KR20010098697A - 기판접합장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 접합해야 할 기판끼리를 각각 상하에 유지하여 대향시켜 위치결정을 행함과 동시에 간격을 좁혀 적어도 어느 하나의 기판에 설치한 접착제에 의해 진공중에서 양 기판을 접합하는 기판접합장치로서, 진공챔버내에 상면 또는 하면에 양 기판의 한쪽을 착탈 자유롭게 고정시키는 제 1 테이블과, 하면 또는 상면에 양 기판의 다른쪽을 착탈 자유롭게 고정시키는 제 2 테이블을 각각의 기판을 고정시키는 상면 및 하면이 대향하도록 구비하고, 양 테이블의 한쪽은 탄성체를 거쳐 진공챔버와 기밀하게 이동 가능하게 결합되어 있고, 또한 상기 한쪽의 테이블은 탄성체로 구획된 진공챔버의 대기측에 진공챔버에 대하여 적어도 수평방향으로 이동하는 구동수단을 구비함과 동시에, 다른쪽의 테이블은 적어도 기판끼리의 대향한 간격을 좁히는 구동수단을 구비하고 있다.

Description

기판접합장치{SUBSTRATE BONDING APPARATUS}

본 발명은 기판접합장치에 관한 것으로, 특히 진공챔버내에서 접합하는 기판끼리를 각각 유지하여 대향시키고 간격을 좁혀 접합하는 액정표시패널 등의 조립에 적합한 기판접합장치에 관한 것이다.

액정표시패널의 제조에는 투명전극이나 박막트렌지스터어레이를 설치한 2매의 유리기판을 수 ㎛ 정도의 매우 접근한 간격을 가지고 기판의 둘레 가장자리부에 설치한 접착제(이하, 밀봉제라고도 함)로 접합하고(이후, 접합 후의 기판을 셀이라 함), 그것에 의해 형성되는 공간에 액정을 밀봉하는 공정이 있다.

이 액정의 밀봉에는 주입구를 설치하지 않도록 밀봉제를 폐쇄한 패턴으로 묘획한 한쪽의 기판상에 액정을 적하(滴下)하여 두고, 진공챔버내에 있어서 다른쪽의 기판을 한쪽의 기판상에 배치하고, 상하의 기판을 접근시켜 접합하는 일본국 특개평10-26763호 공보에서 제안된 방법 등이 있다.

상기 종래기술에서는 진공중에서의 기판의 유지를 하측 기판은 평탄한 스테이지에 얹어 두고 있으나, 위쪽의 기판은 그 둘레 가장자리의 적당한 부분을 핀형상의 부재 등으로 지지하도록 하고 있다. 그 다음에 상하의 양 기판은 상호의 위치결정을 하고 난 후 간격을 좁혀 접합을 행하나, 위치결정 시, 상측 기판의 중앙부가 중력에 의해 아래쪽으로 휘어져 상하 양 기판의 정확한 위치결정을 하는 것이 곤란하고, 휨량은 대형기판이 되면 될 수도록 증대하여 표시패널은 대형와의 경향에 있어 상기 종래기술에서는 정확한 기판접합이 점점 곤란하게 되어 왔다.

또한 상하의 기판을 진공챔버의 속으로 직접 반송하고, 반송후에 챔버내를 대기압으로부터 진공으로 배기하기 위한 배기에 시간이 걸려 생산성을 높게 할 수없다는 문제도 있다.

그러므로 본 발명의 목적은 진공중에서의 기판의 접합을 높은 정밀도로 행할 수 있는 기판접합장치를 제공하는 데에 있다.

또한 본 발명의 다른 목적은 기판이 대형화하여도 접합을 높은 정밀도로 또한 고속으로 행할 수 있어 생산성이 높은 기판접합장치를 제공하는 데에 있다.

상기 목적을 달성하는 본 발명의 특징으로 하는 것은, 접합해야 할 기판끼리를 각각 상하에 유지하여 대향시켜 위치결정을 행함과 동시에 간격을 좁혀 적어도 어느 하나의 기판에 설치한 접착제에 의해 진공중에서 양 기판을 접합하는 기판접합장치에 있어서, 진공챔버내에 상면 또는 하면에 양 기판의 어느 한쪽을 착탈 자유롭게 고정시키는 제 1 테이블과 하면 또는 상면에 양 기판의 다른쪽을 착탈 자유롭게 고정시키는 제 2 테이블을 각각의 기판을 고정시키는 상면 및 하면이 대향하도록 구비하여 양 테이블의 한쪽은 탄성체를 거쳐 진공챔버와 기밀하게 이동 가능하게 결합되어 있고, 또한 상기 한쪽의 테이블은 상기 탄성체로 구획된 진공챔버의 대기측에 진공챔버에 대하여 적어도 수평방향으로 이동하는 구동수단을 구비함과 동시에, 양쪽의 테이블의 어느 하나는 적어도 기판끼리 대향한 간격을 좁히는 구동수단을 구비하고 있는 데 있다.

또 본 발명의 특징으로 하는 바는, 한쪽 테이블의 구동수단은 한쪽 테이블을 진공챔버에 대하여 리니어가이드를 거쳐 이동시킴과 동시에 진공챔버와 리니어가이드의 사이에 탄성체와 이 탄성체로 구획된 대기측에 진공시일과 베어링을 설치하고 있는 데에 있다. 그리고 탄성체는 벨로즈나 복수의 둥근고리접시형상다이어프램의 바깥 둘레 끝끼리 및 안 둘레 끝끼리를 교대로 기밀하게 결합한 것 등의 주름상자형상이 것이다.

본 발명의 다른 특징으로 하는 바는, 한쪽의 테이블이 진공챔버내의 하측 테이블인 데에 있다.

또한 본 발명의 다른 특징으로 하는 바는, 다른쪽의 테이블은 기판끼리의 간격을 좁히는 수직방향의 구동수단을 구비하고, 한쪽 테이블의 구동수단은 수평방향의 구동만을 분담하는 데에 있다.

본 발명의 또 다른 특징으로 하는 바는, 진공챔버의 전후에 진공예비실과 대기개방실을 구비하고, 각 실은 게이트밸브로 칸막이되어 있어 그들 게이트밸브의 개방으로 실(챔버) 상호간 또는 대기중과 연통하여 기판의 반송을 하도록 되어 있는 데에 있다.

또 본 발명의 또 다른 특징으로 하는 바는, 진공챔버밖의 대기측에 위치하여한쪽의 테이블을 진공챔버에 대하여 적어도 수평방향으로 이동시키는 구동수단은 진공챔버에 서로 떨어져 설치한 복수의 개구부를 개별로 관통한 복수의 샤프트로 한쪽의 테이블과 연결되어 있고, 진공챔버의 각 개구부에는 진공챔버와 각 샤프트를 기밀하게 유지하는 탄성체를 구비하고 있는 데에 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시형태가 되는 기판접합장치의 구성을 나타내는 도,

도 2는 도 1의 기판접합장치에 있어서의 예비진공실의 내부구조를 나타낸 단면도,

도 3은 도 1의 기판접합장치에 있어서의 진공접합실의 내부구조를 나타낸 단면도,

도 4는 도 1의 기판접합장치에 있어서의 대기개방실의 내부구조를 나타낸 단면도,

도 5는 도 2에 나타낸 예비진공실에 있어서의 기판접합공정을 설명하는 도,

도 6은 도 3에 나타낸 진공접합실에 있어서의 기판접합공정을 설명하는 도,

도 7은 도 3에 나타낸 진공접합실에 있어서의 기판접합공정을 설명하는 도,

도 8은 본 발명의 다른 실시형태가 되는 기판접합장치의 구성을 나타내는 도,

도 9는 도 8에 나타낸 기판접합장치에 있어서 로봇핸드에 의해 아래쪽 기판을 진공챔버내로 삽입하는 상황을 나타내는 도,

도 10은 도 8에 나타낸 기판접합장치에 있어서 아래쪽 기판을 하테이블로 이동하는 상황을 나타내는 도,

도 11은 도 8에 나타낸 기판접합장치에 있어서 상하 양 기판의 위치맞춤과 접합상황을 나타내는 도,

도 12는 도 8에 나타낸 기판접합장치에서 상하 양 기판의 위치맞춤을 행하는 경우의 자기시일이나 샤프트의 움직임의 상황을 나타내는 도면이다.

이하, 본 발명의 일 실시형태를 도면에 의거하여 설명한다.

도 1에 있어서, 1은 본 발명이 되는 기판접합장치로서, 예비진공실(R1), 진공접합실(진공챔버)(R2), 대기개방실(R3)을 구비하고 있다. 2 내지 5는 각 실 (R1 내지 R3)의 출입구에 설치한 게이트밸브이다. 또한 구조설명에 있어서 예비진공실 (R1), 진공접합실(R2) 및 대기개방실(R3)이라 부르는 경우, 각 실을 구성하는 하우징을 가르키고 있다. 또 이 실시형태에서는 진공챔버가 복수개 있음으로 기판의 접합을 행하는 진공챔버는 진공접합실이라 부른다.

각 실(R1 내지 R3)의 내부에는 도면의 왼쪽으로부터 오른쪽을 향하여 접합하여할 기판을 반송하여 가는 반송로가 동일 수평위치에 있고, 구체적 구성을 도 2 이후에서 설명한다.

뒤에서 설명하는 바와 같이 예비진공실(R1)및 대기개방실(R3)을 제외한 진공접합실(R2)은 협의의 기판접합장치이다.

도 2는 예비진공실(R1)의 내부구조를 나타내고 있다.

11은 예비진공실(R1)의 내부에 설치한 복수의 반송롤러로서 정역회전함으로써 뒤에서 설명하는 접합하여야 할 기판을 얹어 놓는 반송지그를 도면에 있어서 좌우양 방향으로 반송한다.

외기와 예비진공실(R1) 내부는 게이트밸브(2)의 폐쇄에 의해 진공차단할 수 있도록 되어 있다. 6은 예비진공실(R1)의 가대(架臺)에 설치한 게이트밸브로서, 그 개방으로 진공펌프(12)에 의해 예비진공실(R1)내를 진공배기하도록 되어 있다. 7은 대기개방밸브로서, 그 개방에 의해 예비진공실(R1)내를 대기 또는 가스로 퍼지하여 대기압으로 되돌릴 수 있게 되어 있다.

예비진공실(R1)과 진공접합실(R2) 사이에는 게이트밸브(3)가 있고, 각 실내의 압력을 독립적으로 변경할 수 있게 되어 있다.

도 3은 진공접합실(R2)의 내부구조를 나타내고 있다.

이 도면에서는 생략하고 있으나, 진공접합실(R2)의 하부에도 예비진공실의 게이트밸브(6)와 동일한 밸브가 있어, 도시를 생략한 진공펌프에 의해 실내를 진공배기할 수 있도록 되어 있다.

21은 하 테이블이고 그 지지구조는 뒤에서 설명한다. 22는 하 테이블(21)을 도면에 있어서 앞과 뒤에 끼우도록 진공접합실(R2)의 내부에 설치한 복수의 반송롤러로서 정역회전함으로써 뒤에서 설명하는 접합해야 할 기판을 얹어 놓는 반송지그를 도면에 있어서 좌우 양 방향으로 반송한다.

하 테이블(21)은 그 대좌부(臺座部)(21a)가 진공접합실(R2)의 하부에 있어서의 개구부(R2A)를 관통하고, 대좌부(21a)에 있어서 XYθ스테이지(23)로 지지되어 있다. XYθ스테이지(23)는 XY스테이지(23a)와 θ스테이지(23b)로 구성되어 있다. XY스테이지(23a)는 하 테이블(21)을 XY 방향으로 교차한 상하 2단의 크로스리니어가이드에 의해 XY 방향으로 이동 가능하게 지지하고 있다.

즉, 25는 구동모터(26)와 도시를 생략한 구동모터에 의해 구동블록(24)을 진공접합실(R2)에 대하여 도면의 좌우인 X축 방향과 전후인 Y축 방향으로 이동시키는 크로스리니어가이드이고, 27은 구동블록(24)이 Y축 방향으로 이동하여도 구동모터 (26)로 구동블록(24)을 X축 방향으로 밀어 이동하도록 하는 리니어가이드이다.

θ스테이지(23b)는 XY스테이지(23a)의 안쪽에 있고, 회전베어링(28)과 진공 시일(29)을 거쳐 구동모터(30)에 의해 XY스테이지(23a)에 대하여 회전가능하게 되어 있다. 또한 θ스테이지(23b) 위에 기판을 탑재하는 하 테이블(21)이 고정되어 있어 구동모터(30)가 작동하면 하 테이블(21)은 XY스테이지(23a)나 진공접합실(R2)에 대하여 회전베어링(28)과 진공시일(29)을 거쳐 회전한다.

31은 개구(R2A)에 있어서 진공접합실(R2)와 구동블록(24)의 사이에 설치한 벨로즈(탄성체)이고, 구동블록(24)이 크로스리니어가이드에 의해 XY 각 방향으로 이동하여 하 테이블(21)을 이동시켜도 대기에 대하여 진공접합실(R2)내의 기밀을 유지한다. 따라서 대좌(21a)의 회전에 대해서는 진공시일(29)이 진공접합실(R2)내의 기밀을 유지한다.

