JP5385400B2 - 電気機械変換素子及びアクチュエータ - Google Patents

Description

本発明は、電気機械変換素子及びそれを備えるアクチュエータに関する。

従来、例えばカメラのオートフォーカス機構などに使用される小型のアクチュエータとして、下記の特許文献１などにおいて、圧電素子を用いた圧電アクチュエータが提案されている。図１３は、特許文献１に記載されている圧電アクチュエータの略図的斜視図である。図１３に示すように、圧電アクチュエータ１００は、圧電セラミック部１０１と、圧電セラミック部１０１の両端部に接続されている非圧電セラミック部１０２，１０３とを備えている。圧電セラミック部１０１の内部には、第１及び第２の内部電極１０４，１０５が互いに対向するように形成されている。第１の内部電極１０４は、圧電セラミック部１０１の外表面上に形成されている第１の外部電極１０６に接続されている。一方、第２の内部電極１０５は、圧電セラミック部１０１の外表面上に形成されている第２の外部電極（図示せず）に接続されている。そして、第１の外部電極１０６と第２の外部電極とのそれぞれには、半田１０８により、外部リード線１０７が接続されている。

圧電アクチュエータ１００では、外部リード線１０７、半田１０８、第１の外部電極１０６及び第２の外部電極を介して第１及び第２の内部電極１０４，１０５間に電圧が印加される。これにより、圧電セラミック部１０１が伸縮する。その結果、圧電アクチュエータ１００が駆動される。

特許文献１には、この圧電アクチュエータ１００を機械加工装置などに組み込む際には、非圧電セラミック部１０２，１０３のうちの一方の端部を支持部材に、他方の端部を被駆動部材に対してエポキシ接着剤により接着して固定することが記載されている。

実用新案登録第２５８７４０６号公報

特許文献１に記載のように、圧電アクチュエータと、支持部材や被駆動部材との接合は、一般的に接着剤によって行われる。特に、小型の圧電アクチュエータと、支持部材や被駆動部材とを接合する場合は、接着剤以外には、有効な接合手段がないのが現状である。

しかしながら、圧電アクチュエータと支持部材や被駆動部材とを、接着剤を用いて接合した場合、接着剤の硬化時に、接着剤に含まれる可塑剤や硬化剤などの低分子量成分などがブリードする（以下、接着剤からブリードした成分のことを「ブリード物」とする。）。ブリード物は、圧電アクチュエータ１００の表面を伝って広がっていく。このため、ブリードが発生すると、第１の外部電極１０６及び第２の外部電極の表面がブリード物で覆われてしまう場合がある。この場合、第１の外部電極１０６及び第２の外部電極に対する半田１０８の接合強度が低下する。従って、外部リード線１０７と、第１の外部電極１０６及び第２の外部電極との間の接続信頼性が低くなるという問題がある。また、第１の外部電極１０６及び第２の外部電極がブリード物で覆われた場合は、半田１０８が接合しない場合もある。

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的は、高い接続信頼性を有する電気機械変換素子及びそれを備えるアクチュエータを提供することにある。

本発明に係る電気機械変換素子は、変位部と、外部電極とを含んでいる。変位部は、電圧が印加されることにより伸縮する。変位部は、互いに隣接して配置されている電極形成面と接着面とを有する。外部電極は、電極形成面に形成されている。変位部に電圧を印加するためのリード電極が外部電極に設けられている接合領域で接合されている。変位部の伸縮によって駆動される被駆動部材が接着剤で接着面に接合される。本発明に係る電気機械変換素子は、電極形成面上において、外部電極に設けられている接合領域の端部のうち、接着面と同じ側の端部よりも接着面側に設けられているブリード流動阻止部を備える。

本発明に係る電気機械変換素子のある特定の局面では、ブリード流動阻止部の臨界表面張力は、外部電極の臨界表面張力よりも小さい。この場合、接着剤からブリードしたブリード物が外部電極側に流動することがブリード流動阻止部によってより効果的に抑制される。従って、外部電極と半田との接合強度をより高めることができる。その結果、リード電極と外部電極との接続信頼性をより高めることができる。また、外部電極と半田との間にブリード物がより介在し難いため、外部電極と半田との間の電気抵抗値の増大をより効果的に抑制することができる。

本発明に係る電気機械変換素子の他の特定の局面では、ブリード流動阻止部の臨界表面張力は、１０ｄｙｎ／ｃｍ以上１００ｄｙｎ／ｃｍ以下の範囲内にある。この場合、接着剤からブリードしたブリード物が外部電極側に流動することがブリード流動阻止部によってさらに効果的に抑制される。

本発明に係る電気機械変換素子の別の特定の局面では、ブリード流動阻止部は、樹脂からなる。

本発明に係る電気機械変換素子のさらに他の特定の局面では、ブリード流動阻止部は、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂またはウレタン系樹脂からなる。

本発明に係る電気機械変換素子のさらに別の特定の局面では、ブリード流動阻止部は、電極形成面の接着面側の端縁から離れた位置に形成されている。この構成によれば、接着剤からブリードしたブリード物が外部電極側に流動することがブリード流動阻止部によってさらに効果的に抑制される。

本発明に係る電気機械変換素子のまた他の特定の局面では、ブリード流動阻止部は、電極形成面の接着面側の端縁から５０μｍ以上離れた位置に形成されている。この構成によれば、ブリード流動阻止部をスクリーン印刷又はインクジェット印刷など方法によって形成するとき、印刷位置ずれの発生や、ブリード流動阻止部を形成するためのペーストやインクが流動して端面へ回り込むことを防止できる。

本発明に係る電気機械変換素子のまた別の特定の局面では、ブリード流動阻止部の高さは、１μｍ以上である。この構成によれば、接着剤からブリードしたブリード物が外部電極側に流動することがブリード流動阻止部によってさらに効果的に抑制される。

本発明に係る電気機械変換素子のさらにまた他の特定の局面では、電極形成面の法線方向から視た際に、外部電極は、接着面と平行な方向において、電極形成面の一部に形成されており、ブリード流動阻止部は、電極形成面の外部電極が設けられている領域を少なくとも含む領域に形成されている。この構成によれば、接着剤からブリードしたブリード物が外部電極側に流動することがブリード流動阻止部によってさらに効果的に抑制される。

