CN1987347A - 被检查体的外观检查装置 - Google Patents

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Abstract

本发明揭示一种被检查体的外观检查装置，其目的在于在被检查体的外观检查上能构成扩展性好灵活的***，另外，缩短基板等被检查体的检查时间，并提高检查精度。在基板(2)的外观检查装置(200)上，多台从属PC(140)和对基板(2)进行摄像的多个摄像单元(30)分别与所述多个摄像单元(30)的每一个对应设置，根据对应的摄像单元(30)摄得的基板(2)的摄像数据对基板(2)进行检查。该多台从属PC(140)的每一台对其它的从属PC(140)发送利用这些其它的从属PC(140)进行检查所需的公用数据。公用数据从由各从属PC(140)对应的摄像单元(30)拍摄的基板(2)的摄像数据中取得。从属PC(140)参照从各个其它的从属PC(140)接到的公用数据对基板(2)作外观检查。

Description

被检查体的外观检查装置
技术领域
本发明涉及被检查体的外观检查装置，特别是涉及具有多个摄像手段的安装基板的外观检查技术。
背景技术
近年来，电子基板几乎安装在所有的设备上。在这些装有电子基板的设备上，小型化、薄型化及降低价格一直是个问题，为此，广泛地进行高集成度设计。在实现这一高集成度设计的要素中，除了要充实各种设计工具、半导体技术的进步外，还可列举高密度安装技术。这一高密度安装的要点在于制造技术及检查技术，曾提出过利用图像识别技术对安装这些零件后的印刷电路基板(以后称‘基板’)进行检查的技术。
为此，例如在专利文献1中曾提出以下的技术，即在计算机图像的应用领域，在将多组廉价的PC(个人用计算机)和低清晰度的显示装置组合成高清晰图像生成装置中，使各台PC的图像生成负载分散，高效地显示高清晰的图像。另外，例如在专利文献2中还提出一种安装基板的外观检查***的方案，该***具有向管理计算机输出安装基板的最终检查结果的最终结果输出手段。
专利文献1：特開2003-115047号公报
专利文献2：特開平11-118439号公报
虽然曾提出将图像识别技术用于基板的检查的技术，但人们仍在寻求扩展性好、能灵活地构成***的外观检查装置。另外，还要求能更加缩短检查时间、提高基板的检查精度。但是，上述提及的技术没有提出即使没有将全体综合起来的计算机独立的PC仍能独自进行判断的外观检查装置，无法说能构成扩展性好、灵活的***。另外，基板检查用的图像识别，即便在现在，高清晰图像识别仍要花费不少检查时间，如不缩短检查时间，则不能改善检查精度。
本发明为解决上述问题而提出，其目的在于，在被检查体的外观检查装置上，能构成扩展性好、灵活的***，另外，缩短基板等被检查体的检查时间，并提高检查精度。
发明内容
为解决上述课题，本发明被检查体的外观检查装置包括：对被检查体进行摄像的多个摄像单元；与该多个摄像单元的各单元对应设置，并根据利用对应的摄像单元拍摄的被检查体的图像数据，对被检查体进行检查的多个检查手段。该多个检查手段的各个手段都向其它检查手段发送利用所述其它检查手段检查所要的公用数据。根据这种形态，则在被检查体的外观检查中，能构成扩展性好灵活的***，另外，缩短基板等被检查体的检查时间，并提高检查精度。
可以从由各检查手段对应的摄像单元拍摄的被检查体的图像数据中，取得公用数据。根据这种形态，则不必预先利用其它手段将公用数据输入检查装置，能提高检查效率。
检查手段参照从各个其它的检查手段接到的公用数据，进行被检查体的外观检查。根据这种形态，则不必预先利用其它手段将公用数据输入检查装置，能提高检查效率。
根据本发明的外观检查装置，即使没有将全体综合起来的计算机，通过独立的PC仍能独自地进行判断，所以能构成扩展性好、灵活的***。另外，能缩短基板等被检查体的检查时间，并提高检查精度。
