung nach Fig. 5 umfaßt einen Lichtquellen-Treiber 3731 zum Ansteuern der Lichtquelle 373, photoelektrische Wandler 376 zur Umwandlung der Lichtmengen von den einzelnen Lichtempfangsfeldern des Sensors 374 mit mindestens vier Feldern in elektrische Signale Sa und Sb, eine Meßeinheit 377 zur Verarbeitung der Ausgangssignale Sa und Sb von den photoelektrischen Wandlern 376 zwecks Erzeugung eines Ausgangssignals Sp entsprechend der Verschiebung der Abschirmplatte 371, eine Addierstufe 378 zur Bestimmung der Gesamtsumme aus den Ausgangssignalen Sa und Sb sowie einen Differenzverstärker 379 zum Vergleichen des Ausgangssignals Ss der Addierstufe 378 mit einem konstanten Schwellenwert Vs zwecks Rückkopplung eines Differenzsignals Sf zum Lichtquellen- Treiber 3731. Zur Vereinfachung der Erläuterung sei nebenbei angenommen, daß die Abschirmplatte 371 nur in der Richtung der einen Achse verschiebbar ist und der Sensor 374 mit mindestens vier Feldern ein zweigeteilter Sensor ist.

Bei diesem Wegdetektor 37 ändert sich das Gleichgewicht oder der Abgleich in der Menge des auf den Sensor 374 mit mindestens vier Feldern fallenden Lichts, wenn sich die Abschirmplatte 371 entsprechend der Verschiebung der Fokussierlinse 31 verschiebt. Dies bedingt eine Differenz zwischen den Ausgangssignalen Sa und Sb von den beiden photoelektrischen Wandlern 376. Da die Differenz zwischen den Ausgangssignalen Sa und Sb der Verschiebung der Abschirmplatte 371 proportional ist, ist das von der Meßeinheit 377 erhaltene Ausgangssignal Sp der Verschiebung der Abschirmplatte 371, d. h. der Fokussierlinse 31, proportional. Die Addierstufe 378 und der Differenzverstärker 379 bilden andererseits zusammen einen Rückkopplungskreis zur Bestimmung der Gesamtsumme aus den Ausgangssignalen Sa und Sb der betreffenden Lichtempfangsfelder des Sensors mit mindestens vier Feldern 374 zur Steuerung der Lichtemission von der Lichtquelle 373 in der Weise, daß die Gesamtsumme stets einer konstanten Größe entspricht. Falls das von der Lichtquelle 373 emittierte Licht eine solche Intensitätsverteilung aufweist, daß sich die auf den Mehrfeldsensor 374 auftreffende Lichtmenge entsprechend der Verschiebung der Abschirmplatte 371 ändert, wird daher die Lichtemission von der Lichtquelle 373 so gesteuert, daß die Menge des einfallenden oder auftreffenden Lichts konstant bleibt.

Im folgenden ist die Wirkungsweise des Rückkopplungskreises beschrieben. Fig. 6 veranschaulicht in graphischer Darstellung die Änderungen der Einfallslichtmenge am Sensor mit mindestens vier Feldern 374. Wenn zunächst die Intensitätsverteilung P des Lichts in Bewegungsrichtung x der Abschirmplatte 371 gleichmäßig ist (vgl. Fig. 6(a), sind die Einfallslichtmengen an den jeweiligen Lichtempfangsfeldern den Flächen S 1 und S 2 proportional, falls diese Flächen S 1 und S 2 diejenigen der auf die jeweiligen Lichtempfangsfelder des Sensors 374 mit mindestens vier Feldern auftreffenden Strahlflecke sind, so daß das von der Meßeinheit 377 erhaltene Ausgangssignal Sp der Verschiebung der Abschirmplatte 371 proportional ist.

Falls jedoch die Lichtverteilung P gemäß Fig. 6(b) nicht gleichmäßig ist, sind die Ausgangssignale (Sa, Sb) des Sensors 374 mit mindestens vier Feldern der unter der Kurve P dargestellten Fläche proportional, so daß ihre Differenz auch bei einer Verschiebung der Abschirmplatte 371 dieser Verschiebung nicht proportional ist und sich somit ein nichtlinearer Fehler entpsrechend einer Fläche S 3 ergibt.

