CN1835246A - 固体摄像装置及固体摄像装置的制造方法 - Google Patents
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Abstract
在埋设于基座(2)中的金属配线(7)上形成有在基座(2)上面的内部端子部(8)与外部端子部(9)之间的部位露出的金属露出部(12)。由此，在外部端子部(9)上未装设焊球的场合，即使在制造途中的工序中析出物从密封树脂沿基座(2)的上面流出的场合，也能利用金属露出部(12)阻挡该析出物而起到防波堤的作用，能防止析出物覆盖在外部端子部(9)上。
Description
(1)技术领域
本发明涉及将CCD等摄像元件(固体摄像元件)装设在基座上所构成的固体摄像装置及其制造方法。
(2)背景技术
固体摄像装置广泛地用于视频摄像机及静态摄像机、移动电话等中，例如日本专利特愿2003-352082、特开2002-299595号公报等所述，是以将CCD等摄像元件装设在绝缘性的基座上、并用透光板覆盖受光区域的封装形态来提供的。为了使固体摄像装置小型化，将摄像元件以裸芯片(日文：ベアチツプ)形态装设在基座上。关于这样的以往的固体摄像装置参照图12进行说明。
图12是表示以往的固体摄像装置的结构的剖视图。如图12所示，固体摄像装置具有：由环氧树脂等绝缘性材料构成并在中央部有开口部100的框架状的基座101；安装在基座101的一面侧、例如下面侧的摄像元件102；由玻璃等透光性材料构成的窗构件103，安装在基座101的另一面侧、例如上面侧，并夹着开口部100地与摄像元件102相对；焊球104。
用密封树脂105对摄像元件102的周边、和摄像元件102与基座101的间隔进行充填并覆盖。
将金属配线106埋入于基座101内，金属配线106的一方的端部在基座下面的开口部100附近的区域从构成基座101的模压树脂露出而成为内部端子部107，配线106的另一方的端部在基座下面的外缘部从构成基座101的模压树脂露出而成为外部端子部108。
但是，在以往的固体摄像装置中，在小型、薄型化方面有下述可改进的余地。首先，从其背景进行叙述。
在近年来移动电话等重视便携性的电子设备中，由于在其市场中要求小型化及薄型化，故在电子设备的零件装设基板上例如形成凹部，能以将固体摄像装置的摄像元件102收容在该凹部中的形态进行安装。在这样的场合，在图12所示的结构中，装设在固体摄像装置的外部端子部108上的焊球104阻碍着薄型化。因此，作为与其应对的措施，考虑使用无焊球104的固体摄像装置。
然而，为了适应电子设备薄型化的要求，在以往的固体摄像装置中若想提供不装设焊球104的形状，在涂敷作为摄像元件102的补强而充填的密封树脂105时，当发生密封树脂105中所含的低分子成分等的容易析出扩散的成分、即所谓的析出物的情况，由于基座101上的摄像元件侧的面101a与外部端子部108从基座101露出的面108a成为同一平面，故沿基座101的面101a流动的析出物往往将外部端子部108的所述面108a的一部分覆盖。当发生该现象时，外部端子部108的连接区域减少，其结果是，有安装电子设备时的安装合格率降低、进一步使安装可靠性降低之虞。
又，采用该结构时，由于在固体摄像装置的表面上，作为散热性良好的配线106仅外部端子部108的所述面108a向外部露出，故对于要求高散热性的电子设备或摄像元件102来说还有难以获得足够特性的缺点。
(3)发明内容
为了解决上述问题，本发明的目的在于提供一种能实现电子设备的小型化和薄型化、并能防止安装合格率降低及安装可靠性降低、而且生产率高的具有高散热特性的固体摄像装置及其制造方法。
