CN201172211Y - 一种清洗机机械手 - Google Patents

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Abstract

本实用新型涉及一种清洗机机械手,主要由行走控制部分、升降控制部分和夹取控制部分组成,行走控制部分包括架体、行走定位板、同步齿型带、行走限位装置、密封带卷轮、行走定位轮、电机和行走导轨,通过各部件的配合来完成纵向行走;升降控制部分包括提升导轨、机械手主杆、电机、提升丝杠和提升臂,可实现对其升降的控制;夹取控制部分包括夹紧机械手、夹紧汽缸和工件检测机械臂,以夹紧汽缸为驱动源,通过工件检测机械臂等的传递控制其抓取或松开。本实用新型有益效果:实现了全自动化操作,降低了劳动强度,改善人的劳动环境,有利于人体健康;可以根据需求升降、行走且定位精度高,提高了清洗效率,满足规模化生产的需求。

Description

一种清洗机机械手
技术领域
本实用新型涉及一种清洗机机械手。
背景技术
对于硅片等的清洗其传统的工艺是通过人工劳动实现的,是将硅片等浸泡于清洗液中,由人工手动进行清洗。这种清洗方式不仅劳动强度高,浪费了大量的人力资源;而且其所使用的清洗液对人体也有很大的伤害,影响人体健康。采用人工清洗的工艺其清洗效率较低,不能满足规模化生产的需求。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种清洗机机械手,以实现自动化操作,提高清洗效率,降低劳动强度,改善人的工作环境。
本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现:
一种清洗机机械手,包括架体、提升导轨、行走定位板、同步齿型带、机械手主杆、行走限位装置、密封带卷轮、夹紧机械手、行走定位轮、电机、提升丝杠、行走导轨、提升臂、夹紧汽缸和工件检测机械臂,所述架体下部右侧安装电机,电机输出轴连接同步齿型带,同步齿型带与机械手主杆配合,机械手主杆顶部架在架体中部的行走导轨上,机械手主杆通过密封带卷轮与行走导轨配合所述机械手主杆下部安装电机,机械手主杆中部固定行走定位轮,所述行走定位轮与固定在架体下部的行走限位装置配合,机械手主杆一侧垂直固定提升导轨和提升丝杠,提升导轨与提升丝杠配合,提升丝杠顶部连接提升臂,提升臂顶部连接夹紧汽缸和工件检测机械臂,夹紧汽缸与工件检测机械臂配合,所述工件检测机械臂连接夹紧机械手;所述同步齿型带下侧设有固定在架体上的行走定位板。
本实用新型所述的清洗机机械手的有益效果为:实现了全自动化操作,降低了劳动强度,改善人的劳动环境,有利于人体健康;可以根据需求升降、行走且定位精度高,很大程度上提高了清洗效率,满足规模化生产的需求。
附图说明
图1是本实用新型实施例所述的清洗机机械手的主视图;
图2是本实用新型实施例所述的清洗机机械手的侧视图。
图中:
1、架体;2、提升导轨;3、行走定位板;4、同步齿型带;5、机械手主杆;6、行走限位装置;7、密封带卷轮;8、夹紧机械手;9、行走定位轮;10、电机;11、提升丝杠;12、行走导轨;13、提升臂;14、夹紧汽缸;15、工件检测机械臂。
具体实施方式
如图1-2所示,本实用新型实施例所述的清洗机机械手,包括架体1、提升导轨2、行走定位板3、同步齿型带4、机械手主杆5、行走限位装置6、密封带卷轮7、夹紧机械手8、行走定位轮9、电机10、提升丝杠11、行走导轨12、提升臂13、夹紧汽缸14和工件检测机械臂15,所述架体1下部右侧安装电机10,电机10输出轴连接同步齿型带4,同步齿型带4与机械手主杆5配合,同步齿型带4可带动机械手主杆5一起移动,机械手主杆5顶部架在架体1中部的行走导轨12上,机械手主杆5通过密封带卷轮7与行走导轨12配合,行走导轨12可极大的减轻同步齿型带4上电机10的负荷,所述机械手主杆5下部安装电机10,机械手主杆5中部固定行走定位轮9,行走定位轮9与固定在架体1下部的行走限位装置6配合,机械手主杆5一侧垂直固定提升导轨2和提升丝杠11,提升导轨2与提升丝杠11配合,提升丝杠11顶部连接提升臂13,提升臂13顶部连接夹紧汽缸14和工件检测机械臂15,夹紧汽缸14与工件检测机械臂15配合,通过夹紧汽缸14可带动工件检测机械臂15伸缩运动,所述工件检测机械臂15连接夹紧机械手8;所述同步齿型带4下侧设有固定在架体1上的行走定位板3。
本实用新型实施例所述的清洗机机械手,其主要用于小型设备提取工件及短距离的行走,在使用时,通过伺服电机10带动同步齿型带4,同步齿型带4与机械手主杆5相连接以此来完成纵向行走;升降采用伺服电机10带动提升丝杠11旋转来提供转矩,提升丝杠11的螺母副和提升臂13活动部分连接来带动提升臂13上下移动;纵向系部件的重力承载和导向定位由行走导轨12来解决,升降系部分的重力坐落在提升丝杠11上、导向由提升导轨2解决,夹取为夹紧汽缸14推动曲柄而使夹紧机械手8转动,夹紧机械手8向中间旋转从而将蓝具夹住,反之夹紧汽缸14带动曲柄做反向转动将蓝具松开。
本实用新型实施例所述的清洗机机械手的升降***:其采用提升丝杠11传递力矩,提升丝杠11大大减少了磨擦力,不但减小了阻力减轻了电机10的负载,而且在传动过程中不会带来跳动等导致行走轨迹不规律现象,保证了行走轨迹的质量。提升丝杠11的螺母副等部件卡在一对垂直的提升导轨2上,限制了提升丝杠11在升降过程中可能带来的摆动,这样保证了运行的平稳性,且可避免提升丝杠11受到剪切力,间接的延长了提升丝杠11的使用寿命,也避免了由于摆动而给电机10带来的额外负载,提高电机10的使用寿命,降低能耗。所述的提升丝杠11、提升导轨2等均为优质不锈钢结构,四周支撑及密封板材采用铝、不锈钢材料,有利于保证其使用的稳定性。
本实用新型实施例所述的清洗机机械手的行走***:其行走限位控制采用传感器来实现(根据需要可以实现多点定位),可以准确便捷的进行控制。本机械手纵向移动由同步齿型带4传递力矩,所有重力都坐落在行走导轨12上,并且行走导轨12的磨擦力很小,极大的减轻了同步齿型带4上电机10的负荷,不但减小了阻力减轻了而且在传动过程中不会带来跳动等导致行走轨迹不规律现象,保证了行走轨迹的质量。行走导轨12为优质不锈钢,四周支撑及密封板材采用铝、不锈钢材料,同步齿型带4为尼龙材质中间附有加强筋,有利于保证其运行的稳定性。
升降和纵向移动的驱动源及导轨等全部在一个封闭的腔室中工作,并且所选部件的材质都经过防腐处理,可保证其的使用寿命。
本实用新型实施例所述的清洗机机械手的夹取***:所述两夹紧机械手8通过曲柄相连接,曲柄中间和夹紧汽缸14相连,当夹紧汽缸14给汽时与之相连端的曲柄将被顶起,另一端则带动夹紧机械手8转动,夹紧机械手8围绕固定的支点旋转而带动“手爪”向中心转动,将蓝具夹住;反之,当夹紧汽缸14缩回时夹紧机械手8将围绕支点做背向旋转,从而将蓝具松开。夹紧汽缸14的行程具有可调性,在一定范围内可根据蓝具尺寸的大小变动其行程,对于装配和调整也比较方便。所述的夹紧机械手8上部为灰PVC(聚氯乙烯)结构,与蓝具接触的勾子为65Mn外套氟管,因此具有很好的耐腐蚀性和韧性,使得其使用寿命延长。

