CN210504202U - 陶瓷盘立体仓库 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种陶瓷盘立体仓库，包括搬运机械手、轨道机构及陶瓷盘存放支架，所述陶瓷盘存放支架用于存放陶瓷盘，陶瓷盘存放支架具有多组插接板，所述各组插接板上从上至下分别开设有多个用于间隔放置陶瓷盘的插接槽，所述搬运机械手设置在轨道机构上并可上下升降或左右移动，用于抓取陶瓷盘并将陶瓷盘送入或取出陶瓷盘存放支架。该陶瓷盘立体仓库通过搬运机械手、轨道机构及陶瓷盘存放支架的相互配合，能够自动抓取或存放陶瓷盘，从而便于陶瓷盘中转以供后续使用，本实用新型自动化程度高，加工效率较高，且不会损伤陶瓷盘，保证了产品质量。
Description
技术领域
本实用新型涉及电子产品加工技术领域，尤其涉及一种陶瓷盘立体仓库。
背景技术
中国半导体市场装机量需求增长迅猛，劳动力短缺、人工成本不断攀升，导致厂商对自动化设备需求提升，对降低生产成本、提高产品良率有着显著的效果。
现有的晶圆片(蓝宝石片、硅片等)在进行加工时需要进行多道工序，如清洗、涂胶、贴片、铲片、存放等。晶圆片贴在陶瓷盘上经加工后需要进行铲片(下片)处理，铲片后的晶圆片经收集后进入下一工位，而陶瓷盘也被转移至其他设备进行清洗、烘干等操作。现有技术中，陶瓷盘的存放和抓取都是通过人工操作，用于存放陶瓷盘的设备也较为单一，从而很容易对陶瓷盘表面损伤，影响后续使用。
实用新型内容
为了克服现有技术的缺点，本实用新型提供一种自动化程度高、加工效率高、能够保证陶瓷盘的产品质量的陶瓷盘立体仓库。
本实用新型是通过如下技术方案实现的：一种陶瓷盘立体仓库，包括搬运机械手、轨道机构及陶瓷盘存放支架，所述陶瓷盘存放支架用于存放陶瓷盘，陶瓷盘存放支架具有多组插接板，所述多组插接板上从上至下分别开设有多个用于间隔放置陶瓷盘的插接槽，所述搬运机械手设置在轨道机构上并可上下升降或左右移动，用于抓取陶瓷盘并将陶瓷盘送入或取出陶瓷盘存放支架。
为了避免陶瓷盘从插接槽内脱出，所述插接槽内具有向下凹陷的凹槽，所述陶瓷盘插接入所述凹槽内。
作为优选，所述轨道机构包括横向轨道机构及纵向轨道机构，所述纵向轨道机构包括升降电机及纵向轨道，所述搬运机械手设置在纵向轨道上，搬运机械手与升降电机连接，升降电机可驱动搬运机械手沿纵向轨道上下升降，所述横向轨道机构包括驱动电机及横向轨道，所述纵向轨道设置在横向轨道上，纵向轨道与驱动电机连接，驱动电机可驱动纵向轨道沿横向轨道左右移动。
为了能够实现较远距离的搬运，本实用新型对搬运机械手进行了设计，所述搬运机械手包括可沿纵向轨道移动的端板、安装在端板上的第一驱动气缸、第二驱动气缸、第一导轨、第二导轨、定位板、推板，所述端板内开设有两滑槽，两滑槽内分别设置有第二驱动气缸，两第二驱动气缸与推板固定连接，第二驱动气缸的伸缩杆与定位板连接，所述第一驱动气缸的伸缩杆与推板连接，第一导轨可沿着端板内壁移动，第二导轨可沿着第一导轨移动，所述定位板固定在第二导轨上，第一驱动气缸的伸缩杆伸出时驱动推板移动，带动第二驱动气缸顺着滑槽移动，并带动第一导轨顺着端板内壁移动，实现第一次伸缩，两第二驱动气缸的伸缩杆伸出，带动第二导轨沿着第一导轨移动，从而带动定位板伸出，实现第二次伸缩。
为了避免陶瓷盘在搬运过程中从定位板上脱出，所述定位板呈U型，其具有4个定位块，用于对陶瓷盘定位。
为了对插接槽内的陶瓷盘表面清洗，所述陶瓷盘存放支架一侧设置有喷淋管，所述喷淋管从上至下依次开设有分别与各插接槽内的陶瓷盘相对应的喷淋口。
本实用新型的有益效果是：该陶瓷盘立体仓库通过搬运机械手、轨道机构及陶瓷盘存放支架的相互配合，能够自动抓取或存放陶瓷盘，从而便于陶瓷盘中转以供后续使用，本实用新型自动化程度高，加工效率较高，且不会损伤陶瓷盘，保证了产品质量。
附图说明
图1为本实用新型的陶瓷盘立体仓库的立体结构示意图；
图2为本实用新型的陶瓷盘存放支架及喷淋管的结构示意图；
图3为本实用新型的搬运机械手的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的较佳实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易被本领域人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定。
如图1所示的一种陶瓷盘立体仓库，包括搬运机械手1、轨道机构及陶瓷盘存放支架。
所述陶瓷盘存放支架用于存放陶瓷盘8，陶瓷盘存放支架具有多组插接板6，如图2所示，所述多组插接板6上从上至下分别开设有多个用于间隔放置陶瓷盘8的插接槽61，所述插接槽61内具有向下凹陷的凹槽，所述陶瓷盘8插接入所述凹槽内。
所述陶瓷盘存放支架一侧设置有多根喷淋管7，所述喷淋管7从上至下依次开设有分别与各插接槽61内的陶瓷盘8相对应的喷淋口。
所述搬运机械手1设置在轨道机构上并可上下升降或左右移动，用于抓取陶瓷盘8并将陶瓷盘8送入或取出陶瓷盘存放支架。
所述轨道机构包括横向轨道机构及纵向轨道机构，所述纵向轨道机构包括升降电机5及纵向轨道2，所述搬运机械手1设置在纵向轨道2上，搬运机械手 1与升降电机5连接，升降电机5可驱动搬运机械手1沿纵向轨道2上下升降，所述横向轨道机构包括驱动电机3及横向轨道4，所述纵向轨道2设置在横向轨道4上，纵向轨道2与驱动电机3连接，驱动电机3可驱动纵向轨道2沿横向轨道4左右移动。
如图3所示，所述搬运机械手包括可沿轨道移动的端板11、安装在端板11 上的第一驱动气缸12、第二驱动气缸13、第一导轨15、第二导轨16、定位板 17、推板18，端板11两侧固定有可沿纵向轨道移动的滑块110，两第二驱动气缸13设置在滑槽14内，两第二驱动气缸13与推板18固定连接，第二驱动气缸13的伸缩杆与定位板17连接，定位板17呈U型，其具有4个定位块19，用于对陶瓷盘定位，第一驱动气缸12的伸缩杆与推板18连接，第一导轨15可沿着端板11内壁移动，第二导轨16可沿着第一导轨15移动，定位板17固定在第二导轨16上。第一驱动气缸12的伸缩杆伸出时驱动推板18移动，带动第二驱动气缸13顺着滑槽14移动，并带动第一导轨15顺着端板11内壁移动，实现第一次伸缩，当第一驱动气缸12伸至最大距离时，两第二驱动气缸13的伸缩杆伸出，第二导轨16沿着第一导轨15移动，从而带动定位板17伸出，实现第二次伸缩，然后配合端板11的上下左右移动即可进行大范围移动，从而便于抓取或存放陶瓷盘。
加工时，上一工位的陶瓷盘8经运输机构传输至对应位置，搬运机械手1 通过横向轨道机构及纵向轨道机构移动至陶瓷盘下方，此时第一驱动气缸12的伸缩杆伸出时驱动推板18移动，带动第二驱动气缸13顺着滑槽14移动，并带动第一导轨15顺着端板11内壁移动，实现第一次伸缩，当第一驱动气缸12伸至最大距离时，两第二驱动气缸13的伸缩杆伸出，第二导轨16沿着第一导轨 15移动，从而带动定位板17伸出，实现第二次伸缩，定位板17即***陶瓷盘 8下方，定位块19将其限位，此时搬运机械手1上升即可将陶瓷盘8托起，然后经横向轨道机构及纵向轨道机构将陶瓷盘8运送至对应位置，再次经二次伸缩即可将陶瓷盘8送入插接板6的插接槽61内。当需要使用陶瓷盘8时，搬运机械手1取出插接槽61内的陶瓷盘8，沿横向轨道机构及纵向轨道机构送入下一工位。
在本实用新型实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”、“设有”等应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“侧”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
