CN1539648A - 液滴喷出装置及液滴喷出方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种液滴喷出装置及液滴喷出方法。该装置(10)为具有：对与喷嘴连通的液室内的功能性液体加压并从喷嘴喷出功能性液体的喷头(34)、具有配置多个喷头(34)的开口部(51a)的安装板(51)、贮存从喷头(34)喷出的功能性液体的储液箱、和从该储液箱向喷头(34)供给功能性液体的液体供给通路的液滴喷出装置，其特征在于，在与喷出功能性液体时相同的温度条件下，将多个喷头(34)配置在安装板(51)的开口部(51a)。由此，在具有喷出润滑油、树脂等高粘度功能性液体的多喷头构造的喷墨装置中，在为了恰当地喷出高粘度液体而进行喷头部的加热时，可以抑制因热膨胀等热变形而引起的组装精度、及高粘度液体的喷出精度的降低。

Description

液滴喷出装置及液滴喷出方法
技术领域
本发明涉及液滴喷出装置及喷出方法。
背景技术
近年来，作为布线图案等的图案构成方法，喷墨方式(液滴喷出方式)已为人们熟知。所谓喷墨方式即以喷墨打印机而闻名的印刷技术，将喷墨装置(液滴喷出装置)的喷头内装入的油墨材料的液滴由喷头喷到基板上附着的技术。由于依靠这种喷墨方式能够准确地将油墨材料喷出到微小的区域中，不用光刻法即可将油墨材料的液滴直接附着在所希望的区域。因此，不会产生材料的浪费，降低了生产成本，为一种极其合理的方法。
关于这种喷墨装置，提出了一种具有多个喷头并排组成的多喷头构造，可以实现精密的喷墨描绘的技术方案(如参照专利文献1)。关于这种多喷头构造，提出了一种需要精密地调准喷头间的相互位置关系，高精度组装多个喷头的技术方案(如参照专利文献2)。
最近，提出了一种喷出润滑油、树脂等高粘度液体(功能性液体)的喷墨式装置。这种喷墨式装置在功能性液体的流动部位，如在喷头等处设加热装置，通过加热功能性液体而降低其粘度(如参照专利文献3)。
专利文献1：特开2002-273869号公报
专利文献2：特开2001-162892号公报
专利文献3：特开2003-019790号公报
但是，即使为专利文献2中提出的精度良好地装配的多喷头构造，也会有如下的问题，即、如专利文献3中所提出的那样，加热喷头等流动高粘度液体的部位，则由于热膨胀等热变形，会使保持喷头的部件或喷头本身发生变形，各个喷头间的间距发生偏差，不能够维持最初的较高的组装精度。在此种状态下，从喷头喷出高粘度液体时，从该喷头喷出的高粘度液体的着落位置会产生误差，因此就产生了高粘度液体的液滴不能够准确地喷到细微领域的问题。
发明内容
本发明是在考虑了上述的情况后进行的，目的在于提供一种在具有喷出润滑油、树脂等高粘度功能性液体的多喷头构造的喷墨式装置中，在为正确喷出高粘度液体而在喷头部位进行加热时，抑制因热膨胀等热变形而引起的组装精度及高粘度液体的喷出精度的降低的液滴喷出装置及液滴喷出的方法。
为达到上述目的，本发明采用了以下手段。
即、本发明的液滴喷出装置具有对与喷嘴相连的液室内的功能性液体加压并由喷嘴喷出功能性液体的喷头、具有配置多个喷头的开口部的安装板、贮存由喷头喷出的功能性液体的储液箱、和从该储液箱向喷头供给功能性液体的的供给通路，其特征是在与喷出功能性液体时相同的温度条件下，将多个喷头配置于安装板的开口部。
此处，所谓“功能性液体”是指润滑油、树脂、液晶等高粘度液体。
所谓“多个喷头”是指多喷头构造。在本发明中，通过在安装板的开口部等间隔地配置多个喷头而构成多喷头构造。
所谓“喷出功能性液体的喷头”是指具有用于提高高粘度功能性液体的流动性加热装置的喷头。也就是通过加热装置对功能性液体的加热，使得功能性液体的粘度降低，不阻塞在喷头内而从喷嘴喷出。
