DE10111030A1 - Vorrichtung und Verfahren zur Einfügung einer Verzögerungszeit bei einem ereignisgestützten Prüfsystem - Google Patents

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung sowie ein Verfahren, die in einem ereignisgestützten Prüfsystem zum Prüfen eines Elektronikbauteilprüflings (DUT) eingesetzt werden und dabei zur Erzeugung von Ereignissen mit unterschiedlicher Zeitsteuerung dienen und ein Einfügen einer zusätzlichen Verzögerungszeit in die Zeitsteuerungsdaten ermöglichen. Die Vorrichtung umfaßt dabei die folgenden Bestandteile: einen Ereignisspeicher zur Speicherung von Zeitsteuerungsdaten und Ereignistypdaten für jedes Ereignis, wobei die Zeitsteuerungsdaten eines gegenwärtigen Ereignisses durch eine Verzögerungszeit gegenüber einem hierzu unmittelbar vorausgehenden Ereignis unter Verwendung einer festgelegten Anzahl von Datenbits wiedergegeben werden, und Mittel, die ein Einfügen einer Verzögerungszeit in die Zeitsteuerungsdaten eines spezifizierten Ereignisses in einer solchen Weise ermöglichen, daß eine Gesamtverzögerungszeit des gegenwärtigen Ereignisses erzielt wird, die länger ist als die Gesamtverzögerungszeit, die sich durch die festgesetzte Anzahl von Datenbits im Ereignisspeicher ausdrücken läßt. Die Mittel zum Einfügen der Verzögerungszeit umfassen dabei Mittel zur Vervielfältigung der Zeitsteuerungsdaten und der Ereignistypdaten des dem spezifizierten Ereignis unmittelbar vorausgehenden Ereignisses. Gemäß einem weiteren Aspekt der Erfindung wird die zusätzliche Verzögerungszeit durch Hinzufügen eines NOP-Ereignisses (Nulloperations-Ereignisses) im Ereignisspeicher erzeugt.

Description

Die vorliegende Erfindung betrifft ein ereignisgestütz­ tes Halbleiterprüfsystem zum Prüfen von Halbleiterbau­ teilen und dabei insbesondere ein Verfahren und eine Vorrichtung, die zur Erzeugung von Prüfmustern und Strobe-Signalen auf der Grundlage von ereignisgestütz­ ten Daten dienen und es ermöglichen, auf einfache Weise eine Verzögerungszeit in die Ereignisdaten eines spezi­ fischen Ereignisses einzufügen, ohne daß die anderen Ereignisse hiervon betroffen wären.

Beim Prüfen von integrierten Halbleiterbauteilen, wie etwa integrierten Schaltungen oder hochintegrierten Schaltungen mit Hilfe eines Halbleiterprüfsystems, bei­ spielsweise eines Prüfgeräts für integrierte Schaltun­ gen, werden einem zu prüfenden integrierten Halbleiter­ schaltungsbauteil an dessen entsprechenden Pins von ei­ nem Prüfgerät für integrierte Schaltungen erzeugte Prüfsignale bzw. Prüfmuster mit einer bestimmten Prüf­ zeitsteuerung zugeführt. Das Prüfgerät für integrierte Schaltungen empfängt vom integrierten Schaltungsbau­ teilprüfling in Antwort auf die Prüfsignale erzeugte Ausgangssignale. Die Ausgangssignale werden sodann ab­ getastet, d. h. mit Hilfe von Strobe-Signalen mit einer bestimmten Zeitsteuerung abgefragt, um sie mit SOLL- Werten zu vergleichen und so zu bestimmen, ob das inte­ grierte Schaltungsbauteil einwandfrei funktioniert.

Herkömmlicherweise wird die Zeitsteuerung der Prüfsi­ gnale und Strobe-Signale relativ zu einer Prüfgerätge­ schwindigkeit oder einem Prüfgerätzyklus des Halblei­ terprüfsystems festgelegt, wobei ein entsprechendes Prüfsystem gelegentlich als zyklusgestütztes Prüfsystem bezeichnet wird. Bei einem anderen Typ von Prüfsystem, dem sogenannten ereignisgestützte Prüfsystem, werden die gewünschten Prüfsignale und Strobe-Signale direkt für jeden Pin unter Verwendung von aus einem Ereignis­ speicher stammenden Ereignisdaten gebildet. Die vorlie­ gende Erfindung bezieht sich auf ein derartiges ereig­ nisgestütztes Halbleiterprüfsystem.

Bei ereignisgestützten Prüfsystemen bezeichnet der Be­ griff Ereignis beliebige Veränderungen im Logikzustand von Signalen, die zur Prüfung von Halbleiterbauteil­ prüflingen verwendet werden sollen. Bei derartigen Ver­ änderungen handelt es sich beispielsweise um anstei­ gende bzw. abfallende Flanken von Prüfsignalen bzw. um Zeitsteuerungsflanken von Strobe-Signalen. Die Zeit­ steuerung der Ereignisse wird dabei in bezug zu einem Zeitabstand der Ereignisse gegenüber einem Referenz­ zeitpunkt festgelegt, wobei es sich beim Referenzzeit­ punkt üblicherweise um einen Zeittakt des vorhergehen­ den Ereignisse handelt. Alternativ hierzu kann als Re­ ferenzzeitpunkt auch ein bestimmter, allen Ereignissen gemeinsamer Startzeitpunkt dienen.

Da es bei einem ereignisgestützten Prüfsystem nicht nö­ tig ist, daß die im Zeitsteuerungsspeicher (bzw. Ereig­ nisspeicher) vorhandenen Zeitsteuerungsdaten für jeden einzelnen Prüfzyklus komplexe Informationen über Wel­ lenform, Vektor, Verzögerung usw. enthalten, läßt sich hier die Wiedergabe der Zeitsteuerungsdaten erheblich vereinfachen. Bei einem ereignisgestützen Halbleiter­ prüfsystem werden, wie erwähnt, die in einem Ereignis­ speicher für jedes Ereignis gespeicherten Zeitsteue­ rungsdaten (Ereignisdaten) üblicherweise durch einen Zeitabstand zwischen dem gegenwärtigen Ereignis und dem zuletzt erfolgten Ereignis ausgedrückt. Da ein solcher (auch als Deltazeit bezeichneter) Zeitabstand zwischen aufeinanderfolgenden Ereignissen, im Gegensatz zu einem (eine Absolutzeit darstellenden) Zeitabstand zu einem bestimmten Startzeitpunkt, sehr gering ist, kann auch der Umfang der Daten im Speicher entsprechend klein sein, wodurch sich die benötigte Speicherkapazität ver­ ringern läßt.

