CN1990238A - 微液滴喷印装置及方法 - Google Patents

Abstract

一种微液滴喷印装置及方法，用以喷印微组件，其包含有喷印模块、运动平台模块、影像检测模块、温度控制模块与喷印头维护模块，喷印头维护模块用以清洁喷印头，待喷印基板则被承载于运动平台模块，并通过影像检测模块以侦测喷印头与基板的相对位置及相对角度，通过温度控制模块以调控基板的表面温度，使得基板与微液滴达到温度均匀，而能够改善微液滴喷印后薄膜成型的平坦性，并且可配合不同基板的方法需求，达到平台的多任务功能，提高作业效率。

Description

微液滴喷印装置及方法

技术领域

本发明涉及一种微液滴喷印装置及方法，特别是指一种应用于微组件涂布的微液滴喷印装置及方法。

背景技术

可控制微液滴喷印(Drop-on-Demand Ink Jet Printing)技术为一种精细，再现性高的涂布方式，其利用喷印头在喷印标的上做微液滴喷印的动作，可应用于各种不同印刷电路板、电路基板的精密线路喷印成形。一般多利用喷印头在X轴方向往复移动，加上喷印标的可做Y轴方向移动前进，以共同达到微液滴喷印的目的，由于微液滴喷印的用途广泛，在印刷电路板(Printed CircuitBoard，PCB)、彩色滤光片(Color Filter，CF)、有机薄膜晶体管(Organic ThinFilm Transistor，OTFT)、高分子有机发光二极管(Polymer Lighting EmissionDiode，PLED)、生物芯片(Bio-chip)等不同的领域都在微小化上扮演相当重要的角色。

现有的微液滴喷印平台，是针对微液滴喷印所需项目来作设计规划，其中有可以移动的基板平台、喷印头模块、喷印头维护模块、影像观测模块、打印控制单元所组成，但常遭遇喷印头阻塞与气泡问题，无法有效解决打印不良的问题。再者当微液滴喷印完成以后，对喷印头模块进行维护作业时，无法实时做基板影像观测，不能实时确认打印的品质。造成输出时间的延误，如果有不同的微液滴喷印方法的需求时，并无法提供适当的方式来解决不同基材与待微液滴于方法中所发生的问题。

美国专利公告第US6145981号专利案，提出一种可通过待喷印组件的失效墨点，而能在喷墨未达预期时实时侦测发现喷印效果。

美国专利公告第US6582048号专利案，提出一种可提高基板与喷印头对准的精确度的喷印头调整装置，其含有位置偏移侦测法以侦测喷印头的相对位置，以及角度侦测法以侦测喷印头的倾角，以求得喷印头与基板的喷涂过程对位准确。

美国专利公告第US6667795号专利案，提出一种针对喷印标的为彩色滤光片的微液滴喷印装置，利用喷印头中各喷孔之间的一自然倍数相隔距离，以达成喷印工作的最佳化。

发明内容

上述所揭示的前案中，并未完全考虑到微液滴喷印装置的多任务需求，喷印过程中喷印头与移动平台的精度不足与定位***不合适，以及因应不同待微液滴与基板的方法并无法共有一致的平台，微液滴喷印后的薄膜成型的固化与平坦性的不顺遂，也严重影响基板良率，喷印头的维护作业不彻底以及顺遂喷印头上线准备的不足，除了上述所揭示的前案，仍有其它形式的微液滴喷印装置可符合多任务需求，因而本发明提供一种可以符合多任务需求的微液滴喷印装置及方法。

本发明提供的一种微液滴喷印装置，其包含有：一喷印模块，包含一具有多个喷孔的喷印头，用以喷印微液滴，使其分布于一基板；所述喷印模块具有一姿态调整模块，用以调整所述喷印头与所述基板的平行度与距离；一运动平台模块，用以承载所述基板，使得所述基板可相对于所述喷印头移动；所述运动平台模块具有一X-Y轴运动装置以控制所述基版的移动，另具有一旋转模块位于所述X-Y轴运动装置上，以控制所述基版的旋转；一影像检测模块，用以检测所述喷印模块与所述基板的相对位置与所述喷印模块的喷印状况；以及一温度控制模块，设置于所述运动平台模块，用以控制所述基板表面温度。