本発明に係る電気機械変換素子のさらにまた別の特定の局面では、ブリード流動阻止部は、接着面の延びる方向において、電極形成面の一方側の端部から他方側の端部にわたって形成されている。この構成によれば、接着剤からブリードしたブリード物が外部電極側に流動することがブリード流動阻止部によってさらに効果的に抑制される。

本発明に係る電気機械変換素子のまたさらに他の特定の局面では、ブリード流動阻止部は、外部電極の少なくとも一部を囲うように形成されている。この構成によれば、接着剤からブリードしたブリード物が外部電極のブリード流出阻止部によって囲まれた領域内に位置している部分に流動することがブリード流動阻止部によってさらに効果的に抑制される。

本発明に係る電気機械変換素子のまたさらに別の特定の局面では、変位部は、高さ方向と、高さ方向に垂直な第１の方向とに沿って延びる第１及び第２の側面と、高さ方向と、高さ方向及び第１の方向に垂直な第２の方向とに沿って延びる第３及び第４の側面と、第１の方向と第２の方向とに沿って延びる第１及び第２の端面とを有する四角柱状に形成されており、接着面が第１の端面により構成されており、電極形成面が第１の側面により構成されている。

本発明に係る電気機械変換素子の異なる他の特定の局面では、変位部は、圧電体からなる。

本発明に係るアクチュエータは、上記本発明に係る電気機械変換素子と、電気機械変換素子の接着面に対して、接着剤により接着されている被駆動部材と、外部電極に対して半田により接続されているリード電極とを備えている。

本発明に係るアクチュエータのある特定の局面では、アクチュエータは、被駆動部に摩擦摺動可能に設けられた移動体を備え、電気機械変換素子の伸縮によって、被駆動部を移動させることで、移動体を被駆動部に対して滑り変位させる。

本発明では、電極形成面上において、リード電極との接合領域の接着面と同じ側の端部より接着面側にブリード流動阻止部が設けられている。このため、接着面に塗布された接着剤からのブリード物が接合領域に流動することがブリード流動阻止部により阻止される。その結果、接合領域がブリード物により覆われ難い。従って、外部電極とリード電極との接続信頼性を高めることができる。

図１は、第１の実施形態に係るアクチュエータの略図的正面図である。 図２は、第１の実施形態に係るアクチュエータの略図的側面図である。 図３は、図１に示すＩＩＩ部分の略図的拡大図である。 図４は、図１に示すＩＶ部分の略図的拡大図である。 図５は、ブリード流動阻止部が設けられていない参考例に係るアクチュエータにおいて、接着剤からブリードが生じた状態を表す略図的模式図である。 図６は、第１の実施形態に係るアクチュエータにおいて、接着剤からブリードが生じた状態を表す略図的模式図である。 図７は、第２の実施形態に係るアクチュエータの略図的側面図である。 図８は、第３の実施形態に係るアクチュエータの略図的側面図である。 図９は、第４の実施形態に係るアクチュエータの略図的側面図である。 図１０は、第５の実施形態に係るアクチュエータの略図的側面図である。 図１１は、第５の実施形態に係るアクチュエータにおいて、接着剤からブリードが生じた状態を表す略図的模式図である。 図１２は、第６の実施形態に係るアクチュエータの略図的正面図である。 図１３は、特許文献１に記載されている圧電アクチュエータの略図的斜視図である。

以下、本発明を実施した好ましい形態の一例について説明する。但し、下記の実施形態は、単なる例示である。本発明は、下記の実施形態に限定されない。

（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態に係るアクチュエータの略図的正面図である。図２は、第１の実施形態に係るアクチュエータの略図的側面図である。

図１及び図２に示すように、圧電アクチュエータ１は、略四角柱状の電気機械変換素子１０を備えている。電気機械変換素子１０は、電圧が印加されることにより高さ方向Ｚに伸縮する素子である。電気機械変換素子１０は、電気機械変換素子１０への電圧の印加を調節することにより、伸長速度と収縮速度とが互いに異なるように駆動可能である。

電気機械変換素子１０の一方側の端面１０ａは、錘１１を介して、固定部材１２に接続されている。錘１１と電気機械変換素子１０とは、接着剤層１３によって接着されている。同様に、錘１１と固定部材１２とも図示しない接着剤層により接着されている。

なお、固定部材１２は、例えば、圧電アクチュエータ１が搭載される装置の筐体や、筐体に固定されている部材などによって構成されている。

圧電アクチュエータの振動を効率よく被駆動部材に伝えるための部材である錘１１を設けることにより、より大きな駆動力を得ることができる。なお、錘１１は、設けなくてもよい。

錘１１は、例えば、後述する変位部２０よりも高い密度を有するものである限りにおいて特に限定されない。錘１１は、例えば金属や合金などにより形成することができる。

電気機械変換素子１０の他方側の端面１０ｂには、接着剤層１４により被駆動部材１５に接着されている。被駆動部材１５は、略円柱状に形成されている。被駆動部材１５には、移動体１６が摩擦摺動可能に設けられている。移動体１６に被駆動部材１５が摩擦摺動可能に挿入されている。被駆動部材１５の断面形状は、摩擦摺動可能である限り、略円柱状に限定されない。被駆動部材１５は、角形状に形成されてもよい。

圧電アクチュエータ１では、被駆動部材１５が急峻に移動させられるときにおいて、移動体１６の慣性力が、移動体１６と被駆動部材１５との摩擦係合に勝っていれば、移動体１６は被駆動部材１５に対して滑り変位する。例えば、電気機械変換素子１０を、Ｚ１側へ急峻に、Ｚ２側に緩慢に移動するように非対称に振動させる場合において、移動体１６の慣性力が勝っていれば、Ｚ１側へ急峻に移動するときに移動体１６は被駆動部材１５に対して滑り、その絶対位置は実質的に変化しない。Ｚ２側へ緩慢に移動するときは、移動体１６は被駆動部材１５と一緒にＺ２側へ移動する。この振動を繰り返すことで、移動体１６をＺ２側へ移動させることができる。

次に、図１〜図３を参照しながら、電気機械変換素子１０の構成について詳細に説明する。なお、電気機械変換素子１０の寸法は特に限定されない。電気機械変換素子１０の高さ方向Ｚに沿った寸法は、例えば、３ｍｍ以下０．３ｍｍ以上とすることができる。