Wenn daher die Rückkopplung so vorgenommen wird, daß die Gesamtsumme Ss aus den Ausgangssignalen Sa und Sb von den jeweiligen Lichtempfangsfeldern des Sensors 374 mit mindestens vier Feldern eine konstante Größe aufweist, ändert sich die Intensitätsverteilung P gemäß Fig. 6(c) unter Verkleinerung der Fläche S 3. Infolgedessen nähert sich das Ausgangssignal Sp der Meßeinheit 377 einer der Verschiebung der Abschirmplatte 371 proportionalen Größe an, so daß es unabhängig von der Intensitätsverteilung des Lichts weitgehend linear ist.

Wenn die Intensitätsverteilung P beispielsweise nach der unten stehenden Gleichung angenähert werden kann, läßt sich ihre Linearität in einem Verhältnis von etwa 43% verbessern:

P = - 0,1 x² + 1

Bei Durchführung dieser Rückkopplung kann außerdem die Emissionsmenge konstant gehalten werden, so daß sich keine Meßspanne ändert, auch wenn sich der Emissionswirkungsgrad aufgrund der Alterung der Lichtquelle 373 verringert.

Die einzelnen Meßpunkte sind im folgenden in Verbindung mit Grundprinzip und Wirkungsweise erläutert.

Der Axialschlag wird als Verschiebung oder Versatz der Fokussierlinse 31 in Fokussierrichtung gemessen, und er wird zweimal differenziert oder einer Fourier- Transformation unterworfen und auf der Frequenzachse zur Bestimmung der axialen Beschleunigung erweitert.

Die Neigung oder der Kippwinkel wird andererseits anhand der Axialschläge an vier Stellen um den Meßpunkt herum berechnet.

Die Konzentrizität oder der Rundlauf ist die Differenz zwischen der Mittellinie der Leitrille der optischen Platte 1 und dem Rotationszentrum des Spindelmotors 2, und sie bzw. er wird als Verschiebung oder Versatz der Fokussierlinse 31 in Spurnachführrichtung gemessen. Die Konzentrizität wird zweimal differenziert oder der Fourier-Transformation unterworfen und auf der Frequenzachse zur Bestimmung ihrer radialen Beschleunigung erweitert. Die Unrundheit wird andererseits als Differenz zwischen Innenkreis und Umkreis der gemessenen Konzentrizitätswerte bestimmt.

Fig. 7 veranschaulicht die Ausgestaltung eines Meßsystems für Axialschlag und Konzentrizität. Beim dargestellten System wird die Leitrille der optischen Platte 1 der Fokussier- und Spurnachführservosteuerung unterworfen, um Axialschlag und Konzentrizität zu messen. Die Messungen erfolgen sodann, während sich die optische Platte 1 mit einer niedrigeren Drehzahl als der Nenndrehzahl dreht. Gleichzeitig wird das Ausgangssignal vom A/D-Wandler 6 nach Maßgabe des Impulssignals einer Frequenz, die der Drehzahl proportional ist, zwischengespeichert, so daß die Daten, wenn ihre Analogsignalverarbeitung erforderlich ist, nach Maßgabe des Impulssignals der Frequenz, welche der Nenndrehzahl proportional ist, ausgelesen werden, bis sie der D/A-Umwandlung unterworfen werden.

Wenn die optische Platte 1 mit niedriger Drehzahl in Drehung versetzt wird, werden die normalen Servomechanismen für die Nachführung aktiviert, auch wenn die Eigenschaften (z. B. Schlag- oder Verzugbeschleunigung) der optischen Platte 1 für die Nachführung mittels der Servomechanismen zu schlecht sind, so daß die Eigenschaften bei dieser niedrigen Drehzahl gemessen werden können. Bei niedriger Drehzahl ist außerdem das Ausgangssignal vom Codierer 21 dem Drehwinkel der optischen Platte 1 proportional. Da die Entsprechung zwischen dem Ausgangssignal am Meßpunkt vom Codierer 21 und dem Meßausgangssignal unverändert ist, wird die Rechenverarbeitung der Meßdaten durch den Rechner 7 nicht gestört.