本发明提供的另一微液滴喷印装置，其包含有：一喷印模块，包含一具有多个喷孔的喷印头，用以喷印微液滴，使其分布于一基板；一喷印头维护模块，具有一冲洗保湿本体，用以维护所述喷印头，一运动平台模块，用以承载所述基板，使得所述基板可相对于所述喷印头移动；一影像检测模块，用以检测所述喷印模块与所述基板的相对位置与喷印状况；以及一温度控制模块，设置于所述运动平台模块，用以控制所述基板表面温度。其中所述喷印头维护模块包含有：一封盖，设置于所述冲洗保湿本体，以覆盖所述喷印头；一冲洗槽，设置于所述冲洗保湿本体，以一溶剂冲洗清洁所述喷孔；一疏孔体，呈带状并接触于所述喷印头，以吸收所述喷印头中残留的微液滴及溶剂；以及一移动模块，用以移动所述疏孔体，使所述疏孔体持续接触所述喷印头。

本发明还提供一种微液滴喷印方法，其包含有下列步骤：维护一具有多个喷孔的喷印头；检测所述喷印头与欲微液滴喷印的一基板间的相对位置；调控所述基板的表面温度，以使所述基板与一欲喷印的所述微液滴达到温度均匀；以及喷印所述微液滴于所述基板。

根据本发明所揭示的微液滴喷印装置及方法，其具整合性的多任务平台架构，可取代原有的网版印刷、旋转涂布与光罩的繁复方法，而缩短微组件的方法时间，提高作业效率，同时兼顾喷印后的基板检测与喷头维护与观测的需求，并且通过加热、冷却和隔热的设计，以达到均匀温控的效果，从而能够改善微液滴喷印后薄膜成型的平坦性，配合不同基板方法的需求，此外也可以使用各种不同的微液滴，达到平台的使用功能一致性。

为了让本发明的上述和其它特征与优点更明显易懂，下文特举实施例，并配合附图，作详细说明。

附图说明

图1为实施例的外观示意图；

图2为实施例的运动平台模块结构示意图；

图3为实施例的温度控制模块结构示意图；

图4为实施例的喷印模块结构示意图；

图5为实施例的影像检测模块结构示意图；

图6为实施例的喷印头维护模块结构示意图；

图7为实施例的喷印头储存模块结构示意图；

图8为实施例的供应模块供应情况示意图；

图9为实施例的喷印头维护模块中吸收模块运作原理示意图；

图10为实施例的喷印头维护模块中吸收模块结构示意图；

图11为实施例的喷孔排列状态图；

图12为实施例的喷印头维护模块结构示意图；

图13为实施例的步骤方法示意图；以及

图14为实施例的喷印头维护步骤示意图。

其中，附图标记：

10  微液滴喷印装置

100 基座

200  支撑架

300  龙门架

400  运动平台模块

500  喷印模块

401、501X轴基座

402、502X轴线性马达

403、503X轴线性导引件

404、504X轴线性编码器

411  Y轴基座

412  Y轴线性马达

413  Y轴线性导引件

414、703Y轴线性编码器

421  步进马达模块

422  Θ旋转模块

430  平台模块

441  加热组件

442  热电耦

443  冷却模块

444  冷却切换器

445  加热切换器

450  温度控制模块

451  平板层

452  冷却层

453  隔热层

454  温控层

455  挟持层

511、701步进马达

512  轴承座

513  滚珠螺杆

514、604调整座

515  Z轴线性编码器

521  步进马达模块

522  谐和传动器

530  姿态调整模块

540  喷印头模块

541  喷印头

542  喷孔

600  影像检测模块

601  电荷耦合组件

602  镜头

603  光源模块

700  喷印头维护模块

701  步进马达

703  Y轴线性编码器

710  冲洗保湿模块

711  冲洗槽

712  封盖

713  冲洗保湿本体

720  吸收模块

721  疏孔体

722  承载件

723  移动模块

724  皮带轮

725  第一滚子

726  第二滚子

727  旋转编码器

728  固定旋钮

729  推压件

732  闪频观测器

800  喷印头储存模块

801  储存本体

802  储存封盖

803  储存清洗体

900  供应模块

901  微液滴供应源

902  清洗液供应源

903  供应切换开关

904  贮槽

905  微液滴调节单元

906  气泡去除单元

907  温度控制单元

908  压力控制单元

910  节流阀

911  压力切换开关

912  缓冲单元

具体实施方式

根据本发明所揭示的微液滴喷印装置及方法，此所指的微液滴喷印装置及方法可应用于印刷电路板，然而并不仅限于印刷电路板，诸如彩色滤光片、有机薄膜晶体管、高分子有机发光二极管、生物芯片等可通过微液滴喷印制作的微组件也可应用本发明所揭示的技术。

