JP4450884B2 - 光データ伝送装置 - Google Patents
光データ伝送装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4450884B2 JP4450884B2 JP10447199A JP10447199A JP4450884B2 JP 4450884 B2 JP4450884 B2 JP 4450884B2 JP 10447199 A JP10447199 A JP 10447199A JP 10447199 A JP10447199 A JP 10447199A JP 4450884 B2 JP4450884 B2 JP 4450884B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- data transmission
- automatic guided
- guided vehicle
- optical data
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 title claims description 54
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 54
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 61
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims description 12
- 230000006854 communication Effects 0.000 claims description 7
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 7
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 5
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 46
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 230000007175 bidirectional communication Effects 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 239000012050 conventional carrier Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Control Of Position, Course, Altitude, Or Attitude Of Moving Bodies (AREA)
- Multi-Process Working Machines And Systems (AREA)
- Optical Communication System (AREA)
- Feeding Of Workpieces (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
Description
【産業上の利用分野】
本発明は、インターロック機構を備えた搬送システムにおいて、無人搬送車と製造装置の双方に取り付けられ、移載物の受け渡しに必要なデータを双方向通信により伝送する光データ伝送装置に関し、特に、無人搬送車が受け渡し位置に到着する前から送受信を開始して受け渡しの準備を先行させることにより製造効率の向上を図った光データ伝送システムに関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体デバイスや液晶表示器の製造ラインでは、建家内に配置した複数の製造装置に対して、半導体ウエーハや液晶表示器の基板を、無人搬送車により工程に従って移載している。
【0003】
図6(a)(b)(c)は、半導体デバイスの製造ラインにおいて、無人搬送車1と半導体製造装置2の間で、AMHS(Automated material handling systems)によって、半導体ウエ−ハ3を収納した移載物であるキャリア4を受け渡す状態を示したものである。図6(a)は無人搬送車が車輪によって自走するAGV(Automated Guided Vchicle)である場合で、AMHSのアーム5とハンド6によって、キャリア4を半導体製造装置2に積み降している。図6(b)は無人搬送車1が床面に設けたガイドレール7を走行するRGV(Rail Guided Vchicle)である場合で、AMHSによって同様の積み降ろしが行なわれている。図6(c)は無人搬送車が天井面に設けたガイドレール8を走行するOHT(Overhead Hoist Transport)である場合で、この場合はAMHSの持つホイスト9とハンド10でキャリア4の積み降ろしを行なっている。
【0004】
上述したキャリア4の受け渡しは、半導体デバイスの製造ライン全体を制御するコントロールシステムの指令に基づき、無人搬送車1と半導体製造装置2の夫々に搭載されたホストコンピュータによって行われる。この受け渡し時に、無人搬送車1と半導体製造装置2を連携動作させる必要があるので、無人搬送車1と半導体製造装置2の双方に設けた光データ伝送装置によって、必要なデータの送受信を行っている。
【0005】
この光による送受信動作を、無人搬送車1から半導体製造装置2にキャリア4を積み降ろす作業について説明する。移載物であるキャリア4を積み込んだ無人搬送車1が半導体製造装置2と対向する位置に到着すると、無人搬送車1から、光信号によって、その到着と積み降ろしのために必要な情報を、半導体製造装置2に通信する。この信号を受けた半導体製造装置2は、キャリア4を受け取るため、図示しない受入口のシャッタを開ける等の準備を開始し、この準備が整った後に、受入れ準備完了を光信号によって無人搬送車1に送信する。無人搬送車1は、この光信号を受け取った後に、キャリア4の積み降ろしを開始する。
【0006】
キャリア4を、半導体製造装置2から無人搬送車1に積み込む場合も、無人搬送車1が所定の停止位置に到着してから、前記同様の手順で行われる。
【0007】
従来の光データ伝送装置は、他の光データ伝送装置との混信を防止するため、投受光エリアを、かなり小さく設定し、近接した状態で対面した光データ伝送装置の間でのみ、データ伝送を行うようにしている。
【0008】