Zur Erzeugung einer hochauflösenden Zeittaktsteuerung wird der Zeitraum (d. h. der Verzögerungswert) zwischen den Ereignissen durch eine Kombination eines ganzzahli­ gen Vielfachen eines Referenztakt-Zyklus (ganzzahliger Teil bzw. Ereignis-Zählwert) mit einem Bruchteil des Referenztakt-Zyklus (Bruch-Datenteil bzw. Ereignis- Feinabstimmungswert) festgelegt. Die Zeitsteuerungsbe­ ziehung zwischen dem Ereignis-Zählwert und dem Ereig­ nis-Feinabstimmungswert läßt sich den Zeitsteuerungs­ graphiken gemäß den Fig. 3A bis 3E entnehmen. Bei dem hier dargestellten Beispiel weist ein in Fig. 3A gezeig­ ter (auch als Haupttakt bzw. Systemtakt bezeichneter) Referenztakt einen (im folgenden auch als "Taktintervall" bzw. "Zeitintervall" bezeichneten) Taktzyklus T auf. Die Ereignisse 0, 1 und 2 stehen zu­ einander in der in Fig. 3 gezeigten zeitlichen Bezie­ hung.

Um das Ereignis 1 unter Bezugnahme auf das Ereignis 0 zu beschreiben, wird ein Zeitabstand (d. h. eine Verzö­ gerung) ΔV₁ zwischen den beiden Ereignissen in einem Er­ eignisspeicher wiedergegeben. Die Zeitsteuerung des Er­ eignisses 2 wird wiederum durch einen Zeitabstand (Verzögerung) ΔV₂ zum Ereignis 1 festgelegt und in ent­ sprechender Weise wird das in Fig. 3E dargestellte Er­ eignis 3 durch einen Zeitabstand (Verzögerung) ΔV₃ zum Ereignis 2 bestimmt. In einem ereignisgestützten Prüf­ system werden dabei zur Bestimmung der endgültigen Zeitsteuerung des gegenwärtigen Ereignisses die im Er­ eignisspeicher vorhandenen Zeitsteuerungsdaten ausgele­ sen und zu allen vorhergehenden Ereignissen summiert.

Wenn man also bei dem in Fig. 3C gezeigten Beispiel das Ereignis 1 erzeugen will, so greift man auf die in Fig. 3B gezeigte zeitliche Beziehung zurück, wobei N₁T für den Ereignis-Zählwert steht, der N₁ mal den Refe­ renztaktintervall T entspricht, während Δ₁T den Ereig­ nis-Feinabstimmungswert angibt, der einen Bruchteil des Referenztaktintervalls T ausmacht. In entsprechender Weise werden zur Erzeugung des in Fig. 3E gezeigten Er­ eignisses 3 unter Bezugnahme auf das Ereignis 0 die Zeitsteuerungsdaten aller vorhergehender Ereignisse summiert, um eine Gesamtzeitdifferenz zu erhalten, die sich durch N₃T + Δ₃T ausdrücken läßt, wobei N₃T für einen Ereigniszählwert steht, der das N₃-fache des Re­ ferenztakts T beträgt, während Δ₃T den Ereignis-Feinab­ stimmungswert angibt, der wiederum einen Bruchteil des Referenztaktintervalls T darstellt.

Es kann vorkommen, daß sich ein Prüfsignal für einen bestimmten Pin des Bauteilprüflings bei einer tatsäch­ lichen Halbleiterprüfung für längere Zeit, d. h. bei­ spielsweise für einige 100 Millisekunden, nicht verän­ dert, während bei den Prüfsignalen für die meisten an­ deren Pins Änderungen mit sehr viel größerer Geschwin­ digkeit, beispielsweise innerhalb einiger 10 oder 100 Nanosekunden, auftreten. Dies wiederum bedeutet, daß die Länge des Zeitraums zwischen zwei aufeinanderfol­ genden Ereignissen sehr stark variieren kann, wobei zur Beschreibung des größtmöglichen Zeitraums eine große Anzahl von Datenbits benötigt wird. Da es sich bei ei­ nem Halbleiterprüfsystem um ein umfangreiches System mit beispielsweise mehreren hundert Prüfkanälen (bzw. Pins) handelt, von denen jeder mit einem Ereignisspei­ cher ausgestattet ist, ist es wünschenswert, die Kapa­ zität der einzelnen Ereignisspeicher zu verringern und so die Gesamtkosten des Prüfsystems zu senken.

Der vorliegenden Erfindung liegt somit die Aufgabe zu­ grunde, ein ereignisgestütztes Halbleiterprüfsystem so­ wie ein in diesem Prüfsystem eingesetztes Ereignis-Er­ zeugungsverfahren zu beschreiben, die es ermöglichen, eine Verzögerungszeit in die Zeitsteuerungsdaten eines spezifischen Ereignisses einzufügen und so einen Zeit­ abstand zwischen zwei Ereignissen zu vergrößern, ohne daß dies die Operation des Prüfsystems beeinflußt.

Eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, ein ereignisgestütztes Prüfsystem sowie ein in diesem Prüfsystem eingesetztes Ereignis-Erzeugungsver­ fahren zu beschreiben, die es ermöglichen, eine Reihe von Ereignissen mit unterschiedlicher Zeitsteuerung zu erzeugen, wobei ein Ereignisspeicher in der Lage ist, unter Verwendung einer relativ kleinen Anzahl von Da­ tenbits Zeitsteuerungsdaten zu speichern, die sowohl lange als auch kurze Zeitabstände zwischen den Ereig­ nissen angeben.

Zudem ist es auch eine Aufgabe der vorliegenden Erfin­ dung, ein ereignisgestütztes Halbleiterprüfsystem sowie ein in diesem Prüfsystem eingesetztes Ereignis-Erzeu­ gungsverfahren zu beschreiben, die die Erzeugung eines Ereignisses auf der Grundlage einer Deltazeit (d. h. ei­ nes Zeitabstands) zum vorhergehenden Ereignis ermögli­ chen, indem die Zeitsteuerungsdaten in einem eine ge­ ringe Speicherkapazität aufweisenden Ereignisspeicher gespeichert und modifiziert werden.

Die vorliegende Erfindung betrifft ein ereignisgestütz­ tes Prüfsystem zum Prüfen eines elektronischen Bauteil­ prüflings (DUT) durch Erzeugung von Ereignissen mit un­ terschiedlicher Zeitsteuerung für die Zuführung eines Prüfsignals zum DUT und durch Bewertung eines Ausgangs­ signals des DUT mit einer Zeitsteuerung eines Strobe- Signals. Die Zeitsteuerung der Ereignisse läßt sich da­ bei durch eine Veränderung der Zeitsteuerungsdaten im Ereignisspeicher frei variieren, wobei die entsprechen­ den Ereignisspeicher eine relativ geringe Kapazität aufweisen und selbst zur Speicherung der Zeitsteue­ rungsdaten für einen großen Zeitabstand zwischen zwei Ereignissen nur eine geringe Wortlänge benötigen.

