DE10106836A1 - Integrierte Schaltungsanordnung aus einem flächigen Substrat - Google Patents
Integrierte Schaltungsanordnung aus einem flächigen SubstratInfo
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Abstract
Es ist eine integrierte Schaltung vorgesehen, deren Substrat zum einen eine integrierte Schaltung aufweist, die über mehrere Schichten ausgebildet ist, wobei zumindest eine Oberfläche des Substrats in einer Ausbreitungsrichtung nicht planar gestaltet ist.
Description
Die Erfindung betrifft eine integrierte Schaltungsanordnung
aus einem flächigen Substrat gemäß Patentanspruch 1.
Die Entwicklungskosten von integrierten Schaltungen, die sich
auf einem Halbleiterchip befinden, sind heutzutage so hoch,
daß es für den Wettbewerber zunehmend interessant wird diese
zu analysieren, um sie nachzubauen. Außerdem beruhen einige
der heutigen Angriffe auf Halbleiterchips, die deren Sicher
heit gefährden können, auf der detaillierten Kenntnis des in
ternen Aufbaus dieser Bausteine. Daher wird auch aus Sicher
heitsgründen versucht zu verhindern, daß ein Angreifer De
tails über den Aufbau eines solchen Halbleiterchips erfährt.
Weiterhin sind inzwischen Anwendungen üblich, bei denen die
integrierten Schaltungen fest abgespeicherte Daten aufweisen.
Um derartige Bausteine vor der Analyse zu schützen, sind bis
her eine Vielzahl von Verfahren bekannt. Beispielsweise ist
es bekannt, die Oberfläche integrierter Schaltungen so abzu
decken, daß sie auf optischem Wege nicht ohne weiteres analy
sierbar sind. In der EP 0981162 A1 ist ein solcher Schutz
beschrieben.
Solche Schutzmaßnahmen lassen sich jedoch dadurch umgehen,
daß die Abdeckung durch vorsichtiges Abschleifen freigelegt
wird, selbst wenn der Oberflächenschutz ätzfest ist. Durch
schichtweises Abtragen und Fotografieren der jeweils freige
legten Schicht läßt sich bei derartigen Anordnungen der Auf
bau der integrierten Schaltung nachträglich analysieren.
Der Erfindung liegt somit die Aufgabe zugrunde, eine inte
grierte Schaltungsanordnung vorzusehen, die mit geringem Auf
wand eine hohe Analysiersicherheit bietet.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß mit den im Patentanspruch
1 angegebenen Maßnahmen gelöst. Dadurch, daß das Substrat zu
mindest in einer Ausbreitungsrichtung nicht planar ist, läßt
es sich mit vertretbarem Aufwand nicht mittels Schleifverfah
ren derart bearbeiten, daß die Oberfläche schichtweise voll
ständig analysierbar abgetragen werden kann.
Weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in
den untergeordneten Ansprüche angegeben. Durch die nicht vor
handene Planarität in einer zweiten Richtung, wird die zuvor
angegebene Sicherheit erhöht. Durch das Auftragen eines Mate
rials, zum Beispiel eines Klebstoffs oder einer aushärtbaren
Keramik, welches eine hohe mechanische Spannung erzeugt, er
folgt die Verformung des Substrates.
Durch das Auftragen des Substrats auf einen Träger, dessen
Oberfläche nicht eben ist, läßt sich die Oberfläche des Sub
strates leicht verformen.
Die gewünschte Verformung kann auch durch mechanische Span
nungen erzeugt werden, die in dem Substrat selbst entstehen,
beispielsweise durch Veränderung des chemischen oder physika
lischen Gefüges des Substrats. Hierfür sind beispielsweise
Implantationsverfahren, Diffusionsverfahren oder thermische
Verfahren nutzbar. Löt- und Verbindungsverfahren, etwa zwi
schen mehreren Substraten, die übereinander angeordnet sind,
können ebenfalls bei geeigneter Technologie dazu verwendet
werden, gezielt mechanische Spannungen im Substrat zu erzeu
gen.
Ein verformtes Substrat behält in der Regel nach einiger Zeit
seine verformte Gestalt bei. Um zu verhindern, daß durch Aus
üben eines Druckes das Substrat wieder in eine ebene, planare
Form gebracht wird, können auch zumindest auf einer Oberflä
che Teilbereiche entfernt sein.