32는 하 테이블(21)에 조립한 기판승강용 핀이고, 핀의 하단은 진공접합실 (R2)의 아래쪽에 설치한 공기압 실린더(33)의 구동축의 상단부에 접촉충돌하고 있다. 따라서 하 테이블(21)이 전후 좌우의 XY 각 방향으로 이동하여도 핀(32)은 공기압 실린더(33)의 구동축의 상단핀 받이부를 수평으로 슬라이딩할 뿐 이다. 뒤에서 설명하는 반송지그의 구성상의 이유로, 핀(32)은 하 테이블(21)의 왼쪽 끝측 중앙부에 1개, 그리고 오른쪽 반송방향에 대하여 수직인 폭방향의 양측에 각 1개씩, 모두 3개 이다.

35는 진공접합실(R2)의 위쪽 외부에 설치한 프레임으로, 프레임(35)에 회전축이 아래쪽으로 연장된 서보모터(36)를 고정하고 있다. 서보모터(36)의 회전축은 진공접합실(R2)을 관통한 샤프트(37)의 아암(38)에 고정된 너트(39)와 나사결합되어 있다. 40은 상기 샤프트(37)와 진공접합실(R2)의 기밀을 유지하는 가이드이다. 샤프트(37)의 하단에는 가압판(41)을 거쳐 상테이블(42)을 하 테이블(21)과 대향하도록 고정하고 있다. 서보모터(36)의 작동으로 샤프트(37)를 거쳐 상테이블 (42)이 상하 이동한다.

뒤에서 설명하는 바와 같이 각 테이블(21, 42)에 기판을 고정하여 위치맞춤을 행하기 위하여 진공접합실(R2)을 관통하는 개구에 기밀하게 설치한 유리제 관찰창 (43)이 있고, 이 관찰창(43) 위의 프레임(35)에 화상인식카메라(44)를 설치하고 있다. 또한 관찰창(43) 바로 밑의 상테이블(42)의 부분에도 개구가 있어 상테이블 (42)의 하면에 고정된 상기판과 하 테이블(21)의 상면에 고정된 하 기판의 위치맞춤 마크를 판독할 수 있도록 되어 있다.

각 테이블(21, 42)은 정전흡착용 전극을 구비하고, 정전기에 의해 기판을 흡착흡인하도록 구성되어 있다. 따라서 이하의 설명에 있어서 양 테이블(21, 42)을 흡착판이라 부르는 경우도 있다.

하 테이블(21)을 벨로즈(31)로 기밀하게 탄성지지하는 이유로는 진공접합실 (R2)을 진공상태로 하면, 벨로즈(31)의 외경을 수압면으로 하는 대기압이 대좌(21a)를 위쪽으로 밀어 올리는 방향으로 작용한다. 이 경우의 대기압력과 대좌 (21a) 등의 중력의 차분(差分)을 크로스리니어가이드(25) 및 회전베어링(28)으로 받아 벨로즈(31)에 부담이 걸리지 않도록 되어 있다. 이 경우의 대기압력과 대좌(21a) 등의 중력을 대략 동등하게 하면, 기판위치맞춤 시의 하 테이블(흡착판)(21)의 XY 각 방향으로의 이동에 있어서 하 테이블(흡착판)(21)이나 벨로즈(31)에 작용하는 대기압을 의식하지 않아도 되어 기판위치맞춤을 원활하게 행할 수 있다. 또 하 테이블(흡착판)(21)의 구동계는 대기측에 존재하고 있기 때문에 진공접합실(R2)의 크기를 상하기판의 접합에 필요한 각 흡착판(21, 42) 등을 내장할 정도의 좁은 공간으로 한정할 수 있어 내부를 고속으로 진공화할 수 있다.

진공접합실(R2)과 대기개방실(R3) 사이는 게이트밸브(4)에 의해 진공차단할 수 있다.

도 4는 대기개방실(R3)의 내부구조를 나타내고 있다.

51은 정역회전으로 평면흡착판(52) 위에 진공접합실(R2)에서 접합한 셀을 실어 반입하는 반송롤러이다. 평면흡착판(52)에는 기판을 진공흡착하기 위한 흡착구멍이 있고, 대기개방실(R3)의 내부에 승강 가능하게 설치한 진공흡인챔버(53)를 상승시켜 평면흡착판(52)을 얹어 놓아 일체화함으로써 대기개방실(R3)을 대기개방하였을 때에 튜브(54)를 통하여 진공상태로 함으로써 셀을 진공흡인챔버(53)를 거쳐 평면흡착판(52) 위에 진공흡인하도록 구성되어 있다.

8은 대기개방실(R3)의 하부에 설치한 게이트밸브이고, 진공펌프(55)에 접속함과 동시에, 대기개방밸브(9)에 의해 대기개방실(R3)을 대기에 개방할 수 있게 되어 있다.

진공흡인챔버(53)의 하부에는 평면흡착판(52)과 진공흡인챔버(53)를 관통하여 평면흡착판(52)상의 셀을 들어 올리는 승강핀(56)을 설치하고 있다. 57은 승강 핀(56)을 동작시키는 공기압 실린더이다. 승강핀(56)과 공기압 실린더(57)는 좌우전후에 4개 있어 셀을 4 모서리에서 지지한다.

대기개방실(R3)의 출구에는 게이트밸브(5)가 있어 밸브개방으로 대기압으로 가압하여 본접합을 한 셀을 로봇핸드 등으로 반출한다.

다음에 본 장치(1)로 기판을 접합시켜 셀을 제작하는 공정에 대하여 예비진공실(R1)에 기판을 반입한 상태로부터 차례로 설명한다.

도 5에 있어서 14는 기판 가장자리에 있어서의 한쪽의 짧은 변을 제거한 외형이 ㄷ자형으로 서로 접합할 기판(B1, B2)을 내벽의 하단부와 상단부의 살 (bridge)이나 돌기부 등에 상하에 간격을 두고 얹어 놓는 반송지그이다. 아래쪽 기판(하 기판)(B1)은 시일제(15)를 상면의 둘레 가장자리부에 프레임형으로 도포하고, 그 프레임내에 액정(16)을 복수의 개소에 적하한 것이다. 이 기판(B1)상에 반송지그(14)의 내벽에 있어서의 돌기로 기판(B1)의 상면으로부터 일정한 간격을 유지하여 위쪽의 기판(상기판)(B2)을 얹어 놓고 있다.

게이트밸브(3)를 폐쇄한 상태에서 게이트밸브(2)를 개방하여 반송롤러(11)로 반송지그(14)에 설치한 상하 기판(B1, B2)을 예비진공실(R1)로 반입한 후, 게이트밸브(2)를 폐쇄한다. 그 후 게이트밸브(6)를 개방하여 예비진공실(R1)내를 진공펌프(12)로 고속으로 배기한다.

예비진공실(R1)의 진공도가 진공접합실(R2)과 대략 동일한 값에 도달한 시점에서 게이트밸브(3)를 개방하여 예비진공실(R1)의 반송롤러(11)와 진공접합실(R2)의 반송롤러(22)를 정회전시켜 반송지그(14)를 진공접합실(R2)내로 반입한다. 또한 진공접합실(R2)은 미리 도시를 생략한 진공펌프에 의해 진공배기하고 있다.

다음으로 도 6에 의해 진공접합실(R2)내에서 반송지그(14) 위의 기판(B1, B2)을 상하의 흡착판(21, 42)으로 옮겨 싣는 상황을 설명한다.

반송지그(14)가 진공접합실(R2)로 이동한 후, 서보모터(36)를 동작시켜 상흡착판(42)을 샤프트(37)에 의해 가이드(40)로 안내하여 가압판(41)과 함께 하강시켜 상기판(B2)에 접근시킨다. 이 상태에서 상흡착판(42)에 내장하고 있는 정전흡착용 전극에 전압을 인가함으로써 상기판(B2)을 상흡착판(42)의 하면에 정전흡착하여 가압판(41)을 상승시켜 상기판(B2)을 반송지그(14)로부터 들어 올린다. 또한 공기압 실린더(33)로 핀(32)을 상승시킴으로써 하 기판(B1)도 반송지그(14)로부터 들어 올린다. 또한 이 시점에서 양 기판(B1, B2)은 아직 떨어져 있다.

이 상태에서 반송롤러(11, 22)를 모두 역회전시켜 반송지그(14)를 예비진공실(R1)로 되돌리고, 게이트밸브(3)를 폐쇄하고 핀(32)을 하강시켜 하 흡착판(하 테이블)(21)에 내장한 정전흡착용 전극에 전압을 인가하여 하 흡착판(21) 위에 하 기판(B1)을 정전흡착한다.

다음으로 상흡착판(42)을 하 흡착판(21)측으로 하강시켜 상기판(B2)을 하 기판(B1)에 접근시킨다.

이 상태에서 진공접합실(R2)의 상부에 설치한 관찰창(43)을 통하여 화상인식카메라(44)로 각 기판(B1, B2)에 설치되어 있는 위치맞춤마크를 판독하여 화상처리에 의해 위치를 계측하여 XYθ스테이지(23)의 각 스테이지(23a, 23b)를 약간 움직여 고정밀도의 위치결정[기판(B1, B2) 상호의 위치맞춤)을 행한다.

이 미동(微動)에 있어서, XY 방향의 이동에 대해서는 벨로즈(31)가, 또 θ 방향의 이동(회전)에 대해서는 진공시일(29)이 진공접합실(진공챔버)(R2)내의 진공을 유지하고 있다.

위치결정종료 후, 가압판(41)을 상기판(B2)의 하면이 하 기판(B1) 위의 시일제(15) 및 액정(16)에 접하는 위치까지 하강시켜 양 기판(B1, B2)을 가압한다. 이 하강과정에 있어서도 위치맞춤마크를 판독하여 화상처리에 의해 위치를 계측하여 상하 기판의 위치 어긋남이 생기지 않도록 한다.

상기판(B2)이 시일제(15)와 접하면 액정(16)은 양 기판(B1, B2)과 시일제 (15)로 둘러싸인 상태가 된다.

상하의 기판(B1, B2)을 가압한 상태에서 진공접합실(R2)의 도시를 생략한 관찰창 및 가압판(41), 상흡착판(42)의 각각에 설치한 관통구멍을 통하여 도시를 생략한 UV 조사광원을 사용하여 상하기판(B1, B2) 사이에 미리 도포해 둔 UV 접착제 (15)에 UV 광을 조사하여 양 기판(B1, B2)을 가고정한다. 이 가고정을 행할 때까지 양 기판(B1, B2)은 상하 각 흡착판에 서로 평행하게 흡착되어 있어 위치맞춤을 높은 정밀도로 실행할 수 있을 뿐만 아니라, 양 기판(B1, B2)을 평행 그대로 간격을 좁혀 감으로 흩어져 있는 양 기판(B1, B2) 사이의 간격을 일정하게 유지하기 위한 스페이서를 그대로의 위치에 잡아 둘 수 있다.

다음으로, 하흡착판(21)에 내장된 정전흡착용 전극에 인가하고 있는 전압을 절단하고 핀(32)을 상승시키면서 가압판(41)을 상승시키고, 상흡착판(42)에 내장된 정전흡착용 전극에 전압을 인가하여 가고정으로 일체화한 상하기판(B1, B2)를 상흡착판(42)의 하면에 정전흡착한 상태로 한다. 그 다음에 핀(32)을 하강시켜 미리 진공접합실(R2)과 동일한 진공도로 한 대기개방실(R3) 사이의 게이트밸브(4)를 개방하여 진공접합실(R2)의 반송롤러(22)와 대기개방실(R3)의 반송롤러(51)를 역회전시켜 평면흡착판(52)을 진공접합실(R2)로 반입한다.

도 7은 평면흡착판(52)이 진공접합실(R2)의 상흡착판(42)의 밑으로 이동한 상태를 나타내고 있다.

다음으로 상흡착판(42)을 가압판(41)과 함께 평면흡착판(52)위로 하강시켜 상흡착판(42)에 내장된 정전흡착용 전극에 인가하고 있는 전압을 절단함으로써 가고정으로 일체화한 기판(B1, B2)을 평면흡착판(52)상에 옮겨 싣는다.

다음으로 진공접합실(R2)의 반송롤러(22)와 대기개방실(R3)의 반송롤러(51)를 정회전시켜 평면흡착판(52)을 대기개방실(R3)로 반송한 다음에 게이트밸브(4)를 폐쇄한다.

대기개방실(R3)로 평면흡착판(52)을 반입한 다음에 진공흡인챔버(53)를 승강 샤프트(58)(도 4참조)로 상승시켜 반송롤러(51)위의 평면흡착판(52)의 하면에 맞닿게 하고, 진공흡인챔버(53)는 튜브(54)를 통하여 진공배기 하여 둔다.