根据本发明，以与喷出功能性液体时相同的温度、即喷头加热状态下的温度，将多个喷头配置在安装板的开口部，所以不会产生因温度变化而引起的安装板和喷头的膨胀及收缩。因此，通过以高精度的位置关系固定喷头和开口部，能够在保持该精度的状态下喷出功能性液体。并且，由于这样喷出的高粘度液体的着落位置不产生误差，因而可以在细微的区域准确的喷出将高粘度液体。
另外，本发明是如前所述的液滴喷出装置，其特征是安装板具有加热该安装板的加热装置。这里，作为加热装置采用了由镍铬丝等组成的电热器、使温水等液体在管内流动的冷却器等。而且优选此加热装置可安置在安装板内部或安装板外部。
依据本发明，由于安装板装备有加热装置，所以在加热安装板自身的同时也加热了喷头。因而同前述的液滴喷出装置具有同样的效果，而且能够保持安装板和喷头在同一个温度上。
并且，进而设置附设在上述加热装置上、监视安装板的温度的温度监视装置，和根据温度监视装置的监视结果控制上述加热装置的控制装置，从而可以将安装板及喷头控制在规定的温度上。
本发明是如前所述的液滴喷出装置，其特征是具有检测喷头的喷嘴的检测装置、测定至少2个喷嘴间距的测定装置、根据该测定装置的测定结果相对移动喷头和安装板的驱动装置、以及将喷头嵌入安装板的开口部的嵌入装置。
这里，所谓检测装置是指CCD等摄像装置。
另外，所谓测定装置是指以检测装置检测出的图像数据为依据进行图像处理等的运算，算出至少两个喷嘴的间距的计算机等。
另外，所谓驱动装置是指具有利用线性电动机等在直线方向驱动的驱动装置、或利用步进电动机沿旋转轴方向驱动的驱动装置中的任何一种而构成的装置。例如采用将可沿平面(x、y方向)移动的驱动装置和可在垂直于平面(x、y方向)的方向(z方向)旋转的驱动装置组合的驱动装置。
所谓嵌入装置是指如从垂直于安装板的平面的方向将喷头嵌入开口部的装置。在嵌入该喷头时，通过移动安装板或喷头进行。
根据本发明，检测多个喷头的喷嘴、测定其喷嘴的间距、使喷头配置在规定的开口部的位置、将喷头嵌入安装板的开口部。所以与前面所述的液滴喷出装置具有相同的效果，同时能够以高精度的喷嘴间距配置多个喷头。
本发明是如前所述的液滴喷出装置，其特征是具有控制检测装置、测定装置、驱动装置和嵌入装置，使多个喷头间的喷嘴的间距相等的控制装置。
这里，控制装置由例如计算机构成。
依据本发明，与前面所述的液滴喷出装置具有同样的效果，同时能够自动且高精度地将喷头配置在安装板的开口部。
本发明是如前所述的液滴喷出装置，其特征是多个喷头用粘接剂固定于安装板的开口部。
这里，所谓粘接剂优选耐热性能出色的材料、优选由不因温度的变化而产生膨胀或收缩的材料组成。
依据本发明，与前面所述的液滴喷出装置具有同样的效果，同时可固定多个喷头和安装板的开口部。而且，对使用粘接剂的情况、和使用螺钉等紧固部件的情况进行比较，则使用粘结剂能够不产生因紧固力而引起的喷头和安装板的接合部的变形，而将喷头同安装板固定起来。
另外，本发明的液滴喷出方法是向配置在安装板的开口部的多个喷头供给功能性液体，对该喷头的液室内的功能性液体加压，从与液室连通的喷嘴喷出功能性液体的液滴喷出方法，其特征是，在与喷出功能性液体时相同的温度条件下，将多个喷头配置在安装板的开口部。
依据本发明，以与喷出功能性液体时相同的温度、即喷头加热状态下的温度，将多个喷头配置在安装板的开口部，所以不会产生因温度变化而引起的安装板和喷头的膨胀及收缩。因此，通过以高精度的位置关系固定喷头和开口部，能够在保持该精度的状态下喷出功能性液体。并且，由于这样喷出的高粘度液体的着落位置不产生误差，因而可以在细微的区域准确的喷出将高粘度液体。
本发明是前面所述的液滴喷出方法，其特征是在加热安装板的状态下将多个喷头配置在安装板的开口部。
依据本发明，与前面所述的液滴喷出装置具有同样的效果，同时能够将安装板自身和喷头保持在同一温度上。
并且，如上所述，不仅加热安装板，而且进而具有监视安装板的温度的监视工序、和根据温度监视装置的监视结果控制上述加热装置的温度控制工序，由此可将安装板及喷头控制在规定的温度。