Die Anordnung nach Fig. 7 umfaßt einen Umschalter 22 zum Umschalten der Drehzahl des Spindelmotors 2, ein Schieberegister 81, einen Oszillator 82 zum Erzeugen eines Impuls- oder Pulssignals einer der Nenndrehzahl proportionalen Frequenz, einen zweiten Umschalter 83, einen Korrekturrechenblock 84, einen Digital/Analog- bzw. D/A-Wandler 85 und ein Analogmeßgerät, z. B. einen Spektalanalysator 86.

In einem Meßzustand wird zunächst das vom A/D-Wandler gelieferte Ausgangssignal, das mit einem Takt entsprechend dem Impulsausgangssignal vom Codierer 21 einer A/D-Umwandlung unterworfen worden ist, dem Rechner 7 eingegeben und in das Schieberegister 81 eingelesen, und zwar in Abhängigkeit vom Takt des Impulsausgangssignals des Codierers 21. Falls hierbei das dem Axialschlag (oder auch axialen Verzug) entsprechende Meßsignal analog verarbeitet werden soll, werden die im Schieberegister 81 gespeicherten Daten mit dem Takt des Ausgangsimpulssignals vom Oszillator 82 ausgelesen und dem Korrekturrechenblock 84 eingespeist. Letzterer korrigiert den Lagenfehler des Meßkopfes 3 in Axialrichtung, den Neigungs- oder Kippwinkelfehler des Aufspannkopfes für die optische Platte und die Verformung aufgrund der Drehungen der optischen Platte 1. Wenn sodann diese korrigierten Ausgangssignale nach ihrer D/A-Umwandlung dem Analogmeßgerät 86 eingegeben werden, kann das Meßsignal mit derselben Zeitachse wie dann, wenn sich die optische Platte 1 mit der Nenndrehzahl dreht, erhalten werden, so daß eine analoge Frequenzanalyse oder -auswertung durchgeführt werden kann.

Fig. 8 veranschaulicht schematisch das Prinzip der Neigungs- oder Kippwinkelmessung. Die Anordnung nach Fig. 8 enthält einen Speicher 711 zum Speichern eines Meßsignals VD entsprechend dem Axialschlag δ, das durch den Meßkopf 3 (d. h. den Wegdetektor 37) erhalten wird, sowie der Information über den Meßpunkt, welcher den anhand des Ausgangsimpulses vom Codierer 21 bestimmten Drehwinkel Φ und den Abstand des Meßkopfes 3 vom Rotationszentrum O der optischen Platte 1 betrifft. Eine Neigungs-Recheneinheit 712 dient zum Berechnen des Schlags oder Verzugs, d. h. der Neigung der optischen Platte 1, unter Heranziehung der im Speicher 711 abgespeicherten Meßinformation δ, Φ und r. Diese Funktionen sind, nebenbei bemerkt, im Rechner 7 enthalten.

Die Fig. 9 und 10 sind graphische Darstellungen der geometrischen Form der optischen Platte 1 zur Erläuterung der Operationen der Recheneinheit 712. Auf der optischen Platte 1 sei in Form eines Gitters ein Punkt P, (r_i, Φ_j) angenommen, dessen Ordinaten r₁, t₂, . . ., r_i-1, r_i und r_i+1 in Radialrichtung aufgetragen sind, während die Ordinaten Φ₁, Φ₂, . . ., Φ_j-1, Φ_j und Φ_j+1 in Drehrichtung aufgetragen sind.