附图说明
图1为表示本实施方式相关的外观检查装置的构成图。
图2为表示本实施方式相关的摄像***的构成图。
图3为表示本实施方式相关的照明单元的构成图。
图4为表示本实施方式相关的包括检查单元即从属PC在内的外观检查装置的构成图。
图5为本实施方式相关的外观检查装置的构成示意图。
图6A为表示基板的摄像范围用的图
图6B为表示摄像后的基板的图像用的图。
图6C为表示取得检查用零件的数据的状态的基板的图像用的图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的实施方式(以下称‘实施方式’)进行说明。
图1为表示本实施方式相关的外观检查装置200的构成。外观检查装置具有检查台10或基板输送台50、摄像***80等。基板输送台50具有支持机架52及两根输送轨54等。由支持机架52支持输送轨54。
输送轨54具有通过驱动电动机输送基板2的输送带，将载于输送带上的基板2输送到检查台10的实质***为止。在输送轨54的上方检查台实质***处，有使用检测基板2的输送用的图中未示出的光传感器等非接触式传感器的输送传感器，该输送传感器通过检测基板2的端面或设在基板2上的检测孔，检测基板2被输送到检查台10的实质***后，停止输送输送带上的基板2。
具有支持机架52及输送轨54的基板输送台50具有设置在外观检查装置200下方的让支持轴***穿过的***穿过单元，通过这样，支持基板输送台50可沿与输送轨54输送基板2的方向垂直的方向运动。通过利用电动机的驱动，基板输送台50下的滚珠螺杆56进行旋转，移动基板输送台50，将基板2送向摄像***80。还有，在本图面前一侧的输送轨54上设置从上方按压载于输送轨54上基板2、矫正基板2的形状的夹紧装置，输送到检查台10实质***的基板2，利用该夹紧装置矫正歪斜变形的状态，将基板2送向摄像***80。
摄像***80具有上部摄像***80a和下部摄像***80b，上部摄像***80a由上部照明单元100a、第1摄像单元30a、第2摄像单元30b等构成，下部摄像***80b由下部照明单元100b、第3摄像单元30c、第4摄像单元30d等构成(以下根据需要将上部照明单元100a和下部照明单元100b记为‘照明单元100’，将第1摄像单元30a、第2摄像单元30b、第3摄像单元30c、第4摄像单元30d记为‘摄像单元30’)。
当利用基板输送台50将基板2输送到摄像***80时，由照明单元100对基板2照射光，摄像单元30对基板2的面进行摄像。上部摄像***80a设在输送轨54的上部，下部摄像***80b设在输送轨54的下部，以便与上部摄像***80a一起夹着作为被检查体的基板2。上部摄像***80a和下部摄像***80b之间的基板2的输送、与利用照明单元100向基板2照射光、或利用摄像单元30对基板2的面摄像都受控制。通过这样，由基板输送台50输送的基板2，就能在上部摄像***80b和下部摄像***80b之间一面进行输送，一面进行摄像，能在一次的基板输送工序中，分别完成上部摄像***80a对基板2一面的摄像，以及下部摄像***80b对基板2另一面的摄像。还有，所谓一次的基板输送工序，可以是基板朝一个方向移动的工序，也可以是基板来回移动的工序。
当利用摄像***80完成对基板2的两面摄像时，通过转动滚珠螺杆56，移动基板输送台50直至利用输送轨54输送基板2的位置，并将完成检查的基板2送向下道工序。在此后有要进行检查的基板2时，与以上所述的相同，利用输送轨54输送基板2直至检查台10实质***处，同样地对基板2进行摄像。
