DE2638909A1 - Halbleiteranordnung - Google Patents

Halbleiteranordnung

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DE2638909A1 DE19762638909 DE2638909A DE2638909A1 DE 2638909 A1 DE2638909 A1 DE 2638909A1 DE 19762638909 DE19762638909 DE 19762638909 DE 2638909 A DE2638909 A DE 2638909A DE 2638909 A1 DE2638909 A1 DE 2638909A1
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Description

SEMIKRON
Gesellschaft für Glelchriohtarbcu und El3ktronik m.b.H. 8500 Nürnberg, Wiesentalstraße 40 2638909 Telefon 0911 / 37781 - Telex 06 - 22155
25. August 1976 PA - Bu/wl K 17604
HALBLEITERANORDNUNG
Die Erfindung betrifft eine Halbleiteranordnung mit den Merkmalen nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Bei herkömmlichen Halbleiteranordnungen ist ein gleichzeitig zur Stromleitung dienendes, metallisches Teil des Gehäuses, in dem das Halbleiterplättchen eingeschlossen ist, auf einem Kühlbauteil flächenhaft fest aufgebracht und der isoliert durch das Gehäuse geführte, weitere Stromleiter des Halbleiterplättchens mit Stromanschlußelementen verbunden. Häufig wird durch die einseitige Kühlung solcher Anordnungen, auf der mit dem Kühlbauteil versehenen Seite, nur eine unzureichende Ableitung der beim Einsatz entstehenden Verlustwärme erzielt, während über den weiteren Stromleiter vielfach nicht nur keine Verlustwärme abgeleitet, sondern in ihm durch ungenügende Bemessung noch zusätzliche Verlustwärme erzeugt wird. Die einseitige Kühlung mithilfe eines Kühlbauteils schränkt demzufolge den Einsatz solcher Anordnungen ein und beeinträchtigt deren Betriebsverhalten.
Zur Vermeidung dieser Schwierigkeiten ist es bekannt, Halbleitergleichrichterelemente, insbesondere solche hoher Strombelastbarkeit, mit scheibenförmigem Gehäuse auszubilden und zwischen zwei gegenseitig isoliert angeordneten Kühlbauteilen zu befestigen. Ein derartiger Aufbau ermöglicht optimale Ableitung der Verlustwärme nach beiden Seiten des Gleichrich-
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- Tf-
terelements. Jedoch sind zu dieser beidseitigen Kühlung durch zwei getrennte Kühlbauteile ein erheblicher Aufwand an Kühleinrichtung und an dafür erforderlichem Raum sowie besondere Maßnahmen zur gegenseitigen elektrischen Isolierung der Kühlbauteile erforderlich.
Bei anderen bekannten Halbleiteranordnungen hoher Strombelastbarkeit sind zwei Halbleiter-Gleichrichterelemente mit plattenförmigen! Gehäuseunterteil und kappenförmigem Gehäuseoberteil räumlich und elektrisch antiparallel zwischen zwei plattenförmigen Kühlbauteilen befestigt. Jedes Gleichrichterelement wird daher an seinem Gehäuseunterteil durch das diesem zugeordnete Kühlbauteil und an seinem durch das Gehäuseoberteil geführten, weiteren Stromleiter durch das mit diesem verbundene Kühlbauteil des anderen Gleichrichterelements, also beidseitig durch zwei Kühlbauteile gekühlt.
Bei einer anderen bekannten Form einer Antiparallelschaltung ist jedes der beiden Gleichrichterelemente auf einem von zwei in einer Ebene liegenden Kühlbauteilen befestigt und an seinem weiteren Stromleiter über Kontaktbügel jeweils mit dem anderen Kühlbauteil fest verbunden. Auch in diesem Fall erfolgt die Kühlung jedes Gleichrichterelements beidseitig mit Hilfe von zwei Kühlbauteilen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Halbleiteranordnung zu schaffen, bei der das Halbleiterbauelement durch ein Kühlbauteil an beiden Laststromanschlußseiten optimal gekühlt wird.
Die Lösung dieser Aufgabe besteht in den kennzeichnenden Merkmalen des Anspruchs 1.
Anhand der in den Figuren 1 bis 4 dargestellten Ausführungsbeispiele wird der Gegenstand der Erfindung aufgezeigt und erläutert.
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Figur 1 zeigt in Vorderansicht eine erfindungsgemäße Halbleiteranordnung mit einem Kühlbauteil für Flüssigkeitskühlung und mit einem durch Löten kontaktierten, aus einem Halbleiterplättchen und dessen oberen Stromleiter bestehenden, ungekapselten Halbleiterbauelement. In Figur 2a ist in Vorderansicht, in Figur 2b in einer Seitenansicht ein im wesentlichen demjenigen nach Figur 1 entsprechender Aufbau, jedoch mit druckkontaktiertem Halbleiterbauelement dargestellt, und in Figur 2c ist in Vorderansicht ein Ausschnitt eines Aufbaus mit druckkontaktiertem, scheibenförmig gekapselten Halbleiterbauelement gezeigt. Figur 3 zeigt eine Bauform, die ein gekapseltes Halbleiterbauelement aufweist, das bezüglich seiner Drehachse senkrecht zur Ebene des Kühlbauteils befestigt ist, und die als Baueinheit mit einer Zwischenplatte auf einem Kuhlbauteil für Luftkühlung vorgesehen ist. In Figur 4 ist schematisch eine Halbleiteranordnung mit sechs Gleichrichterelementen in Drehstrombrückenschaltung und mit erfindungsgemäßem Aufbau auf einem gemeinsamen KUhlbauteil gezeigt.
Für gleiche Teile sind in allen Figuren gleiche Bezeichnungen gewählt. Gemäß der Darstellung einer Bauform I in Figur 1 ist aus einem Halbleiterplättchen 1 und aus an dessen einer Seite befestigtem, als oberer Stromleiter bezeichneten Leiterteil 2 ein Halbleiterbauelement gebildet, das an der weiteren Seite des Halbleiterplättchens 1 mit einem Kontaktbauteil 11 und an der freien Fläche des oberen Stromleiters, 2 mit einem Kontaktbauteil 21 durch Löten fest verbunden ist.
Die beiden Kontaktbauteile 11 und 21 dienen gleichzeitig zur Stromleitung. Sie sind weiter, ebenfalls durch Lötung, auf einem gemeinsamen Kühlbauteil 3 für Flüssigkeitskühlung befestigt, das als Hohlkörper ausgebildet ist und öffnungen zum Durchfluß des Kühlmittels aufweist.
Zur Vermeidung unerwünschter Korrosionserscheinungen bei nicht potentialfreiem Kühlmitteldurchfluß und der damit verbundenen Schwierigkeiten sind die Kontaktbauteile 11, 21 über je eine elektrisch isolierende, den
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Wärmefluß nicht hindernde Isolierschicht 12 bzw. 22 aus Oxidkeramik oder aus einem wärmeleitenden Kleber auf dem Kühlbauteil 3 befestigt. Bei Anordnung einer Schicht aus Oxidkeramik ist diese mit dem Kontaktbauteil bzw. mit dem Kühlbauteil jeweils mithilfe einer Lotschicht 110, 210 bzw. 301 fest verbunden.
Die metallischen, beispielsweise aus Kupfer bestehenden Kontaktbauteile 11, 21 können z.B. quaderförmig, prismenförmig oder halbkugelförmig ausgebildet sein. Sie weisen an wenigstens einer ihrer freien Außenflächen, z.B. an einander gegenüberliegenden Flächen, je eine Gewindebohrung 11a bzw. 21a zur Verbindung mit weiteren Stromanschlußteilen auf. Sie können jedoch auch, wie dies beim Bauteil 21 dargestellt ist, an der zur Anschlußkontaktierung vorgesehenen Fläche mit einem Aufsatz (21b) versehen sein, in welchem die Gewindebohrung (21a) angebracht ist.
Der gegenseitige Abstand der Kontaktbauteile 11, 21 ist unkritisch und lediglich durch die Notwendigkeit eines flexiblen, oberen Stromleiters zum Ausgleich von Wärmedehnungen des im übrigen starren Aufbaus beim Einsatz bestimmt. Die Kontaktbauteile sind so bemessen, daß sie optimale Ableitung der Verlustwärme zum Kühlbauteil sicherstellen, jedoch nicht selbst als Kühlbauteil wirken. Die dargestellte Anordnung I ist derart in Isoliermaterial 6 eingeschlossen, daß die Gewindebohrungen 11a, 21a der Kontaktbauteile 11, 21 und die Durchflußöffnungen des Kühlbauteils 3 zum Anschluß entsprechender Elemente freibleiben. Dadurch ist eine kompakte Baueinheit gegeben. Bedarfsweise können die Kontaktbauteile 11, 21 an übereinstimmenden freien Außenflächen Ausbildungen zur zusätzlichen Anordnung von Bauteilen zur Schutzbeschaltung aufweisen. Die Umhüllung aus Isoliermaterial kann aus einem Gehäuse und aus einer Gießmasse zur Einbettung der Bauteile bestehen. Bei der Herstellung des in Figur 1 dargestellten Ausführungsbeispiels wird zweckmäßig das vorgefertigte Halblei-
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- r-
terbauelement durch Löten auf dem Kontaktbauteil Π befestigt. Zu diesem Zweck kann das letztere an dem vorgesehenen Flächenabschnitt einen lötfähigen Überzug aufweisen. Anschließend werden der aus den Teilen 1,2 und 11 gebildete Aufbau sowie das Kontaktbauteil 21, das zur Lötverbindung mit dem Stromleiter 2 ebenfalls metallisiert ist, in entsprechender räumlicher Zuordnung unter Berücksichtigung der Isolierstoffschichten 12, 22 mit Hilfe einer Vorrichtung auf dem Kühlbauteil 3 angeordnet. In einer Wärmebehandlung werden dann die Teile gleichzeitig an sämtlichen vorgesehenen Flächenabschnitten durch Löten miteinander fest verbunden. Schließlich wird der in dieser Weise fertiggestellte Aufbau in eine Isoliermasse 6 eingebettet und damit umschlossen, wie dies mit den unterbrochenen Umfangslinien angedeutet ist.
Bei dem in Figur 2a dargestellten Aufbau II weisen die Kontaktbauteile 111, 121 eine besondere Ausbildung zur druckkontaktierten Anordnung des Halbleiterbauelementes (1,2) auf. Ein gleichmäßiger und reproduzierbarer Kontaktdruck kann beispielsweise wie dargestellt durch ein, durch gegenseitige gleichachsige Lageänderung der Kontaktbauteile erzieltes Anpressen derselben erzielt werden. Gemeinsame Achse zur Verschiebung wenigstens eines Kontaktbauteils zum Zwecke der Druckkontaktierung ist die Drehachse des mit beiden Kontaktbauteilen kontaktierten Halbleiterbauelements; Zu diesem Zweck weisen beide Kontaktbauteile 111, 121 am Randbereich ihrer jeweiligen Kontaktseite zum Halbleiterbauelement wenigstens drei gegenseitig und zur Drehachse des Halbleiterbauelements übereinstimmend angeordnete Bohrungen auf. Diese sind beim Kontaktbauteil 111 als Gewindebohrungen 11Id zur Aufnahme der Stellschrauben 23 und beim Kontaktbauteil 121 als Führungslöcher 121 d zur elektrisch isolierten Durchführung der Schrauben 23 ausgebildet. Mit Hilfe einer Schraubvorrichtung für mehrere Schrauben kann das zwischen den Kontaktbauteilen angeordnete Halbleiterbauelement bei dem beschriebenen Aufbau in gewünschter Weise druckkontaktiert werden.
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Die Druckkontaktierung des Halbleiterbauelements ist nicht Gegenstand der Erfindung und kann auch auf andere Weise erzielt werden.
Zur Gewährleistung einer einwandfreien Kontaktfunktion auch nach der Einbettung des Aufbaus in Isoliermasse ist das Halbleiterbauelement und der am Umfang des oberen Stromleiters 2 diesen umschließende, beispielsweise schraubenförmig ausgebildete Federkörper 4 in einem Faltenbalg 5 geschützt untergebracht. Der Faltenbalg 5 ist an beiden Enden mit Haftsitz über je einen Ansatz 111c bzw. 121c der Kontaktbauteile geführt. Der Federkörper 4, der auch teleskopförmig ausgebildet sein kann, stützt sich an einem Ende gegen eine angepaßt ausgebildete, zentrale Erhebung 121e auf dem Ansatz 121c des Kontaktbauteils 121 und am anderen Ende auf eine entsprechend ausgebildete Erhebung 2b des unmittelbar am HaIbleiterplättchen 1 anliegenden und mit diesem fest verbundenen Kontaktstücks 2a des oberen Stromleiters 2.
Die Tiefe der Gewindebohrungen IHd wird durch die für den erforderlichen Mindesteingriff der Stellschrauben 23 und durch die notwendige Wegstrecke des Kontaktbauteils 121 beim Herstellen des Kontaktdrucks bestimmt. Die Stellschrauben 23 sind innerhalb des Faltenbalges 5 angeordnet.
Der bei Druckkontaktierung aus Kontaktbauteilen 111, 121, Halbleiterbauelement und Stellschrauben 23 bestehende, in sich stabile Aufbau kann in beliebiger Weise auf einem Kühlbauteil 3 angeordnet und durch Löten befestigt sein, wie dies zu Figur 1 erläutert ist.
Die Kontaktbauteile 111,121 weisen an den vorgesehenen äußeren Kontaktflächen je einenAufsatz 111b bzw. 121b auf, der auch, wie durch unterbrochene Linien angedeutet, auf der oberen, dem Kühlbauteil 3 entgegengesetzt gerichteten Fläche angebracht sein kann.
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In Figur 2b ist der in Figur 2α gezeigte Aufbau in Seitenansicht von rechts dargestellt. Dabei ist auch die Umhüllung 6 mit Gießmasse angedeutet. Zur Erzeugung des Kontaktdrucks sind vier Stellschrauben 23 vorgesehen.
Bei dem in Figur 2c im Ausschnitt dargestellten Aufbau ist zwischen den Kontaktbauteilen 111, 121 ein scheibenförmig verkapseltes Halbleiterbauelement 10 angeordnet und beispielsweise wie vorbeschrieben druckkontaktiert. Infolge der dichten Umhüllung des Halbleiterplättchens im scheibenförmigen Gehäuse entfällt die Einbettung des Aufbaus mit Isolierstoff.
Bei der Herstellung dieser erfindungsgemäßen Anordnung II wird auf das entsprechend gehalterte Kontaktbauteil 111 zunächst in vertikaler Zuordnung das Halbleiterbauelement. (1,2) aufgesetzt. Dann wird der Federkörper 4 aufgesteckt und der Faltenbalg 5 an dem Ende zum Kontaktbaüteil 111 angebracht. Anschließend wird das Kontaktbauteil 121 passend aufgebracht und mithilfe der Stellschrauben 23 justiert. Nach dem Überziehen des Faltenbalges über den Ansatz 121b wird durch gleichzeitiges Verschrauben aller Stellschrauben 23 die Kontaktierung bewerkstelligt. Der in dieser Weise gefertigte Aufbau wird dann in einer Wärmebehandlung mit beiden Kontaktbauteilen Über eine entsprechende Isolierschicht auf das KUhlbauteil 3 aufgelötet. Dabei können die Isolierschichten 12, 22 bereits an den Kontaktbauteilen befestigt sein, bevor der Zusammenbau erfolgt.
Bei den vorbeschriebenen Ausfuhrungsbeispielen ist der aus Kontaktbauteilen und Halbleiterbauelement bestehende Aufbau mit seiner durch die Drehachse des Halbleiterbauelements bestimmten Mittelachse parallel zur Wärmekontaktfläche des Kuhlbauteils 3 angeordnet. In Figur 3 ist eine andere Lösungsform aufgezeigt. Gleichzeitig ist auch ein gekapseltes Halbleiterbauelement z.B. mit Gehäuseober- und -unterteil in Be-
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tracht gezogen. Das Gehäuseunterteil 211 ist gleichzeitig Kontaktbauteil. Es weist ein Anschlußstück 211b mit einer Vertiefung 211a auf, entsprechend der Ausbildung des Kontaktbauteils 11 in Figur 1.In die obere Seite des Kontaktbauteils 211 ist das Gehäuseoberteil 101 des mit unterbrochenen Linien im Gehäuseinneren angedeuteten Halbleiterbauelements eingelassen angeordnet und dicht befestigt. Es kann in an sich bekannter Weise aus einer Metallkappe mit sogenannter Glasdurchführung oder aus einer Keramikkappe mit Metalldurchführung bestehen. Es kann aber auch als Kunststoffoberteil ausgebildet sein. Der obere Stromleiter verläuft durch die Gehäusedurchführung 201 und ist am Ende an einem metallischen Kontaktbügel 223 befestigt, der das Verbindungsteil zum Kentaktbauteil 21 bildet.
Das Ende des vorzugsweise in seinem gehäuseäußeren Abschnitt flexiblen Stromleiters kann beispielsweise in eine angepaßte Durchbohrung des in diesem Endabschnitt geschlitzt ausgebildeten Kontaktbügels eingesteckt, mit Hilfe einer Feststellschraube 224 zur Klemmwirkung des Kontaktbügels klammerförmig gehaltert und mit dem Kontaktbügel durch Lötung fest verbunden sein.
Zur Gewährleistung eines optimalen Wärmeübergangs zwischen Stromleiter und Kontaktbügel erfolgt das Festklemmen des ersteren während des Lötprozesses. Die Dicke der Lotschicht wird dabei gleichmäßig minimal. Das Halbleiterbauelement weist ein Halbleiterplättchen mit Thyristorstruktur auf, dessen Hilfselektroden 101a und 101b zu einem Schaltstützpunkt 13 geführt sind, der auf dem Kontaktbauteil 211 elektrisch isoliert befestigt ist und zur Kontaktierung von Steuer- und Beschaltungsbauteilen dient. Ein entsprechender Stützpunkt 24 ist auf dem Kontaktbauteil 21 angeordnet. Die Anschlußstellen 14 bzw. 24 der Kontaktstützpunkte ragen aus der Isolierstoffverkapselung der Anordnung heraus.
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Der Erfindungsgegenstand erlaubt auch besonders vorteilhaft die Anordnung von z.B. drei Baueinheiten einer Schaltungsgruppe auf einer gemeinsamen Zwischenplatte und damit eine thermische Kopplung beim Betrieb, wodurch das Betriebsverhalten der einzelnen Halbleiterbauelemente Jeder Gruppe noch verbessert werden kann.
In gleich günstiger, verfahrenstechnisch optimaler Weise sind beliebige andere Schaltungen mit einer oder mehreren Baueinheiten je Zweig in Reihe oder parallel, auch unter Anordnung von Beschaltungsgliedern erzielbar, und es ist weiterhin besonders leicht möglich, z.B. Baueinheiten oder Baugruppen oder Schaltungen von einem Kühlbauteil für Luftkühlung zu entfernen und zur Erzielung höherer Leistungen auf einem entsprechenden, bemessenen Kühlbauteil für Flüssigkeitskühlung zu befestigen.
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Leerseite
Beide Kontaktbauteile 211, 21 sind nicht über eine Isolierschicht 112 unmittelbar mit dem Kühlbauteil verbunden, wie dies in Figur 1 dargestellt ist, sondern zunächst mit einer vorzugsweise aus Kupfer bestehenden Zwischenplatte 121 entsprechender Ausdehnung. Diese kann an ihrer freien Unterseite einen das Löten begünstigenden, metallischen Überzug 122 zur Verbindung mit dem Kühlbauteil aufweisen. Sie kann auch mit einem duktilen metallischen Überzug zur Herstellung einer durch Druck erzielten thermischen Verbindung mit dem Kühlbauteil versehen sein. Weiterhin kann zwischen Kühlbauteil und Zwischenplattu eine duktile Edelmetallfolie angeordnet sein. Dazu dient eine Zwischenplatte 121 mit überstehendem Randbereich, der Durchbohrungen 121a zur Schraubbefestigung auf dem Kühlbauteil aufweist. Bei einem Aufbau nach Figur 3 kann das Halbleiterbauelement auch druckkontaktiert sein. Die Ausbildung ist beispielsweise derart, daß das Halbleiterbauelement zwischen den beiaen gleichförmigen Kontaktbauteilen angeordnet ist, und daß die Kontaktbauteile an ihrer oberen Seite durch einen isoliert angebrachten Druckbügel verbunden sind, gegen den sich der Federkörper zur Druckkontaktierung des Halbleiterplättchens mit dem oberen Stromleiter abstützt.
Es kann auch eine kombinierte Kontaktierung durch Löten des Halbleiterplättchens an einer Seite und Druckkontaktieren an der anderen Seite vorgesehen sein.
Aus Figur 3 ist zu erkennen, daß ein aus Kontaktbauteilen, Halbleiterbauelement und Zwischenplatte bestehender Aufbau unabhängig von der Art der Kühlung in gewünschter Weise eingesetzt werden kann. Daher ist in Figur 3 der für einen gewählten Aufbau wesentliche Teil eines Kühlbauteils 33 für Luftkühlung gezeigt. Dieser kann auf der Auflagefläche für die Zwischenplatte einen lötfähigen Überzug 301 aufweisen. Jedoch kann zwischen Kühlbauteil 33 und Zwischenplatte 121 auch eine duktile Edel-
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-IC-
metallfolie angebracht sein, wenn beide Teile lediglich gegenseitig durch Druck verbunden werden. Dazu ist das Kühlbauteil an den entsprechenden Stellen mit Gewindebohrungen 33a versehen. Mit 33b sind die Kühlrippen angedeutet.
Ein Aufbau mit Zwischenplatte ist auch bei Anordnungen nach den Figuren 1 und 2 herstellbar. Er ermöglicht in überraschend einfacher Weise eine uneingeschränkte Anwendung des Erfindungsgegenstandes. So können Halbleiterleistungsbauelemente mit zwei oder mehr Elektroden als Baueinheit mit jeweils einem Halbleiterbauelement oder als Baueinheit mit wenigstens zwei im gemeinsamen Gehäuse untergebrachten Halbleiterbauelementen auf einem Kühlbauteil vorgesehen werden. Es können infolge der potentialfreien Befestigung aber auch Baueinheiten in gewünschter elektrischer Schaltung auf einem gemeinsamen Kühlbauteil vorgesehen sein. Dabei ist die kompakte Ausführung, die günstige Anordnung an weiteren Stromanschlußteilen und die optimale thermische Belastbarkeit durch bestmögliche beidseitige Kühlung jedes Halbleiterplättchens bei allen Anwendungsfällen gleich vorteilhaft. In Figur 4 ist ein Ausführungsbeispiel für den konstruktiv besonders einfachen Aufbau einer erfindungsgemäßen Halbleiteranordnung mit mehreren Halbleiterbauelementen dargestellt. Es sind sechs Baueinheiten z.B. nach einer der Figuren 1 bis 3 auf einem gemeinsamen Kuhlbauteil 3 zu einer Drehstrombrückenschaltung verschaltet. Die Baueinheiten sind jeweils über die überstehende Zwischenplatte 121 mittels Schrauben 124 in zwei Gruppen zu je drei Stück auf dem Kühlbauteil befestigt. Entsprechend der Verschaltuiigsvorschrift sind durch Stromschienen 8 für die Gleichstromanschlüsse die drei Baueinheiten jeder Gruppe außen verbunden, und je eine Baueinheit der einen Gruppe ist mit der benachbarten Baueinheit der anderen Gruppe durch Stromschienen 9 für die Wechselanschlüsse verschaltet.
Der Austausch einer defekten Baueinheit ist in einfachster Weise ohne Maßnahmen an und mit anderen Baueinheiten möglich.
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Claims (25)

  1. PATENTANSPRÜCHE 26389 O 9
    /1, !Halbleiteranordnung mit wenigstens einem Halbleiterbauelement und mit einem Kühlbauteil zur Ableitung der in dem oder den Halbleiterbauelementen entstehenden Verlustwärme, dadurch gekennzeichnet,
    daß jedes Halbleiterbauelement (1-2) an seinen zur Verbindung mit dem Laststromkreis vorgesehenen Kontaktflächen mit je einem metallischen, gleichzeitig zur Stromleitung dienenden Kontaktbauteil (11,21; 211,221) kontaktiert ist, und daß zur beidseitigen Ableitung der Verlustwärme auf das eine Kühlbauteil (3,33) beide Kontaktbauteile mit dem Kühlbauteil elektrisch isoliert fest verbunden sind.
  2. 2. Halbleiteranordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Halbleiterbauelement an seinen Kontaktseiten durch Lötung mit dem jeweiligen Kontaktbauteil fest verbunden ist.
  3. 3. Halbleiteranordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Halbleiterbauelement an seinen Kontaktseiten durch Druck mittels Federkörper (4) mit dem jeweiligen Kontaktbauteil fest verbunden ist.
  4. 4. Halbleiteranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Kontaktbauteile (11,21;211,221) an wenigstens einer ihrer freien Außenflächen eine Gewindebohrung (11a,21a) zur Befestigung von Stromanschlußteilen aufweisen.
  5. 5. Halbleiteranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß als Kühlbauteil (3) ein solches für Flüssigkeitskühlung vorgesehen ist.
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  6. 6. Halbleiteranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß als Kühlbauteil (33) ein solchem für Luftkühlung vorgesehen ist.
  7. 7. Halbleiteranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß das aus einem Halbleiterplättchen (1) mit wenigstens zwei Schichten abwechselnd entgegengesetzten Leitfähigkeitstyps und aus einem flexiblen oberen Stromleiter (2) bestehende Halbleiterbauelement ungekapselt angeordnet ist.
  8. 8. Halbleiteranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß das aus einem Halbleiterplättchen (i) mit wenigstens zwei Schichten abwechselnd entgegengesetzten Leitfähigkeitstyps und aus einem flexiblen oberen Stromleiter (2) bestehende Halbleiterbauelement in einem an sich bekannten Gehäuse aus Unterteil und kappenförmigem Oberteil angeordnet ist.
  9. 9. Halbleiteranordnung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß ein Kontaktbauteil gleichzeitig als Gehäuseunterteil vorgesehen und angepaßt ausgebildet ist.
  10. 10. Halbleiteranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Halbleiterbauelement aus einem Halbleiterplättchen und aus je einer an dessen beiden Seiten anliegenden Kontaktscheibe besteht und in einem scheibenförmigen, zur Druckkontaktierung vorgesehenen Gehäuse (1O) zwischen den Kontaktbauteilen angeordnet ist.
  11. 11. Halbleiteranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 10,dadurch gekennzeichnet, daß das Halbleiterbauelement bezüglich seiner Drehachse
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    parallel zur Auflagefläche des Kühlbauteils (3) für die Kontaktbauteile angeordnet ist.
  12. 12. Halbleiteranordnung nach einem der Ansprüche T bis 10,dadurch gekennzeichnet, daß das Halbleiterbauelement bezüglich seiner Drehachse senkrecht zur Auflagefläche des Kühlbauteils für die Kontaktbauteile angeordnet und an seinem oberen Stromleiter über einen zusätzlichen metallischen Kontaktbügel (223) mit dem zugeordneten Kontaktbauteil (211) leitend fest verbunden ist.
  13. 13. Halbleiteranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß zur elektrisch isolierten Befestigung der Kontaktbauteile auf dem Kühlbauteil (3,33) eine Schicht aus Oxidkeramik (12,22,112) vorgesehen ist.
  14. 14. Halbleiteranordnung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Schicht aus Oxidkeramik durch Löten mit den benachbarten Bauteilen verbunden ist.
  15. 15. Halbleiteranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß zur elektrisch isolierten Befestigung der Kontaktbauteile auf dem Kühlbauteil (3,33) eine Schicht aus einem wärmeleitenden elektrisch isolierenden Kleber vorgesehen ist.
  16. 16. Halbleiteranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Kontaktbauteile auf ihrer oberen, zum Kühlbauteil entgegengesetzten Fläche jeweils wenigstens einen Kontaktträger (13,23) als Schaltstützpunkt mit Kontakten (14,24) zur Anordnung von Steuerleitungen steuerbarer Bauelemente und/oder von Beschaltungsbauteilen aufweisen.
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  17. 17. Halbleiteranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß der aus Halbleiterbauelement, Kontaktbauteilen und bedarfsweise aus Kontaktträgern bestehende Aufbau zusammen mit wenigstens einem Teil des Kühlbauteils, ausgenommen die freien Flächen und Ausbildungen zur Verbindung mit weiteren Bauteilen, in Isolierstoff (6) eingebettet und mit einem solchen umhüllt sind.
  18. 18. Halbleiteranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 17, dadurch gekennzeichnet, daß der aus Halbleiterbauelement, Kontaktbauteilen und Isolierschichten bestehende Aufbau auf einer zwischen diesen und dem KUhlbauteil (33) vorgesehenen, metallischen Zwischenplatte (121) befestigt ist und mit dieser eine Baueinheit zur beliebigen Anordnung einzeln oder mit mehreren auf einem Kühlbauteil (33) bildet.
  19. 19. Halbleiteranordnung nach Anspruch X8f dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenplatte (121) einen über die Kontaktbauteile hinausragenden Randbereich zur flanschförmigen Verbindung der Baueinheit mit dem Kühlbauteil und im Verlauf des Randbereichs Öffnungen (121a) zur Erzielung einer Schraubverbindung mit dem entsprechend ausgebildeten (33a) KUhlbauteil aufweist.
  20. 20. Halbleiteranordnung nach einem der Ansprüche 18 oder 19/ dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenplatte an ihrer Verbindungsfläche zu den Kontaktbauteilen einen die Lötverbindung begünstigenden metallischen Überzug aufweist und daß sowohl die Zwischenplatte als auch das Kühlbauteil an der Verbindungsfläche zum angrenzenden Bauteil in einer durch die Art der vorgesehenen Verbindung bestimmten Weise oberflächenbehandelt sind.
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  21. 21. Halbleiteranordnung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen Kühlbauteil und Zwischenplatte ein duktiler Edelmetallüberzug (122) vorgesehen ist.
  22. 22. Halbleiteranordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 21 , gekennzeichnet durch die Anbringung von zwei oder mehr Baueinheiten (i,II,III) mit Halbleiterbauelementen gleicher oder unterschiedlicher Art auf einem gemeinsamen Kühlbauteil (3).
  23. 23. Halbleiteranordnung nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens ein Teil der auf dem Kühlbauteil aufgebrachten Baueinheiten gegenseitig elektrisch verschaltet sind (8,9).
  24. 24. Halbleiteranordnung nach Anspruch 22 oder 23# dadurch gekennzeichnet, daß die Baueinheiten gegenseitig räumlich getrennt angebracht sind.
  25. 25. Halbleiteranordnung nach einem der Ansprüche 22 oder 23, dadurch gekennzeichnet, daß zwei oder mehr einen Teil einer elektrischen Schaltung bildende Baueinheiten gemeinsam in Isoliermasse eingebettet sind und einen verschalteten Bausatz darstellen.
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