DE19757567A1 - Einrichtung zur Verstellung des Meßtisches an einem Meßmikroskop - Google Patents
Einrichtung zur Verstellung des Meßtisches an einem MeßmikroskopInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Einrichtung zur Schnellverstellung des Meßtisches an
einem Meßmikroskop, gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Meßmikroskope werden für Längenmessungen an einem Objekt verwendet.
Dazu ist das Mikroskop mit einem Faden kreuz ausgestattet und das zu
vermessende Objekt wird unter diesem Faden kreuz auf einem Meßtisch
positioniert. Der Meßtisch weist übereinander angeordnete und in X- bzw.
Y-Richtung gegeneinander verschiebbare Tischplatten auf. Als Antriebseinrichtung
für diese Tischverschiebung sind Antriebsspindeln vorgesehen. Diese Spindeln
sind mit einer Handhabe ausgestattet und drehbar an einer Tischplatte
angeordnet. Auf jeder Spindel läuft eine Mutter, die mit einer anderen Tischplatte
bzw. einem feststehenden Tischelement verbunden ist. Je nach
Ausführungsform resultiert aus der Drehbewegung der Spindel eine
Längsbewegung der Mutter auf der Spindel, bzw. bei der Anordnung der Mutter
an einem feststehenden Tischelement eine entsprechende Bewegung der
Spindel. In beiden Fällen wird dabei die entsprechende Tischplatte bewegt.
Ferner ist ein vom Spindelantrieb unabhängiges Längenmeßsystem vorgesehen.
Zur Längenmessung zwischen zwei Objektpunkten wird das Objekt unter dem
Fadenkreuz positioniert und mittels des Spindelantriebs in X- und
Y-Richtung bewegt. Der Meßtisch ist in X- und Y-Richtung mit dem Längenmeßsystem
ausgestattet. Der Spindel-Verstellmechanismus ist so ausgelegt, daß ein
feinfühliges Justieren eines Objektpunktes zum Faden kreuz und eine schnelle
Verstellmöglichkeit zwischen entfernten Punkten im Meßbereich des Tisches
möglich sind. Dies wird dadurch erreicht, daß der Meßtisch über eine Spindel
geringer Steigung und eine geteilte Mutter angetrieben wird. Zur
Schnellverstellung wird diese geteilte Mutter geöffnet, so daß die Spindel von der
Mutter entkoppelt und zusammen mit der Tischplatte über die ganze
Spindellänge durchschiebbar ist.
Derartige Antriebe haben sich in der Praxis bewährt. Nachteilig ist jedoch, daß
bei diesen bekannten Antrieben mit Schnellverstellung ein hoher mechanischer
Aufwand getrieben werden muß. Durch die mechanische Entkopplung von
Mutter und Spindel bei der Schnellverstellung, besteht außerdem die Gefahr
einer schnellen Abnutzung der Gewinde. Das resultierende Gewindespiel führt
dann zwangsläufig zu einer ungenauen Positionierung des Objektes bzw. einer
ungenauen Längenmessung.
Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ausgehend vom bekannten
Stand der Technik, den mechanischen Aufbau einer derartigen
Schnellverstellung zu vereinfachen und dabei die mechanische Abnutzung der
Verbindung zu minimieren.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß durch die im kennzeichnenden Teil des
Patentanspruches 1 angegebenen Merkmale gelöst. Weitere vorteilhafte
Weiterbildungen sind Gegenstand der Unteransprüche.
Mit der Erfindung wurde der mechanische Aufbau eines derartigen
Spindelantriebs wesentlich vereinfacht. Durch die Verwendung einer
vorzugsweise oberflächengehärteten Schraubenfeder und der in das Gewinde
der Schraubenfeder eingreifenden Kugel wurde die Abnutzung minimiert und die
mechanische Stabilität erhöht. Dabei hat es sich außerdem von Vorteil erwiesen,
daß die Gewindeflanken der Schraubenfeder abgerundet ausgebildet sind, da so
ein sicheres Eingreifen der Kugel in das Gewinde ermöglicht wird. Unabhängig
von möglichen Toleranzen in der Steigung des Gewindes, liegt die Kugel immer
an zwei Punkten im Gewindegang an.