図１及び図２に示すように、電気機械変換素子１０は、変位部２０を備えている。変位部２０は、電圧が印加されることにより伸縮する。本実施形態では、変位部２０は、圧電体により形成されている。圧電体の例としては、例えば、圧電セラミックが挙げられる。圧電セラミックの具体例としては、例えば、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）系セラミックなどが挙げられる。

変位部２０は、四角柱状に形成されている。ここで、「四角柱」には、角部及び稜線部の少なくとも一部が面取り状またはＲ面取り状に形成されている四角柱を含むものとする。すなわち、「四角柱」とは、一対の端面と、一対の端面に垂直な第１及び第２の側面と、第１及び第２の端面と第１及び第２の側面との両方に垂直な第３及び第４の側面とを有する立体物を意味している。

変位部２０は、第１及び第２の端面２０ａ、２０ｂと、第１〜第４の側面２０ｃ〜２０ｆとを有する。第１及び第２の端面２０ａ、２０ｂのそれぞれは、高さ方向Ｚに対して垂直な、第１方向ｘ及び第２の方向ｙに沿って延びている。第１及び第２の側面２０ｃ、２０ｄのそれぞれは、高さ方向Ｚ及び第１の方向ｘに沿って延びている。第３及び第４の側面２０ｅ、２０ｆのそれぞれは、高さ方向Ｚ及び第２の方向ｙに沿って延びている。第１〜第４の側面２０ｃ〜２０ｆのそれぞれは、第１及び第２の端面２０ａ、２０ｂに隣接して位置している。本実施形態では、変位部２０の第１及び第２の端面２０ａ、２０ｂが、電気機械変換素子１０の端面１０ｂ、１０ａを構成している。すなわち、第１の端面２０ａは、被駆動部材１５が接着剤で接着される接着面を構成している。第２の端面２０ｂは、錘１１が接着剤で接着される接着面を構成している。なお、第２の端面２０ｂは、固定部材１２に接着剤で直接接着されていてもよい。

図１に示すように、電気機械変換素子１０は、第１及び第２の電極２１，２２を備えている。これら第１及び第２の電極２１，２２は、変位部２０に電圧を印加するための電極である。第１の電極２１は、複数の第１の内部電極部２１ａと、第１の外部電極部２１ｂとを有する。第２の電極２２は、複数の第２の内部電極部２２ａと、第２の外部電極部２２ｂとを有する。但し、本発明はこの構成に限定されない。例えば、第１及び第２の電極２１，２２は、第１及び第２の外部電極部２１ｂ、２２ｂのみを有し、第１及び第２の内部電極部２１ａ、２２ａを有していなくてもよい。

複数の第１及び第２の内部電極部２１ａ、２２ａは、変位部２０の内部に形成されている。第１及び第２の内部電極部２１ａ、２２ａのそれぞれは、第１及び第２の方向ｘ、ｙに沿って配置されている。第１及び第２の内部電極部２１ａ、２２ａは、高さ方向Ｚに沿って交互に配置されている。第１の内部電極部２１ａは、第２の側面２０ｄを除く、第１，第３及び第４の側面２０ｃ、２０ｅ、２０ｆに露出している。一方、第２の内部電極部２２ａは、第１の側面２０ｃを除く、第２〜第４の側面２０ｄ〜２０ｆに露出している。

第１の内部電極部２１ａは、第１の外部電極部２１ｂに接続されている。第１の外部電極部２１ｂは、第１の側面２０ｃ上に形成されている。一方、第２の内部電極部２２ａは、第２の外部電極部２２ｂに接続されている。第２の外部電極部２２ｂは、第２の側面２０ｄ上に形成されている。このため、本実施形態では、第１及び第２の側面２０ｃ、２０ｄが外部電極形成面を構成している。

第１及び第２の外部電極部２１ｂ、２２ｂのそれぞれの平面形状は、高さ方向Ｚに沿って延びる略矩形状に形成されている。本実施形態では、第１及び第２の外部電極部２１ｂ、２２ｂは、例えば、ｘ方向において、第１及び第２の側面２０ｃ、２０ｄの一部に形成されている。もっとも、第１及び第２の外部電極部２１ｂ、２２ｂは、例えば、高さ方向Ｚにおいて、第１及び第２の側面２０ｃ、２０ｄの全体に形成されていてもよい。なお、第１及び第２の外部電極部２１ｂ、２２ｂは、第１及び第２の側面２０ｃ、２０ｄの全面に形成されてもよい。

第１及び第２の電極２１，２２の形成材料は、導電材料である限りにおいて特に限定されない。第１及び第２の電極２１，２２は、例えば、Ａｇ、Ｃｕ、Ｐｔ、Ａｕ、Ｎｉ、Ｃｒ，Ｐｄなどの金属や、上記金属の少なくとも１種以上を主成分として含む合金などにより形成されている。合金の具体例としては、例えば、Ａｇ−Ｐｄ合金などが挙げられる。また、第１及び第２の電極２１，２２のそれぞれは、複数の導電膜の積層体により構成されていてもよい。例えば、第１及び第２の電極２１，２２のそれぞれは、Ａｇ層と、ＮｉＣｒ層との積層体により構成されていてもよい。

第１及び第２の電極２１，２２の形成方法も特に限定されない。第１及び第２の内部電極部２１ａ、２２ａは、例えば、導電性ペーストをセラミックグリーンシート上に塗布し、焼成することにより形成してもよい。第１及び第２の外部電極部２１ｂ、２２ｂは、例えば、導電性ペーストを用いて形成してもよいし、スパッタ法や蒸着法などの薄膜形成方法により形成してもよい。また、第１及び第２の外部電極部２１ｂ、２２ｂは、例えば、めっきにより形成してもよい。

第１及び第２の外部電極部２１ｂ、２２ｂには、リード接合領域が設けられている。そのリード接合領域には、半田２３ａ、２３ｂによって、リード電極２４ａ、２４ｂが接続されている。これらリード電極２４ａ、２４ｂ、半田２３ａ、２３ｂを介して、第１及び第２の電極２１，２２間に電圧が印加され、電気機械変換素子１０が駆動される。なお、リード電極２４ａ、２４ｂの接続は、例えば、導電性接着剤により行ってもよい。