本发明是前面所述的液滴喷出方法，其特征是具有检测多个喷头的喷嘴的工序、测定该喷嘴的间距的工序、相对移动喷头和安装板的工序、将喷头嵌入安装板的开口部的工序，并使喷头间的喷嘴的间距相等。
依据本发明，检测多个喷头的喷嘴、测定该喷嘴间距、将喷头配置在规定的开口部的位置、并将喷头嵌入安装板的开口部。所以与前面所述的液滴喷出方法具有同样的效果，同时能够以高精度的喷头间距配置多个喷头。
本发明是前面所述的液滴喷出方法，其特征是自动进行检测喷嘴的工序、测定喷嘴间距的工序、相对移动喷头和安装板的工序、嵌入喷头工序。
依据本发明，与前面所述的液滴喷出方法具有同样的效果，同时能够自动且高精度地将喷头配置在安装板的开口部。
本发明是前面所述的液滴喷出方法，其特征是通过涂敷粘接剂，将多个喷头固定于安装板的开口部。
依据本发明，与前面所述的液滴喷出方法具有同样的效果，同时可固定多个喷头和安装板的开口部。而且，对使用粘接剂的情况、和使用螺钉等紧固部件的情况进行比较，则使用粘结剂能够不产生因紧固力而引起的喷头和安装板的接合部的变形，而将喷头同安装板固定起来。
附图说明
图1是表示本发明的液滴喷出装置的实施方式的一例的模式图。
图2是表示头单元21的俯视图及剖视图。
图3是构成液滴喷出装置的一部分的校准装置的立体图。
图4是用于说明基于压电方式的液状材料的喷出原理的图。
图5是表示喷头组的主要部位的俯视图。
图6是表示使用液滴喷出装置制造的液晶显示装置的剖视图。
图7是表示使用液滴喷出装置制造的液晶显示装置的俯视图。
图8是模式化地表示液晶显示装置的制造工序的图
图9是表示具有液晶显示装置的电子设备的图。
图中：10-液滴喷出装置，23-控制装置，26-储液箱，27-液体供给通路，31-液室，34-喷头，51-安装板，51a-开口部，52-粘接剂，53-加热器(加热装置)，56-摄像装置(检测装置)，57-测定器(测定装置)，58-驱动装置，59-嵌入机构(嵌入装置)，240-液晶材料(功能性液体)，N-喷嘴组(喷嘴)。
具体实施方式
以下参照附图说明本发明的实施方式。
图1是表示本发明的液滴喷出装置的实施方式的一例的模式图。
图1中，液滴喷出装置10具有：底座112，设置在底座112上、支撑基板20的基板台22，位于底座112和基板台22之间、可移动地支撑基板台22的第1移动装置(移动装置)114，可向由基板台22支撑的基板20喷出处理液体的头单元21，可移动地支撑头单元21的第2移动装置116，贮存液晶材料等功能性液体的储液箱26，将该功能性液体供给至头单元21的液体供给通路27，控制头单元21的液滴喷出动作的控制装置23，以及校准装置100(在后面说明)。另外，液滴喷出装置10具有设置在底座112上的作为重量测定装置的电子天平(未图示)、压盖单元25及净化单元24。而且，包括第一移动装置114和第二移动装置116的液滴喷出装置10的动作，通过控制装置23控制。
第一移动装置114设置在底座112上，沿Y方向定位。第二移动装置116利用支柱16A、16A竖立安装在底座112上，安装在底座112的后部12A。第二移动装置的116的X方向(第2方向)是和第1移动装置的Y方向(第1方向)垂直的方向。此处Y方向是沿底座112的前部12B和后部12A的方向。与此相对，X方向是沿着底座112的左右方向的方向。二者均为水平方向。Z方向是垂直于X方向及Y方向的方向。
第1移动装置114例如由线性电动机构成，具有导轨140、140和可沿该导轨140移动地设置的滑块142。这种线性电动机形式的第1移动装置114的滑块142可沿导轨140向Y方向移动并定位。
滑块142具有Z轴(θZ)用的电动机144。该电动机144为例如直接驱动电动机，电动机144的转子固定在基板台22上。由此，电动机144通电后，转子和基板台22可沿θZ方向旋转，将基板台22进行分度(旋转分度)。即第1移动装置114可沿Y方向(第1方向)及θZ方向移动基板台22。
