DE10121776A1 - Sensor - Google Patents

Abstract

Die Erfindung betrifft einen Sensor mit einer Trägerplatte, welche in einem zumindest teilweise im Spritzverfahren hergestellten Gehäuse angeordnet und mit elektronischen, optischen, elektromechanischen und/oder optoelektronischen Bauelementen bestückt ist, wobei ein Teilbereich der Trägerplatte und zumindest einige der darauf befindlichen Bauelemente in einem innerhalb des zumindest teilweise gespritzten Gehäuses ausgebildeten Hohlraum angeordnet sind.

Description

Die Erfindung betrifft einen Sensor mit einer Trägerplatte, welche in einem zumindest teilweise im Spritzverfahren hergestellten Gehäuse angeordnet und mit elektronischen, optischen, elektromechanischen und/oder opto­ elektronischen Bauelementen bestückt ist.

Sensoren der genannten Art werden beispielsweise als magnetische, in­ duktive oder optoelektronische Sensoren in verschiedenster Art und Weise eingesetzt. Dabei ist es insbesondere wünschenswert, die Sensoren auch unter extremen Bedingungen einsetzen zu können, beispielsweise bei ho­ hen bzw. stark variierenden Temperaturen oder an bewegten Teilen, an denen die Sensoren hohen Beschleunigungen ausgesetzt werden.

Nachteilig an den bekannten Sensoren ist die Tatsache, daß die genann­ ten Temperatur- bzw. Beschleunigungsbelastungen oftmals zu Beschädi­ gungen von Sensorbauteilen oder des gesamten Sensors führen, was dann letztlich zu einer Fehlfunktion oder einem Stillstand von Maschinen und Anlagen führen kann, in denen der Sensor eingesetzt ist.

Eine Aufgabe der Erfindung besteht darin, einen Sensor der eingangs ge­ nannten Art derart weiterzubilden, daß seine Widerstandsfähigkeit gegen Temperaturänderungen sowie insbesondere auch gegen Beschleunigungs­ kräfte und damit auch dessen Lebensdauer erhöht wird.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß ein Teilbereich der Trägerplatte und zumindest einige der darauf befindlichen Bauele­ mente in einem innerhalb des zumindest teilweise gespritzten Gehäuses ausgebildeten Hohlraum angeordnet sind.

Durch die erfindungsgemäße Anordnung eines Teilbereichs der Träger­ platte innerhalb eines Hohlraums besteht die Möglichkeit, daß tempera­ turbedingte Größenänderungen des genannten Teilbereichs der Träger­ platte, insbesondere eine Ausdehnung des genannten Teilbereichs, nicht zu einer Beschädigung der Trägerplatte führen können, da im erfindungs­ gemäßen Hohlraum ausreichend Platz für derartige Ausdehnungen vor­ handen ist. Dementsprechend können diese temperaturbedingten Grö­ ßenänderungen auch nicht zu Beschädigungen der auf dem genannten Teilbereich der Trägerplatte angeordneten Bauelemente führen. Ferner hat der genannte Teilbereich der Trägerplatte im Hohlraum soviel Platz zur Verfügung, daß er durch Beschleunigungen des Sensors ausge­ löste Schwingungen ausführen kann. Hierfür muß die Trägerplatte eine gewisse Elastizität aufweisen, wobei die Elastizität handelsüblicher Plati­ nen ausreichend ist. Durch die Möglichkeit der Ausführung von Schwin­ gungen werden Beschleunigungen des Sensors nicht direkt auf die auf dem genannten Teilbereich der Trägerplatte angeordneten Bauelemente übertragen; vielmehr wird erreicht, daß diese Beschleunigungen "abgefedert" werden.

Dementsprechend besitzt ein erfindungsgemäßer Sensor eine erhöhte Re­ sistenz gegen Temperaturänderungen, insbesondere gegen ein starkes Ab­ senken der Temperatur sowie gegen Beschleunigungen.

