DE2947920C2 - Bauelement in I↑2↑ L-Schaltungstechnik - Google Patents
Bauelement in I↑2↑ L-SchaltungstechnikInfo
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Description
^gekennzeichnet durch
Kf(e) eine auf dem Basisbereich (15) und/oder dem
daran angrenzenden Oberflächenbereich des Substrats (14) angeordnete Ladungsspeichereinrichtung
(23) und
(0 eine Einrichtung (21) zur Injizierung von Ladungen In die Ladungsspeichereinrichtung (23).
(F ig. 2A)
2. Bauelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zum Injizieren von
Ladungen in die Ladungsspeichereinrichtung (23) einen Im Oberflächenberelch des Substrats (14) Im
Abstand vom Basisbereich (15) angeordneten Steuer-
- Bereich (21) des zweiten Leitfähigkeitstyps umfaßt. (Fig. 2A)
3. Bauelement nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Ladungsspeichereinrichtung
einen auf der Oberfläche des Substrats (14) zwischen dem Basisbereich (15) und der Ladungslnjlzierelnrichtung
(21) angeordneten Sillziumoxid-Fllm (22), einen
darauf angeordneten Slliziumnitrld-Film und eine auf
diesem angeordnete Gate-Elektrode (23) aufweist.
4. Bauelement nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Ladungsspeichereinrichtung
eine potentialfreie Gate-Elektrode (23) aufweist, die über einen isolierenden Film (22) auf der Oberfläche
des Substrats (14) zwischen dem Basisbereich (15) und der Ladungsinjiziereinrichtung (21) angeordnet ist.
5. Bauelement nach einem der Ansprüche 2 bis 4, gekennzeichnet durch eine Einrichtung zum Vorspannen
des zwischen dem Steuerbereich (21) und dem Substrat (14) bestehenden PN-Übergangs In Sperrichtung.
6. Bauelement nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß sich die potentialfreie Gate-Elektrode
(61) über den Steuerbereich (62) erstreckt. (Flg. 6 A)
7. Bauelement nach einem der Ansprüche 4 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß sich die potentialfreie
Gate-Elektrode (61) über den Baslsbereich (15)
erstreckt und daß eine Einrichtung zum Vorspannen des zwischen dem Substrat (14) und dem Basisbereich
(15) vorhandenen PN-Übergang In Sperrlchfung vorgesehen Ist.
8. Bauelement nach einem der Ansprüche 4 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß innerhalb des Steuerbereichs
(62) ein Schreibbereich (63) des ersten Leltfählgkeltstyps
angeordnet Ist, daß sich die potentialfreie Gate-Elektrode (61) über den Schreibbereich (63)
erstreckt, und daß eine Einrichtung zur Vorspannung des zwischen dem Schreibbereich (63) und dem Steuerbereich
(62) vorhandenen PN-Übergangs In Sperrrichtung vorgesehen Ist. (Flg. 6A)
9. Bauelement nach einem der Ansprüche 4 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß Im Oberflächenberelch
des Substrats (14) unter der potential freien Gate-Elektrode (61) ein an den Basisbereich (15) angrenzender
stark dotierter Bereich (70) des ersten Leitfähigkeitstyps angeordnet Ist. (Flg. 7A)
10. Bauelement nach einem der Ansprüche 4 bis 9, gekennzeichnet durch eine auf der potentialfrelen
Gate-Elektrode (57) über einem Isolierfilm angeordnete Steuerelektrode (50), die zur Förderung der Injektion
von Ladungen In die potentialfreie Gate-Elektrode (57) an einer Spannung liegt. (Flg. 5B)
11. Bauelement nach einem der Ansprüche 4 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat (14) aus
Silizium, die notentlalfrele Gate-Elektrode (23) aus polykristallinem Silizium und der Isolierfilm (22) aus
, Siliziumoxid bestehen.
J 12. Verwendung des Bauelements nach einem der Ansprüche 1 bis 11 in einer Festspeicher-Schaltung
mit zwei I2L-Bauelementen, die jeweils im Oberflä-
. chenberelch eines gemeinsamen Substrats (14) angeordnet einen NPN-Transistor (01, Ql) und einen
PNP-Transistor (Ql', QV) aufweisen, wobei ein erster
Kollektor jedes NPN-Transistors (öl, Ql) mit der
Basis des jeweils anderen NPN-Translstors (Ql, Ql) verbunden Ist und jeweils der zweite Kollektor der
beiden NPN-Transistoren (öl, Ö2) als Ausgangsanschluß
dient. (Flg. 16)
13. Verwendung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden PNP-Translstoren
(öl'. Ö2') unterschiedliche Basisbreiten haben.
(Flg. 21)
Die Erfindung bezieht sich auf ein Bauelement In I2L-Schaltungstechnlk
der Im Oberbegriff des Patentanspruchs 1 angegebenen Gattung. Im folgenden wird ein
solches Bauelement In I2L-Schaltungstechnlk der Einfachheit
halber kurz als »I2L« bezeichnet.
Das I2L Ist ein neuartiges logisches Bauelement, welches
In den folgenden Veröffentlichungen beschrieben 1st: H. H. Berger und S. K. Wledman, Merged-Translstor
Logic (MTL)-A Low-Cost Bipolar Logic Concept; IEEE J of SSC, sc-7, 5, Selten 340 bis 346, Oktober 1972, K. Hart
und A. Slob, Integrated Injection Logic: A New Approach to LSI; IEEE J. of SSC, sc-7, 5, Seiten 346 bis 351,
Oktober 1972, usw. Das I2L ermöglicht eine hohe Pakkungsdichte,
weist einen weiten Anwendungsbereich auf, Ist kompatibel mit herkömmlichen bipolaren Transistoren,
usw.
Im folgenden sollen zunächst anhand der Fig. IA und IB Einzelheiten und Funktion eines herkömmlichen I2L
erläutert werden, wobei Fig. IA ein Ersatzschaltbild und
Flg. IB die Struktur dieses Bauelements im Schnitt darstellen.
Wie die Flg. IA zeigt, ist das I2L als die Kombination
eines PNP-Transistors 11 mit gemeinsamer Basis und eines NPN-Translstors 12 mit gemeinsamem Emitter
gebildet. Der Emitter / des Transistors 11 wird gewöhnlich als »Injektor« bezeichnet, wobei eine Stromversorgung
mit diesem Anschluß verbunden ist. Die Basis B des Transistors 12 dient als Eingangsanschluß
und die Kollektoren Cx bis C% als Ausgangsanschlüsse,
wodurch Ausgangssignale In dem Mehrfachkollektor-System geliefert werden. Als Transistor 12 wird ein
gewöhnlicher Planartransistor verwendet, und zwar dadurch, daß dessen Emitter und Kollektor Invertiert
werden; der Emitter E Ist gemeinsam für das gesamte Bauelement mit Masse verbunden. Dlesd Situation ergibt
sich aus der Schnittansicht der Flg. IB, wobei ein lateraler
Transistor als der PNP-Translstor 11 verwendet wird.
In welchem ein P-Bereich 13 (mit beispielsweise emer
Störstellenkonzentratlon In der Größenordnung von 1018
cm"3) der Emitter Ist, eine epitaktisch aufgewachsene N-Halblelterschlcht
14 (mit beispielsweise einer Störstellenkonzentration in der Größenordnung von 1016 cm"3) die
Basis und ein P-Be-elch Ii (mit beispielsweise einer Störstellenkonzentratlon
In der Größenordnung von 10" cm"3) der Kollektor. Andererseits Ist der NPN-Translstor
12 derart aufgebaut, daß jeder N-Berelch 16 (mit beiapielsweise
einer Störstellenkonzentratlon In der Größenordnung von 1020 cm"3) der Kollektor Ist, daß der P-
- Bereich 15 die Basis Ist, und daß die epItakUsch aufgewachsene
N-halbleltersohicht 14 (beispielsweise eine N-tSilizlum-Epitaxie-Schicht)
der Emitter ist. Ein N*-burled-Player
191 und ein N+-Berelch 192 (mit beispielsweise
;%iner Störstellenkonzentratlon in der Größenordnung von
1020 cm"3) dienen zur Herausführung des gemeinsamen ,Masseanschlusses. Der Bereich 192 dient zur Verhinderung
des Übersprechens zwischen benachbarten Gates. Er wird als »N*-K.ragen« bezeichnet und weist manchmal
einen flachen Bereichstell neben einem den Bereich 191 kontaktierenden Teil auf und umgibt das I2L. Bei 17 ist
ein isolierender Film (aus SlO2 oder ähnlichem) gezeigt
Das Bezugszeichen 181 bezeichnet eine Injektorelektrode, das Bezugszeichen 182 eine Basiselektrode, die
Bezugszeichen 183, 183' und 183" Kollektorelektroden und das Bezugszeichen 184 eine Masseelektrode, die aus
Aluminium oder ähnlichem bestehen. Das Bezugszeichen 10 bezeichnet ein P-leltendes Halbleitersubstrat,
welches aus P-Slllzlum oder ähnlichem gebildet ist.
Wie sich aus der Figur ergibt, sind der Kollektor des PNP-Transistors 11 und die Basis des NPN-Transistors
\l als identischer P-Halbleiterberelch 15 ausgebildet.
Die Basis des PNP-Transistors 11 und der Emitter des *o
NPN-Transistors 12 sind die N-Epitaxieschicht 14, die
dem ganzen Bauelement gemeinsam ist.
Das vorstehend erläuterte I2L weist eine kleine Bauelementefläche
auf und einen geringen Leistungsverbrauch. Zusätzlich kann dieses Bauelement leicht auf einem
monolithischen Halbleiter-IC-Chip zusammen mit einer
Analogschaltung mit bipolaren Transistoren integriert werden. Es wird daher in großem Umfang benutzt.