ところで、電気機械変換素子１０と、錘１１や被駆動部材１５とを接着剤を用いて接着する場合、接着剤の硬化時などにおいて、接着剤に含まれる可塑剤等の低分子量成分がブリードする。接着剤からブリードしたブリード物は、電気機械変換素子の表面を伝って広がっていく。このため、例えば、図５に示すように、後述するブリード流動阻止部が設けられていない電気機械変換素子２００では、ブリード物２０２が外部電極部２０１の上にも広がっていくこととなる。その結果、外部電極部２０１がブリード物２０２により覆われてしまう場合がある。そうすると、ブリード物２０２は、上述の通り有機成分であるため、外部電極部２０１に対する半田の接合性が低下する。このため、外部電極部２０１に対して半田が接合しなかったり、接合したとしても十分に大きな接合強度が得られなかったりする場合がある。従って、外部電極部２０１に対するリード電極の接続信頼性が低くなる。また、外部電極部２０１と半田との間の電気抵抗が増大する場合がある。

それに対して、本実施形態では、図１〜図３に示すように、電極形成面を構成している第１及び第２の側面２０ｃ、２０ｄのそれぞれに、第１の方向ｘに沿って延びるブリード流動阻止部２５ａ、２５ｂ、２６ａ、２６ｂが設けられている。

具体的には、ブリード流動阻止部２５ａ、２６ａは、第１及び第２の外部電極部２１ｂ、２２ｂの第１の端面２０ａとは反対側の端部よりも第１の端面２０ａ側に設けられている。換言すれば、ブリード流動阻止部２５ａ、２６ａは、第１及び第２の外部電極部２１ｂ、２２ｂの高さ方向ＺのＺ２側の端部よりも高さ方向ＺのＺ１側に設けられている。より具体的には、ブリード流動阻止部２５ａ、２６ａは、リード電極２４ａ、２４ｂが接合されている接合領域の、第１の端面１０ａと同じ側の端部より第１の端面１０ａ側に設けられている。このため、図６に示すように、変位部２０と被駆動部材１５とを接着している接着剤層１４からのブリード物１４ａがブリード流動阻止部２５ａ、２６ａよりも高さ方向ＺのＺ２側に流動することが抑制される。従って、第１及び第２の外部電極部２１ｂ、２２ｂのうち、ブリード流動阻止部２５ａ、２６ａよりも高さ方向ＺのＺ２側に位置する部分の表面がブリード物１４ａにより覆われることを抑制することができる。

また、本実施形態では、第１の方向ｘにおいて、ブリード流動阻止部２５ａ、２６ａは、第１及び第２の側面２０ｃ、２０ｄの第１及び第２の外部電極部２１ｂ、２２ｂが設けられている領域を少なくとも含む領域に形成されている。このため、第１及び第２の外部電極部２１ｂ、２２ｂのうち、ブリード流動阻止部２５ａ、２６ａよりも高さ方向ＺのＺ２側に位置する部分の表面がブリード物１４ａにより覆われることをより効果的に抑制することができる。

さらに、本実施形態では、ブリード流動阻止部２５ａ、２６ａが第１の方向ｘにおいて、第１及び第２の側面２０ｃ、２０ｄのｘ１側の端部からｘ２側の端部にわたって形成されている。このため、第１及び第２の外部電極部２１ｂ、２２ｂのうち、ブリード流動阻止部２５ａ、２６ａよりも高さ方向ＺのＺ２側に位置する部分の表面がブリード物１４ａにより覆われることをさらに効果的に抑制することができる。

一方、ブリード流動阻止部２５ｂ、２６ｂは、図１〜図３及び図６に示すように、第１及び第２の外部電極部２１ｂ、２２ｂの第１の端面２０ａの端部よりも第２の端面２０ｂ側に設けられている。換言すれば、ブリード流動阻止部２５ｂ、２６ｂは、第１及び第２の外部電極部２１ｂ、２２ｂの高さ方向ＺのＺ１側の端部よりも高さ方向ＺのＺ２側に設けられている。このため、図６に示すように、変位部２０と錘１１とを接着している接着剤層１３からのブリード物１３ａがブリード流動阻止部２５ｂ、２６ｂよりも高さ方向ＺのＺ１側に流動することが抑制される。従って、第１及び第２の外部電極部２１ｂ、２２ｂのうち、ブリード流動阻止部２５ｂ、２６ｂよりも高さ方向ＺのＺ１側に位置する部分の表面がブリード物１３ａにより覆われることを抑制することができる。

また、本実施形態では、第１の方向ｘにおいて、ブリード流動阻止部２５ｂ、２６ｂは、第１及び第２の側面２０ｃ、２０ｄの第１及び第２の外部電極部２１ｂ、２２ｂが設けられている領域を少なくとも含む領域に形成されている。このため、第１及び第２の外部電極部２１ｂ、２２ｂのうち、ブリード流動阻止部２５ｂ、２６ｂよりも高さ方向ＺのＺ１側に位置する部分の表面がブリード物１３ａにより覆われることをより効果的に抑制することができる。

さらに、本実施形態では、ブリード流動阻止部２５ｂ、２６ｂが第１の方向ｘにおいて、第１及び第２の側面２０ｃ、２０ｄのｘ１側の端部からｘ２側の端部にわたって形成されている。このため、第１及び第２の外部電極部２１ｂ、２２ｂのうち、ブリード流動阻止部２５ｂ、２６ｂよりも高さ方向ＺのＺ１側に位置する部分の表面がブリード物１３ａにより覆われることをさらに効果的に抑制することができる。

このように、本実施形態では、ブリード流動阻止部２５ａ、２５ｂ、２６ａ、２６ｂが設けられているため、第１及び第２の外部電極部２１ｂ、２２ｂのブリード流動阻止部２５ａ、２６ａとブリード流動阻止部２５ｂ、２６ｂとの間に位置する部分が、ブリード物１３ａ、１４ａにより覆われることが抑制されている。従って、第１及び第２の外部電極部２１ｂ、２２ｂに対する半田２３ａ、２３ｂ（図１を参照）の接合性の低下を抑制することができる。すなわち、第１及び第２の外部電極部２１ｂ、２２ｂと、半田２３ａ、２３ｂとを強固に接合することができる。従って、第１及び第２の外部電極部２１ｂ、２２ｂに対するリード電極２４ａ、２４ｂの高い接続信頼性を確保することができる。また、第１及び第２の外部電極部２１ｂ、２２ｂと、半田２３ａ、２３ｂとの間の電気抵抗の増大を抑制することができる。従って、圧電アクチュエータ１の高い駆動効率を実現することができる。