图2为表示本实施方式相关的摄像***80的构成图。本实施方式中，用线状传感器扫描被检查体即基板的检查面，形成图像，利用图像识别判定零件的安装状态是否正常。向电动机输入控制信号，移动基板输送台50，通过与该线状传感器的扫描方向垂直地移动基板2，从而依次获得每条线的图像，以被检查体即基板2作一维空间的运动方式完成扫描。作为外观检查装置的其它型式，虽然也有使检查面在二维空间中移动并停止，反复上述动作不断地进行点摄像，但在这种场合，通常大多是机械装置结构复杂，检查时间长。在这一点上，如本实施方式那样利用线状传感器的形式则更加有利。
上部摄像***80a由上部照明单元100a、上部机架36a、上部支持机架38、第1摄像单元30a、第2摄像单元30b、电动机40、中间透镜42等构成，下部摄像***80b由下部照明单元100b、下部机架36b、第3摄像单元30c、第4摄像单元30d、中间透镜42等构成。
上部机架36a上放置并固定着第1摄像单元30a、第2摄像单元30b、中间透镜42。第1摄像单元30a由第1透镜32a、第1线状传感器34a构成。第2摄像单元30b由第2透镜32b、第2线状传感器34b构成。这样，为了对基板一侧的面进行摄像，通过设置多个摄像单元30，首先，由于能利用高清晰度对基板2摄像，所以能提高检查精度。另外，由于能将所摄图像的图像处理分散，所以能提高处理速度。
上部机架36a可沿本图中基板2的输送方向滑动地支持在上部支持机架38上，通过电动机40驱动，上部机架36a相对上部支持机架38滑动。控制对基板摄像用的摄像控制单元，根据预先输入的基板厚度数据，给出控制信号驱动电动机40，从而使上部机架36a相对上部支持机架38滑动，以便对基板2的上面摄像而对焦。
在上部摄像***80a中，第1摄像单元30a及第2摄像单元30b应该分担对被检查体即基板2的一个面进行摄像，与基板2的一个面对向并排设置。另外，因对位于第1摄像单元30a及第2摄像单元30b两者摄像范围之间的基板2上的零件进行检查，所以决定分别配置第1透镜32a、第1线状传感器34a、第2透镜32b、第2线状传感器34b及中间透镜42等，使得在两者的摄像范围上具有重复摄像范围。下部摄像***80b中也相同，第3摄像单元30c及第4摄像单元30d应该分担对被检查体即基板2的另一个面进行摄像，与基板2的另一个面对向并排设置。另外，决定分别配置第3透镜32c、第3线状传感器34c、第4透镜32d、第4线状传感器34d及中间透镜42等，使得在第3摄像单元30c及第4摄像单元30d两者的摄像范围上有重复摄像范围。第1摄像单元30a及第2摄像单元30b、和第3摄像单元30c及第4摄像单元30d，摄像单元30与作为被检查体的基板2进行一次相对的移动工序，通过这样能对基板2的两面进行摄像，配置成夹着被检查体即基板2而对向。
为了抑制由于互相间光的干涉造成的图像模糊，上部照明单元100a配置在比下部照明单元100b更靠近基板输送方向送来的一侧。因此，通过基板输送台50输送基板2，基板2首先移向第1线状传感器34a及第2线状传感器34b的扫描范围的开始位置。然后，利用线状传感器34每对基板扫描一根线，便向驱动滚珠螺杆56的电动机给出一次控制信号，基板2就前进一根线。就这样通过线状传感器34对基板2输送方向的所有长度进行扫描，能在一道基板输送工序中对基板2两面进行摄像。
图3为表示本实施方式相关的照明单元100的构成图。照明单元100由上部照明单元100a及下部照明单元100b构成。上部照明单元100a及下部照明单元100b由第1光源102、第2光源104、第3光源106、半透半反镜110、丙烯酸片112等构成。分别配置成第1光源102、第2光源104、第3光源106围着半透半反镜110。
