DE2951532A1 - Geraet zur messung geometrischer merkmale von mechanischen werkstuecken - Google Patents

Geraet zur messung geometrischer merkmale von mechanischen werkstuecken

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DE2951532A1 DE19792951532 DE2951532A DE2951532A1 DE 2951532 A1 DE2951532 A1 DE 2951532A1 DE 19792951532 DE19792951532 DE 19792951532 DE 2951532 A DE2951532 A DE 2951532A DE 2951532 A1 DE2951532 A1 DE 2951532A1
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Description

Gerät zur Messung geometrischer Merkmale von mechanischen Werkstücken
Die Erfindung betrifft ein Gerät zur Messung oder Prüfung geometrischer Merkmale von mechanischen Werkstücken, insbesondere zur Messung eines von der Mikrogeometrie eines zu prüfenden Werkstücks abhängigen Parameters, gekennzeichnet durch einen Rahmen, einen mit dem makrogeometrischen Profil des Werkstücks zusammenwirkenden beweglichen Taster, um gegenüber dem Profil eine Bezugsgröße zu schaffen ,einer berührungslosen Tast- oder Meßvorrichtung zur Erzeugung eines Signals in Abhängigkeit von der Mikrogeometrie der Werkstückoberfläche sowie eine mit der Abtastvorrichtung verbundene Schaltung, um diesen Parameter zu gewinnen.
Die bekannten Vorrichtungen zur Messung der Mikrogeometrie mechanischer Teile, z.B. Rauhtiefenmesser, eignen sich nicht zur Prüfung aller Werkstücke einer Serienproduktion sowie zur Messung von Werkstücken, die von Werkzeugmaschinen oder von verketteten bzw. Transfermaschinen bearbeitet werden.
Die bekannten Rauhtiefenmesser besitzen eine Fühlerspitze mit einem kleinen Biegungshalbmesser, die langsam das mikrogeometrische Profil längs einer bestimmten Strecke abtastet, sowie eine Gleitkufe,die auf dem makrogeometrischen Profil entlanggleitet und eine Bezugsgröße für die Fühlerspitze bildet. Die Konstruktion ist sehr empfindlich und bringt eine lange Abtastzeit mit sich.
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In den letzten Jahren wurden einige Versuche gemacht, die Vorrichtungen für die mikrogeometrische Messung zu bauen, die schnell arbeiten und robuster sind. Dies erfolgt zum Zwecke der Kontrolle von Korrekturen und Adaptivzyklen von Werkzeugmaschinen während der Bearbeitung des gemessenen Stückes oder unmittelbar nach dessen Bearbeitung.
Den vorhandenen Geräten, welche mit Laserstrahlen oder pneumatischen Sonden arbeiten, mangelt es soweit an Genauigkeit und Wiederholgenauigkeit, daß die von ihnen gelieferten Anzeigewerte häufig vollständig falsch sind oder in jedem Fall noch so ungenau, daß sie nicht zur Steuerung von Werkzeugmaschinen verwendet werden können.
Außerdem sind die Fertigungseigenschaften dieser bekannten Vorrichtungen noch ungenügend, um sie zur Durchführung von Prüfungen in Werkstätten einzusetzen.
Die Aufgabe der Erfindung besteht darin, ein Gerät zu schaffen das sich zur Messung bzw. zum Abtasten eines Parameters in Abhängigkeit von der Mikrogeometrie mechanischer Werkstücke eignet, das einen einfachen, jedoch robusten Aufbau aufweist und das schnell messen kann und dabei gleichzeitig gewährleisten kann, daß die erzielten Messungen für die Weiterverwendung genügend genau sind, und falls nötig auch die Werkstücke bearbeitenden Werkzeugmaschinen steuern kann.
Die Aufgabe und andere Vorteile werden mit einem erfindungsgemäßen
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Gerät erzielt, wie es eingangs beschrieben wurde, wobei die berührungslose Abtastvorrichtung einen elektronischen Reaktionswandler umfaßt, dessen Oberfläche einer entsprechenden Oberfläche des Werkstücks zugekehrt ist, wobei die entsprechende Werkstückoberfläche genügend breit ist, um als Musteroberfläche der Werkstückgeometrie zu gelten, und die beiden Oberflächen durch Flußlinien geschnitten werden, die vom Wandler erzeugt werden und den Luftspalt zwischen den beiden Oberflächen durchströmen.
Die Erfindung ist nachstehend näher erläutert. Alle in der Beschreibung enthaltenen Merkmale und Maßnahmen können von erfindungswesentlicher Bedeutung sein. Die Zeichnungen, in denen gleiche Teile gleiche Kennzeichen besitzen, zeigen:
Fig. 1 einen Schnitt nach einem bevorzugten Ausführungs
beispiel der Erfindung durch einen Lehrdorn zur Messung des Durchmessers und der Rauhtiefe eines Loches in einem Werkstück;
Fig. 2 ein zweites Ausführungsbeispiel der Erfindung mit
einer Einzelheit eines anderen Lehrdorns zur Messung des Durchmessers und der Rauhtiefe eines Loches in einem Werkstück;
Fig. 3 ein Detail einer anderen Ausführung des Lehrdorns
der Fig. 1;
Fig. 4 ein Detail einer anderen Ausführung des Leerdorns
der Fig. 2;
Fig. 5 einen Magnetsupport, der anstelle der in den Fig.
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1-4 gezeigten Supporte eingesetzt werden kann.
Ein zu messendes Werkstück 1 in Fig. 1 ruht auf einem Träger oder Support 2, der mit einsprechenden nicht gezeigten mechanischen Lehren bestückt sein kann, um das Werkstück fest in einer vorgegebenen Meßstellung zu halten.
Das Werkstück 1 besitzt ein Loch 3, in welches ein Schutz- und Lehrkopfstück 4 eines Lehrdorns 5 eingeführt ist. Der Durchmesser des Kopfstücks 4 ist etwas kleiner als der Nenndurchmesser des Loches 3, damit es sicher in das Loch eingeführt werden kann und damit auch mit guter Annäherung die Koinzidenz der geometrischen Achsen des Kopfstückes und des Loches gesichert ist. Das Kopfstück 4 besitzt einen Flansch 6, der über nicht gezeigte Schrauben das Kopfstück mit einem oberen Körper 7 verbindet, der als Handgriff für die manuelle Bedienung des Lehrdorns vorgesehen ist. Die Bodenfläche des Flansches 6 ruht auf der Oberfläche 8 des Werkstücks Im Kopfstück 4 sind zwei um Drehzapfen 11 und 12 bewegliche Arme 9,1 ο angeordnet, wobei die Drehzapfen durch einstückig mit dem körper 7 ausgeformte Träger 13 und 14 abgestützt sind.
Im Kopfstück sind zwei Öffnungen 15,16 ausgeformt, durch welche zwei Fühler oder Taster 17,18 durc8»?ührt werden, die an die zugeordneten Enden der Arme 9,1 ο angeklemmt sind.
Zwei zwischen den Armen 9,1 ο und zwei einstückig mit dem Körper 7 ausgeführten Trägern 21,22 angeordnete Federn 19,2o betätigen die
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Arme 9,1o so, daß die Fühler 17,18 gegen die Innenfläche des Werkstücks 1 mit entsprechender Auflagekraft gedrückt werden.
Gegenüber den die Fühler 17,18 tragenden Enden der Arme 9,1ο tragen diese die beweglichen Bauteile 23,24 zweier induktiver Stellungsgeber 25,26. Die Stellungsgeber 25,26 umfassen Wicklungen, die in am Körper 7 befestigten Trägern 27,28 untergebracht sind sowie Kabel 29,3o, die an ein Stromversorgungs-, Rechen- und Anzeigegerät 31 geführt sind.
Das Gerät 31 umfaßt ein Anzeigemeßgerät 32 zur Anzeige der Durchmessergröße des Loches 3, d.h. genauer gesagt der Abweichung gegenüber dem Nenndurchmesser, ferner ein Anzeigemeßgerät 33 zur Anzeige eines Parameters für die Rauhtiefe des Werkstücks, zwei Potentiometer 34,35 zur Einstellung der oberen und unteren Toleranzgrenzen des Durchmessers, zwei Potentiometer 36,37 zur Einstellung der maximal zulässigen Rauhtiefe und der minimalen Sollrauhtiefe (unter Berücksichtigung der Bearbeitungskostei und weiterer Bearbeitungsgänge wie z.B. Läppen) und schließlich zwei Potentiometer 38,39 zur Einstellung der Meßgeräte für die Nullanzeige 32,33.
Das Gerät 31 umfaßt auch ein Potentiometer 34 zur Eichung des Anzeigemeßgerätes 33 sowie Lampen 41,42,43;44,45,46 zur Anzeige dafür, ob die Durchmesser- und Rauhtiefenmessungen innerhalb der Toleranzbereiche liegen oder die zulässigen Ober- bzw. üntergrenzen überschreiten.
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Das Gerät 31 ist mit einem Steuergerät 47 verbunden, welche eine nicht gezeigte Werkzeugmaschine steuert, von welcher die Werkstücke 1 direkt ankommen oder welche die mit den durch die Einrichtung der Fig. 1 ausgeführten Messungen abwechselnden Arbeitsphasen durchführt.
Zwei induktive Luftspaltwandler, die im allgemeinen bekannt sind, sind am Kopfstück 4 befestigt. Sie umfassen Träger und Platten 48, 49 für die Wicklungen 5o,51 sowie Kabel 52,53 zum Anschluß an das Gerät 31. Die Eingangswicklungen der Stellungsgeber 25,26 sowie die Wicklungen 5o,51 werden von Wechselspannungssignalen mit derselben Frequenz, z.B. 2o kHz , bespeist.
Das Gerät der Fig. 1 arbeitet wie folgt:
Zuerst wird das Kopfstück 4 in eine Schablone eingeführt, deren Lochfläche gehont ist, und deren Lochdurchmesser gleich dem Nenndurchmesser ist, und das keine Rauhtiefe und keine Formfehler aufweist, worauf die Meßgeräte 32,33 auf Null eingestellt werden.
Dann wird das Kopfstück 4 anhand oder automatisch in das Loch 3 eines Werkstücks eingeführt. Die Fühler 17,18 besitzen einen gerüjend großen Biegeradius gegenüber dem die Stücke bearbeitenden Werkzeug sowie gegenüber den verschiedenen Bearbeitungsparametern, so daß die Fühler mit dem makrogeometrischen Profil (oder dem "technischen" Profil oder dem "Hüllprofil")des Loches 3 zusammenwirken können.
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Das Anzeigemeßgerät, an welchem ein Signal für die Summe der Signale der induktiven Stellungsgeber 25,26 anliegt, zeigt die Abweichung des Durchmessers der Hüllfläche des Loches 3 gegenüber dem Nenndurchmesser an.
Die nach außen rund geformten Platten 48,49 besitzen einen genügend großen Durchmesser, so daß die den Platten zugekehrten Zonen der Oberfläche des Loches 3, stets in Beziehung zur Art des die Werkstücke bearbeitenden Werkzeugs, des Werkstücks sowie zu den Bearbeitungsparametern, als Muster der mikrogeometrischen Eigenschaften des Werkstücks betrachtet werden können. Daher ist der Plattendurchmesser, bezogen auf die Höhe der Rauhtiefe, erheblich größer (z.B. 3x) .
Die Platten 48,49 sind nahe den Fühlern 17,18 angeordnet, so daß die Messungen nicht durch mögliche Formfehler des Werkstücks beeinflußt werden.
Im allgemeinen sind die Formfehler für die meisten Anwendungen des Gerätes in Bezug auf die Messung der Lochoberflächen nach der Bohrung infolge der Bearbeitungseigenschaften vernachlässigbar.
Die von den Wicklungen 5o,51 erzeugten Signale werden addiert, und das Eingangssignal des Anzeigemeßgerätes 32 wird von dem sich ergebenden Signal subtrahiert, nachdem dasselbe Eingangssignal durch Addition eines Korrekturgliedes für die unterschiedlichen Radialstellungen der Fühler 17,18 gegenüber den Radialstellungen der Platten 48,49 korrigiert wurde, wenn die Fühler entsprechend
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dem Nenndurchmesser des Loches 3 eine gegenseitige Stellung einnehmen.
Das auf diese Weise gewonnene Signal gelangt an den Eingang des
Ablesemeßgerätes 33, das eine Anzeige für die Rauhtiefe der Fläche des Loches 3 liefert.
Durch Subtraktion dieses korrigierten Eingangssignals des Ablesemeßgerätes 32 vom Summensignal der Wicklungen 5o,51 ergibt sich in der Praxis, daß die Platten 48,49 auf das technische oder makrogeometrische Profil der Oberfläche des Loches 3 bezogen werden.
Das Differenzsignal hängt daher von der Reluktanz der den Platten 48,49 zugekehrten Luftspaltzone an, die zwischen den makrogeometrischen und mikrogeometrischen Flächen enthalten ist. Daher kann mit dem Gerät ein Parameter für die Rauhtiefe einer Werkstückoberfläche gewonnen werden, der im wesentlichen von der Reluktanz einer Zone abhängt, die durch die makrogeometrische und die mikrogeometrische Oberfläche des Stückes begrenzt ist.
Natürlich muß das Werkstück 1 aus einem ferromagnetischen Werkstoff bestehen, damit der gesamte, von den Wicklungen 5o,51 erzeugte Magnetfluß diese Zone ohne erheblichen Streuverlust durchströmen kann.
Wie bereits erwähnt, kann das Gerät zur Messung während der Bearbeitung (z.B. einer Bohrung) sowie zur Steuerung in Abhängigkeit vom Rauhtiefensignal bzw. vom durchmesserabhängigen Signal des Anhaltens der Maschine, des Werkzeugwechsels oder der Korrektur
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- 13 des Arbeitszyklus eingesetzt werden.
Die Messung kann im statischen Zustand erfolgen, d.h. wenn der Meßdorn gegenüber dem Werkstück stationär ist, und auch im dynamischen Zustand, besonders wenn sich der Meßdorn im Loch dreht bzw. axial verschoben wird.
Das Eingangssignal des Meßgerätes 33 ist mindestens bei einigen Anwendungen von Werkstücken, die durch Bohren oder Drehen bearbeitet werden, direkt von der äußeren mittleren Rauhtiefe Re abhängig, die als das arithmetische Mittel der Abstände der vorherrschenden Spitzen des mikrogeometrischen Profils von der sog. Durchschnittsoder Mittellinie gekennzeichnet wird.
Für einen bestimmten Typ von Werkzeug sowie unter bestimmten Arbeitsbedingungen kann durch Justierung des Potentiometers 4o eine Anzeige am Ablesegerät 33 des Wertes der Höhe (Spitze-Spitze) Rt der Rauhtiefe anstatt von Re erhalten werden.
Es ist offensichtlich, wie bedeutend diese Ergebnisse sind, wenn man auch die Tatsachse berücksichtigt, daß sie mit einem Gerät gewonnen werden, welches das Werkstück nicht abzutasten braucht, das sehr robust ist und keine Abtastspitzen mit einem kleinen Biegeradius besitzt, wie die normalerweise bei herkömmlichen RauhtMemeßgeräten verwendeten Spitzen.
Gute Ergebnisse wurden auch mit einem nach Fig. 2 abgeänderten
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Gerät erzielt. Bei diesem Gerät sind die Platten 48,49 an Verengerungen 54,55 der Arme 9,1o befestigt anstatt am Kopfstück 4, und sind durch Öffnungen 56,57 im Kopfstück geführt. Daher bleiben die Platten 48,49, die in radialer Richtung gegenüber den Fühlern 17,18 etwas zurückliegen, in einem festen Abstand vom technischen Profil des Loches 3, und die Summe der von den Wicklungen 5o,51 erzeugten Signale, die in Abhängigkeit von den verschiedenen Radialabständen, z.B. von der Lehrdornachse, der Platten 48,49 gegenüber denen der Fühler 17,18 um ein konstantes Glied korrigiert sind, zeigt direkt die Rauhtiefe an und dient zur Steuerung des Ablesegerätes 33. Wenn somit nur eine mikrogeometrische Messung erforderlich ist, sind die induktiven Stellungsgeber 25,26 nicht erforderlich.
Die Anordnung der Platten 48,49 in den Geräten der Fig. 1 und 2 kann abgeändert werden. Z.B. können sie so angeordnet werden, daß ihre geometrischen Achsen in der gleichen Querebene liegen, in der auch die Achsen der Fühler 17,18 liegen, anstatt in der gleichen Längsebene.
Es kann auch jeweils ein einziger beweglicher Fühler 17 oder 18 und eine einzige Platte 48 oder 49 verwendet werden, wobei der zweite bewegliche Fühler durch einen am Kopfstück 4 befestigten Fühler 4 ersetzt wird. Wenn auch eine Durchmessermessung durchgeführt wird, muß dieser Festfühler in Berührung mit der Werkstückoberfläche gebracht werden.
Bei den Wicklungen 5o,51, wird vorzugsweise eine Schicht eines ge-
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eigneten Harzes zum Schutz der Wicklungen aufgebracht, wo sich die offenen Enden der Platten 48,49 befinden (die, wie bekannt, Teile mit einem äußeren kreisförmigen Umfang besitzen).
Nach der Variante gegenüber dem Lehrdorn der Fig. 1, die im einzelnen in Fig. 3 gezeigt ist, ist in der Platte 48 (ebenso in der Platte 49) ein axiales Loch ausgeformt, durch welche eire Spindel 58 frei durchgeführt werden kann, die am Arm 9 befestigt ist und den Fühler 17 trägt; die Spindel 58 und der Fühler 17 bestehen aus diamagnetischem Werkstoff.
Auf diese Weise können die Fühler 17,18 den Durchmesser des Werkstücks 1 genau im Mittelpunkt der Zone messen, wo eine Rauhtiefe abgetastet wird.
Fig.4 zeigt ein Detail, das eine Variante des Lehrdorns der Fig. ist. In diesem Fall ist der Fühler 17 an einem Schaft 59 angebracht, der in einer Blindbohrung der Platte 48 befestigt ist.
Die Platten 48,49 können durch verschiedene Träger oder Supporte ersetzt werden, z.B. durch Ferritsupporte 6o (Fig. 5) mit E-Form, auf welche die Wicklungen gewickelt sind. Auf diese Weise lassen sich die magnetischen Induktionslinien in einer ziemlich engen Zone anordnen. Jeder Support 6o ist vorzugsweise parallel oder senkrecht zur Achse des Werkstücks angeordnet, und zwar in Abhängigkeit vom erwarteten Verlauf der Flächenrillen des Werkstücks 1.
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Die Aufhängung des beweglichen Arms oder der Arme kann anstelle von Drehzapfen durch einen Parallelogramm-Pantographen oder andere Vorrichtungen erfolgen, die eine radiale Translationsbewegung anstelle einer Drehbewegung ermöglichen.
Einfache Änderungen am vorstehend beschriebenen Gerät ermöglichen seinen Einsatz zur Messung der Makrogeometrie und Mikrogeometrie ebener Flächen.
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L e e r s e i t e

Claims (1)

  1. Patentansprüche
    ( 1.(Gerät zur Messung geometrischer Merkmale von mechanischen Werkstücken, insbesondere zum Abgriff eines Parameters in Abhängigkeit von der Mikrogeometrie eines zu messenden Werkstückes mit einem Rahmen, einem mit dem makrogeometrischen Profil des Werkstücks zusammenwirkenden beweglichen Fühler, um eine Bezugsgröße gegenüber dem Profil zu schaffen, mit berührungslos arbeitenden Abtastvorrichtungen zur Erzeugung eines Signals in Abhängigkeit von der Mikrogeometrie der Werkstückoberfläche sowie mit einer an die Abtastvorrichtung angeschlossenen Schaltung, um diesen Parameter zu gewinnen, dadurch gekennzeichnet,daß die berührungslos arbeitende Abtastvorrichtung einen elektronischen Reaktionswandler (48,5o,52) umfaßt, dessen Oberfläche einer entsprechenden Oberfläche des Werkstücks (1) zugekehrt ist, die genügend breit ist, um als eine Musteroberfläche der Werkstückgeometrie zu gelten, sowie dadurch, daß beide Oberflächen durch Flußlinien gekreuzt werden, die vom Wandler (48,5o,52) erzeugt werden und den Luftspalt zwischen beiden Oberflächen durchströmen.
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    ORIGINAL INSPECTED
    2. Gerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Wandler (48,5o) am Rahmen (4,7) nahe dem beweglichen Fühler (17) befestigt ist, sowie dadurch, daß der bewegliche Fühler (7o) an die Schaltung (31) angeschlossen ist und den Bezugswert als ein Signal in Abhängigkeit von den makrogeometrischen Eigenschaften des Werkstücks (1) erzeugt und schließlich dadurch, daß die Schaltung (31) den Parameter durch Verarbeitung der Signale gewinnt.
    3. Gerät nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Wandler (48,5o,52) ein induktiv arbeitendes Gerät ist.
    4. Gerät nach einem der Ansprüche 1-3 zur Messung der Oberfläche eines Loches, dessen Rahmen einen Lehrdorn mit einem Kopfstück umfaßt, das in das Loch eingeführt ist, dadurch gekennzeichnet, daß der Wandler einen Support (48) mit einer elektrischen Wicklung (5o) umfaßt, sowie dadurch, daß der Support (48) am Kopfstück (4) befestigt ist.
    5. Gerät nach einem der Ansprüche 2-4, dadurch gekennzeichnet, daß der Wandler (48,5o,52) eine Öffnung zur Durchführung (5o,52) eine Öffnung zur Durchführung des Fühlers (17) aufweist, sowie dadurch, daß der Fühler (17) das Werkstück (1) in einer Mittelzone gegenüber der entsprechenden Oberfläche berührt.
    6. Gerät nach Anspruch 1 zur Messung der Oberfläche eines Loches, dessen Rahmen einen Lehrdorn mit einem Kopfstück umfaßt, das
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    in das Loch eingeführt werden soll, und dessen beweglicher Fühler einen gegenüber dem Lehrdorn beweglichen Arm besitzt, welcher den Fühler trägt, dadurch gekennzeichnet, daß der Wandler (48) am beweglichen Arm (9) nahe dem beweglichen Fühler (17) befestigt ist, ferner dadurch, daß der bewegliche Fühler an die Schaltung (31) angeschlossen ist und die Bezugsgröße als ein Signal in Abhängigkeit von den makrogeometrischen Eigenschaften der Oberfläche des Loches (3) erzeugt, und schließlich dadurch, daß die Schaltung (31) den Parameter durch Verarbeitung der Signale gewinnt.
    7. Gerät nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Fühler (17) die Oberfläche des Loches (3) in einer gegenüber der entsprechenden Oberfläche zentralen Zone berührt.
    8. Gerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß es einen zweiten beweglichen Fühler (1o,18,26) sowie einen zweiten elektronischen Reaktionswandler (49,51,53) umfaßt.
    9. Gerät nach einem der Ansprüche 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Schaltung ein Gerät (31) zur Anzeige des Lochdurchmessers sowie eines Parameters für die Rauhtiefe der Lochoberfläche besitzt.
    1o. (ferät nach einem der vorhergehenden Ansprüche zum Abgreifen der geometrischen Eigenschaften eines Werkstücks während oder nach
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    seiner Bearbeitung durch eine Werkzeugmaschine, dadurch gekennzeichnet, daß die Schaltung eine Vorrichtung (36,37) zur Eichung der Abtastvorrichtung (48,5o,52) in Abhängigkeit von der Art der Werkzeugmaschine und der Bearbeitungsart umfaßt.
    11. Gerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche zum Abtasten der geometrischen Eigenschaften eines Werkstücks während oder nach seiner Bearbeitung durch eine Werkzeugmaschine, dadurch gekennzeichnet, daß es eine Vorrichtung (47) zur Steuerung der Werkzeugmaschine nach den mikrogeometrischen bzw. makrogeometrischen Eigenschaften des Werkstücks (1) umfaßt.
    12. Gerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Wandler (48,5o,52) eine Platte (48) sowie einen Luftspalt aufweist.
    13. Gerät nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß der Fühler (17) koaxial zur Platte (4 8) angeordnet ist.
    14. Gerät nach einem der Ansprüche 1-11, dadurch gekennzeichnet, daß der Wandler (48,5o,52) einen E-förmigen Support (6o) umfaßt.
    15. Gerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß am elektronischen Reaktionswandler (48,5o,52) ein Signal mit einer Frequenz von ca. 2o kHz anliegt.
    Beschreibung - 5 -
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DE19792951532 1978-12-21 1979-12-20 Geraet zur messung geometrischer merkmale von mechanischen werkstuecken Withdrawn DE2951532A1 (de)

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EP0470397A1 (de) * 1990-07-24 1992-02-12 Horst Dipl.-Ing. Knäbel Messvorrichtung zur Überprüfung der Masse eines Werkstückes

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