なお、この効果は、変位部２０の材質に関わらず得られるが、変位部２０がセラミックからなる場合は、ブリード物１３ａ、１４ａが変位部２０の表面を伝って広がりやすいため、変位部２０がセラミックからなる場合により大きく得られる。なお、変位部２０がセラミックからなる場合に、ブリード物１３ａ、１４ａが変位部２０の表面を伝って広がりやすい理由は、セラミックの表面が微視的にポーラスとなっているためであったり、セラミック表面の吸着水とブリード成分との親和性によるものと考えられる。

ブリード物によって外部電極部表面が被覆されることを抑制できるという本実施形態において得られる効果は、例えば、電気機械変換素子１０の高さ方向Ｚに沿った寸法が１０ｍｍ以上である場合のように、電気機械変換素子１０が大きい場合であっても得られる。しかしながら、本効果は、電気機械変換素子１０が小さい場合に特に大きい。具体的には、例えば、電気機械変換素子１０の高さ方向Ｚに沿った寸法が３ｍｍ以下の場合に効果が大きい。

ブリード流動阻止部２５ａ、２５ｂ、２６ａ、２６ｂは、第１及び第２の側面２０ｃ、２０ｄから第２の方向ｙに突出しているものである限りにおいて、どのような材質からなるもの、どのような形状を有するものであってもよい。第１及び第２の側面２０ｃ、２０ｄから第２の方向ｙに突出しているブリード流動阻止部２５ａ、２５ｂ、２６ａ、２６ｂを設けることにより、ブリード物１３ａ、１４ａの流動を物理的に抑制できるためである。

但し、ブリード物１３ａ、１４ａの流動をより効果的に抑制する観点からは、ブリード流動阻止部２５ａ、２５ｂ、２６ａ、２６ｂは、ブリード物１３ａ、１４ａをはじくものであることが好ましい。具体的には、ブリード流動阻止部２５ａ、２５ｂ、２６ａ、２６ｂは、第１及び第２の側面２０ｃ、２０ｄ並びに第１及び第２の外部電極部２１ｂ、２２ｂよりもブリード物１３ａ、１４ａをより強くはじくものであることが好ましい。従って、ブリード流動阻止部２５ａ、２５ｂ、２６ａ、２６ｂのブリード物１３ａ、１４ａに対する臨界表面張力は、第１及び第２の側面２０ｃ、２０ｄ並びに第１及び第２の外部電極部２１ｂ、２２ｂのブリード物１３ａ、１４ａに対する臨界表面張力よりも小さいことが好ましい。なお、ブリード物１３ａ、１４ａに対する臨界表面張力は、通常、アルカン系の臨界表面張力と実質的に等しいものと考えられる。

具体的には、ブリード流動阻止部２５ａ、２５ｂ、２６ａ、２６ｂのブリード物１３ａ、１４ａに対する臨界表面張力は、１００ｄｙｎ／ｃｍ以下であることが好ましく、６０ｄｙｎ／ｃｍ以下であることがより好ましい。

上述のように、ブリード物１３ａ、１４ａの流動をより効果的に抑制する観点からは、ブリード流動阻止部２５ａ、２５ｂ、２６ａ、２６ｂのブリード物１３ａ、１４ａに対する臨界表面張力は小さい方が好ましい。しかしながら、ブリード流動阻止部２５ａ、２５ｂ、２６ａ、２６ｂの臨界表面張力が小さすぎると、阻止部の膜強度が低下する場合がある。このため、ブリード流動阻止部２５ａ、２５ｂ、２６ａ、２６ｂの臨界表面張力は、１０ｄｙｎ／ｃｍ以上であることが好ましく、２５ｄｙｎ／ｃｍ以上であることがより好ましい。

ブリード流動阻止部２５ａ、２５ｂ、２６ａ、２６ｂの形成材料は、特に限定されず、例えば、樹脂、金属、合金、セラミックまたはこれらの複合材料などが挙げられる。なかでも、ブリード流動阻止部２５ａ、２５ｂ、２６ａ、２６ｂは、樹脂からなるものであることが好ましい。この場合、上記好ましい臨界表面張力を容易に実現できるとともに、容易に形成できるからである。

ブリード流動阻止部２５ａ、２５ｂ、２６ａ、２６ｂの形成に好ましく用いられる樹脂の具体例としては、例えば、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂、ウレタン系樹脂等が挙げられる。なかでも、エポキシ系樹脂がブリード流動阻止部２５ａ、２５ｂ、２６ａ、２６ｂの形成により好ましく用いられる。エポキシ系樹脂によりブリード流動阻止部２５ａ、２５ｂ、２６ａ、２６ｂを形成した場合、ブリード流動阻止部２５ａ、２５ｂ、２６ａ、２６ｂを変位部２０に対してより強固に固定できるためである。

また、ブリード流動阻止部２５ａ、２５ｂ、２６ａ、２６ｂの形成に好ましく用いられる樹脂は、エネルギー線を照射することにより硬化するエネルギー線硬化性樹脂であることが好ましい。この場合、ブリード流動阻止部２５ａ、２５ｂ、２６ａ、２６ｂを容易に形成できるからである。エネルギー線硬化性樹脂としては、熱硬化性樹脂、光硬化性樹脂などが挙げられる。熱硬化性樹脂の具体例としては、例えば、熱硬化性―液性エポキシ樹脂などが挙げられる。ここで、熱硬化性―液性エポキシ樹脂とは、エポキシ系の主剤中に、マイクロカプセルに封入された硬化剤が添加されている樹脂である。熱硬化性―液性エポキシ樹脂では、加熱によりマイクロカプセルが破壊され、マイクロカプセル内の硬化剤がエポキシ系の主剤と反応することにより硬化が促進する。ここで、熱硬化性エポキシ樹脂は、マイクロカプセルに封入された硬化剤に限定されるものではなく、主剤と硬化剤の２液を混合して硬化させる、２液混合型の熱硬化性エポキシ樹脂や室温で硬化するエポキシ樹脂なども用いることができる。

ブリード流動阻止部２５ａ、２５ｂ、２６ａ、２６ｂが樹脂からなる場合、ブリード流動阻止部２５ａ、２５ｂ、２６ａ、２６ｂは、例えば、インクジェット法、スクリーン印刷法などにより形成することができる。