Bevorzugt ist es, wenn die im Hohlraum angeordneten Bauelemente beab­ standet zur Hohlraumbegrenzung angeordnet sind. Auf diese Weise wird sichergestellt, daß Beschleunigungskräfte nicht direkt von der Hohlraum­ begrenzung auf die Bauelemente übertragen werden können; vielmehr wird ein Schwingen der Trägerplatte ermöglicht, welches die Beschleuni­ gungen abfedert und nur in reduzierter Weise auf die Bauelemente über­ trägt.

Von Vorteil ist es, wenn die Unter- und die Oberseite des im Hohlraum angeordneten Teilbereichs der Trägerplatte beabstandet zur Hohlraumbe­ grenzung angeordnet sind. Auf diese Weise wird erreicht, daß die Träger­ platte Schwingungen sowohl nach unten als auch nach oben ausführen kann. Eine auf den Sensor wirkende Beschleunigung kann somit die Trä­ gerplatte in eine harmonische, langsam abklingende Schwingung verset­ zen, die zu einer optimierten Verringerung der auf die Bauelemente wir­ kenden Beschleunigungskräfte führt.

Besonders vorteilhaft ist es, wenn die Stirnseiten des im Hohlraum ange­ ordneten Teilbereichs der Trägerplatte beabstandet zur Hohlraumbegren­ zung angeordnet sind. Auf diese Weise kann sich der genannte Teilbereich in alle Richtungen aufgrund von Temperaturerhöhungen ausdehnen bzw. wird es möglich, daß sich das Gehäuse zusammenzieht, ohne daß Träger­ platte und Hohlraumbegrenzung aneinander anstoßen. Ein gemäß Stand der Technik mögliches Abscheren umspritzter Bauteile wird ebenso ver­ mieden, da die Bauteile erfindungsgemäß nicht umspritzt, sondern im Hohlraum angeordnet sind. Es werden also grundsätzlich temperaturbe­ dingte Kräfte auf die Trägerplatte und/oder die Bauteile und damit ver­ bundene Beschädigungen vermieden.

Die Trägerplatte kann beispielsweise nur auf einer Seite des Hohlraum in dem den Hohlraum umgebenden Material fixiert sein, so daß die Träger­ platte sprungbrettartig in den Hohlraum hineinragt. So wird eine optimale Ausdehnungs- und Schwingungsmöglichkeit der Trägerplatte erreicht. Dabei ist es besonders bevorzugt, wenn zur Fixierung der Trägerplatte im Hohlraum der außerhalb des Hohlraum angeordnete Teilbereich der Trä­ gerplatte zumindest bereichsweise mit Gehäusematerial umspritzt ist.

In den Hohlraum kann zumindest ein Bewegungsbegrenzungselement hineinragen, dessen der Trägerplatte zugewandter Endbereich beabstan­ det von der Trägerplatte angeordnet ist. Ein solches Bewegungsbegren­ zungselement kann dazu dienen, die durch Schwingungen der Träger­ platte bewirkten Biegungen derselben derart zu begrenzen, daß sich die Biegungen der Trägerplatte immer in deren Elastizitätsbereich bewegen und somit ein Abbrechen der Trägerplatte verhindert wird. Der Abstand zwischen dem Endbereich des Bewegungsbegrenzungselements und der Trägerplatte muß dabei derart optimiert werden, daß einerseits Schwin­ gungen mit möglichst großer Amplitude ermöglicht werden, um so eine maximale Abfederung von auf die Bauelemente wirkenden Beschleuni­ gungen zu überreichen und daß andererseits die genannten Schwingun­ gen derart begrenzt werden, daß deren Amplitude nicht so groß werden kann, daß es zu einem Abbrechen der Trägerplatte kommt.

Das Bewegungsbegrenzungselement wird sinnvollerweise auf derjenigen Seite des Hohlraums angeordnet, die dem Bereich, in dem die Trägerplatte im den Hohlraum umgebenden Material fixiert ist, abgewandt ist. So wird sichergestellt, daß sich das Bewegungsbegrenzungselement dort befindet, wo die größten Schwingungsamplituden der Trägerplatte auftreten.