Gemäß der vorliegenden Erfindung besteht die Vorrich­ tung zur Erzeugung der Prüfmuster und Strobe-Signale auf der Grundlage von Ereignisdaten aus einem Ereignis­ speicher zur Speicherung von Zeitsteuerungsdaten und Ereignistypdaten für jedes Ereignis, wobei die Zeit­ steuerungsdaten eines gegenwärtigen Ereignisses durch eine Verzögerungszeit gegenüber einem dem gegenwärtigen Ereignis unmittelbar vorausgehenden Ereignis unter Ver­ wendung einer festgelegten Anzahl von Datenbits wieder­ gegeben werden, und aus Mitteln, die ein Einfügen einer Verzögerungszeit in die Zeitsteuerungsdaten eines spe­ zifizierten Ereignisses in einer solchen Weise ermögli­ chen, daß eine Gesamtverzögerungszeit des gegenwärtigen Ereignisses erzielt wird, die länger ist als die Ge­ samtverzögerungszeit, die sich durch die festgelegte Anzahl von Datenbits im Ereignisspeicher ausdrücken läßt, wobei die Mittel zum Einfügen der Verzögerungs­ zeit Mittel zur Vervielfältigung der Zeitsteuerungsda­ ten und der Ereignistypdaten des dem spezifizierten Er­ eignis unmittelbar vorausgehenden Ereignisses umfassen.

Gemäß einem anderen Aspekt der vorliegenden Erfindung umfassen die Mittel zum Einfügen der Verzögerungszeit Mittel zum Einfügen eines NOP-Ereignisses (Nulloperations-Ereignisses), welches eine zusätzliche, zum spezifizierten Ereignis hinzuzuaddierende Verzöge­ rungszeit angibt, und zum Einfügen einer NOP (Nulloperation) als Ereignistypdaten, wodurch die zu­ sätzliche Verzögerungszeit eingefügt wird, ohne daß vom Prüfsystem irgendwelche Operationen durchgeführt wer­ den. Die vorliegende Erfindung betrifft zudem ein Ver­ fahren zur Einfügung der Verzögerungszeit in die Zeit­ steuerungsdaten zur Erzeugung der Ereignissequenz.

Bei dem erwähnten ersten und zweiten Aspekt der vorlie­ genden Erfindung umfassen die Zeitsteuerungsdaten im Ereignisspeicher Verzögerungs-Zähldaten, die aus einem ganzzahligen Vielfachen eines Referenztaktintervalls bestehen (ganzzahliger Datenteil), und Verzögerungs- Feinabstimmungsdaten, die aus einem Bruchteil des Refe­ renztaktintervalls bestehen (Bruch-Datenteil). Im übri­ gen läßt sich beim ersten und zweiten Aspekt der vor­ liegenden Erfindung eine entsprechende Verzögerungs­ zeiteinfügung mehrmals wiederholen, um die gewünschte Gesamtverzögerungszeit für das gegenwärtige Ereignis zu erzielen.

Ein weiterer Aspekt der vorliegenden Erfindung betrifft ein Verfahren zur Einfügung einer Verzögerungszeit in Zeitsteuerungsdaten von Ereignissen zum Prüfen von Halbleiterbauteilen. Das Verfahren umfaßt dabei die folgenden Verfahrensschritte: Speichern von Zeitsteue­ rungdaten und Ereignistypdaten für jedes Ereignis in einem Ereignisspeicher, wobei die Zeitsteuerungsdaten eines gegenwärtigen Ereignisses durch eine Verzöge­ rungszeit gegenüber einem unmittelbar vorhergehenden Ereignis unter Verwendung einer festgelegten Anzahl von Datenbits wiedergegeben werden, und Einfügen einer Ver­ zögerungszeit in die Zeitsteuerungsdaten eines spezifi­ zierten Ereignisses in einer Weise, daß eine Gesamtver­ zögerungszeit des gegenwärtigen Ereignisses erzielt wird, die länger ist als die Gesamtverzögerungszeit, die sich durch die festgelegte Anzahl von Datenbits im Ereignisspeicher ausdrücken läßt. Der Verfahrensschritt der Verzögerungszeit-Einfügung erfolgt dabei entweder durch Vervielfältigung der Zeitsteuerungsdaten und der Ereignistypdaten des dem spezifizierten Ereignis unmit­ telbar vorausgehenden Ereignisses oder durch Einfügung eines NOP-Ereignisses (Nulloperations-Ereignisses), das eine zusätzliche, dem spezifizierten Ereignis hinzu­ zuaddierende Verzögerungszeit angibt, und einer NOP (Nulloperation) als Ereignistypdaten, wodurch die zu­ sätzliche Verzögerungszeit eingefügt wird, ohne daß vom Prüfsystem irgendwelche weiteren Operationen durchge­ führt werden.

Das erfindungsgemäße ereignisgestützte Halbleiterprüf­ system ist in der Lage, zur Bewertung des Halbleiter­ bauteils Ereignisse mit unterschiedlicher Zeitsteuerung auf der Grundlage von im Ereignisspeicher gespeicherten Ereignisdaten zu erzeugen. Die Zeitsteuerung der ein­ zelnen Ereignisse wird jeweils durch die Länge eines Zeitabstands (d. h. eine Deltazeit) zum letzten Ereignis bestimmt. Die Deltazeit zwischen verschiedenen Ereig­ nissen läßt sich auf einfache Weise durch Einfügung ei­ ner Verzögerungszeit verlängern, wobei dann die Gesamt­ verzögerungszeit nach der Verzögerungszeit-Einfügung länger ist als sich dies durch die maximale Wortlänge des Ereignisspeichers ausdrücken läßt. Gemäß einem Aspekt der Erfindung besteht die Operation zur Verzöge­ rungszeit-Einfügung beim erfindungsgemäßen Ereignis­ prüfsystem darin, ein dem gegenwärtigen Ereignis unmit­ telbar vorhergehendes Ereignisses so oft zu wiederho­ len, bis die gewünschte Zeitlänge erreicht ist, während die Operation zur Verzögerungszeit-Einfügung im ereig­ nisgestützten Prüfsystem gemäß einem anderen Aspekt darin besteht, für das gegenwärtige Ereignis so lange eine NOP (Nulloperation) aufzurufen, bis die gewünschte Zeitlänge erreicht ist.