基板台22保持基板20并在规定的位置上定位。而且基板台22具有未图示的吸附保持装置，通过吸附保持装置动作，透过基板台22上的孔46A将基板20在基板台上吸附保持。
第2移动装置116由线性电动机构成，具有固定在支撑柱16A、16A上的横架16B，支撑在该横架16B上的导轨62A，以及可沿导轨62A向X方向移动地支撑的滑块160。滑块160可沿导轨62A向X方向移动并定位，头单元21安装在滑块160上。
头单元21具有作为摇摆定位装置的电动机62、64、67和68。电动机62动作，则头单元21可沿Z轴上下运动并定位。该Z轴是与X轴和Y轴呈直交的方向(上下方向)。电动机64动作，则头单元21可沿Y轴的β方向摇摆并定位。电动机67动作，则头单元21可沿X轴旋转的γ方向摇摆并定位。电动机68动作，则头单元21可沿Z轴的α方向摇摆并定位。即第2移动装置116可在X方向(第1方向)及Z方向移动地支持头单元21，同时可在θX方向、θY方向、θZ方向移动地支撑该头单元21。
这样，图1中的头单元21在滑块160上，在沿Z轴方向直线移动并定位，可沿α、β、γ摇摆并定位，头单元21的液滴喷出面11P能够相对于基板台22一侧的基板20正确地控制其位置或姿势。
图2(a)是从图1的基板20一侧观察的头单元21的俯视图、即表示具有多个喷头34……的喷头组50的底面的图。图2(b)是表示图2(a)任意位置的截面的图、为安装板51和喷头34的剖视图。
如图2(a)所示，本例的头单元21由矩形的安装板51和在该安装板51上将喷头34以每列6个排成两列、共12个配置并保持固定的喷头组50组成。这些喷头34……通常按规定角度倾斜配置，由此缩短喷嘴间的外观上的间隔，使得喷出间隔更小以提高喷出精度。另外，该喷头组50的尺寸与大型基板相对应，所以基本上不沿图1所示的X轴方向移动，而仅基板沿图1所示的Y轴方向移动。但是，基板是超过了其打印宽度的大型板，在上面进行涂敷时，要进行向X方向的移动(改行动作)。
如图2(b)所示，喷头34的一部分嵌入安装板51的开口部51a内，由粘接剂52将喷头34固定在安装板51上。喷头加热器34a以覆盖喷头34的方式设置，当喷出高粘度液体时，喷头加热器34a加热喷头34，将高粘度液体低粘度化，促进其流动。而且在安装板51中埋设了加热器(加热装置)53。加热器53利用由加热器电源54提供的电力加热安装板51。安装板51内设置有测定温度的温度传感器(温度监视装置)55。温度传感器55与控制装置23相连接。即根据温度传感器55的检测结果，控制装置23调控加热电源54对加热器53的供电。
图3是表示构成图1的液滴喷出装置的一部分的校准装置100的立体图。该校准装置100将喷头34嵌入安装板51开口部51a中的同时，调整喷头34的位置。
校准装置100由摄像装置(检测装置)56、测定器(测定装置)57、驱动装置58以及嵌入机构(嵌入装置)59构成。
摄像装置56由CCD、CMOS等的传感器构成。从安装板51的上方对开口部51a进行摄像。
测定器57以利用摄像装置56拍摄的图像数据为依据进行图像处理计算，得出喷头的喷嘴之间的间距。
驱动装置58驱使嵌入机构59和安装板51相对移动，进行嵌入机构59的定位。它具有沿X方向直行驱动的X轴驱动部58X、在Y方向直行驱动的Y轴驱动部58Y以及绕Z轴旋转驱动的θZ轴驱动部58θZ。
嵌入机构59在Z轴方向伸缩自如地构成，将搭载在嵌入机构59上的喷头34嵌入安装板51的开口部51a。
测定器57、驱动装置58和嵌入机构59由控制装置23来控制，以通过摄像装置56拍摄的图像数据为依据，在所希望的位置将喷头34嵌入开口部51a。
而且校准装置100具有粘接剂涂敷机构52a，该机构将粘接剂52涂敷在开口部51a和喷头34的边界附近。粘接剂涂敷机构52a通过粘接剂涂敷喷嘴52b将粘接剂52涂敷在所需要的位置。