请参照图1所示，图示中为本发明的微液滴喷印装置10，其包含有基座100、支撑架200、龙门架300、运动平台模块400、喷印模块500、影像检测模块600、喷印头维护模块700、喷印头储存模块800，以共同达成本微液滴喷印的目的。

请参照图2所示，图示中为运动平台模块400，在确保喷印的精度下，运动平台模块400可移动基板以达到喷印到位，其包含有一X-Y轴运动装置，其X轴基座401以承载X轴线性马达402、X轴线性导引件403与X轴线性编码器404，X轴线性编码器404可控制X轴位移的所需精度，以共同达成平台模块430的X方向位移，另有Y轴基座411以承载Y轴线性马达412、Y轴线性导引件413与Y轴线性编码器414，Y轴线性编码器414可控制Y轴位移的所需精度，以共同达成平台模块430的Y方向位移。另有一Θ旋转模块422位于X-Y轴运动装置上，在Θ方向转角的方式，通过步进马达模块421转换到Θ旋转模块422上，作为小角度的调整，平台模块430位于Θ旋转模块422之上以承载基板，运动平台模块400设有加热组件441与热电耦442一同进行控温的操作，可以视基板方法的所需，而对基板进行加热、冷冻、隔热与冷却的情况。

请参照图3所示，图示中为温度控制模块450，设置于运动平台模块400的平台模块430上，其由五层结构所依序组成，温度控制模块450包含有平板层451、冷却层452、隔热层453(为硅酸钙板材质)、温控层454与挟持层455(为工具钢材质，SKD11)，挟持层455且以真空方式吸附基板，使得基板能被承载于挟持层，而为了保持高精确性的温度控制，温控层454还结合有加热组件441，加热组件441可任选为电热棒、红外线与陶瓷加热器其中之一，且可由复数组的大功率加热组件与小功率加热组件所组成，加热组件441通过加热切换器445来达到均匀加温，以及冷却模块443供以降温与冷却用途，冷却模块443可任选为水冷式模块、气冷式模块与热电芯片其中之一，此外，基板可通过接触式的温度测量组件测量温度，因此运动平台模块400处于加热状态时，依据温度测量结果，加热切换器445会缓调加热组件441以逐渐增温，同时，冷却切换器444会切换冷却模块443到位于隔热层453下方的冷却层452，隔热层453即用以防止热传递，确实达到升温加热效果，若运动平台模块400处于降温状态时，加热切换器445会缓调加热组件441以逐渐降温，同时，冷却切换器444会切换冷却模块443到温控层454，供作温度降低用途。

请参照图4所示，图示中为喷印模块500，其包含有X轴基座501以承载X轴线性马达502与X轴线性导引件503与X轴线性编码器504，X轴线性编码器504可控制X轴位移的所需精度，以共同达成喷印头模块540的X方向位移，另有Z轴步进马达511以调整喷印头模块540与基板之间的距离，Z轴步进马达511通过轴承座512、滚珠螺杆513、与调整座514以进行喷印头模块540的Z方向位移，而Z轴线性编码器515可控制Z轴位移的所需精度，此外喷印头模块540包含有喷印头541与多个喷孔542，其中喷印头541的角度旋转上通过步进马达模块521与谐和传动器522来完成功能，另为了确保喷印头541与基板之间的平行度，以及距离不致过近与过远，喷印头541上设置有姿态调整模块530，姿态调整模块530可以光学影像的方式(如雷射位移计)来侦测喷印头541与基板间的平行状态与距离，以达到更加精确喷印的功能。

请参照图5所示，图示中为影像检测模块600，以作喷印前的喷印头与基板间位置对正，还有喷印过程中的实时影像检测，检测基板是否有漏喷印区域以及喷印头的喷孔是否受微液滴所阻塞，其可利用电荷耦合组件(ChargeCoupled Device，CCD)601、镜头602与光源模块603来达成，且通过调整座604来调整喷点的影像清晰度，电荷耦合组件亦可替以互补式金属氧化半导体感测组件(Complementary Metal-Oxide Semiconductor，CMOS)。

