DE3127182C2 - Einscheibenflachfläppmaschine - Google Patents

Einscheibenflachfläppmaschine

Info

Publication number
DE3127182C2
DE3127182C2 DE19813127182 DE3127182A DE3127182C2 DE 3127182 C2 DE3127182 C2 DE 3127182C2 DE 19813127182 DE19813127182 DE 19813127182 DE 3127182 A DE3127182 A DE 3127182A DE 3127182 C2 DE3127182 C2 DE 3127182C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
lapping
dressing
disk
rings
driven
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE19813127182
Other languages
English (en)
Other versions
DE3127182A1 (de
Inventor
Siegbert 7746 Hornberg Klausmann
Original Assignee
Michael Grässner KG, 7031 Steinenbronn
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Michael Grässner KG, 7031 Steinenbronn filed Critical Michael Grässner KG, 7031 Steinenbronn
Priority to DE19813127182 priority Critical patent/DE3127182C2/de
Publication of DE3127182A1 publication Critical patent/DE3127182A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE3127182C2 publication Critical patent/DE3127182C2/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24GRINDING; POLISHING
    • B24BMACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/04Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
    • B24B37/07Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool
    • B24B37/10Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool for single side lapping
    • B24B37/102Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces characterised by the movement of the work or lapping tool for single side lapping the workpieces or work carriers being able to rotate freely due to a frictional contact with the lapping tool

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Planflächen-Bearbeitungsmaschine zum Läppen, Schleifen und Polieren mit einer Läpp-, Schleif- bzw. Polierscheibe, auf der wenigstens ein lose rotierbarer Abrichtring zur Werkstückaufnahme angeordnet ist, der an Rollen geführt ist, die an einem Schwenkarm gelagert sind, bei der eine der Rollen, die an dem Schwenkarm gelagert sind, mittels eines Motors angetrieben ist, damit es ermöglicht wird, Unebenheiten der Läpp-, Schleif- bzw. Polierscheibe auf einfache Weise während des normalen Betriebs der Maschine auszugleichen.

Description

  • Die Erfindung betrifft eine Einscheibenflachläppmaschine entsprechend dem Oberbegriff des Patentanspruchs.
  • Eine derartige Maschine ist aus der DE-AS 11 10 544 bekannt. Die Abrichtringe, die zur Werkstückaufnahme und gleichzeitig zum Abrichten der Scheibe dienen können, stützen sich gegen achsparallel zur Läppscheibe angeordnete Rollen ab, die für jeden Abrichtring getrennt an jeweils einem schwenkbaren Träger gelagert sind. Sie werden bei dieser bekannten Maschine durch die Drehung der Läppscheibe in Drehung versetzt.
  • Aus der DE-AS 10 29 698 ist eine Läppmaschine bekannt, bei der die Abrichtringe von einem gesonderten Antrieb über koaxial zu den Antriebsringen angeordneten Wellen gemeinsam angetrieben werden. Die relative Lage zwischen den Abrichtringen und der Läppscheibe ist nur gemeinsam veränderbar, so daß eine Verlagerung einzelner Abrichtringe gegenüber der Läppscheibe zur Erlangung einer gezielten Materialabnahme in einem bestimmten Bereich nicht möglich ist.
  • Aus der US-PS 39 31 696 ist eine Läppmaschine bekannt, bei der sich die Abrichtringe an Rollen abstützen, von denen die einen von einer gemeinsamen Rolle angetrieben werden. Eine Veränderung der relativen Lage einzelner Abrichtringe gegenüber der Läppscheibe ist daher nicht möglich.
  • Bei bekannten Läppscheiben aus Gußmaterial wird Kohlenstoff freigesetzt, so daß die Werkstücke nach der Bearbeitung einem besonderen Reinigungsprozeß unterworfen werden müssen. Derartige Läppscheiben werden mit radialen Schlitzen versehen, um überschüssiges Läppmittel sowie beim Läppen entstehende Späne abführen zu können.
  • Es ist auch bekannt, anstelle der Gußläppscheiben siliziumkarbidgebundene Scheiben zu verwenden. Bei diesen entfällt die Verschmutzung durch Kohlenstoff. Bei diesen Läppscheiben wird das eigentliche Läppmittel aus der Läppscheibe selbst freigesetzt, so daß nur noch eine Spülflüssigkeit zugeführt werden muß. Bei den bekannten Maschinen, die siliziumkarbidgebundene Läppscheiben aufweisen, können Unebenheiten der Läppscheibe durch Abrichtringe, die lediglich durch die Drehung der Läppscheibe angetrieben werden, nicht mehr ausgeglichen werden. Zum einen liegt dies daran, daß derartige Läppscheiben aus Herstellungsgründen nur ungenutet verwendet werden und infolgedessen die auf die Läppscheibe aufgespritzte Spülflüssigkeit sehr leicht einen durchgehenden Film bilden kann, der ein Aufschwimmen der Abrichtringe begünstigt, wodurch dann die Reibung zwischen Abrichtring und Läppscheibe, und damit der Abrichteffekt an der Läppscheibe zu gering wird. Zum anderen liegt dies an der generell geringeren Materialabtragung an siliziumkarbidgebundenen Scheiben gegenüber den herkömmlichen Gußscheiben. Aus beiden Gründen ist eine befriedigende Abrichtwirkung nur mit einer höheren Relativgeschwindigkeit zwischen Abrichtring und Läppscheibe, also mit einem zusätzlichen Antrieb der Abrichtringe, zu erreichen.
  • Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, die Läppmaschine der eingangs genannten Art so auszubilden, daß auch siliziumkarbidgebundene Läppscheiben während des normalen Betriebs der Maschine abgerichtet werden können. Gelöst wird diese Aufgabe gemäß der Erfindung durch die im kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs angegebenen Merkmale.
  • Dadurch, daß jedem Abrichtring ein stufenlos drehzahleinstellbarer Motor zugeordnet ist, können die Abrichtringe unabhängig voneinander mit einer wählbaren Drehzahl angetrieben werden. Man kann daher bestimmte Abrichtringe ausschließlich zum Abrichten verwenden, d. h., daß sie keine Werkstücke aufnehmen, und zu diesem Zweck mit einer anderen Drehzahl beaufschlagen als die die Werkstücke aufnehmenden Abrichtringe. Wenn daher Werkstücke aus weichem Material bearbeitet werden sollen, treibt man die eigentlichen Abrichtringe mit einer größeren Drehzahl als die die Werkstücke aufnehmenden Ringe an, damit der bei weichem Werkstückmaterial in größeren Mengen anfallende Abrieb der Werkstücke möglichst schnell von den Abrichtringen zum Außenrand der Scheibe transportiert und die Oberflächenporen der Läppscheibe von Verstopfungen befreit werden können. Bei harten Werkstücken verfährt man dagegen umgekehrt, weil dabei nur entsprechend geringer Materialabrieb von den Werkstücken und Verstopfungen der Läppscheibenoberfläche von den Abrichtungen beseitigt werden müssen.
  • Die Erfindung wird nachstehend anhand der Fig. 1 bis 3 beispielsweise erläutert. Es zeigt
  • Fig. 1 eine Draufsicht auf eine Läppscheibe einer Planflächenbearbeitungsmaschine;
  • Fig. 2 eine Seitenansicht entsprechend Fig. 1;
  • Fig. 3 im Teilschnitt eine Seitenansicht des Schwenkarms und der dazugehörigen Rollen.
  • Die nicht gezeigte Läppmaschine hat eine Läppscheibe 11 (Fig. 1), die in der angegebenen Richtung drehbar ist. Auf der Scheibe 11 ist lose rotierbar ein Abrichtring 12 angeordnet, der zur Aufnahme von zu bearbeitenden Werkstücken dient. Der Abrichtring 12 ist an Rollen 13 und 14 geführt, die an einem Schwenkarm 15 gelagert sind. Der Schwenkarm 15 ist bei 27 schwenkbar gelagert, so daß die Lage des Abrichtrings 12 verändert werden kann. Koaxial mit der Rolle 14 ist ein Elektromotor 16 verbunden (Fig. 2), der die Rolle 14 und den daran anliegenden Abrichtring 12 in der in Fig. 1 angegebenen Richtung dreht.
  • Die Rollen 13 und 14 haben Distanzringe 20 (Fig. 2), die mit ihren Umfangsflächen am Abrichtring 12 anliegen. Die Rollen 13, 14 sitzen auf Kugellagern 24 und sind durch Schrauben 25 am Schwenkarm 15 befestigt (Fig. 3).
  • Wie Fig. 2 zeigt, ist am Schwenkarm 15 mittels einer Schraube 26 eine Stange 19 befestigt. Die Stange 19 trägt an zwei Armen 23, die durch Schrauben 17, 18 an den Stangen 19 gehalten sind, einen stufenlos drehzahleinstellbaren Elektromotor 16, dessen Ausgangswelle 21 mittels einer Kupplung 22 mit der Rolle 14 lösbar gekoppelt ist. Mittels des Motors 16 kann über die Rolle 14 der Abrichtring angetrieben oder abgebremst werden. Der individuelle Antrieb der Abrichtringe ermöglicht in Verbindung mit der Verschiebung der Abrichtringe radial zur Läppscheibe eine gezielte Beeinflussung der Oberflächenkontur der Läppscheibe.