In einer dem gitterartigen Punkt P (r_i, Φ_j) entsprechenden Weise wird der Axialschlag δ (r_i, Φ_j) entsprechend den Drehungen der optischen Platte 1 und der Bewegung des Meßkopfes 3 gemessen und zum Speicher 711 übermittelt. Sodann wird die Neigung R an jedem Punkt P (r_i, Φ_j) mittels der Neigung-Recheneinheit 712 bestimmt. Die Neigung R wird in Radialrichtung R_R und in Richtung des Drehwinkels R_Φ zerlegt und nach den folgenden Gleichungen bestimmt:

und

Weiterhin wird der Absolutwert |R| nach folgender Gleichung bestimmt:

Hierbei ist zu bemerken, daß die Neigung nicht unter unmittelbarer Heranziehung des Schlags δ (r_i, Φ_j), sondern durch Aufstellung einer Gleichung für eine gekrümmte Fläche bestimmt werden kann, welche den Punkten um den Punkt P (r_i, Φ_j) am besten angepaßt ist, so daß damit die Fehlereinflüsse in den Messungen verringert werden.

Für die Messung des Axialschlags oder dergl. auf oben beschriebene Weise muß der Vertikalachsenfehler des Spindelmotors 2, auf den die optische Platte 1 aufgespannt ist, korrigiert werden,

Fig. 11 veranschaulicht ein Ausführungsbeispiel für eine Korrekturmethode zum Korrigieren des vertikalen Achsenfehlers des Spindelmotors 2. Die Anordnung gemäß Fig. 11 umfaßt einen Pufferspeicher 91 zum Ausdrücken des vom Codierer 21 ausgegebenen Impulssignals in einem Zustand eines Sinuswellensignals, eine Fehlerlöscheinheit 92 zum Ausgeben eines Signals entsprechend dem vertikalen Achsenfehler der optischen Patte 1 nach Maßgabe des im Pufferspeicher 91 gespeicherten Drehwinkels Φ der optischen Platte 1 und einen Differenzverstärker 93 für eine Differenzbildung zwischen dem Ausgangssignal V 1 des Meßkopfes 3 und dem Ausgangssignal V 2 von der Fehlerlöscheinheit 92.

Fig. 12 veranschaulicht graphische Darstellungen zur Erläuterung der Operationen der Anordnung nach Fig. 11. Der Axialschlagfehler δ_ε (Φ) aufgrund des vertikalen Achsenfehlers R bestimmt sich nach folgender Gleichung:

In obiger Gleichung bedeuten: Φ = Drehwinkel (Grad) der optischen Platte 1, r = Abstand vom Meßkopf 3 zum Rotationszentrum, ρ = eine numerische Größe eines Werts von 57,296 (Grad/rad) zur Umwandlung des Gradwerts in einen Radiantenwert und Φ_ε = Phasenwinkel in der Differenz zwischen der Ausgangsposition des Codierers 21 und dem Winkel der Vertikalachse.

Sodann wird der Axialschlag δ_D(Φ) der optischen Platte 1 mit einem Fourier-Koeffizient unter Heranziehung des Winkels bezüglich des ersten Aufspannzustands ausgedrückt:

Hierauf wird das Ausgangssignal V 1 des Meßkopfes 3 nach der nachstehenden Gleichung mit dem Signal gemäß Fig. 12(a) ausgedrückt:

V 1 (Φ) = δ_D (Φ) + δ_ε (Φ) (6)

Als Ergebnis wird das in Fig. 12(b) dargestellte, durch die nachstehende Gleichung ausgedrückte Signal von der Fehlerlöscheinheit 92 ausgegeben:

Wenn durch den Differenzverstärker 93 die Differenz zwischen den Signalen nach Gleichungen (6) und (7) bestimmt wird, kann der axiale Schlag δ_D(Φ) der optischen Platte 1 auf die in Fig. 12(c) gezeigte Weise bestimmt werden. Dabei werden der für die Fehlerlöscheinheit 92 unverzichtbare Vertikalachsenfehler R und die Richtung Φ_ε am Drehtisch bzw. Plattenteller mittels einer Bezugsplatte, die eine Rotationsfläche eines ausgezeichneten Flachheitsgrads aufweist, gemessen.

Fig. 13 veranschaulicht ein anderes Ausführungsbeispiel einer Methode zum Korrigieren des vertikalen Achsenfehlers. Dabei ist der Ausgang der Fehlerlöscheinheit 92 mit einem in den Meßkopf 3 eingebauten Brennpunkteinsteller (d. h. dem Linsenstelltrieb 33) verbunden.

