DE2938158A1 - Schallwellenvorrichtung - Google Patents
SchallwellenvorrichtungInfo
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Description
The Secretary of State for Defence in Her Britannic Majesty's Government of the United
Kingdom of Great Britain and Northern Ireland Whitehall, London S.W.I., Großbritannien
Schallwellenvorrichtung
Die Erfindung betrifft eine Schallwellenvorrichtung mit Temperaturstabilisierung.
Schallwellenvorrichtungen können Oberflächen-Schallwellenvorrichtungen
(SAW-Vorrichtungen) oder Oberflächen-Gleitkörper-Schallwellenvorrichtungen
(SSBW-Vorrichtungen) sein. Derartige Vorrichtungen werden als Verzögerungsleitungen,
Rückkopplungselemente für Oszillatoren, Filter, Diskriminatoren uswT, verwendet.
In einer typischen SAW-Vorrichtung werden Schallwellen
entlang der flachen Oberfläche eines piezoelektrischen Substrats durch zwei Interdigital-Kammwandler abgegeben und
empfangen, die entlang einer Oberflächen-Schallwellen-Spur beabstandet sind. Eine SSBW-Vorrichtung ist mit der Ausnahme
gleich, daß die Schallwelle in den Körper des Substrates
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gerade unterhalb von dessen Oberfläche abgegeben wird.
Das zumeist übliche Substratmaterial ist Quarz. Es wird entlang gewählten Kristallachsen geschnitten, um eine
SAW-Vorrichtung oder eine SSBW-Vorrichtung zu erzeugen. Zusätzlich sollte der Schnitt eine Vorrichtung ergeben,
deren Kennlinien sich nicht merklich mit der Substrattemperatur ändern.
Ein derartiger Schnitt für SAW-Vorrichtungen ist ein sog. ST-Schnitt-Quarz. Ein anderer Schnitt (vgl. GB-Patentanmeldung
22 075/78) hat eine flache Oberfläche, die um die Y-Achse (ein gedrehter X-Schnitt) um plus oder minus 41° bis
45 von der Z-Ebene gedreht ist, wobei die Spur auf 63° bis 65° von der Y-Achse ausgerichtet ist, um die Spur im wesentlichen
senkrecht zu einer Kristall-Neben-Rhomboeder-Fläche zu machen. Es gibt eine Familie von Schnitten für SSBW-Vorrichtungen
(vgl. GB-Patentanmeldung 2750/77), in der die flache Substratfläche ein gedrehter Y-Schnitt-Quarz (um die
X-Achse gedreht) ist, wobei die Wandler so angeordnet sind, daß sich Schallwellen senkrecht zur X-Achse ausbreiten und
der Winkel des gedrehten Y-Schnittes im Bereich - 60° bis - 45° und 30° bis 45° liegt.
Mittels sorgfältig gewählter Kristallausrichtungen wurden Oberflächen-Schallwellen-Oszillatoren beschrieben, in
denen sich die Schwingungsfrequenz um ca. + 50 Teile/Million (ppm)
über einen Bereich von - 40 0C bis + 100 0C verändert. Dies
ist vergleichbar mit ca. + 10 ppm für herkömmliche AT-Schnitt-Quarz-Körper-Wellen-Vorrichtungen.
Eine Lösung des Problems der Frequenzstabilität gegenüber der Temperatur liegt darin,
die SAW-Vorrichtung in einem temperaturgesteuerten Ofen zu halten; dies ist jedoch für zahlreiche Anwendungen unpraktisch.
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Es ist daher Aufgabe der Erfindung, eine Schallwellenvorrichtung anzugeben, die wenigstens teilweise eine Änderung
der Kennlinien mit der Temperatur kompensiert.
Erfindungsgemäß hat eine Schallwellenvorrichtung wenigstens
zwei akustische Bauteile die elektrisch parallelgeschaltet sind, wobei jedes Bauteil eine ähnliche Phasensteilheit,
jedoch verschiedene Ubertragungsamplituden und Temperaturkoeffizienten
der Verzögerung besitzt und so angeordnet ist, daß der gesamte Temperaturkoeffizient über einem Nutz-Temperaturbereich
kompensiert wird.
Die akustischen Bauteile können z. B. Verzögerungsleitungen oder Resonatoren sein und mit Oberflächen-Schallwellen,
Oberflächen-Gleitkörper-Wellen oder Kombinationen von beiden zusammenwirken.
Die Bedingung ähnlicher oder gleicher Phasensteilheiten (d. h. eine Änderung der Phase mit der Frequenz bei einer gegebenen
Temperatur) gewährleistet, daß die Temperaturkompensation über einem Frequenzband erzielt wird. Da die meisten
Schallvorrichtungen aus Verzögerungsleitungen bestehen, die symmetrische Wandler verwenden, ist die Bedingung ähnlicher
oder gleicher Phasensteilheiten gleichwertig mit Verzögerungsleitungen, die die gleiche Weglänge besitzen, d. h. den gleichen
Mitte-zu-Mitte-Abstand des Eingangs- und des Ausgangswandlers, gemessen in Wellenlängen bei der Mittenfrequenz. In der
Praxis ist es zulässig, am Rand verschiedene Wellenlängen zu verwenden, um die erforderlichen Phasendifferenzen zwischen
Wegen einzustellen, wie dies weiter unten näher erläutert wird.
Es ist nicht erforderlich, daß die Verzögerungsleitungen physikalisch getrennt sind; z. B. kann eine Oberflächen-Schall-
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welle durch Interdigital-Wandler mit diskreten Biegungen oder mit einer Krümmung angeregt werden, um eine Schallanregung
in verschiedenen Richtungen auf einem Substrat zu gewährleisten.
Die Verzögerungsleitungen können jedes Substratmaterial verwenden, und sie können jede Schallwelle, einschließlich
Oberflächen-Schallwellen, Oberflächen-Gleitkörper-Schallwellen,
Bluestein-Gulyaer-Wellen, usw., vorsehen. Die einzige Anforderung liegt darin, daß einige Wellen in gleichen Richtungen
verschiedene Temperaturkoeffizienten der Verzögerung aufweisen sollten. In der Praxis ist es vorteilhaft, mit einem
etwas stabilen z. B. ST-Quarz zu beginnen. Das Substrat kann piezoelektrisch sein, z. B. ein Quarz, oder nichtpiezoelektrisch
mit piezoelektrischen Bereichen bei den Wandlern.
Im Prinzip kann ein hoher Kompensationsgrad erzielt werden, indem zahlreiche Spuren mit verschiedenen Amplituden
und Temperaturkoeffizienten verwendet werden. Jedoch kann ein in der Praxis vorteilhafter Kompensationsgrad erreicht werden,
indem gerade zwei oder drei Spuren vorgesehen werden (vgl. unten).
Eine Schallwellenvorrichtung hat also ein Substrat (3), das zwei oder mehr akustische Bau 'frj^S) trägt, die in verschiedenen
Richtungen ausgerichtet und elektrisch miteinander parallel verbunden sind. Die Phasensteilheit der akustischen
Bauteile ist gleich, jedoch sind deren Temperaturkoeffizienten der Verzögerung verschieden, wodurch deren sich ergebendes
Ausgangssignal über einen Nutz-Temperaturbereich kompensiert wird. Die akustischen /können eine Verzögerungsleitung
mit Oberflächenwellen oder Oberflächen-Gleitkörper-Wellen oder
Resonatoren mit einer oder mit zwei öffnungen sein, die Ober-
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flächenwellen verwenden.
Anhand der Zeichnung wird die Erfindung nachfolgend beispielsweise näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine Draufsicht eines Oszillators mit einer Schallwellenvorrichtung mit zwei
Verzögerungsleitungen,
Fig. 2a, b, c Phasendiagramme bei verschiedenen Temperaturen für die Vorrichtung der
Fig. 1,
Fig. 3 Frequenz-Temperatur-Kurven für verschiedene Quarzschnitte, die in Schallwellenvorrichtungs-Substraten
verwendet sind,
Fig. 4 eine Draufsicht einer Schallwellenvorrichtung mit drei Verzögerungsleitungen,
Fig. 5a, b, c Phasendiagramme bei verschiedenen Temperaturen für die Vorrichtung der
Fig. 3,
Fig. 6a, b Frequenz-Ansprech-Kurven der Schallwellenvorrichtungen bei verschiedenen
Temperaturen,
Fig. 7 eine Draufsicht einer Vorrichtung, die
zwei Resonatoren mit zwei öffnungen verwendet, und
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Fig. 8 eine Draufsicht einer Vorrichtung, die zwei Resonatoren mit einer einzigen
öffnung verwendet.
Wie in Fig. 1 gezeigt ist, hat ein Schallwellenoszillator 1 ein Quarzsubstrat 2 mit einer flachen Oberfläche 3,
die zwei Schallwellen-Verzögerungsleitungen trägt, nämlich eine Hauptverzögerungsleitung 4 und eine Hilfsverzögerungsleitung
5. Die Kristallorientierung der flachen Oberfläche 3 und die Ausrichtung der Verzögerungsleitungen 4, 5 bestimmen,
ob Oberflächen- oder Oberflächen-Gleitkörper-Wellen erzeugt werden.
Für eine SAW-Vorrichtung kann die Oberfläche 2 ein ST-Schnitt-Quarz
sein. Die Hauptverzögerungsleitung 4 ist ausgerichtet, damit sich Oberflächen-Schallwellen entlang der
X-Achse ausbreiten. Die Hilfsleitung 5 ist unter 41° zur X-Achse ausgerichtet, wie dies weiter unten näher erläutert
wird. Dieser besondere Winkel (41°) wird gewählt, da die SAW-Geschwindigkeit auf einem Mindestwert (wie in der X-Achse)
ist, so daß die Vorrichtung gegenüber Fehlorientierungen in der Herstellung unempfindlich ist.
Beide Verzögerungsleitungen 4, 5 sind so gezeigt, daß sie auf einem Substrat 2 ausgeführt sind; um jedoch die Fläche
des verwendeten Quarzes zu verringern, können sie auf getrennten Substraten angeordnet sein, die auf einer gemeinsamen
Unterlage festgelegt sind, wobei die Verzögerungsleitungen auf ihren jeweiligen Quarzstücken ausgerichtet sind, wie dies in
Fig. 1 dargestellt ist.
Die Hauptverzögerungsleitung 4 hat einen Eingangswandler 6 und einen Ausgangswandler 7, die entlang einer Hauptschall-
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spur 8 iiin eine Schallweglänge L beabstandet sind, die für
feste Wandler von Mitte-zu-Mitte eines Wandlers gemessen ist. Damit ein Wandler bei einer einzigen Mode (Schwingungsart) arbeitet, ist (vgl. GB-PS 1 451 326) die Länge des Eingangswandlers
6 gleich der Weglänge L, z. B. L= 2OO Wellenlängen.
In ähnlicher Weise hat die Hilfsverzögerungsleitung 5
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einen Eingangswandler und einen Ausgangswandler 10 entlang einer Hilfsspur 11.
einen Eingangswandler und einen Ausgangswandler 10 entlang einer Hilfsspur 11.
Die Weglänge (gemessen in Wellenlängen bei der Mittenfrequenz) der Hilfsverzögerungsleitung L1 ist gleich der Weglänge
L (wiederum gemessen in Wellenlängen bei der Mittenfrequenz) mit Ausnahme für ca. 1/4 λ , wobei \ eine Wellenlänge bei
der Mittenfrequenz ist, um eine Phasendifferenz von ca. 90° (im Beispiel der Fig. 2 von 110°) zwischen Signalen an den Ausgängen
der Verzögerungsleitung /'zu erzeugen. Alternativ können
die beiden Weglängen (gemessen in Wellenlängen) gleich sein, und es kann eine äußere Phasenverschiebung vorgesehen werden.
Der äußere Phasenschieber kann einstellbar sein.
Die Verzögerungsleitungen 4, 5 sind mit den Ausgangswandlern 7, 10 parallelgeschaltet, die an den Eingang eines Verstärkers
12 angeschlossen sind, dessen Ausgang mit beiden Eingangswandlern 6, 9 verbunden ist.
Im Betrieb erzeugen die Verzögerungsleitungen 4, 5 eine Mitkopplung zum Verstärker 12, damit der Oszillator bei einer
Frequenz arbeitet, die bestimmt ist durch die Wandler 6, 7, 9,
10, den Fingerabstand und die Weglängen L, L- der Verzögerungsleitungen 4, 5.
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Fig. 3 zeigt für verschiedene Orientierungen der Quarz-Schnitte, wie sich die Frequenz des Oszillators mit der
Temperatur verändert, wenn lediglich die Hauptverzögerungsleitung 4 mit dem Verstärker 12 verbunden ist. Der ST-Schnitt
und der um 45° gedrehte X-Schnitt haben beide parabolische Kurven.
Fig. 2 zeigt, wie sich die Phase der Signale von den Verzögerungsleitungen 4, 5 mit der Temperatur ändert. Die
Phasenmessungen werden erhalten, indem eine einzige Verzögerungsleitung mit einer Quelle konstanter Frequenz verbunden
und für verschiedene Temperaturen der Verzögerungsleitung die Phasendifferenz zwischen Signalen gemessen wird, die an
der Verzögerungsleitung liegen und von den Ausgangswandlern der Verzögerungsleitung erhalten werden.
Zunächst soll die Hauptverzögerungsleitung 4 betrachtet werden, wobei der Ausgang M bei Null-Phase bei 15 0C ist (vgl.
Fig. 2a). Durch Verringern der Temperatur auf - 40 0C (vgl.
Fig. 2b) und durch Erhöhen der Temperatur auf 70 0C (vgl.
Fig. 2c) verzögert sich die Phase. Der Grund hierfür ist aus Fig. 3 zu ersehen, d. h., 15 0C ist
dessen Seiten die Frequenz abfällt.
dessen Seiten die Frequenz abfällt.
Fig. 3 zu ersehen, d. h., 15 0C ist ca. ein Höchstwert, auf
Es soll nun die Hilfsverzögerungsleitung 5 mit einem Ausgang
A näher betrachtet werden, der um 110° bezüglich der Hauptverzögerungsleitung
bei 15 0C verzögert ist, und der bei 15 0C
senkrecht zur Resultante R der beiden Verzögerungsleitungen liegt. Wie oben erläutert wurde, kann diese 110°-Phasendifferenz
durch etwas verschiedene Weglängen in den beiden Verzögerungsleitungen erzielt werden.
Der summierte Ausgang R der beiden Verzögerungsleitungen A, 5, nämlich die Resultante, ist um ca. 20° relativ zur Be-
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zugsphase verzögert und bleibt konstant, wenn sich die Phasen der beiden Verzögerungsleitungen 4, 5 mit der Temperatur
verändern. Damit ist der summierte Ausgang R der Verzögerungsleitungen 4, 5 im wesentlichen unabhängig von der Temperatur,
zumindest über dem Bereich von - 40 0C bis 70 0C, was zu einer
stabilen Oszillatorfrequenz führt.
Die Ausrichtung der Hilfsverzögerungsleitung 5 wird so
gewählt, daß über einem interessierenden Temperaturbereich die Phasenabweichung der Hilfsspur nicht ca. + 60 überschreitet.
Wenn größere Abweichungen erlaubt sind, wird die Kompensation weniger wirksam.
Die Amplitude des Signales und die Ausrichtung oder Justierung der Hilfsverzögerungsleitung 5 sind so gewählt, daß
die summierte Resultante R bei einer konstanten Phase bleibt. Eine Näherungsformel für die Amplitude a der Hilfsspur (bezüglich
einer Einheitsamplitude in der Hauptspur) und den linearen Temperaturkoeffizienten der Verzögerung, nämlich ß, der Hilfsspur
zum parabolischen Temperaturkoeffizienten der Verzögerung, nämlich et , der Hauptspur ist gegeben durch:
- a
NTa
mit N = Anzahl der Wellenlängen in jedem Weg.
Typische Zahlen (von einer Demonstrationsvorrichtung) sind « = 3 · 1O~9/°C2, ß = - 15 * 10~6/°C, N = 200, a = 1/4.
In der Praxis kann a oder ß etwas größer als in dieser Formel sein, um die Kompensation über einem ausgedehnten Temperaturbereich
zu optimieren.
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Eine andere Anforderung an die beiden Verzögerungsleitungen 4, 5 ist deren relative Frequenz-Ansprech-Änderung
mit der Temperatur, wie dies in Fig. 6 gezeigt ist. Da die beiden Verzögerungsleitungen 4, 5 verschieden orientiert
sind, ändert sich deren Frequenz-Ansprechen verschieden mit der Temperatur, z. B. die Hauptkeulen 15, 16 im
typischen sin x/x-Frequenz-Ansprechen der Haupt- und der Hilfsleitung 4, 5 stimmen nicht weiter ausreichend überein,
um ein summiertes Ausgangssignal zu erzeugen, wenn sich die Temperatur von einem eingestellten Wert weg verändert (vgl.
Fig. 6b). Eine Lösung hierfür liegt in der Verwendung einer Breitband-Hilfsverzögerungsleitung-Kurve 18, z. B. in kürzeren
Wandlern als für die Hauptverzögerungsleitung 4. Zusätzlich oder alternativ kann die Hilfsverzogerungsleitung
5 gewichtete Wandler verwenden, wie dies z. B. durch eine Kurve 17 gezeigt ist. Dies kann auch einen höheren Grad der
Temperaturkompensation, d. h. über einem weiteren Temperaturbereich, erzeugen.
Das Frequenz-Ansprechen für einen um 45° gedrehten X-Schnitt-Quarz-Kristall
(vgl. Fig. 3) zeigt keine parabolische Kurve. Jedoch kann eine Hilfsverzogerungsleitung 5 verwendet
werden, um einen Frequenzabfall mit tieferwerdender Temperatur zu kompensieren, wie dies oben erläutert wurde.
Um eine Kompensation bei höheren Temperaturen zu vermeiden, ist das Frequenz-Ansprechen des Hilfswandlers leicht von demjenigen
der Hauptspur versetzt, so daß es sich aus der Übereinstimmung mit der Hauptverzögerung bei diesen höheren Temperaturen
bewegt, wie dies schematisch in Fig. 6b gezeigt ist. Alternativ kann dieses Ergebnis erreicht werden, indem weitere
Hilfsspuren verwendet werden.
Fig. 4 zeigt eine andere SAW-Vorrichtung, die zwei Hilfs-
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Verzögerungsleitungen 5, 20 verwendet. Die zweite Verzögerungsleitung
20 ist ein Zusatz zu der Vorrichtung der Fig. 1 und ist gleich wie die erste Hilfsverzögerungsleitung 5, jedoch verschieden
ausgerichtet, so daß deren Phasenänderung mit der Temperatur ein entgegengesetztes Vorzeichen zur Phasenänderung der
ersten Hilfsverzögerungsleitung hat; zusätzlich sind beide Hilfsverzögerungsleitungen 5, 20 so angeordnet, daß sie die
Hauptverzogerungsleitung 4 kreuzen. Diese Phasenänderung ist in Fig. 5c gezeigt, in der bei 15 0C die Signale von beiden Hilfsverzögerungsleitungen
in Phase sind. Bei - 40 0C und 70 0C
sind sie um gleiche Beträge aus der Phase. Die Resultante R1
der summierten Ausgangssignale M1 , A1, A_ der drei Verzögerungsleitungen ist im wesentlichen in der Phase und in der Amplitude
über dem Bereich von - 40 0C bis 70 0C konstant.
Andere Anordnungen als Oszillatoren können hergestellt werden, indem erfindungsgemäße temperaturkompensierte Schallwellenvorrichtungen
verwendet werden. Dies sind z. B. Diskriminatoren, die spannungsgeführte Oszillatoren steuern (vgl.
GB-PS 1 483 735), Zwitscherfilter, Resonatoren, Bandpaßfilter.
Fig. 7 zeigt einen mit zwei öffnungen versehenen Resonator
mit Temperaturstabilisierung ähnlich zu demjenigen der Verzögerungsleitungen der Fig. 1. Ein Quarzsubstrat 22 trägt
einen Hauptresonator 23, der angeordnet ist, um Oberflächen-Schallwellen entlang der X-Achse des ST-Schnittes auszubreiten,
und einen Hilfsresonator 24, der vorgesehen ist, um bei
41° zur X-Achse auszubreiten. Der Hauptresonator 23 hat zwei Interdigital-Kammwandler 25, 26, die zwischen zwei Sätzen 27,
28 reflektierender Streifen vorgesehen sind. In ähnlicher Weise hat der Hilfsresonator 24 zwei Wandler 29, 30, die zwischen
zwei Sätzen 31, 32 reflektierender Streifen angeordnet
sind.
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Die Bedingung ideal gleicher Weglängen in den beiden Verzögerungsleitungen der Fig. 1 gilt nicht für die Resonatoren.
Stattdessen ist die Kreisgüte Q für die beiden Resonatoren ideal gleich, wobei Q der Gütefaktor ist, der durch
alle Verlustvorgänge bestimmt ist, z. B. durch die akustische Ausbreitung auf dem Medium und durch elektrische Verluste.
Im Betrieb arbeitet die Vorrichtung, um eine Temperaturstabilisierung
zu erzeugen, wobei die sich ergebenden gemischten Ausgangssignale eine relativ konstante Phase aufweisen,
wenn sich die Phasen-Ubertragungskennlinien der beiden Resonatoren mit der Temperatur verändern, wie dies z. B.
in Fig. 2 gezeigt ist.
In einer Abwandlung werden zwei oder mehr Hilfsresonatoren in einer zur Fig. 4 ähnlichen Weise für die Verzögerungsleitungen verwendet.
Fig. 8 zeigt in ähnlicher Weise zu den Resonatoren der Fig. 7 mit zwei Öffnungen Resonatoren mit einer einzigen
Öffnung, wobei einander entsprechende Bauteile mit den gleichen Bezugszeichen versehen sind. Ein eine Öffnung aufweisender
Resonator verwendet lediglich einen Wandler sowie herkömmliche Quarz-Kristall-Körper-Wellen-Resonator-Oszillatoren.
Der Betrieb für die Erzeugung der Temperaturstabilisierung ist gleich wie für das Ausführungsbeispiel der Fig. 7,
In einem alternativen Aufbau verwendet die Vorrichtung der Fig. 8 zwei oder mehr Hilfsresonatoren, die wie für die
Verzögerungsleitungen der Fig. 4 vorgesehen sind.
Andere piezoelektrische Substrate als Quarz können ver-
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wendet werden, ζ. B. die Familie Tl-AX4 mit A = V, Nb oder
Ta und X=S oder Se; Bleikaliumniobat; Lithiumtantilat; Lithiumniobat. Für Substrate ohne einem Null-Temperatur-Koeffizienten,
z. B. Lithiumniobat, kann die Erfindung auch verwendet werden, um eine Temperaturkompensation über einem begrenzten
Temperaturbereich zu erzeugen.
Der Temperaturbereich, für den eine Kompensation durch die erläuterten Ausführungsbeispiele erzielt wird, kann ein
durch die Bedienungsumstände der Vorrichtung gewählter Bereich innerhalb - 40 0C bis 100 0C sein.
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e e r s e 11 e
Claims (13)
- AnsprücheSchallwellenvorrichtung, bei der ein akustisches Bauteil Wandler besitzt, um Schallwellen entlang einer akustischen Spur in einem Substrat abzugeben und zu empfangen,gekennzeichnet durchwenigstens zwei akustische Bauteile (4, 5; 4, 5, 20; 23, 24), die elektrisch parallelgeschaltet sind, wobei jedes Bauteil (4, 5, 20, 23, 24) eine ähnliche Phasensteilheit, jedoch verschiedene Temperaturkoeffizienten besitzt und so angeordnet ist, daß der sich ergebende Gesamt-Temperaturkoeffizient über einem Nutz-Temperaturbereich kompensiert ist.
- 2. Schallwellenvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,daß die akustischen Bauteile (4, 5, 20, 23, 24) in verschiedenen Kristallrichtungen auf einem Substrat (3; 22) so angeordnet sind, daß die verschiedenen Temperaturkoeffizienten entstehen.
- 3. Schallwellenvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,daß die akustischen Bauteile (4, 5, 20, 23, 24) wenigstens zwei verschiedene Ubertragungsamplituden bewirken.293-(JX 5496/O5)-E0300U/0817
- 4. Schallwellenvorrichtung nach Anspruch 3, gekennzeichnet durchein piezoelektrisches Substrat (3, 22).
- 5. Schallwellenvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,daß die akustischen Bauteile (4, 5, 20, 23, 24) Oberflächen-Schallwellenvorrichtungen sind.
- 6. Schallwellenvorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,daß die akustischen Bauteile (4, 5, 20, 23, 24) auf einem einzigen Substrat (3, 22) angeordnet sind.
- 7. Schallwellenvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,daß die akustischen Bauteile (4, 5, 20, 23, 24) Verzögerungsleitungen sind, die jeweils einen Eingangswandler (6, 9) und einen Ausgangswandler (7, 10) besitzen.
- 8. Schallwellenvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,daß die Verzögerungsleitungen (4, 5, 20, 23, 24) physikalisch getrennte Eingangswandler (6, 9) und Ausgangswandler (7, 10) haben.
- 9. Schallwellenvorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet,daß ein Wandler (6, 9; 7, 10) von jeder Verzögerungsleitung zusammen als ein einziger Wandler mit Winkel-Teilen vorgesehen ist, um eine Schallwelle in zwei oder mehr verschiedenen Richtungen abzugeben oder zu empfangen.0300U/0817
- 10. Schallwellenvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,daß die akustischen Bauteile Resonatoren (23, 24) sind, deren jeder wenigstens einen Wandler (25, 26, 29, 30) aufweist, der zwischen zwei Sätzen von Reflektoren (27, 28; 31, 32) angeordnet ist.
- 11. Schallwellenvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,daß die akustischen Bauteile (4, 5, 20, 23, 24) auf verschiedenen Substraten angeordnet sind.
- 12. Schallwellenvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,daß die akustischen Bauteile (4, 5, 20, 23, 24) Oberflächen-Schallwellenvorrichtungen sind.
- 13. Schallwellenvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,daß die akustischen Bauteile (4, 5, 20) Oberflächen-Gleit-Schallwellenvorrichtungen sind.030014/0817
Applications Claiming Priority (1)
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