为了解决上述现有技术的问题，本发明的固体摄像装置及固体摄像装置的制造方法具有下述的特征。
即，本发明的固体摄像装置，具有：由绝缘性材料构成、在内侧区域形成开口部的基座；埋设在所述基座中的金属配线；以在所述基座的一面的靠近所述开口部的部位露出的状态形成在所述金属配线上的内部端子部；以在所述基座的一面的靠近外周的部位露出的状态形成在所述金属配线上的外部端子部；具有受光区域、且以与所述内部端子部连接的状态使该受光区域面向所述开口部地装设在所述基座的所述一面侧的摄像元件；对所述摄像元件的周边、和所述摄像元件与所述基座的间隔进行充填并覆盖的密封树脂；安装在所述基座的另一面上且具有透光性的窗构件，其特征在于，在所述金属配线上形成有金属露出部，该金属露出部在所述基座的一面上的所述内部端子部与所述外部端子部之间的部位露出。
采用该结构，由于形成有在基座的一面上的所述内部端子部与所述外部端子部之间的部位露出的金属露出部，故在外部端子部未装设焊球的场合，即使在制造途中的工序中析出物从密封树脂沿基座的一面流出的场合，也能利用金属露出部阻挡该析出物而起到防波堤的作用，能防止析出物覆盖在外部端子部上，不会产生安装电子设备时的安装合格率降低及安装可靠性降低的情况。因此，能抑制因该析出物的发生而引起的固体摄像装置的大型化，能容易地实现小型化、薄型化，并能获得良好的安装合格率及安装可靠性。又，由于不仅外部端子部、且金属露出部也从基座的表面露出，故散热性良好的金属配线在基座表面上的露出面积增加，能具有高的散热特性，对于要求高散热性的电子设备或摄像元件来说能获得足够的散热特性。
又，本发明的固体摄像装置，其特征在于，外部端子部和金属露出部从基座的一面突出，由此，与金属露出部和基座的一面为同一平面的情况相比，利用金属露出部阻挡析出物的效果更大，并且，与外部端子部和基座的一面为同一平面的情况相比，析出物更加难以覆盖外部端子部的表面，能进一步提高安装可靠性。
又，本发明的固体摄像装置，其特征在于，外部端子部与金属露出部的露出面为大致同一平面，由此，与外部端子部和金属露出部的露出高度不同的情况相比，能容易地将金属露出部用作外部端子部的安装补强部，能容易地提高向电子设备等安装时的安装可靠性。
又，本发明的固体摄像装置，其特征在于，金属配线的连接外部端子部与金属露出部的连接部也从表面露出，由此，与仅外部端子部和金属露出部从基座的表面露出的情况相比，金属配线在基座表面上的露出面积又增加了所述连接部的露出部的面积部分，能发挥更高的散热特性。
又，本发明的固体摄像装置，其特征在于，金属配线的外部端子部和金属露出部的露出面与基座的一面大致为同一平面。
又，本发明的固体摄像装置的制造方法，其特征在于，具有：形成成形体的工序，该工序使用：具有对多个基座进行树脂成形用的模腔的一对模具；与多个基座对应地形成分别具有内部端子部、外部端子部及两者之间的金属露出部的多组金属配线的金属薄板导线；以及支承该金属薄板导线的带材，为了在所述模腔的与所述多个基座对应的区域分别配置各组的所述金属薄板导线，而将所述带材装填于所述一对模具之间，在所述模腔中充填密封树脂并使其硬化，从而形成成形体，该成形体具有多个分别与围住开口部的各基座对应的固体摄像装置形成区域，且在各固体摄像装置形成区域中分别具有形成内部端子部、外部端子部及金属露出部的金属配线；将所述成形体分离成多个单片的工序；将固体摄像元件安装在所述成形体的由所述金属配线构成的内部端子部侧的工序；用密封树脂对所述摄像元件的周边、和所述摄像元件与所述成形体的间隔进行充填并覆盖的工序；将由透光性材料构成的窗构件安装在所述成形体的与安装有所述摄像元件的面相对的面上的工序，由此，能良好地制造上述结构的固体摄像装置。