Da das dem vertikalen Achsenfehler δ_ε(Φ) entsprechende Signal in den Brennpunkteinsteller eingegeben wird, wird das Ausgangssignal des Meßkopfes 3 von den Einflüssen des vertikalen Achsenfehlers befreit.

Falls andererseits die Gesamtoberfläche der optischen Platte 1 abgetastet wird, kann der vertikalen Achsenfehler δ_ε*(Φ) in einem spezifischen Abstand R bestimmt werden, und das dem vertikalen Achsenfehler δ_ε*(Φ) · (r/R) entsprechende Signal im Verhältnis zum Abstand r des Meßkopfes 3 kann von der Fehlerlöscheinheit 92 ausgegeben werden.

Die Trägerdicke wird anhand der Differenz der Verschiebungsausgangssignale gemessen, wenn die Oberfläche und die Rückseite (d. h. Aufzeichnungsfläche) der optischen Platte 1 sequentiell der Fokussierservosteuerung unterworfen werden. Hierbei wird zum optischen System der Fokussierservosteuerung ein Fokusfehlerdetektorsystem für die Oberfläche hinzugefügt, so daß die Messungen innerhalb des Bewegungsbereichs von ±1 mm der Fokussierlinse 31 zuverlässig sein können.

Fig. 14 veranschaulicht schematisch ein Ausführungsbeispiel für das Meßprinzip zum Messen der Trägerdicke. Die Anordnung gemäß Fig. 14 umfaßt einen halbdurchlässigen Spiegel oder Halbspiegel 341, einen aus dem vorher erwähnten Lichtempfangselement 36 oder dergl. gebildeten ersten Fokussierzustandsdetektor 361, einen zweiten Fokussierzustandsdetektor 362 und einen Umschalter 363 zum selektiven Übertragen der Ausgangssignale von erstem und zweitem Detektor 361 bzw. 362 zur Steuereinheit 5 (d. h. zum Servoverstärker). Der erste Fokussierzustandsdetektor 361 ist so ausgebildet, daß er ein Ausgangssignal "0" liefert, wenn der Strahl auf der Aufzeichnungsfläche der optischen Platte 1 fokussiert ist. Der zweite Fokussierzustandsdetektor 362 ist andererseits so ausgelegt, daß er nur für den von der transparenten Fläche der Platte kommenden refeflektierten Strahl empfindlich ist, wenn die benutzte optische Platte 1₀ eine bekannte Reflexionskraft n₀ und Dicke t₀ besitzt und der Strahl auf ihrer Aufzeichnungsfläche fokussiert ist, und ansonsten ein Null-Ausgangssignal liefert. Die Ansprechempfindlichkeitseigenschaften von erstem und zweitem Detektor 361 bzw. 362 in diesem Fall sind in Fig. 16 dargestellt. Am Brennpunkt bzw. in der Fokussierposition P 1, in welcher auf die Aufzeichnungsfläche fokussiert ist, liefern die beiden Detektoren 361 und 362 insbesondere Null-Ausgangssignale, so daß der Fokussierfehler um diese Fokussierposition P 1 herum eingeführt wird.

Das beschriebene System für Trägerdickenmessung arbeitet auf die nachstehend erläuterte Weise, wenn die zu messende optische Platte 1 eine Reflexionskraft n und eine Dicke t aufweist. Zunächst werden der Umschalter 363 auf den ersten Fokussierzustandsdetektor 361 umgeschaltet und der Strahl auf die Aufzeichnungsfläche der optischen Platte 1 fokussiert (vgl. Fig. 17), und zwar unter Heranziehung des Ausgangssignals vom ersten Detektor 361. Falls hierbei die Reflexionskraft n und Dicke t der optischen Platte 1 von der Reflexionskraft n₀ und Dicke t₀ der vorher erwähnten optischen Platte 1₀ verschieden sind, beträgt das Ausgangssignal des zweiten Fokussierzustandsdetektors 362 nicht Null, auch wenn das Ausgangssignal (d. h. der Fokussierfehler) des ersten Fokussierzustandsdetektors 361 Null ist. Dieses Verhalten ist in Fig. 18 veranschaulicht. In den Fig. 17 und 18 steht der Punkt P 1 für einen Punkt, an welchem auf den Aufzeichnungsfilm bzw. die Aufzeichnungsfläche fokussiert ist.