液晶表示器の製造ラインの場合も、半導体ウエーハの代わりにサイズの大きいガラス基板を用いるが、類似した処理工程を経て製造されるため、図6と同様の移載を行っている。
【0009】
これらの製造ラインの移載物は、非常に高価で割れやすいものであるため、衝撃を与えないように慎重に取り扱う必要がある。このため、これらの搬送システムは、何等かのトラブルが発生した場合には、移載動作を即時に停止させるインターロック機構を備えている。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】
上記従来のキャリア4の受け渡しにおいて、無人搬送車1が到着してから受け渡し作業が開始されるまでの待機時間は、5〜10秒程度であった。この待機時間は、半導体デバイスの製造ラインの稼動時間当たりの製造数を少なくし、製造コスト低減の障害になるものである。
【0011】
上記待機時間を短くするには、無人搬送車1が所定の停止位置に到着する前から光通信を始め、到着する前から受け渡しの準備作業を開始することが考えられる。
【0012】
しかし、到着する前から光通信を始めるには、光データ伝送装置の持つ投受光器の指向角を広げると共に、光の到達距離を大きくする必要があり、同一フロア内にある他の無人搬送車及び製造装置の持つ光データ伝送装置と混信してしまう。
【0013】
そこで、本発明は、他の光データ伝送装置と混信を起させないで、無人搬送車が受け渡し位置に到着する前から光通信を始められるようにすることにより、待機時間をなくし若しくは短縮できる光データ伝送装置及びこれを用いた光データ伝送システムを提供することを目的とする。
【0014】
【課題を解決するための手段】
本発明の請求項1に係る発明は、トラブル発生時に動作を停止するインターロック機構を有し、無人搬送車によって、製造ラインに配置された複数の製造装置に移載物を搬送する搬送システムに備えられ、移載物の受け渡しに必要なデータを双方向通信により伝送するために、無人搬送車と製造装置の双方に取付けられる光データ伝送装置において、
製造装置に向かって走行する無人搬送車が、該製造装置における移載物の積み降ろしの準備時間前から受け渡し位置に到達するまでの期間に該製造装置との間でデータ伝送が可能となるように投受光エリアを大きくした投光器及び受光器と、自己のIDを設定するID記憶手段と、投光器から送信するデータに送信先である相手方のIDを付加するID付加手段と、受光器で受光したデータに含まれているIDが自己のIDと一致したときに該受光したデータを受信データとして取り込む選択手段とを備えたことを特徴とする光データ伝送装置である。
【0015】
上記構成において、光データ伝送装置は、指向角と光の到達距離及び受光感度の設定により、無人搬送車が製造装置における移載物の積み降ろしの準備時間前から受け渡し位置に到達するまでの期間に光通信が可能である。また、送信する光信号は、移載物の受け渡しに必要な実データに送信先である相手方のIDが付加されて送信される。これは、例えば実データが8ビットであるとき、これに8ビットのIDを付加して16ビットのデータとするものである。受光器で受信されたデータは、選択手段により、該データに含まれているIDが自己のIDと一致したときに受信データとして取り込む。したがって、投受光エリアを広く設定していても、通信対象以外の光データ伝送装置との混信を防止できる。
【0019】
【実施形態】
本発明を半導体デバイスの製造ラインに適用した場合の実施態様について説明する。図1において、11は無人搬送車1と半導体製造装置2に共用される光データ伝送装置を示すものであり、投受光部12、制御部13,モードスイッチ14、シリアルインターフェース15を備えている。
【0020】
図1において、投受光部12は、投光器12aとしてLED等の発光素子及びドライブ回路を備え、受光器12bとして、フォトダイオード等の受光素子とアンプを備える。投光器12aと受光器12bは、無人搬送車1が半導体製造装置2に向かって走行しているとき、所定時間(例えば、5秒〜10秒といった積み降ろしの準備時間)前から、停止位置に到達するまでの期間中に送受信が可能な投受光エリアが得られるように、レンズ及び視野絞りが設計されると共に、投光量及び受光感度が設定され、所定の向きで取り付けられている。
【0021】
制御部13は本発明の特徴とするIDを付加したデータ伝送を管理するもので、CPU等によって構成され、自己のIDを記憶するID記憶手段13a、ID記憶手段に自己のIDを設定するID設定手段13b、送信するデータに所定のIDを付加するID付加手段13c、受信したデータの内で所定のIDを持つもののみを受信データとして取り込む選択手段13dを備えている。
【0022】
モード選択スイッチ14は、上記制御部13の動作モードを送信を先行させるアクティブモードと受信を先行させるパッシブモードに切換えるものである。
【0023】
シリアルインターフェース15は、主として、光データ伝送装置の外部接続線をコンパクト化するために採用されたものである。
【0024】
上記光データ伝送装置11は、図2に示すように、半導体デバイスの製造ラインを構成する無人搬送車1と半導体製造装置2に取付けられ、無人搬送車1と半導体製造装置2が装備するホストコンピュータ16,16に接続される。各光データ伝送装置11は、モードスイッチ14によって、無人搬送車の光データ伝送装置が送信を先行して行うアクティブモード、半導体製造装置の光データ伝送装置が送信を受けた後に受信を行うパッシブモードに設定される。
【0025】
図2において、17は光リモコン装置で、各光データ伝送装置11の内部を開かないでIDを設定するために使用される。このIDは、例えば8ビットデータで、半導体製造装置2に装備される光データ伝送装置は1〜FEの1つが割り当てられ、無人搬送車1に装備される光データ伝送装置にはFFが割り当てられる。この光リモコン装置17によるID設定は、光データ伝送装置11の投受光部12に光信号を送受信し、前記制御部13のID設定手段13bにより、ID記憶手段13aにIDを書き込ませることによって行う。
【0026】
図2のように構成された光データ伝送装置11は、次のように半導体受け渡し時のデータ伝送を行う。図3はその信号の流れ図、図4はタイミングチャートである。
【0027】