又，本发明的固体摄像装置的制造方法，其特征在于，在配置金属薄板导线时，配置成利用带材的厚度方向的变形来吸收由所述金属薄板导线形成的金属配线的内部端子部与外部端子部及金属露出部之厚度差，并将密封树脂充填在模腔中使其硬化，由此，能利用带材良好地吸收金属配线的内部端子部与外部端子部及金属露出部的厚度差，并能良好地制造上述结构的固体摄像装置。
又，本发明的固体摄像装置的制造方法，具有：形成成形体的工序，该工序使用：具有对多个基座进行树脂成形用的模腔的一对模具；与多个基座对应地形成分别具有内部端子部、和形成在比该内部端子部更向外周的部位上的金属露出区域的多组金属配线的金属薄板导线；以及对形成与多个基座对应的多组金属配线的金属薄板导线进行支承的带材，为了在所述模腔的与所述多个基座对应的区域分别配置各组的所述金属薄板导线，而将所述带材装填于所述一对模具之间，在所述模腔中充填密封树脂并使其硬化，从而形成成形体，该成形体具有多个分别与围住开口部的各基座对应的固体摄像装置形成区域，且在各固体摄像装置形成区域中分别具有形成内部端子部和位于固体摄像装置形成区域的周边部的金属露出区域的金属配线；使用切断工具将所述成形体分离成多个单片的工序；将固体摄像元件安装在所述成形体的由所述金属配线构成的内部端子部侧的工序；用密封树脂对所述摄像元件的周边、和所述摄像元件与所述成形体的间隔进行充填并覆盖的工序；将由透光性材料构成的窗构件安装在所述成形体的与安装有所述摄像元件的面相对的面上的工序，其特征在于，在将所述成形体分离成多个单片时，使用在分离成单片时所用的切断工具对所述金属配线的金属露出区域进行半切断，在所述金属配线上形成外部电极端子、金属露出部及在两者之间露出的连接部，由此，能良好制造在金属配线上设有在外部电极端子与金属露出部之间露出的连接部的固体摄像装置。
(4)附图说明
图1A是本发明实施例1的固体摄像装置的剖视图，图1B是从下方看该固体摄像装置的仰视图。
图2A和图2B是分别表示该固体摄像装置的制造方法的不同工序的局部剖视图。
图3A和图3B是分别表示该固体摄像装置的制造方法的模压工序的局部剖视图。
图4A和图4B是分别表示该固体摄像装置的制造方法的不同工序的局部剖视图。
图5A和图5B是分别表示该固体摄像装置的制造方法的不同工序的局部剖视图。
图6A是本发明实施例2的固体摄像装置的剖视图，图6B是从下方看该固体摄像装置的仰视图。
图7A和图7B是分别表示该固体摄像装置的制造方法的不同工序的局部剖视图。
图8A和图8B是分别表示该固体摄像装置的制造方法的模压工序的局部剖视图。
图9A和图9B是分别表示该固体摄像装置的制造方法的不同工序的局部剖视图。
图10A和图10B是分别表示该固体摄像装置的制造方法的不同工序的局部剖视图。
图11A是本发明其它实施例的固体摄像装置的剖视图，图11B是从下方看该固体摄像装置的仰视图。
图12是现有技术中的固体摄像装置的剖视图。
(5)具体实施方式
以下，参照附图对本发明实施例的固体摄像装置和固体摄像装置的制造方法进行说明。
首先，对本发明实施例1的固体摄像装置进行说明。图1A是本实施例的固体摄像装置的剖视图，图1B是从下方看该固体摄像装置的仰视图。另外，在以下的说明中，为了容易理解，对将摄像元件配设在基座的上面侧、将窗构件配设在基座的下面侧的情况进行叙述并图示。另外，当然这些窗构件和摄像元件不限定于上下的配置，只要各零件的相对位置相同就可以。
如图1A、图1B所示，固体摄像装置具有：由环氧树脂等绝缘性材料构成、并在中央部有开口部1的框架状的大致为平面形状的基座2；安装在基座2的上面侧的摄像元件3；由玻璃等透光性材料构成的窗构件4，该窗构件4安装在基座2的下面侧，并夹着开口部1地与摄像元件3相对。
另外，在摄像元件3的周边、和摄像元件3与基座2之间的间隔充填有密封树脂5，利用密封树脂5将这些部位覆盖。另一方面，在基座2的下面，利用设在窗构件4周围的密封树脂6对基座2与窗构件4的间隔部位进行密封。
在基座2内埋入金属配线7。金属配线7的一方的端部在基座上的开口部1的附近区域成为内部端子部8，该内部端子部8形成为从构成基座2的模压树脂24露出的状态，金属配线7的另一方的端部在基座上的外周部附近部位成为外部端子部9，该外部端子部9形成为从构成基座2的模压树脂24突出。
摄像元件3以其受光区域10向开口部1露出的状态被安装在基座2上的开口部1的周边区域。在形成摄像元件3的受光区域10的面的外周附近，设有用于输入输出摄像元件3与外部设备的电信号的电极垫，并通过凸柱11对由金属配线7形成的内部端子部8与所述电极垫进行电气连接。
另外，尤其是在金属配线7上一体地形成金属露出部12，该金属露出部12向基座2上面的内部端子部8与外部端子部9之间的部位露出(在本实施例中露出并突出)。这里，在本实施例中，金属露出部12的表面(突出端面)与外部端子部9的表面(突出端面)形成为大致同一平面(成为相同的高度)。
接着，参照附图对该固体摄像装置的制造方法进行说明。图2A、图2B、图4A、图4B、图5A、图5B是分别表示该固体摄像装置的制造方法的不同工序的局部剖视图。但是，在图2A、图2B、图4A所示的工序中，仅表示形成2个固体摄像装置的区域的情况，但一般使用将许多个固体摄像装置的形成区域设置成棋盘状的导线框21来进行制造工序。又，图3A、图3B是在该固体摄像装置的制造工序中分别表示模压工序的剖视图。
首先，如图2A所示，将形成配线图形的导线框21载置在密封带22上。导线框21的大部分利用半蚀刻或冲压而在下部设有凹部，作成仅成为外部端子部9、金属露出部12、内部端子部8的部分从凹部的底面向下方突出的结构，并以该姿势载置在密封带22上。另外，外部端子部9和金属露出部12成为比内部端子部8更向下方突出的结构，在载置在密封带22上时，附加加重地进行载置，以利用密封带22的厚度方向的变形来吸收与内部端子部8的突出距离之差。例如，在内部端子部8与外部端子部9、金属露出部12的突出距离差取为约50μm时，使用粘接层(未图示)的厚度为约50μm的密封带22。由此，能确保可吸收突出距离差的变形量，能作出所需的突出距离差。
接着，在图2B所示的工序中进行模压工序。也就是说，如图3A、图3B所示，将导线框21上安装了密封带22的构件安装在模压用模具23上，将环氧树脂等模压树脂24充填在模压用模具23的模腔25中、并将导线框21的内部端子部8、外部端子部9、金属露出部12以外的部分用模压树脂24掩埋而形成成形体26。在模压用模具23中形成分隔各模腔间的分隔部27，由于在该分隔部27处不充填模压树脂24，故在成形体26的形成各固体摄像装置的区域(称为固体摄像装置形成区域)的中央部形成面对地安装摄像元件3的开口部1。
接着，如图4A所示，从成形体26将密封带22剥离后，利用刀片(切断用工具)28将成形体26的相邻接的固体摄像装置形成区域间的边界部分切断，从成形体26形成各个固体摄像装置的基座2。这时，内部端子部8、金属露出部12及外部端子部9从基座2的表面露出，连接它们的金属配线7的其它部分埋入于基座2中。
接着，如图4B所示，将摄像元件3以受光区域10朝向下方的形态装设在上下翻过来的基座2上。这时，在各摄像元件3上的电极垫上设有凸柱11，将这些凸柱11分别与对应的基座2上的内部端子部8连接。
接着，如图5A所示，在基座2与摄像元件3的连接部的间隔、和摄像元件3的周边充填密封树脂5，利用密封树脂5将这些密封部位覆盖。
接着，如图5B所示，使安装了摄像元件3的基座2进行上下翻转，在基座2的与装设了摄像元件3的一侧相反的面上载置覆盖开口部1的由玻璃构成的窗构件4，将密封树脂6充填在窗构件4与基座2之间的间隔中，利用该密封树脂6将开口部1密封。
采用该固体摄像装置的结构，由于不仅外部端子部9、且金属露出部12也从基座2的表面露出，故散热性良好的金属配线7在基座2表面上的露出面积增加，能具有高的散热特性。因此，对于要求高散热性的电子设备或摄像元件来说能获得足够的散热特性。
另外，由于金属露出部12与外部端子部9的突出面是大致同一平面，故能将金属露出部12用作外部端子部9的安装补强部，能容易地提高在向电子设备等安装时的安装可靠性。
在涂敷对摄像元件3与基座2之间进行充填并覆盖的密封树脂5时，发生密封树脂5中所含的低分子成分等的容易析出扩散的成分、即所谓的析出物，即使在析出物从密封树脂5沿基座2的上面流出的场合，由于金属露出部12从基座2的表面突出，故金属露出部12起到防波堤的作用，能防止析出物覆盖在外部端子部9上。采用本结构，即使不像以往的固体摄像装置那样将焊球装设在外部端子部上，也能防止析出物覆盖在外部端子部9上，不会产生向电子设备安装时的安装合格率降低、安装可靠性降低的情况。因此，能抑制因该析出物的发生而引起的固体摄像装置的大型化，能容易地实现小型化、薄型化，而且能获得良好的安装合格率和安装可靠性。
另外，金属露出部12的形状，在本实施例中图示了长方形的情况，但不限于此，也可以是圆形、正方形等任何的形状。
接着，对本发明实施例2的固体摄像装置进行说明。图6A是该实施例2的固体摄像装置的剖视图，图6B是从下方看该固体摄像装置的仰视图。
如图6A、图6B所示，与前述实施例1的固体摄像装置的不同点在于，在该实施例2的固体摄像装置中，使金属配线7上的连接外部端子部9与金属露出部12的连接部13的表面不被模压树脂24覆盖，而露出于基座2的表面。另外，在该实施例中，金属露出部12的表面(端面)与外部端子部9的表面(端面)形成为大致同一平面(成为相同的高度)，这些金属露出部12和外部端子部9从基座2的表面突出。
接着，参照附图对该固体摄像装置的制造方法进行说明。图7A、图7B、图9A、图9B、图10A、图10B是分别表示该固体摄像装置的制造方法的不同工序的局部剖视图。但是，在图7A、图7B、图9A所示的工序中仅表示形成2个固体摄像装置的区域的情况，但一般使用将许多个固体摄像装置的形成区域设置成棋盘状的导线框31来进行制造工序。又，图8A、图8B是在该固体摄像装置的制造工序中分别表示模压工序的剖视图。
首先，如图7A所示，将形成配线图形的导线框31载置在密封带22上。导线框31的大部分利用半蚀刻或冲压而在下部设有凹部，作成仅位于固体摄像装置形成区域的周边部的金属露出区域32和成为内部端子部8的部分从凹部的底面向下方突出的结构。另外，金属露出区域32成为比内部端子部8突出的结构，在载置在密封带22上时，附加加重地进行载置，以利用密封带22的厚度方向的变形来吸收与内部端子部8的突出距离之差。
接着，在图7B所示的工序中进行模压工序。也就是说，如图8A、图8B所示，将在导线框31上安装了密封带22的构件安装在模压用模具23上，将环氧树脂等模压树脂24充填在模压用模具23的模腔25中、并将导线框31的内部端子部8、金属露出区域32以外的部分用模压树脂24掩埋而形成成形体33。在模压用模具23中形成分隔各模腔间的分隔部27，由于在该分隔部27处不充填模压树脂24，故在成形体33的形成各固体摄像装置的区域的中央部形成面对地安装摄像元件3的开口部1。