なお、本発明において、「樹脂からなる」には、樹脂に対して、フィラーなどが添加された樹脂組成物からなる場合が含まれるものとする。

ブリード流動阻止部２５ａ、２６ａの形成位置は、上述のように、第１及び第２の外部電極部２１ｂ、２２ｂの高さ方向ＺのＺ２側の端部よりも高さ方向ＺのＺ１側である限りにおいて特に限定されない。例えば、ブリード流動阻止部２５ａ、２６ａは、第１及び第２の側面２０ｃ、２０ｄの高さ方向ＺのＺ１側の端縁に接するように形成されていてもよい。但し、ブリード流動阻止部２５ａ、２６ａは、第１及び第２の側面２０ｃ、２０ｄの高さ方向ＺのＺ１側の端縁から離れた位置に形成されていることが好ましい。なかでも、ブリード流動阻止部２５ａ、２６ａは、第１及び第２の側面２０ｃ、２０ｄの高さ方向ＺのＺ１側の端縁から５０μｍ以上、より好ましくは１００μｍ以上離れた位置に形成されて隙間が形成されることがより好ましい。すなわち、図３に示すように、ブリード流動阻止部２５ａ、２６ａと、第１の端面２０ａとの隙間の距離Ｌ１が５０μｍ以上であることがより好ましく、１００μｍ以上であることがさらに好ましい。この場合、ブリード流動阻止部をスクリーン印刷又はインクジェット印刷など方法によって形成するとき、ブリード流動阻止部２５ａ、２６ａと、第１の端面２０ａとが離間しているため、印刷位置ずれの発生や、ブリード流動阻止部を形成するためのペーストやインクが流動して端面へ回り込むことを防止できる。このため、駆動軸などを接着面に接着するとき、接着面へのブリード素子部の回り込みによる駆動軸などの傾きや接着力の低下を防止できる効果を有する。但し、ブリード流動阻止部２５ａ、２６ａと、第１の端面２０ａとの間の距離Ｌ１を大きくすると、第１及び第２の外部電極部２１ｂ、２２ｂのリード接合領域が小さくなる。リード接合作業が容易に実施できるようにするためには、リード接合領域の幅を０．４ｍｍ以上とするように隙間の距離Ｌ１を設定することが好ましい。

ブリード流動阻止部２５ａ、２５ｂ、２６ａ、２６ｂの、第１及び第２の外部電極部２１ｂ、２２ｂからの第２の方向ｙに沿った高さＨ１，Ｈ２も、特に限定されない。高さＨ１，Ｈ２は、１μｍ以上であることが好ましい。例えば、１μｍ以上５０μｍ以下の範囲内とすると、ブリードの流動が阻止され、かつ、ブリード流動阻止部２５ａ、２５ｂ、２６ａ、２６ｂの脱落を防止することができる。なお、高さＨ１，Ｈ２が１μｍより小さくなると、例えば印刷のかすれなどにより、ブリード流動阻止部が形成されるとき一部にブリード流動阻止部の欠損領域が発生して、ブリード物１３ａ、１４ａの流動を十分に抑制できない場合がある。一方、高さＨ１，Ｈ２が１００μｍより大きくなると、圧電アクチュエータ１の第２の方向ｙに沿った幅が増大してしまい、圧電アクチュエータ１の装置への装着が困難になる場合がある。また、ブリード流動阻止部２５ａ、２５ｂ、２６ａ、２６ｂが脱落しやすくなる傾向にある。そのため、高さＨ１，Ｈ２が１００μｍ以下であることがこのましい。より好ましくは、５０μｍ以下である。

なお、本実施形態では、ブリード流動阻止部２５ａ、２５ｂ、２６ａ、２６ｂが第１及び第２の外部電極部２１ｂ、２２ｂの上に形成されているため、ブリード流動阻止部２５ａ、２５ｂ、２６ａ、２６ｂの高さは、第１及び第２の外部電極部２１ｂ、２２ｂの表面からの第２の方向ｙに沿った高さとなる。それに対して、例えば、ブリード流動阻止部２５ａ、２５ｂ、２６ａ、２６ｂが第１及び第２の外部電極部２１ｂ、２２ｂの上に形成されていない場合は、ブリード流動阻止部２５ａ、２５ｂ、２６ａ、２６ｂの高さは、変位部２０の表面からの第２の方向ｙに沿った高さとなる。

以下、本発明を実施した好ましい形態の他の例について説明する。但し、以下の実施形態の説明において、上記実施形態と実質的に共通の機能を有する部材を共通の符号で参照し、説明を省略する。

（第２の実施形態）
図７は、第２の実施形態に係るアクチュエータの略図的側面図である。上記第１の実施形態では、ブリード流動阻止部２５ａ、２５ｂ、２６ａ、２６ｂが、変位部２０のｘ１側端部からｘ２側端部にわたって形成されている例について説明した。但し、本発明は、この構成に限定されない。

例えば、図７に示すように、ブリード流動阻止部２５ａ、２５ｂ、２６ａ、２６ｂは、変位部２０のｘ１側端部からｘ２側端部にわたって形成されていなくてもよい。すなわち、ブリード流動阻止部２５ａ、２５ｂ、２６ａ、２６ｂは、第１の方向ｘにおいて、変位部２０の中央部に形成されており、変位部２０の両端部に形成されていなくてもよい。この場合であっても、ブリード物１３ａ、１４ａが第１及び第２の外部電極部２１ｂ、２２ｂの中央部に達しにくくなるため、半田２３ａ、２３ｂと、第１及び第２の外部電極部２１ｂ、２２ｂとの接合強度の低下を抑制することができる。また、半田２３ａ、２３ｂと、第１及び第２の外部電極部２１ｂ、２２ｂとの間の電気抵抗の増大を抑制することができる。

（第３の実施形態）
図８は、第３の実施形態に係るアクチュエータの略図的側面図である。図８に示すように、本実施形態では、ブリード流動阻止部２５が第１の外部電極部２１ｂの少なくとも一部を囲うように形成されている。図示は省略するが、第２の側面２０ｄ上にも、第２の外部電極部２２ｂの少なくとも一部を囲うようにブリード流動阻止部が形成されている。このようにすることにより、第１及び第２の外部電極部２１ｂ、２２ｂのブリード流動阻止部により囲われた領域にブリード物１３ａ、１４ａが進入することをより効果的に抑制することができる。その結果、第１及び第２の外部電極部２１ｂ、２２ｂのブリード流動阻止部により囲われた領域に位置する部分の表面がブリード物１３ａ、１４ａにより覆われることをより効果的に抑制することができる。従って、半田２３ａ、２３ｂと、第１及び第２の外部電極部２１ｂ、２２ｂとの接合強度の低下をより効果的に抑制することができる。また、半田２３ａ、２３ｂと、第１及び第２の外部電極部２１ｂ、２２ｂとの間の電気抵抗の増大をより効果的に抑制することができる。