이 상태에서 게이트밸브(8)를 폐쇄하고 대기개방밸브(9)를 개방하여 대기개방실(R3)을 대기압에 개방하면 가고정한 기판(B1, B2)에는 평면흡착판(52)에 진공흡인된 상태로 대기압이 걸려 가압된다. 이 경우 평면흡착판(52)은 가고정한 기판(B1, B2)의 평탄성을 유지하고 있다.

대기압에 의한 가압 후, 진공흡인챔버(53)의 튜브(54)를 통한 진공배기를 정지하여 대기에 개방하여 핀(56)을 상승하고, 게이트밸브(5)를 개방하여 도시 생략한 로봇핸드를 삽입하여 로봇핸드 위에 접합시켜 대기압으로 가압한 셀을 옮겨 실은 후, 인출한다.

게이트밸브(3, 4)를 개방하여 진공접합실(R2)을 예비진공실(R1) 또는 대기개방실(R3)과 연통하는 경우, 그들 각 실(R1, R3)은 진공으로 유지되어 있으므로 진공접합실(R2)을 진공으로 할 필요는 없고 진공접합실(R2)에 대기압이 새롭게 작용하여 변형되도록 하는 일은 없으므로 그대로 양 기판(B1, B2)의 접합을 시간 효율적으로 또 높은 정밀도로 실행할 수 있다.

그리고 대기개방실(R3)에 평면흡착판(52)과 함께 접합한 기판을 반출하여 게이트밸브(4)를 폐쇄한 시점에서 게이트밸브(3)를 개방하여 반송지그(14)위에 설치해 둔 기판(B1, B2)을 예비진공실(R1)로부터 진공접합실(R2)로 반입하는 동작을 병행하여 행할 수 있으므로 생산성을 한층 더 올릴 수 있다.

본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것이 아니라, 이하의 형태 등으로 실시할 수도 있다.

1. 진공접합실이 예비진공실이나 대기개방실 등을 구비하고 있지 않아 각 기판이나 접착 후의 셀을 로봇핸드 등으로 반입반출한다. 예비진공실이나 대기개방실과의 연통이 없으므로 진공접합실 진공화의 대기시간이 필요하나, 그래도 진공접합실내에 테이블의 구동계가 없어 진공접합실의 용적은 작아져 있어 진공화에 시간이 걸리지 않는다.

2. 벨로즈(31)를 대신하여 탄성체로 하여 둥근고리접시형상의 복수의 금속판의 바깥 가장자리와 안 가장자리를 교대로 기밀하게 결합한 소위 주름상자형상 또는 초롱형상을 하고 있는 것을 사용한다. 또한 벨로즈에 있어서의 기밀성과 탄성을 기능분리하여 기밀성을 중시한 통형상 탄성체와 탄성을 중시한 나선스프링을 동심이중구조로 한 것 등도 사용할 수 있다.

3. 도 3에서의 하테이블을 XY축 방향으로 고정으로 하여 상테이블을 탄성체나 리니어가이드, 진공시일, 회전베어링 등으로 XYθ 각 축방향으로 이동가능하게 한다. 이 경우 상테이블의 중량은 리니어가이드를 통하여 진공접합실에 전달되어 탄성체에 부담은 거의 걸리지 않는다.

4. 도 3에서의 하테이블과 상테이블의 기판고착에 진공흡착(흡인흡착)을 병용한다. 진공접합실이 진공상태로 있는 경우, 상테이블에서의 기판흡착력 소멸에의한 기판낙하를 방지하여 정전흡착을 하기까지의 사이에 기판을 상테이블의 약간 아래쪽에 유지하기 위한 낙하방지포올을 기판가압의 방해가 되지 않도록 퇴피가능하게 설치한다.

5. 대좌부(21a)에 하흡착판(21)의 승강수단을 내장시켜 하흡착판(21)을 상흡착판(42)측으로 상승시켜 기판(B1, B2)의 가고정을 행한다.

이하, 본 발명의 다른 일 실시형태를 도면에 의거하여 설명한다.

도 8에 있어서, 100은 본 발명이 되는 기판접합장치이고, 도 1에 나타낸 진공접합실(R2) 상당의 진공챔버(102)내부에는 기판을 유지하는 상테이블(103)과 하테이블(한쪽의 테이블)(104)을 구비하고 있다. 이 실시형태에서는 진공챔버는 1개뿐이므로 그대로 진공챔버라 부른다.

진공챔버(102)는 기판을 출입시키기 위한 게이트밸브(105)와 도시 생략한 진공펌프에 접속하기 위한 배기밸브(106)를 구비하고 있다. 또 진공챔버(102)의 내부에는 기판을 유지하는 유지포올(107)과 이 유지포올(107)을 도면에 있어서 상하(Z축방향) 및 전후(Y축방향)로 이동시키는 유지기구(108)를 구비하고 있다.

또한 유지포올(107)과 유지기구(108)는 도면의 전후 Y축방향에 1쌍이 있어 게이트밸브(105)의 개방으로 좌우 X축방향으로 출입되는 기판의 출입방향에 대하여 수평으로 교차하는 방향에 있어서, 기판이 수평으로 유지되도록 기판의 양 측단가장자리부를 유지하도록 되어 있다.

상테이블(103)은 진공챔버(102)의 개구부(102a)를 관통하는 샤프트(제 2 샤프트)(109)를 거쳐 Z축 이동베이스(110)에 설치되고, Z축 이동베이스(110)는 리니어가이드(111), 모터(수직방향의 구동수단)(112) 및 볼나사(113)에 의해 Z축 방향으로 이동하고, 이에 의하여 상테이블(103)을 승강한다. 또한 진공벨로즈(주름상자형상 탄성체)(114)는 개구부(102a)의 변 가장자리와 샤프트(109) 사이에 샤프트 (109)를 둘러싸도록 설치하여 진공챔버(102)내가 진공이 된 상태에서도 기밀상태를 유지하여 상테이블(103)의 승강을 가능하게 하고 있다.

하테이블(104)은 진공챔버(102)의 복수의 개구부(102b)를 각각 일일이 관통하는 복수의 샤프트(115)에 의해 진공챔버(102)밖의 이동테이블(수평방향의 구동수단)(T1)과 연결하고 있어 이동테이블(T1)에 의해 수평면내로 이동(접합하는 기판의 면과 평행한 XY 각 축방향 및 면내의 회전방향으로 이동)가능하게 되어 있다.

이동테이블(T1)은 XYθ스테이지에 의해 구성하고 있다. 즉 X스테이지(116)는 구동모터(117)에 의해 Y스테이지(118)를 도면에서 좌우의 X축방향으로 이동할 수 있도록 되어 있다. Y스테이지(118)는 X스테이지(116)위에 있고, 구동모터(119)에 의해 θ스테이지(120)를 Y축방향으로 이동할 수 있도록 되어 있다. θ스테이지 (120)는 Y스테이지(118)위에 있어 회전베어링(121)을 거쳐 구동모터(122)에 의해 샤프트(115)의 결합체(115A)를 θ스테이지(120)에 대하여 수평으로 회전가능하게 되어 있고, 결합체(115A)위에 하테이블(104)을 지지하는 샤프트(115)를 고정하고 있다.

개구부(102b)의 변 가장자리와 샤프트(115) 사이에는 샤프트(115)를 둘러싸 도록 진공시일(S1)을 설치하여 샤프트(115)가 이동테이블(T1)위에서 이동하여도 진공챔버(102)내의 진공이 누설되지 않도록 시일을 하고 있다.

즉, 진공시일(S1)은 진공벨로즈(주름상자형상 탄성체)(123), 자기시일(124), 크로스롤러가이드(슬라이드부재)(125), 지지베이스(126)에 의해 구성하고 있다.

자기시일(124)은 베어링(124a, 124b), 자성체시일부(124c), 하우징(124d)에 의해 구성되어 있다. 진공벨로즈(123)는 상단을 진공챔버(102)에 있어서의 개구부 (102b)의 변 가장자리 하면부에 고정하고, 하단을 하우징(124d)의 상단부에 고정하고, 하우징(124d)의 하단부는 크로스롤러가이드(125)의 상판(125a)에 고정하고 있다. 크로스롤러가이드(125)의 하부는 진공챔버(102)에 고정한 지지베이스(126)에고정되어 있다.

각 샤프트(115)는 크로스롤러가이드(125)의 상판(125a)과 지지베이스(126)에 각각 설치되어 있는 구경이 큰 개구(도시 생략)를 관통하고 있고, 각 샤프트(115)가 이동테이블(T1)의 이동에 따라 이동한 경우, 진공벨로즈(123)의 하단은 크로스롤러가이드(125)의 이동 가능한 방향에 결합되어 있기 때문에 함께 수평방향으로 이동한다. 이동테이블(T1)이 θ이동(회전)을 따르는 경우에는 자성체시일부(124c)가 각 샤프트(115)의 회전성분을 흡수한다.

진공챔버(102)의 상부에는 상테이블(103)에 설치된 구멍(도시 생략)을 통하여 기판의 위치맞춤마크를 측정하기 위한 창(127)을 설치하고, 그 상부에 마크관측용 광학계(C1)를 설치하고 있다.

이 마크관측용 광학계(C1)는 대각 2개소, 또는 4개소에 걸쳐 기판에 설치되어 있는 위치맞춤마크를 관측하도록 복수개 설치하고 있어 화상인식카메라(128)와 XYZ스테이지(129)에 의해 구성하고, XYZ스테이지(129)는 각 축에 전동모터를 설치하여 화상인식카메라(128)를 각 축방향으로 이동 가능하게 하고 있다.

또 각 테이블(103, 104)은 정전흡착용 전극 및 진공흡착용 흡착구멍을 구비하고, 정전기 또는 진공흡착에 의해 기판을 유지하도록 구성되어 있다.

다음에 도 9 이후에서 테이블(103, 104)에 상하 각 기판을 유지하여 접합시키는 상황을 설명한다.

여기서 상측 기판 또는 하측 기판의 한쪽에는 상하의 기판을 접합시켰을 때에 액정을 결정된 프레임내에 가두어 봉입하기 위하여 ㅁ자형상으로 시일제를 단번에 쓰기로 일정한 높이 및 도포단면으로 도포해 둔다. 또 상테이블(103)에서 유지하는 상측 기판은 막면이 밑이 되도록 미리 반전하고, 하테이블(104)에서 유지하는 하측 기판위에는 접합을 하였을 때에 최적의 갭이 되도록 액정을 일정량 적하하여 둔다.

도 9에 있어서 기판접합장치(100)외에 설치되어 있는 기판반송용 로봇의 핸드(130)위에 시일제를 ㅁ자형으로 도포묘화하여 그 ㅁ자형의 안쪽에 액정을 적하한 하측 기판(B2)을 흡착고정하고, 진공챔버(102)의 게이트밸브(105)를 개방하고 이 개구부(102c)로부터 로봇의 핸드(130)를 삽입하고, 그 후 하측 기판(B2)의 흡착을 개방한다. 유지기구(108)는 유지포올(107)을 하측 기판(B2)의 방향(Y축방향)으로 전진시키고, 다시 이것을 상승시킴(Z축방향으로 이동시킴)으로써 유지포올(107)위에 하측 기판을 받아 옮겨 싣는다. 옮겨 실은 후, 로봇은 핸드(130)를 후퇴시키고, 이 핸드(130)의 후퇴를 기다려 유지기구(108)는 하강하고, 하테이블(104)위에 하측 기판(B2)을 옮겨 실어 하테이블(104)로 하측 기판(B2)을 진공흡착한다.

여기서 하테이블(104)에는 유지포올(107)이 들어 가는 홈이 설치되어 있고, 이 홈에 유지포올(107)이 들어가 하테이블(104)의 상면(기판의 유지면)으로부터 아래쪽으로 하강하면 기판(B2)은 하테이블(104)위에 옮겨 실린다.

도 10은 유지기구(108)로 유지포올(107)을 강하시켜 하측 기판(B2)을 유지포올(107)로부터 하테이블(104)상에 옮겨 실은 상태를 나타내고 있다.

하테이블(104)이 하측 기판(B2)을 진공흡착한 후, 유지기구(108)는 하측 기판(B2)으로부터 유지포올(107)을 후퇴시켜 상승시키고, 상측 기판(B1)을 옮겨 실을수 있도록 다시 유지포올(107)을 전진시킨다.

다음에 로봇의 핸드(130)위에 반전한 상측 기판(B1)을 흡착고정하고 진공챔버(102)의 개구부(102c)로부터 로봇핸드(130)를 삽입한다. 그 후 상측 기판(B1)의 흡착을 개방하여 유지기구(108)로 유지포올(107)을 상승함으로써 유지포올(107)상에 상측 기판(B1)을 옮겨 싣는다. 옮겨 실은 후 유지기구(108)는 유지포올(107)상의 상측 기판(B1)을 상승시켜 상테이블(103)에 상측 기판(B1)을 진공흡착시킨다. 상테이블(103)이 상측 기판(B1)을 진공흡착하면 유지포올(107)은 그대로의 위치를 유지하고 있다.