Die Verbindung der Kugel mit einem Federblech erlaubt eine einfache Lagerung
des Federbleches an einer der Tischplatten, während die Kugel in das Gewinde
der Schraubenfeder eingreift. Durch einfaches Drücken des Federbleches läßt
sich die Kugel vom Gewinde der Schraubenfeder abheben und die
Schnellverstellung durchführen.
Die Erfindung wird anhand eines Ausführungsbeispiels mit Hilfe der
schematischen Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine Ansicht der gelagerten Spindel
Fig. 2 einen Schnitt entlang der Linie A-B aus der Fig. 1
Fig. 3 eine Ansicht der Schraubenfeder.
Die Fig. 1 zeigt einen Meßtisch 6, der zwei übereinander angeordnete
Tischplatten 1a und 1b aufweist. Die Tischplatte 1a ist in Doppelpfeilrichtung
gegenüber der Tischplatte 1b bewegbar ausgebildet. Die Tischplatte 1b weist
einen Lagerbock 11 auf, an dem eine drehbar gelagerte und über
Sicherungsscheiben 12 gegen axiale Verschiebung gesicherte Spindel 2
vorgesehen ist. Die Spindel 2 weist an einem Ende einen Drehknopf 5 auf und ist
an ihrem anderen Ende in zwei Bohrungen 14 an der Tischplatte 1a geführt. Die
Spindel 2 ist als Schraubenfeder 7 ausgebildet, in deren Gewinde 9 ein als
federnd gelagerte Kugel 8 ausgebildetes Mutterteil 3 eingreift. Die Kugel 8 ist
über ein Federblech 4 mit der Tischplatte 1a fest verbunden. Durch Drehen am
Drehknopf 5 wird die Tischplatte 1a in Doppelpfeilrichtung gegenüber der
Tischplatte 1b in einer aus der Fig. 2 ersichtlichen Führung bewegt.
Die Fig. 2 zeigt einen Schnitt entlang der Linie A-B aus der Fig. 1 mit der
Spindel 2 und der Tischplatte 1a, die in der Führung 13 der Tischplatte 1b
bewegbar ist. Die Kugel 8 ist über das Federblech 4 vorgespannt und mit der
Tischplatte 1a fest verbunden. Die Kugel 8 greift in das Gewinde der Spindel 2
ein. Durch Drücken des Federbleches 4 in Pfeilrichtung wird die Verbindung
zwischen der Kugel 8 und der Spindel 2 aufgehoben. Dadurch läßt sich die
Tischplatte 1a gegenüber der Tischplatte 1b zur Schnellverstellung frei
verschieben.
Die Fig. 3 zeigt eine besondere Ausgestaltung der Spindel als Schraubenfeder
7, die zur Stabilisierung auf eine starre Stange 10 aufgeschoben ist. Die Flanken
des Gewindes 9 sind bei dieser Schraubenfeder 7 abgerundet ausgebildet.
Damit ist ein sicheres Eingreifen der Kugel in das Gewinde 7 auch bei
unregelmäßiger Steigung gewährleistet.
In diesem Ausführungsbeispiel ist die Tischplatte 1a in X-Richtung verschiebbar
ausgebildet. Es ist selbstverständlich möglich einen weiteren Spindelantrieb
senkrecht zum ersten Antrieb an dem Grundbett des Meßtisches anzuordnen.
Damit wäre die Tischplatte 1b senkrecht zur Bewegungsrichtung der Platte 1a
bewegbar ausgebildet. Dieser Y-Spindelantrieb kann selbstverständlich auch
eine Schraubenfeder und eine federnd gelagerte Kugel aufweisen.
