DE2055632A1 - Verfahren zum Herstellen von Blend schutzglasern durch Aufdampfen von Ober flachenschichten im Vakuum, insbesondere auf Brillenglasern - Google Patents

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3224-1-5742

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Verfahren zum Herstellen von Blend schutzgläsern durch Aufdampfen von Oberflächenschichten im Vakuum, insbesondere auf Brillengläsern

(Zusatz zu Patent 1 496 572)

Hauptpatent 1 4$6 572 betrifft ein Verfahren zum Herstellen iron Blendschutrgläsern durch Aufdampfen von Oberflächenschichten im Vakuum, insbesondere auf Brillengläsern, bei dem einer Siliziumdioxid enthaltenden Substanz elementares Bor zugesetzt und dieses Substanzgemisch aufgedampft wird. Als bei der gemeinsamen Erwärmung der Ausgangssubstan» elementares Bor abgebenden Borverbindung kann ein Metallborid verwendet werden.

Hierbei wird bei bekannten Verfahren als Aufdampfsubitanz ein Gemisch verwendet, dessen eine Komponente ein« schwachabsorbierende Substanz, beispielsweise Quarz, ist, während als stark absorbierende und färbende Komponente beispielsweise Chrom verwendet wird· Die beiden Substanzen werden prozentual so aufeinander abgestimmt, daß sich die gewünschte Ab- ' ■ sorption des Blendachutzglaaea oder Brillenglases eingibt.

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Den so hergestellten Gläsern haften insofern Mangel an, als die aufgedampften Schichten infolge von Interferenzerscheinungen farbige Reflexe aeigen. Diese unerwünschten Reflexe sind von Aufdampfcharge zu Auf dampf charge verschiedenfarbig. Eine völlige Steuerung der Reflexfarbe und die gleichzeitige Konstanthaltung der Absorption für das durchfallende Licht ist in der Praxis nicht durchführbar. Dadurch wird die bei Blendschutzgläsern anzustrebende bzw. in manchen Fällen erforderliche Paarung und Austauschbarkeit von Gläsern aus verschiedenen Chargen außerordentlich erschwert. Die bei diesen dünnen f

Schichten auftretenden störenden Farben werden dadurch vermieden, daß größere Schichtdicken, als sie bei den bekannten Verfahren üblich sind, aufgedampft werden. Erst dickere Schichten ermöglichen die Austauschbarkeit. Aufgrund eigener Untersuchungen ist eine geometrische Mindestschichtdicke von 1,5 /U erforderlich. Die sich durch Multiplikation mit dem Brechungsindex ergebende optische Dicke ist entsprechend größer.

Damit nun bei diesen Schichtdicken die Gläser nicht su stark gefärbt werden, müssen die färbenden Sub- m stanzen mit einer genügend schwach absorbierenden Substanz verdünnt werden. Die schwach absorbierende Substanz wird im folgenden als Verdünnungssubstanz bezeichnet.

Bisher gab es keine wirklich geeignete Verdünnungseubstans mit geringer Eigenabsorption, wobei hier nur die Oxide wegen ihrer Härte in Frage kommen. Quarz ist zwar als Verdünnungesubstanz im Ausgangszustand nicht absorbierend, wird aber durch Reaktion mit dem heißen Schiffchenmaterial zersetzt und

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in einen absorbierenden Zustand übergeführt. Das im nachstehenden beschriebene erfindungsgemäße Verfahren wird in der Praxis in erster Linie mittels der bei neueren Anlagen üblichen Widerstandsheizung der Schiffchen ohne irgendwelche teuren Zusatzgeräte ausgeführt·

Quarz oder ßiliziumdioxid, auch in Verbindung mit Boroxid als Verdünnungssubstanz, hat noch folgende weitere Nachteile! Die Verdampfung erfolgt aus der flüssigen Phase heraus bei einer verhältnismäßig hohen Temperatur, Hierbei ergibt sich ein hoher Verbrauch an teuren Schiffchen, da das heiße flüssige Siliziumdioxid infolge eines innigen Kontaktes mit dem Schiffchen dieses stark angreift, Ein weiterer !Nachteil besteht darin, daß der Aufdampfprozeß so lange durchgeführt werden muß, bis sich die mittels Fotometer gemessene erwünschte Absorption einstellt» Dann wird der Aufdampf proζeß unterbrochen, was ohne Rücksicht darauf geschehen muß, ob die gesamte Aufdampfsubstanz verbraucht ist· Die Rückstände im Schiffchen lassen sich nur sehr schwer entfernen, was ebenfalls zu Beschädigungen des Sehiffchenmaterials führt. Neu zugesetzte Aufdampfsubstanz bewirkt, daß bei der weiteren Charge reproduzierbare Werte nicht erzielt werden können, weil die Eückstandssubstanz schon stark zersetzt ist*-

