NL7907049A - Geluidsgolfinrichting. - Google Patents

Geluidsgolfinrichting. Download PDF

Info

Publication number
NL7907049A
NL7907049A NL7907049A NL7907049A NL7907049A NL 7907049 A NL7907049 A NL 7907049A NL 7907049 A NL7907049 A NL 7907049A NL 7907049 A NL7907049 A NL 7907049A NL 7907049 A NL7907049 A NL 7907049A
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
sound
parts
transducer
sound wave
different
Prior art date
Application number
NL7907049A
Other languages
English (en)
Original Assignee
Secr Defence Brit
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Secr Defence Brit filed Critical Secr Defence Brit
Publication of NL7907049A publication Critical patent/NL7907049A/nl

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/46Filters
    • H03H9/64Filters using surface acoustic waves
    • H03H9/6489Compensation of undesirable effects
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/02535Details of surface acoustic wave devices
    • H03H9/02818Means for compensation or elimination of undesirable effects
    • H03H9/02834Means for compensation or elimination of undesirable effects of temperature influence
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/125Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/145Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
    • H03H9/14544Transducers of particular shape or position
    • H03H9/1455Transducers of particular shape or position constituted of N parallel or series transducers
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/125Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/145Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
    • H03H9/14544Transducers of particular shape or position
    • H03H9/14594Plan-rotated or plan-tilted transducers
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/46Filters
    • H03H9/64Filters using surface acoustic waves
    • H03H9/6423Means for obtaining a particular transfer characteristic
    • H03H9/6433Coupled resonator filters
    • H03H9/6486Coupled resonator filters having crossing or intersecting acoustic tracks, e.g. intersection in a perpendicular or diagonal orientation
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/125Driving means, e.g. electrodes, coils
    • H03H9/145Driving means, e.g. electrodes, coils for networks using surface acoustic waves
    • H03H9/14544Transducers of particular shape or position
    • H03H9/14547Fan shaped; Tilted; Shifted; Slanted; Tapered; Arched; Stepped finger transducers

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
  • Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)

Description

The Secretary of State for Defence in Her Britannic Majesty’s Government of the United Kingdom of Great Britain and northern Ireland, te Londen, Groot Brittannië
Geluidsgolfinri chting,
De uitvinding heeft betrekking op een geluidsgolfinrich-ting, voorzien van een temperatuur-stabilisatie,
Geluidsgolfinrichtingen kunnen bestaan uit oppervlakte-geluidsgolfinrichtingen (SAW) of massa-geluidsgolfinrichtingen (SSBW) met 5 strijking langs het oppervlak, Dergelijke inrichtingen worden gebruikt als vertragingslijnen, terugkoppelingselementen naar oscilatoren, zeven, discriminatoren, enz,
In een gebruikelijke SAW-inrichting worden geluidsgolven gezonden en ontvangen langs het platte oppervlak van een piëzo-elektrische 10 onderlaag door twee vingervormig inelkaar grijpende, kamtransductoren, die op onderlinge afstand liggen langs een oppervlakte-geluidsgolfbaan.
Een SSBW-inrichting is soortgelijk, behalve dat de geluidsgolf wordt gezonden in de massa van de onderlaag vlak onder het oppervlak daarvan,
Het gebruikelijkste onderlaagmateriaal is kwarts. Het wordt 15 gesneden langs gekozen kristalassen voor het verschaffen van een SAW-inrich ting of SSBW-inrichting, Bovendien moet de snede een inrichting verschaffen, waarvan de eigenschappen niet waarneembaar veranderen met de temperatuur van de onderlaag.
Een dergelijke snede voor SAW-inrichtingen is zogenoemd 20 ST-gesneden kwarts. Een andere snede, beschreven in de Britse octrooiaan vrage No, 22.075/78, is met het platte oppervlak gedraaid rond de Y-as (een gedraaide X-snede) over plus of min 1*1-U70 vanaf het Z-vlak, waarbij de baan onder 63-65° is gericht vanaf de Y-as voor het in hoofdzaak loodrecht maken van de baan op een klein rhomboedrisch kristalvlak, Een groep 25 sneden voor SSBW-inrichtingen is beschreven in de Britse octrooiaanvrage 7907049 '4* ' * t •yt ....
2 2,750/77, waarbij het platte oppervlak van de'onderlaag bestaat uit gedraaid Y-gesneden kwarts (gedraaid rond de-X-as), en de transductoren zijn uitgevoerd voor het voortplanten van geluidsgolven loodrecht op de X-as, en de hoek van de gedraaide Y-snede tussen min é0° tot min ^5° en 30° tot 5 ^5° ligt,
Onder gebruikmaking van nauwkeurig gekozen kristalrichtingen zijn oppervlakte-geluidsgolfoseilatoren gemaakt, waarbij de frequentie van de trilling met ongeveer +_ 50 delen per miljoen verandert over het bereik van min ^0°C tot + 100°6, Dit is te vergelijken met ongeveer + 10 delen 10 per miljoen voor gebruikelijke AT-gesneden kwarts-massagolfinrichtingen.
Een oplossing voor het vraagstuk van de frequentiestabiliteit ten opzichte van de temperatuur bestaat uit het in een voor wat betreft de temperatuur geregelde oven houden van de SAW-inrichting, hetgeen echter voor vele toepassingen onpraktisch is, 15 Een doel van de uitvinding is het verschaffen van een geluidsgolf inrichting, die althans ten dele een vereffening verschaft voor een verandering in eigenschappen met de temperatuur,
Overeenkomstig de uitvinding omvat een geluidsgolfinrichting althans twee geluidsonderdelen, die elektrisch parallel zijn gescha-2o keld, waarbij elk onderdeel is voorzien van een soortgelijke fasehelling, maar van verschillende overbrengingsamplituden en temperatuur-verdragings-coëfficiënten, en zodanig is uitgevoerd, dat de totale temperatuurscoëffi-ciënt over een bruikbaar temperatuursbereik wordt vereffend.
De geluidsonderdelen kunnen bijvoorbeeld vertragingslijnen 25 zijn of resonatoren, en kunnen werkzaam met oppervlakte-geluidsgolven, massagolven met strijking langs het oppervlak of een combinatie van beide,
De toestand van soortgelijke fasehellingen (dat wil zeggen verandering van fase met de frequentie bij een bepaalde temperatuur) ver-sekert, dat de temperatuursvereffening over een frequentieband wordt ver-30 kregen, Omdat het merendeel van de geluidsinrichtingen bestaat uit vertral gingslijnen, waarbij symmetrische transductoren worden toegepast, is de toestand van soortgelijke fasehellingen equivalent aan het zijn voorzien van de vertragingslijnen van dezelfde haanlengte, dat wil zeggen met een hart-afstand tussen de ingangs-en uitgangstransductoren, gemeten in golflengten 35 bij de middelpuntfrequentie, In de praktijk is het toelaatbaar miniem 7907049 3 /+ ** ip verschillende baanlengten te gebruiken voor het instellen van de vereiste faseverschillen tussen de banen, zoals hierna besproken.
Het is niet nodig dat de vertragingslijnen fysisch zijn gescheiden, waarbij bijvoorbeeld een SAW kan worden bekrachtigd door 5 vingervormig in elkaar grijpende transductoren met afzonderlijke bochten of met een kromming voor het verzekeren van geluidsbekrachtiging in verschillende richtingen op een onderlaag,
De vertragingslijnen kunnen gebruik maken van een willekeurig onderlaagmateriaal, en van een willekeurige geluidsgolf, met inbe-10 grip van SAW-, SSBW-, Bluestein-Gulyaer-golven, enz. De enige eis is, dat bepaalde golven in bepaalde richtingen verschillende teraperatuur-vertra-gingscoefficiënten hebben, In de praktijk is het nuttig uit te gaan van iets stabiels, SR-kwarts, De onderlaag kan piëzo-elektrisch zijn, bijvoorbeeld kwarts, of niet-piëzo-elektrisch met piëzo-elektrische gebieden bij 15 de transductoren,
In beginsel kan een grote mate van vereffening worden bereikt door toepassing van vele banen met verschillende amplituden en tem-peratuurscoëfficiënten. In de praktijk echter kan een bruikbare mate van vereffening worden bereikt door toepassing van slechts twee of drie banen, 20 zoals hierna beschreven,
De uitvinding wordt nader toegelicht aan de hand van de tekening, waarin: fig. 1 een bovenaanzicht is van een oscilator met de geluidsgolfinrichting, voorzien van twee vertragingslijnen, 25 de fig. 2a-c fasediagrammen zijn bij verschillende tempe raturen voor de inrichting volgens fig, 1, fig, 3 frequentie-temoeratuurkrommen toont voor verschillende kwartssneden, gebruikt in onderlagen voor de geluidsgolfinrichting, fig, 1* een bovenaanzicht is van de geluidsgolfinrichting, 30 voorzien van drei vertragingslijnen, de fig, 5a-c fasediagrammen tonen bij verschillende temperaturen voor de inrichting volgens fig, 3, de fig, 6a-b frequentie-aanspreekkrommen tonen van de acoustische golfinrichting bij verschillende frequentie, 35 fig, 7 een bovenaanzicht is van de inrichting onder 7907049 1 ^ 1» gebruikmaking van twee resonatoren met twee poorten, en fig. 8 een bovenaanzicht is van de inrichting onder gebruikmaking van twee resonatoren met een enkele poort.
Zoals is weergegeven in fig, 1 omvat een geluidsgolfosci-5 lator 1 een kwart sonderlaag 2, voorzien van een plat oppervlak 3, dat twee geluidsgolfvertragingslijnen draagt, te weten een hoofdvertragingslijn k en een huiprertragingslijn 5. De kristalrichting van het platte oppervlak 3 en de gerichtheid van de vertragingslijnen H, 5 bepalen of oppervlakte-of massagolven met oppervlaktestrijking worden opgewekt, 10 Voor een een SAW-inrichting, kan het oppervlak 2 bestaan uit ST-gesneden kwarts, De hoofdvertragingsli,in U is gericht voor het voortplanten van oppervlaktegeluidsgolven volgens de X-as, De hulplijn 5 is gericht onder Hl0 ten opzichte van de X-as, zoals hierna wordt beschreven. Deze bepaalde hoek van U1° is gekozen, omdat de SAW-snelheid zich op 15 een minimum bevindt (zoals op de X-as), zodat de inrichting ongevoelig is voor foute richtingen in de produktie.
Zoals weergegeven, zijn beide vertragingslijnen U,5 gevormd op een onderlaag 2, waarbij echter voor het verkleinen van het gebied van gebruikt kwarts, de lijnen kunnen worden gevormd op afzonderlijke on-20 derlagen, bevestigd aan een gemeenschappelijke montering, vooropgesteld dat de vertragingslijnen op hun betrokken stukken kwarts zijn gericht zoals in fig, 1,
De hoofdvertragingslijn U omvat een ingangstransductor 6 en een uitgangstransductor 7 op onderlinge afstand langs een hoofdgeluidsbaan 25 8, welke geluidsbaanlengte L de transductor hartafstand is voor vaste stof transductoren, zoals weergegeven. Wanneer de oscilator op êên enkele wijze werkzaam moet zijn, moet de lengte van de ingangstransductor 6, zoals geleerd in het Britse octrooischrift 1.U51.326, gelijk zijn aan de baandlengte L, bijvoorbeeld L=200 golflengten, Qp een soortgelijke wijze 30 omvat de hulpvertragingslijn 5 een ingangstransductor 9 en een uitgangs transductor 10 langs een Hulpbaan 11,
De baanlengte (gemeten in golflengten bij de middelpunt-frequentie) van de hulpvertragingslijn is gelijk aan de baanlengte L (weer gemeten in golflengten bij de middelpuntfrequentie) behalve voor 35 ongeveer een l\ , waarbij \ de golflengte is bij de middelpunt frequent ie, y o o ·« 7907049 ' tr 5 voor het verschaffen van een faseverschil van ongeveer 90° (in het voorbeeld van fig, 2: 110°) tussen signalen hij de uitgangen van de vertragingslijnen, Ook kunnen de twee baanlengten (gemeten in de golflengten) gelijk zijn, waarbij een uitwendige faseverschuiving wordt gebruikt. De uitwendige 5 faseverschuiver kan verstelbaar zijn.
De vertragingslijnen U, 5 zijn parallel geschakeld met de uitgangstransudctoren 7,10, verbonden met de ingang van een versterker 12, waarvan de uitgang is verbonden met de twee ingangstransductoren 6,9,
Tijdens bedrijf verschaffen de vertragingslijnen U,5 een IQ positieve terugkoppeling naar de versterker 12, zodat de oscilator kan werken bij een frequentie, bepaalt door de transudctoren 6, 7, 9, 10 de vingerafstand en baandlengten L, L·^ van de vertragingslijnen h,5.
Fig, 3 toont de wijze waarop de freauentie van de oscilator zou veranderen met de temneratuur indien alleen de hooörertragingslijn b 15 zou zijn verbonden met de versterker 12, voor verschillende richtingen van kwartssneden. Zowel de ST-snede als de over ^5° gedraaide X-snede hebben parabolische krommen.
Fig. 2 toont de wijze waaron de fase van signalen van de vertragingslijnen U,5 verandert met de temperatuur, De fasemetingen worden go verkregen door het verbinden van een enkele vertragingslijn met een kon- stante frequentiebron, en het meten van het faseverschil tussen signalen, geplaatst op de vertragingslijn en die, verkregen van de uitgangstransduc-tor van de vertragingslijn voor verschillende vertragingslijntemperaturen.
Eerst wordt de hoofdvertragingslijn U beschouwd met de 25 uitgang M op de nul fase bij T5°C, fig. 2a. Zowel het verlagen van de tem peratuur tot -U0°C, fig, 2b, als het verhogen daarvan tot 70°C, fig. 2c, vertraagt de fase, De reden hiervoor is te zien in fig, 3, dat wil zeggen dat 15° ongeveer een maximum is waarbij de frequentie aan weerszijden hiervan daalt, 2Q Thans wordt de hulpvertragingslijn 5 beschouwd, voorzien van een uitgang A, die over 110° is vertraagd met betrekking tot de hoofdvertragingslijn bij 15°, en die bij 15°C loodrecht on de resultanten R van de twee vertragingslijnen. Zoals hiervoor opgemerkt, kan dit 110° faseverschil worden bereikt door de iets verschillende baanlengten in de twee 35 vertragingslijnen.
7907049 > 6
De gesommeerde uitgang R van de twee vertragingslijn 4,5, dat wil zeggen de resultanten, is ongeveer 20° vertraagd met betrekking tot de vergelijkingsfase, en blijft 'gelijk-.wanneer de fasen van de twee vertragingslijnen 4, 5 met de temperatuur veranderen. De gesommeerde uit-5 gang R van de vertragingslijnen 4, 5 is dus in beginsel onafhankelijk van de temperatuur, althans over het bereik van -4o°C tot T0°C, met als gevolg een stabiele oseilatorfrequentie.
De gerichtheid van de hulpvertragingslijn 5 is zodanig gekozen, dat over een van belang zijnd temperatuursbereik, de fase afwij-10 king van de hulpbaan + 6θ° niet overschrijdt. Indien grotere afwijkingen worden toetstaan, wordt de vereffening minder doeltreffend.
De amplitude van het signaal en de gerichtheid van de hulpvertragingslijn 5 zijn zodanig gekozen, dat de gesommeerde reaaltante R op een gelijke fase blijft. Een benaderingsformule, die de amplitude a 15 van de hulpbaan (met betrekking tot de amplitude-eenheid in de hoofdbaan) en de lineaire temperatuurvertragingscoëfficiënt 0 van de hulpbaan in verband brengt met de parabolische temperatuurvertragingscoëfficiënt α van de hoofdbaan is L ]..« ' 20 ,!ij in.
waarin N het aantal golflengten is in elke baan. Gebruikelijke getallen (voor een demonstratie-inriehting) zijn α = 3.10“^/°C^, 8 =* - 15.10"/^C, N » 200, a = ζ. In de praktijk kan a of β iets groter waden gemaakt dan 25 aangegeven in deze formule voor het tot een optimum opvoeren van de ver- : effening over een uitgebreid temperatuursbereik,
Een andere beperking van de twee vertragingslijnen 4,5 is een onderlinge frequentie-aanspreekverandering met de temperatuur, zoals weergegeven in fig, 6, Omdat de vertragingslijnen 4, 5 verschillend zijn 30 gericht, veranderen hun frequentie-aansprekingen op andere wijze met de temperatuur, waarbij bijvoorbeeld de hoofdlussen 15,16 in de gebruikelijke sin x/x frequentie-aanspreking van de hoofd- en hulplijnen 4,5, niet langer voldoende samenvallen voor het verschaffen van een gesommeerde uitgang als temperatuursveranderingen weg van een ingestelde waarde, fig. 6b. Een 35 oplossing hiervoor is het toepassen van een hulovertragingslijnkromme 18 7907049 7 met een brede band, bijvoorbeeld kortere transductoren, dan voor de hoofd-vertragingslijn Daarbij of inplaats daarvan kan de hulpvertragingslijn 5 gebruik maken van belastte transductoren, zoals bijvoorbeeld weergegeven door de kromme 17, Dit ken tevens een grotere mate van temperatuurvereffe-5 ning verschaffen, dat wil zeggen over een breder temneratuursbereik, De frequentieaanspreking voor een over ^5 gedraaid, X-gesneden kwartskristal, weergegeven in fig. 3, vertoont geen parabolische kromme, Een hulnvertra-gingslijn 5 kan echter worden gebruikt voor het vereffenen van de daling in de flsquentie bij het verlagen van de temperatuur, zoals hiervoor beschre-10 ven, Voor het voorkomen van vereffening bij hoge temperaturen, is de frequentie-aanspreking van de hulptransductor enigszins versprongen ten opzichte van die van de hoofdbaan, zodat hij uit samenvalling beweegt met de hoofdvertraging bij deze hogere temperaturen, zoals schematisch weergegeven in fig, 6b, Dit resultaat kan ook worden bereikt door het toepassen 15 van verdere hulpbanen.
Fig, U toont een andere SAW-inrichting, die gebruik maakt van twee hulpvertragingslijnen 5, 20, De tweede vertragingslijn 20 is een toevoeging bij de inrichting volgens fig, 1, en is dezelfde als de eerste hulpvertragingslijn 5, maar anders gericht, zodat zijn faseverandering 20 net temperaturen van een tegengesteld teken is ten opzichte van die van de eerste hulpvertragingslijn, waarbij bovendien de twee hulpvertragingslijnen 5,20 zijn aangebracht voor het kruisen van de hoofdvertragingslijn b.
Deze faseverandering is weergegeven in fig, 5c, waarin bij 15°C de signalen van de twee hulpvertragingslijnen in fase zijn. Bij -Uo' 3C en 70°C zijn 25 zij in gelijke mate uit fase, De resultante van de gesommeerde uitgangen M1, , A2 van de drie vertragingslijnen is in beginsel gelijkblijvend in fase en amplitude over het bereik van -Uo°C tot 70°C,
Andere inrichtingen dan oscilatoren kunnen worden gemaakt onder toepassing van de onderhavige, voor de temperatuur vereffende, ge-30 luidsgolfinrichting, Bijvoorbeeld discriminatoren, die in spanning geregel de oscilatoren regelen, zoals in het Britse octrooischrift 1,^83.735, in ruiszeven, in resonatoren, banddoorlaatzeven,
Fig. 7 toont een resonator met twee poorten, voorzien van een temoeratuursstabilisatie op een soortgelijke wijze als van de vertra-35 gingslijnen volgens fig 1, Een kwartsonderlaag 22 draagt een hoofdresonator ··* 7907049 8
βΡ ' V
23,uitgevoerd voor het voortplanten van oppervlaktegeluidsgolven volgens de X-as, van de ST-snede, en een hulnresonator 2k, uitgevoerd voor het. voortplanten onder Hl0 ten opzichte van de X-as, De hoofdresonator 23 omvat twee vingervormig in elkaar grijpende kamtransductoren 25,26, aangebracht 5 tussen twee stellen terugkaatsingsstroken 31, 32,
De toestand van ideaal gelijke haarlengten in de twee vertragingslijnen volgens fig, 1 geldt niet voor resonatoren, In plaats daarvan is de geladen resonator Q in het ideale geval gelijk, waarbij Q de kwaliteitsfaktor is, bepaald door alle mechanische verliezen, bijvoor-10 beeld geluidsvoortplanting op een medium, en elektrische verliezen.
Tijdens bedrijf is de inrichting werkzaam voor het verschaffen van een temperatuurstabilisatie, waarbij de daaruit voortvloeiende samengevoegde uitgangen een betrekkelijk gelijkblijvende fase hebben wanneer de fase overbrengeigenschappen van de twee resonatoren veranderen 15 met de temperatuur, bijvoorbeeld zoals in fig. 2,
In een andere uitvoeringsvorm worden twee of meer hulpre-sonatoren gebruikt op een soortgelijke wijze als weergegeven in fig, h voor de vertragingslijnen,
Fig, 8 toont de toepassing van resonatoren met een enkele 2o poort op dezelfde wijze als de resonatoren met twee poorten volgens fig, 7, waarbij gelijke elementen zijn voorzien van gelijke verwijzingscijfers, Een resonator met een enkele poort gebruikt slechts één transductor, zoals algemeen bekend voor gebruikelijke kvartskristal-massagolf-resonator-osci-latoren, 25 De werking voor het verschaffen van temoeratuursstabilisa- tie is dezelfde als voor fig, 7.
Bij een andere constructie van de inrichting volgens fig, 8 wordt gebruik gemaakt van twee of meer hulpresonatoren, uitgevoerd zoals de vertragingslijnen volgens fig, *4, 30 Andere piëzo-elektrische onderlagen dan kwarts kunnen worden gebruikt, Bijvoorbeeld de groep Tl^AX^, waarin A bestaat uit V, Nb of Ta, en X uit S of Se, lood-kaliumniobaat, lithium-tantilaat, lithium-niobaat, Voor onderlagen, die geen nul-temperatuurscoëfficiënt hebben, bijvoorbeeld lithium-niobaat, kan de uitvinding toch worden gebruikt voor 35 ' het verschaffen van een temperatuursvereffening over een beperkt tempera- tuursbereik.
7907049 "9 *
Het temneratuurshereik, waarvoor vereffening wordt verschaft door de weergegeven voorheelden, kan een bereik zijn, gekozen door de bedrijfsomstandigheden van de inrichting, tussen -kO°C en 100°C,
Het is duidelijk, dat veranderingen en verbeteringen kunnen 5 worden aangebracht zonder buiten het kader van de uitvinding te treden, 7907049

Claims (8)

1, Geluidsgolfinrichting, waarbij een geluidsonderdeel transductormiddelen omvat voor het zenden en ontvangen van geluidsgolven 5 langs een geluidsbaan in een onderlaag, gekenmerkt door althans twee ge- luidsonderdelen (^,5 of !+, 5, 20 of 23,2^), welke onderdelen elektrisch parallel zijn geschakeld en elk (U,5,20,23,2¾) zijn voorzien van een soortgelijke fasehelling, maar verschillende temperatuurscoëfficiënten, en zodanig zijn uitgevoerd dat de verkregen totale temperatuurscoëfficiënt 10 over een bruikbaar temperatuursbereik wordt vereffend,
2, Inrichting volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat de geluidsonderdelen in verschillende kristairichtingen zijn aangebraeht op een onderlaag (3 of 22) voor het verschaffen van de verschillende temperatuurscoëfficiënten, 15 3, Inrichting volgens conclusie 2, met het kenmerk, dat de geluidsonderdelen (H, 5, 20, 23, 2b) althans twee verschillende over-brengingsamplituden verschaffen, k. Inrichting volgens conclusie 3, gekenmerkt door een piëzo-elektrische onderlaag,
5. Inrichting volgens conclusie 3, met het kenmerk, dat de geluidsonderdelen (U, 5, 20, 23, 2b) oppervlakte-geluidsgolfonderdelen zijn,
6, Inrichting volgens conclusie U, met het kenmerk, dat de geluidsonderdelen (bt 5, 20, 23, 2h) óp éën enkele onderlaag (3*22) 25 zijn aangebracht.
7. Inrichting volgens conclusie 3, met het kenmerk, dat de geluidsonderdelen {b, 5, 20, 23, 2b) bestaan uit vertragingslijnen, die elk een ingangstransductor (6,9) en een uitgangstraraductor (7,10) bevatten, 30 8, Inrichting volgens conclusie 3, met het kenmerk, dat de vertragingslijnen (U, 5, 20, 23, 2b) zijn voorzien van fysisch gescheiden ingangstransductoren (6,9) en uitgangstraasductoren (7,10), 9» Inrichting volgens conclusie 5, met het kenmerk, dat êên transductor (6, 9 or 7,10) van elke vertragingslijn is samengevoegd 35 tot een enkele transductor, voorzien van onder een hoek staande gedeelten 7907049 voor het zenden of ontvangen van geluidsgolven in de twee of meer verschillende richtingen.
10, Inrichtingvolgens conclusie 3, met het kenmerk, dat de geluidsonderdelen bestaan uit resonatoren (23,2*0, elk voorzien van 5 althans een transductor (25, 26, 29, 30) aangebracht tussen twee stellen terugkaatsorganen (27,28 of 31,32).
11, Inrichting volgens conclusie 3, met het kenmerk, dat de geluidsonderdelen (U, 5 , 20 , 23 , 2*0 on verschillende onderlagen zi.in aangebracht, 10 12, Inrichting volgens conclusie 3, met het Kenmerk, dat de geluidsonderlen (k, 5, 20, 23, 2k) bestaan uit oonervlakte-geluidsgolf-onderdelen,
13. Inrichting volgens 'conclusie 3, met het kenmerk, dat de geluidsonderdelen 5» 20) bestaan uit geluidsgolfonderdelen met 15 strijken langs het oppervlak. 1U, Inrichting in hoofdzaak zoals in de beschrijving beschreven en in de tekening weergegeven. 7907049
NL7907049A 1978-09-22 1979-09-21 Geluidsgolfinrichting. NL7907049A (nl)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB7837867 1978-09-22
GB7837867 1978-09-22

Publications (1)

Publication Number Publication Date
NL7907049A true NL7907049A (nl) 1980-03-25

Family

ID=10499863

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL7907049A NL7907049A (nl) 1978-09-22 1979-09-21 Geluidsgolfinrichting.

Country Status (6)

Country Link
US (1) US4272742A (nl)
JP (1) JPS55102918A (nl)
DE (1) DE2938158A1 (nl)
FR (1) FR2437109A1 (nl)
GB (1) GB2033185B (nl)
NL (1) NL7907049A (nl)

Families Citing this family (68)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2457039A1 (fr) * 1979-05-16 1980-12-12 Thomson Csf Procede de compensation des derives en temperature dans les dispositifs a ondes de surface et capteur de pression mettant en oeuvre ce procede
FR2492193B2 (fr) * 1980-06-10 1987-11-27 France Etat Filtre recursif a ondes elastiques de surface utilisant une ligne a retard a bouclage actif
US4325038A (en) * 1980-09-26 1982-04-13 Bell Telephone Laboratories, Incorporated SAW Resonator filters with improved temperature stability
US4331943A (en) * 1980-12-22 1982-05-25 Hewlett-Packard Company Acoustic wave devices having transverse mode distortions eliminated structurally
US4489289A (en) * 1982-04-08 1984-12-18 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Saw oscillator with digital compensation for temperature related frequency changes
JP2547718B2 (ja) * 1984-06-06 1996-10-23 株式会社東芝 弾性表面波共振子
DE3730107A1 (de) * 1987-09-08 1989-03-16 Siemens Ag Oszillatorschaltung mit oberflaechenwellenfilter
US5162690A (en) * 1989-04-14 1992-11-10 Murata Manufacturing Co., Ltd. Surface acoustic wave device
US5329319A (en) * 1991-02-20 1994-07-12 Zenith Electronics Corporation Stabilized frequency and phase locked loop with saw devices on common substrate
US7275292B2 (en) 2003-03-07 2007-10-02 Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd. Method for fabricating an acoustical resonator on a substrate
DE102004028421B4 (de) * 2004-06-04 2006-05-04 Leibniz-Institut Für Festkörper- Und Werkstoffforschung Dresden E.V. Oszillator mit akustischen Oberflächenwellenresonatoren
CA2536573A1 (en) * 2003-08-25 2005-05-06 Tele Filter Gmbh Oscillator with an acoustic surface wave resonator
DE10339865B4 (de) * 2003-08-25 2010-08-19 Leibniz-Institut Für Festkörper- Und Werkstoffforschung Dresden E.V. Temperaturstabiler Oszillator auf der Basis akustischer Oberflächenwellen
DE602004000851T2 (de) 2003-10-30 2007-05-16 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Akustisch gekoppelter Dünnschicht-Transformator mit zwei piezoelektrischen Elementen, welche entgegengesetzte C-Axen Orientierung besitzten
US7362198B2 (en) 2003-10-30 2008-04-22 Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd Pass bandwidth control in decoupled stacked bulk acoustic resonator devices
US6946928B2 (en) * 2003-10-30 2005-09-20 Agilent Technologies, Inc. Thin-film acoustically-coupled transformer
US7019605B2 (en) * 2003-10-30 2006-03-28 Larson Iii John D Stacked bulk acoustic resonator band-pass filter with controllable pass bandwidth
US7332985B2 (en) * 2003-10-30 2008-02-19 Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte Ltd. Cavity-less film bulk acoustic resonator (FBAR) devices
US7615833B2 (en) 2004-07-13 2009-11-10 Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd. Film bulk acoustic resonator package and method of fabricating same
US7388454B2 (en) 2004-10-01 2008-06-17 Avago Technologies Wireless Ip Pte Ltd Acoustic resonator performance enhancement using alternating frame structure
US8981876B2 (en) 2004-11-15 2015-03-17 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Piezoelectric resonator structures and electrical filters having frame elements
DE102004060901A1 (de) 2004-12-14 2006-07-13 Leibnitz-Institut für Festkörper- und Werkstoffforschung Dresden e.V. Oszillator
US7202560B2 (en) 2004-12-15 2007-04-10 Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd. Wafer bonding of micro-electro mechanical systems to active circuitry
US7791434B2 (en) 2004-12-22 2010-09-07 Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd. Acoustic resonator performance enhancement using selective metal etch and having a trench in the piezoelectric
US7427819B2 (en) 2005-03-04 2008-09-23 Avago Wireless Ip Pte Ltd Film-bulk acoustic wave resonator with motion plate and method
US7369013B2 (en) 2005-04-06 2008-05-06 Avago Technologies Wireless Ip Pte Ltd Acoustic resonator performance enhancement using filled recessed region
US7436269B2 (en) 2005-04-18 2008-10-14 Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd. Acoustically coupled resonators and method of making the same
US7868522B2 (en) * 2005-09-09 2011-01-11 Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd. Adjusted frequency temperature coefficient resonator
US7391286B2 (en) * 2005-10-06 2008-06-24 Avago Wireless Ip Pte Ltd Impedance matching and parasitic capacitor resonance of FBAR resonators and coupled filters
US7423503B2 (en) 2005-10-18 2008-09-09 Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd. Acoustic galvanic isolator incorporating film acoustically-coupled transformer
US7525398B2 (en) 2005-10-18 2009-04-28 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Acoustically communicating data signals across an electrical isolation barrier
US7675390B2 (en) 2005-10-18 2010-03-09 Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd. Acoustic galvanic isolator incorporating single decoupled stacked bulk acoustic resonator
US7737807B2 (en) 2005-10-18 2010-06-15 Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd. Acoustic galvanic isolator incorporating series-connected decoupled stacked bulk acoustic resonators
US7425787B2 (en) 2005-10-18 2008-09-16 Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd. Acoustic galvanic isolator incorporating single insulated decoupled stacked bulk acoustic resonator with acoustically-resonant electrical insulator
US7463499B2 (en) 2005-10-31 2008-12-09 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte Ltd. AC-DC power converter
US7561009B2 (en) * 2005-11-30 2009-07-14 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Film bulk acoustic resonator (FBAR) devices with temperature compensation
DE102005060924B3 (de) * 2005-12-14 2007-07-05 Leibniz-Institut für Festkörper- und Werkstoffforschung e.V. Oszillatorkreis mit akustischen Eintor-Oberflächenwellenresonatoren
US7612636B2 (en) 2006-01-30 2009-11-03 Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd. Impedance transforming bulk acoustic wave baluns
US7746677B2 (en) 2006-03-09 2010-06-29 Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd. AC-DC converter circuit and power supply
US7479685B2 (en) 2006-03-10 2009-01-20 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Electronic device on substrate with cavity and mitigated parasitic leakage path
US7629865B2 (en) 2006-05-31 2009-12-08 Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd. Piezoelectric resonator structures and electrical filters
DE102006027060B4 (de) 2006-06-08 2010-04-01 Leibniz-Institut Für Festkörper- Und Werkstoffforschung Dresden E.V. Oszillatorkreis mit akustischen Eintor-Oberflächenwellenresonatoren
US7508286B2 (en) 2006-09-28 2009-03-24 Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd. HBAR oscillator and method of manufacture
DE102007028372A1 (de) 2007-06-12 2008-12-24 Leibniz-Institut Für Festkörper- Und Werkstoffforschung Dresden E.V. Oszillatorkreis mit akustischen Zweitor-Oberflächenwellenresonatoren
US7791435B2 (en) 2007-09-28 2010-09-07 Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd. Single stack coupled resonators having differential output
GB2456541B (en) 2008-01-17 2010-02-10 4Energy Ltd Air filter
US7732977B2 (en) 2008-04-30 2010-06-08 Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Transceiver circuit for film bulk acoustic resonator (FBAR) transducers
US7855618B2 (en) 2008-04-30 2010-12-21 Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd. Bulk acoustic resonator electrical impedance transformers
DE102008001837A1 (de) * 2008-05-17 2009-12-03 Leibniz-Institut Für Festkörper- Und Werkstoffforschung Dresden E.V. Temperaturstabiler Doppelresonator
US8902023B2 (en) 2009-06-24 2014-12-02 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Acoustic resonator structure having an electrode with a cantilevered portion
US8248185B2 (en) 2009-06-24 2012-08-21 Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd. Acoustic resonator structure comprising a bridge
US8193877B2 (en) 2009-11-30 2012-06-05 Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd. Duplexer with negative phase shifting circuit
US9243316B2 (en) 2010-01-22 2016-01-26 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Method of fabricating piezoelectric material with selected c-axis orientation
US8796904B2 (en) 2011-10-31 2014-08-05 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Bulk acoustic resonator comprising piezoelectric layer and inverse piezoelectric layer
US8962443B2 (en) 2011-01-31 2015-02-24 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Semiconductor device having an airbridge and method of fabricating the same
US9083302B2 (en) 2011-02-28 2015-07-14 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Stacked bulk acoustic resonator comprising a bridge and an acoustic reflector along a perimeter of the resonator
US9154112B2 (en) 2011-02-28 2015-10-06 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Coupled resonator filter comprising a bridge
US9203374B2 (en) 2011-02-28 2015-12-01 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Film bulk acoustic resonator comprising a bridge
US9136818B2 (en) 2011-02-28 2015-09-15 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Stacked acoustic resonator comprising a bridge
US9148117B2 (en) 2011-02-28 2015-09-29 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Coupled resonator filter comprising a bridge and frame elements
US9048812B2 (en) 2011-02-28 2015-06-02 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Bulk acoustic wave resonator comprising bridge formed within piezoelectric layer
US9425764B2 (en) 2012-10-25 2016-08-23 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Accoustic resonator having composite electrodes with integrated lateral features
US9444426B2 (en) 2012-10-25 2016-09-13 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Accoustic resonator having integrated lateral feature and temperature compensation feature
US8575820B2 (en) 2011-03-29 2013-11-05 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Stacked bulk acoustic resonator
US8350445B1 (en) 2011-06-16 2013-01-08 Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd. Bulk acoustic resonator comprising non-piezoelectric layer and bridge
US8922302B2 (en) 2011-08-24 2014-12-30 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Acoustic resonator formed on a pedestal
EP2963819B1 (en) * 2013-02-27 2021-03-24 KYOCERA Corporation Elastic wave element, demultiplexer and communication module
CN109506808B (zh) * 2018-12-26 2020-12-18 电子科技大学 一种具有单调和线性输出特性的saw温度传感器及其设计方法

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1451326A (en) * 1973-02-16 1976-09-29 Nat Res Dev Acoustic wave devices
GB1449841A (en) * 1973-04-09 1976-09-15 Mullard Ltd Oscillators
GB1483735A (en) * 1973-11-09 1977-08-24 Secr Defence Acoustic wave oscillator
JPS50123256A (nl) * 1974-03-16 1975-09-27
US3886484A (en) * 1974-06-24 1975-05-27 Hewlett Packard Co Acoustic surface wave devices having improved performance versus temperature characteristics
US3999147A (en) * 1975-10-31 1976-12-21 Hughes Aircraft Company Temperature stable surface acoustic wave and oscillator using the device
GB1591624A (en) * 1977-01-24 1981-06-24 Secr Defence Acoustic wave devices
JPS53145595A (en) * 1977-05-25 1978-12-18 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Elastic surface wave oscillator

Also Published As

Publication number Publication date
JPS55102918A (en) 1980-08-06
GB2033185A (en) 1980-05-14
FR2437109B1 (nl) 1983-07-08
FR2437109A1 (fr) 1980-04-18
DE2938158A1 (de) 1980-04-03
GB2033185B (en) 1983-05-18
US4272742A (en) 1981-06-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL7907049A (nl) Geluidsgolfinrichting.
USRE35204E (en) Acoustic wave devices employing surface skimming bulk waves
US11336255B2 (en) Acoustic wave element and method for manufacturing same
Shibayama et al. Optimum cut for rotated Y-cut LiNbO 3 crystal used as the substrate of acoustic-surface-wave filters
US3836876A (en) Acoustic surface wave devices
US3950713A (en) Acoustic wave devices
US4489250A (en) Temperature compensated surface acoustic wave device
GB1579113A (en) Differential surface acoustic wave transducer
US6710509B1 (en) Surface acoustic wave device
US4401956A (en) Electronically variable time delay in piezoelectric media
GB1489265A (en) Temperature compensated surface acoustic wave devices
US4342012A (en) Surface acoustic wave device
US4288765A (en) Frequency selector apparatus
US4477784A (en) Surface wave dispersive acoustic delay line
US3886484A (en) Acoustic surface wave devices having improved performance versus temperature characteristics
US4349794A (en) Shallow bulk acoustic wave devices
US3795879A (en) Composite dispersive filter
US4247835A (en) Surface acoustic wave devices
US3515911A (en) Surface wave transducer
Toda et al. A Lamb wave voltage sensor
US4369390A (en) Symmetric beam width compression multistrip coupler
US3873946A (en) Acoustic surface wave tapped delay line
US4707631A (en) Isotropic acoustic wave substrate
US4965480A (en) Surface acoustic wave convolver with two output electrodes of different lengths
JP2020205574A (ja) 弾性波素子およびその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A85 Still pending on 85-01-01
BA A request for search or an international-type search has been filed
BB A search report has been drawn up
BC A request for examination has been filed
BV The patent application has lapsed