请参照图6、图9、图10、图11、图12所示，图示中为喷印头维护模块700，可用来作为喷印头模块540的维护与清洁，其包含有步进马达701、Y轴线性编码器703、冲洗保湿模块710、吸收模块720与闪频观测器732，其中步进马达701以带动喷印头维护模块700作Y轴方向的移动，Y轴线性编码器703可作进一步的精确定位，而冲洗保湿模块710还包含有冲洗槽711、封盖712与冲洗保湿本体713，吸收模块720则包含有疏孔体721、承载件722、移动模块723、可带动移动模块723的皮带轮724、旋转编码器727、固定旋钮728与推压件729，同时喷印头维护模块700还设有闪频观测器732，用以观测喷印头541所喷印的微液滴状况。

冲洗保湿模块710中的冲洗槽711与封盖712设于冲洗保湿本体713上(如图12所示)，封盖对应于喷印头541的形状，且冲洗槽711与封盖712平行于喷孔542的排列方向，冲洗槽711中装有可清洁喷印头541的溶剂，溶剂可为与微液滴相同的液体，亦可为与微液滴主要成分相同的液体，当喷印头541有微液滴积留时，喷印头541可下降至冲洗槽711以达到清洁喷印头541的作用，而封盖712的功能在于能覆盖喷印头541，使喷印头541处于饱和蒸气的环境里，而能确保喷印头541的湿润，利于喷印头541的上线准备，亦可于封盖712处加装真空泵(Vacuum Pump)，用以产生真空吸力，在喷印头541发生微液滴积留而造成喷印头541阻塞时，可将阻塞物吸出使喷印头541以恢复正常动作，另外喷印头541中的喷孔542排列成一直线(如图11所示)，所以冲洗槽711以及封盖712平行于喷孔542的排列方向。

在喷印头541经过冲洗或封盖抽吸的过程后，需要吸收模块720来使喷印头541保持干燥，并将喷印头541上的残余微液滴或溶剂除去，因此吸收模块720设于吸收模块710的附近，吸收模块720中的疏孔体721可接触于喷印头541，疏孔体721类似录音卡匣中磁带的卷动动作，且疏孔体721可任选为多孔性材质与高分子材质其中之一，所以能够吸收喷印头541中残余微液滴或溶剂(如图10所示)，移动模块723包括有第一滚子725与第二滚子726，由于疏孔体721呈带状，可卷绕于第一滚子725与第二滚子726上，卷动的方式由控制器控制马达经皮带轮724将动力传动到第一滚子725，通过带状的疏孔体721带动第二滚子726转动，因而使得疏孔体721通过第一滚子725与第二滚子726的卷动而能移动疏孔体721，疏孔体721上尚未吸收的干燥的部分，可以持续与喷印头541保持接触，致能保持吸收的功能(如图9所示)，另外，也可以旋转编码器727来计算疏孔体721的使用长度，以便决定是否进行疏孔体721的更换，欲更换疏孔体721时，只要将疏孔体721前后端的固定旋钮728松开，就可轻易拿开来进行更换，疏孔体721的材质可为多孔性材质与高分子材质，疏孔体721用其含有微小流道，而毛细力使得微液滴被引流导引流出，可以补充喷孔542表面的饱和蒸气压使喷孔542挥发性降低外，毛细力所造成的微小压力差，会对喷孔542造成潜流(Creep Flow)，将微小的粒子引流导出，使喷印头541具有自吸(Priming)的功能。

吸收模块720还可设置承载件722与推压件729，推压件729可提供疏孔体721一侧的压掣力，以使疏孔体721维持一定的张力，而承载件722可以是一种多孔性物质，承载件722设于疏孔体721另侧，当喷印头541与疏孔体721接触时，承载件722提供支撑力以支撑疏孔体721，将喷印头541下降，使疏孔体721与喷印头541接触更紧密，接触造成的压力差将使得引流的速度加快，因而使得疏孔体721将残留微液滴与溶剂清除干净。

请参照图7所示，图示中为喷印头储存模块800，用以考虑到使用不同的微液滴时，可置换微液滴与提供喷印头541清洗之用，其可分成容易拿取与放置的储存本体801、储存封盖802与储存清洗体803，另一当作预备用途的喷印头模块540则放置于其上。

请参照图8所示，图示中为供应模块900，用以控制微液滴的供应情况，以便喷印头模块540赖以喷印的微液滴能有适当的工作条件来配合方法所需。

供应模块900包含有微液滴供应源901，来作为喷印的供应来源，以及清洗液供应源902来提供喷印头541的清洗用途，另外，端视喷印头541的工作所需，供应切换开关903可切换控制微液滴与清洗液的供应，贮槽904维持微量的微液滴来接近喷印头541，使得供应模块900能够对贮槽904里的微液滴进行精确的温度与压力控制，同时，用微液滴调节单元905侦测贮槽904内的微液滴容量，气泡去除单元906则去除微液滴供应源901流动到贮槽904的气泡，避免上线喷印时造成喷印头541发生驱动控制的问题，此外，喷印头541的供应模块900通过温度控制单元907与压力控制单元908来控制微液滴的所需压力与所需温度，所以在贮槽904内的微液滴温度与压力便开始分别由温度控制单元907与压力控制单元908来控制，其中温度控制单元907可配合运动平台模块400的温度控制模块450，达到要喷印的微液滴与基板之间工作条件的最佳化，而压力控制单元908通过一个具有往复运动的节流阀910来输出正压力或负压力，再通过压力切换开关911切换所输出压力，连结到一个缓冲单元912，以能通过调整压力或管线出口截面积，来保持所需压力的稳定性。

请参照图13、图14所示，首先初始化微液滴喷印装置，如喷印头541的架设(步骤101)，再来进行喷印头541的上线前维护工作(步骤102)，也就是对喷印头541进行冲洗清洁(步骤103)，将喷印头541置入冲洗槽711，冲洗槽711装有可清洁喷印头541的溶剂，再将喷印头541置于封盖712处，封盖712会确保喷印头541的湿润，并且可吸出阻塞于喷印头541的阻塞物质，接着喷印头541移至吸收模块720，利用吸收模块720中的疏孔体721以接触于喷印头541，疏孔体721可吸收喷印头541中所积留残液(步骤104)如微液滴或溶剂，以彻底清洁喷印头541，如果疏孔体721的长度不够，则必须更换疏孔体721以继续清洁喷印头541，直到清洁完毕。

开启闪频观测器732(步骤105)，检测喷印头541所喷印的微液滴状况是否正常与是否能够接受，如果发生异常，则重新执行步骤102，视情况亦可再进一步执行步骤103与步骤104，通过闪频观测器732观测到微液滴的讯号经过，可以传达给发光二极管去做闪频，以撷取瞬间的微液滴影像，而可将微液滴的大小与飞行的相对位置与速度记录下来，并且整合每个喷印头有无喷印与微液滴的相关信息。

利用影像检测模块600对基板进行初步定位，也就是将基板的喷印区域初步定位于喷印头模块540的喷孔542的下方，然后进行喷印头试喷(步骤106)，试喷乃先将一个参考指示喷孔移动至基板上的定位区上，再加以试喷，以调整喷印头541的相对位置，试喷之后，通过影像检测模块600以侦测其定位区，直至调整完毕。

利用温度控制模块450以激活温度控制(步骤107)，其可调控运动平台模块400上所承载的基板表面温度，视其基板的方法需要，加热组件441与冷却模块443会选择性地相互调制，同时也使基板在喷印后，微液滴可顺利固化成薄膜。

运动平台模块400上有Θ旋转模块422，可以小角度的调整平台模块430，同时也调整所承载基板的相对角度，喷印头541亦有谐和传动器522来完成角度调校(步骤108)，藉此基板可旋转Θ轴以达成与X-Y轴的平行，再通过影像检测模块600中的电荷耦合组件601以侦测基板状况，而辨别喷印区域以对正基准线(步骤109)。

在计算机控制端输入喷印参数(步骤110)，并操作姿态调整模块530，通过喷印头541姿态调整(步骤111)可调整喷印头541倾角，使得喷印头541与基板表面处于平行状态，以确保喷印头541与基板表面的平行度，同时可调整喷印头541与基板的距离，不致过近而损伤喷印头541或是过远而导致微液滴无法在基板上一次到位。

确认校正无误后，开始进行喷印头541的喷印微液滴(步骤112)工作，微液滴直接喷印在基板上，在完成喷印工作以便喷印头541下线维护(步骤113)以顺遂下次喷墨工作，或是更换其它微液滴以继续进行微液滴喷印工作时，喷印头541可移至喷印头储存模块800处，置入储存清洗体803或是从储存本体801置换其它待微液滴。

虽然本发明以前述的较佳实施例公开如上，然而其并非用以限定本发明，任何本领域的技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，所作出的等效变化与修改，都属于本发明的专利保护范围内。

Claims (35)

1、一种微液滴喷印装置，其特征在于，包含有：

一喷印模块，包含一具有多个喷孔的喷印头，用以喷印微液滴，使其分布于一基板；所述喷印模块具有一姿态调整模块，用以调整所述喷印头与基板的平行度与距离；

一运动平台模块，用以承载所述基板，使得所述基板可相对于所述喷印头移动；所述运动平台模块具有一X-Y轴运动装置以控制所述基版的移动，另具有一旋转模块位于所述X-Y轴运动装置上，以控制所述基版的旋转；

一影像检测模块，用以检测所述喷印模块与基板的相对位置与所述喷印模块的喷印状况；以及

一温度控制模块，设置于所述运动平台模块，用以控制所述基板表面温度。

2、如权利要求1所述的微液滴喷印装置，其特征在于，所述姿态调整模块以一雷射位移计侦测所述平行度。

3、如权利要求1所述的微液滴喷印装置，其特征在于，所述影像检测模块包含有一电荷耦合组件。

4、如权利要求1所述的微液滴喷印装置，其特征在于，所述影像检测模块还可包含有互补式金属氧化半导体感测组件。

5、如权利要求1所述的微液滴喷印装置，其特征在于，所述温度控制模块包含有：

一平板层；

一冷却层，一侧接触于所述平板层；

一隔热层，一侧接触于所述冷却层的另侧；

一温控层，结合有一加热组件，且所述温控层一侧接触于所述隔热层的另侧；

一挟持层，接触于所述温控层的另侧；

一冷却模块，可选择地结合于所述温控层；以及

一冷却切换器，用以切换所述冷却模块结合至所述冷却层，使所述运动平台模块处于一加热状态，或是切换所述冷却模块以结合至所述温控层，使所述运动平台模块处于一降温状态。

6、如权利要求5所述的微液滴喷印装置，其特征在于，所述温度控制模块还包含有一加热切换器，在所述运动平台模块处于加热状态时，所述加热切换器缓调所述加热组件以逐渐增温，或是在所述运动平台模块处于降温状态时，所述加热切换器缓调所述加热组件以逐渐降温。

7、如权利要求5所述的微液滴喷印装置，其特征在于，所述挟持层以真空方式吸附所述基板，使得所述基板承载于所述挟持层。

8、如权利要求1所述的微液滴喷印装置，其特征在于，还包含有一喷印头储存模块，用以置换所述微液滴与提供所述喷印头清洗之用。

9、如权利要求1所述的微液滴喷印装置，其特征在于，所述喷印模块具有一供应模块，用以控制所述微液滴的供应情况。

10、如权利要求9所述的微液滴喷印装置，其特征在于，所述供应模块可包含有一压力控制单元与一温度控制单元，用以控制所述微液滴的所需压力与所需温度。

11、一种微液滴喷印装置，其包含有：

一喷印模块，包含一具有多个喷孔的喷印头，用以喷印微液滴，使其分布于一基板；

一喷印头维护模块，具有一冲洗保湿本体，用以维护所述喷印头；

一运动平台模块，用以承载所述基板，使得所述基板可相对于所述喷印头移动；

一影像检测模块，用以检测所述喷印模块与所述基板的相对位置与喷印状况；以及

一温度控制模块，设置于所述运动平台模块，用以控制所述基板表面温度；

其中，所述喷印头维护模块包含有：

一封盖，设置于所述冲洗保湿本体，以覆盖所述喷印头；

一冲洗槽，设置于所述冲洗保湿本体，以一溶剂冲洗清洁所述喷孔；

一疏孔体，呈带状并接触于所述喷印头，以吸收所述喷印头中残留的微液滴及溶剂；以及

一移动模块，用以移动所述疏孔体，使所述疏孔体持续接触所述喷印头。

12、如权利要求11所述的微液滴喷印装置，其特征在于，所述喷印模块可包含有一姿态调整模块，用以调整所述喷印头与所述基板的一平行度与一距离。

13、如权利要求12所述的微液滴喷印装置，其特征在于，所述姿态调整模块以一雷射位移计侦测所述平行度。

14、如权利要求11所述的微液滴喷印装置，其特征在于，所述封盖对应于所述喷印头的形状，且平行于所述喷孔的排列方向。

15、如权利要求11所述的微液滴喷印装置，其特征在于，所述冲洗槽平行于所述喷孔的排列方向。

16、如权利要求11所述的微液滴喷印装置，其特征在于，所述溶剂可为一与所述微液滴主要成分相同的液体。

17、如权利要求11所述的微液滴喷印装置，其特征在于，所述移动模块具有一第一滚子与一第二滚子，且所述疏孔体卷绕于所述第一滚子及所述第二滚子，所述疏孔体通过所述第一滚子与所述第二滚子的卷动而移动。

