DE3644854C2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft einen Werkstückhalter gemäß den Oberbegriffen der Patentansprüche 1 und 2.

Derartige Werkstückhalter sind beispielsweise aus dem DE-GM 17 92 521 bekannt, wobei sich die Werkstücke, z. B. Halbleiter-Wafer oder Träger von Speicherdisketten für Computer leicht in die Werkstückaufnahmeöffnungen der Werkstückhalter einsetzen und aus diesen heraus­ nehmen lassen. Da die Werkstücke in den Werkstückhaltern jedoch nicht gegen Verdrehen gesichert sind, ist es nicht möglich, bei der Bearbeitung ein bestimmtes Schleif­ muster zu erzeugen, welches das Aussehen der Werkstücke verbessern und damit ihren Verkaufswert erhöhen würde.

Aufgabe der Erfindung ist es daher, einen Werkstückhalter anzugeben, in dem sich die Werkstücke während der Bearbei­ tung nicht verdrehen können.

Zur Lösung dieser Aufgabe dienen die kennzeichnenden Merkmale der Patentansprüche 1 bzw. 2, wobei jedoch im Falle der Lösung nach Anspruch 2 die verwendete Läpp­ maschine mindestens eine am Außenumfang des Werkstück­ halters angreifende Bremseinrichtung aufweisen muß, die der Rotationsbewegung des Werkstückhalters um seine eigene Achse entgegenwirkt und dadurch den geschlitzten Werkstückhalter zusammendrückt und die Werkstücke in den Werkstückaufnahmeöffnungen festklemmt.

Aus der US-PS 26 18 911 ist es zwar schon bekannt, einen Werkstückhalter so auszubilden, daß sich die einge­ setzten Werkstücke nicht verdrehen können, doch handelt es sich dabei um eine Lösung, bei der ein Mitnehmerzapfen in die Werkstückaufnahmeöffnung hereinragt und mit einer Ausnehmung in der Umfangsfläche der Werkstücke zusammen­ wirkt.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand der in den Zeichnun­ gen dargestellten Ausführungsbeispiele weiter erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 die Draufsicht auf einen Werkstückhalter in einer ersten Ausführung,

Fig. 2 eine Darstellung des in eine Flachläppmaschine eingesetzten Werkstückhalters aus Fig. 1,

Fig. 3 die Draufsicht auf einen Werkstückhalter in einer zweiten Ausführung,

Fig. 4 eine Darstellung des in eine Flachläppmaschine eingesetzten Werkstückhalters aus Fig. 3 und

Fig. 5 die Draufsicht auf einen Werkstückhalter in einer dritten Ausführung.

Die Fig. 1 und 2 zeigen einen Werkstückhalter 19 zum Halten eines Werkstücks 15, das in eine Werkstückauf­ nahmeöffnung 20 eingesetzt ist.

Gemäß Fig. 1 und 2 weist der Werkstückhalter 19 an seinem Außenumfang eine Verzahnung 19 b sowie in exzen­ trischer Anordnung die Werkstückaufnahmeöffnung 20 zur Halterung des Werkstücks 15 auf. Die Öffnung 20 besitzt zum Festhalten des Werkstücks 15 zwei im wesentlichen geradlinige, in der Draufsicht des Werkstückhalters 19 unparallele Wandabschnitte 20 a, zwischen denen sich das Werkstück 15 durch die bei der Bearbeitung auftreten­ den Kräfte einklemmt und damit an einer Drehbewegung gegenüber dem Werkstückhalter 19 gehindert wird.

Fig. 3 zeigt einen weiteren erfindungsgemäßen Werkstück­ halter 22, der an seinem Außenumfang ebenfalls eine Verzahnung 22 b sowie eine exzentrisch angeordnete Werk­ stückaufnahmeöffnung 23 zur Halterung der Werkstücke 15 aufweist. Auf der einen Seite des Werkstückhalters 22 ist ein querverlaufender Schlitz 24 ausgebildet, der die Außenumfangsfläche des Werkstückhalters 22 mit der Öffnung 23 verbindet. Dabei ist in den Schlitz 24 eine aus einer Schwalbenschwanznut 25 und einer Schwalben­ schwanznase 26 gebildete Spreizsicherung eingebaut. Die Schwalbenschwanznut 25 hat dazu etwas größere Abmes­ sungen als die Schwalbenschwanznase 26, damit der Werk­ stückhalter 22 innerhalb eines Bereiches elastisch verform­ bar ist, innerhalb dessen die Schwalbenschwanznase 26 in der Schwalbenschwanznut 25 verschiebbar ist. Bei elastischer Verformung des Werkstückhalters 22 wird die Öffnung 23 zur Halterung der Werkstücke 15 vergrößert oder verkleinert, um das darin befindliche Werkstück 15 zu lösen oder festzuhalten. Ferner ist in dem Werkstück­ halter 22 ein kreisförmiger Schlitz 27 an einer radial dem Schlitz 24 gegenüberliegenden Stelle angeordnet, damit ein Zerbrechen des Werkstückhalters 22 verhindert wird, was aufgrund der elastischen Verformung durch Konzentration der Kräfte an dieser Stelle hervorgerufen werden könnte, und der Werkstückhalter 22 leichter ela­ stisch verformbar ist.