第1光源102由沿线状传感器34的扫描方向排列成大于等于被检查体即基板2的长度的LED(发光二极管)组构成。第1光源102为了能对基板2照射反射光，将线状传感器34配置在将要扫描的基板上的扫描线的正上方，在本实施方式中，第1光源102由设置在与基板2平行设置的基板上的LED组构成。还有，为了有效地向检查中的扫描线投射反射光，可将安装LED组的基板从中央开始分成两块副基板，在各个副基板上构成沿扫描方向排列的LED组。利用第1光源102将反射光投向基板2，再利用线状传感器34将其检测出来，从而能判定基板2内零件位置偏离、次品、焊锡渍等。
第2光源104由设置在与基板2平行地配置的两块基板上的，沿线状传感器34的扫描方向排列成大于等于被检查体即基板2的长度的LED组构成。安装LED的两块基板沿基板输送方向夹着扫描线配置在两侧，使得第1光源不干扰将反射光投向扫描线的光程。
第3光源106也和第2光源104一样，由设置在与基板2平行地配置的两块基板上的，沿线状传感器34的扫描方向排列成大于等于被检查体即基板2的长度的LED组构成。安装LED的两块基板沿基板输送方向夹着扫描线配置在两侧，使得第1光源及第2光源不干扰对扫描线照射光的光程。利用第2光源104向基板2投射侧射光，通过用线状传感器34将其检测出来，从而能判定基板2内有无焊锡搭桥、装错零件、及极性装反等。
上述光源为，第1光源102照射绿光、第2光源104照射白光、第3光源106照射蓝光，各光源以不同的入射角照射被检查体即基板2。因此，照明单元100作为对被检查体即基板2照射多个入射角度的光的复合光源起作用。之所以选第1光源102为绿色、第3光源106为蓝色是由于近些年LED技术的进步，绿色LED或蓝色LED比白色LED明亮，能获得SN比高的清晰的图像。由于印刷电路布线板大多为绿色，所以为了利用反射光明亮地照射平面，选第1光源为绿色。另外，用激光印在IC或芯片上的文字通过从低的角度照蓝色的光就变得容易辨认，所以第3光源106为蓝色。
来自第1光源102的反射光通过半透半反镜110向基板2的检查面以近似零的角度投射。在本发明的实施方式中，配置成让第1光源102形成宽度，即使在基板2弯曲时仍旧有入射角为零的反射光分量存在。来自扫描线的反射光在半透半反镜110上反射，通过中间透镜42射向透镜32。
在第2光源104及第3光源106和扫描线之间设置丙烯酸片112。该丙烯酸片将来自第2光源104及第3光源106的光扩散。由于第2光源104及第3光源106为点光源的LED的集合体，所以，如无扩散作用则由于点状的光摄入图像数据有可能会对检查精度带来影响。
本实施方式中，依照第2光源104为白色的光、第1光源为绿色的光、第3光源为蓝色的光的次序，各个光源独立地对一根扫描线三次发光，每一次发光都用线状传感器34扫描基板2。通过这样，能得到各光源对基板2照射光后的状态的图像。
由于基板2有时会光从基板2的端部漏向对向的照明单元100，另外，基板2上有时设置孔或有未被焊锡埋没的孔残留等情形存在，所以，从该孔对着对向的照明单元100有漏光的情形存在。当从这样地对向的照明单元100漏出的光由线状传感器34直接扫描时，就产生图像模糊的现象，会对基板2的摄像带来影响。因此，在本实施方式中，上部照明单元100a和下部照明单元100b沿基板的输送方向仅偏移长度L进行配置。偏移的长度L从抑制图像模糊的角度考虑最好大于等于50mm。
图4为表示本实施方式相关的检查单元即包括从属PC(个人用计算机)在内外观检查装置200的构成图。上部摄像***80a由第1摄像单元30a及第2摄像单元30b构成，第1摄像单元30a与第1图像处理单元130a及检查单元即第1从属PC140a对应、第2摄像单元30b与第2图像处理单元130b及第2从属PC140b对应。同样，下部摄像***80b由第3摄像单元30c及第4摄像单元30d构成，第3摄像单元30c与第3图像处理单元130c及第3从属PC140c对应、第4摄像单元30d与第4图像处理单元130d及第4从属PC140d对应(以下，按需将第1图像处理单元130a、第2图像处理单元130b、第3图像处理单元130c、第4图像处理单元130d记为‘图像处理单元130’，将第1从属PC140a、第2从属PC140b、第3从属PC140c、第4从属PC140d称为‘从属PC140’)。
各个从属PC140经交换中心150通过网络与其它从属PC140连接，进行数据的收发。另外，从属PC140也与管理单元即主PC160连接。主PC160也与LAN(Local Area NetWork局域网)连接，检查结果等也能向连接LAN的其它PC发送。
各摄像单元30的线状传感器34通过扫描得到的图像，发送给各摄像单元30对应的图像处理单元130。各图像处理单元130对送来的图像进行图像处理，将图像输入对应的从属PC140。
从属PC140具有输入各图像的图像输入口；存储图像数据等数据的存储器；以及通过进行图像识别对基板2外观进行检查的CPU(Central Processing Unit中央处理单元)等，从各图像处理单元130向对应的图像输入口输入图像。输入图像的各从属PC140将图像存入存储器，通过解析对应的摄像单元扫描过的图像，首先取得识别标志或条形码、其它检查所需的数据即公用数据。取得公用数据的从属PC140将这一共用数据向其它所有的从属PC140发送。收到公用数据的各从属PC参照该公用数据对被检查体即基板2进行检查。通过这样，各从属PC能执行应该独自进行的检查。
这一处理和生物细胞的行为相同，所有细胞具有相同的遗传因子，按照某个触动只选与自己有关的指令执行。本实施方式中，与遗传因子相当的为检查数据，细胞相当于从属PC140。以往主PC160要划分***位或内容指示多个图像处理口，但现在能如本实施方式那样，各从属PC140具有相同的检查数据，通过只选与自己有关的部位执行，从而在被检查体的外观检查装置上，构成扩展性好、灵活的***，提高检查精度，并缩短检查时间。
图5为本实施方式相关的外观检查装置的构成示意图。图中，虽然作为例子记述上部摄像***的第1摄像单元30a及第2摄像单元30b，及与其对应的第1从属PC140a及第2从属PC140b的构成，但也适用于下部摄像***的第3摄像单元30c及第4摄像单元30d，及与其对应的第3从属PC140c及第4从属PC140d的构成。另外，对于上部和下部的从属PC140之间，例如第1从属PC140a及第3从属PC140c之间也能收发数据。
利用上部照明单元100a对基板2照射光时，第1摄像单元30a通过第1透镜32a利用第1线状传感器34a扫描图像，第2摄像单元30b通过第2透镜32b利用第2线状传感器34b扫描图像。当扫描1根线图像时，向电动机58输入控制信号，使基板2移动1根线。
通过扫描所得的图像为由第1摄像单元30a摄得的图像，则发送给第1图像处理单元130a，由第2摄像单元30b摄得的图像，则发送给第2图像处理单元130b。各图像处理单元130对收到的图像进行图像处理，第1图像处理单元130a将图像处理后的图像向第1从属PC140a的存储器141a发送并存储在进行存储，第2图像处理单元130b将图像处理后的图像向第2从属PC140b的存储器141b发送并存储在进行存储。
各从属PC的解析单元142对在存储在各存储器141的图像中，在其它的从属PC140中进行检查基板2所要的公用数据的解析。所谓公用数据系指例如：设在基板2上的表示基板2的位置的识别标志的位置数据，通过解析设在基板2上的条形码等的识别标志而得到的基板2的系列号或制造年月日等识别数据、跨越第1摄像单元30a及第2摄像单元30b拍摄的零件的图像、其它基板2检查所需的数据等。
当通过解析单元140解析图像，取得基板2检查所需的公用数据时，将公用数据存入存储器141向其它从属PC140发送公用数据。本图中，虽然记述第1从属PC140a及第2从属PC140b，但可以和第3从属PC140c及第4从属PC140d一起在从属PC140之间互相收发公用数据。
接到公用数据的从属PC140的解析单元142a，参照接到的公用数据对存储器141所存的图像进行解析，根据存储在判定基准存储单元143的判定基准进行基板2的检查。由此，在利用多个摄像单元30对基板2进行摄像，并利用与多个摄像单元的各单元对应设置的从属PC140检查基板2时，由于各从属PC140能共享公用数据，所以在被检查体的外观检查上，能构成扩展性好、灵活的***，另外，缩短基板的检查时间，并提高基板的检查精度。
还有，存在各从属PC的存储器中的，对基板2拍摄得到的图像或识别标志的位置数据等公用数据、以及从属PC140进行的基板2的检查结果发送给主PC160。主PC根据基板2的图像或基板2的检查结果，按需将基板2的出错部位等在画面上进行显示等。
图6A表示基板2的摄像范围用的图，图6B为表示摄像后的基板2的图像用的图，图6C为表示取得检查用零件的数据的状态的基板2的图像用的图。图中，以基板2一侧的面为例进行说明，但对于基板2另一侧的面则也相同。
在图6A中，第1摄像单元30a拍摄基板2的左侧，第2摄像单元30b拍摄基板2的右侧。为了在第1摄像单元30a的摄像范围和第2摄像单元30b的摄像范围之间不产生图像缺失的范围，在第1摄像单元30a的摄像范围和第2摄像单元30b的摄像范围中设重复的摄像范围。
基板2上设置表示基板位置的第1识别标志4a及表示基板位置的第2识别标志4b。另外，在基板2的实质***安装跨越第1摄像单元30a的摄像范围和第2摄像单元30b的摄像范围的第1零件6及第2零件8。另外，虽图中未示出，但在基板2上设置着记录基板2的识别数据的条形码。
当利用第1摄像单元30a及第2摄像单元30b对基板2进行摄像时，如图6B所示，利用第1摄像单元30a对本图中基板2左侧的图像进行摄像，并利用第2摄像单元30b对本图中基板2右侧的图像进行摄像。由第1摄像单元30a拍摄的图像存入第1从属PC140a的存储器141a，由第2摄像单元30b拍摄的图像存入第2从属PC140b的存储器141b。这时，第1识别标志4a、第1零件6及第2零件8的部分图像由第1摄像单元30a拍摄并存入第1从属PC140a的存储器141a，另外，第2识别标志4b、第1零件6及第2零件8剩余的部分图像由第2摄像单元30b拍摄并存入第2从属PC140b的存储器141b。
这里，首先各从属PC140的解析单元142对存储器141所存的图像进行解析，从识别标志的图像取得识别标志的位置数据，从条形码的图像取得基板2的系列号或制造年月日等识别数据。取得的识别标志的位置数据或识别数据等公用数据由收发单元144送别的从属PC140。例如因为基板2的姿势有可能稍微倾斜，或基板2的位置偏离扫描方向或输送方向而设置，所以进行基板检查的PC要准确掌握基板的位置或姿势后对基板2作检查。因此，在本实施方式中，检查基板2的各从属PC140在自己对应的摄像单元30的摄像范围内不包括识别标志或只包括部分识别标志时，通过在从属PC间共享识别标志的位置数据等公用数据，从而在输入的基板2的图像上，能掌握基板2的位置或姿势。因此，能用多台PC分担基板2的检查，在被检查体的外观检查上，能构成扩展性好、灵活的***，另外，在基板2等被检查体的检查上，能提高检查精度，并缩短时间。
另外，本实施方式中，如第1零件6及第2零件8那样，跨越多个摄像单元30的摄像范围设置在基板2上的零件根据零件的中心部属于哪个摄像单元30的摄像范围，预定就由某个从属PC140对该零件进行检查。例如，本实施方式中，因第1零件6其中心部属于第1摄像单元30a的摄像范围，所以对第1零件6的检查由与第1摄像单元30a对应的检查单元即第1从属PC140a进行。反之，第2零件8其中心部属于第2摄像单元30b的摄像范围，所以对第2零件8的检查由与第2摄像单元30b对应的检查单元即第2从属PC140b进行。