18、如权利要求11所述的微液滴喷印装置，其特征在于，所述疏孔体一侧可接触有一推压件，所述推压件提供一压掣力于所述疏孔体，以使所述疏孔体维持一张力。

19、如权利要求18所述的微液滴喷印装置，其特征在于，所述疏孔体侧可接触有一承载件，所述承载件提供一支撑力于所述疏孔体，以使所述疏孔体紧密接触所述喷印头。

20、如权利要求19所述的微液滴喷印装置，其特征在于，所述承载件为一多孔性材质。

21、如权利要求11所述的微液滴喷印装置，其特征在于，所述影像检测模块包含有一电荷耦合组件。

22、如权利要求11所述的微液滴喷印装置，其特征在于，所述影像检测模块还可包含有互补式金属氧化半导体感测组件。

23、如权利要求11所述的微液滴喷印装置，其特征在于，所述基板可通过一接触式的温度测量组件测量温度。

24、如权利要求11所述的微液滴喷印装置，其特征在于，所述温度控制模块包含有：

一平板层；

一冷却层，一侧接触于所述平板层；

一隔热层，一侧接触于所述冷却层的另侧；

一温控层，结合有一加热组件，且所述温控层一侧接触于所述隔热层的另侧；

一挟持层，接触于所述温控层的另侧；

一冷却模块，可选择地结合于所述温控层；以及

一冷却切换器，用以切换所述冷却模块结合至所述冷却层，使所述运动平台模块处于一加热状态，或是切换所述冷却模块以结合至所述温控层，使所述运动平台模块处于一降温状态。

25、如权利要求24所述的微液滴喷印装置，其特征在于，所述温度控制模块还包含有一加热切换器，在所述运动平台模块处于加热状态时，所述加热切换器缓调所述加热组件以逐渐增温，或是在所述运动平台模块处于降温状态时，所述加热切换器缓调所述加热组件以逐渐降温。

26、如权利要求24所述的微液滴喷印装置，其特征在于，所述挟持层以真空方式吸附所述基板，使得所述基板承载于所述挟持层。

27、如权利要求11所述的微液滴喷印装置，其特征在于，还包含有一喷印头储存模块，用以置换所述微液滴与提供所述喷印头清洗之用。

28、如权利要求11所述的微液滴喷印装置，其特征在于，所述喷印模块具有一供应模块，用以控制所述微液滴的供应情况。

29、如权利要求28所述的微液滴喷印装置，其特征在于，所述供应模块可包含有一压力控制单元与一温度控制单元，用以控制所述微液滴的所需压力与所需温度。

30、一种微液滴喷印方法，其包含有下列步骤：

维护一具有多个喷孔的喷印头；

检测所述喷印头与欲微液滴喷印的一基板间的相对位置；

调控所述基板的表面温度，以使所述基板与一欲喷印的所述微液滴达到温度均匀；以及

喷印所述微液滴于所述基板。

31、如权利要求30所述的微液滴喷印方法，其特征在于，所述维护一具有多个喷孔的喷印头的步骤，包含有用以冲洗清洁所述喷印头与吸收所述喷孔所残留的所述微液滴。

32、如权利要求30所述的微液滴喷印方法，其特征在于，所述检测所述喷印头与欲微液滴喷印的一基板间的相对位置的步骤，初步定位所述基板的一喷印区域于所述喷印头之下，并试喷所述喷印头，并将一参考指示喷孔移动至所述基板上的一定位区，以调整所述喷印头与所述基板间的相对位置。

33、如权利要求30所述的微液滴喷印方法，其特征在于，所述喷印所述微液滴于所述基板之前，还包含有所述喷印头的一姿态调整步骤。

34、如权利要求33所述的微液滴喷印方法，其特征在于，所述姿态调整步骤，通过一光学影像方式加以侦测。

35、如权利要求30所述的微液滴喷印方法，其特征在于，所述调控所述基板的表面温度，通过一接触式的温度测量组件来测量温度。

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