返回图1，头单元21(喷头组50)通过所谓的液滴喷出方式将液晶材料(功能性液体)等从喷嘴喷出。作为液滴喷出方式，可以应用利用作为压电体元件的压电元件喷墨的压电方式，通过加热液体材料而产生的气泡喷出液体材料的方式等公知的各种技术。其中由于压电方式对液体不加热，具有不影响其材料的构成的优点，本实施例使用上述的压电方式。
图4是说明基于压电方式的液体材料的喷出原理的图。图4中，与容纳液体材料的液室31相邻设置着压电元件32，由包括容纳液体材料的储液箱在内的液体输送装置35将液体材料送往液室31。压电元件32和驱动电路33相连，通过此驱动电路33给压电元件32施加电压。通过使压电元件32产生变形，液室31发生变形，液体材料从喷嘴30喷出。此时，通过使施加的电压值变化，控制压电元件32的变形量；通过使施加电压的频率变化，控制压电元件32变形速度。即、头单元21通过对压电元件32的施加电压的控制，来进行由喷嘴30喷出的液体材料的控制。
此外，在本实施例中，如上所述实现液晶材料等高粘度液体材料的低粘度化的喷头加热器34a配置在喷头34的周围。
返回图1，没有在附图中标示的电子天平为测定从头单元21的喷嘴喷出的一滴液滴的重量并对其管理，例如从头单元21的喷嘴接受5000滴的液滴。电子天平将这5000滴液滴的重量除以5000，从而能准确地测定一滴液滴的重量。根据该液滴的测定量可以最恰当的控制从头单元21喷出的液滴的量。
净化单元24能够在器件制造过程中以及待机时定期或随时对头单元21的喷嘴等进行清洗。压盖单元25是为保持头单元21的液滴喷出面11P不致干燥，在不进行器件制造时以及待机时给液滴喷出表面11P加盖。
头单元21通过依靠第2移动装置116沿X方向移动，能使头单元21在电子天平、净化单元24或压盖单元25的上部选择性地进行定位。也就是说，即使在器件制造过程当中，如果将头单元21移动至例如电子天平一侧，就可测定液滴的重量。将头单元21移动至净化单元24上就可进行头单元21的清洗。将头单元21移动至压盖单元25上，就可在头单元21的液滴喷出面11P上加盖防止干燥。
也就是说，这些电子天平、净化单元24及压盖单元25位于底座112上方的后端部一侧，在头单元21的移动途径的正下方处，与基板台22隔开设置。由于基板20向基板台22上供应材料的作业和排出材料的作业在底座112的前端一侧进行，所以这些电子天平、净化单元24或者压盖单元25不会对作业造成妨碍。
如图1所示，在基板台22上除支撑基板20的部分之外的部分，与净化单元24分开设置有用于头单元21排弃喷出或者试喷出(预喷出)液滴的预喷出区域152。如图1所示，该预喷出区域152在基板台22的后端部一侧沿X方向设置。该预喷出区域152固定在基板台22上，由上方开口的截面呈凹字形的承受部件、和更换自如地设置在承受部件的凹部、吸收喷出的液滴的吸收材料构成。
储液箱26和液体供给通路27配有加热装置。该加热装置具有预先加热由喷头34喷出的液晶材料等功能性液体，并进行保温的功能。因此，液晶材料等功能性液体以呈良好的低粘度化的状态在喷头34中流动。
基板20可以使用玻璃基板、硅基板、石英基板、陶瓷基板、金属基板、塑料基板、塑料膜基板等各种基板。而且包括在这些各种材料的基板表面上作为基底层而形成有半导体膜、金属膜、介质膜和有机膜等的基板。另外，上述的塑料材料可使用诸如聚烯烃、聚酯、聚丙烯酸酯、聚碳酸酯、聚醚磺酸、聚醚酮。
液体材料采用液晶材料，其中使用向列的液晶为宜。
并且，虽然在本实施例中对使用液滴喷出装置10喷出液晶的情况进行了说明，但也可适用于使用润滑油、树脂等高粘度液体作为液体材料的情况。
以下对本发明的液滴喷出方法进行说明。
在本例中，在向基板20喷出液滴的工序之前，先进行在安装板51的开口部51a嵌入并固定喷头34的工序，形成具有多喷头构造的头单元。
首先，加热安装板51使之达到规定的设定温度。
此处所说的规定的设定温度是指控制装置23设定的温度，此后的工序中指液晶材料喷出时的喷头34的温度。
即、如图2(b)所示，利用控制装置23控制安装板51的温度，使安装板51的温度追随设定温度。例如，在温度传感器55测定到的温度低于规定温度时，使加热器电源54接通，给加热器53供电，加热器53发热，安装板51的温度上升。另外，在温度传感器55测定到的温度高于规定温度时，加热器电源54断开，安装板51的温度下降。这样使安装板51的温度与规定温度相同地进行控制。
此外，本实施例中，控制装置23采用了切换为开状态和关状态的控制方法，但不限于此，也可以通过加热器电源54的电流调整控制安装板51的温度。
其次，在设定了上述安装板51的温度的状态下将第一喷头34嵌入开口部51a。
即如图3所示，将喷头34放置在校准装置100的嵌入机构59上。然后摄像装置56对喷头34摄像，根据拍摄的图像数据，驱动装置58相对移动搭载在嵌入机构59上的喷头34及安装板51，使嵌入机构关59位于开口部51下方。接着嵌入机构59在Z轴方向伸长，将搭载在嵌入机构59上的喷头34嵌入开口部51a。然后粘接剂涂敷机构52a通过粘接剂涂敷喷嘴52b涂敷粘接剂52，由此第一喷头34就固定于开口部51a内。
然后，在设定了上述安装板51的温度的状态下将第2及第3喷头依次嵌入开口部51a并涂敷粘接剂52。
在此，通过与上述同样地使用校准装置100将第2及第3喷头依次嵌入开口部51a，同时以高精度地保持相互间的间距的状态固定包括第1、第2及第3喷头在内的喷头组50。
以下参照图5说明具体的喷头34的固定方法。
图5为表示作为喷头组50的代表而举出的第1喷头34f、第2喷头34g及第3喷头34h的俯视图。
在固定第2喷头34g、第3喷头34h时，摄像装置56拍摄喷头34f、34g、34h分别具有的喷嘴组N中构成定位基准的基准喷嘴N1，以使测定器57测定的各基准喷嘴N1的间距t相等的方式，将第2喷头34g、第3喷头34h固定在开口部51a。
通过这样将喷头34(喷头组50)安装在安装板51上，从而完成头单元21。
本实施例中以第1喷头34f、第2喷头34g及第3喷头34h为代表进行了说明，但是其他喷头34同样地以间距t固定在开口部51a。
然后，将这样的头单元21设置在液滴喷出装置10上，进行液滴喷出工序。
在该液滴喷出工序中，储液箱26中的液晶材料通过液体供给通路27由喷头34喷出。这里，液晶材料通过储液箱26和液体供给通路27的加热装置加热至规定的温度，再由喷头34的加热器34a进一步加热，使其成为能够轻易喷出的低粘度化液体。在此状态下，根据设定在液滴喷出装置10上的电子数据图案，用前述的压电方式将液晶材料喷到基板20。这样的液滴喷出工序依靠具有多个喷头34的头单元21进行，所以按规定的间隔喷出液晶材料的液滴。该液晶材料液滴的间隔由喷头组50中的各喷头34的间距所规定，由于各喷头34的间距按相等的间隔设定，所以液晶材料的液滴的间隔也呈等间隔。
如上所述，在液滴喷出装置10中，在喷出液晶材料时喷头34的温度下将喷头34配置在安装板51的开口部51a，所以能够不会产生因温度变化而引起的膨胀或收缩地喷出液晶材料。所以，通过以高精度的位置关系固定喷头34和开口部51a，可以在保持该精度的状态下喷出液晶。而且，由于这样喷出的附着位置不产生误差，所以能够将液晶材料的液滴准确地喷到细微的区域。
并且，因为安装板51配有加热器53，所以能够在加热安装板51自身的同时加热喷头34。
并且，液滴喷出装置10配有前述的校准装置100，所以能够使基准喷嘴N1的间距相等地配置多个喷头34。
此外，由于利用控制装置23自动控制喷头34向开口部51a的嵌入以及安装板51的温度设定，所以无需手工作业，能够实现工序的效率化。
另外，通过采用粘接剂52，可以固定喷头34和开口处51，同使用螺钉等紧固部件的情况相比较，由于不产生紧固力，所以能够不产生变形，固定喷头34和开口部51a。
以下，对使用上述的液滴喷出装置10的液晶显示装置的制造方法进行说明。
图6是表示使用液滴喷出装置10制造的液晶显示装置(以下称为本液晶板)的层结构的概略状况的剖视图。图7是表示从显示面一侧看到的本液晶板的概略状况的俯视图。但省略了诸如偏光板、相位差板等本发明无需说明的成分。实际的液晶装置配有偏光板及相位差板。且各构成成分的尺寸和数据并不代表实体物。
另外，在以下的说明中，为方便起见，液晶驱动方式采用无源矩阵方式，但也可以为其它方式、例如有源矩阵方式或其他方式。
如图6和图7所示，本液晶板基本上是由间隔相对配置的一对玻璃基板、即第1基板210和第2基板220借助密封材料粘接，在由该一对基板210、220夹持、包围构成显示区域的部分的周围而形成的由密封材料230包围的单元240内设置着液晶材料241。此液晶材料241通过上述的液滴喷出装置10喷出而设置。
在第1基板210的内侧面，从基板一侧依次形成由铟锡氧化物(IndiumTin Oxide。以下简略为ITO)等透明的导电膜组成的多个条纹状的第1电极212…、以及聚酰亚胺树脂组成的取向膜211构成。第1电极212…的一边的终端从密封材料230向外侧的基板伸出而形成连接终端。在第1电极212…上形成有聚酰亚胺树脂组成的取向膜211，取向膜211按规定的方向取向处理。
在第2基板220内侧面，从基板侧依次形成对应于画素领域而按R(红)、G(绿)、B(蓝)的顺序排列的滤色器223…、隔着单元间隙在与第1电极212…相交叉的位置上形成的由ITO等透明导电材料组成的多个条纹状的第2电极222…、和聚酰亚胺树脂组成的取向膜221。第2电极222…的一边的终端从密封材料230向外侧的基板伸出而形成连接终端，取向膜211按规定的方向取向处理。
而且，在单元240内散布有抵抗外部压力、使单元间隙保持固定的间隔体42…。
在本液晶板中，在第1基板的外侧上，在整个面上设置着相位差板和偏光板，在此省略图示和说明。
本液晶板大致经过图8(a)～图8(e)所示的工序制造。
首先，如图8(a)所示，作为定向膜工序，在第1基板210的一边的面上用光刻法形成条纹状的第1电极212、212…，再在其上的构成显示区域的部分形成取向膜211，按规定方向取向。为使一边的终端成为连接终端，该第1电极212…从之后形成的密封材料伸出至外侧的基板上。
然后，如图8(b)所示，实施密封材料形成工序、间隔体散布工序和液晶材料喷出工序。
在密封材料形成工序中，采用光硬化性树脂油墨包围取向膜211，形成未硬化的密封材料230。
在间隔体散布工序中，在取向膜221上散布间隔体242。
在液晶材料喷出工序中，使用上述的液滴喷出装置10喷出液晶材料240。在此，液晶材料240是通过喷头34的加热使其成为低粘度化，不会产生喷嘴的阻塞，而喷出。而且在液晶材料240喷出时的温度条件下，喷头34通过上述的校准装置100固定在安装板51的开口处51a，所以不会产生由喷头34的膨胀而引起的误差，可以很高的喷出精度喷出液晶材料240。因此，即使在未硬化的密封材料230附近喷出液晶材料240，也不会触及到密封材料230。
此外，如图8(c)所示，虽然省略详细说明，在第2基板220的一边的面上形成滤色器223、223…，在其上面形成第2电极222…，进而在其上面，作为取向膜形成工序，在其上面形成取向膜221，按规定方向取向。为使一边的终端成为连接终端，第2电极222从在第1基板上形成的密封材料伸出至外侧的基板上。
然后，如图8(d)所示，进行贴合工序。在该工序中，在第1基板210翻转的状态下，将第1基板210和第2基板220以其各取向模211、221面向内侧的状态重叠压合。
并且，也可将第2基板220翻转进行压合。