（第４の実施形態）
図９は、第４の実施形態に係るアクチュエータの略図的側面図である。上記第１の実施形態では、高さ方向ＺのＺ１側に位置するブリード流動阻止部２５ａ、２６ａ（不図示）と共に、高さ方向ＺのＺ２側に位置するブリード流動阻止部２５ｂ、２６ｂが設けられている例について説明した。但し、本発明はこの構成に限定されない。例えば、ブリード流動阻止部２５ａ、２６ａ及びブリード流動阻止部２５ｂ、２６ｂのうちの一方のみを設けてもよい。例えば、図９に示す例では、ブリード流動阻止部２５ａ、２５ｂ、２６ａ、２６ｂのうち、ブリード流動阻止部２５ａ、２６ａのみが設けられている。このような場合であっても、ブリード流動阻止部２５ａ、２６ａによりブリード物１４ａがブリード流動阻止部２５ａ、２６ａよりもＺ２側に流動することが抑制される。一方、ブリード物１３ａの流動は、電気機械変換素子１０に対して、先に半田２３ａ，２３ｂにより、リード電極２４ａ，２４ｂが接合された後、固定部材１２が接合されるので、問題とならない。従って、半田２３ａ、２３ｂと、第１及び第２の外部電極部２１ｂ、２２ｂとの接合強度の低下を抑制することができる。また、半田２３ａ、２３ｂと、第１及び第２の外部電極部２１ｂ、２２ｂとの間の電気抵抗の増大を抑制することができる。

（第５の実施形態）
図１０は、第５の実施形態に係るアクチュエータの略図的側面図である。上記第４の実施形態では、ブリード流動阻止部２５ａ、２６ａが第１の方向ｘに沿って延びる直線状に形成されている例について説明した。但し、本発明はこの構成に限定されない。例えば、図１０に示すように、ブリード流動阻止部２５ａの第１の方向ｘの両端部に接続されており、高さ方向ＺのＺ２側に向かって延びるブリード流動阻止部２５ｃ、２５ｄがさらに設けられていてもよい。すなわち、ブリード流動阻止部は、略Ｕ字状に形成されていてもよい。この場合、図１１に示すように、ブリード流動阻止部２５ａの第１の方向ｘにおける側方を通過して回り込もうとするブリード物１４ａの流動がブリード流動阻止部２５ｃ、２５ｄによって効果的に阻害される。よって、第１及び第２の外部電極部２１ｂ、２２ｂのうち、略Ｕ字状のブリード流動阻止部により囲まれた部分にブリード物１４ａが到達することをより効果的に抑制することができる。従って、半田２３ａ、２３ｂ（不図示）と、第１及び第２の外部電極部２１ｂ、２２ｂとの接合強度の低下をより効果的に抑制することができる。また、半田２３ａ、２３ｂと、第１及び第２の外部電極部２１ｂ、２２ｂとの間の電気抵抗の増大をより効果的に抑制することができる。一方、ブリード物１３ａの流動は、電気機械変換素子１０に対して、先に半田２３ａ，２３ｂにより、リード電極２４ａ，２４ｂが接合された後、固定部材１２が接合されるので、問題とならない。

（第６の実施形態）
図１２は、第６の実施形態に係るアクチュエータの略図的正面図である。上記第１の実施形態では、第１の内部電極部２１ａが第２の側面２０ｄに露出しておらず、第２の内部電極部２２ａが第１の側面２０ｃに露出していない例について説明した。但し、本発明は、この構成に限定されない。例えば、第１の内部電極部２１ａが第２の側面２０ｄに露出しており、第２の内部電極部２２ａが第１の側面２０ｃに露出していてもよい。その場合は、図１２に示すように、絶縁部２１ｃ、２２ｃを設け、第１の内部電極部２１ａと、第２の外部電極部２２ｂとの絶縁を図ると共に、第２の内部電極部２２ａと、第１の外部電極部２１ｂとの絶縁をする。

（実験例）
図１及び図２に図示する上記第１の実施形態に係る圧電アクチュエータ１（但し、半田２３ａ、２３ｂによるリード電極２４ａ、２４ｂの接続は行っていない。）を、図３及び図４に示す長さＬ１，３及び高さＨ１，Ｈ２を種々変化させて、下記の設計パラメータで作製した。次に、第１の外部電極部２１ｂのブリード流動阻止部２５ａ、２５ｂ間の部分の中央部に、クリーム状半田０．２ｍｇを塗布した。塗布後、５分間放置した後、ホットプレートで５分間２５０℃に加熱した。その後、半田の拡がりを目視により観察した。結果を下記の表１及び表２に示す。なお、表１及び表２において、１〜４の評価は、下記の評価基準に基づくものである。

評価４：第１の外部電極部２１ｂのブリード流動阻止部２５ａ、２５ｂ間の部分のほぼ全域に半田が広がっていた。

評価３：第１の外部電極部２１ｂのブリード流動阻止部２５ａ、２５ｂ間の部分の７０〜９０％に広がっていた。

評価２：第１の外部電極部２１ｂのブリード流動阻止部２５ａ、２５ｂ間の部分の５０〜７０％に広がっていた。

評価１：半田が広がった領域は、第１の外部電極部２１ｂのブリード流動阻止部２５ａ、２５ｂ間の部分の５０％以下であった。

（設計パラメータ）
第１の外部電極部２１ｂの材質：Ａｇ
ブリード流動阻止部２５ａ、２５ｂの材質：熱硬化性エポキシ樹脂
クリーム状半田：Ｓｎ／Ａｇ／Ｃｕ系半田ペースト
ブリード流動阻止部２５ａ、２５ｂの寸法：高さ寸法：８μｍ、幅寸法：２００μｍ
端面からブリード流動阻止部２５ａ、２５ｂまでの距離：１００μｍ

上記表１に示すように、ブリード物１３ａ、１４ａがブリード流動阻止部２５ａ、２５ｂを乗り越えて第１の外部電極部２１ｂにまで至ることを効果的に抑制できることが分かる。