接着，如图9A所示，从成形体33将密封带22剥离后，利用刀片(切断用工具)34将成形体33的相邻接的固体摄像装置形成区域间的边界部分切断，从成形体33形成各个固体摄像装置的基座2。这时，使用与将成形体33分离成多个单片时所用的相同的刀片34，将从基座2的表面露出的各固体摄像装置形成区域定位成所需的外部端子部9的尺寸，通过进行半切断而形成凹陷来形成外部端子部9、金属露出部12及它们之间的连接部13的露出面。这时，在基座2上，内部端子部8、金属露出部12及外部端子部9从表面露出，另外，使金属露出部12与外部端子部9连接的连接部13的表面也露出。另外，将金属配线7的此外的部分埋入于基座2中。
接着，如图9B所示，将摄像元件3以受光区域10朝向下方的形态装设在基座2上。这时，在各摄像元件3上的电极垫上设有凸柱11，将这些凸柱11分别与对应的基座2上的内部端子部8连接。
接着，如图10A所示，在基座2与摄像元件3的连接部的间隔、和摄像元件3的周边充填密封树脂5，利用密封树脂5将这些密封部位覆盖。
接着，如图10B所示，将安装了摄像元件3的基座2进行上下翻转，在基座2的与装设了摄像元件3的一侧相反的面上载置覆盖开口部1的由玻璃构成的窗构件4，将密封树脂6充填在窗构件4与基座2之间的间隔中，利用该密封树脂6将开口部1密封。
采用该固体摄像装置的结构，由于不仅外部端子部9和金属露出部12、且连接部13也从基座2的表面露出，故散热性良好的金属配线7在基座2表面上的露出面积进一步增加，能具有更高的散热特性。另外，由于金属露出部12与外部端子部9的突出面是大致同一平面，故能将金属露出部12用作外部端子部9的安装补强部，能容易提高向电子设备等安装时的安装可靠性。
又，在本实施例中，在涂敷对摄像元件3与基座2之间进行充填并覆盖的密封树脂5时，即使在发生密封树脂5中所含的低分子成分等的容易析出扩散的成分、即所谓的析出物的场合，也由于外部端子部9和金属露出部12从基座2的表面突出，故金属露出部12起到防波堤的作用，能防止析出物覆盖在外部端子部9上。采用本结构，即使不像以往的固体摄像装置那样将焊球装设在外部端子部上，也能防止析出物覆盖在外部端子部9上，不会产生向电子设备安装时的安装合格率降低、安装可靠性降低的情况。因此，能抑制因该析出物的发生而引起的固体摄像装置的大型化，能容易地实现小型化、薄型化，而且能获得良好的安装合格率和安装可靠性。
另外，在该实施例中，金属露出部12的形状不限于为长方形的情况，也可以是圆形、正方形等任何的形状。
又，在上述实施例2的固体摄像装置中，叙述了金属配线7上的连接外部端子部9与金属露出部12的连接部13的表面不被模压树脂24覆盖，露出于基座2的表面，且金属露出部12和外部端子部9从基座2的表面突出的情况，但并不局限于此，如图11A、图11B所示，金属露出部12和外部端子部9的表面部分与基座2的表面部分也可是大致为同一平面的形状。即，只要金属配线7的连接外部端子部9与金属露出部12的连接部13的表面不被模压树脂24覆盖，则即使金属配线7的外部端子部9和金属露出部12与由绝缘性材料构成的基座2的面为大致为同一平面，由于利用连接外部端子部9与金属露出部12的连接部13在这些外部端子部9与金属露出部12之间形成凹型的阻隔部，故也能实现相同的抑制析出物覆盖的效果。
另外，在上述的各实施例中，叙述了在内部端子部8与外部端子部9之间只形成1个金属露出部12的情况，但不限于此，也可以在内部端子部8与外部端子部9之间设置多个金属露出部12，例如通过多次地进行利用刀片34的半切断也能作成多个金属露出部12。由此，金属配线7从基座2露出的面积进一步增加，能获得更好的散热特性。
Claims (8)
1、一种固体摄像装置，具有：
由绝缘性材料构成、在内侧区域形成开口部的基座；
埋设在所述基座中的金属配线；
在所述金属配线上形成、且在所述基座的一面的靠近所述开口部的部位露出的内部端子部；