Es wurde nunmehr gefunden, daß sich hochwertige Blendachutzgläser herstellen lassen, und daß der Aufdampfprozeß unter Vermeidung der genannten Schwierigkeiten bei gleichzeitiger Verbesserung des Verfahrens nach dem Hauptpatent durchge£führt werden kann, in dem - und darin besteht die Erfindung -

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ein Gemisch aus elementarem Bor und 'Siliziumdioxid hergestellt und das aus dem Bor und dom Siliziumdioxid gebildeten Keaktionsprodukt zur Ausbildung einer Beschichtung im Vakuum auf das Glas aufgedampft wird·

Durch den Zusatz des stark absorbierenden elementaren Bors zum Quarz wird die Absorption des Niederschlages nicht erhöht, sondern sogar verringert· Durch die geringe Eigenabsorption der neuen Verdünnungssubstanz ergibt sich der Vorteil, daß die ä neue VerdÜnnungssubstanz in weiten Grenzen regelbare Absorptionswerte herzustellen ermöglicht· Ohne Änderung der Zusammensetzung der Verdünnungssubstanz lassen sich daher Absorptionswerte von 15 9o % einstellen» und zwar bei Schichtdicken von etwa 1,5 /U · Diese Schichtdicken ermöglichen Aufdampfschichten, welche frei von schillernden Interferenzfarben sind· Die neuen Substanzen sublimieren aus der festen Phase heraus und greifen die Schiffchen nur geringfügig an. Nicht verdampfte Bückstände sind aus dem Schiffchen leicht entfernbar· Daher kann auch vor Jeder neuen Charge das Schiff« chen mit neuer unverbrauchter Substanz gefüllt werden» ™ eine Vorbedingung dafür» daß von Charge zu Charge gleiche Aufdampfbedingungen vorliegen und sich austauschbare Sonnenschutzgläser herstellen lassen· Durch den Borzusatz wird außerdem die Verdampfungsgeschwindigkeit erhöht.

Statt elementarem Bor kann erfindungsgemäß auch eine bei Erwärmung Bor abgebende Substanz verwendet werden.. Pur das erfindungsgemäße Verfahren eignen sich besonders gut die Hetallboride und insbesondere Metall-

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boride, deren Metallanteil im Elemeritarsäustand einen Über 2400 ⁰C liegenden Verdampfungspunkt aufweist· Derartige Metallboride sind z.B. die Boride von Kobalt, Ghrom, Eisen, Hafnium, Molybdän, ITiob, !Tantal, üJhorium, EL tan, Uran, Vanadium, Wolfram und Zirkon.

Sie Boride der nachstehend genannten Metalle zur Ausführung des erfindungsgemäßen Verfahrens ebenfalls gut geeignet, jedoch infolge ihrer hohes Kosten in der Anwendung weniger wirtsohaftlicht Erbium, Holmium, Gadolinium, Lutetium, Neodym, Praseodym, Scandium, ferbium und Yttrium.

Es konnte auch gezeigt werden, daß die Boride von Aluminium, Beryll, 0er, Kupfer, Germanium, Lanthan, Nickel und Palladium ausgezeichnete Ergebnisse liefern·

Ganz allgemein läßt sieh daher feststellen, daß Jedes Metal'lborid verwendet werden kann, das unter den Bedingungen des erfindungsgemäßen Verfahrens elementares Bor abgibt und dessen [email protected] entweder Überhaupt nicht oder nur zn einem vernachlässigbaren Grade vi^ampft* Daher werden. Torzugsweise Hetallboride verwendet, die einem hohen Bor- und einen niedrigen If et all anteil enthalten· Bei Verwendung τοη Aluminitmborid wird daher beispielsweise bevorzugt AULg und nicht AlBg verwendet, obwohl auch mit der letztgenannten Verbindung annehmbare Ergebnisse erhalten werden. Ein entsprechendes weiteres Beispiel ist Bariumbromi4

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Zur Ausführung der Erfindung eignen sich außerdem die nachstehend genannten Metallboride, die ein hohes Boranteil aufweisen:

Strontiumborid
Calziumborid (GaBg) und Manganborid (MnB^).

Aus praktischen Gesichtspunkten werden bevorziugt diejenigen Metallborid'e verwendet, deren Metallanteil im Element ar zustand ein spezifisches Gewicht von mehr als 9 aufweist· Diese Bedingung wird durch , die Boride der folgenden Metalle erfüllt: Hafnium, "

Molybdän, !Dantal und Wolfram· Hit diesen Metallboriden läßt sich eine besonders ruhige Verdampfung durchführen, ohne ein Herausspritzen der Substanz befürchten zu müssen·

Hierbei soll 3©äoch besonders darauf hingewiesen werden, daß die Bor freigebende oder abgebende Substanz nicht unbedingt ein Metallborid sein muß.

Es konnte in diesem Zusammenhang gezeigt werden, daß sich mit Siliziumboriden, wie z.B. SiB₂^, SiBg lind 812L? gleichermaßen vorteilhafte Ergebnisse erzielen lassen· Durch Versetzen von Siliziumdioxid f alt Siliziumboriden werden verdampf bare Boroxid-Siliciumoxid-Verbindungen gebildet, die bei Auf* dampfen im Vakuum auf Brillengläser ausgezeichnete Beschichtungen liefern·

Bas Ergebnis bei Zugabe einer Bor freigebenden Substanz ist das gleiche wie bei Verwendung von elementarem Bor· Die Schiffchenauf heizung kann aber

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i schneller erfolgen, ohne daß die Gefahr eignes Herausapritzens der Substanz besteht, da 4Ie Netallboride Bor sanft abgeben und infolge des größeren spezifischen Gewichtes ruhig im Schiffchen iliegen. Das trifft insbesondere dann zu, wenn das spezifische Gewicht über 9 liegt. !

ί Gegenüber bekannten Siliziuramonoxidschichteii haben die neuen Schichten bei der angestrebten Dicke τοη wenigstens etwa 1,5 /u den Vorteil einer geringeren ELgenfärbung und eines geringeren Gelbsticies, auch dann noch, wenn, wie es üblich ist, die Siliziummonoxidschichten langsam aufgedampft werden. Die neuen Schichten oder Beläge lassen sich ohne Nachteile oder schädliche Auswirkungen schnell aufdampfen. Ihre Durchsichtfarbe ist klar, und sie sind völlig frei von Schlieren, die ansonsten häufig bei dickeren Siliziummonoxidschichten auftreten.

Die Aufbringung einer reflexmindernden Schicht ist bei den neuen Blendschutzbelägen vorteilhaft, desgleichen eine Nachbehandlung durch Temperung.

In Gegensatz zu bekannten Verfahren zur Herstellung farbreflexfreier Absorptionsbeläge vermittels inhomogener Schichten oder Schichten, welche den gleichen Brechungsindex wie Glas aufweisen, lassen sich die neuartigen Schichten farbreflexfrei herstellen, wobei von der bekannten physikalischen Tatsache Gebrauch gemacht wird, daß weißes Licht bei hohem Gangunterschied keine sichtbaren Interferenzfarben zeigt· Eine Inhomogenität oder der

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gleiche Brechungsindex wie das Glas ist weder erforderlich noch vorhanden. Die erfindungsgemäß reproduzierbar herstellbaren Schichten werden den inhomogenen Schichten gegenüber in einem einfacheren Verfahren aufgedampft und sind von einer gesteigerten Härte, da harte Oxide zur Anwendung kommen.

Die Durchführung des Aufdampfprozesses erfolgt in an sich bekannten Vorrichtungen unter Hochvakuum

und bei der relativ niedrigen ^temperatur von etwa |

1300 ⁰G. Die Beheizung der Schiffchen erfolgt in an sich bekannter Weise.

Die Schwierigkeiten bei der Ausführung des erfindungsgemäßen Verfahrens liegen im wesentlichen in der Ausbildung des Bor-Siliziumdioxid-Gemisches, bei dem das Bor entweder direkt oder in Form eins» Bor abgebenden Verbindung, wie z.B. eines Metallborids oder eines Siliziumborids, vorliegt. Da Bor chemisch auf Siliziumdioxid einwirkt und das erhaltene Reaktionsprodukt aus Bor und Siliziumdioxid leichter verdampfbar ist als Siliziumdioxid und Bor getrennt, wird ein synergistischer Effekt erhalten. Nach der w

Erfindung muß daher das Heaktionsprodukt aus Bor und Siliziumdioxid vor dem eigentlichen Verdampfungsprozeß gebildet werden. Da das Bor-Siliziumdioxid-Produkt vor der Verdampfung gebildet wird und somit eine niedrigere Verdampfungstemperatur als die miteinander reagierenden Substanzen aufweist, ist der Rest der Bor abgebenden Substanz, unabhängig davon, ob es sich dabei um eine Metall oder Silizium handelt, von sekundärer Bedeutung, so lange wie die Bor abgebende Verbindung das Bor vor dem Beginn der Verdampfung freigibt. Aus diesen Gründen ist die Gefahr, daß sämtliche,

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Bor freigebende Substanz verdampft, auf ein Mindestmaß verringert, und die Menge an elementarem Metall oder Silizium, die von den Dämpfen mitgerissen und auf den Brillengläsern niederschlagen wird, vernachlässigbar klein· In den meisten !"allen wird überhaupt kein Metall oder Silizium mitgerissen.

Die Erfindung wird an nachstehenden Ausführungsbeispielen erläutert:

Beispiel 1

Fünf Gewicht steilen Siliziumdioxid wird ein Gewichtsteil elementares Bor zugesetzt, und diese Aufdampfsubstanz wird in einem Hochvakuum in einem sogenannten Auf dampf schiff chen aus Molybdän auf etwa 13500 ⁰O erhitzt. Die Aufdampfsubstanz geht leicht in den dampfförmigen Zustand über und wird auf den im Hochvakuum befindlichen fertig geschliffenen Brillengläsern niedergeschlagen.

Der Absorptionsgrad wird gleichzeitig durch ein fe Fotometer gemessen und die Verdampfung unterbrochen, sobald der erwünschte Absorptionsgrad erreicht ist.

Rückstände lassen sich nach Beendigung der Aufdämpfung aus dem Schiffchen leicht entfernen. Das Schiffchen ist unbeschädigt und wiederholt verwendbar. Die Dicke der aufgedampften Schicht beträgt 1,5 /^ · Die Brillengläser sind schwach gelblich getönt und frei von farbigen Reflexenj sie sind als Augenschutz für empfindliche Augen geeignet.

Beispiel 2

Ein Schiffchen aus Molybdän, das eine Yerdünnungs-

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substanz nach Beispiel 1 und eine vorbestimmte Nenge Chromoxid enthält, wird in einen Hochvakuumverdampfungsbehälter eingebracht. Der Chromoxidanteil beträgt für eine Schicht mit einer Absorption von 75 % 25o mg auf 1 g Verdünnungssubstanz. Pur Gläser mit geringerer Absorption wird ein entsprechend geringerer Anteil an Chromoxid zugesetzt, während die Yeräünnungssubstanz in ihrer Zusammensetzung unverändert bleibt.

Die erhaltenen Gläser, die während des Verdampfungs-Prozesses über dem Schiffchen in Botation gehalten werden, zeigen auf der ganzen Fläche eine völlig gleiehmäßije, schlierenfreie Uurchsichtfarbe. Die aufgedampfte Schicht hat eine Dicke von 1,5 /U. · Sie ist frei von störenden Interferenzerscheinungen und ohne Nachpolieren gebrauchsfertig. Die Schicht ist beim Gebrauch kratzfest» Die aufgedampften Gläser werden einer an sich bekannten Nachbehandlung (Eemperung) bei 400 ⁰C während einer Stunde unterworfen und zeigen dann eine als angenehm empfundene graubraune Durchsichtfarbe· Buckstände lassen sich aus dem SchiffcHen leicht entfernen*

Beispiel 3

Die Anfäampfmethode gemäß Beispiel 2 wird in zwei getrennten Schiffchen durchgeführt, von denen das eine das Gemisch und das andere die färbende Substanz enthält· Bas in Beispiel Λ angegebene Ife&t&ltnis von. Siliziumdioxid tind elementarem Bor in dem Gemisch erweist sich als besonders günstig· Bei Abweichung der Anteile ergibt eich eine größere Kiickstandsmenge in dem Schiffchen* Die mit einer aufgedampften Absorptionsschicht versehenen Gläser werden anschließend in der gleichen Hochvakmuakammer schicht-

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seitig zusätzlich mit einer dünnen Schicht aus Quarz bedampft, die als reflexmindernde Schicht wirkt.

Beispiel 4

Dem Siliziumdioxid gemäß den Beispielen 1-3 wird statt elementarem Bor ein Metallborid in der Porm von Wolframborid in einem dem höheren Molekulargewicht entsprechend gesteigerten Mengenanteil zugesetzt. Bei der Erwärmung wird das Bor abge-)| geben und die in den obigen Beispielen angegebene vorteilhafte Wirkung in gleichem Maße erreicht.

Beispiel 5A (Zwei-Stufen-Verfahren)

Erste Stufe

Fünf Gewichtsteilen Siliziumdioxid wird in der ersten Stufe ein Gewichtsteil elementares Bor zugesetzt. Bas Gemisch wird in einem Hochvakuum in einem Auf dampf schiffchen aus Molybdän auf etwa 13OO ⁰C erhitzt. Bas Gemisch geht leicht in den dampfförmigen Zustand Über und schlägt sich auf der Innenwand eines Gefässes, in welches das ^ Molybdänschiffchen eingebracht ist, oder auf der Oberfläche einer oberhalb des Molybdänschiffchens befindlichen Trägerplatte nieder.

Zweiter Schritt

Die sublimierte Substanz wird von der Trägerplatte oder der Innenwand des Gefässes abgelöst und im zweiten Schritt in einem Schiffchen aus Molybdän im Hochvakuum erhitzt und zur Verdampfung gebracht. Die Substanz geht leicht in den dampfförmigen Zu-. stand über und wird auf den im Hochvakuum befind-

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lichen fertig geschliffenen Brillengläsern niedergeschlagen·

Beispiel 5B

Beispiel 5A wird wiederholt, wobei jedoch statt elementarem Bor ein Metallborid verwendet wird. Der Versuch wird mit den Boriden von Wolfram, iJickel, Molybdän, Hafnium und Kupfer ausgeführt· Die jeweilige Metallboridmenge wird so gewählt, daß das Verhältnis von Siliziumdioxid zu Metallborid, umgerechnet auf freies Bor, £>s1 beträgt. Die Ergebnisse sind vergleichbar denen aus Beispiel

Beispiel 50 '

Beispiel $k wird wiederholt, wobei statt elementarem Bor SiBg verwendet wird. Die Menge von SiBg wird so gewählt, daß das Verhältnis von Siliziumdioxid zu SiBg, umgerechnet auf freies Bor, 3'· 1 beträgt.

Die Ergebnisse sind vergleichbar denen aus Beispiel 5A.

Beispiel 6

Die Verfahrensweisen der Beispiele 1-3 werden wiederholt· Das elementare Bor wird jedoch in jedem Pall durch jeweils ein anderes Metallborid ersetzt. Es werden Versuche mit folgenden Metallboriden angestellt!

a)	Hafniumborid	Niobborid
b) Molybdänborid	lantalborid
c)	Zirkonborid
d)	Kobaltborid
e)	Ihoriumborid
f)	Vanadiumborid
g)	Scandiumborid
h)
i)

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<j) Gadoliniumborid

k) Kupferborid

1) Palladiumborid.

Di© Jeweilige Boridmenge wird so gewählt, daß das Verhältnis von Siliziumdioxid zu Metallborid, umgerechnet auf freies Bor, 5? 1 betragt. Zur Berechnung der jeweils erforderlichen Mengen muß daher das Molekulargewicht des Metallborids in Keehnung gestellt werden.

Die Metallboride b-d haben ein spezifisches Gewicht über 9» und sind infolge ihrer niedrigen Eo st en mnd aufgrund der !Tatsache, daß die Verdampfung besonders ruhig und ohne Herausspritzen der Substanz erfolgt, besonders empfehlenswert. Auch das in Beispiel 4 erwähnte Wolframborid gehört zu diesen besonders empfehlenswerten Borideaa. M ©guten Ergebnisse in den Beispielen 1-3 werden auch bei den vorstehend angegebenen Metallboriden erhalten·

Beispiel ?

Bei diesem Beispiel werden die Verfahrensweisen der Beispiele 1-3 wiederholt. Bas elementare Bor wird jedoch durch ein Metallfeorid ersetzt, dessen Halbscheid besonders viel Bor enthalt· ?ür das Beispiel werden daher Aluminiumb©rid (AlB^) ^äö Bariuaborid (BaBg) verwendet. Die jeweilige Boridmeng© wird so gewählt, daß das Verhältnis von Siliciumdioxid zu freiem Bor etwa 5*1 beträgt. Bor wird bei ErwirmUJQg frei, und auch bei diesem Beispiel werden die gleichen guten Ergebnisse wie in dem Beispielen 1-3 erhalten.

Beispiel 8

Bei diesem Beispiel werden statt elementarem Mut Siliziumboride, und zwar die folgenden verwendet:;

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und

Fünf Gewichtsteilen Siliziumdioxid wird ein Gewichtsteil des Jeweiligen Siliziumborids zugesetzt. Die Mischung wird im Hochvakuum in einem Schiffchen aus Molybdän auf etwa 1300 ⁰C erhitzt. Die Mischung geht leicht in den dampfförmigen Zustand über und wird auf den im Hochvakuum befindlichen fertig geschliffenen Brillengläsern nieder- f geschlagen· Die Beschichtungen sind von ausgezeichneter Qualität und weisen alle gewünschten Eigenschaften auf.

Bei diesem Beispiel reagieren sowohl Bor als auch Silizium mit dem Siliziumdioxid, und es werden verdampfbar e Boroxid-Siliziumdioxid-Verbindungen gebildet·

Patentansprüche s

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Claims (10)

1. Patentansprüche :

   1. Verfahren zum Herstellen von Blendschutzglasern durch Aufdampfen von Überflächeiiscliichten im Vakuum, insbesondere auf Brillengläser, nach Patent 1 4-96 572, dadurch gekennzeichnet, daß ein G-emisch aus elementarem Bor und Siliziumdioxid hergestellt und das aus dem Bor und dem Siliziumdioxid gebildete ileaktionsprodukt zur Ausbildung

   einer Beschichtung im Vakuum auf das Glas aufge- g

   dampft xvird.

   2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Gemisch aus ßiliziumdioxid und einer Bor freigebenden Substanz so weit erhitzt wird, bis die Substanz das Bor freigibt und das freie Bor mit dem Siliziumdioxid reagiert, und daß das aus Bor und Siliziumdioxid bestehende Heaktionsprodukt zur Ausbildung einer Beschichtung im Vakuum auf das Glas aufgedampft wird.

   3. Verfahren nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß als Siliziumborid SiB^, SiBg oder (||

   verwendet wird·

   4-, Verfahren nach Anspruch 1 bis 3₅ dadurch gekennzeichnet, daß als Metallborid das Borid eines Iietalls verwendet wird, dessen Iietallanteile im Elementarzustand einen Verdampfungspunkt von über 2400 ⁰C aufweisen.

   5. Verfahren nach Anspruch 1 bis 4-, dadurch gekennzeichnet, daß als Hetallborid ein Borid von

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   Aluminium, Beryll, Erbium, Holmium, Ger, Kobalt, Chrom, Kupfer, Eisen, Gadolinium, Germanium, Hafnium, Lanthan, Lutetium, Molybdän, Niob, Neodym, Nickel, Palladium, Tantal, V/oIfram, Thorium, Titan, Uran, Vanadium, Zirkon, Praseodym, Scandium,· Terbium, Yttrium, Hangan, Calzium, Strontium oder Barium verwendet wird.

   6. Verfahren nach Anspruch 1 bis J?> dadurch gekennzeichnet, daß als Metallborid das Borid eines Metalls verwendet wird, dessen Metallanteile im Elementarzustand ein spezifisches Gewicht von mehr als 9 aufweisen* ..: '

   7. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichv net, daß ein Metallborid verwendet wird, das einen hohen Boranteil und einen niedrigen . ■, Metallanteil aufweist.

   8* Verfahren nach Anspruch 1 bis 7» dadurcn gekeü zeichnet, daß als Metallborid oder IlnB_z verwendet wird.

   9, Verfahren nach Anspruch 1 bis 8, dadurch zeichnet, daß das Verhältnis von Siliziümoxid zu der Substanz, umgerechnet auf freies Bor, zu etwa 5:1 gewählt wird* ..;. ' ■■'..

   Λ O.Verfahren nachAnspruch 1 bis 9₅ dadurch , zeichnet, daß bei Verwendung einer Bor ^ Substanz ein Siliziumborid oder ein Metallborid

   verwendet wird. :

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   11. Verfahren nach Anspruc h1 "bis 1o, dadurch gekennzeichnet, daß als Siliaiumborid OiB., SiBi- oder SiB,. ρ, und als Metallborid das Borid von Aluminium, Beryll, Erbium, Holmium, Cer, Kobalt, Chrom, Kupfer, Eisen Gadolinium, Germanium, Hafnium, Lanthan, Lutetium, Molybdän, Hiob, Neodym, Uiekel, Palladium, Tantel, Wolfram, Thorium, Titan, Uran, Vanadium, Zirkon, Praseodym, Scandium, Terbium, Yttrium, Mangan, Calzium, Strontium oder Barium * verwendet wird. ^

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