また、ブリード流動阻止部２５ａ、２５ｂの第１及び第２の外部電極部２１ｂの表面からの高さＨ１，Ｈ２が１μｍ以上である場合は、ブリード物１３ａ、１４ａがブリード流動阻止部２５ａ、２５ｂを乗り越えて第１の外部電極部２１ｂにまで至ることが効果的に抑制できることが分かる。しかしながら、高さＨ１，Ｈ２が１μｍ未満であるときは、印刷のかすれなどにより、ブリード流動阻止部が形成されるとき、一部にブリード流動阻止部の欠損領域が発生して、ブリード物１３ａ、１４ａの流動を十分に抑制できない場合があった。この結果から、高さＨ１，Ｈ２は、１μｍ以上であることが好ましいことが分かる。

上記表２に示す結果から分かるように、第１及び第２の端面２０ａ、２０ｂからブリード流動阻止部２５ａ、２５ｂまでの距離Ｌ１，Ｌ３が、１０μmから１５０μmの範囲で、ブリード物１３ａ、１４ａがブリード流動阻止部２５ａ、２５ｂを乗り越えて第１の外部電極部２１ｂにまで至ることを効果的に抑制できることが分かった。

なお、ブリード流動阻止部をスクリーン印刷又はインクジェット印刷など方法によって形成するとき、ブリード流動阻止部２５ａ、２６ａと、第１の端面２０ａとを離間させることで、印刷位置ずれの発生や、ブリード流動阻止部を形成するためのペーストやインクが流動して端面へ回り込むことを防止できる。このため、好ましくは、距離Ｌ１，Ｌ３は５０μｍ以上であり、さらに好ましくは１００μｍ以上である。

１…圧電アクチュエータ
１０…電気機械変換素子
１０ａ…電気機械変換素子の第１の端面
１０ｂ…電気機械変換素子の第２の端面
１１…錘
１２…固定部材
１３、１４…接着剤層
１３ａ、１４ａ…ブリード物
１５…被駆動部材
１６…移動体
２０…変位部
２０ａ…変位部の第１の端面
２０ｂ…変位部の第２の端面
２０ｃ…変位部の第１の側面
２０ｄ…変位部の第２の側面
２０ｅ…変位部の第３の側面
２０ｆ…変位部の第４の側面
２１…第１の電極
２１ａ…第１の内部電極部
２１ｂ…第１の外部電極部
２１ｃ、２２ｃ…絶縁部
２２…第２の電極
２２ａ…第２の内部電極部
２２ｂ…第２の外部電極部
２３ａ、２３ｂ…半田
２４ａ、２４ｂ…リード電極
２５、２５ａ、２５ｂ、２５ｃ、２５ｄ、２６ａ、２６ｂ…ブリード流動阻止部

Claims (15)

1. 電圧が印加されることにより伸縮し、互いに隣接して配置されている電極形成面と接着面とを有する変位部と、前記電極形成面に形成されている外部電極とを含み、前記変位部に電圧を印加するためのリード電極が前記外部電極に設けられている接合領域で接合されており、かつ、前記変位部の伸縮によって駆動される被駆動部材が接着剤で前記接着面に接合される電気機械変換素子であって、
   前記電極形成面上において、前記外部電極に設けられている前記接合領域の端部のうち、前記接着面と同じ側の端部よりも前記接着面側に設けられているブリード流動阻止部を備える電気機械変換素子。
2. 前記ブリード流動阻止部の臨界表面張力は、前記外部電極の臨界表面張力よりも小さい、請求項１に記載の電気機械変換素子。
3. 前記ブリード流動阻止部の臨界表面張力は、１０ｄｙｎ／ｃｍ以上１００ｄｙｎ／ｃｍ以下の範囲内にある、請求項２に記載の電気機械変換素子。
4. 前記ブリード流動阻止部は、樹脂からなる、請求項１〜３のいずれか一項に記載の電気機械変換素子。
5. 前記ブリード流動阻止部は、エポキシ系樹脂、アクリル系樹脂またはウレタン系樹脂からなる、請求項４に記載の電気機械変換素子。
6. 前記ブリード流動阻止部は、前記電極形成面の前記接着面側の端縁から離れた位置に形成されている、請求項１〜５のいずれか一項に記載の電気機械変換素子。
7. 前記ブリード流動阻止部は、前記電極形成面の前記接着面側の端縁から５０μｍ以上離れた位置に形成されている、請求項６に記載の電気機械変換素子。
8. 前記ブリード流動阻止部の高さは、１μｍ以上である、請求項１〜７のいずれか一項に記載の電気機械変換素子。
9. 前記電極形成面の法線方向から視た際に、前記外部電極は、前記接着面と平行な方向において、前記電極形成面の一部に形成されており、前記ブリード流動阻止部は、前記電極形成面の前記外部電極が設けられている領域を少なくとも含む領域に形成されている、請求項１〜８のいずれか一項に記載の電気機械変換素子。
10. 前記ブリード流動阻止部は、前記接着面の延びる方向において、前記電極形成面の一方側の端部から他方側の端部にわたって形成されている、請求項９に記載の電気機械変換素子。
11. 前記ブリード流動阻止部は、前記外部電極の少なくとも一部を囲うように形成されている、請求項１〜１０のいずれか一項に記載の電気機械変換素子。
12. 前記変位部は、高さ方向と、前記高さ方向に垂直な第１の方向とに沿って延びる第１及び第２の側面と、高さ方向と、前記高さ方向及び前記第１の方向に垂直な第２の方向とに沿って延びる第３及び第４の側面と、前記第１の方向と前記第２の方向とに沿って延びる第１及び第２の端面とを有する四角柱状に形成されており、
    前記接着面が前記第１の端面により構成されており、
    前記電極形成面が前記第１の側面により構成されている、請求項１〜１１のいずれか一項に記載の電気機械変換素子。
13. 前記変位部は、圧電体からなる、請求項１〜１２のいずれか一項に記載の電気機械変換素子。
14. 請求項１〜１３のいずれか一項に記載の電気機械変換素子と、
    前記電気機械変換素子の前記接着面に対して、接着剤により接着されている被駆動部材と、
    前記外部電極に対して前記半田により接続されているリード電極とを備えるアクチュエータ。
15. 前記被駆動部材に摺動可能に設けられた移動体を備え、
    前記電気機械変換素子の伸縮によって、前記被駆動部材を移動させることで、前記移動体を前記被駆動部材に対して滑り変位させる、請求項１４に記載のアクチュエータ。