DE2454544A1 - Vakuumbeschichtungsanlage - Google Patents
VakuumbeschichtungsanlageInfo
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Description
BALZERS HOCHVAKUUM GMBH,, Heirricb-Hertz-rStr.6, D 6 Frankfurt/M
Vaküumbeschicntungsanlage
Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vaküumbeschichtungsanlage
mit einer in einer evakuierbaren Kammer angeordneten drehbaren Transporteinrichtung für das zu beschichtende Gut,
welche mehrere Arbeitspositionen aufweist. Die verschiedenen Arbeitspositionen dienen der Durchführung der im Zuge der Beschichtung
erforderlichen Operationen, wie Einschleusen des Beschichtungsgutes,
Beglimmen (ζ. Β. zwecks Erhitzung und/oder Reinigung der zu beschichtenden Flächen), Aufbringen der einzelnen
Schichten (z.B. durch Vakuumbedampfung oder Kathodenzerstäubung )■_, Abkühlen, Ausschleusen und etwaiger sonstiger bei
der Herstellung einer Beschichtung erforderlichen Arbeitsgänge.
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Es sind Vakuumbeschichtungsanlagen bekannt, bei denen das Beschichtungsgut
mittels einer Transporteinrichtung fortlaufend in eine Vakuumkammer eingeschleust, bedampft und wieder ausgebracht
wird, z.B. werden Bänder aus Kunststoffolien und Scheinwerfer
in solchen Durchlaufanlagen metallisiert.
Der Nachteil der bekannten Anlagen liegt in einer aufwendigen Bauweise und oft auch darin, dass sie nur für ganz bestimmtes
Beschichtungsgut verwendbar sind z.B. an bestimmte Formen desselben gebunden sind. Das Aus- und Einschleusen des Beschichtungsgutes
ergab oft schwierige Dichtungsprobleme, die durch aufwendige Schleusenkonstruktionen gelöst wurden.
Der vorliegenden Erfindung liegt nun die Aufgabe zu Grunde,
eine betriebssichere Vakuumbeschichtungsahlage anzugeben, die mit geringerem Aufwand als bisherige Anlagen gebaut werden
kann und es ermöglicht, die verschiedenen Behandlungen des Gutes in gegeneinander absperrbaren Vakuumkammern durchzuführen.
Die erfindungsgemässe Vakuumbeschichtungsanlage mit mehreren
verschiedenen Arbeitspositionen zum Ein- und Ausschleusen und zum Behandeln eines Gutes, sowie mit einer in einer evakuierbaren
Hauptkammer angeordneten, drehbaren Transporteinrichtung
für das Gut, ist dadurch gekennzeichnet, dass die Aufnahmevor-
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richtungen für das Gut in wenigstens einer Arbeitsposition
einen rahmenförmigen Wandteil einer von der Hauptkammer abtrennbaren
Arbeitskammer bilden, und dass dieser Arbeitskammer
eine Ventilplatte zur vakuumdichten Absperrung gegenüber der Hauptkammer während der Behandlung zugeordnet ist.
Wie die nachfolgende Beschreibung eines Ausführungsbeispiels zeigt, können mit der Erfindung vor allem teure Hub- und Schwenkventile,
wie sie sonst besonders bei Anlagen mit mehreren gegeneinander absperrbaren Vakuümkammern notwendig sind, vermieden
und dadurch die Kosten der Anlage wesentlich gesenkt werden.
In der Zeichnung bedeutet 1 den Bodenteil der evakuierbaren Hauptkammer,
die durch den oberen haubenförmig ausgebildeten Teil 2 abgeschlossen wird. In dieser Hauptkammer befindet sich die drehbare
Transporteinrichtung J5 für das Beschichtungsgut, welche mittels
der vakuumdicht durch den Boden der Hauptkammer hindurchgeführten Welle 4 angetrieben wird. Die Transporteinrichtung weist
im Beispielsfalle - s. Fig. 2 - vier verschiedene Arbeitspositionen
auf und ist mit vier ringförmigen Aufnähmevorrichtungen 5
bis 8 für die Träger 9 des Beschichtungsgutes ausgerüstet. Sie besitzen an der Innenseite eine Schulter 10 zur Aufnahme der hier
als Kalotten ausgebildeten Träger 9 des Beschichtungsgutes und
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sind an der Transporteinrichtung federnd gehaltert. Dazu sind sie an ihrer Aussenseite mit mehreren radialen Fortsätzen 11
versehen, mittels deren sie durch Stifte 12, die durch Bohrungen des Tellers J5 hindurchragen, von diesem getragen werden.
Die beiden Druckfedern 13 und l4 an jedem Stift ermöglichen,
wie die Zeichnung erkennen lässt, eine gewisse Verschiebung der genannten Ringe, vor allem in axialer Richtung.
Drehen der Welle 4 können die einzelnen Aufnahmeringe nacheinander
in die verschiedenen Arbeitspositionen gebracht werden. Den einzelnen Arbeitspositionen sind getrennt evakuierbare und
gegenüber der Hauptkammer absperrbare Arbeitskammern zugeordnet, von denen die Zeichnung zweiynämlich 15 und 16 zeigt.
Die Kammer 15 dient dem Ein- und Ausschleusen der Träger 9. Sie.
wird gebildet, wenn sich ein Aufnahmering - in der Figur 1 der Ring 7 - gerade in der betreffenden Position befindet und besteht
dann aus diesem Ring, und aus dem mit dem Teil 2 der Hauptkammer verbundenen Teil17, einem Deckel l8 und einer Bodenplatte I9.
Letztere ist mit einer vakuumdicht durch Kammerteil 1 hindurchgeführten Hubstange verbunden. Zwischen den einzelnen Teilen
der Arbeitskammer sind Ringdichtungen vorgesehen. Beim Anheben
der Platte I9 wird diese wie ein Plattenventil an den Aufnahmering
7 und letzterer an den Kammerteil 17 angedrückt und ergibt eine gegenüber der Hauptkammer vakuumdichte Absperrung. Die
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Kammer 15 kann dann bei geschlossenem Deckel l8 üb,er die Leitung
20 getrennt von der Hauptkammer evakuiert bzw. belüftet werden. Man kann sie öffnen, während die Hauptkammer unter
Vakuum steht und die zu behandelnden Gegenstände in die Aufnahmevorrichtung einbringen z.B. eine mit Linsen zur Beschichtung
beladene Trägerkalotte 9· Natürlich -kann der Träger für
die zu beschichtenden Gegenstände auch anders ausgebildet sein z.B. als ebene Platte mit Oeffnungen, in welche die Linsen eingesetzt
sind oder anderen Unterseite sie irgendwie befestigt sind. 9 könnte auch einen als ganzes zu behandelnden Gegenstand
z.B. einen zu beschichtenden Spiegelkörper darstellen. Die vielfachen Möglichkeiten der Ausgestaltung von Trägern für zu behandelnde
Gegenstände sind bekannt und brauchen hier nicht näher beschrieben zu werden.
Nach Schliessen der Schleusenkammer 15 und Wiederevakuierung kann
der mit dem Gut beladene Ring bei abgehobener Ventilplatte in eine folgende Arbeitsposition weitergedreht werden. Eine solche
weitere Arbeitsposition kann z.B. für'das Aufdampfen eingerichtet sein, wie die Kammer l6 in Figur 1. Diese besitzt einen eigenen
Evakuierungsanschluss 21 und weist eine oder mehrere Verdampfungsquellen 22-bekannter Art auf. Sobald sich ein mit Beschichtungsgut
beladener Aufnahmering - in Figur 1 der Ring 5 - in Bedampf
ungsposi ti on befindet, kann nach vorheriger Evakuierung
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des Raumes, in dem die Aufdampfung stattfindet, diese in an
sich bekannter Weise durchgeführt werden.
Falls die Aufdampfkammer während der Bedampfung gegenüber der
Hauptkammer bzw. etwaigen weiteren Arbeitskammern abgesperrt
werden muss - dies hängt im Einzelfalle von den in diesen weiteren
Arbeitspositionen durchzuführenden Prozessen ab, die möglicherweise eine andere Atmosphäre oder einen anderen Gasdruck
benötigen - kann auf gleiche Weise wie die Schleusenkammer 15
gebildet wurde, auch eine von der Hauptkammer vakuumdicht absperrbare Aufdampfkammer erhalten werden, wenn das Plattenventil 2j5
mit Hubstange 24 vorgesehen wird. Beim Anpressen der Ventilplatte
an den in Aufdampfposition befindlichen Aufnahmering 5 wird durch
diesen zusammen mit dem Kammerteil 25, der einen abnehmbaren Boden
26 besitzt, und. bei Vorsehen entsprechender Dichtungen ähnlich wie für die Schleusenkammer 15 beschrieben wurde, eine vakuumdichte
Kammer l6 gebildet. Nach Durchführung der Bedampfung kann die Platte 2j5 vom Ring 5 wieder angehoben und dieser für den
Weitertransport freigegeben werden.
Entsprechend können auch bei weiteren Arbeitepositionen absperrbare
eigene Arbeitskammern gebildet werden. In diesen können z.B. weitere Einrichtungen zum Aufbringen einer Beschichtung durch
Aufdampfen oder Kathodenzerstäubung angebracht werden oder Ein-
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richtungen zum Heizen oder Kühlen der zu beschichtenden Substrate bzw. der Schichten, Einrichtungen zum Beschuss der zu
beschichtenden Oberflächen mit Ionen oder Elektronen u.a. mehr. Pur das Ausbringen der fertigbehandelten Gegenstände aus der
Anlage kann eine der .Arbeitspositionen als Ausschleuskammer aus
gebildet werden; zweckmässigerweise wird jedoch dieselbe Kam-
^ die zum Einschleusen dient, auch zum Ausschleusen benutzt.
Die Zahl der erforderlichen Arbeitspositionen bzw. Arbeitskammern
und die Verteilung der im Zuge einer Beschichtung durchzuführenden
Arbeitsschritte auf die einzelnen. ArbeitspositLonen
hängt ausser von der Art der bei jedem Schritt durchzuführenden Prozesse auch noch von den hiefür benötigten Zeiten ab. Mit Vorteil
wird die Einteilung so getroffen, dass für jede Arbeitsposition ungefähr dieselbe Zeit benötigt wird, denn die längste
dieser Zeiten bestimmt die sogenannte laktasit, mit welcher
bei kontnuierlicher Fertigung der Weitertransport des Beschichtungsgutes
von einer Arbeitsposition in die nächste erfolgen kann.
Die Evakuierung der Hauptkammer erfolgt entweder über einen eigenen
Evakuierungsanschluss oder über eine der Arbeitskammern mit Evakuierungsanschluss, wenn letzteres im Rahmen der vorgesehenen
Arbeitstakte möglich ist.
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Das erfindungsgemässe System hat den besonderen Vorteil, dass
es sehr flexibel ist. Je nach Bedarf können an die Hauptkammer die verschiedensten Arbeitskammern angeflanscht werden, wenn
entsprechende Trennflansche vorgesehen sind; es ist zweckmässig, wenn möglich die ganze Einrichtung einer Arbeitskammer auf einer
Planschplatte (wie 26 in Figur l) aufzubauen, so dass nur diese allein ausgewechselt werden muss.
Die Aufnahmevorrichtungen müssen natürlich nicht unbedingt ringförmig
sein wie im Ausführungsbeispiel, sondern können z.B. auch einen rechteckigen Querschnitt aufweisen. In der Zeichnung wurde
eine federnde Halterung der Aufnähmevorrichtungen gezeigt:statt
dessen könnte der Drehteller selbst für eine Hubbewegung in axialer Richtung ausgebildet werden; z.B. indem die vakuumdichte
Durchführung der Welle 4 in bekannter Weise für eine Dreh- und Schiebebewegung eingerichtet wird, so dass die Aufnahmevorrichtungen,
die in Arbeitsposition einen Teil der Wandung der Arbeitskammern bilden, zur Erzielung einer vakuumdichten Absperrung an
die feststehenden Teile der Arbeitskammern in axialer Richtung angepresst werden können. Die federnde Aufhängung der Aufnahmevorrichtungen
an der Transporteinrichtung ergibt aber die vorteilhafte Möglichkeit, sowohl an der Oberseite als auch an der
Unterseite der Hauptkammer Arbeitskammern anzuordnen, die ent-
nach Belieben
sprechend den in diesen Kammern durchzuführenden Prozessen/gegeneinander
abgesperrt und unabhängig voneinander evakuiert werden können,
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Claims (3)
1. Vakuumbeschichtungsanlage mit mehreren verschiedenen Arbeitspositionen zum Ein- und Ausschleusen und zum Behandeln eines
Gutes, sowie mit einer in einer evakuierbaren Hauptkammer ange-
ordneten, drehbaren Transporteinrichtung für das Gut, dadurch gekennzeichnet, dass die Aufnahmevorrichtung
für das Gut in wenigstens einer Arbeitsposition einen rahmenförmigen Wandteil einer von der Hauptkammer abtrennbaren
Arbeitskammer bilden, und dass dieser Arbeitskammer eine Ventilplatte zur vakuumdichten Absperrung gegenüber der Hauptkammer
während, der Behandlung zugeordnet ist.
2. Vakuumbeschichtungsanlage nach Patentanspruch 1, dadurch
g e k e η η ζ e i c h η e t, dass beide Seiten der rahmenförmigen
Aufnahmevorrichtungen mit Dichtungsflächen versehen sind, die mit Gegendichtungsflächen eines feststehenden Teiles
der Arbeitskammer und der Ventilplatte zusammenwirken. - ,
3. Vakuumbeschichtungsanlage nach Patentanspruch 1, dadurch
. gekennzeichnet, dass die Aufnähmevorrichtungen
an der Transporteinrichtung in axialer Richtung verschiebbar ■
gehaltert sind. " .
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Vakuumbeschichtungsanlage nach Patentanspruch 1, dadurch
gekennzeichnet, dass wenigstens eine Schleusen-,
kammer und auf.der anderen Seite der Bewegungsebene der
Transporteinrichtung eine weitere Arbeitskammer vorgesehen
ist.
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