Durch das Vorsehen von Erhöhungen auf dem Träger läßt sich
mit einfachen Mitteln eine sehr aufwendige nicht planare
Oberflächenform der integrierten Schaltungsanordnung erzie
len.
Nachfolgend wird die Erfindung unter Bezugnahme auf die
Zeichnung erläutert.
Es zeigen:
Fig. 1 den grundsätzlichen Aufbau einer integrierten Schal
tungsanordnung auf einem Halbleiter-Chip,
Fig. 2 ein erstes Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemä
ßen integrierten Schaltungsanordnung auf einem Halbleiter-
Chip,
Fig. 3 die Oberfläche bei einer Abwandlung des ersten Aus
führungsbeispiels,
Fig. 4 ein zweites erfindungsgemäßes Ausführungsbeispiel,
Fig. 5 eine Abwandlung des zweites Ausführungsbeispiels,
Fig. 6 eine zweite Abwandlung des zweiten Ausführungsbei
spiels und
Fig. 7 eine mögliche Oberflächengestaltung.
In Fig. 1 ist der grundsätzliche Aufbau einer integrierten
Schaltungsanordnung dargestellt. Auf einem Substrat 1 sind in
mehreren Schichten, die hier als die Schichten 2 und 3 als
Minimallösung dargestellt sind, eine integrierte Schaltung in
bekannter Weise aufgebaut. Üblich sind derzeit deutlich mehr
als zwei Schichten. Minimal ist die Erfindung erst ab zwei
Schichten sinnvoll anwendbar, da nur dann eine Schicht vor
handen ist, die abgetragen werden kann, um die darunter lie
gende Schicht zu analysieren.
In Fig. 2 ist dargestellt, daß auf der den Schichten 2 und 3
angewandten Seite ein Material 4 aufgebracht ist, das beim
Aushärten zu einer Verspannung des Substrates 1 führt, so daß
sich eine zumindest in einer Richtung gekrümmte Oberfläche
bildet. Hierzu sind handelsübliche Klebstoffe auf Epoxydharz
basis einsetzbar.
Wird diese Oberfläche mit einem Schleifvorgang beispielsweise
auf Höhe der gestrichelten Linie S abgetragen, so ist von der
darunter liegenden Schicht nur ein geringer Ausschnitt zu er
kennen. Soll auch der Rest der Schicht 3 abgetragen werden,
so würde gleichzeitig ein großer Teil der Schicht 2 ebenfalls
mit abgetragen werden.
Neben einer in eine Richtung möglichen Krümmung ist, wie in
Fig. 3 dargestellt, auch eine Krümmung in zwei Richtungen
möglich. Bei heute üblichen Chipdicken von 185 µm lassen sich
somit leicht zu Verformungen von mindestens 1 µm über die ge
samte Chipfläche erreichen. Dabei ist zu beachten, daß gege
benenfalls der Chip stärker gedünnt werden könnte um eine
stärkere Verformung zu erzielen. Ebenfalls ist an eine tor
sionsartige Verformung, wie in Fig. 7 dargestellt zu denken.
Dabei ist beispielsweise, wie mit den dargestellten Pfeilen
angedeutet, ein gegengleiches Verdrehen jeweils gegenüberlie
gender Seiten, möglich.
Um zu verhindern, daß für den Fall, daß es gelingt, das Mate
rial 4 abzutragen, mittels Druck das Substrat 1 wieder in ei
ne ebene Form zu drücken sei, können von der Substratoberflä
che Teile A entfernt werden, wie in Fig. 2 gestrichelt ange
deutet ist. Dies erfolgt entweder durch schräges Abätzen oder
Schleifen von Randbereichen des Substrates wie auf der linken
Seite von Fig. 2 dargestellt ist oder durch Herausätzen oder
Schleifen von einzelnen Teilen A, wie auf der rechten Seite
von Fig. 2 dargestellt ist. Auf diese Weise ist gewährlei
stet, daß es nicht gelingt, oder zumindest sehr aufwendig
ist, das Substrat 1 nach einer Verformung wieder in eine ebe
ne Form zu bringen.
