CN209822598U - 一种Coater机台作业腔体真空环境形成装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种Coater机台作业腔体真空环境形成装置。所述Coater机台作业腔体真空环境形成装置包括：腔体和抽风泵；抽风管，所述抽风管的一端连通于所述抽风泵的抽风口，所述抽风管的另一端贯穿所述腔体并延伸至所述腔体的内部；密封结构，所述密封结构设置于所述腔体的顶部的一侧，所述密封结构包括Z型板，所述Z型板的底部通过支撑块转动连接于所述腔体的顶部的一侧。本实用新型提供的Coater机台作业腔体真空环境形成装置，在其作业腔体增加密封结构，当Z型板完成封闭时，腔体由抽风泵进行抽风，使腔体的内部达到一定的低压，从而保证腔体的压力在一定的真空下进行作业，颗粒大大的减少，而且异常毛病也大大的减少，一定上提高了产品产量。

Description

一种Coater机台作业腔体真空环境形成装置

技术领域

本实用新型涉及驱动芯片金凸块封装领域，尤其涉及一种Coater机台作业腔体真空环境形成装置。

背景技术

匀胶机是在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上的设备，膜的厚度取决于匀胶机的转速和溶胶的黏度，匀胶机有一个或多个滴胶***，可涂不同品种的光刻胶。滴胶的方式有晶片静止或旋转滴胶。随着晶片尺寸的增大，出现了多点滴胶或胶口移动式滴胶。

在现实生活当中，在进行coating或Dev时，在其作业腔体内部不处于真空腔体，以至于腔体内部的低压较差，以至于进行作业时颗粒异常附着，而且异常毛病频繁，降低了产品产量。

因此，有必要提供一种Coater机台作业腔体真空环境形成装置解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型提供一种Coater机台作业腔体真空环境形成装置，解决了，颗粒异常附着，而且异常毛病频繁，降低了产品产量的问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供的Coater机台作业腔体真空环境形成装置包括：腔体和抽风泵；抽风管，所述抽风管的一端连通于所述抽风泵的抽风口，所述抽风管的另一端贯穿所述腔体并延伸至所述腔体的内部；密封结构，所述密封结构设置于所述腔体的顶部的一侧，所述密封结构包括Z型板，所述Z型板的底部通过支撑块转动连接于所述腔体的顶部的一侧；限位杆，所述限位杆的一端固定于所述Z型板的一侧；弹性密封垫，所述弹性密封垫的顶部固定于所述Z型板的底部；传动结构，所述传动结构设置于所述腔体的一侧，所述传动结构包括控制箱，所述控制箱的一侧固定于所述腔体的一侧；活动框，所述活动框的两侧分别滑动连接于所述控制箱的内壁的两侧；电机，所述电机的一侧固定于所述活动框的一侧，所述电机的输出轴的外表面固定连接有齿轮；直齿板，所述直齿板的一侧滑动连接于所述活动框的内壁的另一侧，所述直齿板的另一侧与所述齿轮的外表面啮合；固定杆，所述固定杆的一侧固定于所述活动框的一侧，所述固定杆的另一端贯穿所述控制箱并延伸至所述控制箱的外部；传动杆，所述传动杆的一侧的底部固定于所述固定杆延伸至所述控制箱的外部的一端；夹紧结构，所述夹紧结构设置于所述腔体的顶部的另一侧，所述夹紧结构包括U型块，所述U型块的底部固定于所述腔体的顶部的另一侧，所述U型块的正面和背面均转动连接有螺纹套筒，两个所述螺纹套筒的内部均螺纹连接有丝杆。

优选的，所述抽风管的内部固定安装有第一单向阀。

优选的，所述腔体的内壁的另一侧的底部连通有泄气管，所述泄气管的内部固定安装有第二单向阀。

优选的，所述直齿板的顶部和底部均贯穿所述活动框并延伸至所述活动框的顶部和底部，所述直齿板延伸至所述活动框的顶部和底部分别固定于所述控制箱的内壁的顶部和底部。

优选的，所述传动杆的顶端活动连接有滑动块，所述滑动块的顶部滑动连接于所述Z型板的底部的一侧。

优选的，两个所述丝杆相对的一端均贯穿所述U型块并延伸至所述U型块的内部，两个所述丝杆延伸至所述U型块的内部的一端均转动连接有夹紧板，两个所述夹紧板相对的一侧均固定连接有弧形夹紧块。

优选的，两个所述螺纹套筒的外表面均固定连接有操作把手。

与相关技术相比较，本实用新型提供的Coater机台作业腔体真空环境形成装置具有如下有益效果：

本实用新型提供一种Coater机台作业腔体真空环境形成装置，通过电机的启动，可以带动齿轮进行旋转，齿轮旋转时，通过与直齿板之间的啮合，使得齿轮再旋转的过程中上下运动，而齿轮上下的运动，可以带动活动框上下运动，通过活动框向上的运动，可以带动固定杆向上运动，通过固定杆向上的运动，可以带动传动杆向上运动，而传动杆向上运动时，就可以带动滑动块向上运动，并且缓慢向左运动，通过滑动块向上和向左的运动，可以带动Z型板以连接位置为中心点扇形旋转，而通过Z型板扇形的旋转，可以带动弹性密封垫和限位杆扇形运动，这时弹性密封垫就可以将腔体顶部的开口进行密封，并且限位杆的运动，就会运动到U型块的内部，手动转动两个螺纹套筒，通过两个螺纹套筒的旋转，可以带动两个丝杆相对方向或者相离方向运动，通过两个丝杆相对方向运动，这时就可以对带动两个夹紧板和两个弧形夹紧块相对方向运动，这时就可以对限位杆进行夹紧，从而保证了腔体密封的稳定性，通过抽风泵的启动，可以通过抽风管向腔体的内部抽取气体，使得腔体的内部形成真空，在进行coating或Dev时，在其作业腔体增加密封结构，当Z型板完成封闭时，腔体由抽风泵进行抽风，使腔体的内部达到一定的低压，从而保证腔体的压力在一定的真空下进行作业，颗粒大大的减少，而且异常毛病也大大的减少，一定上提高了产品产量。

附图说明

图1为本实用新型提供的Coater机台作业腔体真空环境形成装置的一种较佳实施例的结构示意图；

图2为图1所示的密封结构打开状态的结构示意图；

图3为图1所示的A部放大示意图；

图4为图1所示的U型块的结构俯视图。

图中标号：1、腔体，2、抽风泵，3、抽风管，4、密封结构，41、Z型板，42、限位杆，43、弹性密封垫，5、传动结构，51、控制箱，52、活动框，53、电机，54、齿轮，55、直齿板，56、固定杆，57、传动杆，58、滑动块，6、夹紧结构，61、U型块，62、螺纹套筒，63、丝杆，64、夹紧板，65、弧形夹紧块，66、操作把手，7、第一单向阀，8、泄气管，9、第二单向阀。

具体实施方式

下面结合附图和实施方式对本实用新型作进一步说明。

请结合参阅图1、图2、图3和图4，其中，图1为本实用新型提供的Coater机台作业腔体真空环境形成装置的一种较佳实施例的结构示意图；图2为图1所示的密封结构打开状态的结构示意图；图3为图1所示的A部放大示意图；图4为图1所示的U型块的结构俯视图。Coater机台作业腔体真空环境形成装置包括：腔体1和抽风泵2；抽风管3，所述抽风管3的一端连通于所述抽风泵2的抽风口，所述抽风管3的另一端贯穿所述腔体1并延伸至所述腔体1的内部；密封结构4，所述密封结构4设置于所述腔体1的顶部的一侧，所述密封结构4包括Z型板41，所述Z型板41的底部通过支撑块转动连接于所述腔体1的顶部的一侧；限位杆42，所述限位杆42的一端固定于所述Z型板41的一侧；弹性密封垫43，所述弹性密封垫43的顶部固定于所述Z型板41的底部；传动结构5，所述传动结构5设置于所述腔体1的一侧，所述传动结构5包括控制箱51，所述控制箱51的一侧固定于所述腔体1的一侧；活动框52，所述活动框52的两侧分别滑动连接于所述控制箱51的内壁的两侧；电机53，所述电机53的一侧固定于所述活动框52的一侧，所述电机53的输出轴的外表面固定连接有齿轮54；直齿板55，所述直齿板55的一侧滑动连接于所述活动框52的内壁的另一侧，所述直齿板55的另一侧与所述齿轮54的外表面啮合；固定杆56，所述固定杆56的一侧固定于所述活动框52的一侧，所述固定杆56的另一端贯穿所述控制箱51并延伸至所述控制箱51的外部；传动杆57，所述传动杆57的一侧的底部固定于所述固定杆56延伸至所述控制箱51的外部的一端；夹紧结构6，所述夹紧结构6设置于所述腔体1的顶部的另一侧，所述夹紧结构6包括U型块61，所述U型块61的底部固定于所述腔体1的顶部的另一侧，所述U型块61的正面和背面均转动连接有螺纹套筒62，两个所述螺纹套筒62的内部均螺纹连接有丝杆63，弹性密封垫43的设置，主要是保证腔体1的密封性，在这里电机53为正反转电机，且与外界电源和控制开关连接，控制箱51的一侧开设于固定杆56配合滑动的滑槽，在这里腔体1的内部可以形成真空。