Anschließend wird der Umschalter 363 auf den zweiten Detektor 362 umgeschaltet, so daß die Stellung der Fokussierlinse 31 verschoben wird, um das Ausgangssignal des zweiten Detektors 362 zu Null zu reduzieren. Die Stellung oder Position (d. h. Fokussierposition), in welcher der zweite Detektor 362 das Null- Ausgangssignal liefert, ist mit P 2 bezeichnet.

Wenn dabei die Verschiebung der Fokussierlinse 31 mit x bezeichnet wird, kann die Dicke t der optischen Platte 1 nach folgender Gleichung bestimmt werden:

t = (t₀/n₀ + x) n = t₀ n/n₀ + x · n

Hierbei ist für n ≒ n₀ und t ≒ t₀ die Verschiebung x zu diesem Zeitpunkt wesentlich kleiner als die Dicke t der optischen Platte 1, so daß deren Dicke t mit einem kleinen Hub der Fokussierlinse 31 und mittels des Wegdetektors 37 gemessen werden kann. Da der erforderliche Hub klein ist, können der Stelltrieb für die Fokussierlinse 31 und der Wegdetektor 37 in der Nähe des Neutralpunkts eingesetzt werden, an welchem die beste Steuerbarkeit gegeben ist.

Bei der erfindungsgemäßen Meßanordnung für optische Platten wird somit die Verschiebung derFokussierlinse 31 des Meßkopfes 3 mittels des Wegdetektors 37 des optischen Typs unmittelbar gemessen. Infolgedessen kann mit einfachem Aufbau eine Meßanordnung realisiert werden, welche die Verschiebungen der Fokussierlinse 31 in Fokussier- und Spurnachführrichtung genau zu erfassen oder bestimmen vermag, um damit die mechanischen Eigenschaften der optischen Platte genau messen zu können.

Im folgenden ist ein Schutzsystem für die erfindungsgemäße Meßanordnung für optische Platten beschrieben.

Fig. 19 veranschaulicht schematisch ein Ausführungsbeispiel eines Schutzmechanismus zur Verhinderung eines Bruchs eines Eichelements aufgrund von Fehlern oder Fehlbetätigungen des Vorschubmechanismus oder dergl., wenn der Wegdetektor 37 geeicht werden soll. In Fig. 19 ist ein Eichelement 10 dargestellt, das zum Eichen des Wegdetektors 37 auf den Vorschubmechanismus 4 aufgesetzt ist. Das Eichelement 10 umfaßt ein Scheibenelement, das beispielsweise am Meßkopf 3 positionierbar ist, um den Wegdetektor 37 durch zweckmäßige Aufwärts- und Abwärtsbewegung des Scheibenelements und durch Messung der Verschiebung desselben dabei mittels einer Skala oder eines Meßstabs zu eichen. Die Anordnung umfaßt ferner einen Antriebsmotor 41 für den Vorschubmechanismus 4, einen Ansteuer- oder Treiberkreis 42 zur Ansteuerung des Antriebsmotors 41 nach Maßgabe des Befehls von der Steuereinheit 5 oder dergl., einen Detektor 43 mit einem Mikro- oder Näherungsschalter zur Feststellung, daß das Eichelement 10 auf den Vorschubmechanismus aufgesetzt ist, und einen in einen Abschnitt des Treiberkreises 42 eingeschalteten Schalter 44 zum Unterbrechen bzw. Abschalten des Treiberkreises 42 in Abhängigkeit vom Meßausgangssignal des Detektors 43. Der Schalter 44 kann außerdem auch das Kontaktausgangssignal des Detektors 43 benutzen. Außerdem ist der Schalter 44 nicht auf die Einschaltung an der Eingangsseite des Treiberkreises 42 beschränkt, vielmehr kann er auch in der Stromleitung des Antriebsmotors 41 liegen.

