CN221239179U - 一种真空掩膜涂胶装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种真空掩膜涂胶装置，包括滴胶机构，旋转机构，真空机构，掩膜组件；真空机构包含机身、顶盖、第一真空泵，顶盖可拆卸设置于机身顶部，真空泵通过真空管连通至机身内部；滴胶机构包括设置于顶盖上方的存储腔、以及连通存储腔与机身内部的滴胶针头；旋转系机构包括旋转马达；掩模组件包括掩模版以及将产品压紧于旋转马达输出端的掩模版支架。本实用新型相比于常规的涂胶曝光显影工艺可以省去后续的曝光显影等工序，简化了生产工艺，相比于丝网印刷工艺，其精度更高，胶厚更薄。

Description

一种真空掩膜涂胶装置

技术领域

本实用新型涉及涂胶掩膜领域，具体为一种真空掩膜涂胶装置。

背景技术

为了得到一副光刻胶图案，通常有两种方式，半导体光刻工艺及丝网印刷工艺。

常规的半导体光刻工艺为常压涂胶，涂胶后需要用掩膜进行曝光显影，才能得到所需的光刻胶图案，该方法适用用于高精度高密度产品，对于一般精度的图案，其流程复杂，工艺繁琐；丝网印刷工艺将掩膜图案直接做在丝网上，用印刷胶直接印刷在产品表面，该工艺操作简单，流程短，速度快，但是精度低，且涂敷的胶水厚度厚，无法做到um级别的图案精度及胶水厚度

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种真空掩膜涂胶装置，以解决上述技术问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种真空掩膜涂胶装置，其特征在于：包括滴胶机构，旋转机构，真空机构，掩膜组件；

真空机构包含机身、顶盖、第一真空泵，所述顶盖可拆卸设置于机身顶部，所述真空泵通过真空管连通至机身内部；

滴胶机构包括设置于顶盖上方的存储腔、以及连通存储腔与机身内部的滴胶针头；

旋转系机构包括旋转马达；

掩模组件包括掩模版以及将产品压紧于旋转马达输出端的掩模版支架。

优选的，所述旋转马达输出端固定有马达固定支架，所述马达固定支架顶部固定有供产品放置的吸盘，真空机构还包括第二真空泵，第二真空泵通过真空管道与吸盘连通。

优选的，所述真空吸盘顶部设有凹槽纹路，且中心为通孔状用于与真空管道连通。

优选的，真空吸盘的通孔设置于中部，滴胶针头在顶盖固定于机身上时与通孔相对。

优选的，掩模版为设有所需掩膜图案的钢网。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

本实用新型相比于常规的涂胶曝光显影工艺可以省去后续的曝光显影等工序，简化了生产工艺，相比于丝网印刷工艺，其精度更高，胶厚更薄。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实施例整体的结构示意图；

图2是本实施例凸显掩模***与涂胶吸盘的俯视示意图；

图3是本实施例凸显掩膜***的俯视示意图。

附图中，各标号所代表的部件列表如下：

1、存储腔；2、滴液针头；3、压力阀门；4、顶盖；5、机身；6、第一真空泵；7、真空管；8、吸盘；9、马达固定支架；10、旋转马达；11、真空管道；12、第二真空泵；13、掩模版；14、掩模版支架；15、产品。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种真空掩膜涂胶装置，包括滴胶机构，旋转机构，真空机构，掩膜组件；

真空机构包含机身5、顶盖4、第一真空泵6，顶盖4可拆卸设置于机身5顶部，真空泵通过真空管7连通至机身5内部，顶盖4可通过密封结构封闭于机身5顶部，入设置密封环等方式，使机身5内部形成密闭空间，通过第一真空泵6可将机身5内部进行抽真空；

滴胶机构包括设置于顶盖4上方的存储腔1、以及连通存储腔1与机身5内部的滴胶针头，在进行产品15涂胶时，存储腔1一次注入一片所需的量；

旋转系机构包括旋转马达10，用于带动产品15转动而形成离型力，将滴在掩模版13上的光刻胶进行分散；

掩模组件包括掩模版13以及将产品15压紧于旋转马达10输出端的掩模版支架14，支架将掩模版13支撑起一定高度，将产品15放置于旋转马达10上与掩模版13下，在将掩模版13与旋转马达10固定，从而压紧产品15。

具体的，旋转马达10输出端固定有马达固定支架9，马达固定支架9顶部固定有供产品15放置的吸盘8，真空机构还包括第二真空泵12，第二真空泵12通过真空管道11与吸盘8连通，产品15的顶部通过掩模版13压紧，底部通过吸盘8抽真空的方式进行固定，使产品15被固定的更加牢靠，掩模版13周侧与马达固定支架9顶部端面均有螺孔，在掩模版13放置于产品15上之后，可通过螺栓将掩模版13锁紧于吸盘8上，从而固定产品15。

具体的，真空吸盘8顶部设有凹槽纹路，且中心为通孔状用于与真空管道11连通，通过此方式可先将产品15固定于吸盘8顶部，再通过掩模版13压紧固定。

具体的，真空吸盘8的通孔设置于中部，滴胶针头在顶盖4固定于机身5上时与通孔相对，通过此方式可以使光刻胶滴在产品15中间位置，便于定位，且在产品15通过旋转马达10转动后使光刻胶达到更好的分散效果。

具体的，掩模版为设有所需掩膜图案的钢网。

本实施例的一个具体应用实施例为：

本装置在使用时，将所需涂敷的光刻胶注入胶水存储腔1，一次注入一片所需的量，打开顶盖4，将涂胶吸盘8卡在旋转马达10上，放置待涂胶样品于吸盘8顶部，开启第二真空泵12，此时，涂胶样品被吸附在涂胶吸盘8上，放置掩模版13到掩模版支架14上，组成掩膜组件，将掩膜组件放在涂胶样品上方，掩模组件和涂胶吸盘8上各由四个对应的螺丝孔，用螺丝将掩组件锁在涂胶吸盘8上，此时涂胶样品被夹在中间，关闭顶盖4，开启第二真空泵12，待真空腔内达到指定的真空度时，胶水存储腔1内的压力阀门3打开，光刻胶从滴胶针头滴入掩模版13和涂胶样品表面，胶水存储腔1内的胶水注完后，开启旋转马达10，旋转马达10高速运转，将光刻胶均匀甩开，待电机停止后，破开真空，旋开掩膜***的螺丝，将掩膜***取下，关闭第二真空泵12，即可取下已完成涂胶的样品完成带图案的涂胶操作。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“同轴”、“底部”、“一端”、“顶部”、“中部”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶部”、“内”、“前部”、“中央”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种真空掩膜涂胶装置，其特征在于：包括滴胶机构，旋转机构，真空机构，掩膜组件；

真空机构包含机身（5）、顶盖（4）、第一真空泵（6），所述顶盖（4）可拆卸设置于机身（5）顶部，所述真空泵通过真空管（7）连通至机身（5）内部；

滴胶机构包括设置于顶盖（4）上方的存储腔（1）、以及连通存储腔（1）与机身（5）内部的滴胶针头；

旋转系机构包括旋转马达（10）；

掩模组件包括掩模版（13）以及将产品（15）压紧于旋转马达（10）输出端的掩模版支架（14）。

2.根据权利要求1所述的一种真空掩膜涂胶装置，其特征在于：所述旋转马达（10）输出端固定有马达固定支架（9），所述马达固定支架（9）顶部固定有供产品（15）放置的吸盘（8），真空机构还包括第二真空泵（12），第二真空泵（12）通过真空管道（11）与吸盘（8）连通。

3.根据权利要求2所述的一种真空掩膜涂胶装置，其特征在于：所述真空吸盘（8）顶部设有凹槽纹路，且中心为通孔状用于与真空管道（11）连通。

4.根据权利要求3所述的一种真空掩膜涂胶装置，其特征在于：真空吸盘（8）的通孔设置于中部，滴胶针头在顶盖（4）固定于机身（5）上时与通孔相对。

5.根据权利要求1所述的一种真空掩膜涂胶装置，其特征在于：掩模版（13）为设有所需掩膜图案的钢网。