그리고 로봇핸드(130)는 후퇴하고, 이 핸드후퇴를 기다려 게이트밸브(105)를 폐쇄하여 배기밸브(106)를 전환시켜 도시 생략한 진공펌프에 의해 진공챔버(102)내를 진공배기한다.

진공배기에 의해 진공챔버(102)내가 미리 설정하고 있는 소망의 진공압에 도달한 시점에서 상테이블(103)에 의한 상측 기판(B1)의 유지를 정전척에 의한 정전흡착으로 전환한다. 또 하측 기판(B2)도 하테이블(104)의 정전척에 의해 흡착고정한다.

또한 유지포올(107)을 상승시킨 경우, 상테이블(103)에 의한 진공흡착을 행하지 않고 유지포올(107)로 유지한 채로하여 소망의 진공압에 도달한 시점에서 상측 기판(B1)을 직접 정전흡착으로 유지하도록 하여도 좋다.

상테이블(103)에 의해 상측기판(B1)을 유지한 후, 유지기구(108)에 의해 유지포올(107)을 후퇴시킨다.

이 후퇴를 기다려 도 11에 나타내는 바와 같이 모터(112)로 Z축 이동베이스 (110)를 하강시킴으로써 상측기판(B1)를 하측기판(B2)에 접근시킨다. 상하 기판이 접근한 상태에서 관측용 광학계(C1)의 화상인식카메라(128)로 상측 기판(B1)의 위치맞춤마크를 관측하여 상측 기판(B1)의 위치맞춤마크에 카메라(128)의 중심축이 일치하도록 XYZ스테이지(129)를 제어하여 위치를 맞춘다.

다음으로 이 상태에서 하측 기판(B2)의 위치맞춤마크를 관측하여 상측 기판 (B1)과 하측 기판(B2)의 위치맞춤마크의 편차량을 측정한다. 그리고 이 편차량을 기초로 상하 기판(B1, B2)의 마크위치가 일치하도록 이동테이블(T1)을 구동한다.

도 12는 이동테이블(T1)에 의해 상하 기판(B1, B2)의 위치맞춤을 실시하고 있는 상태에서의 샤프트(115)와 진공벨로즈(123) 및 크로스롤러가이드(125)의 움직임을 모식적으로 나타낸 것이다.

도 12는 진공챔버(102)와 일체로 되어 있는 지지베이스(126)에 대하여 이동테이블(T1)에 의해 이동되는 샤프트(115)의 결합체(115A)가 회전이동을 따라 이동한 상태를 나타내고 있다.

도 12에 있어서 P는 지지베이스(126)의 중심위치, Q는 결합체(115A)의 중심위치이고 이해를 쉽게 하기 위하여 도 8과는 반대로 결합체(115A)를 지지베이스 (126)보다 큰 눈금으로 그리고 있다.

크로스롤러가이드(125)의 Y축은 지지베이스(126)측에 고정되어 있기 때문에 이동하고 있지 않으나, X축은 샤프트(115)의 움직임을 거쳐 결합체(115A)의 이동에 의해 크로스롤러가이드(125)의 상판(125a)을 거쳐 이동하고 있다. 그러나 진공 벨로즈(123)의 하단은 상판(125a)의 X축상에 고정된 자기시일(124)의 하우징(124d)과 고정되어 있기 때문에 진공벨로즈(123)의 하단은 회전하는 일 없이 XY 이동한 모양이 되고, 각 샤프트(115)는 결합체(115A)와 일체이므로 전체적으로 회전한 형으로 되어 있으나, 각 샤프트(115)와 진공벨로즈(123) 하나하나 사이의 회전변위는 자기 시일(124)에 의해 흡수되고 있다.

따라서 상하 양 기판(B1, B2)의 위치맞춤을 행하도록 이동테이블(T1)로 XYθ의 각 방향으로 결합체(115A) 및 각 샤프트(115)를 거쳐 하테이블(104)을 이동시켜도 각 샤프트(115)의 이동은 자기시일(124)과 크로스롤러가이드(125)로 흡수되어 진공벨로즈(123)를 손상하지 않고 진공을 유지할 수 있다.

이동테이블(T1)은 도 1의 실시형태와 마찬가지로 진공챔버(12)의 밖에 위치하기 때문에 진공챔버(102)는 소형의 것이어도 좋고, 진공챔버(102)내를 소망의 진공도로까지 고속으로 높일 수 있다.

상하 양 기판(B1, B2)의 위치맞춤에 있어서, 이동테이블(T1)이 움직이게 하는 것은 각 샤프트(115)의 결합체(115A)로부터 하테이블(104)까지의 부분뿐이다. 하테이블(104)은 복수의 샤프트(115)로 분산지지되어 있으므로 강성을 높이도록 튼튼한 것으로 할 필요가 없고 하테이블(104)은 경량인 것으로 되기 때문에 스스로의 무게로 휘어져 평탄성을 잃는 일은 없다. 그리고 복수의 샤프트(115)로 하테이블 (104)을 분산지지하고 있으므로 각 샤프트(115) 그 자체도 튼튼한 것을 사용할 필요가 없어 가는 것으로 충분하여 각 자기시일(124)도 소형의 것으로 좋다. 따라서 진공챔버(2)내를 진공으로 한 경우, 각 자기시일(124)에 걸리는 외압도 경감된다.

이와 같이 본 장치에 의하면 하테이블(104)의 평탄성은 유지되어 있으므로 양 기판(B1, B2)은 평행이고, 또한 중량과 외압의 경량화도 도모되어 있으므로 화상인식카메라(128)를 이용한 위치맞춤은 용이하고, 높은 정밀도로 또한 신속하게 행할 수 있다.

또 도시한 구성에 있어서는 자기시일(124)에 걸리는 외압은 진공 벨로즈 (123)를 압축하는 방향으로 작용하나, 크로스롤러가이드(125)를 거쳐 지지베이스 (126)에 전달되어 부담되는 구조이기 때문에 진공벨로즈(123)의 부담은 경감되어 용접 등에 의한 고착부에서의 수명은 손상되지 않는다.

상하 양 기판(B1, B2)의 위치맞춤 후, 상테이블(103)을 Z축 이동베이스(110)에서 다시 하강함으로써 양 기판(B1, B2)을 접합하여 기판(B1, B2) 사이의 시일제를 일정량 찌그러뜨린다.

상기한 바와 같이 양 기판(B1, B2)은 평행이므로 시일제를 찌그러뜨리는 경우에 불균일하게 찌그러뜨린다는 문제를 일으키지 않고 균등하게 간격을 좁혀감으로 액정도 눌려 ㅁ자형 시일제로 둘러싸인 내부영역에 약간이지만 골고루 퍼진다.