Von Vorteil ist es, wenn zwei Bewegungsbegrenzungselemente vorgesehen werden, von denen eines auf die Oberseite und das andere auf die Unter­ seite der Trägerplatte ausgerichtet ist. So können die Schwingungsampli­ tuden der Trägerplatte in beide Richtungen gezielt begrenzt werden. Das bzw. die Bewegungsbegrenzungselemente können beispielsweise durch das Gehäusematerial gebildet sein und gemeinsam mit dem gehäusebil­ denden Spritzvorgang erzeugt werden.

Auf der Trägerplatte können zusätzliche, sich außerhalb des Hohlraums befindliche, mit Gehäusematerial umspritzte Bauelemente angeordnet werden. Hierfür eignen sich insbesondere solche Bauelemente, die gegen Beschleunigungen weniger empfindlich sind, so daß hier der durch die er­ indungsgemäßen Maßnahmen erforderliche Schutz gegen Beschleuni­ gungen entbehrlich ist.

Der erfindungsgemäße Hohlraum kann durch eine insbesondere becher­ förmige, die Trägerplatte vollständig aufnehmende Hülse gebildet werden, in die nur bereichsweise Gehäusematerial eingespritzt ist, so daß sich der im Hohlraum angeordnete Teilbereich der Trägerplatte außerhalb des Ge­ häusematerials befindet und der außerhalb des Hohlraums angeordnete Teilbereich der Trägerplatte mit Gehäusematerial umspritzt ist.

Alternativ kann der erfindungsgemäße Hohlraum auch mittels eines aus dem Stand der Technik bekannten Gasinnendruckverfahrens gebildet werden. In diesem Fall ist dann die vorstehend beschriebene Hülse entbehrlich. Zudem kann in diesem Fall das gesamte Gehäuse im Rahmen eines einzigen Spritzvorgangs gefertigt werden. Ein bei anderen Herstel­ lungsverfahren erforderliches aufwendiges Vergießen entfällt somit.

Weitere bevorzugte Ausführungsformen der Erfindung sind in den Un­ teransprüchen beschrieben.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnungen beschrieben; in diesen zeigen:

Fig. 1 einen Schnitt durch den prinzipiellen Aufbau eines erfin­ dungsgemäßen Sensors,

Fig. 2a, b einen Querschnitt sowie einen Längsschnitt durch eine im Rahmen einer ersten Ausführungform der Erfindung ver­ wendbare Hülse,

Fig. 3 eine Ansicht gemäß Fig. 2b mit in der Hülse eingesetzter Trä­ gerplatte,

Fig. 4a, b einen Querschnitt sowie einen Längsschnitt durch eine Hülse gemäß Fig. 3 mit eingespritztem Gehäusematerial, und

Fig. 5 bis 8 vier Verfahrensschritte für die Herstellung einer zweiten Aus­ führungform eines erfindungsgemäßen Sensors mittels Gas­ innendruckverfahren.

Fig. 1 zeigt ein im Querschnitt im wesentlichen rechteckiges Sensorgehäu­ se 1 mit abgerundeten Kanten, wobei im Sensorgehäuse 1 ein Hohlraum 2 ausgebildet ist, der vollständig von Gehäusematerial umgeben ist, im Querschnitt eine ebenfalls im wesentlichen rechteckige Form besitzt und sich in Längsrichtung des Sensorgehäuses 1 gesehen über einen Teilbe­ reich desselben erstreckt.

Im Sensorgehäuse 1 ist eine Trägerplatte 3 angeordnet, wobei sich ein Teilbereich der Trägerplatte 3 innerhalb des Hohlraums 2 und der restli­ che Teilbereich der Trägerplatte 3 außerhalb des Hohlraums 2 befindet. Der außerhalb des Hohlraums 2 befindliche Teilbereich der Trägerplatte 3 ist dabei von Gehäusematerial umgeben.

Auf dem im Hohlraum 2 befindlichen Teilbereich der Trägerplatte 3 sind stoßempfindliche elektronische und elektromechanische Bauelemente 4 angeordnet. Die Bauelemente 4 weisen ebenso wie die Unterseite 5 der Trägerplatte 3 und die Stirnseite 6 der Trägerplatte 3 einen Abstand zur Hohlraumbegrenzung 7 auf.