在所述金属配线上形成、且在所述基座的一面的靠近外周的部位露出的外部端子部；
具有受光区域、以与所述内部端子部连接的状态装设在所述基座的所述一面侧、且使该受光区域面向所述开口部的摄像元件；
对所述摄像元件的周边、和所述摄像元件与所述基座的间隔进行充填并覆盖的密封树脂；
安装在所述基座的另一面上且具有透光性的窗构件，
其特征在于，在所述金属配线上形成有金属露出部，该金属露出部在所述基座的一面上的所述内部端子部与所述外部端子部之间的部位露出。
2、如权利要求1所述的固体摄像装置，其特征在于，外部端子部和金属露出部从基座的一面突出。
3、如权利要求1所述的固体摄像装置，其特征在于，外部端子部与金属露出部的露出面大致为同一平面。
4、如权利要求1所述的固体摄像装置，其特征在于，金属配线的连接外部端子部与金属露出部的连接部也从表面露出。
5、如权利要求4所述的固体摄像装置，其特征在于，金属配线的外部端子部和金属露出部的露出面与基座的一面大致为同一平面。
6、一种固体摄像装置的制造方法，其特征在于，具有：
形成成形体的工序，该工序使用：具有对多个基座进行树脂成形用的模腔的一对模具；与多个基座对应地形成分别具有内部端子部、外部端子部及两者之间的金属露出部的多组金属配线的金属薄板导线；以及支承该金属薄板导线的带材，为了在所述模腔的与所述多个基座对应的区域分别配置各组的所述金属薄板导线，而将所述带材装填于所述一对模具之间，在所述模腔中充填密封树脂并使其硬化，从而形成成形体，该成形体具有多个分别与围住开口部的各基座对应的固体摄像装置形成区域，且在各固体摄像装置形成区域中分别具有形成内部端子部、外部端子部及金属露出部的金属配线；
将所述成形体分离成多个单片的工序；
将固体摄像元件安装在所述成形体的由所述金属配线构成的内部端子部侧的工序；
用密封树脂对所述摄像元件的周边、和所述摄像元件与所述成形体的间隔进行充填并覆盖的工序；
将由透光性材料构成的窗构件安装在所述成形体的与安装有所述摄像元件的面相对的面上的工序。
7、如权利要求6所述的固体摄像装置的制造方法，其特征在于，在配置金属薄板导线时，配置成利用带材的厚度方向的变形来吸收由所述金属薄板导线形成的金属配线的内部端子部与外部端子部及金属露出部之厚度差，将密封树脂充填在模腔中并使其硬化。
8、一种固体摄像装置的制造方法，具有：
形成成形体的工序，该工序使用：具有对多个基座进行树脂成形用的模腔的一对模具；与多个基座对应地形成分别具有内部端子部、和形成在比该内部端子部更向外周的部位上的金属露出区域的多组金属配线的金属薄板导线；以及对形成与多个基座对应的多组金属配线的金属薄板导线进行支承的带材，为了在所述模腔的与所述多个基座对应的区域分别配置各组的所述金属薄板导线，而将所述带材装填于所述一对模具之间，在所述模腔中充填密封树脂并使其硬化，从而形成成形体，该成形体具有多个分别与围住开口部的各基座对应的固体摄像装置形成区域，且在各固体摄像装置形成区域中分别具有形成内部端子部和位于固体摄像装置形成区域的周边部的金属露出区域的金属配线；
使用切断工具将所述成形体分离成多个单片的工序；
将固体摄像元件安装在所述成形体的由所述金属配线构成的内部端子部侧的工序；
用密封树脂对所述摄像元件的周边、和所述摄像元件与所述成形体的间隔进行充填并覆盖的工序；
将由透光性材料构成的窗构件安装在所述成形体的与安装有所述摄像元件的面相对的面上的工序，
其特征在于，在将所述成形体分离成多个单片时，使用在分离成单片时所用的切断工具对所述金属配线的金属露出区域进行半切断，在所述金属配线上形成外部电极端子和金属露出部。
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