Claims (1)

1、一种清洗机机械手,包括架体(1)、提升导轨(2)、行走定位板(3)、同步齿型带(4)、机械手主杆(5)、行走限位装置(6)、密封带卷轮(7)、夹紧机械手(8)、行走定位轮(9)、电机(10)、提升丝杠(11)、行走导轨(12)、提升臂(13)、夹紧汽缸(14)和工件检测机械臂(15),其特征在于:架体(1)下部右侧安装电机(10),电机(10)的输出轴连接同步齿型带(4),同步齿型带(4)与机械手主杆(5)配合,机械手主杆(5)架在架体(1)中部的行走导轨(12)上,机械手主杆(5)通过密封带卷轮(7)与行走导轨(12)配合,所述机械手主杆(5)下部安装电机(10),机械手主杆(5)中部固定行走定位轮(9),行走定位轮(9)与固定在架体(1)下部的行走限位装置(6)配合,机械手主杆(5)一侧垂直固定提升导轨(2)和提升丝杠(11),提升导轨(2)与提升丝杠(11)配合,提升丝杠(11)顶部连接提升臂(13),提升臂(13)顶部连接夹紧汽缸(14)和工件检测机械臂(15),夹紧汽缸(14)与工件检测机械臂(15)配合,所述工件检测机械臂(15)连接夹紧机械手(8);所述同步齿型带(4)下侧设有固定在架体(1)上的行走定位板(3)。
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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C14 Grant of patent or utility model
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Assignee: Suzhou CSE Semiconductor Equipment Technology Co., Ltd.

Assignor: Xu Zhulin

Contract fulfillment period: 2009.5.10 to 2014.5.9

Contract record no.: 2009320000948

Denomination of utility model: Manipulator of cleaning apparatus

Granted publication date: 20081231

License type: Exclusive license

Record date: 20090515

LIC Patent licence contract for exploitation submitted for record

Free format text: EXCLUSIVE LICENSE; TIME LIMIT OF IMPLEMENTING CONTACT: 2009.5.10 TO 2014.5.9; CHANGE OF CONTRACT

Name of requester: UZHOU CSE SEMICONDUCTOR EQUIPMENT TECHNOLOGYCO.,LT

Effective date: 20090515

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Granted publication date: 20081231

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