这里如图6B所示，各摄像单元30只对基板2摄像，如第1零件6及第2零件8那样，跨越多个摄像单元30的摄像范围配置的基板2上的零件的图像由于部分缺失，就无法检查。因此，缺失的图像必须从存储器中存有缺失的图像的其它从属PC140处取得。
这里，例如若第1从属PC140a从第2从属PC140b收到第2识别标志4b的位置数据，则第1从属PC140a自己取得的第1识别标志4a的位置数据和收到的第2识别标志4b的位置数据对照，计算第1摄像单元30a摄得的基板2的位置或姿势。由此，第1从属PC140a能识别第1摄像单元30a拍摄的图像的位置或姿势。通过识别图像的位置或姿势，第1从属PC140a特定应该送第2从属PC140b的第2零件8的部分图像。这样，第1从属PC140a将第2零件8的部分图像发送给第2从属PC140b。
同样，例如，若第2从属PC140b从第1从属PC140a收到第1识别标志4a的位置数据，则第2从属PC140b自己取得的第2识别标志4b的位置数据和收到的第1识别标志4a的位置数据对照，计算第2摄像单元30b摄得的基板2的位置或姿势。由此，第2从属PC140b能识别第2摄像单元30b拍摄的图像的位置或姿势。通过识别图像的位置或姿势，第2从属PC140b特定应该送第1从属PC140a的第1零件6的部分图像。这样，第2从属PC140b将第1零件6的部分图像发送给第1从属PC140a。
这样，如图6C所示，从属PC140通过取得缺失的图像，取得所检查的零件的所有图像，由此，就能对基板2上的全部零件进行检查。各从属PC140根据判定基准判定自己承担的零件的检查等，当检查结束时，将检查结果发送给主PC160。
本发明不限于上述各实施方式，作为本发明的实施方式将各实施方式的各要素适当组合而成也是有效的。另外，根据从事这项技术的人员的知识也能对各实施方式添加各种设计变更等变形，作了这样的变形后的实施方式仍包括在本发明的范围内。以下，列举这样的例子。
摄像单元30可以不是用线状传感器34检查基板2，而是用CCD传感器依次拍摄规定范围的图像。通过这样，能容易地拍摄基板2的图像。
公用数据可以由从属PC140向主PC160发送，并由主PC160向各从属PC140发送。
摄像单元30及对应的从属PC140可以在检查基板2的一面的上部及检查基板2的另一面的下部各设1组。此时，公用数据能在检查基板2的一面的从属PC140及检查另一面的从属PC140之间收发。通过这样，例如即使基板2的某一面未设识别标志等，仍能参照己设识别标志的另一面的位置数据进行检查等，使装置的构成简化。
可以固定基板、移动照明单元100或摄像单元30。通过这样，在对基板2摄像时，能稳定保持基板2。

Claims (3)

1.一种被检查体的外观检查装置，其特征在于，具有：
对被检查体进行摄像的多个摄像单元；以及
与该多个摄像单元的各单元对应设置，并根据利用对应的摄像单元拍摄的被检查体的摄像数据，对被检查体进行检查的多个检查手段，
该多个检查手段的各个手段都向其它检查手段发送利用所述其它检查手段检查所要的公用数据。
2.如权利要求1所述的被检查体的外观检查装置，其特征在于，
从由各检查手段对应的摄像单元拍摄的被检查体的摄像数据，取得所述公用数据。
3.如权利要求1或2所述的被检查体的外观检查装置，其特征在于，
所述检查手段参照从各个其它的检查手段收到的公用数据，进行被检查体的外观检查。
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