1
a Tischplatte
1
b Tischplatte
2
Spindel
3
Mutterteil
4
Federblech
5
Antriebsknopf
6
Meßtisch
7
Schraubenfeder
8
Kugel
9
Gewinde von
2
;
7
10
Stange
11
Lagerbock
12
Sicherungsscheiben
13
Führung
14
Bohrung
Claims (3)
1. Einrichtung zur Verstellung des Meßtisches (6) an einem Meßmikroskop,
wobei der Meßtisch (6) übereinander angeordnete Tischplatten (1a, 1b) aufweist,
die in X- bzw. Y-Richtung bewegbar ausgebildet sind und der Meßtisch (6) als
Antrieb eine drehbar gelagerte Spindel (2) aufweist, auf der Spindel (2) ein mit
der Tischplatte (1a) verbundenes Mutterteil (3) läuft und Mittel zur Entkopplung
des Mutterteils (3) von der Spindel (2) zur Schnellverstellung des Meßtisches (6)
vorgesehen sind, dadurch gekennzeichnet, daß die Spindel (2) als
Schraubenfeder (7) und das Mutterteil (3) als federnd gelagerte Kugel (8)
ausgebildet sind, wobei die Kugel (8) in das Gewinde (9) der Schraubenfeder (7)
eingreift und zur Schnellverstellung des Meßtisches (6) von dem Gewinde (9)
abhebbar ausgebildet ist.
2. Einrichtung zur Verstellung des Meßtisches (6) an einem Meßmikroskop nach
Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur Stabilisierung der Schraubenfeder
(7) in deren Innern eine starre Stange (10) vorgesehen ist.
3. Einrichtung zur Verstellung des Meßtisches (6) an einem Meßmikroskop nach
Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Kugel (8) mit einem Federblech
(4) verbunden ist.
Priority Applications (2)
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DE1997157567 DE19757567C2 (de) | 1997-12-23 | 1997-12-23 | Einrichtung zur Verstellung des Meßtisches an einem Meßmikroskop |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19941090A1 (de) * | 1999-08-30 | 2001-03-29 | Ersa Loettechnik Gmbh | Positioniereinrichtung |
DE10112706A1 (de) * | 2001-03-16 | 2002-10-02 | Leica Microsystems | Verstelleinheit |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR1340514A (fr) * | 1962-11-29 | 1963-10-18 | Chr Beck & Sohne K G | Dispositif de mise au point, notamment pour microscopes |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3049807A (en) * | 1958-08-25 | 1962-08-21 | Houdaille Industries Inc | Calibrated positioning device |
DE1447355B2 (de) * | 1963-01-22 | 1970-05-21 | M. Hensoldt & Söhne, Optische Werke AG, 6330 Wetzlar | Vorrichtung zur schrittweisen Verstellung eines Schlittens |
GB1369594A (en) * | 1970-09-30 | 1974-10-09 | Cambridge Scientific Instr Ltd | Scientific instruments |
SU1269075A1 (ru) * | 1985-03-15 | 1986-11-07 | Предприятие П/Я Р-6707 | Двухпозиционный предметный столик |
DE3615837A1 (de) * | 1985-05-31 | 1986-12-04 | Starec, Rolf, Dipl.-Ing., 09111 Chemnitz | Schraubgetriebe |
FR2601731A1 (fr) * | 1986-07-15 | 1988-01-22 | France Outillage Tech | Ecrou debrayable a serrage rapide |
US5636549A (en) * | 1993-12-22 | 1997-06-10 | Hughes Electronics | Wire wound threaded elements including lead screws, roller not assemblies and process |
-
1997
- 1997-12-23 DE DE1997157567 patent/DE19757567C2/de not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-12-21 WO PCT/EP1998/008369 patent/WO1999034245A1/de active Application Filing
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR1340514A (fr) * | 1962-11-29 | 1963-10-18 | Chr Beck & Sohne K G | Dispositif de mise au point, notamment pour microscopes |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19941090A1 (de) * | 1999-08-30 | 2001-03-29 | Ersa Loettechnik Gmbh | Positioniereinrichtung |
DE10112706A1 (de) * | 2001-03-16 | 2002-10-02 | Leica Microsystems | Verstelleinheit |
EP1248017A2 (de) * | 2001-03-16 | 2002-10-09 | Leica Microsystems Wetzlar GmbH | Verstelleinheit |
DE10112706B4 (de) * | 2001-03-16 | 2004-01-29 | Leica Microsystems Wetzlar Gmbh | Verstelleinheit |
EP1248017A3 (de) * | 2001-03-16 | 2004-07-07 | Leica Microsystems Wetzlar GmbH | Verstelleinheit |
Also Published As
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D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8320 | Willingness to grant licenses declared (paragraph 23) | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |