CN1820951A - 液滴喷出装置及液滴喷头的维护方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供可以在尽可能地将液滴喷出装置的尺寸控制得较小的同时配置维护装置，并且可以确保必需的液滴喷出位置精度的液滴喷出装置及液滴喷头的维护方法。维护单元(61、62)被配置于吸附台(19)的下方位置(待机位置)。在维护动作时，吸附台(19)向不与维护单元(61、62)干涉的位置退避，维护单元(61、62)的一方上升驱动，维护装置(44、47)或(45、46)被配置于维护位置。与其大致同步，承载架(18)移动，液滴喷头(15)被配置于与维护装置对应的给定的位置，实施液滴喷头(15)的维护(加帽或清洁)。维护装置(44～47)在承载架移动方向(Y轴方向)上，位于在基板(32)上描绘的扫描时的承载架(18)所能够取得的最大移动范围(L)内。

Description

液滴喷出装置及液滴喷头的维护方法

技术领域

本发明涉及使液滴喷头相对于工件相对地移动而在工件上进行描绘的液滴喷出装置，特别涉及具备对液滴喷头进行清洁等维护的维护装置的液滴喷出装置及液滴喷头的维护方法。

背景技术

以往，作为向工件喷出液滴的装置已知有喷墨式的液滴喷出装置。例如专利文献1～4中所示的液滴喷出装置具备放置基板等工件而使工件沿一个方向移动的滑动台、在滑动台的上方位置在与滑动台的移动方向正交的方向上沿着导轨移动的喷墨头(液滴喷头)，向工件上涂布液滴。

在液滴喷出装置上，为了应对喷墨头的喷嘴的堵塞、灰尘在喷头表面上的附着、喷头内的混入液体中的气泡等，设有清洁装置。作为清洁装置，有将附着于喷头喷嘴面上的污垢和液滴干燥固化后的物质擦掉的擦拭装置、喷出液滴而将喷头内的气泡或增粘了的液体排出的冲洗装置、为了防止喷嘴中的液体的干燥而覆盖喷头表面以阻断空气的流动的加帽装置等维护装置。

作为清洁装置的配置位置，已知有配置于喷墨头的导轨的下方并处于滑动台的侧方位置上的(专利文献1)、被可以沿着滑动台的轨道移动地设置的(专利文献2，3)、设置于滑动台上的(专利文献4)等。

[专利文献1]特开平10-206624号公报(第4页，图1)

[专利文献2]特开2001-171135号公报(第4页，图1)

[专利文献3]特开2003-48312号公报(第6页，图1)

[专利文献4]特开2003-230858号公报(第3页，图1)

但是，专利文献1中所示的液滴喷出装置中，由于在从液滴喷头中喷出液滴而进行描绘的扫描时，清洁装置被设于承载架能够移动的最大扫描范围(描绘动作范围)的外侧，因此为了将液滴喷头移动至与清洁装置对应的位置，需要将承载架移动至超过最大扫描范围的位置。其结果是，导引承载架的导轨为了能够实现承载架向超过了最大扫描范围的位置处的移动而相对变长。由于该结果，就会有因导轨变长而使液滴喷出装置大型化的问题、因长度增大而在导轨上产生机械的弯曲从而有可能导致从液滴喷头中喷出而命中基板等工件上的液滴的位置精度(液滴喷出位置精度)降低的问题。特别是，今后伴随着基板等工件大型化，最大扫描范围变宽，需要加长导轨，另外，当在承载架上搭载相机或计量装置等各种附属装置而使承载架的重量增加时，由于导轨更加容易弯曲，因此有可能导致液滴喷出位置的精度的进一步降低。

另外，在与滑动台相同的轨道上设置了其他的移动工作台而在其上配置了维护装置的专利文献2、3中所示的液滴喷出装置由于是在向工件的描绘中所必需的滑动台的移动范围的外侧设置维护装置的构造，因此有液滴喷出装置的尺寸在工作台移动方向上变大的问题。

另外，在滑动台上设置了清洁装置的专利文献4中所示的液滴喷出装置由于在滑动台上除了基板放置区域以外，还要确保清洁装置的设置空间，因此滑动台的尺寸在工作台移动方向上增大了清洁装置的设置空间的部分，该情况下也有液滴喷出装置的尺寸在工作台移动方向上变大的问题。

发明内容

本发明的目的在于提供可以在尽可能将液滴喷出装置的尺寸控制得较小的同时配置维护装置，并且可以确保必需的液滴喷出位置精度的液滴喷出装置及液滴喷头的维护方法。

本发明的液滴喷出装置的主旨在于，具备：使工件沿第1扫描方向移动的工作台、搭载向所述工件喷出液滴的液滴喷头并且将该液滴喷头沿着导引构件在第2扫描方向上移动的承载架、用于所述液滴喷头的包括清洁在内的维护的一个以上的维护装置、使所述维护装置向与扫描中的所述工作台不干涉的待机位置和进行所述液滴喷头的维护的维护位置移动的移动机构，所述维护装置，在被配置于所述待机位置时，至少一部分位于在所述第1扫描方向上作为所述工作台上的工件的扫描时的移动范围能够取得最大量的工件最大扫描范围内，在被配置于所述维护位置时，至少一部分位于在所述第2扫描方向上作为所述承载架的扫描时的移动范围能够取得最大量的承载架最大扫描范围内。

这里，所谓“工件最大扫描范围”是指：在为了向工件喷出液滴而描绘的扫描而在第1扫描方向上将放置了最长的工件的工作台以最大行程移动时，所述工件所能取得的第1扫描方向的移动范围。这与以下的范围等同，即，从被以最大行程扫描(移动)的工作台到达移动方向的一端(假设为前端)时，工作台上的所述工件的一端(前端)所处的位置，直至工作台到达移动方向的另一端(假设为后端)时所述工件的另一端(后端)所处的位置之间的范围。

另外，所谓“承载架最大扫描范围”是指：在从液滴喷头中喷出液滴而描绘的扫描时承载架所能取得的最大移动范围。这与以下的范围等同，即，在承载架扫描方向上将最长的长度的工件放置于工作台上而进行扫描，在该工件上沿承载架扫描方向进行最大范围的描绘时的承载架的移动范围。承载架最大扫描范围设为从承载架移动到右端时的承载架的右端面到承载架移动到左端时的承载架的左端面之间的范围。而且，既可以将工作台的第1扫描方向设为主扫描方向，将承载架的第2扫描方向设为副扫描方向，也可以将工作台的第1扫描方向设为副扫描方向，将承载架的第2扫描方向设为主扫描方向。

根据该情况，当维护装置被配置于实施液滴喷头的维护的维护位置时，该维护装置的至少一部分位于利用液滴喷头喷出液滴而进行描绘的扫描时的承载架的最大扫描范围内。由此，只要不仅是在进行描绘的扫描时，而且在液滴喷头的维护时，承载架可以在最大扫描范围内移动即可。这样，就可以将液滴喷头的最大移动范围设定得相对较窄，由此可以缩短承载架的导引构件。如果可以缩短导引构件，则例如即使在承载架上搭载相机或计量装置等附属装置等而使承载架变重，导引构件也不会弯曲，可以维持喷出装置的位置精度。另外，如果导引构件变短，则可以将液滴喷出装置的尺寸在承载架移动方向(第2扫描方向)上减小。

另外，当维护装置结束维护时，即被移动机构配置于与扫描中的工作台不干涉的待机位置上。在配置于待机位置上时，维护装置的至少一部分在第1扫描方向上位于在工作台上所设想的工件放置区域作为移动范围所能够取得的工件最大扫描范围内。这里，在专利文献2、3中所记载的以往的液滴喷出装置中，由于是可以利用与工作台共用的轨道等而在与工作台相同方向上(第1扫描方向)独立地移动的维护装置(清洁装置)，因此就必须将维护装置(清洁装置)配置于工作台的最大移动范围的外侧，从而导致了装置的第1扫描方向的大型化。另外，在专利文献4中所记载的以往的液滴喷出装置中，由于将维护装置(清洁装置)搭载于工作台上的端部(也就是在工作台上沿第1扫描方向与工件放置区域相邻的端部)上，因此与在工作台上未搭载维护装置的构成(也就是因未搭载维护装置而使工作台长度在第1扫描方向上变短的构成)相比，扫描时的工作台最大移动范围(称作工作台最大扫描范围)变长。由此，在专利文献4的装置中也导致了第1扫描方向的大型化。针对于此，在本发明的液滴喷出装置中，由于维护装置在待机位置上被配置于工件最大扫描范围(通常比工作台最大扫描范围更窄的范围)内，因此可以实现第1扫描方向的装置的小型化。像这样，根据本发明的液滴喷出装置，不仅在第2扫描方向上，而且在第1扫描方向上，也可以实现装置的小型化。根据以上情况，就可以提供能够在尽可能抑制液滴喷出装置的大型化的同时配置维护装置，并且可以确保必需的液滴喷出位置精度的液滴喷出装置。

本发明的液滴喷出装置中，在维护动作开始时，工作台退避至不与维护装置干涉的工作台退避位置，并且维护装置利用移动机构从待机位置移动至维护位置，在维护动作结束后，维护装置利用移动机构从维护位置退避至待机位置。

这样，由于在维护动作时，维护装置将至少一部分配置于位于最大移动范围内的维护位置，而在维护动作以外时，被配置于不与工作台干涉的待机位置，因此就不会妨碍进行描绘时的工作台的扫描。另外，只要待机位置是可以移动至维护位置的场所，就可以自由地设定，从而容易构成液滴喷出装置。

本发明的液滴喷出装置中，最好：维护装置被以处于液滴喷头的轨道正下方的工作台的下方位置作为待机位置配置，移动机构是使维护装置在待机位置和维护位置之间升降的升降机构。而且，本发明中，所谓液滴喷头的轨道是指在承载架被导引构件导引而移动时一起移动的液滴喷头的移动轨迹的假想的轨道。

这样，由于维护装置的设置空间集中于包括待机位置的承载架最大扫描范围内，因此不仅在将液滴喷出装置的尺寸在承载架扫描方向上抑制得较小方面有效，而且由于维护装置的移动仅为升降，仅利用升降机构即可实现移动机构，因此可以将移动机构设为简单的机构。

本发明的液滴喷出装置设有多个维护装置，多个维护装置在液滴喷头的轨道正下方被沿着承载架的移动方向排成一列。

这样，由于可以将具备各种的维护功能的多个维护装置集中于承载架的最大扫描范围内，因此可以将承载架的导轨设为接近最小必需限度的长度，从而可以将液滴喷出装置的尺寸控制得更小。另外，由于多个维护装置在液滴喷头的轨道正下方被沿着承载架移动方向排成一列，因此在进行维护时，由于通过移动承载架，将液滴喷头移动至维护装置的各个维护位置就可以对应，因此维护装置的移动仅为升降即可，从而可以将移动机构设为简单的机构。

本发明的液滴喷出装置最好设有多个维护装置，所述多个维护装置在与所述工作台的扫描方向大致相同的方向上被并排地至少排成一列，并且以工作台的下方位置作为待机位置，移动机构具备：将多个维护装置当中的至少在此时被用于维护的维护装置在待机位置和液滴喷头的轨道正下方的中继位置之间沿与工作台的扫描方向大致平行的方向移动的第1扫描方向移动机构、在中继位置和维护位置之间升降维护装置的升降机构。

这样，由于多个维护装置被沿工作台扫描方向并排排列，因此在承载架的移动范围所限定的空间内，容易在承载架扫描方向上确保较宽的各维护装置的配设空间。由此，就可以在承载架扫描方向上增大各维护装置的尺寸，例如能够给维护装置附加多种多样的功能。

本发明的液滴喷出装置的维护装置也可以将所述液滴喷头相对于所述工作台的轨道延长线上的外侧的位置配置为所述待机位置。

这样，维护装置以相对于工作台处于液滴喷头的轨道延长线上外侧的工作台的侧方位置作为待机位置，在待机位置上不与工作台干涉。维护装置的从待机位置向维护位置的移动由于只要使维护装置向承载架的扫描方向移动即可，因此可以将移动机构设为简单的机构。另外，由于维护装置位于工作台的外侧(侧方)，因此维护装置的维修等更为容易。

本发明的液滴喷出装置也可以设有多个维护装置，多个维护装置被沿着承载架的扫描方向排成一列，移动机构具备使维护装置在所述侧方位置和维护装置之间在第2扫描方向上移动的第2扫描方向移动机构。

这样，由于多个维护装置以液滴喷头相对于工作台处于轨道延长线上外侧的位置的工作台的侧方位置作为待机位置，被沿着承载架扫描方向排成一列，因此从待机位置向维护位置的移动仅为向与承载架的扫描方向大致相同的方向的移动即可。这样，就可以将移动机构设为简单的机构。另外，由于维护装置位于工作台的外侧(侧方)，因此维护装置的维修等更为容易。

本发明的液滴喷出装置也可以设有多个维护装置，多个维护装置在待机位置上使一个位于液滴喷头的轨道延长线上并且被沿工作台的扫描方向排成一列，移动机构具备：使多个维护装置当中的用于维护的维护装置在待机位置和液滴喷头的轨道延长线上的中继位置之间在第1扫描方向上移动的第1扫描方向移动机构、使维护装置在中继位置和维护位置之间在第2扫描方向上移动的第2扫描方向移动机构。

这样，由于多个维护装置在待机位置处在工作台的侧方位置上被沿着工作台扫描方向排成一列，因此与将多个维护装置配置于工作台的侧方位置上相比，可以将液滴喷出装置的尺寸在承载架扫描方向上控制得较小。另外，由于维护装置的向维护装置的移动由从待机位置向中继位置的第1扫描方向的移动、从中继位置向维护位置的第2扫描方向的移动这两个方向的组合构成，因此就可以将移动机构设为比较简单的机构。另外，由于维护装置位于工作台的外侧(侧方)，因此维护装置的维修等更为容易。

本发明的液滴喷出装置的主旨在于，具备：使工件沿第1扫描方向移动的工作台、搭载向工件喷出液滴的液滴喷头并且将其沿着导引构件在第2扫描方向上移动的承载架、用于液滴喷头的包括清洁的维护的一个以上的维护装置、使维护装置向与扫描中的工作台不干涉的待机位置和进行液滴喷头的维护的维护位置移动的移动机构，维护装置在待机位置上被配置于与扫描中的工作台不干涉的工作台的下方位置，移动机构具有在待机位置和维护位置之间的移动过程中使维护装置在待机位置的高度和维护位置的高度之间升降的升降机构。

这样，维护装置在不进行维护的待机时，被配置于与扫描中的工作台不干涉的工作台的下方的待机位置。在实施维护时，利用移动机构使维护装置从待机位置向维护位置移动。在该移动过程中，待机位置的高度和维护位置的高度之间的移动(升降)由升降机构进行。维护装置在待机位置处被配置于工作台的下侧，在维护位置处被配置于能够实施液滴喷头的维护的位置。即，维护装置在第1扫描方向上总是位于工件最大移动范围内，在第2扫描方向上位于承载架的最大扫描范围内。所以，就可以提供能够在尽可能抑制液滴喷出装置的大型化的同时配置维护装置，并且可以确保必需的液滴喷出位置精度的液滴喷出装置。

本发明的液滴喷出装置也可以在利用所述维护装置进行的维护开始之前，移动所述承载架而将所述液滴喷头配置于与所述维护装置的所述维护位置对应的给定的位置上。

这样，在进行维护之时，由于承载架移动而将液滴喷头配置于与维护位置对应的给定的位置上，因此在维护之前，即使液滴喷头位于轨道上的某处，只要维护装置总是向确定了的维护位置移动即可。这样，就可以用简单的机构实现移动机构。

本发明的液滴喷出装置作为所述维护装置，也可以具备用于液滴喷头的清洁的加帽装置、擦拭装置、冲洗装置当中的至少一个。

这样，液滴喷出装置就可以用加帽装置来防止液滴喷头的干燥，用擦拭装置来去掉表面的污垢，用冲洗装置实现增粘了的液体或气泡的排出，从而可以可靠地进行液滴的喷出。

本发明的液滴喷出装置中，作为维护装置，也可以具备测定从液滴喷头中喷出的功能液的重量的重量测定装置。

这样，由于通过测定从液滴喷头中喷出的功能液的重量，就可以根据其测定结果，判断例如每一滴的喷出量是否为适量，按照达到适量的方式来调整喷出量，因此就可以提高液滴喷出的描绘质量。

本发明的液滴喷头的维护方法的主旨在于具备：使工作台向与维护装置不干涉的工作台退避位置移动的工序、使维护装置从待机位置向维护位置移动的工序、移动承载架而将液滴喷头配置于与维护位置上的维护装置对应的位置上的工序、使维护位置上的维护装置维护液滴喷头的工序。而且，移动工作台的工序、移动液滴喷头的工序并不限定于该顺序，既可以同时进行，也可以用相反的顺序进行。另外，移动维护装置的工序、移动液滴喷头的工序并不限定于该顺序，既可以同时进行，也可以用相反的顺序进行。

这样，在进行维护之时，由于工作台向工作台退避位置退避，能够实现维护装置的向维护位置的移动，因此维护装置就从待机位置向维护位置移动。在此前后，通过移动承载架，液滴喷头被配置于与维护位置的维护装置对应的位置。当像这样将维护装置和液滴喷头配置于对应的位置上时，就可以实施利用维护装置进行的维护。例如，即使是在工作台上未设置维护装置的设置空间的工作台，也能够采用使维护装置在俯视与该工作台重合的位置上待机的构成，这样就可以将液滴喷出装置的尺寸控制得较小。而且，如果重复地实施工作台的退避工序和液滴喷头的移动工序，或重复地实施维护装置向维护位置的移动工序和液滴喷头的移动工序，则可以缩短在维护中所需的时间。

附图说明

图1是表示实施方式1的液滴喷出***的构成的立体图。

图2是表示液滴喷出装置的构成的立体图。

图3表示液滴喷出装置的构成，(a)为俯视图，(b)为前视图。

图4是液滴喷出装置的电控制方框图。

图5是表示液滴喷出装置的动作的流程图。

图6表示实施方式2的液滴喷出装置，(a)为俯视图，(b)为前视图。

图7表示实施方式3的液滴喷出装置，(a)为俯视图，(b)为前视图。

图8表示实施方式4的液滴喷出装置，(a)为俯视图，(b)为前视图。

其中，1…液滴喷出***，10…液滴喷出装置，13…主扫描驱动装置，14…副扫描驱动装置，15…液滴喷头，18…承载架，19…作为工作台的吸附台，32…作为工件的基板，44…作为维护装置及清洁装置的加帽装置，45…作为维护装置及清洁装置的冲洗装置，46…作为维护装置及清洁装置的擦拭装置，47…作为维护装置及重量测定装置的电子天平，56、57…构成移动机构并且作为升降机构的升降装置，61…第1维护单元，62…第2维护单元，63、64…构成移动机构的轨道，70…维护单元，71…作为导引构件的导轨，75…构成移动机构的马达，77…构成移动机构的维护驱动装置，78…构成移动机构及第2扫描方向移动机构的气缸，84、85…构成移动机构及第1扫描方向移动机构的线性马达。

具体实施方式

下面将参照图1～图5对将本发明具体化了的一个实施方式进行说明。

(实施方式1)

首先，对液滴喷出装置进行说明。图1是表示液滴喷出装置的构成的立体图。液滴喷出***1是用于将功能液作为液滴喷出而附着于作为工件的基板32的给定位置上的装置。

图1中，液滴喷出***1由液滴喷出装置10、基板供给装置16、调节装置17构成。基板供给装置16将基板32向液滴喷出装置10内的给定的作业位置供给。调节装置17负责液滴喷出装置10的全盘的控制和基板供给装置16的控制。

液滴喷出装置10由将液滴喷头15搭载于下面的承载架18、控制液滴喷头15的位置的喷头位置控制装置11、将基板32吸附于给定位置的吸附台19、修正放置于吸附台19上的基板32的位置的基板位置控制装置12、使基板32相对于液滴喷头15进行主扫描移动的主扫描驱动装置13、使液滴喷头相对于基板32进行副扫描移动的副扫描驱动装置14、维护单元61、62(参照图2、图3)等构成。

喷头位置控制装置11、基板位置控制装置12、主扫描驱动装置13、副扫描驱动装置14的各装置被设置于基座30之上。另外，这些装置根据需要被外罩31覆盖。

基板供给装置16具有收容基板32的基板收容部20、搬送基板32的机械手21。机械手21具有放置于地板、底面等设置面上的基台22、相对于基台2进行升降移动的升降轴23、以升降轴23为中心旋转的第1臂24、相对于第1臂24旋转的第2臂25、设于第2臂25的头端下面的吸附垫26。吸附垫26可以利用气体抽吸力来吸附基板32。

在液滴喷头15的附近配置有设于承载架18上而与液滴喷头15一体化地移动的喷头用相机48。另外，由设于基座30上的支撑装置(未图示)支撑的基板用相机49被配置于可以拍摄基板32的位置上。

喷头用相机48是用于确认液滴的喷出状况的。喷头用相机48的焦点被调整为对准基板32的表面，用于液滴的着地点的位置精度的检查、液滴的喷出状况的检查。利用由液滴喷头15的喷嘴的污垢造成的喷出液的飞行弯曲的检查来判断清洁时机。喷头用相机48由拍摄部和光源构成，拍摄部无论是CCD式还是电子式的哪一种都可以。

在搭载于承载架18的下面的液滴喷头15上形成有多个喷嘴。液滴喷头15例如也可以像专利文献3中所记载的喷头那样，将喷墨方式的液滴喷头排列多个而构成。

作为构成液滴喷出装置10的底台的基座30是为了确保设于其上的包括吸附台19等的构造物的水平度而设置的，使用难以受到温度或湿度的影响(变形等)的材质。另外，基座30具备使之难以受到来自地板的振动的除振装置(未图示)，为了降低固有振动系数而使用了较重的材质。本实施方式中，作为基座30的材质使用了石材。当然，只要是能够在被保持为对基座30不会造成影响的温度或适度的环境下可以使用的材质，也可以使用金属等容易加工的材质。

在基座30之上设有基台55，在其上设有主扫描驱动装置13。如图2所示，主扫描驱动装置13由导轨50、51、可动台52、线性马达53、马达支撑台54等构成。为了改善工作台的直进性，在导轨50、51和可动台52的滑动部中，使用内含了空气的气滑动方式。滑动部也可以利用内含了滚珠或圆筒的线性导引。虽然作为驱动源使用了线性马达，但是也可以利用脉冲马达或滚珠丝杠来传递动力。

在可动台52的上部配置有基板位置控制装置12。基板位置控制装置12是旋转吸附台19的装置，由脉冲马达和减速装置构成。减速装置优选不会产生谐波等间隙的机构。在基板32上附设有定位用的标记，利用基板用相机49(参照图1)来测定其位置。以与基准角度的偏移量来旋转吸附台19，基板32被对齐角度。

下面，对副扫描驱动装置14进行说明。副扫描驱动装置14由设于基台55上的门型的支撑框架66支撑。门型的支撑框架66横跨主扫描驱动装置13，两个腿部73、74与主扫描驱动装置13的导轨50、51相隔微小的距离而被竖立设置于外侧。

副扫描驱动装置14沿Y轴方向(第2扫描方向)动作，被以与沿X轴方向(第1扫描方向)动作的主扫描驱动装置13近似正交的状态配置。副扫描驱动装置14具有构成门型的支撑框架66的横架部分的作为导引构件的导轨71、沿着导轨71移动的承载架18。承载架18和导轨71的滑动部在本实施方式中采用气滑动方式。滑动部也可以利用内含了滚珠或圆筒的线性导引。

喷头位置控制装置11是使承载架18在高度方向(Z轴方向)上移动的装置，具有对液滴喷头15和基板32的距离的调整功能。导轨71具体来说，具有被与支撑框架66的腿部一体化固定了的固定轨、支撑承载架18并且相对于固定轨可以在上下方向上移动的可动轨。喷头位置控制装置11是使构成导轨71的可动轨相对于固定轨在上下方向(Z轴方向)上移动的装置，利用可动轨的移动在高度方向(Z轴方向)上调整承载架18的位置。操作者将基板32的厚度输入调节装置17，根据其值，喷头位置控制装置11将承载架18配置于Z轴方向的合适的位置上。而且，作为在Z轴方向上调整承载架18的位置的方法，也可以采用在承载架18上搭载距离传感器，随时测定液滴喷头15和基板32的距离，基于该测定结果来进行位置控制的方法。距离传感器无论是光学式、静电电容式、电磁式、接触方式的哪一种都可以。

调节装置17具有收容了处理器的计算机主体部27、作为输入装置的键盘28、作为显示装置的CRT等显示器29。

下面，使用图2，图3对液滴喷出装置10的维护装置进行详细说明。图2是表示设于液滴喷出装置的基座上的构造部分的构成的立体图，图3(a)为俯视图，图3(b)为前视图。

如图2所示，在基台55上配设有对液滴喷头15进行包括清洁在内的维护的第1维护单元61和第2维护单元62。在基台55的上面第1维护单元61被配置于导轨50和马达支撑台54之间，第2维护单元62被配置于导轨51和马达支撑台54之间。第1维护单元61和第2维护单元62由于俯视地看被配置于与吸附台19的扫描区域重合的位置上，因此为了在基台55和吸附台19之间确保高度方向的必要的配设空间，使导轨50、51及马达支撑台54具有较高的距离基台55的高度(Z轴方向长度)。当然，也可以通过在基台55的上面设置凹部，在凹部中配置维护单元，来形成使导轨50、51及马达支撑台54具有较高的距离基台55的高度的构成。

第1维护单元61具有设于基台55上的升降装置56、固定于升降装置56的机械手的上端的可动板80，在可动板80的上面配设有冲洗装置45和擦拭装置46。另一方面，第2维护单元62具有与第1维护单元61的部分相同的构成的升降装置57及可动板81，在可动板81的上面配设有加帽装置44和电子天平57。配设于可动板80、81上的加帽装置44、冲洗装置45、擦拭装置46及电子天平47在承载架移动方向(Y轴方向)上被排成一列，按照将这4个全都配置于液滴喷头15的轨道正下方的方式，将第1及第2维护单元61、62配置于基台55上的给定的位置上。本说明书中，有时指到加帽装置44、冲洗装置45、擦拭装置46、电子天平47时，也称作维护装置。升降装置56、57在本实施方式中由气缸构成。当然，并不限定于气缸，也可以利用油压缸、脉冲马达和滚珠丝杠等构成。

冲洗装置45和擦拭装置46因升降装置56的杆伸缩而升降，被配置于杆收缩时的待机位置、杆伸长时的维护位置。另外，加帽装置44和电子天平47也相同，因升降装置57的杆伸缩而升降，被配置于杆收缩时的待机位置、杆伸长时的维护位置。维护装置44～47在配置于待机位置的状态下被配置于比吸附台19的下面更低的高度，从而不会与扫描中的吸附台19干涉。另一方面，在维护装置44～47被配置于维护位置的状态下，各维护装置44～47被配置于能够对液滴喷头15进行加帽、冲洗时的排出液的收容·抽吸、擦拭、液滴重量测定等维护的位置上。

在液滴喷头15向基板32喷出液滴而描绘图像或配线等的图案的描绘中(扫描中)，维护装置44～47下降而退避至吸附台19的下方的待机位置。升降装置56、57只是支撑维护装置44～47当中的此时用于维护的维护装置的一侧的一方被驱动，在维护动作开始时，使该维护装置上升而向维护位置移动，并且在维护动作结束后，使该维护装置下降而回复至待机位置。在维护动作开始时，在维护装置向维护位置的移动之前，吸附台19沿X轴方向移动而向图2所示的工作台退避位置退避，从而不会妨碍维护装置向维护位置的移动。

另外，在维护动作开始时，承载架18沿着导轨71向Y轴方向移动，将液滴喷头15配置于能够与移动到维护位置的维护装置相面对的正上方位置，液滴喷头15被配置于能够接受维护装置的维护的给定的位置上。

作为维护装置的加帽装置44、冲洗装置45、擦拭装置46是进行与用于将液滴喷头15的液滴喷出性能维持良好的清洁有关的维护的清洁装置，起到将喷嘴或喷嘴内的功能液维持·恢复洁净的状态的作用。加帽装置44是在液滴喷头15处于其轨道上的待机位置(原位置)时，为了防止喷嘴内的功能液的弯月面干燥而对液滴喷头15进行加盖(加帽)的装置。加帽装置44具有使上方开口的箱状的盖，将箱状的盖推压在液滴喷头15的喷嘴面上而密闭。在箱状的盖上的与液滴喷头15的接触部分上，为了提高密闭度，设有弹性材料。

冲洗装置45是在从液滴喷头15的喷嘴中连续地喷出液滴而将喷头内的功能液及气泡排出的冲洗时，接受从液滴喷头15的喷嘴排出的液滴的装置，具有箱状的容器。当本例的冲洗装置45在维护位置上被动作时，容器与液滴喷头15密接而将喷嘴面覆盖，从而防止从喷嘴中排出的液滴的飞散。从液滴喷头15中因冲洗而被排出的排出液穿过与容器连接的管，被真空泵抽出而收集于罐(图示略)中。

擦拭装置46是对液滴喷头15的喷嘴面进行擦抹的装置。本例中的擦拭装置46采用以粘涂了清洗液的带状的布擦抹的方式的装置(例如专利文献2中所公布的擦拭装置)。擦拭装置也可以是用橡胶板、塑料板等弹性材料将污垢擦掉的装置。

电子天平47是测定喷出液的重量的装置，其测定值被向调节装置17传送。从液滴喷头15的各喷嘴中例如喷出100滴左右，测定重量。调节装置17基于电子天平47的测定值，调整发给液滴喷头15的喷出控制信号，调整所喷出的液滴的大小(重量)。

图2中L的范围是承载架18扫描时所能够取得的最大移动范围(以下称作承载架最大扫描范围)。即，承载架最大扫描范围L是指：从液滴喷头15的喷嘴中喷出液滴而在基板32上描绘元件或配线等的给定图案时的承载架18的扫描时描绘最大的描绘范围之际的承载架18的最大移动范围。是指从承载架18在扫描时移动了最大范围而到达左端时的承载架18的左端面，到承载架18到达了右端时的承载架18的右端面的范围。另外，该范围L是指在承载架移动方向上将最长的长度的工件放置于吸附台19上，在对该工件沿承载架移动方向进行最大范围的描绘时的承载架18的移动范围。而且，吸附台19既可以是能够放置尺寸不同的多种工件的构成，也可以是仅能够放置一种尺寸的构成。特别是在吸附台19上只能够以一种朝向来放置一种工件的情况下，将以该放置朝向放置的工件的承载架移动方向的长度看作最长。

本实施方式中，液滴喷头15的包括清洁、液滴重量测定的维护可以在维护装置44～47被配置于承载架最大扫描范围L内的给定位置上的状态下进行。由此，承载架18可以沿着导轨71移动的最大移动允许范围(与导轨71的导引槽的范围大致相等)只是在承载架最大扫描范围L的两侧设置了略为宽裕的范围，实质上是与承载架最大扫描范围大致相等的长度。通过在与该承载架最大扫描范围L大致相等的承载架最大移动允许范围的两侧，添加被腿部73、74支撑的部位的范围，来规定导轨71的长度。

无论维护装置44～47在被配置于待机位置和维护位置的哪一个上时，在承载架移动方向(Y轴方向)上，全部4个都位于承载架最大扫描范围L内。特别是在本实施方式中，无论维护装置44～47被配置于待机位置和维护位置的哪一个上时，在承载架移动方向(Y轴方向)上，靠近中间的2个都完全位于喷头最大扫描范围(液滴喷头15扫描时在Y轴方向上所能够取得的最大移动范围)内，两端的2个完全或部分位于喷头最大扫描范围内。另外，无论维护装置44～47被配置于待机位置和维护位置的哪一个上时，在工作台移动方向(X轴方向)上，全部4个都位于在将X轴方向最长的基板(工件)32放置于吸附台19上而扫描时该最长的基板32所能够取得的最大移动范围(以下称作工件最大扫描范围)K(参照图3)内。这里，对于将对基板32进行定位的导引装置(具有被可以相对于工作台的放置面(吸附面)露出没入地设置的多个导引销或导引板、对它们进行露出没入驱动的促动器的装置)搭载于吸附台19上的构成的情况，在吸附台19上沿X轴方向放置最长的基板(工件)32的放置区域可以由被导引装置导引的X轴方向上最长的被导引区域来指定。

另外，工件最大扫描范围与以下的范围相等，即，在使沿X轴方向放置了最长的基板(工件)32的吸附台19以最大行程扫描时，从吸附台19到达其移动范围的一端(例如前端)时的工件的一端(前端)的位置，到吸附台19到达其移动范围的另一端(例如后端)时的工件的另一端(后端)的位置之间的范围。而且，图3中，由于吸附台19处于不是扫描时而是维护时的工作台退避位置，因此基板(工件)32位于超出工件最大扫描范围K的位置。

图4是液滴喷出装置10的电控制方框图。图4中，具有作为处理器进行各种运算处理的CPU(运算处理装置)40、储存各种信息的存储器41。

喷头位置控制装置11、基板位置控制装置12、主扫描驱动装置13、副扫描驱动装置14、驱动液滴喷头15的喷头驱动电路42被借助输入输出界面33及总线34与CPU40连接。另外，基板供给装置16、输入装置28、显示器29、加帽装置44、冲洗装置45、擦拭装置46、电子天平47及维护驱动装置77也被借助输入输出界面33及总线34与CPU40连接。

存储器41是包括RAM、ROM等半导体存储器、硬盘、CD-ROM之类的外部存储装置的概念，在功能上，设定有储存记录了液滴喷出装置10的动作的控制顺序的程序软件411的储存区域、用于将基板32内的喷出位置作为坐标数据储存的储存区域、用于储存基板32的向副扫描方向Y的副扫描移动量的储存区域、作为用于CPU40的工作区域或临时文件等发挥作用的储存区域或其他的各种储存区域。

CPU40依照储存于存储器41内的程序软件411，进行用于将功能液向基板32的表面的给定位置喷出的控制，作为具体的功能实现部，具有进行用于实现冲洗处理的运算的冲洗运算部401、进行用于实现擦拭处理的运算的擦拭运算部402、用于实现加帽处理的加帽运算部403、进行用于实现使用了电子天平47的重量测定的运算的重量测定运算部404、进行用于利用液滴喷头15喷出液滴的运算的喷出运算部406。

冲洗运算部401、擦拭运算部402、加帽运算部403、重量测定运算部404运算使维护装置44～47进行与各自的维护内容对应的维护动作的时期等。CPU40当维护装置44～47的某一个到达先前所算出的维护动作时期时，即对维护驱动装置77进行驱动控制，执行相应的维护装置的向维护位置的移动(上升)、其维护动作结束后的向待机位置的复位(下降)。在用气缸构成升降装置56、57的本实施方式中，维护驱动装置77由电磁阀等构成，该电磁阀等是为了控制用于驱动气缸的压缩空气的供气·排气而被设于与气缸相连的配管上的。

CPU40通过向与各升降装置56、57对应的一方的电磁阀发送开闭信号而对构成维护驱动装置77的升降装置(气缸)56、57进行驱动控制。而且，本实施方式中，虽然用气缸来实施升降装置56、57，但是只要是能够直线运动的驱动装置，就不限定于此，也可以采用油压缸、电动式直动驱动器。当用油压缸来实现时，则由油压泵及电磁阀等构成维护驱动装置77，发送油压泵的驱动信号或电磁阀的开闭信号而对维护驱动装置77进行驱动控制。另外，当用直动促动器来实现时，则由作为直动促动器的驱动源的马达等构成维护驱动装置77，发送驱动信号而对维护驱动装置77进行驱动控制。

如果对喷出运算部406进行详细的分割，则具有用于将液滴喷头15向用于液滴喷出的初期位置定位的喷出开始位置运算部407、运算用于以给定的速度使基板32向主扫描方向X扫描移动的控制的主扫描控制运算部408、运算用于以给定的副扫描量使液滴喷头15向副扫描方向Y移动的控制的副扫描控制运算部409、进行用于控制使液滴喷头15内的多个喷嘴当中的哪一个动作而喷出功能液的运算的喷嘴喷出控制运算部410等各种功能运算部。

而且，本实施方式中，所述的各功能虽然使用CPU40而以程序软件来实现，但是在所述各功能可以利用不使用CPU的单独的电子电路(硬件)来实现的情况下，也可以使用此种电子电路。

下面，使用图5对液滴喷出装置10的动作进行说明。首先，接入电源前的液滴喷出装置10处于吸附台19退避于工作台退避位置的状态。另外，液滴喷头15位于原位置(待机位置)而被加帽装置44加盖(帽)。维护单元的具有加帽装置44的第2维护单元62处于维护位置，第1维护单元61处于待机位置。当由操作者接入电源而使液滴喷出装置10动作时，即执行初期设定(步骤S1)。具体来说，承载架18、基板供给装置16、调节装置17等被设定为预先确定的初期状态。然后，为了准备喷出，帽被褪掉(步骤S2)。即，CPU40通过驱动维护驱动装置77，使加帽装置44的盖(帽)从液滴喷头15上褪掉，并且通过驱动升降装置57，使加帽装置44及液滴重量测定装置47下降至待机位置。这样，第1及第2维护单元61、62就都被配置于待机位置上。

然后，如果清洁时刻到来(步骤S3中为YES)，则进入清洁动作。如果第1维护单元61不处于维护位置(步骤S4中为NO)，此时如果吸附台19未退避，则使吸附台19向工作台退避位置退避，并且使第1维护单元61向维护位置移动(步骤S5)。然后，驱动副扫描驱动装置14，使液滴喷头15向冲洗位置移动(步骤S6)，进行从液滴喷头15的喷嘴中连续地喷出液滴的冲洗(步骤S7)。这里，当液滴喷头15到达了冲洗位置时，冲洗装置45例如因操作杆被推压而机械地动作，或者因传感器检测到液滴喷头15而被电气地动作，将箱状的容器向液滴喷头15的喷嘴面上推压。

然后，使副扫描驱动装置14动作，使液滴喷头15移动至擦拭位置(步骤S8)，通过使擦拭装置46动作来进行擦拭(步骤S9)。这样，步骤S4～S9的清洁动作即结束。

然后，如果重量测定时刻到来(步骤S10中为YES)，则进入喷出液的重量测定动作。如果第2维护单元62不处于维护位置(步骤S11中为NO)，如果吸附台19未退避，则使吸附台19向工作台退避位置退避，并且使第2维护单元62向维护位置移动(步骤S12)。然后，驱动副扫描驱动装置14，使液滴喷头15向电子天平47的重量测定位置移动(步骤S13)，从喷嘴向电子天平47上喷出给定量(例如100滴左右)的液滴，并且使电子天平47测定该被喷出的功能液的量(步骤S 14)。此后，按照与各喷嘴的功能液喷出特性匹配地从各喷嘴中喷出被预先设定了的适量的液滴的方式，调节施加在与各喷嘴对应的压电元件材料上的电压(步骤S15)。

当清洁时刻或重量测定时刻未到来时(步骤S3及步骤S10中为NO)，或者在这些处理结束的情况下，转移至步骤S16。在步骤S16中，使维护单元61、62向待机位置退避，其后，在步骤S17中，利用基板供给装置16供给基板32。

然后，通过在利用基板用相机49观察基板32的同时，使位于基板位置控制装置12上的θ马达的输出轴旋转，进行固定于吸附台19上的基板32的定位(步骤S18)。利用喷头用相机48进行液滴喷头15的对位，通过运算来决定开始喷出的位置(步骤S19)，使主扫描驱动装置13及副扫描驱动装置14适当地动作，将液滴喷头15向对基板32的喷出开始位置移动(步骤S20)。

然后，开始向X方向的主扫描，同时开始功能液的喷出(步骤S21)。具体来说，通过使主扫描驱动装置13动作，将基板32向主扫描方向X以一定的速度直线地扫描移动，在其移动途中喷嘴到达了喷出位置时，基于由喷嘴喷出控制运算部410算出的功能液喷出信号，从该喷嘴中喷出液滴。

当1次的主扫描结束时，即利用副扫描驱动装置14向副扫描方向Y移动被预先确定了的副扫描方向Y成分量(步骤S22)。然后，反复进行主扫描及液滴喷出(步骤S23中为NO，向步骤S21转移)。

当如上所述的利用液滴喷头15进行的功能液的喷出作业相对于基板32的全部区域都结束时(步骤S23中为YES)，则基板32被向外部排出(步骤S24)。其后，只要操作者没有给出处理结束的指示(步骤S25中为NO)，则回到步骤S3，反复进行对其他的基板32的功能液的喷出作业。

当由操作者发出作业结束的指示时(步骤S25中为YES)，则使吸附台19向工作台退避位置退避(步骤S26)。使第1维护单元61和第2维护单元62从待机位置向维护位置移动(步骤S27)。此后，首先利用副扫描驱动装置14使液滴喷头15向擦拭位置移动(步骤S28)，通过使擦拭装置46动作，来擦拭液滴喷头15的喷嘴面(步骤S29)。

然后，利用副扫描驱动装置14的驱动使液滴喷头15向加帽位置移动(步骤S30)，通过使加帽装置44动作，对液滴喷头15进行加帽(步骤S31)。利用以上的操作，结束一连串的喷出作业。

像这样，在维护动作时，进行使吸附台19向工作台退避位置移动的工作台退避工序(步骤S26等)、使维护装置44～47当中的用于维护的1向维护位置移动的维护移动工序(步骤S5、S12、S27)、为了使液滴喷头15接受维护而将其向与处于维护位置的维护装置对应的位置移动的喷头移动工序(步骤S6、S8、S13、S28、S30)、维护装置实施维护的维护实施工序(步骤S7、S9、S14、S29、S31)。此后，在实施维护后，进行使维护装置向待机位置移动的待机位置复位工序(步骤S16)，结束一连串的维护作业。

所以，根据本实施方式的液滴喷出***1，有以下所示的效果。

(1)无论处于待机位置和维护位置的哪一个上时，承载架在移动方向(Y轴方向)上，都将维护装置44～47配置于承载架最大扫描范围L内，只要承载架18在扫描中进行必需的移动范围内的移动，就可以进行维护。其结果是，承载架18的最大移动允许范围只要是比最大扫描范围L稍显宽裕的略长的程度的长度即可，不需要为了维护而将承载架18的轨道延长至能够移动至超过了最大扫描范围L(描绘动作范围)的区域。这样，就可以相对地使导轨71的长度比专利文献1的液滴喷出装置的导轨的长度更短。所以，即使搭载喷头用相机48等附属装置等而使承载架18的重量增加，在导轨71上也难以产生弯曲，因而就很容易确保必需的液滴喷出位置精度。另外，由于可以缩短导轨71，因此可以在承载架移动方向上将液滴喷出装置10的尺寸控制得较小。另外，由于在维护装置44～47处于待机位置的状态时被配置于吸附台19的下方位置，维护装置44～47在工作台移动方向(X轴方向)上，位于工件最大扫描范围内，因此与专利文献2、3的装置构成相比，可以在工作台移动方向上将液滴喷出装置10的尺寸控制得较小。根据以上的讨论，由于与专利文献1～4的哪一个装置相比，都可以减小装置尺寸，而且与专利文献1的装置相比，可以缩短导轨71，因此很容易确保必需的液滴喷出位置精度。

(2)由于维护装置44～47仅利用升降就可以从待机位置向维护位置移动，因此移动机构仅为升降装置56、57即可，可以使移动机构简单化。

(实施方式2)

所述实施方式1中，将维护装置44～47沿着液滴喷头15的轨道排成一列，而实施方式2是将维护装置44～47沿工作台移动方向排成2列的例子。而且，由于虽然维护单元的设置位置及构成不同，但是对于液滴喷出装置10的其他的构成，与实施方式1相同，因此仅特别针对维护单元的构成进行详细说明。

图6(a)是实施方式2的液滴喷出装置的俯视图，图6(b)相同，是前视图。如图6(b)所示，在液滴喷出装置的基座30的上面，在承载架移动方向上夹持基台55的两侧的位置上配设有第1维护单元61及第2维护单元62。第1维护单元61及第2维护单元62具有设于基座30的上面的作为升降机构的升降装置56、57、由升降装置56、57的杆支撑的轨道63、64、成为使维护装置44～47沿着轨道63、64沿工作台移动方向移动的驱动源的线性马达84、85。而且，由升降装置56、57、轨道63、64、线性马达84、85等构成的移动机构相当于移动机构。由轨道63、64、线性马达84、85等构成的向工作台移动方向的移动机构相当于第1扫描方向移动机构。另外，图4的电控制方框图中的维护驱动装置77在本例的情况下，由对升降装置(气缸)56、57进行驱动控制的电磁阀及线性马达84、85构成。当然，也可以利用电动式直动促动器来实现升降装置56、57。

在配置于基座30的上面中央的基台55的上面配设有导轨50、51、线性马达53，吸附台19被支撑于可以沿着导轨50、51移动的可动台52上。第1及第2维护单元61、62在升降装置56、57下降后的待机状态下被配置于吸附台19的下方。另外，第1及第2维护单元61、62在承载架移动方向(同图中的左右方向)上，位于承载架最大扫描范围L(参照图2)内。另外，第1及第2维护单元61、62在工作台移动方向上，位于作为在X轴方向上最长的基板的扫描时(描绘时)的最大移动范围的工件最大扫描范围内。

图6(a)、(b)所示的状态是第1及第2维护单元61、62处于待机位置的状态。在具有1组维护装置44、45的第1维护单元61处于待机位置的状态下，加帽装置44位于成为液滴喷头15的轨道正下方的中继位置，并且冲洗装置45位于从中继位置向工作台移动方向偏离了给定距离的待机位置。另一方面，在具有1组维护装置46、47的第2维护单元62处于待机位置的状态下，擦拭装置46位于成为液滴喷头15的轨道正下方的中继位置，并且液滴重量测定装置47位于从中继位置向工作台移动方向偏离了给定距离的待机位置。维护装置44～47当中的处于中继位置的维护装置因升降装置56、57被上升驱动，而被配置于能够实施针对液滴喷头15的维护的维护位置。而且，各维护装置44～47的排列顺序并不限定于此。

在维护动作时，首先，搭载了基板32的吸附台19退避至不与要上升到维护位置的维护单元61、62干涉的工作台退避位置。然后，维护装置44～47当中的包括此时被用于维护的维护装置的1组利用线性马达84、85的驱动而从待机位置向工作台移动方向移动，用于维护的1个维护装置被配置于液滴喷头15的轨道正下方的中继位置。然后，因升降装置56、57当中的支撑用于维护的维护装置的一侧的升降装置被驱动，该维护装置从中继位置上升至维护位置，实施液滴喷头15的维护。