이 상태에서 양 기판(B1, B2)의 위치결정이 어긋나지 않도록 기판 사이에 미리 도포된 위치 어긋남방지용 광경화형의 가고정 접착제에 도시 생략한 광원을 사용하여 빛을 조사하여 기판의 가고정을 행한다.

이 후, 상테이블(103) 및 하테이블(104)의 정전흡착을 절단하여 상테이블 (103)을 상승시켜 배기밸브(106)를 폐쇄한 후, 진공챔버(102)내를 도시 생략한 대기개방밸브를 사용하여 대기압에 개방한다.

이 대기개방으로 양 기판(B1, B2) 사이에 대기압이 작용하여 양 기판을 더욱 가압하여 액정은 입자형 시일제로 둘러싼 전역에 고루 퍼진다.

대기개방 후, 유지기구(108)로 유지포올(107)을 하테이블(104)의 홈위치까지 하강시켜 유지포올(107)을 전진시켜 유지포올(107)을 상승하고, 가고정이 끝난 양 기판(B1, B2)(셀)을 유지포올(107)의 위로 옮겨 싣는다.

다음에 게이트밸브(105)를 개방하여 도 9에 나타낸 로봇핸드(130)를 사용하여 유지포올(107)위의 가고정이 끝난 양 기판(B1, B2)을 일체물(셀)로서 인출하고, 하류의 장치에 넘기어 본 고정을 행한다. 또한 진공챔버(102)내에서 본 고정을 끝내어도 좋다.

상기한 실시형태에서는 4개의 샤프트(115)로 하테이블(104)을 지지하였으나, 샤프트(115)의 개수는 4개에 한정하는 것은 아니고, 임의의 복수의 개수로 구성하여도 상관없다. 또 상하 각 샤프트(109, 115)가 다른 개수이어도 좋다.

이상 나타낸 기판접합장치는 액정표시패널의 제조에 한정되는 것이 아니라, 기판에 레지스트막을 접합하는 것을 진공챔버내에서 행하는 것이나 진공챔버내에서 프린트기판의 접합을 행하는 것에도 적용할 수 있다.

Claims (10)

1. 접합해야 할 기판끼리를 각각 상하에 유지하여 대향시켜 위치결정을 행함과 동시에 간격을 좁혀 적어도 어느 하나의 기판에 설치한 접착제에 의해 진공중에서 양 기판을 접합하는 기판접합장치에 있어서,

   진공챔버내에 상면 또는 하면에 양 기판의 어느 한쪽을 착탈 자유롭게 고정시키는 제 1 테이블과 하면 또는 상면에 양 기판의 다른쪽을 착탈 자유롭게 고정시키는 제 2 테이블을 각각의 기판을 고정시키는 상면 및 하면이 대향하도록 구비하고, 양 테이블의 한쪽은 탄성체를 거쳐 진공챔버와 기밀하게 이동 가능하게 결합되어 있고, 또한 상기 한쪽의 테이블은 상기 탄성체로 구획된 진공챔버의 대기측에 진공챔버에 대하여 적어도 수평방향으로 이동시키는 구동수단을 구비함과 동시에, 양쪽의 테이블의 어느 하나는 적어도 기판끼리 대향한 간격을 좁히는 구동수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판접합장치.
2. 제 1항에 있어서,

   한쪽 테이블의 구동수단은 한쪽 테이블을 진공챔버에 대하여 리니어가이드를 거쳐 이동시킴과 동시에 진공챔버와 리니어가이드의 사이에 주름상자형상의 탄성체와 이 탄성체로 구획된 대기측에 진공시일과 베어링을 설치하고 있는 것을 특징으로 하는 기판접합장치.
3. 제 1항에 있어서,

   한쪽의 테이블이 진공챔버내의 하측 테이블인 것을 특징으로 하는 기판접합장치.
4. 제 1항에 있어서,

   다른쪽의 테이블은 기판끼리의 간격을 좁히는 수직방향의 구동수단을 구비하고, 한쪽 테이블의 구동수단은 수평방향의 구동만을 분담하는 것을 특징으로 하는 기판접합장치.
5. 제 1항에 있어서,

   진공챔버의 전후에 진공예비실과 대기개방실을 구비하고, 각 실은 게이트밸브로 칸막이되어 있어 그들 게이트밸브의 개방으로 실 상호간 또는 대기중과 연통하여 기판의 반송을 하도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 기판접합장치.
6. 제 1항에 있어서,

   진공챔버밖의 대기측에 위치하고, 한쪽의 테이블을 상기 진공챔버에 대하여 적어도 수평방향으로 이동시키는 상기 구동수단은 진공챔버에 서로 떨어져 설치한 복수의 개구부를 일일이 관통한 복수의 샤프트로 상기 한쪽의 테이블과 연결하고 있고, 상기 진공챔버의 각 개구부에는 상기 진공챔버와 각 샤프트를 기밀하게 유지하는 탄성체를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판접합장치.
7. 제 6항에 있어서,

   상기 탄성체는 각 샤프트를 각각 포위하여 한쪽의 끝부를 상기 진공챔버에 있어서의 개구부의 변 가장자리에 고정하고 다른쪽의 끝부를 자기시일을 거쳐 각 샤프트의 바깥 둘레부와 슬라이딩자유롭게 하고 있는 주름상자형상 탄성체인 것을 특징으로 하는 기판접합장치.
8. 제 7항에 있어서,

   상기 탄성체에 있어서의 주름상자형상 탄성체의 다른쪽의 끝부는 양 기판의 접합시키는 면과 평행한 방향으로 이동 가능한 슬라이드부재를 거쳐 상기 진공챔버와 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 기판접합장치.
9. 제 6항에 있어서,

   기판끼리의 대향한 간격을 좁히는 상기 구동수단은 다른쪽의 테이블을 구동하는 것이고, 상기 구동수단은 상기 진공챔버에 서로 떨어져 설치한 복수의 제 2 개구부를 개별로 관통한 복수의 제 2 샤프트로 상기 다른쪽의 테이블과 연결하고 있고, 상기 제 2 각 개구부에는 상기 진공챔버와 상기 제 2 각 샤프트을 기밀하게 유지하는 제 2 탄성체를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 기판접합장치.
10. 제 1항 또는 제 6항에 있어서,

    상기 제 1 및 제 2 테이블은 진공흡착수단 및 정전흡착수단의 적어도 하나를 구비하고 있어 상기 한쪽 및 다른쪽의 기판을 각각 착탈자유롭게 고정하는 것을 특징으로 하는 기판접합장치.