所述抽风管3的内部固定安装有第一单向阀7，第一单向阀7的设置，主要是保证抽风管3只能向腔体1的内部抽气。

所述腔体1的内壁的另一侧的底部连通有泄气管8，所述泄气管8的内部固定安装有第二单向阀9，泄气阀的设置，主要是便于腔体1内部气体的排放。

所述直齿板55的顶部和底部均贯穿所述活动框52并延伸至所述活动框52的顶部和底部，所述直齿板55延伸至所述活动框52的顶部和底部分别固定于所述控制箱51的内壁的顶部和底部。

所述传动杆57的顶端活动连接有滑动块58，所述滑动块58的顶部滑动连接于所述Z型板41的底部的一侧，主要是当传动杆57上下的运动，可以通过滑动块58带动Z型板41以连接点为中心点扇形运动。

两个所述丝杆63相对的一端均贯穿所述U型块61并延伸至所述U型块61的内部，两个所述丝杆63延伸至所述U型块61的内部的一端均转动连接有夹紧板64，两个所述夹紧板64相对的一侧均固定连接有弧形夹紧块65，在这里弧形夹紧块65与限位杆42相适配，主要是通过两个弧形夹紧块65相对方向的运动，可以对限位杆42进行夹紧，保证腔体1密封的稳定性，弧形夹紧块65的底部与U型块61内壁的底部滑动连接。

两个所述螺纹套筒62的外表面均固定连接有操作把手66，操作把手66的设置，主要是便于操作人员的操作。

本实用新型提供的Coater机台作业腔体真空环境形成装置的工作原理如下：

S1，通过电机53的启动，可以带动齿轮54进行旋转，齿轮54旋转时，通过与直齿板55之间的啮合，使得齿轮54再旋转的过程中上下运动，而齿轮54上下的运动，可以带动活动框52上下运动，通过活动框52向上的运动，可以带动固定杆56向上运动；

S2，通过固定杆56向上的运动，可以带动传动杆57向上运动，而传动杆57向上运动时，就可以带动滑动块58向上运动，并且缓慢向左运动，通过滑动块58向上和向左的运动，可以带动Z型板41以连接位置为中心点扇形旋转，而通过Z型板41扇形的旋转，可以带动弹性密封垫43和限位杆42扇形运动，这时弹性密封垫43就可以将腔体1顶部的开口进行密封，并且限位杆42的运动，就会运动到U型块61的内部；

S3，手动转动两个螺纹套筒62，通过两个螺纹套筒62的旋转，可以带动两个丝杆63相对方向或者相离方向运动，通过两个丝杆63相对方向运动，这时就可以对带动两个夹紧板64和两个弧形夹紧块65相对方向运动，这时就可以对限位杆42进行夹紧，从而保证了腔体1密封的稳定性；

S4，通过抽风泵2的启动，可以通过抽风管3向腔体1的内部抽取气体，使得腔体1的内部形成真空。

与相关技术相比较，本实用新型提供的Coater机台作业腔体真空环境形成装置具有如下有益效果：

通过电机53的启动，可以带动齿轮54进行旋转，齿轮54旋转时，通过与直齿板55之间的啮合，使得齿轮54再旋转的过程中上下运动，而齿轮54上下的运动，可以带动活动框52上下运动，通过活动框52向上的运动，可以带动固定杆56向上运动，通过固定杆56向上的运动，可以带动传动杆57向上运动，而传动杆57向上运动时，就可以带动滑动块58向上运动，并且缓慢向左运动，通过滑动块58向上和向左的运动，可以带动Z型板41以连接位置为中心点扇形旋转，而通过Z型板41扇形的旋转，可以带动弹性密封垫43和限位杆42扇形运动，这时弹性密封垫43就可以将腔体1顶部的开口进行密封，并且限位杆42的运动，就会运动到U型块61的内部，手动转动两个螺纹套筒62，通过两个螺纹套筒62的旋转，可以带动两个丝杆63相对方向或者相离方向运动，通过两个丝杆63相对方向运动，这时就可以对带动两个夹紧板64和两个弧形夹紧块65相对方向运动，这时就可以对限位杆42进行夹紧，从而保证了腔体1密封的稳定性，通过抽风泵2的启动，可以通过抽风管3向腔体1的内部抽取气体，使得腔体1的内部形成真空，在进行coating或Dev时，在其作业腔体1增加密封结构，当Z型板完成封闭时，腔体1由抽风泵进行抽风，使腔体1的内部达到一定的低压，从而保证腔体1的压力在一定的真空下进行作业，颗粒大大的减少，而且异常毛病也大大的减少，一定上提高了产品产量。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (7)

1.一种Coater机台作业腔体真空环境形成装置，其特征在于，包括：

腔体和抽风泵；

抽风管，所述抽风管的一端连通于所述抽风泵的抽风口，所述抽风管的另一端贯穿所述腔体并延伸至所述腔体的内部；

密封结构，所述密封结构设置于所述腔体的顶部的一侧，所述密封结构包括Z型板，所述Z型板的底部通过支撑块转动连接于所述腔体的顶部的一侧；

限位杆，所述限位杆的一端固定于所述Z型板的一侧；

弹性密封垫，所述弹性密封垫的顶部固定于所述Z型板的底部；

传动结构，所述传动结构设置于所述腔体的一侧，所述传动结构包括控制箱，所述控制箱的一侧固定于所述腔体的一侧；

活动框，所述活动框的两侧分别滑动连接于所述控制箱的内壁的两侧；

电机，所述电机的一侧固定于所述活动框的一侧，所述电机的输出轴的外表面固定连接有齿轮；

直齿板，所述直齿板的一侧滑动连接于所述活动框的内壁的另一侧，所述直齿板的另一侧与所述齿轮的外表面啮合；

固定杆，所述固定杆的一侧固定于所述活动框的一侧，所述固定杆的另一端贯穿所述控制箱并延伸至所述控制箱的外部；

传动杆，所述传动杆的一侧的底部固定于所述固定杆延伸至所述控制箱的外部的一端；

夹紧结构，所述夹紧结构设置于所述腔体的顶部的另一侧，所述夹紧结构包括U型块，所述U型块的底部固定于所述腔体的顶部的另一侧，所述U型块的正面和背面均转动连接有螺纹套筒，两个所述螺纹套筒的内部均螺纹连接有丝杆。

2.根据权利要求1所述的Coater机台作业腔体真空环境形成装置，其特征在于，所述抽风管的内部固定安装有第一单向阀。

3.根据权利要求1所述的Coater机台作业腔体真空环境形成装置，其特征在于，所述腔体的内壁的另一侧的底部连通有泄气管，所述泄气管的内部固定安装有第二单向阀。

4.根据权利要求1所述的Coater机台作业腔体真空环境形成装置，其特征在于，所述直齿板的顶部和底部均贯穿所述活动框并延伸至所述活动框的顶部和底部，所述直齿板延伸至所述活动框的顶部和底部分别固定于所述控制箱的内壁的顶部和底部。

5.根据权利要求1所述的Coater机台作业腔体真空环境形成装置，其特征在于，所述传动杆的顶端活动连接有滑动块，所述滑动块的顶部滑动连接于所述Z型板的底部的一侧。

6.根据权利要求1所述的Coater机台作业腔体真空环境形成装置，其特征在于，两个所述丝杆相对的一端均贯穿所述U型块并延伸至所述U型块的内部，两个所述丝杆延伸至所述U型块的内部的一端均转动连接有夹紧板，两个所述夹紧板相对的一侧均固定连接有弧形夹紧块。

7.根据权利要求1所述的Coater机台作业腔体真空环境形成装置，其特征在于，两个所述螺纹套筒的外表面均固定连接有操作把手。