Der Erfindung Hegt die Aufgabe zugrunde, das Bauelement
der eingangs bezeichneten Gattung derart auszugestalten, daß es als Festspeicher-Element arbeitet.
Die Lösung dieser Aufgabe ist im Kennzeichenteil des Patentanspruchs 1 angegeben; vortpf'hafte Ausgestaltungen
der Erfindung sind in den Unteransprüchen gekennzeichnet.
Aus der US-PS 41 12 509 Ist zwar ein Festspeicherelement
bekannt, doch handel' es sich dort um ein Bauelement in FAMOS-Bauweise. Dabei arbeitet ein FAMOS-Bauelement
einer ausgewählten Speicherzelle im Lesebetrieb als Schalttransistor eines MOS-Inverters. Daher
handelt es sich bei dem Datensignal aus der Speicherzelle um ein kleines Stromsignal. Bei der bekannten Schaltung
ist der Aufbau der perlpheren Schaltungskrelse schwierig; außerdem lassen sich Speicher mit kurzer Zugriffszelt bei
niedriger Versorgungsspannung mit der bekannten FAMOS-Schaltung nur schwer herstellen.
Bei Verwendung des erfindungsgemäßen Bauelements wirkt dagegen die jeweils angesteuerte Speicherzelle als
30
35
45
55 I2L-Gate. Daher läßt sich aus der angesteuerten Speicherzelle
ein Datensignal verhältnismäßig hohen Stroms ableiten, da die Speicherzellen selbst Stromtrelber-Funktlon
haben. Somit gestattet es das erfindungsgemäße Bauelement, einen Festspeicher aufzubauen, der bei
niedriger Versorgungsspannung hohe Zugriffsgeschwindigkeit gestattet.
Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachstehend anhand der Zeichnungen näher erläutert. In den
Zeichnungen zeigt
Flg. IA ein Schaltungsdiagramm einer Ersatzschaltung
bzw. Äquivalenzschaltung eines herkömmlichen I2L;
Fig. IB eine SchnUtansicht eines Bauelements des
herkömmlichen I2L;
FIg 2A eine Schnittansicht eines Bauelementeaulbaus eines ersun Ausführungsbeispiels einer I2L-Festwertspeicherzelle
gemäß der Erfindung;
,(] FI g. 2B ein schematiches Layout-Muster des ersten
Ausführungsbeispiels der I2L-Festwertspeicherze!Ie gemäß der Erfindung;
Flg. 3 ein schematlsches Schaltungsdiagramm einer
Speichermatrix, in welcher die I2L-Festwertspeicherzelle
des ersten Ausführungsbeispiels verwendet ist;
Fig. 4A eine Schnittansicht eines Bauelementeaufbaus
eines zweiten Ansführungsbeisplels der I2L-Festwertspeicherzelle
gemäß der Erfindung;
Flg. 4B ein schematisches Layout-Muster des zweiten
Ausführungsbeispiels der I2L-Festwertspeicherzelle gemäß
der Erfindung;
Flg. 5A eine Schnittansicht eines Bauelementeaufbaus
eines dritten Ausführungsbeispiels der I2L-Festwertspelcherzelle
gemäß der Erfindung;
Fig. 5B eine SchnUtansicht eines Bauelementeaufbaus
eines weiteren Teils des dritten Ausführungsbeispiels der I2L-Festwertspelcherzelle gemäß der Erfindung;
Fig. 5C ein schematisches Layoui-Muster des dritten
Ausführungsbeispiels der I2L-Festwertspelcherzelle gemäß der Erfindung;
Fig. 5D ein schematisches Schaltungsdiagramm einer Speichermatrix, in welcher die I2L-Festwertspeicherzelle
.des dritten Ausführungsbeispiels der Erfindung verwendet Ist;
Fig. 6A eine SchnUtansicht eines Bauelementeaufbaus
eines vierten Ausführungsbeispiels der I2L-Festwertspeicherzelle
gemäß der Erfindung;
Fig. 6B ein schematisches Layout-Muster des vierten
Ausführungsbeispiels der I2L-Festwertspelcherzelle gemäß
der Erfindung;
■ Fig. 6C ein Äquivalenz-Schaltbild des vierten Ausführungsbeispiels
der [2L-Festwertspeicherzel!e gemäß der Erfindung;
Fig. 7A eine Schnittansicht eines Bauelementeaufbaus
eines fünften Ausführungsbeispiels der I2L-Festwertspeicherzelle
gemäß der Erfindung;
Fig. 7B ein schematisches Layout-Muster des fünften Ausführungsbeispiels der PL-Festwertspeicherzelle
gemäß der Erfindung;
Fig. 7C ein Äquivalenz-Schaltbild des fünften Ausfijhrungsbelsplels
der I2L-Festwertspeicherzelle gemäß der Erfindung;
Flg. 8A eine SchnUtansicht eines Bauelementeaufbaus
eines sechsten Apsführungsbelsplels der PL-Festwertspeicherzelle
gemäß der Erfindung;
FI g. 8B ein schematisches Layout-Muster des sechsten
Ausführungsbeispiels der I2L-Festwertspelcherzelle gemäß
der Erfindung;
Fig. 8C ein Ersatzschaltbild des sechsten Ausfüh-
Fig. 8C ein Ersatzschaltbild des sechsten Ausfüh-
rungsbeisplels der PL-Festwertspeicherzelle gemäß der
Erfindung;
Fig, 9 ein schematisches Layout-Muster eines siebfen
Ausführungsbeispiels der 12L-Festwertspeicherzelle gemäß
der Erfindung;
Fig. 1OA eine Schnittansicht einer Bauelerrientestrüktur
eines achten Ausführungsbeispiels der PL-Festwertspeicherzelle gemäß der Erfindung;
Fig. 1OB ein schematisches Layout-Muster des achten
Ausführungsbeispiels der I2L-Festwertspeicherzelle ge- ίο
maß der Erfindung;
Fig. 11A eine Schnittansicht einer Bauelementestruktur
eines neunten Ausführungsbeispiels der PL-Festwert- . Speicherzelle gemäß der Erfindung;
Fig. HB ein schematisches Layout-Muster des neun- ,15 ten Ausführungsbeispiels der 12L-Festwertspelcherzelle '
gemäß der Erfindung;
Fig. 12A, 12B und 12C jeweils eine Schnittansicht, ein
schematisches Layout-Musler bzw. ein Ersatzschaltbild einer Bauelementestruktur eines zehnten Ausführungsbeispiels
der PL-Festwertspeicherzelle gemäß der Erfindung;
Fig. 13A, I3B und 13C jeweils eine Schnittansichl, ein
schematisches Layout-Muster bzw. ein Ersatzschaltbild einer Bauelementestruktur eines elften Ausführungsbelspiels
der PL-Festwertspelcherzelle gemäß der Erfindung;
Fig. 14A und 14B eine Schnittansicht bzw. ein schematisches
Layout-Muster einer Bauelementestruktur eines zwölften Ausführungsbeispiels der PL-Festwert-Speicherzelle
gemäß der Erfindung;
Fig. 15 ein Ersatzschaltbild einer ersten Art der PL-Festwertspeicherzelle
gemäß der Erfindung;
Fig. 16 ein Ersatzschaltbild einer Flip-Flop-Schaltung,
die unter Verwendung der ersten Art des PL-Dauerspeichers gemäß der Erfindung aufgebaut Ist;
Fig. 17 ein Ersatzschaltbild einer zweiten Art des I2L-Dauerspeichers
gemäß der Erfindung;
Fig. '8 ein Ersatzschaltbild einer Flip-Flop-Schaltung,
die unter Verwendung der zweiten Art des PL-Dauer-Speichers gemäß der Erfindung aufgebaut ist;
Fig. 19 eine Ansicht einer Fiip-Fiop-SchaUung, die
unter Verwendung der ersten und der zweiten Art von erfindungsgemäßen PL-Üauerspeichern aufgebaut 1st;
Fig. 20A. 2OB und 20C jeweils eine Bauelementestruktur
im Schnitt, ein schematisches Layout-Muster bzw. ein Ersatzschaltbild eines Ausführungsbeispiels
einer Flip-Flop-Schaltung, die unter \ erwendung von
PL-Dauerspeichern gemäß der Erfindung aufgebaut ist;
Fig. 2IA, 21B und 21C jeweils eine Bauelementestruktur
im Schnitt, ein schematisches Layout-Muster bzw. ein Ersatzschaltbild eines weiteren Ausführungsbeispiels einer Flip-Flop-Schaltung, die unter Verwendung
des erfindungsgemäßen PL-Dauerspeichers aufgebaut ist.
Ausführungsbeispiel I:
Die Fig. 2A und 2B dienen zur Erläuterung eines
ersten Ausführungsbeispiels der Festwertspeicherzelle gemäß der Erfindung. Die Fig. 2A zeigt eine Schnillansieht
der Struktur und die Flg. 2B ein schematisches Layout-Muster. Die F fg. 2A zeigt den Schnitt entlang
der Linie H-II* in der Fig. 2B. In den Figuren Ist der
Bereich 21 ein P-leltender Bereich (beispielsweise mit
einer Slörstellenkonzenlratfon von I0IT bis 10" era"').
Zwischen einem Basisbereich 15 (mit beispielsweise einer
Störstellenkonzentration von 10" bis 10" cm"J) eines
NPN-Transistors und dem P-Berelch 21 Ist In einem isolierenden
Film 22 (ein SIO2-FIIm oder ähnliches) ein freischwebendes Gate 23 angeordnet, das aus polykristallinen!
