JP4923210B2 - 表面検査装置 - Google Patents
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Description
5 検出ユニット(検出手段)
11 LD(光源)
12A PD(第1の光電変換手段)
12B PD(第2の光電変換手段)
13 投光ファイバ
14 受光ファイバ
14A 第1受光ファイバ群(第1の受光ファイバ群)
14B 第2受光ファイバ群(第2の受光ファイバ群)
16 検査ヘッド
30 直線駆動機構(直線駆動手段)
40 回転駆動機構(回転駆動手段)
100 被検査物
100a 内周面(表面)
601 合成処理部(合成処理手段)
602 演算則設定部(演算則設定手段)
AX 軸線
Ps1 第1の信号
Ps2 第2の信号
Claims (4)
- 鋳造品で表面が切削加工された被検査物の前記表面に、光源から投光ファイバを介して検査光を照射し、その検査光の反射光の強度を検出する検出手段を有し、前記検出手段の検出結果に基づいて前記被検査物の表面を検査する表面検査装置において、
前記検出手段は、前記投光ファイバの周囲に配置されて前記反射光を導くことができる複数の受光ファイバからなる第1の受光ファイバ群と、前記投光ファイバから見て前記第1の受光ファイバ群よりも外側に配置されて前記反射光を導くことができる複数の受光ファイバからなる第2の受光ファイバ群と、前記第1の受光ファイバ群にて導かれた反射光の強度に対応した信号を出力する第1の光電変換手段と、前記第2の受光ファイバ群にて導かれた反射光の強度に対応した信号を出力する第2の光電変換手段と、を備え、
前記第1の光電変換手段から出力された第1の信号と前記第2の光電変換手段から出力された第2の信号とを所定の演算則に基づいて組み合わせる合成処理手段と、
前記被検査物の表面からの反射光の角度変化に関する前記検出手段の感度が、前記切削加工にて前記表面に形成された窪みからの反射光の角度変化幅に対応する範囲内の角度変化に対して略平坦な感度特性となるように、前記第2の信号に所定値を乗じたものを前記第1の信号に加算する演算則を前記所定の演算則として設定する演算則設定手段と、
を備えることを特徴とする表面検査装置。 - 光源から投光ファイバを介して被検査物の表面に検査光を照射し、その検査光の反射光の強度を検出する検出手段を有し、前記検出手段の検出結果に基づいて前記被検査物の表面を検査する表面検査装置において、
前記検出手段は、前記投光ファイバの周囲に配置されて前記反射光を導くことができる複数の受光ファイバからなる第1の受光ファイバ群と、前記投光ファイバから見て前記第1の受光ファイバ群よりも外側に配置されて前記反射光を導くことができる複数の受光ファイバからなる第2の受光ファイバ群と、前記第1の受光ファイバ群にて導かれた反射光の強度に対応した信号を出力する第1の光電変換手段と、前記第2の受光ファイバ群にて導かれた反射光の強度に対応した信号を出力する第2の光電変換手段と、を備え、
前記第1の光電変換手段から出力された第1の信号と前記第2の光電変換手段から出力された第2の信号とを所定の演算則に基づいて組み合わせる合成処理手段と、
前記被検査物の反射位置までの距離変化に関する前記検出手段の感度が所定の距離だけ反射位置が近くなった場合に負のピークを持つ感度特性となるように、前記所定の演算則を設定する演算則設定手段と、
を備えることを特徴とする表面検査装置。 - 前記演算則設定手段は、前記所定の演算則として、前記第1の信号から前記第2の信号を減算する演算則を設定することを特徴とする請求項2に記載の表面検査装置。
- 前記被検査物の前記表面として円筒状の内周面が設けられ、
前記検出手段は、軸状に延びる検査ヘッドの外周から前記円筒体の内周面に向かって検査光を照射するとともに、前記検査ヘッドを軸線方向に移動させる直線駆動手段と、前記検査ヘッドをその軸線の回りに回転させる回転駆動手段とを更に備えることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の表面検査装置。
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CN2007800172294A CN101443652B (zh) | 2006-05-16 | 2007-05-11 | 表面检查装置 |
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- 2006-05-23 JP JP2006143420A patent/JP4923210B2/ja active Active
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