Beim beschriebenen Schutzmechanismus ist der Schalter 44 stets offen, so daß der Treiberkreis 42 unterbrochen bzw. abgeschaltet ist, während das Eichelement 10 auf den Vorschubmechanismus 4 aufgesetzt ist. Auch wenn ein Ansteuerbefehl für den Vorschubmechanismus z. B. aufgrund von Störungen oder Fehlern im System erzeugt wird, wird der Antriebsmotor 41 nicht mit dem Ansteuerstromsignal beaufschlagt, so daß Fehler des Vorschubmechanismus 4 verhindert werden können. Infolgedessen kann verhindert werden, daß das Eichelement 10 aufgrund von Fehlbetätigungen des Vorschubmechanismus gegen den Spindelmotor 2 oder dergl. anstößt, so daß damit das Eichelement 10 stets zuverlässig vor Beschädigung geschützt ist.

Fig. 20 veranschaulicht ein Ausführungsbeispiel für einen Begrenzermechanismus zum Begrenzen des Bewegungsbereichs des Gleitstücks oder Schlittens desVorschubmechanismus 4, so daß der von letzterem getragene Meßkopf 3 oder dergl. vor einem Anstoßen am benachbarten Spindelmotor 2 und damit vor einem Bruch geschützt ist. In Fig. 20 stehen die Ziffern 45 und 46 für einen feststehenden Abschnitt bzw. einen verschiebbaren oder Gleitabschnitt. Der Meßkopf 3 oder dergl. wird vom verschiebbaren Abschnitt 46 so getragen, daß sich bei dessen Verschiebung die Bestrahlungs- oder Meßposition des Laserstrahls in Radialrichtung der optischen Platte 1 verschiebt. Bei 47 und 48 sind weiterhin aus Mikroschaltern oder Näherungsschaltern bestehende Detektoren zum Erfassen des Durchlaufs des Endes 461 des verschiebbaren Abschnitts 46 angedeutet.

Bei dem beschriebenen Begrenzermechanismus wird die Bewegungsgeschwindigkeit des verschiebbaren Abschnitts 46 nach Maßgabe des Ausgangssignals vom Detektor 47 verlangsamt, um schließlich den verschiebbaren Abschnitt 46 anzuhalten. Dies ermöglicht eine Erhöhung der Bewegungsgeschwindigkeit des verschiebbaren Abschnitts 46 bis zum Erreichen der End- oder Grenzstellung und das zuverlässige Anhalten dieses Abschnitts mit nur geringem Überlauf. Auf diese Weise kann der vom verschiebbaren Abschnitt 46 getragene Meßkopf 3 zuverlässig vor Beschädigung geschützt sein.

Aufgrund des aufgezeigten Aufbaus der erfindungsgemäßen Meßanordnung wird mit einer einfachen Konstruktion eine Meßanordnung für optische Platten realisiert, welche Verschiebungen der Fokussierlinse in Fokussier- und Spurnachführrichtung genau festzustellen vermag, so daß auf diese Weise die mechanischen Eigenschaften der optischen Platte genau gemessen werden können.

Claims

1. Meßanordnung für optische Platten, mit:

- einem Plattenteller und einem Motor (2) zum Drehen einer optischen Platte (1),
- einem Codierer (21) zum Erzeugen eines Ausgangs impulses entsprechend dem Drehwinkel des Spindel motors (2),
- einem Meßkopf (3) mit Fokussier- und Spurnachführ servomechanismen, der einen Sensor (374) mit min destens vier Feldern (a, b, c, d) umfaßt, um den Brennpunkt eines von einem Laser (32) ausgesand ten und die optische Platte (1) bestrahlenden La serstrahls einer Leitnut dieser Platte (1) nach zuführen,
- einem Vorschubmechanismus (4) zum Bewegen des Meßkopfes (3) in Radialrichtung der optischen Platte,
- einer Steuereinheit (5) zum Steuern der Opera tionen des Spindelmotors (2), der Fokussier- und Spurnachführservomechanismen des Meßkopfes (3) sowie des Vorschubmechanismus (4),