根据实施方式2，除了可以获得液滴喷出装置的尺寸的抑制及必需的液滴喷出位置精度的确保等与实施方式1相同的效果以外，还可以获得以下的效果。

(1)由于通过将维护装置44～47沿工作台移动方向并排地排成2列，就可以在工作台移动方向上确保较宽的维护装置44～47的配设空间，因此就能够对维护装置44～47赋予多样化的功能。另外，由于各维护单元61、62被配置于导引吸附台19的导轨50、51的外侧，维护装置44～47被沿工作台移动方向并排地配置于液滴喷出装置的靠近承载架移动方向外侧的位置上，因此维护装置44～47的维修变得更为容易。

(实施方式3)

实施方式1及实施方式2中，将各维护装置44～47配置于承载架18的最大扫描范围内，而实施方式3是仅在维护位置上将维护装置配置于承载架最大扫描范围内的例子。

图7(a)是实施方式3的液滴喷出装置的俯视图，图7(b)相同，是前视图。

如图7(b)所示，在液滴喷出装置10的承载架移动方向一端侧的位置上设有维护单元70。维护单元70被支撑于被与基座30的承载架移动方向一端侧相邻地配置的维护用基座65上。维护单元70具备设于维护用基座65上的导轨69、被导轨69导引而可以沿与承载架移动方向平行的方向移动的台架76、构成使台架76行进的驱动源的马达75、被沿着承载架移动方向在台架76上排成～列的维护装置44～47。马达75的动力例如被借助包括滚珠丝杠或驱动皮带等的动力传递机构(未图示)而向台架76传递，以该被传递的动力作为推力，台架76沿着导轨69移动。而且，图4的电控制方框图中的维护驱动装置77在本例的情况下，由马达75构成。另外，由导轨69、台架76及马达75等构成的移动机构相当于移动机构及第2扫描方向移动机构。

台架76在向与导轨69大致重合的位置退避的待机位置、如图7(a)、(b)所示地从待机位置向吸附台19侧移动的动作位置之间往复移动。当台架76处于待机位置时，维护装置44～47被配置于待机位置，当台架76处于动作位置时，维护装置44～47被配置于图7所示的维护位置。在配置于待机位置的状态下，维护装置44～47位于液滴喷头15的轨道的延长线上外侧。在配置于维护位置的状态下，维护装置44～47位于承载架最大扫描范围L内。另外，在工作台移动方向(图7(a)的上下方向)上，维护单元70位于工件最大扫描范围内。而且，构成维护单元70的各维护装置44～47的排列顺序不限于图中所示的排列顺序，可以适当地变更。

在维护动作时，首先，搭载了基板32的吸附台19退避至不与维护装置44～47干涉的工作台退避位置。然后，利用马达75的驱动，维护装置44～47向承载架最大扫描范围L(参照图2)内的维护位置移动。与该维护装置44～47的向维护位置的移动大致同步，承载架18沿着导轨71移动，液滴喷头15移动至与维护装置44～47当中的此时用于维护的维护装置到达维护位置时的位置对应的给定的位置。此后，用于维护的维护装置实施液滴喷头15的维护。在结束了维护后，维护装置以相反的移动路径复位到待机位置。

根据该实施方式3，由于在配置于维护位置的状态下，维护装置44～47位于承载架最大扫描范围L内，因此可以缩短导轨71。由此，尽管施加有承载架18的重量，但是导轨71也难以弯曲，从而容易确保必需的液滴喷出位置精度。另外，由于维护单元70位于靠近液滴喷出装置10的外侧的位置，因此维护装置44～47的维修变得更为容易。另外，虽然配置于待机位置的维护单元70向基座30的外侧突出，但是由于该突出部分的工作台移动方向上的宽度与导轨71的宽度程度相比较窄，因此实质上可以在承载架移动方向上将液滴喷出装置设为宽度窄小型的装置。另外，在工作台移动方向上，由于维护单元70位于工件最大扫描范围内，因此在工作台移动方向上也可以将液滴喷出装置的尺寸控制得较小。

(实施方式4)

实施方式4是实施方式3的变形例，配置于基座的侧方的多个维护装置被沿工作台移动方向排成一列，在这一点上与所述实施方式3不同。

图8(a)是实施方式4的液滴喷出装置的俯视图，图8(b)相同，为前视图。

在图8(b)所示的液滴喷出装置10的承载架移动方向一端侧的位置上，与基座30相邻地设有维护用基座65，在维护用基座65上设有维护单元70。该维护单元70的构成与实施方式3的构成不同。维护单元70具有能够将多个维护装置44～47沿工作台移动方向和承载架移动方向移动的上下两段的滑动机构，在该滑动机构上配设有多个维护装置44～47。下段滑动机构具备设于维护用基座65上的导轨63、由导轨63导引而可以沿与工作台移动方向平行的方向移动的台架86、构成使台架86行进的驱动源的马达75。另外，上段滑动机构具备固定于台架86上的导轨64、由导轨64导引而可以沿与承载架移动方向平行的方向移动的4列台架76、构成使4列台架76独立地行进的驱动源的4个气缸78。维护装置44～47被逐个地设于构成上段滑动机构的各台架76上，沿着工作台移动方向排成1列。而且，图4的电控制方框图中的维护驱动装置77在本例的情况下，由马达75、控制用于驱动气缸78的压缩空气的供气·排气的电磁阀构成。另外，构成维护单元70的上下两段滑动机构相当于移动机构。另外，包括马达75的下段滑动机构构成第1扫描方向移动机构，包括气缸78的上段滑动机构构成第1扫描方向移动机构。

通过驱动下段滑动机构的马达75，4个维护装置44～47沿工作台移动方向移动，其中的用于维护的1个维护装置被配置于液滴喷头15的轨道延长线上的中继位置。然后，通过驱动下段滑动机构的气缸78，配置于中继位置的维护装置在承载架移动方向上向吸附台19侧延伸出来地移动，被配置于承载架最大扫描范围L(参照图2)内的维护位置。图8的例子中，冲洗装置45被配置于维护位置。本例中，将全部的维护装置44～47在承载架移动方向上向基座30的外侧退避，并且加帽装置44被配置于中继位置的状态作为维护单元70的待机位置。当维护单元70处于待机位置时，各维护装置44～47所占的位置成为各自的待机位置。而且，构成维护单元70的各维护装置44～47的排列顺序不限定于图中所示的排列顺序，可以适当地变更。

在维护动作时，因吸附台19退避至工作台退避位置，并且维护单元70的上下滑动机构的马达75等被驱动，用于维护的维护装置经由中继位置而被配置于维护位置。在其前后，承载架18移动，将液滴喷头15配置于与维护位置的维护装置对应的位置。此后，结束了维护的维护装置以相反的移动路径复位到待机位置。

根据该实施方式4，由于是将维护装置44～47在工作台移动方向上排成1列，使维护装置44～47逐个地沿承载架移动方向朝向维护位置移动的构成，因此与实施方式3的构成相比，可以缩短承载架移动方向的移动行程。这样，与实施方式3的构成相比，可以缩短维护单元70的承载架移动方向的突出量，可以使承载架移动方向上的装置尺寸比实施方式3的液滴喷出装置更小。

(变形例1)虽然例示了将维护单元的待机位置配置于吸附台的下侧和侧方的例子，但是并不限定于此。也可以将维护单元的待机位置配置于吸附台19的上方。形成如下的构成，即，从基座30的上面横跨吸附台地在上方设置门形的支撑部，在该支撑部上配置可以向下方伸长杆的升降装置(升降手段)，使升降装置的杆支撑能够在工作台移动方向上向液滴喷头15侧移动的滑动机构，并且在滑动机构的台架上配置了维护装置44～47。在维护动作时，当吸附台19退避后，维护装置44～47从待机位置向中继位置下降，从中继位置向工作台移动方向移动而被配置于维护位置。根据该构成，虽然增加了门形的支撑部那样的构造物，但是可以获得如下等与实施方式2相同的效果，即，与实施方式3及4相比，可以缩小液滴喷出装置10的底面面积，从而可以实现装置的小型化。

(变形例2)维护单元的移动机构也可以是旋转运动和直线运动的组合。虽然在实施方式4中，作为维护单元70的移动机构，将工作台移动方向的下段滑动机构和承载架移动方向的上段移动机构组合，然而也可以是旋转机构和滑动机构的组合。在维护用基座65上配置旋转台，在其上配置多个沿径向伸缩的滑动机构。在各滑动机构之上配置各维护装置44～47。

(变形例3)当排列多个维护单元时，并不限定于仅沿承载架18的移动方向排列的构成(实施方式1、实施方式3)或仅沿工作台的移动方向排列的构成(实施方式2、实施方式4)。也可以是在承载架的移动方向和工作台的移动方向上排列的组合。例如将加帽装置44和冲洗装置45沿承载架移动方向排列，将擦拭装置46和电子天平47沿工作台移动方向排列。该构成中，根据维护装置44～47的大小，进行最佳的配置，就可以使装置的构造简单化。

(变形例4)在实施方式1中，虽然维护单元被分为2组而实施，但是也可以在由装置的杆支撑的一个可动板上配置全部的维护装置44～47，将维护单元设为1个。例如使线性马达53靠近一方的导轨51侧，将维护单元配置于线性马达53和另一方的导轨50之间。该构成中，由于不需要独立地控制2个维护单元，因此控制变得简单化，而且还可以将升降装置减少为1个，在减少为1个的情况下，可以将维护装置44～47的移动机构设为简单的构成。另外，也可以将各维护装置44～47全都配设于1个可动板上，作为一个维护单元来构成。另外，为了能够使各维护装置44～47各自升降，也可以采用配设了4个维护单元的构成。

(变形例5)

加帽装置44和冲洗装置45也可以替换为兼具两个功能的一个维护装置。该维护装置具有能够与液滴喷头15密接的箱型容器，在箱型容器上具备将冲洗时接受的液体排出的排出管。通过使箱型容器与液滴喷头15密接，就会作为加帽装置发挥作用，通过在使箱型容器与液滴喷头15密接的状态下喷出液滴，就会作为冲洗装置发挥作用。该构成中，由于减少了一个维护装置，因此可以使维护单元的构成简单化并且小型化。

(变形例6)

所述实施方式1及2中，虽然使多个维护装置44～47的全部都位于承载架最大扫描范围L内，但是并不限定于此。例如在实施方式1中，也可以采用如下的构成，即，对于4个维护装置44～47当中的承载架移动方向两端的2个，仅一部分位于承载架最大扫描范围内。另外，在实施方式2中，也可以是如下的构成，即，4个维护装置44～47仅一部分位于承载架最大扫描范围L内。总而言之，只要在承载架最大扫描范围L内，液滴喷头15能够接受维护装置44～47的维护，即使仅维护装置的一部分位于承载架最大扫描范围内也可以。另外，在具备多个维护装置的液滴喷出装置中，也可以是有1个位于承载架最大扫描范围内的维护装置的构成。该情况下，由于是1个维护装置，因而也可以缩短导轨71。

Claims (13)

1.一种液滴喷出装置，其特征是，具备：

使工件沿第1扫描方向移动的工作台、

搭载向所述工件喷出液滴的液滴喷头并且将该液滴喷头沿着导引构件在第2扫描方向上移动的承载架、

用于所述液滴喷头的包括清洁在内的维护的一个以上的维护装置、

使所述维护装置向与扫描中的所述工作台不干涉的待机位置和进行所述液滴喷头的维护的维护位置移动的移动机构，

所述维护装置，在被配置于所述待机位置时，至少一部分位于在所述第1扫描方向上作为所述工作台上的工件的扫描时的移动范围能够取得最大量的工件最大扫描范围内，在被配置于所述维护位置时，至少一部分位于在所述第2扫描方向上作为所述承载架的扫描时的移动范围能够取得最大量的承载架最大扫描范围内。

2.根据权利要求1所述的液滴喷出装置，其特征是，在开始维护动作时，所述工作台退避至不与所述维护装置干涉的工作台退避位置，所述维护装置利用所述移动机构从所述待机位置移动到所述维护位置，在维护动作结束后，所述维护装置利用所述移动机构从所述维护位置退避至所述待机位置。

3.根据权利要求1或2所述的液滴喷出装置，其特征是，所述维护装置将处于所述液滴喷头的轨道正下方的所述工作台的下方位置配置为所述待机位置，

所述移动机构是使所述维护装置在所述待机位置和所述维护位置之间升降的升降机构。

4.根据权利要求3所述的液滴喷出装置，其特征是，设有多个所述维护装置，所述多个维护装置在所述液滴喷头的轨道正下方被沿着所述承载架的移动方向排成一列。

5.根据权利要求1或2所述的液滴喷出装置，其特征是，设有多个所述维护装置，所述多个维护装置在与所述工作台的扫描方向大致相同的方向上并排地至少排成一列，并且将所述工作台的下方位置作为所述待机位置，

所述移动机构具备：将所述多个维护装置当中的至少在此时被用于维护的维护装置在所述待机位置和所述液滴喷头的轨道正下方的中继位置之间沿与所述工作台的扫描方向大致平行的方向移动的第1扫描方向移动机构、和在所述中继位置和所述维护位置之间升降所述维护装置的升降机构。

6.根据权利要求1或2所述的液滴喷出装置，其特征是，所述维护装置将所述液滴喷头相对于所述工作台的轨道延长线上的外侧的位置配置为所述待机位置。

7.根据权利要求6所述的液滴喷出装置，其特征是，设有多个所述维护装置，所述多个维护装置被沿着所述承载架的扫描方向排成一列，

所述移动机构具备使所述维护装置在所述待机位置和所述维护位置之间沿所述第2扫描方向移动的第2扫描方向移动机构。

8.根据权利要求6所述的液滴喷出装置，其特征是，设有多个所述维护装置，在所述待机位置上所述多个维护装置中的一个位于所述液滴喷头的轨道延长线上并且所述多个维护装置沿所述工作台的扫描方向排成一列，

所述移动机构具备：使所述多个维护装置当中的用于维护的维护装置在所述待机位置和所述液滴喷头的轨道延长线上的中继位置之间沿所述第1扫描方向移动的第1扫描方向移动机构、和使所述维护装置在所述中继位置和所述维护位置之间沿所述第2扫描方向移动的第2扫描方向移动机构。

9.一种液滴喷出装置，其特征是，具备：

使工件沿第1扫描方向移动的工作台、

搭载向所述工件喷出液滴的液滴喷头并且将该液滴喷头沿着导引构件在第2扫描方向上移动的承载架、

用于所述液滴喷头的包括清洁在内的维护的一个以上的维护装置、

使所述维护装置向与所述工作台不干涉的待机位置和进行所述液滴喷头的维护的维护位置移动的移动机构，

所述维护装置在所述待机位置上被配置于与扫描中的所述工作台不干涉的所述工作台的下方位置，

所述移动机构具有升降机构，该升降机构在所述待机位置和所述维护位置之间移动所述维护装置的过程中使所述维护装置在所述待机位置的高度和所述维护位置的高度之间升降。

10.根据权利要求1～9中任意一项所述的液滴喷出装置，其特征是，在利用所述维护装置开始进行维护之前，移动所述承载架而将所述液滴喷头配置于与所述维护装置的所述维护位置对应的给定的位置上。

11.根据权利要求1～10中任意一项所述的液滴喷出装置，其特征是，作为所述维护装置，具备用于所述液滴喷头的清洁的加帽装置、擦拭装置、冲洗装置当中的至少一个。

12.根据权利要求1～11中任意一项所述的液滴喷出装置，其特征是，作为所述维护装置，具备测定从所述液滴喷头中喷出的功能液的重量的重量测定装置。

13.一种液滴喷头的维护方法，是权利要求1～12中任意一项所述的液滴喷出装置的液滴喷头的维护方法，其特征是，具备：

使工作台向与维护装置不干涉的工作台退避位置移动的工序；

使所述维护装置从待机位置向维护位置移动的工序；

移动所述承载架而将所述液滴喷头配置于与维护位置上的所述维护装置对应的位置上的工序；

使所述维护位置上的所述维护装置维护所述液滴喷头的工序。

Images