Der Läppvorgang unter Verwendung des Werkstückhalters 22 wird im folgenden beschrieben:

Gemäß Fig. 4 sind sämtliche Werkstückhalter 22 so durch Zahnrad-Halterungsvorrichtungen 10 gehaltert, daß sie in derselben Richtung geführt werden. In Richtung des Pfeils a wird nun das zentrale Zahnrad 4 gedreht, um zunächst die Werkstücke 15, welche in die Werkstück­ halter 22 eingelegt sind, in üblicher Weise ohne Klemmung zu läppen. Während dieses Läppens wird ein Auseinander­ biegen der Werkstückhalter 22 aufgrund des Eingriffs der Schwalbenschwanznase 26 in der Schwalbenschwanznut 25 verhindert, so daß sich die Werkstückhalter 22 nur geringfügig ausdehnen können, was jedoch den normalen Läppvorgang nicht beeinflußt.

Sollen die Werkstücke 15 in den Haltern 22 zur Erzeugung eines Schleifmusters dagegen festgeklemmt werden, wird das zentrale Zahnrad 4 in entgegengesetzter Richtung entsprechend dem Pfeil b gedreht und gleichzeitig min­ destens eines der kleinen Führungszahnräder 12 und 13 abgebremst. Dadurch werden die Werkstückhalter 22 einer elastischen Verformung unterworfen, indem sich der Schlitz 24 verengt, so daß die Werkstücke 15 durch Verengung der diese halternden Öffnung 23 arretiert werden.

Wird das Werkstück 15 in dieser Weise festgehalten, kann im übrigen nicht nur ein Schleifmuster auf dessen Oberfläche beim Läppen aufgebracht sondern vorteilhafter­ weise auch verhindert werden, daß nach dem Läppen das Werkstück 15 an der oberen Läppscheibe "kleben" bleibt, was den Werkstückwechsel behindern würde.

Das Werkstück 15 kann aus der Halterung gelöst werden, indem das zentrale Zahnrad 4 wieder etwas in Richtung des Pfeils a gedreht wird.

Fig. 5 zeigt einen dritten erfindungsgemäßen Werkstück­ halter 30, der mehrere Werkstückaufnahmeöffnungen 31 aufweist. Diese Öffnungen 31 sind jeweils über Schlitze 32 miteinander verbunden. Ferner erstreckt sich ein radial verlaufender Schlitz 33 vom Außenumfang des Werk­ stückhalters 30 zu einem der Schlitze 32. Dabei ist in den Schlitz 33 ebenfalls eine aus einer Schwalben­ schwanznut 34 und einer Schwalbenschwanznase 35 gebildete Spreizsicherung eingebaut. Der gegenüber dem Schlitz 33 liegende Schlitz 32 ist von einem Steg 36 unterbrochen, der einen inneren Abschnitt 30 a, welcher von den Öffnungen 31 und den Schlitzen 32 begrenzt wird, mit einem äußeren Abschnitt 30 b des Werkstückhalters 30 verbindet.

Die Funktionsweise des Werkstückhalters 30 ist dieselbe, wie sie bereits in Verbindung mit dem Werkstückhalter 22 beschrieben wurde, so daß diesbezüglich auf weitere Ausführungen verzichtet werden kann.

Claims (2)

1. Werkstückhalter für eine Zweischeiben-Flachläppmaschi­ ne, der in der Maschine rotierend antreibbar ist und mindestens eine Werkstückaufnahmeöffnung (20) für kreisrunde scheibenförmige Werkstücke (15) aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß die Werkstückaufnahmeöff­ nung (20) zwei im wesentlichen geradlinige, in der Draufsicht des Werkstückhalters (19) unparallele Wand­ abschnitte (20 a) aufweist, deren Abstand voneinander kleiner als der Durchmesser der Werkstücke (15) ist.

2. Werkstückhalter für eine Zweischeiben-Flachläppmaschi­ ne, der in der Maschine rotierend antreibbar ist und mindestens eine Werkstückaufnahmeöffnung (23; 31) für kreisrunde scheibenförmige Werkstücke (15) auf­ weist, dadurch gekennzeichnet, daß der Werkstückhal­ ter (22; 30) einen mit einer Spreizsicherung (25, 26; 34, 35) versehenen Schlitz (24; 32, 33) aufweist, der die Werkstückaufnahmeöffnung(en) (23; 31) mit der Außenumfangsfläche des Werkstückhalters (22; 30) verbindet.