dadurch gekennzeichnet, daß

- ein Analog/Digital-(A/D-)Wandler (6) eine Analog/Digitalumwandlung des Ausgangssignals vom Meßkopf (3) mit einem Takt nach Maßgabe des Aus gangsimpulses vom Codierer (21) durchführt und der Rechner das Ausgangssignal des A/D-Wandlers (6) berechnet, und
- einem Rechner (7) zum Führen der Steuereinheit (5),
- ein Spindelmotor (2) die optische Platte (1) mit konstanter Drehzahl dreht,
- der Meßkopf (3) eine mit einer rechteckigen Aper tur (372) versehene Abschirmplatte (371) aufweist, die in einer die Fokussier- und Spurnachführrich tungen der Fokussierlinse (31) enthaltenden Ebene angeordnet und relativ zur Fokussierlinse (31) fixiert ist, wobei der Laser (32, 373) die Abschirmplatte (371) mit einem Parallelstrahl eines Durchmes sers, der größer ist als der Erstreckungsbereich der Apertur (372), bestrahlt, und der Sensor (374) mit den mindestens vier Feldern das die Apertur (372) der Abschirmplatte (371) passierende Licht erfaßt, so daß damit die Verschiebung der Fokus sierlinse (31) auf der Grundlage der Ausgangs signale des Sensors (374) mit den mindestens vier Feldern (a, b, c, d) bestimmt und daraus die Form der optischen Platte ermittelt wird.

2. Meßanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich net, daß mittels eines Rückkopplungskreises des Sensors (374) mit den mindestens vier Feldern die Lichtstärke des Lasers (373) so gesteuert wird, daß die Summe aus den von den mindestens vier Feldern (374a, 374b, 374c, 374d) stammenden Ausgangssignalen konstant bleibt.

3. Meßanordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn zeichnet, daß die Steuereinheit (5) eine Einrich tung zum Antreiben des Spindelmotors (2) mit einer niedrigeren Drehzahl als der Nenndrehzahl auf weist.

4. Meßanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, da durch gekennzeichnet, daß der Rechner (7) einen Speicher (711) zum Speichern des Ausgangssignals des Meß kopfes (3), das einem Axialschlag der opti schen Platte (1) entspricht, zusammen mit Daten für den Punkt der Messung aufweist, so daß der Kippwinkel anhand des Axial schlags der optischen Platte (1) berechnet wird.

5. Meßanordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, da durch gekennzeichnet, daß die Steuereinheit (5) eine Fehlerlöscheinheit (92) zum Erzeugen eines Signals, das jenem Fehler der vertikalen Achse des Spin delmotors (2) entspricht, der im voraus anhand einer Bezugs platte gemessen worden ist, nach Maßgabe des Aus gangsimpulses des Codierers (21) aufweist, so daß das Ausgangssignal des Meßkopfs (3) nach Maßgabe des Aus gangssignals der Fehlerlöscheinheit korrigiert wird.

6. Meßanordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeich net,

- daß der Meßkopf folgendes umfaßt:
- - einen ersten Fokussierzustandsdetektor (361) zum Bestimmen, ob ein Strahl auf die Aufzeich nungsfläche der optischen Platte (1) fokussiert ist,
- - einen Strahlteiler (341), der vor dem ersten Fokussierzustandsdetektor angeordnet ist und einen Teilstrahl auf einen zweiten Fokussier zustandsdetektor (362) reflektiert, und
- - einem Umschalter (363) zum selektiven Rückkop peln der Ausgangssignale von erstem und zweitem Fokussierzustandsdetektor zur Steuereinheit (5), wenn eine Plattendicke gemessen wird, und
- daß der zweite Fokussierzustandsdetektor (362) nur auf den reflektierten Strahl anspricht, der von der Oberfläche der transparenten Seite einer opti schen Platte (10) von bekanntem Reflexionsvermögen und Dicke stammt, um ein Null-Ausgangssignal zu lie fern, wenn ein Strahl auf die Aufzeichnungsfläche der optischen Platte (10) von bekanntem Reflexionsvermögen und Dicke fokussiert ist.