無人搬送車1は、製造ラインのコントロールシステムから指令を受けて半導体製造装置に向かって走行しているとき、受け渡し対象の半導体製造装置のIDを付加したデータを送信する。これは、制御部13がID付加手段13cによって、例えば図5に示すように、先頭の8ビットをID領域、これに続く8ビットを実データ領域とし、16ビットで一組のデータとして送信するものである。無人搬送車1が投受光エリアに入ると、半導体製造設備2の光データ伝送装置11が、これを受信し、IDが自己のIDと一致していると制御部13の選択手段13dによって受信データとして取り込み、受入口のシャッターを開く等の半導体受入れの準備動作を開始する。この後は、無人搬送車1と半導体製造装置2の各光データ伝送装置の間で、データの送受が行われる。半導体製造装置2の光データ伝送装置11から送信されるデータには、無人搬送車のIDが付加され、無人搬送車は、このIDが自己のIDと一致しているときに、受信データとして取り込む。無人搬送車の到着時に、前記準備の終了が確認できていれば、直ちに半導体の積み下ろしを開始することができる。
【0028】
このように到着前から、半導体受け渡しの準備をさせることができるので、到着後の待機時間を0にするか、又は短縮することができ、半導体デバイス製造の効率化が図れ、コストダウンが可能となる。
【0029】
なお、上記IDの使用は、複数の無人搬送車に固有のIDを割り当て、複数の無人搬送車を区別する方式を採用してもよい。また、特定の場所での半導体の受け渡しを、他所の受け渡しと区別するという考えで、無人搬送車の光データ伝送装置は、送受信対象とする半導体製造装置のIDを用い、半導体製造装置の光データ伝送装置は、自己のIDを用いるようにしてもよい。
【0030】
以上の説明は、本発明を半導体デバイスの製造ラインに適用した場合のものであるが、本発明は、インターロック機構を備えた無人搬送車を用いた搬送システムに適用できるものである。例えば、液晶表示器の製造ラインの場合は、上記半導体デバイスの製造ラインと同様の処理工程を持ち、無人搬送車と製造装置の間で行われる移送物の受け渡しの手順及び通信の内容は略同様であるので、同一の光データ伝送装置を用いることができる。
【0031】
【発明の効果】
本発明は、インターロック機構を備えた搬送ラインにおいて、無人搬送車と製造装置の間で半導体の受け渡し時におこなう光データ伝送を、IDを付加したデータによって行うことにより、他の装置と混信しないで、無人搬送車が到着する前から可能とし、受け渡しの準備作業を先行させることにより、製造効率の向上によるコストダウンが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の光データ伝送装置の構成例を示す図
【図2】 本発明の光データ伝送装置を無人搬送車と半導体製造装置に取り付けた光データ伝送システムの構成を示す図
【図3】 送受信のタイミングチャート
【図4】 図3の構成において、各光データ伝送装置内のCPUを通して行われる信号の流れを説明する図
【図5】 本発明の光データ伝送装置によって送受信されるIDが付加されたデータを示す図
【図6】 無人搬送車と半導体製造装置の間で行われる半導体の受け渡しを無人搬送車の種類毎に説明する図
1 無人搬送車
2 半導体製造装置
3 半導体ウエ−ハ
4 移載物(キャリア)
11 光データ伝送装置
12 投受光部12
12a 投光器
12b 受光器
13 制御部
13a ID記憶手段
13b ID設定手段
13c ID付加手段
13d 選択手段
14 モードスイッチ
15 シリアルインターフェース
16 ホストコンピュータ
17 光リモコン装置
Claims (1)
- トラブル発生時に動作を停止するインターロック機構を有し、無人搬送車によって、製造ラインに配置された複数の製造装置に移載物を搬送する搬送システムに備えられ、移載物の受け渡しに必要なデータを双方向通信により伝送するために、無人搬送車と製造装置の双方に取付けられる光データ伝送装置において、
製造装置に向かって走行する無人搬送車が、該製造装置における移載物の積み降ろしの準備時間前から受け渡し位置に到達するまでの期間に該製造装置との間でデータ伝送が可能となるように投受光エリアを大きくした投光器及び受光器と、自己のIDを設定するID記憶手段と、投光器から送信するデータに送信先である相手方のIDを付加するID付加手段と、受光器で受光したデータに含まれているIDが自己のIDと一致したときに該受光したデータを受信データとして取り込む選択手段とを備えたことを特徴とする光データ伝送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10447199A JP4450884B2 (ja) | 1999-04-12 | 1999-04-12 | 光データ伝送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP10447199A JP4450884B2 (ja) | 1999-04-12 | 1999-04-12 | 光データ伝送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2000299364A JP2000299364A (ja) | 2000-10-24 |
JP4450884B2 true JP4450884B2 (ja) | 2010-04-14 |
Family
ID=14381511
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP10447199A Expired - Fee Related JP4450884B2 (ja) | 1999-04-12 | 1999-04-12 | 光データ伝送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4450884B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105900032A (zh) * | 2014-01-09 | 2016-08-24 | 东芝生活电器株式会社 | 自走式设备 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102064485B1 (ko) * | 2017-12-27 | 2020-01-09 | 오학서 | 자동 반송 시스템의 작업시간 단축을 위한 데이터 통신 방법 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0281809A (ja) * | 1988-09-16 | 1990-03-22 | Itoki Kosakusho Co Ltd | 自動保管検索装置 |
JP3320539B2 (ja) * | 1993-12-17 | 2002-09-03 | 東京エレクトロン株式会社 | 被処理体の搬入、搬出装置 |
JPH0865239A (ja) * | 1994-08-24 | 1996-03-08 | Daido Steel Co Ltd | 光通信システム、多重式の光通信システム及びこれらを適用した移動体制御システム |
JP3377652B2 (ja) * | 1995-07-03 | 2003-02-17 | 三菱重工業株式会社 | 無人搬送台車運行システム |
JPH10107125A (ja) * | 1996-08-08 | 1998-04-24 | Tokyo Electron Ltd | 搬送装置のインターロック機構 |
JPH1196226A (ja) * | 1997-09-17 | 1999-04-09 | Mazda Motor Corp | 作業支援システム及びワーク搬送装置及び通信装置の動作プログラムを格納した記録媒体 |
-
1999
- 1999-04-12 JP JP10447199A patent/JP4450884B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105900032A (zh) * | 2014-01-09 | 2016-08-24 | 东芝生活电器株式会社 | 自走式设备 |
CN105900032B (zh) * | 2014-01-09 | 2019-06-28 | 东芝生活电器株式会社 | 自走式设备 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2000299364A (ja) | 2000-10-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI573750B (zh) | Communication devices and communication machines and communication systems | |
US8868233B2 (en) | Control apparatus, a substrate treating method, a substrate treating system, a method of operating a substrate treating system, a load port control apparatus, and a substrate treating system having the load port control apparatus | |
KR102064485B1 (ko) | 자동 반송 시스템의 작업시간 단축을 위한 데이터 통신 방법 | |
JP2010184760A (ja) | 移載システム | |
US11952026B2 (en) | Conveyance vehicle system | |
JP4450884B2 (ja) | 光データ伝送装置 | |
JP3917777B2 (ja) | 光データ伝送装置 | |
KR100278607B1 (ko) | 웨이퍼카세트반송시스템및웨이퍼카세트반송방법 | |
JPH09230938A (ja) | 無人搬送車システム | |
CN114955552A (zh) | 一种smif开合器与自动搬送***交互的控制方法及smif开合器 | |
JP2000299363A (ja) | 光データ伝送システム | |
JP2018097406A (ja) | 走行車システム及び走行車 | |
US20210349472A1 (en) | Control method, transport system, and communication device | |
KR100609297B1 (ko) | 광데이터 전송장치 | |
WO2022190710A1 (ja) | 無線通信システム及び無線通信システムの制御方法 | |
JP2005294863A (ja) | 光データ伝送装置 | |
JP2010034559A (ja) | ウエハ移動用無塵ケースの搬送方法とそのシステム | |
JPH08234839A (ja) | 無人搬送車システム | |
US20240132294A1 (en) | Article Transport Facility | |
JP2005071214A (ja) | 無人搬送車システム | |
US20230242166A1 (en) | Traveling vehicle system and traveling vehicle control method | |
US20050246077A1 (en) | Automation system using wireless high frequency | |
TW464925B (en) | Optical data transfer device | |
JP4675344B2 (ja) | 通信システム | |
JP2000293232A (ja) | 自動搬送システム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060217 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20060217 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081028 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090108 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090306 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090603 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20091111 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100112 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100127 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4450884 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130205 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |