NL1000138C2 - Inrichtingen voor het bewerken van een substraat alsmede werkwijze geschikt voor toepassing bij dergelijke inrichtingen. - Google Patents
Inrichtingen voor het bewerken van een substraat alsmede werkwijze geschikt voor toepassing bij dergelijke inrichtingen.Info
- Publication number
- NL1000138C2 NL1000138C2 NL1000138A NL1000138A NL1000138C2 NL 1000138 C2 NL1000138 C2 NL 1000138C2 NL 1000138 A NL1000138 A NL 1000138A NL 1000138 A NL1000138 A NL 1000138A NL 1000138 C2 NL1000138 C2 NL 1000138C2
- Authority
- NL
- Netherlands
- Prior art keywords
- devices
- well
- substrate processing
- methods suitable
- processing devices
- Prior art date
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
- C23C14/568—Transferring the substrates through a series of coating stations
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
NL1000138A NL1000138C2 (nl) | 1995-04-13 | 1995-04-13 | Inrichtingen voor het bewerken van een substraat alsmede werkwijze geschikt voor toepassing bij dergelijke inrichtingen. |
DE69616131T DE69616131T2 (de) | 1995-04-13 | 1996-04-04 | Verfahren zur Beschichtung eines Substrats durch Sputtern |
EP96200963A EP0737758B1 (en) | 1995-04-13 | 1996-04-04 | Method of coating a substrate by sputtering |
US08/631,212 US6113749A (en) | 1995-04-13 | 1996-04-12 | Sputtering method in multi-chambered device |
JP8092524A JPH08283939A (ja) | 1995-04-13 | 1996-04-15 | 基板を処理する装置および該装置で用いられる方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
NL1000138A NL1000138C2 (nl) | 1995-04-13 | 1995-04-13 | Inrichtingen voor het bewerken van een substraat alsmede werkwijze geschikt voor toepassing bij dergelijke inrichtingen. |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
NL1000138C2 true NL1000138C2 (nl) | 1996-10-15 |
Family
ID=19760878
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
NL1000138A NL1000138C2 (nl) | 1995-04-13 | 1995-04-13 | Inrichtingen voor het bewerken van een substraat alsmede werkwijze geschikt voor toepassing bij dergelijke inrichtingen. |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6113749A (nl) |
EP (1) | EP0737758B1 (nl) |
JP (1) | JPH08283939A (nl) |
DE (1) | DE69616131T2 (nl) |
NL (1) | NL1000138C2 (nl) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH693508A5 (de) * | 1997-09-12 | 2003-09-15 | Unaxis Balzers Ag | Sputterstation. |
US8728285B2 (en) | 2003-05-23 | 2014-05-20 | Demaray, Llc | Transparent conductive oxides |
US7780821B2 (en) * | 2004-08-02 | 2010-08-24 | Seagate Technology Llc | Multi-chamber processing with simultaneous workpiece transport and gas delivery |
KR101127370B1 (ko) | 2004-12-08 | 2012-03-29 | 인피니트 파워 솔루션스, 인크. | LiCoO2의 증착 |
US7838133B2 (en) * | 2005-09-02 | 2010-11-23 | Springworks, Llc | Deposition of perovskite and other compound ceramic films for dielectric applications |
US8202407B1 (en) | 2009-01-06 | 2012-06-19 | Arthur Don Harmala | Apparatus and method for manufacturing polycarbonate solar cells |
US20100170566A1 (en) * | 2009-01-06 | 2010-07-08 | Arthur Don Harmala | Apparatus and method for manufacturing polymer solar cells |
US11486503B2 (en) * | 2018-08-17 | 2022-11-01 | Vat Holding Ag | Assembly having at least two chambers and at least one transfer valve |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4420385A (en) * | 1983-04-15 | 1983-12-13 | Gryphon Products | Apparatus and process for sputter deposition of reacted thin films |
EP0136562A2 (en) * | 1983-09-02 | 1985-04-10 | Hitachi, Ltd. | Continuous sputtering apparatus |
JPH0192367A (ja) * | 1987-10-05 | 1989-04-11 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | スパッタ装置 |
EP0312694A1 (de) * | 1987-10-17 | 1989-04-26 | Leybold Aktiengesellschaft | Vorrichtung nach dem Karussell-Prinzip zum Beschichten von Substraten |
EP0463392A1 (en) * | 1990-05-31 | 1992-01-02 | Shibaura Engineering Works Co., Ltd. | An apparatus having a vacuum chamber |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CH573985A5 (nl) * | 1973-11-22 | 1976-03-31 | Balzers Patent Beteilig Ag | |
US4125446A (en) * | 1977-08-15 | 1978-11-14 | Airco, Inc. | Controlled reflectance of sputtered aluminum layers |
DE3912295C2 (de) * | 1989-04-14 | 1997-05-28 | Leybold Ag | Katodenzerstäubungsanlage |
DE4117969C2 (de) * | 1991-05-31 | 2000-11-09 | Balzers Ag Liechtenstein | Vakuumkammer |
-
1995
- 1995-04-13 NL NL1000138A patent/NL1000138C2/nl not_active IP Right Cessation
-
1996
- 1996-04-04 DE DE69616131T patent/DE69616131T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1996-04-04 EP EP96200963A patent/EP0737758B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1996-04-12 US US08/631,212 patent/US6113749A/en not_active Expired - Fee Related
- 1996-04-15 JP JP8092524A patent/JPH08283939A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4420385A (en) * | 1983-04-15 | 1983-12-13 | Gryphon Products | Apparatus and process for sputter deposition of reacted thin films |
EP0136562A2 (en) * | 1983-09-02 | 1985-04-10 | Hitachi, Ltd. | Continuous sputtering apparatus |
JPH0192367A (ja) * | 1987-10-05 | 1989-04-11 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | スパッタ装置 |
EP0312694A1 (de) * | 1987-10-17 | 1989-04-26 | Leybold Aktiengesellschaft | Vorrichtung nach dem Karussell-Prinzip zum Beschichten von Substraten |
EP0463392A1 (en) * | 1990-05-31 | 1992-01-02 | Shibaura Engineering Works Co., Ltd. | An apparatus having a vacuum chamber |
Non-Patent Citations (3)
Title |
---|
DATABASE WPI Section Ch Week 8920, Derwent World Patents Index; Class L03, AN 89-148381 * |
DATABASE WPI Section Ch Week 9224, Derwent World Patents Index; Class L03, AN 92-197679, ANONYMOUS: "Differential pumping of gas mixt. having different conductances, etc. - by supplying to vacuum chamber under viscous flow conditions and pumping under mol. flow conditions so differing speeds affect partial pressure ratio" * |
RESEARCH DISCLOSURE, vol. 337, no. 089, 10 May 1992 (1992-05-10), EMSWORTH, GB * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE69616131T2 (de) | 2002-07-11 |
EP0737758B1 (en) | 2001-10-24 |
US6113749A (en) | 2000-09-05 |
EP0737758A1 (en) | 1996-10-16 |
DE69616131D1 (de) | 2001-11-29 |
JPH08283939A (ja) | 1996-10-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
NL1002372A1 (nl) | Halfgeleider licht-emitterende inrichting en werkwijze voor het produceren van deze. | |
NL194087B (nl) | Plasma-werkwijze voor het bekleden van vlakke substraten. | |
NL1007616A1 (nl) | Behandelingsmethode voor formaties met gebruikmaking van vervormbare deeltjes. | |
NL1010594A1 (nl) | Inrichting voor het overdragen van voorwerpen. | |
NL1001134A1 (nl) | Werkwijze voor het verharden van CaCO3. | |
NL1004953A1 (nl) | Inrichting voor het geleiden van planten. | |
NL1000396C2 (nl) | Werkwijze voor het terugwinnen of recirculeren van stabiele nitroxideradicalen. | |
NL1000138C2 (nl) | Inrichtingen voor het bewerken van een substraat alsmede werkwijze geschikt voor toepassing bij dergelijke inrichtingen. | |
NL1013390A1 (nl) | Inrichting, samenstel en werkwijze voor het centrifugeren van producten. | |
NL193052B (nl) | Werkwijze voor het verwerken van mosselen. | |
NL1000624C2 (nl) | Inrichting voor het opnemen van vocht, en werkwijze voor de vervaardiging daarvan. | |
NL194117B (nl) | Inrichting voor het vervaardigen van muurelementen. | |
NL1006052A1 (nl) | Werkwijze voor het identificeren van het geslacht van spinazie met DNA-markers. | |
NL1002474A1 (nl) | Werkwijze voor het uitvoeren van wedstrijdvluchten met duiven. | |
NL192662B (nl) | Inrichting voor het immobiliseren van gereedschap. | |
NL194986B (nl) | Werkwijze voor het verwerken van champignonvoetjes. | |
NL194471B (nl) | Werkwijze voor het oxideren van koolhydraten. | |
NL1013584A1 (nl) | Werkwijze voor het confectioneren van doekranden, inrichting daarvoor en geconfectioneerd doek vervaardigd volgens deze werkwijze. | |
NL1010332A1 (nl) | Werkwijze voor het saneren van dijken. | |
NL1000270A1 (nl) | Sorteerinrichting voor het sorteren van champignons, een samenstel van dergelijke sorteerinrichtingen, en werkwijze voor het sorteren van champignons. | |
NL1002160A1 (nl) | Werkwijze en inrichting voor het doorsnijden van langwerpige elementen. | |
NL1011800A1 (nl) | Werkwijze en inrichting voor het cryptografisch bewerken van data. | |
NL194119B (nl) | Inrichting voor het vervaardigen van vezelversterkte, rotatiesymmetrische wikkellichamen. | |
NL1003507A1 (nl) | Inrichting voor het verzamelen van stoffen. | |
NL1011552A1 (nl) | Inrichting voor het verdelen van voorwerpen. |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PD2B | A search report has been drawn up | ||
SD | Assignments of patents |
Owner name: OTB GROUP B.V. |
|
VD1 | Lapsed due to non-payment of the annual fee |
Effective date: 20031101 |