Claims (1)

  1. Einscheibenflachläppmaschine, auf deren Läppscheibe wenigstens ein rotierender Abrichtring lose aufliegt und sich gegen achsparallel zur Läppscheibe angeordnete Rollen abstützt, die für jeden Abrichtring getrennt an jeweils einem, um eine zur Läppscheibenachse exzentrisch sitzende, parallele Achse schwenkbaren Träger gelagert sind, dadurch gekennzeichnet, daß je Abrichtring (12) eine (14) der Rollen (13, 14) mittels eines stufenlose drehzahleinstellbaren Motors (16) antreibbar ist, und der Motor (16) auf dem Träger (15) koaxial zur anzutreibenden Rolle (14) angeordnet und befestigt ist.
DE19813127182 1981-07-09 1981-07-09 Einscheibenflachfläppmaschine Expired DE3127182C2 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19813127182 DE3127182C2 (de) 1981-07-09 1981-07-09 Einscheibenflachfläppmaschine

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19813127182 DE3127182C2 (de) 1981-07-09 1981-07-09 Einscheibenflachfläppmaschine

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE3127182A1 DE3127182A1 (de) 1983-01-27
DE3127182C2 true DE3127182C2 (de) 1987-03-19

Family

ID=6136531

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19813127182 Expired DE3127182C2 (de) 1981-07-09 1981-07-09 Einscheibenflachfläppmaschine

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE3127182C2 (de)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106078413A (zh) * 2016-06-28 2016-11-09 东莞捷荣技术股份有限公司 一种平面打磨无动力辅助转动装置及打磨机
CN106239312A (zh) * 2016-08-02 2016-12-21 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种基于平行四边形机构的磨头连接装置
CN106312778A (zh) * 2016-04-07 2017-01-11 东莞市兰光光学科技有限公司 一种大口径光学元件双面抛光机

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10235017A1 (de) * 2002-08-01 2004-02-12 Peter Wolters Werkzeugmaschinen Gmbh Vorrichtung zum Polieren von digitalen Speicherscheiben
CN107932309A (zh) * 2017-11-20 2018-04-20 西安航天动力测控技术研究所 一种保证安全机构零件装配面精度的自动研磨***
CN115008343B (zh) * 2022-06-08 2023-11-03 中国科学院上海光学精密机械研究所 一种用于光学加工的柔性抛光轴
CN116572150B (zh) * 2023-06-07 2024-01-30 上海致领研磨科技有限公司 一种兼备粗研和精研功能的研磨机