最后应说明的是：以上上述的实施例，仅为本实用新型的具体实施方式，用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制，本实用新型的保护范围并不局限于此，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，其依然可以对前述实施例所记载的技术方案进行修改或可轻易想到变化，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改、变化或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型实施例技术方案的精神和范围，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种陶瓷盘立体仓库，其特征在于：包括搬运机械手、轨道机构及陶瓷盘存放支架，所述陶瓷盘存放支架用于存放陶瓷盘，陶瓷盘存放支架具有多组插接板，所述多组插接板上从上至下分别开设有多个用于间隔放置陶瓷盘的插接槽，所述搬运机械手设置在轨道机构上并可上下升降或左右移动，用于抓取陶瓷盘并将陶瓷盘送入或取出陶瓷盘存放支架。
2.根据权利要求1所述的陶瓷盘立体仓库，其特征在于：所述插接槽内具有向下凹陷的凹槽，所述陶瓷盘插接入所述凹槽内。
3.根据权利要求1所述的陶瓷盘立体仓库，其特征在于：所述轨道机构包括横向轨道机构及纵向轨道机构，所述纵向轨道机构包括升降电机及纵向轨道，所述搬运机械手设置在纵向轨道上，搬运机械手与升降电机连接，升降电机可驱动搬运机械手沿纵向轨道上下升降，所述横向轨道机构包括驱动电机及横向轨道，所述纵向轨道设置在横向轨道上，纵向轨道与驱动电机连接，驱动电机可驱动纵向轨道沿横向轨道左右移动。
4.根据权利要求3所述的陶瓷盘立体仓库，其特征在于：所述搬运机械手包括可沿纵向轨道移动的端板、安装在端板上的第一驱动气缸、第二驱动气缸、第一导轨、第二导轨、定位板、推板，所述端板内开设有两滑槽，两滑槽内分别设置有第二驱动气缸，两第二驱动气缸与推板固定连接，第二驱动气缸的伸缩杆与定位板连接，所述第一驱动气缸的伸缩杆与推板连接，第一导轨可沿着端板内壁移动，第二导轨可沿着第一导轨移动，所述定位板固定在第二导轨上，第一驱动气缸的伸缩杆伸出时驱动推板移动，带动第二驱动气缸顺着滑槽移动，并带动第一导轨顺着端板内壁移动，实现第一次伸缩，两第二驱动气缸的伸缩杆伸出，带动第二导轨沿着第一导轨移动，从而带动定位板伸出，实现第二次伸缩。
5.根据权利要求4所述的陶瓷盘立体仓库，其特征在于：所述定位板呈U型，其具有4个定位块，用于对陶瓷盘定位。
6.根据权利要求1所述的陶瓷盘立体仓库，其特征在于：所述陶瓷盘存放支架一侧设置有喷淋管，所述喷淋管从上至下依次开设有分别与各插接槽内的陶瓷盘相对应的喷淋口。
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112093355A (zh) * | 2020-09-18 | 2020-12-18 | 湖北省机电研究设计院股份公司 | 一种存取机器人 |
| CN112297613A (zh) * | 2020-10-23 | 2021-02-02 | 董龙涛 | 一种瓷盘自动印花用的风干设备 |
| CN113086472A (zh) * | 2021-03-31 | 2021-07-09 | 锎量(宁夏)自动化科技有限公司 | 一种自动存放料的立体刀库 |
| CN114132706A (zh) * | 2021-12-21 | 2022-03-04 | 东阳东磁自动化科技有限公司 | 一种多层下料机及其实现方法 |
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Denomination of utility model: Ceramic disc warehouse Effective date of registration: 20210819 Granted publication date: 20200512 Pledgee: Jiangsu Jiangnan Rural Commercial Bank Limited by Share Ltd. Pledgor: CHANGZHOU KEPEIDA CLEANING TECHNOLOGY Co.,Ltd. Registration number: Y2021320000190 |
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