Gemäß Fig. 4 ist die integrierte Schaltungsanordnung so auf
gebaut, daß das Substrat auf einem Träger 5 aufgebracht ist,
wobei der Träger 5 das Substrat formt. Auch hier könnten wie
der Ausnehmungen vorgesehen sein, die im Zusammenhang mit
Fig. 4 nicht dargestellt sind. Gemäß der Ausgestaltung nach
Fig. 5, ist der Träger 5 nicht wie gemäß Fig. 4 nur an ei
ner Oberfläche verformt, sondern ebenfalls insgesamt aus ei
ner ebenen Form in eine gekrümmte oder auch verdrehte Form
gebracht.
In einem weiteren erfindungsgemäßen Ausführungsbeispiel sind
auf der Oberfläche des Trägers 5 Erhebungen 6 ausgebildet,
die beim Zusammenbringen mit dem Substrat 1, das Substrat 1
zusammen mit seinen aufgetragenen Schichten verformt. Dies
kann insbesondere dadurch erfolgen, daß ein ähnliches Materi
al 4, wie im gemäß Fig. 2 dargestellten Ausführungsbeispiel
in die Zwischenräume zwischen den Erhebungen, dem Substrat
und dem Träger eingebracht ist, der mit dem Trocknen zur Ver
spannung des Substrates führt.
Zusammenfassend sei darauf hingewiesen, daß die Grundidee der
Erfindung darin beruht, das eine integrierte Schaltung tra
gende Substrat dauerhaft so zu verformen, daß es nicht ge
lingt mittels eines Schleifverfahrens selektiv die auf dem
Substrat aufgetragenen Schichten schichtweise abzutragen.
Grundsätzlich ist es auch denkbar, einen Halbleiter-Chip mit
einer grundsätzlich von der Planarität abweichenden Oberflä
che direkt zu fertigen. Auf einer derartigen Chipoberfläche
sind die üblichen Verfahrensschritte zu Herstellung inte
grierter Schaltungen mit den heute verfügbaren Technologien
nur sehr schwer einsetzbar, um integrierte Schaltungen mit
der gewünschten Komplexität herzustellen.
1
Substrat
2
erste Schicht
3
zweite Schicht
4
Material (z. B. Klebstoff, Keramik)
5
Träger
6
Erhebungen
A Ausnehmungen
A Ausnehmungen
Claims (8)
1. Integrierte Schaltungsanordnung bestehend aus einem flä
chigen Substrat(1), auf dem zumindest einseitig eine inte
grierte Schaltung in mehreren Schichten (2, 3) ausgebildet
ist,
dadurch gekennzeichnet, daß
zumindest eine Oberfläche des Substrats (1) zumindest in ei
ner Ausbreitungsrichtung nicht planar ist.
2. Integrierter Schaltungsanordnung nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet, daß
die zumindest eine Oberfläche in einer zweiten Richtung nicht
planar ist.
3. Integrierte Schaltungsanordnung nach einem der Ansprüche
1 und 2,
dadurch gekennzeichnet, daß
die Krümmung der Oberfläche durch ein auf dem Substrat aufge
tragenes Material(4) erzeugt ist, der das Substrat verformt.
4. Integrierte Schaltung nach einem der Ansprüche 1 bis 2,
dadurch gekennzeichnet, daß
das Substrat (1) auf einem Träger (5) angeordnet ist, der dem
Substrat die Krümmung verleiht.
5. Integrierte Schaltungsanordnung nach einem der vorherge
henden Ansprüch,
dadurch gekennzeichnet, daß
das Substrat (1) durch eine geeignete Verbindungstechnik mit
mindestens einem zweiten Substrat verbunden wird, wodurch me
chanische Spannungen entstehen, die dem Substrat die Krümmung
verleihen.
6. Integrierte Schaltung nach einem der vorhergehenden An
sprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß
im Substrat (1) durch chemische oder physikalische Änderungen
des Gefüges des Substrates mechanische Spannungen entstehen,
die dem Substrat die Krümmung verleihen.
7. Integrierte Schaltungsanordnung nach einem der vorherge
henden Ansprüche,
dadurch gekennzeichnet, daß
dem Substrat (1) an einer seiner Oberflächen Teilbereiche
entfernt sind, so daß Strukturen entstehen, in die das nach
Anspruch 3 aufgebrachte Material eindringen kann.
8. Integrierte Schaltungsanordnung nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet, daß
der Träger (5) an seiner Oberfläche mindestens eine Erhebung
(6) aufweist.
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