接下来如图8(e)所示，进行密封材料硬化工序。在该工序中，从构成显示面的第1基板210的外侧面通过滤光器F1照射高压水银灯的光，靠紫外线使未硬化的密封材料230硬化。此时，同时使用光照射和加热，可进一步促进硬化，在短时间内使其达到完全硬化。
通过进行图8(a)～(e)的一系列工序，制成本液晶板。
如上所述，因使用上述液滴喷出装置喷出液晶材料240，所以可以起到与前面所述的液滴喷出装置的效果相同的效果。
以下根据图9说明装有前面所述的液晶板的电子设备的具体实例。
图9(a)是表示手机的一例的立体图。在图9(a)中，符号1000表示手机本体，符号1001表示采用了上述的液晶显示装置的显示部。
图9(b)是表示手表型电子设备的一例的立体图。在图9(b)中，符号1100表示表本体，符号1101表示采用了上述的液晶显示装置的显示部。
图9(c)是表示文字处理器、计算机等便携式信息处理装置的一例的立体图。在图9(c)中，符号1200表示信息处理装置，符号1201表示键盘等输入部，符号1202表示采用了上述的液晶显示装置的显示部，符号1203表示信息处理装置本体。
图9(a)～(c)中所示的各种电子设备均装有采用了前述的实施方式的液晶显示装置的显示部，因而可以起到与前面的实施方式的液晶显示装置相同的效果。
在制造这些电子设备时，通过将前述的实施方式的液晶显示装置组装在手机、便携式信息处理装置、手表型电子设备等各种电子设备的显示部来制造。

Claims (10)

1.一种液滴喷出装置，该装置为具有：对与喷嘴连通的液室内的功能性液体加压并从所述喷嘴喷出所述功能性液体的喷头、具有配置多个所述喷头的开口部的安装板、贮存从所述喷头喷出的所述功能性液体的储液箱、和从该储液箱向所述喷头供给所述功能性液体的液体供给通路的液滴喷出装置，其特征在于，
在与喷出所述功能性液体时大致相同的温度条件下，将所述多个喷头配置在所述安装板的所述开口部。
2.根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征在于，
所述安装板具有加热该安装板的加热装置。
3.根据权利要求1或2所述的液滴喷出装置，其特征在于，进而具有：
检测所述喷头的所述喷嘴的检测装置、
测定至少2个所述喷嘴的间距的测定装置、
根据该测定装置的测定结果相对移动所述喷头和所述安装板的驱动装置、和
将所述喷头嵌入所述安装板的所述开口部的嵌入装置。
4.根据权利要求3所述的液滴喷出装置，其特征在于，进而具有：
控制所述检测装置、所述测定装置、所述驱动装置及所述嵌入装置，使所述多个喷头间的所述喷嘴的间距相等的控制装置。
5.根据权利要求1～3的任意一项所述的液滴喷出装置，其特征在于，
所述多个喷头用粘接剂固定于所述安装板的所述开口部。
6.一种液滴喷出方法，该方法是向配置在安装板的开口部的多个喷头供给功能性液体，对该喷头的液室内的所述功能性液体加压，从与所述液室连通的所述喷嘴喷出所述功能性液体的液滴喷出方法，其特征在于，
在与喷出所述功能性液体时相同的温度条件下，将所述多个喷头配置在所述安装板的所述开口部。
7.根据权利要求6所述的液滴喷出方法，其特征在于，
在加热了所述安装板的状态下，将所述多个喷头配置在所述安装板的所述开口部。
8.根据权利要求6或7所述的液滴喷出方法，其特征在于，具有：
检测所述多个喷头的所述喷嘴的工序、
测定该喷嘴的间距的工序、
相对移动所述喷头和所述安装板的工序、和
将所述喷头嵌入所述安装板的所述开口部的工序，
并使所述喷头间的所述喷嘴的间距相等。
9.根据权利要求8所述的液滴喷出方法，其特征在于，自动进行：
检测所述喷嘴的工序、
测定所述喷嘴的间距的工序、
相对移动所述喷头和所述安装板的工序、和
嵌入所述喷头的工序。
10.根据权利要求6～8的任意一项所述的液滴喷出方法，其特征在于，
通过涂敷粘接剂，将所述多个喷头固定在所述安装板的所述开口部。
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