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1029698B (de) * 1954-03-25 1958-05-08 Crane Packing Co Vorrichtung zum Abrichten der Oberflaeche von ringfoermigen Laeppscheiben
DE1114107B (de) * 1956-09-24 1961-09-21 Crane Packing Co Vorrichtung zum Laeppen von ringfoermigen Flanschflaechen an Werkstuecken
DE1110544B (de) * 1957-11-29 1961-07-06 Siemens Ag Einscheiben-Laeppmaschine fuer Halbleiterscheiben
US3931696A (en) * 1974-03-04 1976-01-13 Veb Rathenower Optische Werke Device for making sections for specimens and specimen supports therefor

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106312778A (zh) * 2016-04-07 2017-01-11 东莞市兰光光学科技有限公司 一种大口径光学元件双面抛光机
CN106078413A (zh) * 2016-06-28 2016-11-09 东莞捷荣技术股份有限公司 一种平面打磨无动力辅助转动装置及打磨机
CN106078413B (zh) * 2016-06-28 2018-12-25 东莞捷荣技术股份有限公司 一种平面打磨无动力辅助转动装置及打磨机
CN106239312A (zh) * 2016-08-02 2016-12-21 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种基于平行四边形机构的磨头连接装置
CN106239312B (zh) * 2016-08-02 2018-04-10 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种基于平行四边形机构的磨头连接装置

Also Published As

Publication number Publication date
DE3127182A1 (de) 1983-01-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE19626396B4 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung und zum Schleifen von Siliziumscheiben
EP2376257B1 (de) Vorrichtung zur beidseitigen schleifenden bearbeitung flacher werkstücke
DE3127182C2 (de) Einscheibenflachfläppmaschine
DE69819560T2 (de) Verfahren zum schmiergeln von artikeloberflächen
DE3416629C3 (de)
EP0534108B1 (de) Verfahren zum einseitigen Flächenbearbeiten von Werkstücken
DE2205903B2 (de) Abrichtvorrichtung mit drehantreibbaren Werkzeugen für eine Schleifscheibe mit dachförmigem Profil
DE102023001542A1 (de) Vorrichtung zum Schleifen und/oder Polieren eines Schneidwerkzeuges
DE450767C (de) Maschine zum Schleifen und Polieren von Glasplatten
DE4101237C2 (de) Maschine zum gleichzeitigen Schleifen oder Polieren einer Mehrzahl von scheibenförmigen Werkstücken
DE2009778A1 (de) Schleif und Poliermaschine
DE2645405A1 (de) Vorrichtung zum schleifen und polieren von ebenen oder leicht gebogenen oberflaechen
DE3337485A1 (de) Arbeitskopf fuer schleif- und poliermaschinen mit scheibenfoermigen werkzeugen
DE69801943T2 (de) Schleifscheibe und Verfahren zum Herstellen derselben
DE2316957A1 (de) Vorrichtung zum schleifen von ebenen und/oder leicht gewoelbten flaechen
DE7081C (de) Neuerungen an Maschinen zur Herstellung geschliffener Stofsflächen an Thonröhren
AT87903B (de) Schäl-, Spitz-, Entkeimungs- und Poliermaschine.
DE385701C (de) Vorrichtung zum Schleifen der gewoelbten Seitenflaeche von Wetzsteinen
DE544765C (de) Verfahren zum Glaetten der Kaliber an den Walzen fuer Pilgerschrittwalzwerke
DE533558C (de) Bearbeiten torischer Innenflaechen
DE394472C (de) Maschine zum Schleifen von zylindrischen Koerpern, insonderheit Spiralbohrern
DE2826554C2 (de) Werkzeugmaschine zum Schleifen der Oberflächen von Werkstücken mit von Magnetfeldern gehaltenem ferromagnetischem Schleifpulver
DE479459C (de) Schleifen von Rollen in einem zwischen zwei ebenen Werkzeugen kreisenden Kaefig
DE807182C (de) Vorrichtung zum gleichzeitigen Polieren beider Flaechen eines sich fortbewegenden Glasbanses
DE81428C (de)

Legal Events

Date Code Title Description
OP8 Request for examination as to paragraph 44 patent law
8125 Change of the main classification

Ipc: B24B 37/04

8181 Inventor (new situation)

Free format text: KLAUSMANN, SIEGBERT, 7746 HORNBERG, DE

D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee