CN1164048C - 光数据传送装置 - Google Patents

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Abstract

一种运送***，其具有连结机构，并可通过无人运送车1在多个制造装置2上一面进行传送光数据，一面运送移载物。当受到连结机构作用而使运送***停止时，可以迅速地找出发生问题的原因。在无人运送车1与制造装置2所配置的光数据传送装置至少有一方具有非易失性存储器，用以保持存储一通信记录文件，以及一通信记录装置，用以在将通信记录文件写入非易失性存储器，且当有从外部询问通信记录时，将通信记录文件的内容输出到外部。

Description

光数据传送装置
技术领域
本发明涉及一种配置于无人运送车与制造装置的光数据传送装置，在一具有连结机构的运送***中，其可使承接移载物时以双向方式传送双方必要的数据。且特别关于一种配置用以存储通信记录的非易失性存储器的光数据传送装置，当问题发生时，可以读出通信记录并且迅速地找出发生问题的原因。
背景技术
对半导体元件或液晶显示器的生产线而言，通常在厂房内配置许多对应到各个制造过程的制造装置。其中，半导体晶片或液晶显示器的基板通常利用无人运送车来进行移动与搬运的操作。
图6A、6B、6C绘示在半导体生产线上，利用自动化物料处理***(Automated Material Handling Systems，AMHS)在无人运送车1与半导体制造装置2之间，承接收纳半导体晶片3移载物的载具。图6A所绘示的无人运送车是以车轮自行行走的自动导引车(Automated Guild Vehicle，AGV)情况，由AMHS的机械臂5与机械手6将载具4装载到半导体制造装置2中。图6B为无人运送车在底面设置导轨(Guide rail)7来运行的轨道导引车(RailGuild Vehicle，RGV)情况，由AMHS所进行相同的装载程序。图6C绘示出可以在设置于无人运送车上面的导轨8上运行的顶置升降传输机(OverheadHoist Transport，OHT)的情况，在此情况下，利用AMHS的升降机9和机械手10，来进行载具4的装卸。
承接上述载具4的操作是依据控制整体生产线的控制***的命令，利用分别配置于无人运送车1和半导体制造装置2的主机计算机来进行。在承接载具4时，因为无人运送车1和半导体制造装置2的动作必需有互动关系，因此，通过在无人运送车1和半导体制造装置2上所设置的光数据传送装置11，便可以传送双方之间必要的数据。
借助光信号传递而在无人运送车1和半导体制造装置2之间建立的双向通信。是在无人运送车1运行至面对半导体制造装置2方向的位置才进行。对于从无人运送车1到半导体制造装置2来装卸载具4的情况下，此通信内容是从无人运送车1将移载舱的指定信号(CS_0，CS_1)、舱体使用信号(VALID)、移载要求信号(TR_REQ)、作业中信号(BUSY)以及完成(COMPT)等信号传送到面对的半导体制造装置2；而从半导体制造装置2将接收要求信号(L_REQ)和接收备妥信号(READY)传送到面对的无人运送车1.
至于液晶显示器生产线的状况，也与图6所绘示运送过程相同，只是以较大尺寸的玻璃基板来取代半导体晶片，而其他的制造流程与上述半导体晶片的情况类似。
这些生产线上的移载物为非常高价且容易破裂的物品，为避免造成撞击，装载取用时便必须非常谨慎小心。因此，在任何问题发生时，这些运送***必须具有连结机构，以便即时停止移载动作。
运送***在任何原因所产生故障情况下，连结机构均会在安全的考虑下停止运送的动作。由于发生频率不少，而发生的位置无法很清楚。所以，在此情况就必需要清楚追究原因以进行处理，以避免相同的问题再发生。
对此连结机构而言，无人运送车和制造装置一边互相传送数据，一边又分别执行许多步骤来承接一直前进的移载物的情况是相当多的。主机电脑的本身的运送车或装置发生障碍时，便直接使本身的运送车或装置的连结机构动作；而在对方运送车或装置发生障碍时，若在一定时间之内没有检测到对应于传送信号的回应信号，便将连结机构加以启动。
有鉴于此，在连结机构运作而使***停摆时，其对应到在移载物承接的哪一步骤发生的，若可以通过在当下的传送数据或接收数据内容，便可以很清楚且容易地找出问题的症结出来。
但是，公知的数据传送装置，并不具有记录通信经过的功能；因此，在运送***停止情况下，便必须全面性的调查，所以需要长时间才能恢复，而成为生产线产率下降的原因。
发明内容
本发明的目的在提供一光数据传送装置，可以在一定时间内记录通信记录，以便在问题发生时，可以将此通信记录读出而迅速地找出问题原因而加以排除。
本发明的光数据传送装置，具有发生问题时可停止动作的一连结机构，通过一无人运送车，于配置有多个制造装置的一生产线上运送一移载物的移载***中，通过双向通信方式传送该移载物承接所必要的数据，该光数据传送装置配置至于该无人运送车与这些制造装置上，该光数据传送装置包括：一非易失性存储器，用以保持存储一通信记录文件；以及一通信记录装置，用以在将通信记录文件写入该非易失性存储器；其中记录存储于该非易失性存储器中的该通信记录文件，为表示在该无人运送车与该制造装置间的该移载物的承接过程的输出入信号以及记录经过时间，当发生问题时，读出记录存储于该非易失性存储器中的该通信记录文件。
上述的非易失性存储器所存储通信记录，在一次承接时，因为有记录无人运送车和制造装置之间所进行的双向记录数据，藉由连结机构，到运送***停止动作为止的步骤均有被记录下来。因此，当问题产生时，便可以读出通信记录，便可以知道无人运送车和制造装置间，到连结机构为止的承接动作顺序。因此，能够迅速的查出到问题的发生原因。
此外，在无人运送车和制造装置上所配置的光数据传送装置中最好至少有一个有上述通信记录功能。
根据上述的结构，非易失性存储器的存储容量，可以记录对一次移载物承接的一连串的一通信记录，同时该通信记录装置在开始接收该移载物时，将该非易失性存储器的内容清除，之后才开始一连串的通信记录。
这是因为问题发生之前一刻的接收通信记录，对于造成问题产生的原因的排解是必要且重要的关键所在，由于存储保存只有此通信记录。所以若非易失性存储器的存储容量很少时，就很不容易进行问题排解与查出原因。
另外，在上述的结构下，包括一光通信装置，其中通信记录装置经由光发射接收装置，接收从外部对通信记录的查询，并分别加以应答使之记录于非易失性存储器中，并输出通信记录。
此外，通过使用携带型的光收发器等，将通信记录读出，便可以无人运送车停止运作的现场，即时的查明连结机构的原因。
本发明是在无人运送车和制造装置之间承接移载物时，将以光数据传送的通信记录存储于非易失性存储器上，并且对应到各个步骤。通过读出存储器所存储的内容，便能够迅速将问题发生时的原因找出，使具有连结机构的生产线可以快速恢复，进而提高制造的效率。
附图说明
为使本发明的上述和其他目的、特征、和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合附图，作详细说明如下：
图1绘示依据本发明实施例的光数据传送装置的结构示意图；
图2绘示依据本发明实施例的光数据传送配置在无人运送车与半导体制造装置上的结构示意图；
图3绘示移载物承接时，无人运送车和半导体制造装置的输出入信号的时序图；
图4绘示本发明的控制装置所具有通信记录装置在进行通信记录和对外部输出的顺序询问流程图；
图5绘示移载物承接时，无人运送车与液晶制造装置的输出入信号的时序图；以及
图6A至图6C绘示无人运送车和半导体制造装置间，无人运送车进行每一种移载物接收动作的种类。
具体实施方式
本发明的实施例是以半导体元件的制造生产线的情况来加以说明。如图1所示，标号11是本发明的具有通信记录文件的光数据传送装置，其包括光发射接收装置12、控制装置13、非易失性存储器14与输出入介面15。
光发射接收装置12是由LED等发光元件12a、光电二极管等的测光元件12b以及信号收发电路12c所构成。信号收发电路12c是将以预定载波来调变传送数据的调变信号连同发光元件12a所发出的光信号，将测光元件12b所测出的输出信号放大后，再经过检波与解调后来取得接收信号。
控制装置13是由CPU所构成，其可以进行信号接收与发射的控制，同时也可以进行通信记录文件的记录方法。非易失性存储器14是用来记录存储记录文件，例如在承接移载物的载具时，使用存储器容量能够存储接收或发送一连串通信记录的EEPROM存储器。
标号15是输出入介面，其可以经由连接线16，与命令执行数据传送的主机计算机连接。
如图2所示，上述的光数据传送装置11是分别装配在无人运送车1和半导体制造装置2上，并且与个别主机计算机17连接。无人运送车1和半导体制造装置2上的主机计算机17、17可以从控制整体制造生产线的控制***接收命令，以便进行载具的承接或运行方向的控制等。通过光数据传送装置11，在载具承接前，先进行双向数据传送。
参照图2，标号18是光收发器，其可以从光数据传送装置11读取通信记录文件。例如，将光收发器的光发射接收装置朝向光数据传送装置11的光发射接收装置12，并且按下通信记录文件读出按钮，便能够在显示器显示通信记录文件的内容。
由本发明的特征在控制装置13上的通信记录装置所记录的通信记录文件。可以记录用以表示在无人运送车1和半导体制造装置2之间的载具承接过程的输出入信号，以及经过时间等。例如，从无人运送车1装载到半导体制造装置2的载具4的情况，以图3的时序图来表示。
参照图3，上半段的信号L_REQ和READY是表示半导体制造装置2内部状态的输出入信号，其是传送到无人运送车1；而下半段的信号CS_0，CS_1，VALID，TR_REQ，BUSY，COMPT是用以表示无人运送车1的内部状态的输出入信号，其是传送至半导体制造装置2。因为各信号为1位的数据，因此以8位为1个传送框(Frame)来进行信号传送。此外，此传送框在光数据传送装置11的内部是以并行方式处理，而在光通信时则以串行方式传送。
由于藉此输出入信号，使得无人运送车1和半导体制造装置2可以知道对方彼此的状态，且在载具承接收期间信号彼此不断的传送。对于无人运送车1和半导体制造装置2，在送出信号一方的输出入信号发生变化后，其对应的无人运送车或装置便进行相对应的作业流程，再使无人运送车或装置的输出入信号变化，使之进行载具的承接作业流程。
下面详细解说图3所示的时序图。当无人运送车1到达面对半导体制造装置2的位置后，首先，送出进行装载的移载舱的指定信号(CS_0)向上，接着送出移载舱使用信号(VALID)，以便通知半导体制造装置2。在半导体制造装置2接收到上述信号后，便送出接受要求信号(L_REQ)，同时开始取用载具4。接着，将接收端的闸门(未绘出)开启等动作备妥后，便开始进行移载的操作作业。
无人运送车1在接收上述接收要求信号(L_REQ)后，便送出移载要求信号(TR_REQ)，并传送到半导体制造装置2。
半导体制造装置2接收移载要求信号(TR_REQ)后，当载具承接收准备完成后，便送出承接备妥信号(READY)，并传送到无人运送车1。接收到备妥信号(READY)的无人运送车1，便送出作业中信号(BUSY)并开始移载作业。半导体制造装置2检测出载具4移载完后，便拉下接收要求信号(L_REQ)，并通知无人运送车1。当无人运送车1完成载具4的移载后，便拉下移载要求信号(TR_REQ)和作业中信号(BUSY)，并送出完成信号(COMPT)。
接收完成信号(COMPT)的半导体制造装置2，其本身装置从接收舱将载具4收纳完成后，拉下承接备妥信号(READY)。接收此承接备妥信号(READY)的无人运送车1，便拉下接收舱的指定信号(CS_0)、接收舱使用信号(VALID)以及完成信号(COMPT)，而完成承接载具。
接着，具有本发明特征的控制装置13，其通过通信记录文件的方法，以及对应通信记录的查询的通信记录输出方法的输出顺序绘示于图4。
图1所示的控制装置13在上述状况下，经由光发射接收装置12进行与对方输出入信号的接收与发射，同时监视是否有查询从图2显示从光收发器18的通信记录文件。
在接收信号接收时，其可判断是否有查询从光收发器18的通信记录文件。
如果没有查询时，主机计算机17输出此接收信号，并送出自身车子或自身装置的输出入信号。在第一次的收发信号结束后，由上一次的收发信号位(8位+8位)的变化加以判断。因为只要有1位变化时，其会成为图3所示的时序图的时间变化点，此时便通过通信记录方法来进行记录。
此记录是从判断第一次半导体接收的最初步骤的判定时间开始。例如，是否为最初步骤的判断，是根据移载舱的指定信号(CS_0，CS_1)是否有送出来加以判断。当判断为最初步骤时，便启动通信记录装置的计时器，同时通过将表示通信记录的写入地址起始化等方式，将非易失性存储器的内容清除。
接收数据的变化时间点的记录是将对应此时间点的接收数据(8位+8位)，以及计时器的计算时间(最初步骤时，从0开始计算的时间)写入非易失性存储器14。由此种存储方式便可以完全记录图3所示时序图。
从上述流程图的条件分歧点来看，当判断有询问通信记录文件的状况时，利用通信记录输出装置将通信记录输出。利用信号接收发射器12将前述的非易失性存储器所记录存储的通信记录文件内容，输出到图2所示的光收发器18。接收到此记录文件的光收发器18可以显示图3所示的时序图，由此便可以很迅速地找出问题发生的原因。
上面的说明，是为半导体元件的制造生产线为说明例。本发明对于液晶显示器的制造生产线，也适用使用具有连结机构的无人运送车的运送***。
例如，对于液晶显示器的制造生产线而言，也与上述的半导体元件的制造生产线具有类似的制程，而在无人运送车和制造装置之间所进行移载物承接顺序与通信的内容也大致相同。
图5绘示针对液晶显示器的制造生产线上的通信记录的输出入信号的时序图。因为液晶显示器基板尺寸较大，所以运送物的移载舱是使用一个制造装置。因此，与图3比较分析下，便不使用移载舱的指定信号(CS_0、CS_1)。因此，在判断是否为最初步骤时，是以利用检测是否有送出接载舱使用信号(VALID)进行。
此外，本发明的通信记录文件功能，只要在无人运送车1和制造装置的其中一方进行光通信便可以达到此目的，所以具有本发明功能的光数据传送装置只要设置在无人运送车1和制造装置其中之一，而另一方没有设置光数据传送装置也是可以实施的结构。

Claims (3)

1.一种光数据传送装置，具有发生问题时可停止动作的一连结机构，通过一无人运送车，于配置有多个制造装置的一生产线上运送一移载物的移载***中，通过双向通信方式传送该移载物承接所必要的数据，该光数据传送装置配置至于该无人运送车与这些制造装置上，该光数据传送装置包括：
一非易失性存储器，用以保持存储一通信记录文件；以及
一通信记录装置，用以在将通信记录文件写入该非易失性存储器；
其中记录存储于该非易失性存储器中的该通信记录文件，为表示在该无人运送车与该制造装置间的该移载物的承接过程的输出入信号以及记录经过时间，
当发生问题时，读出记录存储于该非易失性存储器中的该通信记录文件。
2.如权利要求1所述的光数据传送装置，其中该非易失性存储器的记录容量，可以记录该移载物一次承接的该通信记录，同时该通信记录装置在开始接收该移载物的通信时，将该非易失性存储器的记录内容清除，之后才开始该通信记录文件的记录。
3.如权利要求1或2所述的光数据传送装置，还包括用来收受光信号的一光发射接收装置，该通信记录装置将该光发射接收装置产生的传送接收通信的该通信记录文件写入至该非易失性存储器，同时接收从外部的一光收发器的查询时，并将记录于该非易失性存储器中的该通信记录文件通过该光发射接收装置，并输出到该光收发器。
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