Die Trägerplatte 3 mit den Bauelementen 4 ist somit mit ihrem außerhalb des Hohlraums 2 gelegenen Bereich durch das Gehäusematerial des Sen­ sorgehäuses 1 fixiert und ragt dementsprechend sprungbrettartig in den Hohlraum 2 hinein.

Auf der der Fixierung der Trägerplatte 3 abgewandten Seite des Hohl­ raums 2 sind zwei Bewegungsbegrenzungselemente 8 vorgesehen, welche in den Hohlraum 2 hineinragen und auf die Oberseite 9 bzw. die Unter­ seite 5 der Trägerplatte 3 ausgerichtet sind. Die Bewegungsbegrenzungselemente enden dabei in einem geringen Abstand vor der Oberseite 9 bzw. der Unterseite 5.

Weiterhin sind auf der Oberseite 9 der Trägerplatte 3 zusätzliche, stoß­ unempfindliche Bauelemente 10 angeordnet, welche sich jedoch außer­ halb des Hohlraums 2 befinden und von Gehäusematerial des Sensorge­ häuses 1 umgeben sind.

In das Gehäusematerial des Sensorgehäuses 1 ist eine Kabelisolierung 11 eingebettet, aus der innerhalb des Sensorgehäuses 1 Drähte 12 zur bei­ spielsweise als Platine ausgebildeten Trägerplatte 3 geführt sind. Über die Drähte 12 kann eine Spannungsversorgung bzw. ein Datenaustausch er­ folgen.

Durch die erfindungsgemäße Anordnung gemäß Fig. 1 wird folgendes er­ reicht:
Da die Trägerplatte 3 nur mit ihrem in Fig. 1 rechts vom Hohlraum 2 be­ findlichen Bereich von Gehäusematerial umgeben und somit fixiert ist und der restliche Bereich der Trägerplatte 3 sprungbrettartig in den Hohlraum 2 hineinragt, ist sichergestellt, daß sich der im Hohlraum 2 befindliche Bereich der Trägerplatte 3 infolge von Temperaturänderungen ausdehnen bzw. zusammenziehen kann, ohne daß die Trägerplatte 3 oder die darauf angeordneten Bauelemente 4 an der Hohlraumbegrenzung 7 anstoßen. Beschädigungen der Trägerplatte 3 sowie der Bauelemente 4 durch Tem­ peratureinwirkungen werden so wirksam vermieden.

Ferner wird sichergestellt, daß die Trägerplatte 3 bei Beschleunigungen des Sensorgehäuses 1 um eine im wesentlichen an der Position 13 gemäß Fig. 1 befindliche Achse, die sich senkrecht zur Zeichenebene erstreckt, schwingen kann, wobei die Amplitude dieser Schwingung durch die bei­ den Bewegungsbegrenzungselemente 8 begrenzt ist. Durch diese Schwin­ gungsmöglichkeit werden auf die Bauelemente 4 lediglich gedämpfte bzw. abgefederte Beschleunigungskräfte übertragen, so daß in einem erfin­ dungsgemäßen Sensor stoßempfindliche Bauelemente 4 Verwendung fin­ den können. Aufgrund der Begrenzung der Schwingungsamplitude durch die Bewegungsbegrenzungselemente 8 wird sichergestellt, daß sich die Bauelemente 4 von der Trägerplatte 3 aufgrund der Schwingungen und der damit verbundenen Durchbiegungen nicht lösen, und daß die Lötstel­ len der Bauelemente 4 nicht beschädigt werden.

Die nachfolgend erläuterten Fig. 2 bis 8 zeigen zwei verschiedene Möglich­ keiten zur Herstellung eines erfindungsgemäßen Sensors, wobei mit bei­ den Varianten sämtliche Vorteile realisiert werden können, die vorstehend in Verbindung mit Fig. 1 erläutert wurden.

Die Fig. 2a und 2b zeigen einen Querschnitt (Fig. 2a) und einen Längs­ schnitt (Fig. 2b) durch eine erfindungsgemäß verwendbare Hülse 14, die auf ihrer Außenseite eine zylindrische Form aufweist und an einer Stirn­ seite 15 verschlossen ist, so daß die Hülse 14 letztlich ein becherförmiges Gebilde darstellt. Auf der Innenseite der Hülse sind zwei diametral gegen­ überliegende Längsnuten 16 eingearbeitet, die sich von der Stirnseite 15 bis in einen von der gegenüberliegenden Stirnseite 17 beabstandeten Be­ reich 18 der Hülse 14 erstrecken.

Fig. 3 zeigt eine Darstellung entsprechend Fig. 2b, wobei in die Längsnu­ ten 16 eine Trägerplatte 3 so weit eingeschoben ist, daß ihr der Stirnseite 15 der Hülse 14 zugewandtes Ende beabstandet von dieser Stirnseite 15 zu liegen kommt. Auf der Oberseite 9 und der Unterseite 5 der Träger­ platte 3 sind Bauelemente 4 sowie Bauelemente 10 angeordnet, wobei sich die Bauelemente 10 alle in einem größeren Abstand zur Stirnseite 15 be­ finden als die Bauelemente 4. Bei den Bauelementen 4 handelt es sich um stoßempfindliche Bauelemente, wohingegen die Bauelemente 10 stoß­ unempfindlich sind.

Falls auch optische Bauelemente zum Einsatz gelangen, ist es sinnvoll, die Hülse 14 mit einem Fenster zu versehen, durch das Strahlung hindurch­ treten kann.

An die Trägerplatte 3 sind Drähte 12 angeschlossen, die in eine Kabeliso­ lierung 11 übergehen. Das der Trägerplatte 3 zugewandte Ende der Kabe­ lisolierung 11 endet innerhalb der Hülse 14.

Die Dicke der Trägerplatte 3 ist so bemessen, daß sie innerhalb der Längsnuten 16 nach oben und unten noch über eine geringe Wegstrecke beweglich ist. In Fig. 3 ist eine Position der Trägerplatte 3 gezeigt, in der sie sich mittig in den Längsnuten 16 befindet, so daß sie theoretisch so­ wohl nach oben als auch nach unten beweglich wäre. Der nachfolgend in Verbindung mit Fig. 4 beschriebene Spritzvorgang erfolgt, während die Trägerplatte 3 mittels eines geeigneten Haltewerkzeugs in der in Fig. 3 ge­ zeigten Position fixiert ist.

Gemäß Fig. 4b wird von der Stirnseite 17 her bei in der genannten Weise fixierter Trägerplatte 3 Gehäusematerial 19 in die Hülse 14 eingespritzt.

Gehäusematerial 19 und Hülse 14 bestehen bevorzugt aus dem gleichen Material, da sich dann eine gute Verbindung und/oder Abdichtung zwi­ schen Gehäusematerial 19 und Hülse 14 ergibt. Der Spritzvorang wird solange fortgesetzt, bis das Gehäusematerial 19 die Kabelisolierung 11, die Drähte 12 sowie alle Bauelemente 10 umgibt. Unmittelbar danach wird der Spritzvorgang beendet, so daß das Gehäusematerial 19 nicht bis an die Bauelemente 4 heranreicht.

Auf diese Weise wird erreicht, daß die Trägerplatte 3 sprungbrettartig in Richtung der Stirnseite 15 aus dem Gehäusematerial 19 hervorsteht, so daß die Bauelemente 4 letztlich in einem innerhalb der Hülse 14 ausgebil­ deten Hohlraum 2 zu liegen kommen.

In diesem Hohlraum 2 ist die Trägerplatte 3 in der Längsnut 16 nach oben und unten beweglich (siehe Fig. 4a), so daß sie die vorstehend erläuterten Schwingungen ausführen kann. Die Amplitude dieser Schwingungen ist jedoch durch die Längsnut 16 begrenzt. Insofern entspricht die Funktion der Längsnuten 16 im fertigen Zustand des Sensors der Funktion der Be­ wegungsbegrenzungselemente 8 gemäß Fig. 1.

Wesentlich ist, daß die Abmessungen der Trägerplatte 3 senkrecht zur Zeichenebene so bemessen sind, daß die Trägerplatte 3 - dort, wo sie nicht durch das Gehäusematerial 19 fixiert ist - senkrecht zur Zeichenebene in alle Richtungen, d. h. in Richtung der Stirnseite 15 (Fig. 4b) und in den dazu senkrechten Richtungen (Fig. 4a) beweglich wäre, da sie in diesen Richtungen nicht an der Hülse 14 anstößt. Dies bewirkt, daß sich die Trä­ gerplatte 3 bei Temperaturerhöhungen senkrecht zur Zeichenebene aus­ dehnen bzw. daß sich die Hülse 14 zusammenziehen kann.

Fig. 5 zeigt eine Trägerplatte 3 mit darauf angeordneten stoßempfindlichen Bauelementen 4 sowie stoßunempfindlichen Bauelementen 10. An die Trägerplatte 3 sind zwei Drähte 12 angeschlossen, die in eine Kabelisolie­ rung 11 münden. Die Anordnung der genannten Teile 3, 4, 10, 11 und 12 entspricht derjenigen der Fig. 3 und 4.

Die in Fig. 5 dargestellte Anordnung wird nun in eine - nicht dargestellte - Spritzform eingebracht, deren innere Abmessungen zumindest im wesent­ lichen der letztlich zu erzielenden äußeren Kontur des Sensorgehäuses entsprechen. Anschließend wird dann damit begonnen, Gehäusematerial 19 in die Spritzform einzuspritzen, wobei dieser Einspritzvorgang auf der gleichen Seite des Sensors erfolgt, wie in Verbindung mit Fig. 4 beschrie­ ben.

Bei dem in Fig. 6 dargestellten Verfahrensschritt des Spritzvorgangs sind die stoßunempfindlichen Bauelemente 10, der entsprechende Bereich der Trägerplatte 3, die Drähte 12 sowie die Kabelisolierung 11 von Gehäuse­ material 19 umgeben.

Weiterhin ist in Fig. 6 zu sehen, daß im Bereich der stoßempfindlichen Bauelemente 4 eine Gasinjektionsdüse 20 angeordnet ist, welche die Durchführung eines aus dem Stand der Technik bekannten Gasinnen­ druckspritzgießens ermöglicht.

Im Rahmen des weiteren, in Fig. 7 dargestellten Spritzvorgangs gelangt das Gehäusematerial 19 bis in einen Bereich der stoßempfindlichen Bau­ teile 4, wobei gleichzeitig über die Gasinjektionsdüse 20 Gas in den Bereich der stoßempfindlichen Bauelemente 4 gebracht wird. Das Einbrin­ gen dieses Gases durch die Gasinjektionsdüse 20 bewirkt, daß sich im Be­ reich der stoßempfindlichen Bauelemente 4 ein Hohlraum 2 auszubilden beginnt.

Durch Fortsetzung des beschriebenen Verfahrens wird die - nicht darge­ stellte - Spritzform letztlich vollständig mit Gehäusematerial 19 gefüllt (siehe Fig. 8), wobei gleichzeitig durch das fortgesetzte Einbringen von Gas der Hohlraum 2 derart vergrößert wird, daß sich sämtliche Bauelemente 4 innerhalb des Hohlraums 2 befinden, wobei zwischen der Hohlraumbe­ grenzung 7 und den Bauelementen 4 bzw. der Trägerplatte 3 immer ein Abstand besteht, so daß sich kein direkter Kontakt zwischen den Bauele­ menten 4 bzw. der Trägerplatte 3 und dem Gehäusematerial 19 einstellt (siehe wiederum Fig. 8).

Kurz vor Beendigung des Spritzvorgangs wird die Gasinjektionsdüse 20 aus dem Bereich des zu bildenden Sensorgehäuses zurückgezogen, so daß der Hohlraum 2 bzw. das Düsenloch durch den Abschluß des Spritzvor­ gangs vollständig geschlossen werden kann. Alternativ kann das Düsen­ loch auch nachträglich mittels eines Stopfens verschlossen werden.

Wie Fig. 8 zeigt, wird auch durch das letztgenannte Verfahren erreicht, daß die Trägerplatte mit den stoßempfindlichen Bauelementen 4 sprung­ brettartig in den Hohlraum 2 hineinragt und von der Hohlraumbegren­ zung 7 beabstandet ist. Die sich zur Stirnseite 15 des Sensors verjüngen­ de Abmessung des Hohlraums 2 besitzt in diesem Fall die gleiche Funkti­ on wie die Bewegungsbegrenzungselemente 8 gemäß Fig. 1.

Bezugszeichenliste

1

Sensorgehäuse

2

Hohlraum

3

Trägerplatte

4

Bauelemente

5

Unterseite

6

Stirnseite

7

Hohlraumbegrenzung

8

Bewegungsbegrenzungselemente

9

Oberseite

10

Bauelemente

11

Kabelisolierung

12

Drähte

13

Position

14

Hülse

15

Stirnseite

16

Längsnuten

17

Stirnseite

19

Gehäusematerial

20

Gasinjektionsdüse

Claims (12)

1. Sensor mit einer Trägerplatte (3), welche in einem zumindest teilwei­ se im Spritzverfahren hergestellten Gehäuse angeordnet und mit elektronischen, optischen, elektromechanischen und/oder opto­ elektronischen Bauelementen (4, 10) bestückt ist, dadurch gekennzeichnet, daß ein Teilbereich der Trägerplatte (3) und zumindest einige der darauf befindlichen Bauelemente (4) in einem innerhalb des zumin­ dest teilweise gespritzten Gehäuses ausgebildeten Hohlraum (2) an­ geordnet sind.

2. Sensor nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die im Hohlraum (2) angeordneten Bauelemente (4) beabstandet zur Hohlraumbegrenzung (7) angeordnet sind.

3. Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Unter- und die Oberseite (5, 9) des im Hohlraum (2) ange­ ordneten Teilbereichs der Trägerplatte (3) beabstandet zur Hohl­ raumbegrenzung (7) angeordnet sind.

4. Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Stirnseiten (6) des im Hohlraum (2) angeordneten Teilbereichs der Trägerplatte (3) beabstandet zur Hohlraumbegrenzung (7) angeordnet sind.

5. Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Trägerplatte (3) nur auf einer Seite des Hohlraums (2) in dem den Hohlraum umgebenden Material (19) fixiert ist, so daß die Trägerplatte (3) sprungbrettartig in den Hohlraum (2) hineinragt.

6. Sensor nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß zur Fixierung der Trägerplatte (3) im Hohlraum (2) der außer­ halb des Hohlraums (2) angeordnete Teilbereich der Trägerplatte (3) zumindest bereichsweise mit Gehäusematerial (19) umspritzt ist.

7. Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß in den Hohlraum (2) zumindest ein Bewegungsbegrenzungsele­ ment (8, 16) hineinragen, dessen der Trägerplatte (3) zugewandter Endbereich beabstandet von der Trägerplatte (3) angeordnet ist.

8. Sensor nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Bewegungsbegrenzungselement (8) auf derjenigen Seite des Hohlraums (2) angeordnet sind, die dem Bereich, in dem die Träger­ platte (3) im den Hohlraum (2) umgebenden Material (19) fixiert ist, abgewandt ist.

9. Sensor nach einem der Ansprüche 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, daß zwei Bewegungsbegrenzungselemente (8) vorgesehen sind, von denen eines auf die Oberseite (9) und das andere auf die Unterseite (5) der Trägerplatte (3) ausgerichtet ist.

10. Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß auf der Trägerplatte (3) zusätzliche, sich außerhalb des Hohl­ raums (2) befindliche, mit Gehäusematerial (19) umspritzte Bauele­ mente (10) angeordnet sind.

11. Sensor nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Hohlraum (2) durch eine insbesondere becherförmige, die Trägerplatte (3) vollständig aufnehmende Hülse (14) gebildet ist, in die nur bereichsweise Gehäusematerial (19) eingespritzt ist, so daß sich der im Hohlraum (2) angeordnete Teilbereich der Trägerplatte (3) außerhalb des Gehäusematerials (19) befindet und der außerhalb des Hohlraums (2) angeordnete Teilbereich der Trägerplatte (3) mit Gehäusematerial (19) umspritzt ist.

12. Sensor nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, daß der Hohlraum (2) mittels eines Gasinnendruckverfahrens gebil­ det ist.