Silizium oder ähnlichem geformt Ist und beispielsweise eine Filmdicke von 0,1 bis 1 μΐη und einen
Schichtwiderstand von 20 bis 100 Ω/D aufweist.
Ein von einem Injektor 13 (der aus einem P-Berelch
besteht und eine Störstellenkonzentration von beispielsweise 10" bis 10" cm'"3 aufweist) in den Basisbereich 15
zu injizierender Strom wird durch In dem freischwimmenden
Gate 23 zu speichernde Ladungen gesteuert. Ein Bereich 14 (eine epitaktisch aufgebrachte N-Sillziumschlcht
oder ähnliches mit elnei Störstellenkonzentration von beispielsweise 1015 bis 10" cm"3) dient als Wortleitung
(WR) und gehört durch Isolationsbereiche, die als P-Bereiche 24 (mit einer Störstellenkonzentration von beispielsweise
1020 cm"3) In der FI g. 2ß ausgebildet sind,
nur gemeinsam zu den I2Ls In einer Wortleitungsrichtung.
Mit dem Bauelement gemäß diesem Ausführungsbeispiel Ist eine Festwertspeicherzelle unter Berücksichtigung
der nachstehend angegebenen Betriebsvorgänge aufgebaut.
(1) Wenn kein Elektron Innerhalb des freischwimmenden
Gates 23 existiert, 1st der Kanal eines MIS (Metall-Isolator-Ha!b!eiter)-Feldeffekttranslstors Q2t
(nachstehend mit »MISFET« abgekürzt) nicht In einem N-Berelch 25 unterhalb des Gates geformt
und daher arbeitet das vorliegende Bauelement als herkömmliche PL-Schaltung.
(2) Wenn Elektronen innerhalb des freischwimmenden Gates 23 existieren, ist der Kanal im N-Bereich 25
unterhalb des Gates geformt. Dadurch treten die von dem Injektorbereich 13 Injizierten Löcher durch
den Basisbereich 15 hindurch, strömen in den Kanalbereich hinein und In den P-Berelch 21 hinaus.
Zu diesem Zeltpunkt wird daher der Basisstrom des NPN-Translstors kleiner und damit auch der
durch den Kollektor 16 (der ein N*-Bereich ist und
eine Störstellenkonzentration von beispielsweise 10" bis 1021 cm"3 aufweist) fließende Strom wird kleiner
als in dem vorstehend genannten Fa!! (1).
Da wie vorstehend ausgeführt, die Anzahl der dem
freischwimmenden Gate 23 gespeicherten Elektronen als Veränderung des Kollektorstroms festgestellt werden
kann, wird der Speicherelement-Betrieb möglich Das Schreiben und Lesen dieses Speichers werden wie folgt
ausgeführt:
(1) Schreibmodus:
Die Flg. 3 zeigt eine Speichermatrix, welche dieses
Bauelement für eine Speicherzelle verwendet. Beim Schreiben werden eine Wortleitung WRl und eine
Bitleitung BWl verwendet, um beispielsweise eine Zelle 30 auszuwählen. Der Übergang zwischen dem
N-Berelch 14 (Wortleitung WR) und dem P-Berelch 21 (Blileltung BW) wird zum Durchbruch gebracht
(bei einer Durchbruchsspannung von beispielsweise 10 bis 100 V), um Elektronen In das freischwimmende
Gate zu Injizieren. Wenn ein Teil des Übergangs zwischen der N-Schlcht 14 und dem P-Berelch
21 mit einem In Berührung mit dem P-Berelch stehenden N+-Berelch geformt Ist, tritt der
Durchbruch bei einer niedrigeren Spannung ein, so daß die Schreibspannung verringert werden kann.
(2) Lesemodus:
Wenn die Wortleitung WRl auf das Potential Null
gebracht wird (wobei die Injektionsspannung etwa
29 47
ίο
15
20
0,7 V beträgt), kann entschieden werden, ob die
Speicherzelle 3Q auf »1«' öder »0« steht, In .dem der
durch eine Bltleitung BR 2 fließende Stron? festgestellt
wird. Andere Wortleitungen als die betreffende Wortleitung brauchen dabei 'nlcrlt auf derri hohen
Pegel (0,7 V) gehalten werden.
jDer Speicherinhalt wird dadurch gelöscht, daß das
Bauelement, mit ultravioletten Strahlen (etwa 10 bis 100
Minuten lang) bestrahlt wird.
Ausfuhrungsbeispiel 2:
Die Bauelemente-Struktur einer Speicherzelle entspricht der Darstellung In den FI g. 4A und 4B; dabei
wird das Substrat als Injektor 13 verwendet. Auf dieses Welse v/lrd die benötigte Fläche klein, so daß eine hohe
Packungsdichte des LSI-Stromkrelses ermöglicht wird. In
. diesem Fall erfolgen das Schreiben, das Lesen und das Löschen genauso wie im Fall des Ausführungsbeispiels 1.
Die Fig. 4A Ist eine Schnittansicht entlang der Linie IV-IV
in der Fig. 4B eines schematischen Layout-Musters.
Ausführungsbeispiel 3:
Die Fig. 5A, 5B, 5C und 5D zeigen ein Ausführungsbeispiel für den Fall, bei dem als Schreibmittel eine
Schrelb-Gateelektrode 15 auf einem freischwimmenden Gate 57 angeordnet Ist. Die Flg. 5A und 5B sind Schnittansichten,
die Flg. 5C ein schematiches Layout-Muster
und die FI g. 5D ein schema?isches Schaltbild einer Speichermatrix,
die das Bauelement dieses Ausführungsbeispiels als Speicherzelle verwendet. Die F i g. 5A verläuft
entlang der Linie X-X' In der Flg.5C; während die Fig. 5B entlang der Linie Y-Y' in der Flg. 5C verläuft.
In diesem Fall 1st es nicht erforderlich, einen Emitterbereich 55 des NPN-Transistors als Wortleitung zu verwenden.
Die Isolationsbereiche können daher weggelassen werden und die Packungsdichte des LSI-Stromkrelses
kann im Vergleich mit der der vorhergehenden Ausführungsbeisplele
groß gemacht werden. Beim Schreiben wird eine negative Vorspannung an eine Wortleitung WR ~*o
(P-Berelch 51) angelegt, so daß Ihre Übergangszone bzw.
Sperrschiciii. mit dem N-Bereleh 55 zürn Durehbruch
v kommt, und eine positive Spannung wird an eine als
Steuergate dienende Bitleitung BW angelegt, um Elektronen als »heiße« Ladungsträger hoher Beweglichkeit in «
dase freischwimmende Gate zu Injizieren.
Wenn die Wortleitung WR auf einen hohen Pegel gebracht wird (etwa 0,7 V), können beim Auslesen der
Daten die Daten in Abhängigkeit von der Größe des durch die Bltleitung BR fließenden Stromes entschieden
werden. Während des Auslesens müssen andere Wortleitungen als die zugeordnete Wortleitung WR auf dem
Potential Null gehalten werden. Die Struktur dieses Bauelements ist dadurch gekennzeichnet, daß der Injektorbereich
51 als Wortleltung verwendet wird.
Als Beispiel eines Gesichtspunkts der Leistungsfähigkeit eines erfindungsgemäßen Bauelements wird eine
ähnliche Bauelementestruktur verwendet und anstelle des freischwimmenden Gates das sog. MNOS-Spelcherbauelement,
welches aus einer Gate-Elektrode M aus Metall oder polykristallinem Silizium besteht, bei dem
ein Slliziumnltrld-Film Λ' und ein dünner Slllzlumoxld-FlIm
O geformt sind, wobei Ladungen In der Nachbarschaft
der Grenzfläche zwischen dem N- und 0-FiIm gespeichert werden, so daß die Generation oder Rekombinatlon
eines Kanals in der darunterliegenden Slllzlumoberfläche gesteuert werden und der gleiche Effekt erzielbar
Ist. Es muß dabei nicht hervorgehoben werden, daß auch andere Permanentspeicher-Bauelementestrukturen
,für den Ladungsspeicherabschnitt anwendbar sind.
Die wesentlichen Punkte der vorstehenden Ausführuhgsbelsplele 1, 2 und 3 sind nachstehend angeführt:
.v
.v
(1) Ein Permanentspeichesr-Bauelement, bei dem unter
Verwendung, einer I2L-Schaltung der Basisstrom
eines NPN-franslstörs als KoHektprstrpm überwacht
- werden kann',indem der erstere in·Abhängigkeit von
. ■/ der Anzahl von Ladungen Innerhalb eines frei-'·
schwimmenden Gate moduliert und der modulierte ' Strom verstärkt wird.
(2) Bauelemente-Struktur, in welcher In ein frelschwlm-.
rnendes Gate zu injizierende Ladungen dadurch erzeugt werden, daß die Sperrschicht zwischen
einem Emitterbereich eines NPN-Transistors und einem P-Steuerbereich, der bezüglich eines Basisbe-•
reiche auf der einem Injektorbereich gegenüberliegenden Seite geformt Ist, zum Durchbruch gebracht
wird (erstes Ausführungsbeispiel).
(3) Bauelemente-Struktur, in welcher ein Substrat als ■; Injektorbereich benutzt wird und die verbleibende
'■'■ Bauelemente-Struktur die gleiche Ist wie in dem Fall
(2) (zweites Ausführungsbeispiel).
.(4) Bauelemente-Struktur, in welcher eine Injektorlei-' tung als Schreib-Blt-Leltung verwendet wird (drittes . AusführungsbelsplelK
.(4) Bauelemente-Struktur, in welcher eine Injektorlei-' tung als Schreib-Blt-Leltung verwendet wird (drittes . AusführungsbelsplelK
(5) Permanentspeicher-Bauelemente-Struktur, die ein MOS-Permanentspelcher-Bauelement verwendet, in
welchem In Isolatoren, wie In einer MNOS-Bauelemente-Struktur
Ladungen gespeichert werden und ein Kanal in der Oberfläche eines Silizium-Substrats
zur Modulierung des Basisstroms eines NPN-Tran-
■ sistors in einer I2L-Schaltung gesteuert wird.
Ausführungsbeispiel 4:
Die Fig.6A, 6B und 6C zeigen ein viertes Ausführungsbeispiel.
Die FI g. 6A Ist eine Schnittansicht entlang
eier Linie VI-Vi' in einem schematischen Layout-Muster
der Flg. 6B; die Fig. 6C stellt ein Ersatzschaltbild dar. Das Bezugszeichen 60 bezeichnet eine N+-Schicht, die
entweder ein N+-Substrat (wie ein N+-Sllizlumsubstrat)
oder eine N+-Vergrabene Schicht In einem Lei-Stromkreis
ist, wie mit dem Bezugszeichen 191 in der Fig. 2A angezeigt. Beispielswelse hat sie eine Störstellenkonzentration
von 1018 bis 1021 cm'3.
Die Speicherwirkung bei diesem Ausführungsbeispiel besteht darin, daß die Existenz oder Nichtexistenz des
Kanals eines MIS-Feldeffekttranslstors ß6i zwischen P-Berelchen
15 und 62 (mit einer Störstellenkonzentratlon von beispielsweise 10" bis 10" cm"3) hervorgerufen wird,
und zwar durch die Existenz oder Nichtexistenz von Ladungen in einem freischwimmenden Gate 61 (welches
aus polykristallinen! Silizium oder ähnlichem hergestellt ist und einen Schichtwiderstand von beispielsweise 10 bis
100 LlIU aufweist). Dadurch wird der Leitungszustand .von der Basis 15 des I2L zum P-Berelch 62, der normalerweise
auf Erdpotential gehalten Ist, moduliert. Daher wird In einem von einem Injektor 13 (aus einem P-Berelch
mit einer Störstellenkonzentratlon von beispielsweise 10" bis 10" cm"3) In die Basis 15 Injizierten Injektlonsstrom
ein Strom, der unwirksam In den P-Berelch 62 hinausfließt, einer Variation unterzogen und der
Absorptionsstrom eines Kollektors 16 (der ein N+-Berelch
Ist und eine Störstellenkonzentratlon von beispielsweise 10" bis 1021 cm"3 aufweist) verändert sich.
» Zu diesem Zeltpunkt wird der Kollektorstrom das MultlpllkaUonsprodukt eines Baslsstroms und einer
» Zu diesem Zeltpunkt wird der Kollektorstrom das MultlpllkaUonsprodukt eines Baslsstroms und einer
Stromverstärkung, so daß die Variation des Kollektor-.stroms
groß wird. Durch Ermittlung dieser Variation wird das Auslesen durchgeführt. Bei dem vorliegenden
• Ausführungsbeispiel weist jede Zelle einen N+-Bereich 63
(mit, einer Störsteifenkonzentration von beispielsweise 10" bis 1021 cm"3) für das Schreiben auf.
Die Betriebsvorgänge der Speicherwirkung des vorliegenden
Ausführungsbeispiels werden nachstehend erläutert:
(1) Schreibmodus: Ein positives Potential (etwa 5 bis
50 V) bezüglich des Potentials auf einer Leitung WW (P-Berelch 62) wird an eine Leitung BW (In
Kontakt mit dem N-Berelch 63) angelegt, um den Lawlnendurchbruch zwischen den Bereichen 62 und
63 zu verursachen und Elektronen In dem freischwimmenden Gate 61 auf einem isolierenden
Film 64 (der aus, SlO2 oder ähnlichem besteht und
eine Dicke von beispielsweise 0,01 bis 0,1 μΐη aufweist)
anzusammeln.
(2) Löschmodus: Wird mit ultravioletten Strahlen durchgeführt.
(3) Lesemodus: Während die Leitung WW auf Erdpotential
gehalten wird und ein Strom von einer Leitung WR (die mit einer Injektorelektrcde 181 gekoppelt
ist und an die eine Spannung von etwa 0,7 V angelegt ist) zugeführt wird, wird der Pegel einer
Leitung BR (die mit einer Kollektorelektrode 183 gekoppelt ist) als Kollektorausgang des I2L
bestimmt.
Ausführungsbeispie! 5:
Die FIg. 7A, 7B und 7C zeigen die Struktur des Ausfiihrungsbelsplels
5. Die Fig. 7A Ist eine Schnittansicht
entlang der Linie VII-VII' in einem sche.-atlschen Layout-Muster der Flg. 7B, und die Fig. 7C .'eilt ein
Ersatzschaltbild dar. Bei diesem Ausführungsbeispiel ist ein N+-Bereich 70 (mit einer Störstellenkonzentration von
beispielsweise 10" bis 1021 cm"3), der gewöhnlich den N+-
Kragenbereich eines I2L bildet, unter einem freischwimmenden
Gate 61 angeordnet. In diesem Fall wird das Potential des Basisbereichs 70 eines parasitären PNP-Transistors
Q11 , der durch die Bereiche 15, 70, 14 und 62
geformt ist, durch Ladungen in dem freischwimmenden Gate 61 moduliert, wodurch die Stromverstärkung @ des
parasitären PNP-Transistors moduliert wird. Durch verschiedene Veränderungen der Länge (In Richtung der
Linie VII-VH') und der Breite (in einer senkrecht zur Linie Vll-Vir verlaufenden Richtung) des N*-Bereiches
70 können die Modifizierung des Basispotentials des PNP-Translstors Qn und der Betrieb eines P-Kanal-MOS-Transis»ors
O72, wie er im Ausführungsbeispiel 4
verwendet wurde, parallel zueinander durchgeführt werden. Durch Auswahl der Abmessungen des N+-Berelchs
70 kann in entsprechender Weise das Ausmaß der Leitung zwischen den P-Bereichen 15 und 62 willkürlich
gewählt werden und das Bauelement kann In einen Leitfähigkeitspegel eingestellt werden, bei dem ein Speichervorgang
leicht durchgeführt werden kann.
Die Betriebsvorgänge beim Schreiben, Löschen und
Lesen sind die gleichen wie bei dem Ausführungsbeispiel
4.
Ausführungsbeispiel 6:
Die FIg. 8A, 8B und 8C zeigen die Struktur des Ausführungsbeispiels
6. Die FIg. 8A ist eine Schnittansicht entlang der Linie VIII-VIH' in einem schematischen
Layout-Muster der Fig. 8B; die FIg. 8C stellt ein Ersatzschaltbild
dar. Bei diesem Ausführungsbeisplel 1st ein
Steuer-Gate 81 (aus Aluminium, polykristallinem Silizium oder ähnlichem) auf einem freischwimmenden
Gate 61 angeordnet. Es ist ein Bauelement dargestellt, bei dem ein Steuergate der Struktur des Ausführungsbelsplels
5 hinzugefügt Ist.
, Nachstehend werden nun die Betriebsvorgänge der Speicherung bei diesem Beispiel erläutert:
(1) Schreibmodus: In einem Zustand, bei dem eine Sperr-Vorspannung zwischen die Leitung WW und
einem Masseanschluß GND angelegt Ist, so daß die
Sperrschicht zwischen einer P-Schlcht 62 und einer N-Schicht 14 nahe an den Lawlnendurchbruch gerät
(mit einer Potentlaidifferenz von beispielsweise 10 bis 100 V), wird eine hohe positive Spannung an
eine Leitung BW(d\e mit dem Steuergate 81 verbunden
ist) angelegt. Nun werden Elektronen In dem freischwimmenden Gate zum Einschreiben von
Daten angesammelt. Dadurch wird das Potential eines N+-Bereichs 70 zur negativen Seite verschoben
und die Stromverstärkung eines PNP-Translstors Q1,
wächst an.
(2) Löschmodus: Bei dem vorstehend genannten
Zustand wird eine hohe negative Spannung (beispielsweise
-10 bis -100 V) an das Steuergate 81 angelegt, um L£r,her heranzuziehen und die Daten
zu löschen.
(3) Lesemodus: Strom wird in eine Leitung WR eingespeist
und der Pegel auf einer Leitung BR wird bestimmt.
Das freischwimmende Gate 61 und das Steuergate 81 können durch die sog. MNOS-Struktur ersetzt werden.
Sogar dann, wenn die N+-Schicht 70 von dem vorliegenden
Ausführungsbeispiel entfernt wird, so daß der Aufbau der Struktur des Ausführungsbeispiels 4 mit dem
zusätzlichen Steuergate (oder MNOS) entsteht, wird ziemlich der gleiche Effekt erzielt.
Ausführungsbeispiel 7:
Die Flg.9 zeigt ein siebtes Ausführungsbeispiel. In
dieser Figur bezeichnet das Bezugszeichen 91 einen P+- Isolationsbereich, das Bezugszeichen 92 einen N+-Kragen
und das Bezugszeichen 93 eine Schrelb-Wortleltung WW, die mit einem P-Berelch 62 verbunden Ist. Bei diesem
Ausführungsbelsplel wird zur Ausführung der Löschung
auch eine Lese-Bit-Leitung BR verwendet.
(1) Schreibmodus: Der Lawlnendurchbruch zwischen der Leitung WW und der Leitung BW wird hervorgerufen.
(2) Löschmodus: Beim Löschen reicht es aus, daß alle
Zellen gleichzeitig gelöscht werden können und daher 1st es nicht erforderlich, die Wortleitungen
und die Bitleitungen zu trennen. Es wird daher eine Spannung zunehmend zwischen die Leitung BE aller
Zellen (d. h. einer Erdpotentialleltung) und der Leitung BR (d. h. den Kollektor des I2L) angelegt,
wobei die Leitung BR an der negativen Seite liegt. Nun beginnt der Durchbruch über einen N*-Berelch
70 und einen Basls-P-Berelch 15, bevor eine Spannung
(beispielsweise ungefähr 15 V) vorliegt, bei welcher der C-E-Durchbruch eines Transistors auftritt;
der Transistor Ist aus der N-Schlcht 92 In Kontakt
mit dem Masseanschluß, dem Basls-P-Berelch 15 und einer KoIIektor-N*-Schicht 16 geformt. Eine
Spannung zu diesem Zeltpunkt Ist gewöhnlich die
Durchbruchsspannung der N*P-Sperrschlcht, deren Wert nahe 7 V beträgt. Wahrend also der Lawinen-
25
30
durchbruch verursacht wird, wird die Leitung WW
auf ein negatives Potential gebracht, um Löcher in ein freischwimmendes Gate zu injizieren und Daten
zu löschen.
Natürlich kann die Löschung auch mit ultravioletten Strahlen durchgeführt werden.
(3) Lesemodus: Während die Leitung BW (Masseanschluß) und die Leitung WW auf Massepotential gehalten werden und ein Strom an eine gewünschte Leitung WR angelegt wird, wird der Pegel der gewünschten Leitung BR zu diesem Zeitpunkt bestimmt.
(3) Lesemodus: Während die Leitung BW (Masseanschluß) und die Leitung WW auf Massepotential gehalten werden und ein Strom an eine gewünschte Leitung WR angelegt wird, wird der Pegel der gewünschten Leitung BR zu diesem Zeitpunkt bestimmt.
Ausführungsbeispiel 8:
Die FIg-IOA und !0B zeigen das Ausführungsbeispiel
8. Die Fig. 1OA ist eine Schnittansicht entlang der Linie X-X' In einem schematischen Layout-Muster der
Flg. 1OB. In dem Speicher der Struktur, in welcher ein
freischwimmendes Gate 104 auf dem peripheren Teil der Basis 15 eines I2L angeordnet ist, um den Kanal eines
-MISFET im peripheren Teil der Basis zu bilden, ist zur Steuerung eine P-Schicht 101 und ein P-Berelch 102 und
ein N-Bereich 103 zur Injektion von Ladungen in das freischwimmende Gate vorgesehen.
(1) Schreibmodus: Der Übergang zwischen den Bereichen 102 und 103 wird In den Lawlnendurchbruch
oder nahe an den Durchbruch gebracht und der Bereich 102 auf das Potential Null. Ein Masseanschluß
GND sowie der Bereich 101 werden auf ein positives Potential bezüglich des P-Bereichs 102
gebracht, um Elektronen In das freischwimmende Gate 104 zu injizieren.
(2) Löschmudus: Während der P-Bereich 102 und der Masseanschluß GND auf dem Potential Null gehalten
werden und der P-Bereich 101 auf einem negativen Potential gehalten wird, werden Löcher, die im
Übergang zwischen den Bereichen 102 und 103 erzeugt werden, in das freischwimmende Gate 104
injiziert.
(3) Lesemodus: Während der P-Bereich 101 auf Massepotential gehalten wird und ein Strom aus einer Leitung
WR (die mit einem injektoranschiuß 181 verbunden ist) zugeführt wild, wird der Pegel einer Leitung
BR (die mit einem Kollektoranschluß 183 verbunden ist) bestimmt. Wenn Elektronen in dem
freischwimmenden Gate 104 gespeichert sind, wird eine Inversionsschicht (N-Kanal) in der Nachbarschaft
der Oberfläche desjenigen Teils einer N-Schicht 14, die zwischen den P-3ere!chen 15 und
101 liegt, gebildet und die Leitfähigkeit zwischen den Bereichen 15 und 101 steigt an. Aus diesem
Grund nimmt der unwirksam aus dem Bereich 15 In den Bereich 101 fließende Strom zu, so daß die
Stromaufnahme oder -Absorptionsfähigkeit des KoI-Iektors
16 des I2L absinkt und das Potential auf der Leitung BR sich zur hohen Seite verschiebt. Wenn
die Ladungen des freischwimmenden Gate gelöscht sind, wird der N-Kanal nicht gebildet, und dadurch
verschiebt sich das Potential auf der Leitung BR zur niedrigen Seite. Der Unterschied der Potentiale wird
ausgelesen.
Ausführungsbelsplel 9:
Die Fi g. 1IA und IIB zeigen das Ausführungsbeispiel fi5
9. Die Flg. HA ist eine Schnittansicht entlang der Linie XI-XI' In einem schematischen Layout-Muster der
Fig. UB. Bei diesem Ausführungsbeispiel Ist ein N+-
Kragen 70 im peripheren Teil der Basis des I2L mit der
Struktur des A'.isführungsbelspiels 8 hinzugefügt. In
Abhängigkeit von der Existenz oder Nichtexlstenz von Ladungen in dem freischwimmenden Gate 104 wird das
Potential des kapazitiv mit dem freischwimmenden Gate 104 gekoppelten N+-Bereichs 70 verändert, um die
Stromverstärkung @ des PNP-Transistors im Kragenbereich zu verändern. Die Betriebsvorgänge des Schreibens,
des Löschens und Lesens sind die gleichen wie bei dem Ausführungsbeispiel 8.
,Bei den Ausführungsbeispielen 8 und 9 wird ein OxIdfllm
105 unter nur einem Teil des freischwimmenden Gate 104 dick gemacht. Diese Maßnahme dient dazu, zu
verhindern, daß der Kanal in dem entsprechenden Abschnitt (zwischen ^em Pchreib-P-Bereich 102 und
dem Steuer-P-Berelch lOi) wäi.^nu du* '—"--ns oder
Löschens geformt wird. Dementsprechend Kann ~/n
Kanal-Stopper auch dadurch geformt werden, daß eine N+-Schicht in diesen Abschnitt eingeformt wird.
Ausführungsbeispiel 10:
Die Fig. 12A, 12B und 12C sind Diagramme l~.
Erläuterung eines zehnten Ausführungsbeispiels des Pfmanentspeichers
gemäß der Erfindung. Die Fig. 12A Ist eine Struktur-Schnittansicht, die Fig. 12B ein schematiches
Layout-Mus'er und Fig. 12C ein Ersatzschaltbild. DJe Schnittansicht 12A verläuft entlang der Linie XII-XH'
in der Fig. 12B.
In den Figuren bezeichnet das Bezugszeichen 60 eine N+-Burled-Layer oder ein N+-Substrat, welches der
Schicht 191 in der Fig. IB entspricht und welches ein
Siliziumkörper mit einer Störstellenkonzenlration von 1Ö18 bis ΙΟ21 cm"3 ist. Das Bezugszeichen 14 bezeichnet
eine N-Sillzium-Epitaxieschicht, deren Störstellenkonzentration im Bereich von 1015 bis 1016 cm"3 liegt, das
Bezugszeichen 15 einen P-Bereich, dessen Störstellen konzentration 10n bis 10" cnr3 beträgt, das Bezugszeichen
25 einen P-Bereich, der dem Bereich 13 in der Fig. IB entspricht und dessen Störstellenkonzentration
1017 bis 10" cm"3 beträgt, das Bezugszeichen 16 einen .N+-Bereich, dessen Störstellenkonzentration 10" bis 1021
cm"3 beträgt und das Bezugszeichen 27 einen isolierenden Film (wie einen SIO2-FIIm). Das Bezugszeichen 28
bezeichnet ein freischwimmendes Gate, das aus polykristalllnem Silizium oder ähnlichem besteht und dessen
Schichtwiderstand 10 bis 100 Ω/α beträgt; das Bezugszeichen 26 bezeichnet einen N*-Bereich, der Innerhalb des
Injektionsbereichs 25 angeordnet Ist und der eine Störstellenkonzentration
von 1017 bis 10" cm"3 aufweist. Die
Buchstaben W,Bw und BR bezeichnen Elektrodcnleitungen
aus Aluminium oder ähnlichem. Bei 121 und 122 sind Elektrodenkontaktabschnitte dargestellt.
Ein Transistor 123 in der Fig. 12C ist aus den Bereichen
60, 14, 15 und 16 in der Fig. 12A aufgebaut; ein Transistor 124 ist aus den Breichen 25, 14 und 15 zusammengesetz;
ein Transistor 125 Ist aus den Bereichen 60, .14, 25 und 26 zusammengesetzt; ein MISFET 126 besteht
aus den Bereichen 15 und 25, einem das Gate isolierenden Film 27 und dem Gate 28. Wenn man annimmt, daß
die Bereiche 26 und 28 der Fig. 12A aus der Struktur
entfernt sind. Ist verständlich, daß ein I2L aus den Transistoren
122 und 124 gebildet ist. Erfindungsgemäß liegt das freischwimmende Gate 28 über der Basis des PNP-Translstors
des I2L unter Zwischenlage des Oxldfllms. Zur Bildung eines PN-Übergangs zur Injektion von
Ladungsträgern In das freischwimmende Gate 28 ist die N*-Schicht 26 innerhalb des Injektionsbereichs 25 angeordnet.
15
Die Betriebsvorgänge als Speiche werden nachfolgend erläutert:
(1) Wenn kein Ladungsträger (Elektron) Innerhalb des
freischwimmenden Gate 28 existiert, wird der Kanal eines Feldeffekttransistors mit isoliertem Gate (MIS-FET)
in der N-Schicht 14 unterhalb des Gate 28 nicht geformt und daher arbeitet das Bauelement als
herkömmliche I2L-Schaltung.
(2) Wenn Ladungsträger (Elektronen) Innerhalb des freischwimmenden Gate 28 existieren und der Kanal'
in der N-Schlcht 14 unterhalb des Gate 28 geformt ist, tritt ein Zustand auf, bei dem der PNP-Translstor
124 mit gemeinsamer Basis und der MISFET 126 parallel zwischen den P-Berelchen 25 und 15
angeordnet sind. In diesem Fall ist der in dem Transistor 123 fließende Strom größer als in dem Fall (1),
so daß der Kollektorstrom des Transistors 123 größer wird.
Auf die vorstehend erläuterte Weise kann der Inhalt des Speichers in Abhängigkeit von der Größe des Kollektorstroms
des NPN-Transistors 123 ausgelesen werden.
Nun werden mit Bezug auf die Fig. 12C die tatsächlichen
Schreib- und Leseverfahren beschrieben.
25
(1) Schreibmodus:
Unter Verwendung der Wortleitung W (die mit dem Bereich 25 verbunden ist) und der Bitleitung Bw (die
mit dem Bereich 26 verbunden ist) wie erforderlich, wird eine Spannung (von beispielsweise 5 bis 50 V)
angelegt, um den Durchbruch des PN-Übergangs (zwischen den Bereichen 25 und 26) hervorzurufen,
wodurch Ladungsträger in das freischwimmende Gate 23 injziert werden.
(2) Lesemodus:
Eine Spannung (ungefähr 0,7 V) wird an die erforderliche Wortleitung W angelegt, so daß die Bereiche
25 und 14 in Durchlaßrichtung vorgespannt werden können und Daten von der Bitleitung BR
(die mit dem Bereich 16 verbunden ist) ausgelesen werden. Die Daten werden in Abhängigkeit von der
Größe des Stroms, der durch die Bitleitung BR fließt, bestimmt.
(3) Der Speicherinhalt kann mit Ultraviolettstrahlung gelöscht werden.
Ausführungsbeispiel 11:
Die Fig. 13A, 13B und 13C zeigen ein elftes Auaführungsbeispiel.
Die Fig. 13A ist eine Schnittansicht entlang der Linie ΧΙΙΙ-ΧΙΙΓ in einem schematischen
Layout-Muster der Fig. 13B; die Fig. 13C stellt ein Ersatzschaltbild dar. Dieses Ausführungsbeispiel ist ein
Beispiel, bei dem eine auf einem freischwimmenden Gate angeordnete Schrelb-Gate-Elektrode 29 als Schreibelement
verwendet wird. Der Schrelbme-dus verläuft wie
bei dem Ausführungsbeispiel 10.
Das Schreiben erfolgt durch Anlegen einer hohen Spannung an die Schreib-Gate-EIektrode 29 (Bitleltung *
'BW) in einem Zustand, bei dem ein Kanal in der Oberfläche einer N-Schlcht 14 zwischen den P-Berelchen 15
und 13 geformt 1st, und bei dem der Übergang zwischen dem P-Bereich 15 und der N-Schicht 14 In Sperrichtung
nahe am Lawlnendurchbruch vorgespannt Ist, während man einen Strom von dem P-Berelch 13 fließen läßt und
dabei der P-Bereich 13 und die N-Schlcht 14 auf einer
hohen Spannung gehalten werden, während ein N-Bereich 16 auf einer niedrigen Spannung liegt. Zur
Absenkung der Schreibspannung kann zwischen dem P-
30
35
40
45 Bereich 15 und die N-Schlcht 14 ein stark dotierter P-
oder N-Bereich angeordnet werden.
Bei dem System gemäß diesem Ausführungsbeispiel Ist das freischwimmende Gate 28 derart angeordnet, daß
ein Oxldfllm zwischen dem freischwimmenden Gate 28 und dem Gate 29 Hegt. Das freischwimmende Gate 28
kann durch einen SI3N4-FiIm ersetzt werden. In diesem
Film 1st es nicht erforderlich, den Oxidfilm zwischen dem Si3N4-FiIm und dem Gate 29 anzuordnen. Bei Verwendung
des Sl3N4-FtImS ergibt sich der Vorteil, daß der'
Speicherinhalt ohne Verwendung ultravioletter Strahlung elektrisch neu eingeschrieben werden kann.
Ausführungsbeispiel 12:
Die Flg. 14A und 14B sind Ansichten zur Erläuterung
eines zwölften Ausführungsbeispiels des Permanentspeichers gemäß der Erfindung. Die Flg. 14A ist eine
Schnittansicht entlang der Linie XIV-XIV in einem schematischen Layout-Muster der Fig. 14B.
Das Bauelement gemäß diesem Ausführungsbeispiel unterscheidet sich von den Ausführungsbeispielen 10
und 11 In dein Verfahren des Elnschreibeas In das
freischwimmende Gate 28. Es ist dabei ein P-Berelch 141 wie in den Figuren dargestellt angeordnet. Der P-Berelch
wird als Steuerbereich (Leitung Q zum Schreiben verwendet. Dieses Bauelement nutzt überdies die Tatsache
aus, daß bei Existenz von Ladungen in dem freischwimmenden Gate 28 der Kanal für den MISFET-Betrleb
zwischen dem Injektorbereich 25 und dem Basisbereich 16 geformt ist.
Nachstehend wird nun der Schreibmodus, der Löschmodus und der Lesemodus zu dem Zeitpunkt erläutert,
wenn das in den Flg. 14A und 14B dargestellte Bauelement als Permanentspeicher betrieben wird.
(1) Schreibmodus: Ein positives Potential wird an eine
Leitung 5WOn Berührung mit einem NMJerelch 26
mittels eines Kontakts 121) mit Bezug auf eine Leitung Ww (P-Berelch 25) angelegt, um den Übergang
zwischen dem P-Bereich 25 und dem N+-Bereich 26 In den Zustand eines Lawlnendurchbruchs oder
nahe In den Zustand des Lawinendurchbruchs vorzuspannen. Überdies wird eine positive Spannung,
die in einem Bereich, der den Durchbruch nicht hervorruft, an die Leitung C (Steuerbereich 141) sowie
an einen Masseanschluß GND mit Bezug auf die Leitung Ww angelegt. Nun zeigt der P-Bereich 141
die Funktion eines Steuergatters für das freischwimmende Gate 28 und das Potential auf dem freischwimmenden
Gate 28 wird mit Bezug auf die Ww-Leitung
25 zur positiven Seite gezogen. Deshalb werden von den In der Nachbarschaft des Übergangs
zwischen den Bereichen 25 und 26 erzeugten Ladungsträgern Elektronen vorzugsweise in das
freischwimmende Gate 28 injiziert, so daß der Schreibvorgang erfolgt.
(2) Löschmodus: In gleicher Welse wie beim Schreiben
wird der Übergang zwischen den Bereichen 25 und 26 in den Lawlnendurchbruchszustand oder nahe
zum Lawlnenzustand vorgespannt. Zu diesem Zeltpunkt werden jedoch die M^-Leltung 25 und der
Masseanschluß auf Massepotential (Potential Null) gehalten und es wird eine große negative Spannung
an die C-Lcltung 141 In einem Bereich angelegt, der
keinen Durchbruch hervorruft. Auf diese Weise verschiebt sich das Potential auf dem freischwimmenden
Gate 28 zur negativen Potentialseite hin. Dementsprechend werden Löcher in das frelschwim-
inende Gate 28 aus dem Übergang zwischen den
Bereichen 25 und 26 Injiziert, so daß die Löschung erfolgt.
(3) Lesemodus: Durch Anlegen einer positiven Spannung aa eine Leitung WR (Injektorbereich 25) wird s
ein Strom injiziert und es wird bestimmt, ob der
Pegel auf einer Leitung BR (die mit dem Bereich 16
durch einen Kontaktabschnitt 122 verbunden ist) „hoch" oder „niedrig" 1st.
Wenn In dem freischwimmenden Gate Elektronen angesammelt werden, wird· eine Inversionsschicht (N-Kanal)
in der Nachbarschaft der Oberfläche einer N-Schlcht 14 zwischen den P-Berelchen 15 und 25 geformt.
Dementsprechend wachst der Injeltlonsstrom des I2L an, so daß der Absorptionsstrom des Kollektors 16 anwächst
und das Potential der Leitung BR sich zur »niedrigen^
Seite verschiebt. Wenn andererseits keine Ladung In dem ■freischwimmenden Gate angesammelt wird oder Lächer
fdarin angesammelt werden, verändert sich das Potential Jäer ÄR-Leltung zur »hohen« Seite. Diese Veränderung
fiwird ausgelesen. Während der Auslesung wird die C-LeI-tung
auf dem gleichen Potential gehalten wie die WR-Leitung,
oder es wird freigegeben oder auf Massepotential gebracht.
Die Positionen des Bereichs 141 und der Bereiche 25,
In diesem Ausfuhrungsbeispiel können miteinander vertauscht werden. In diesem Fall entspricht die C-LeI-tung
141 dem Injektor des I2L. Die Schreib- und Löschyorgänge
können wie bei diesem Ausführungsbeispiel erläutert erfolgen. Im Lesemodus wird der Bereich 141
als die WÄ-Leltung verwendet und das Potential des
Bereichs 25 sowie des Bereichs 26 werden auf einem geeigneten Wert gehalten. Die I2L-Permanentspelcher
gemäß den Ausführungsbeispielen 10, 11 und 12 haben die folgenden Eigenschaften:
(1) Anders als bei dem herkömmlichen Dauerspeicher auf der Basis der bloßen MISFETs wird der Strom,
der der Kanal-Modulation oder Verschiebung unter dem freischwimmenden Gate unterworfen ist, als
Basisstrom des inversen NPN-Transistors verwendet, der das I2L darstellt.
(2) Als Ergebnis der Maßnahme gemäß (1) wird der modulierte oder verschobene Kanal-Strom durch
den inversen NPN-Transistor verstärkt und daher wird die Feststellung des Speicherinhalts erleichtert.
(3) Durch Kombination des I2L und der Permanentspeicherstruktur
auf der Basis des freischwimmenden Gate, kann die Erzeugung einer hohen Spannung
zum Schreiben, die Feststellung zum Auslesen usw. leicht mit herkömmlichen Linearschaitungstechniken
bewirkt werden, da die PL-Schaltung mit gewöhnlichen linearen. Schaltungen kompatibel ist.
Die wesentlichen Punkte der Permanentspeicher der „
Ausführungsbeispieie 10, ii und 12 sind wie folgt anzugeben:
(1) Eine Struktur, in welcher ein freischwimmendes
Gate über dem Basisabschnitt des PNP-Transistors eines I2L angeordnet ist.
(2) Eine Struktur, In welcher ein freischwimmendes Gate rittlings über einer N-Schlcht 26 angeordnet
1st, die innerhalb des Injektors eines I2L vorgesehen
lst(Fig. 12A).
(3) Eine Struktur, In welcher ein freischwimmendes
Gate rittlings über einem P-Berelch 15 angeordnet ist, der die Basis des" inversen NPN-Translstors
eines I2L darstellt (Fig. 13A).
(4) Eine Struktur, In welcher zur Absenkung einer " Schrejbspannung in der Struktur der Fig. I3A ein
• stark dotierter P-Berelch oder N-Bereich an einem s Teil des Übergangs zwischen dem P-Berelch 15 und
einer N-Schlcht 14 angeordnet st.
'(S) Ein Verfahren, bei dem der Schreibvorgang auf dem
'(S) Ein Verfahren, bei dem der Schreibvorgang auf dem
Durchbruch eines PN-Übergangs beruht.
,(6) Ein Verfahren, bei dem der Schreibvorgang auf dem J- Durchbruch eines PN-Übergangs beruht und die '·· Unterstützung des Schreibvorgangs durch Anlegen einer positiven Spannung an eine Steuer-Gate-EIektrode erfolgt.
,(6) Ein Verfahren, bei dem der Schreibvorgang auf dem J- Durchbruch eines PN-Übergangs beruht und die '·· Unterstützung des Schreibvorgangs durch Anlegen einer positiven Spannung an eine Steuer-Gate-EIektrode erfolgt.
(7) Ein Verfahren, In welchem die Löschung auf
.- Bestrahlung mit ultravioletten Strahlen beruht.
(8) Ein Verfahren, in welchem die Löschung auf dem Durchbruch eines PN-Übergangs beruht, sowie auf
'· der Förderung der Injektion von Löchern durch
• Anlegen einer negativen Spannung an die Steuer-..-'
Gate-EJektrode.
<{9) Eine Struktur, in welcher die aufeinandergestapelten - Schichten aus o einem dünnen Gate-Oxid-Film
.: (höchstens 100 A dick) und einem Sl3N4-FiIm beste-
' '■ hen, anstelle des freischwimmenden Gate (die sog.
MNOS-Struktur).
(iü) Eine Struktur, in welcher zum Einschreiben von ■ Daten In das freischwimmende Gate ein P-Berelch
und ein N-Berelch Innerhalb des P-Bereichs separat von der PL-Struktur gebildet sind und bei welcher
die Durchführung des Schreibvorgangs auf dem Durchbruch des PN-Übergangs zwischen dem P-Berelch
und dem N-Berelch beruht.
Wie In der Fig. 15 dargestellt ist, ist die erste Art des
erflndungsgemäiJen Permanentspeichers (Ausführungsbeispiele 1 bis 9) dadurch gekennzeichnet, daß sie aus
einem Schaltelement SW zum Speichern von Daten und einer PL-Schaltung (die aus den Transistoren Qx und Qx
besteht) zur Verstärkung der Daten und zur Zuführung eines Signals an eine Bitleitung B aufgebaut ist.
Das Schaltelement SW zum Speichern der Daten ist aus einem MISFET mit einem freischwimmenden Gate,
einem PNP-Transistor mit freischwimmendem Gate, oder einem MISFET mit MNOS-Struktur aufgebaut und
ist mit der Basis des NPN-Translstors der PL-Schaltung 'verbunden. Die Funktion des Schalters SW wird Im eingeschalteten
oder abgeschalteten Zustand durch den NPN-Transistor des PL-Abschnitts verstärkt, um die Bitleitung
mit dem Signal zu versorgen. Bei dem Speicher des vorstehend genannten Aufbaus kann eine FIIp-FIop-Schaltung
unter Verwendung zweier Speicherschaltungen der Fig. 15 aufgebaut werden, wie in der Fig. 16 gezeigt.
In diesem Fall werden in die Schaker SWx und SW7
jeweils Inverse Daten eingeschrieben (wenn der Schalter SWx in den eingeschalteten Zustand gebracht Ist, ist der
Schalter SW7 im abgeschalteten Zustand).
Wenn die Flip-Flop-Schaltung gemäß der Fl g. 16 aufgebaut ist, ergibt sich der Vorteil, daß der Unterschied
zwischen dem eingeschalteten und dem abgeschalteten Zustand des Schalters kleiner sein kann als in dem Fall
der Schaltung der Fi g. 15. Jn cjem Fall, in welchem der
Schalter SWx, wenn auch geringfügig, mehr In dem eingeschalteten
Zustand ist als der Schalter SW1, wird der Anstieg der Basisspannung des NPN-Transistor Qx später
erfolgen als der Anstieg der Basisspannung des NPN-Translstors Q2, wenn die Ströme durch die PNP-Translstoren
Qx und Q2' bei Auswahl einer Wortleitung W zu
fließen begonnen haben. An die NPN-Transistoren wird
mit dem Anstieg der Basisspannungen der Transistoren
Qi und Q1 eine positive Rückkopplung angelegt und der
Anstieg eier Basisspannung des Transistors Q1 wird
zunehmend langsamer als der des Transistors Q1, so daß
letztlich die NPN-Translstoren Q] und Q1 In den abgeschalteten
bzw. den eingeschalteten Zustand geraten und stabil bleiben. D. h., daß die Schaltung der Flg. 16 den
gleichen Vorgang wie bei einem latenten Speicher ausführt,
der gewöhnlich wohlbekannt ist. Auf diese Welse wird bei der Schaltungsanordnung der Fl g. 16 der Unterschied
der Zustande zwischen Fällen ausgeprägter. In W
denen die Signale von auf den Bitleitungen B0 und B1
auftretenden Daten »1« und »0« sind. Da zusätzlich das Bitleitungssignal mittels eines Dlflerentlal-Paars geliefert
werden kann, ergibt sich der Vorteil, daß die Bestimmung des Bitleitungssignals erleichtert wird.
Die zweite Art einer erfindungsgemäßen Festwertspeicherzelle (Ausfuhrungsbeispiele 10 bis 12) kann als
Modell vie In der Fig. 17 dargestellt werden. Es ist äquivalent
mit einer Speicherzelle, In der ein Schaltelement t
.SWparalle! mit dem PNP-Translstor Q1' einer I2L-Schal-"
tung verbunden 1st. Das Schaltelement SW 1st aus einem MISFET mit einem freischwimmenden Gate oder einem
iMISFET mit MNOS-Struktur aufgebaut,
' Auch bei dieser Schaltung kann ähnlich wie bei der Schaltung nach Fig. 15 eine Flip-Flop-Schaltung durch Verwendung zweier Speicherzellen in der Flg. 17 aufgebaut werden, wie in der Flg. 18 dargestellt. In diesem - iFall können dadurch, daß den Zuständen der Schalter SW1 und SW1 ein Unterschied verliehen wird, die Anstiege der Basisspannungen der NPN-Translstoren Qx 'und Q2 unterschiedlich gemacht werden, wenn die Wortleitung W ausgewählt worden Ist. Die Fllp-FIop-Schaltung kann daher als latenter Speicher für den Fall der Fig. 16 betrieben werden und weist den gleichen Vorteil auf, wie in Verbindung mit der Flg. 16 ausgeführt.
' Auch bei dieser Schaltung kann ähnlich wie bei der Schaltung nach Fig. 15 eine Flip-Flop-Schaltung durch Verwendung zweier Speicherzellen in der Flg. 17 aufgebaut werden, wie in der Flg. 18 dargestellt. In diesem - iFall können dadurch, daß den Zuständen der Schalter SW1 und SW1 ein Unterschied verliehen wird, die Anstiege der Basisspannungen der NPN-Translstoren Qx 'und Q2 unterschiedlich gemacht werden, wenn die Wortleitung W ausgewählt worden Ist. Die Fllp-FIop-Schaltung kann daher als latenter Speicher für den Fall der Fig. 16 betrieben werden und weist den gleichen Vorteil auf, wie in Verbindung mit der Flg. 16 ausgeführt.
ι Wie vorstehend erläutert wurde, können beide Arten
der erfindungsgemäßen Permanentspeicher als latente Speicher durch Aufbau der Flip-Flop-Schaltungen betrieben
werden.
Eine Flip-Flop-Schaltung kann auch unter Verwen- <fo
dung beider Permanentspeicher nach den Fig. 15 und 17 aufgebaut werden.
Nachstehend wird nun ein Beispiel beschrieben, bei dem die Speicher der Flg. 15 und 17 kombiniert sind.
Die Fig. 19 Ist eine Ansicht dieses Beispiels. Ein
freischwimmendes Gate F, zwischen dem Injektor 13 eines Transistors Q1 und der Basis IS2 des Transistors Q1
ist mit einem freischwimmenden Gate F1 zwischen der
Basis 151 und der P-Schicht 21 eines Transistors Q2 angeschlossen.
Überdies ist ein freischwimmendes Gate Fx
zwischen dem Injektor 13 des Transistors Q1 und seiner
Basis 151 mit einem freischwimmenden Gate F,' zwischen der Basis 152 und der P-Schicht 21 des Transistors
Qi verbunden.
Es wird beispielsweise angenommen, daß die freischwimmenden Gates Fx und F2' mit Elektronen geladen
sind, während die freischwimmenden Gates F2 und F1'
mit Löchern geladen sind (oder Im ungeladenen Zustand
gelassen werden). In diesem Fall werden unter den Gates Ff und F1 Kanäle geformt, so daß die Leitung leicht
erfolgt, während unter den Gates F2 und F1' kein Kanal
geformt ist, so daß nur eine schlechte Leitfähigkeit besteht. Dadurch wird die positive Rückkopplung der
Fllp-FIop-Schaltung noch mehr verstärkt. Der Transistor
0i neigt daher mehr dazu, einzuschalten und der Translstör
neigt mehr dazu abzuschalten als diejenigen eines Permanentspeichers mit einem Aufbau, der nur entweder
die Gates F1, F2 oder die Gates F,', F1 verwendet; folg-
55
60 Hch v/elst diese Fllp-FIop-Schaltung den Vorteil auf, daß
die Unterscheldbarkelt von »1« und »0« leichter Ist. In
dieser Figur bezeichnet das Bezugszeichen 60 eine N+-
Schlcht, das Bezugszeichen 14 eine N-Schlcht und die
Bezugszeichen 161 und 162 N*-Bereiche, die als Kollektoren
dienen.
Ausführungsbelsplel 13:
Die FIg 2öA, 2OB und 2OC sind Strukturdiagramme
eines ersten Ausführungsbeispiels in der kombinierten Form. Die Struktur der Flg. 19 Ist dabei unter Verwendung
von Zwelschicht-Zwlschenverblndungen realisiert und die PN-Übergangsberelche (entsprechend Ww, 3WI
und Bwl) zum Schreiben sind zusätzlich hinzugefügt. Die
Fig. 20A Ist eine Schnittansicht entlang der Linie XX-XX'
in der Flg. 2GB und die Zwischenverbindungen der zweiten Schicht sind durch strichpunktierte Linien In der
Draufsicht der FIg. 2OB bezeichnet. Die Flg. 2OC Ist ein
Ersatzschaltbild.
" Schreibmodus: Wenn ein Transistor 0, abgeschaltet
und ein Transistor Q1 eingeschaltet werden sollen, wird
der Lawlnendurchbruch zwischen der Schrelb-Wortleltung Ww (P-Bereich 62 eines Steuerbereichs) und der Bitleitung
BWi (N+-Bereich 63) herbeigeführt, um Elektroden
In ein freischwimmendes Gate 61 und In ein damit verbundenes freischwimmendes Gate 28' zu Injizieren.
Genaugenommen werden alle Zellen vorher durch Bestrahlung mit ultravioletter Strahlung gelöscht.
Danach wird eine positive Spannung von etwa 7 bis 30 V
an die Bm -Leitung bezüglich der ^-Leitung angelegt,
um den Lawinendurchbruch zwischen dem P-Bereich 62 und dem N+-Berelch 63 auszulösen. Von den bei dem
Lawinendurchbruch erzeugten Elektronen und Löchern haben die Elektronen eine höhere Wahrscheinlichkeit,
durch einen Oxidfilm hindurch an den freischwimmenden Gates anzugelangen und daher wird die Injektion der
Elektronen bewirkt und die freischwimmenden Gates werden mit einem negativen Potential »beschrieben«.
(Wenn die Transistoren Qx und Q1 In die Inversen
Zustände gebracht werden sollen, wird das Schreiben zwischen der Leitung V/w und der Leitung BW1 nach
Ausführung der Löschung mit ultravioletten Strahlen durchgeführt.)
Lesemodus: Die Leitungen Ww und die Leitungen Bwx
und BW2 werden alle auf Massepotential gehalten. Eine
positive Spannung (ungefähr 0,7 V) bezüglich Masse wird an eine Leitung WR angelegt, um In diese einen Strom zu
injizieren. Die Leitung Wn (P-Bereich 13) wirkt als der
Injektor des I2L. Aufgrund des vorhergegangenen Schreibvorgangs speichern das freischwimmende Gate 61
und das damit verbundene freischwimmende Gate 28' die Elektronen in sich und sind daher negativ geladen.
Auf diese Weise werden Jnverslonsschlchten (P-Kanäle)
in denjenigen Teilen einer N-Schicht 41 gebildet, die unter dem Gate 28' und dem Gate 61 liegen. Aus diesem
Grunde fließt der Injektorstrom des Transistors Q1 mehr
als der des Transistors Q1, so daß der Transistor Q1 mit
einem höheren Grad eingeschaltet 1st als der Transistor Qi. Zusätzlich wird der von der Basis des Transistors Qx
an die Leitung Ww des Steuerbereichs entweichende
Strom größer als der Strom, der von der Basis des Transistors Q1 an die Leitung Ww entweicht, und dieser
Zustand neigt wiederum dazu, den Transistor Q1 noch
stärker in den abgeschalteten Zustand zu bringen. Dementsprechend wird eine Leitung BR0 geöffnet und
eine Leitung ßKI gerät auf einen niedrigen Pegel, so daß
»1« oder »0« ausgelesen werden kann. (Wenn der Schreibvorgang mit den Leitungen Bwl und Ww erfolgt
10
Ist, nähert der Transistor Q1 den eingeschalteten Zustand
an und der Transistor Q1 nähert sich dsm abgeschalteten
Zustand, wobei die Pegel der Leitungen BR0 und BKi
inverse Werte annehmen. Auf dies« Wels* kann »1«
oder »0« unterschieden werden.)
Löschmodus: Ein Speicherinhalt wird mit ultravioletten Strahlen gelöscht.
Die Flg. 2IA, 21B und 21C sind Strukturdarstellungen
eines. zweiten Ausführungsbeispiels In kombinierter Gestalt. Bei dem vorhergehenden Ausführungsbeispiel
13 sind die beiden Leitungen der Leitung Bm auf der (?,-Sette und die Leitung BW1 auf der 02-Seite als Schreib-
Bitleitungen erforderlich. Bei diesem Ausführungsbeispiel besteht ein beträchtlicher Unterschied zwischen den
Transistoren Qu und Q1 in der Mustergestalt^eines N+-
fCragens 100, der die Basis eines I2L umgibt,'wodurch der ,
,Transistor Q2 früher 'elnschaltev-wenri-'durch'-das
"schwimmende Gate (Im gelöschten Zustand)'kein Einfluß ausgeübt wird. Bei diesem Ausführangsbeispiel sind
die N+-Krägen 10» derart ausgebildet, daß'die einander
zugewandte Länge zwischen dem Injektor und der Basis des Transistors Q1 kürzer werden kann eis die des Transistors Q1. (Die Schraffierung In der Flg. 21B bezeichnet
keine Schnittflachen, sondern die N*-Krägen.) Bei einer
deartigen Struktur werden die Pegel so bestimmt, daß alle Transistoren Q2 in dem Zustand, In welchem alle
Zellen gelöscht sind, einschalten.
Schreibmodus: Nur dann, wenn es gewünscht Ist, den Zustand des Transistors Qt In den Einschaltzustand und
den Zustand des Transistors Q2 In den ausgeschalteten
Zustand zu verändern, wird eine Sperr-Vorspannung an
•Jen Übergang zwischen einer Leitung Ww und einer Leitung Bw angelegt, um einen Lawlnendurchbnich hervorzurufen und Elektronen in das freischwimmende Gate zu
injizieren.
Lessmodus: Ein Injektorstrom wird aus einer Leitung
Ww injiziert und die Entscheidung beruht auf dem Vorzeichen der Pegeldifferenz zwischen (den ^Leitungen BM
und B1n Zu diesem Zeitpunkt werden die'Pegel der LeI-" tungen Ww und Bw ähnlich denjenigen im Ausführungs-.belspiel 13 gemacht. ' '
Löschmcdus Es werden ultraviolette Strahlen verwendet.
Hierzu 15 Blatt Zeichnungen
Claims (1)
1. Bauelement In 12L-Schaltungstechnlk, enthaltend
(a) ein Halbleitersubstrat (14) eines ersten Leitfähigkeltstyps,
(b) einen Im Oberflächenberelch des Substrats (14)
angeordneten Injektionsbereich (13) des zu dem ersten Leitfähigkeitstyp entgegengesetzten zweiten
Ultfühlgkeltstyps,
(c) einen Im Oberflächenberelch des Substrats (14) In
Abstand zu dem Injektionsbereich (13) angeordneten Basisbereich (15) des zweiten Leltfählgkeltstyps,
und
(d) einen Innerhalb des Baslsberelchs (15) angeordneten
Kollektorbereich (16) des ersten Leitfähigkeitstyps,
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-
1979
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