Im folgenden wird die vorliegende Erfindung unter Be­ zugnahme auf die beigefügte Zeichnung näher erläutert. In der Zeichnung zeigen

Fig. 1 ein schematische Blockschaltbild zur Dar­ stellung eines grundlegenden Aufbaus ei­ nes erfindungsgemäßen ereignisgestützten Prüfsystems;

Fig. 2 ein Blockschaltbild zur detaillierteren Darstellung des Aufbaus der in Fig. 1 ge­ zeigten Pin-Elektronik sowie vom Ereig­ nisgenerator erzeugter zugehöriger Steuer-Ereignisse (bzw. Prüfsignale) und eines Abtast-Ereignisses (bzw. Strobe-Si­ gnals);

Fig. 3 eine Zeitsteuerungsgraphik zur Darstel­ lung der Beziehung zwischen der Zeit­ steuerung verschiedener Ereignisse, ein­ schließlich des Steuer-Ereignisses und des Abtast-Ereignisses relativ zu einem Referenztakt zur Verdeutlichung des grundlegenden Konzepts einer ereignisge­ stützten Prüfoperation;

Fig. 4 eine Zeitsteuerungsgraphik zur Darstel­ lung der Zeitsteuerungsbeziehungen zwi­ schen verschiedenen Ereignissen auf der Grundlage des Zeitabstands (bzw. der Del­ tazeit) zwischen zwei aufeinanderfolgen­ den Ereignissen;

Fig. 5 ein Diagramm zur Darstellung eines Bei­ spiels für die Speicherung von Daten in einem zum ereignisgestützten Prüfsystem gehörenden Ereignisspeicher entsprechend der in Fig. 4 gezeigten Reihe von Verzöge­ rungen, wobei keine Verzögerungszeit-Ein­ fügung erfolgt;

Fig. 6 eine Zeitsteuerungsgraphik zur Darstel­ lung eines Beispiels von Wellenformen für die Reihe von Ereignissen, die auf der Grundlage der im in Fig. 5 gezeigten Er­ eignisspeicher gespeicherten Zeitsteue­ rungsdaten erzeugt wurden, wobei keine Verzögerungszeit-Einfügung erfolgt;

Fig. 7 eine Zeitsteuerungsgraphik zur Darstel­ lung eines Beispiels für die Zeitsteue­ rungsbeziehung in einem Fall, bei dem ein zusätzliches Ereignis in die Ereignisse­ quenz eingefügt wird, um eine ausreichend lange Verzögerungszeit zwischen den Er­ eignissen zu erzielen;

Fig. 8 ein Diagramm zur Darstellung eines Bei­ spiels für die Datenspeicherung in einem zum ereignisgestützten Prüfsystem gehö­ renden Ereignisspeicher gemäß einem er­ sten Aspekt der vorliegenden Erfindung, wobei eine Einfügung einer Verzögerungs­ zeit in die im Ereignisspeicher vorhan­ denen Zeitsteuerungsdaten erfolgt;

Fig. 9 eine Zeitsteuerungsgraphik zur Darstel­ lung eines Beispiels von Wellenformen für die Reihe von Ereignissen, die auf der Grundlage von in dem in Fig. 8 gezeigten Ereignisspeicher gemäß dem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung gespeicherten Ereignisdaten erzeugt wurden;

Fig. 10 ein Diagramm zur Darstellung eines Bei­ spiels für die Datenspeicherung in einem zum ereignisgestützten Prüfsystem gehö­ renden Ereignisspeicher gemäß einem zwei­ ten Aspekt der vorliegenden Erfindung, wobei eine Einfügung einer Verzögerungs­ zeit in die im Ereignisspeicher vorhan­ denen Zeitsteuerungsdaten erfolgt; und

Fig. 11 eine Zeitsteuerungsgraphik zur Darstel­ lung eines Beispiels von Wellenformen für eine Reihe von Ereignissen, die auf der Grundlage der in dem in Fig. 10 gezeigten Ereignisspeicher gemäß dem zweiten Aspekt der vorliegenden Erfindung gespeicherten Ereignisdaten erzeugt wurden.

Im folgenden wird das bevorzugte Ausführungsbeispiel der Erfindung näher erläutert. Das schematische Block­ schaltbild gemäß Fig. 1 zeigt ein Beispiel für den grundlegenden Aufbau eines erfindungsgemäßen ereignis­ gestützten Prüfsystems. Das ereignisgestützte Prüfsy­ stem enthält einen Hauptrechner 12 und eine Busschnitt­ stelle 13, die beide mit einem Systembus 14 verbunden sind, einen internen Bus 15, eine Adreßfolge-Steuerein­ heit 18, einen Fehlerspeicher 17, einen aus einem Takt­ zählspeicher 20 und einem Feinabstimmungs-Datenspeicher 21 gebildeten Ereignisspeicher, eine Ereignissummier- und Skalierlogik 22, einen Ereignisgenerator 24 und eine Pin-Elektronik 26. Das ereignisgestützte Prüfsy­ stem dient zur Bewertung eines Halbleiterbauteilprüf­ lings (DUT) 28, bei dem es sich üblicherweise um eine integrierte Speicherschaltung, beispielsweise einen Di­ rektzugriffsspeicher (RAM) bzw. einen Flash-Speicher, oder um eine integrierte Logikschaltung, etwa einen Mi­ kroprozessor bzw. einen Signalprozessor handelt, die bzw. der mit der Pin-Elektronik 26 verbunden ist.

Als Hauptrechner 12 dient beispielsweise ein mit einem UNIX-Betriebssystem ausgestatteter Arbeitsplatz. Der Hauptrechner 12 fungiert als Benutzerschnittstelle, wo­ durch es einem Benutzer möglich ist, die Start- und Endbefehle für die Prüfung einzugeben, ein Prüfprogamm und andere Prüfbedingungen zu laden oder Prüfergebnis­ analysen durchzuführen. Der Hauptrechner 12 ist über den Systembus 14 und die Busschnittstelle 13 mit einem Hardware-Prüfsystem und zudem vorzugsweise zum Absenden bzw. Empfangen von Prüfinformationen von anderen Prüf­ systemen oder Rechnernetzen mit einem Datenübertra­ gungsnetzwerk verbunden, was jedoch in der Zeichnung nicht dargestellt ist.

Bei dem internen Bus 15 handelt es sich um einen Bus im Hardware-Prüfsystem, der üblicherweise mit den meisten Funktionsblöcken, wie etwa der Adreßfolge-Steuereinheit 18, dem Fehlerspeicher 17, der Ereignissummier- und Skalierlogik 22 und dem Ereignisgenerator 24 verbunden ist. Als Adreßfolge-Steuereinheit 18 wird beispiels­ weise ein nur dem Hardware-Prüfsystem zur Verfügung stehender Prüfgerätprozessor verwendet, auf den der Be­ nutzer keinen Zugriff hat. Die Adreßfolge-Steuereinheit 18 liefert auf der Grundlage der vom Hauptrechner 12 vorgegebenen Bedingungen bzw. des Prüfprogramms ent­ sprechende Befehle an andere Funktionsblöcke des Prüf­ systems. Der Fehlerspeicher 17 speichert Prüfergeb­ nisse, wobei es sich beispielsweise um Fehlerinforma­ tionen über den Bauteilprüfling 28 handelt, an den durch die Adreßfolge-Steuereinheit 18 vorgegebenen Adressen ab. Die im Fehlerspeicher 17 gespeicherten In­ formationen werden bei der Fehleranalyse des Bauteil­ prüflings verwendet.

Die Adreßfolge-Steuereinheit 18 liefert dem Ereignis­ zählspeicher 20 und dem Feinabstimmungsdatenspeicher 21 Adreßdaten, wie sich dies Fig. 1 entnehmen läßt. Bei ei­ nem tatsächlichen Prüfsystem ist eine Vielzahl von aus einem Ereignis-Taktzählspeicher und einem Ereignis- Feinabstimmungsdatenspeicher bestehenden Bauteilgruppen vorgesehen, von denen jede einem Prüfpin des Prüfsy­ stems zugeordnet sein kann. Der Taktzählspeicher und der Feinabstimmungsdatenspeicher speichern die Zeit­ steuerungsdaten für jedes Prüfsignal-Ereignis bzw. Strobe-Signalereignis, wobei im Ereigniszählspeicher 20 die Zeitsteuerungsdaten gespeichert werden, die einem ganzzahligen Vielfachen des Referenztakts entsprechen (ganzzahliger Datenteil), während im Ereignis-Feinab­ stimmungsdatenspeicher 21 Zeitsteuerungsdaten gespei­ chert sind, welche einen Bruchteil des Referenztakts darstellen (Bruch-Datenteil). Im Rahmen der vorliegen­ den Erfindung entsprechen die Zeitsteuerungsdaten für jedes Ereignis einem Zeitabstand (d. h. eine Verzöge­ rungszeit bzw. Deltazeit) zum vorhergehenden Ereignis.

Die Ereignissummier- und Skalierlogik 22 dient zur Er­ zeugung von Daten, die eine Gesamtzeitsteuerung der einzelnen Ereignisse auf der Grundlage der vom Ereig­ niszählspeicher 20 und dem Ereignis-Feinabstimmungsda­ tenspeicher 21 kommenden Delta-Zeitsteuerungsdaten wie­ dergeben. Im wesentlichen werden derartige Gesamtzeit­ steuerungsdaten durch Summierung des ganzzahligen Da­ tenteils und des Bruch-Datenteils erzeugt. Im Verlauf der Summierung der Zeitsteuerungsdaten wird in der Zeitsteuerungszähl- und Skalierlogik 22 im übrigen auch eine Übertrag-Operation der Bruchteildaten (d. h. eine Verschiebung zum ganzzahligen Datenteil) vorgenommen. Zudem läßt sich eine Modifizierung der Gesamtzeitsteue­ rung vornehmen, indem während der Erzeugung der Gesamt­ zeitsteuerung die Zeitsteuerungsdaten mit Hilfe eines Skalierfaktors entsprechend multipliziert werden.

Der Ereignisgenerator 24 dient dazu, die Ereignisse auf der Grundlage der von der Ereignissummier- und Skalier­ logik 22 gelieferten Gesamtzeitsteuerungsdaten tatsäch­ lich zu erzeugen. Die auf diese Weise erzeugten Ereig­ nisse (d. h. Prüfsignale und Strobe-Signale) werden dem Bauteilprüfling DUT 28 durch die Pin-Elektronik 26 zu­ geführt. Die Pin-Elektronik 26 besteht im wesentlichen aus einer großen Anzahl von Baueinheiten, die jeweils eine Pin-Ansteuerung und einen Komparator sowie Um­ schalter enthalten und der Herstellung von Eingabe- und Ausgabebeziehungen zum Bauteilprüfling DUT 28 dienen.

Das Blockschaltbild gemäß Fig. 2 zeigt eine detaillier­ tere Darstellung des Aufbaus einer eine Pin-Ansteuerung 35 und einen analogen Komparator 36 umfassenden Pin- Elektronik 26. Der Ereignisgenerator 24 erzeugt Steuer- Ereignisse, die durch die Pinansteuerung 35 einem Ein­ gangspin des Bauteilprüflings DUT 28 als Prüfsignale zugeführt werden. Zudem erzeugt der Ereignisgenerator 24 ein Abtast-Ereignis, das zum Abtasten eines Aus­ gangssignals des Bauteilprüflings DUT 28 dem analogen Komparator 36 als Strobe-Signal zugeführt wird. Das Ausgangssignal des analogen Komparators 36 wird durch einen Musterkomparator 38 mit den SOLL-Werten vom Er­ eignisgenerator 24 verglichen. Falls es zu keiner Über­ einstimmung kommt, wird ein Fehlersignal an den in Fig. 1 gezeigten Fehlerspeicher 17 gesandt.

Ein Beispiel für die Wellenformen der Steuer-Ereignisse (Prüfmuster), des vom Bauteilprüfling kommenden Aus­ gangssignals und eines Abtast-Ereignisses (Strobe-Si­ gnal) läßt sich den Fig. 3C, 3D bzw. 3E entnehmen. Wenn man die Steuer-Ereignisse gemäß Fig. 3C dem Bauteilprüf­ ling DUT 28 durch die Pinansteuerung 35 zuführt, so er­ zeugt der Bauteilprüfling DUT 28 in Antwort hierauf ein Ausgangssignal, wie es in Fig. 3D gezeigt ist, welches nun mit der durch das Abtast-Ereignis gemäß Fig. 3E be­ stimmten Zeitsteuerung abgetastet wird. Wie sich Fig. 3C entnehmen läßt, bestimmen die Steuer-Ereignisse die Zeitsteuerung der ansteigenden und der abfallenden Flanken des Prüfmusters. Hingegen legt das in Fig. 3E gezeigte Abtast-Ereignis die Zeitsteuerung des Abtast­ punkts fest, d. h. ein Strobe-Signal läßt sich mit Hilfe eines einzigen Ereignisses erzeugen, sofern angezeigt wird, daß es sich bei diesem Ereignis um ein Abtast-Er­ eignis handelt. Der Grund hierfür liegt darin, daß ein Strobe-Signal eine sehr geringe Impulsbreite aufweist, wodurch es praktisch unmöglich ist, ein Strobe-Signal zu erzeugen, indem man sowohl dessen ansteigende als auch dessen abfallende Flanke festlegt.

Die Zeitsteuerungsgraphik gemäß Fig. 4 zeigt Zeitsteue­ rungsbeziehungen zwischen verschiedenen Ereignissen auf der Grundlage eines Zeitabstands (Deltazeit) zwischen zwei aufeinanderfolgenden Ereignissen. Wie bereits un­ ter Bezugnahme auf die Fig. 3A bis 3E erwähnt wurde, wird die Länge des Zeitraums zwischen den Ereignissen (d. h. der Verzögerungswert) durch eine Kombination ei­ nes ganzzahligen Vielfachen des Referenztaktintervalls (ganzzahliger Datenteil bzw. Verzögerungs-Zählwert) und eines Bruchteils des Referenztaktintervalls (Bruch-Da­ tenteil bzw. Verzögerungs-Feinabstimmungswert) wieder­ gegeben.

Bei dem in Fig. 4 gezeigten Beispiel werden die Ereig­ nisse 0 bis 7 in bezug zu einem Referenztakt angegeben, der einen Zeitintervall von T = 1 besitzt. Somit lautet beispielsweise die Deltazeit (bzw. Verzögerung) ΔV₀ für das Ereignis 0 0,75 (Verzögerungs-Zählwert "0" und Feinabstimmungswert "0,75") und die Deltazeit ΔV₁ für ein Ereignis 1 beträgt 1,50 (Verzögerungs-Zählwert "1" und Feinabstimmungswert "0,50"). In diesem Fall beträgt die Gesamtverzögerung des Ereignisses 1 2,25, wobei eine Logik im Prüfsystem zwei Ereignistakte "2,0" zählt und die Summe des Verzögerungs-Feinabstimmungswerts "0,25" als restliche Bruchteil-Verzögerung berechnet.

Das Diagramm gemäß Fig. 5 zeigt ein Beispiel für die Da­ tenspeicherung in einem Ereignisspeicher des ereignis­ gestützten Prüfsystems für die in Fig. 4 gezeigte Reihe von Verzögerungen. Die Verzögerungszeit ΔV_n (ΔV₀, ΔV₁, ΔV₂ . . .) wird durch eine Kombination des Verzögerungs- Zählwerts Cn (C1, C2, C3, . . .) mit dem Verzögerungs- Feinabstimmungswert Vn (V1, V2, V3, . . .) wiedergegeben, wie sich dies Fig. 5 entnehmen läßt. Die Zeitsteuerungs­ graphik gemäß Fig. 6 zeigt ein Beispiel für Wellenformen der Reihe von Ereignissen, die auf der Grundlage von im Ereignisspeicher gemäß Fig. 5 gespeicherten Zeitsteue­ rungsdaten erzeugt werden. Bei dem in den Fig. 5 und 6 gezeigten Beispiel erfolgt keine Verzögerungszeit-Ein­ fügung.

Da der Verzögerungs-Feinabstimmungswert stets kleiner ist, als der Referenztaktintervall T, reicht hier ggf. eine Wortlänge von mehreren Bits aus, um alle möglichen Bruchteil-Verzögerungen der Ereignisse vollständig wie­ derzugeben. Die Ereignis-Zähldaten (d. h. die Verzöge­ rungs-Zählwerte) müssen hingegen eine große Bandbreite an ganzzahligen Werten von 1 bis 134.217.728 Referenz­ taktintervallen wiedergeben, was darauf zurückzuführen ist, daß die Länge des Zeitraums zwischen zwei Ereig­ nissen bei einer tatsächlich durchgeführten Prüfopera­ tion einerseits nur einige 10 Nanosekunden, aber ander­ seits durchaus auch mehrere hundert Millisekunden be­ tragen kann. Bei einer so großen Anzahl von Taktinter­ vallen wird jeweils eine Gesamtzahl von 27 Datenbits für die jeweiligen im Ereignisspeicher gespeicherten Verzögerungs-Zähldaten benötigt.

Bei tatsächlich durchgeführten Bauteilprüfungen wird eine derart große Anzahl von Taktintervallen allerdings nur selten eingesetzt, während in den meisten Fällen eine wesentlich geringere Anzahl von Taktintervallen ausreicht. Somit wäre es wünschenswert, wenn für die Verzögerungs-Zähldaten im Ereignisspeicher die Verwen­ dung einer sehr viel geringeren Bitlänge von beispiels­ weise 9 Bits ausreichend wäre. Die vorliegende Erfin­ dung betrifft daher ein Verfahren, bei dem eine Verzö­ gerungszeit derart in die Ereignisse eingefügt wird, daß sich unter Verwendung einer relativ geringen Anzahl von Datenbits Verzögerungszeiten gewinnen lassen, die eine große Anzahl von Taktintervallen umfassen. Anders ausgedrückt, bietet die vorliegende Erfindung Mittel zur Erzeugung eines Ereignisses, dessen Zeitabstand zum vorhergehenden Ereignis sehr viel länger ist, als sich dies mit Hilfe der zugehörigen Datenbits im Ereignis­ speicher ausdrücken läßt.

Es wird im folgenden davon ausgegangen, daß der Verzö­ gerungswert ΔV₂ in den Fig. 4 und 5 zur Erzeugung des Er­ eignisses 2 keine ausreichende Verzögerung aufweist, so daß zur Erzielung der beabsichtigten Verzögerungszeit eine zusätzliche Verzögerungszeit in die bereist exi­ stierenden Verzögerungsdaten eingeschoben werden muß. Der in Fig. 7 gezeigten Zeitsteuerungsgraphik läßt sich eine entsprechende Situation entnehmen, bei der ein zu­ sätzliches Ereignis in die Ereignissequenz eingeschoben wird, um zwischen dem Ereignis 1 und dem Ereignis 2 eine ausreichend lange Verzögerung herzustellen. Bei dem Beispiel gemäß Fig. 7 wird dabei das Ereignis 2 in zwei Ereignisse aufgeteilt, d. h. in ein Ereignis 2a mit einer Verzögerungszeit ΔV_2a und ein Ereignis 2b mit ei­ ner Verzögerungszeit ΔV_2b. Anders gesagt, wird das Er­ eignis 2a, das die maximale Verzögerungszeit aufweist, in das Ereignis 2 eingeschoben.

Gemäß dem ersten Aspekt der Erfindung erfolgt die Ope­ ration zu einer derartigen Verzögerungseinfügung durch Vervielfältigung eines vorhergehenden Ereignisses (d. h. des Ereignisses 1). Fig. 8 zeigt ein Beispiel für die Datenspeicherung im Ereignisspeicher, wobei eine Ein­ schiebung eines die maximalen Verzögerungs-Zähldaten sowie Feinabstimmungsdaten mit dem Wert 0 umfassenden Ereignisses 2a erfolgt. Bei dem Ereignis 2a handelt es sich um ein Ereignis desselben Typs wie beim Ereignis 1, wie sich dies der rechten Spalte in Fig. 8 entnehmen läßt. Die Ereignisdaten in Fig. 8 sind in Fig. 9 als Wel­ lenformen wiedergegeben. Ereignis 2 wird durch eine Kombination des eine Verzögerungszeit ΔV_2a (maximaler Verzögerungs-Zählwert und Feinabstimmmungswert 0) auf­ weisenden Ereignisses 2a mit dem eine Verzögerungszeit ΔV_2b (Verzögerungs-Zählwert C2 und Feinabstimmungswert V2) aufweisenden Ereignis 2b erzeugt. Das Ereignis 2a weist beim obigen Beispiel zwar einen maximalen Verzö­ gerungs-Zählwert auf; die Verzögerungszeitdaten können jedoch je nach der einzufügenden Verzögerungszeit vari­ ieren und daher auch kürzer als die maximale Verzöge­ rungszeit sein. Wenn hingegen zur Erzielung des ge­ wünschten Zeitraums die Hinzufügung von mehr als zwei maximalen Verzögerungs-Zählwerten erforderlich ist, so wird das den maximalen Verzögerungs-Zählwert aufwei­ sende Ereignis 1 mehrfach reproduziert.

Die Lösung gemäß dem ersten Aspekt der vorliegenden Er­ findung läßt sich bei einer Sequenz von Steuer-Ereig­ nissen zur Erzeugung eines Prüfmusters gemäß Fig. 3C wirksam einsetzen. Allerdings treten bei dieser Lösung bei der Erzeugung von Abtast-Ereignissen (Strobe-Signa­ len) Probleme auf. Wie bereits kurz erwähnt wurde, han­ delt es sich bei einem Abtast-Signal um einen sehr schmalen Impuls, der nicht durch zwei Flanken, d. h. eine (ansteigende) Setz- und eine (abfallende) Rück­ setzflanke, sondern durch eine einzige Flanke bzw. ein einziges Ereignis definiert wird. Wenn es sich also beim Ereignis 1 um ein Abtast-Ereignis (bzw. Strobe-Er­ eignis) handelt, so wird bei dem in Fig. 9 gezeigten Beispiel ein Strobe-Signal an einem Zwischenpunkt des Ereignisses, beispielsweise bei einer durch das Ereig­ nis 2a angezeigten Steuerzeit, erzeugt. Ein derartiges Strobe-Signal wird dann dem in Fig. 2 gezeigten analogen Komparator zum Abtasten des Ausgangssignals des Bau­ teilprüflings DUT zugeführt und das abgetastete Aus­ gangssignal wird einem Logikvergleich mit SOLL-Werten unterzogen. Wenn nun an dieser Stelle allerdings gar keine Abtastung beabsichtigt war, so kann hierbei als Ergebnis selbst dann ein Fehler angezeigt werden, wenn in der Operation des Bauteilprüflings gar kein Fehler vorliegt.

Der zweite Aspekt der vorliegenden Erfindung bietet hier nun eine Alternative zur oben beschriebenen ersten Lösung, wobei ein als NOP (Nulloperation) bezeichnetes neues Ereignis in den Ereignisspeicher eingeschoben wird. Fig. 10 zeigt die Datenspeicherung im Ereignis­ speicher beim zweiten Aspekt der vorliegenden Erfin­ dung. Dabei wird ein als Ereignis 2a gekennzeichnetes NOP-Ereignis nach dem Ereignis 2 in die Ereignisdaten eingeschoben. Das Ereignis 2a weist eine Verzögerungs­ zeit ΔV_2a (maximaler Verzögerungs-Zählwert und Feinab­ stimmungswert 0) auf. Der Ereignistyp des neuen Ereig­ nisses wird in der rechten Spalte gemäß Fig. 10 als NOP angegeben. Die in Fig. 10 gezeigten Ereignisdaten lassen sich durch die Wellenformen gemäß Fig. 11 wiedergeben.

Wird das NOP-Ereignis aufgerufen, so bewirkt die Opera­ tion des Prüfsystems alleine die Erzeugung einer ange­ gebenen Verzögerungszeit, d. h. im Fall eines Steuer-Er­ eignisses würde eine NOP-Einfügung keine Veränderung im Zustand des Prüfpins hervorrufen. Für eine Sequenz von Abtast-Ereignissen führt die Einfügung einer Nullopera­ tion nicht zur Erzeugung von Abtast-Ereignissen, so daß hier auch keine falschen Ergebnisse auftreten. Der Ver­ zögerungs-Zählwert weist beim Ereignis 2a bei dem er­ wähnten Beispiel zwar einen Maximalwert auf; die Verzö­ gerungs-Zähldaten können jedoch auch entsprechend der einzufügenden Verzögerungszeit variieren und dabei kür­ zer sein, als die Maximalverzögerung. Zudem kann eine Einfügung mehrerer NOP-Ereignisse, die jeweils den Ma­ ximalverzögerungswert aufweisen, erfolgen, wenn der ge­ wünschte Zeitraum mehr als zwei NOP-Ereignisse erfor­ dert.

Das ereignisgestützte Halbleiterprüfsystem gemäß der vorliegenden Erfindung ist in der Lage, zur Bewertung eines Halbleiterbauteils Ereignisse mit unterschiedli­ cher Zeitsteuerung auf der Grundlage von im Ereignis­ speicher gespeicherten Ereignisdaten zu erzeugen. Die Zeitsteuerung jedes einzelnen Ereignisses wird dabei durch einen Zeitabstand (Deltazeit) zum vorhergehenden Ereignis festgelegt. Die Deltazeit zwischen Ereignissen kann auf einfache Weise durch Einfügung einer Verzöge­ rungszeit vergrößert werden, wobei man nach der Einfü­ gung der Verzögerungszeit eine Gesamtdeltazeit erhält, die größer ist, als die maximale Wortlänge des Ereig­ nisspeichers. Gemäß einem Aspekt der Erfindung wird die Operation zur Verzögerungszeit-Einfügung beim erfin­ dungsgemäßen Prüfsystem durchgeführt, indem ein dem ge­ genwärtigen Ereignis unmittelbar vorausgehendes Ereig­ nis so lange wiederholt wird, bis die gewünschte Zeit­ länge erzielt ist, während gemäß einem anderen Aspekt die Operation zur Verzögerungszeit-Einfügung im ereig­ nisgestützten Prüfsystem erfolgt, indem für das gegen­ wärtige Ereignis solange eine NOP (Nulloperation) auf­ gerufen wird, bis die gewünschte Zeitlänge erreicht ist.

Claims (8)

1. Vorrichtung zur Erzeugung von Prüfmustern und Strobe-Signalen auf der Grundlage von Ereignisdaten in einem Halbleiterprüfsystem, wobei die Vorrichtung die folgenden Bestandteile umfaßt:
einen Ereignisspeicher zur Speicherung von Zeit­ steuerungsdaten und Ereignistypdaten für jedes Ereignis, wobei die Zeitsteuerungsdaten eines gegenwärtigen Ereignisses durch eine Verzöge­ rungszeit gegenüber einem dem gegenwärtigen Er­ eignis unmittelbar vorausgehenden Ereignis unter Verwendung einer festgelegten Anzahl von Daten­ bits wiedergegeben werden; und
Mittel, die ein Einfügen einer Verzögerungszeit in die Zeitsteuerungsdaten eines spezifizierten Ereignisses in einer solchen Weise ermöglichen, daß eine Gesamtverzögerungszeit des gegenwärti­ gen Ereignisses erzielt wird, die länger ist als die Gesamtverzögerungszeit, die sich durch die festgelegte Anzahl von Datenbits im Ereignis­ speicher ausdrücken läßt;
wobei die Mittel zum Einfügen der Verzögerungs­ zeit Mittel zur Vervielfältigung der Zeitsteue­ rungsdaten und der Ereignistypdaten des dem spe­ zifizierten Ereignis unmittelbar vorausgehenden Ereignisses umfassen.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Zeitsteue­ rungsdaten im Ereignisspeicher Verzögerungs-Zählda­ ten, die aus einem ganzzahligen Vielfachen eines Re­ ferenztaktintervalls bestehen (ganzzahliger Daten­ teil), und Verzögerungs-Feinabstimmungsdaten umfas­ sen, die aus einem Bruchteil des Referenztaktinter­ valls bestehen (Bruch-Datenteil).

3. Vorrichtung nach Anspruch 1, wobei die Vervielfälti­ gung der Zeitsteuerungsdaten und der Ereignistypda­ ten des dem spezifizierten Ereignis unmittelbar vor­ hergehenden Ereignisses zur Erzeugung der Gesamtver­ zögerungszeit des gegenwärtigen Ereignisses mehrmals wiederholt wird.

4. Vorrichtung zur Erzeugung von Prüfmustern und Strobe-Signalen auf der Grundlage von Ereignisdaten in einem Halbleiterprüfsystem, wobei die Vorrichtung die folgenden Bestandteile umfaßt:
einen Ereignisspeicher zur Speicherung von Zeit­ steuerungsdaten und Ereignistypdaten für jedes Ereignis, wobei die Zeitsteuerungsdaten eines gegenwärtigen Ereignisses durch eine Verzöge­ rungszeit gegenüber einem hierzu unmittelbar vorausgehenden Ereignis unter Verwendung einer festgelegten Anzahl von Datenbits wiedergegeben werden; und
Mittel, die ein Einfügen einer Verzögerungszeit in die Zeitsteuerungsdaten eines spezifizierten Ereignisses in einer solchen Weise ermöglichen, daß eine Gesamtverzögerungszeit des gegenwärti­ gen Ereignisses erzielt wird, die länger ist als die Gesamtverzögerungszeit, die sich durch die festgelegte Anzahl von Datenbits im Ereignis­ speicher ausdrücken läßt;
wobei die Mittel zum Einfügen der Verzögerungs­ zeit Mittel zum Einfügen eines NOP-Ereignisses (Nulloperations-Ereignissses) umfassen, welches eine zusätzliche, zum spezifizierten Ereignis hinzuzuaddierende Verzögerungszeit angibt, und zum Einfügen einer NOP (Nulloperation) als Er­ eignistypdaten, wodurch die zusätzliche Verzöge­ rungszeit eingefügt wird, ohne daß vom Prüfsy­ stem irgendwelche Operationen durchgeführt wer­ den.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, wobei die Zeitsteue­ rungsdaten im Ereignisspeicher Verzögerungs-Zühlda­ ten, die aus einem ganzzahligen Vielfachen eines Re­ ferenztaktintervalls bestehen (ganzzahliger Daten­ teil), und Verzögerungs-Feinabstimmungsdaten umfas­ sen, die aus einem Bruchteil des Referenztaktinter­ valls bestehen (Bruch-Datenteil).

6. Vorrichtung nach Anspruch 4, wobei die Einfügung ei­ nes NOP-Ereignisses zur Erzeugung der gewünschten Gesamtverzögerungszeit des gegenwärtigen Ereignisses mehrmals wiederholt wird.

7. Verfahren zur Einfügung einer Verzögerungszeit in Zeitsteuerungsdaten von Ereignissen, die zum Prüfen von Halbleiterbauteilen dienen, wobei das Verfahren die folgenden Verfahrensschritte umfaßt:

• - Speichern von Zeitsteuerungdaten und Ereignis­ typdaten für jedes Ereignis in einem Ereignis­ speicher, wobei die Zeitsteuerungsdaten eines gegenwärtigen Ereignisses durch eine Verzöge­ rungszeit gegenüber einem unmittelbar vorherge­ henden Ereignis unter Verwendung einer festge­ legten Anzahl von Datenbits wiedergegeben wer­ den; und
• - Einfügen einer Verzögerungszeit in die Zeit­ steuerungsdaten eines spezifizierten Ereignisses in einer Weise, daß eine Gesamtverzögerungszeit des gegenwärtigen Ereignisses erzielt wird, die länger ist als die Gesamtverzögerungszeit, die sich durch die festgelegte Anzahl von Datenbits im Ereignisspeicher ausdrücken läßt;
• - wobei der Verfahrensschritt der Verzögerungs­ zeit-Einfügung entweder durch Vervielfältigung der Zeitsteuerungsdaten und der Ereignistypdaten des dem spezifizierten Ereignis unmittelbar vor­ ausgehenden Ereignisses oder durch Einfügung ei­ nes NOP-Ereignisses (Nulloperations-Ereignis­ ses), das eine zusätzliche, dem spezifizierten Ereignis hinzuzuaddierende Verzögerungszeit an­ gibt, und durch Einfügung einer NOP (Nulloperation) als Ereignistypdaten erfolgt, wodurch die zusätzliche Verzögerungszeit einge­ fügt wird, ohne daß das Prüfsystem irgendwelche Operationen durchführt.

8. Verfahren nach Anspruch 7, wobei die Zeitsteuerungs­ daten im Ereignisspeicher Verzögerungs-Zähldaten, die aus einem ganzzahligen Vielfachen eines Refe­ renztaktintervalls bestehen (ganzzahliger Daten­ teil), und Verzögerungs-Feinabstimmungsdaten umfas­ sen, die aus einem Bruchteil des Referenztaktinter­ valls bestehen (Bruch-Datenteil).