DE10024734A1

DE10024734A1 - Halbleiterfabrikautomatisierungssystem und Verfahren zum Transportieren von Halbleiterwafern

Info

Publication number: DE10024734A1
Application number: DE10024734A
Authority: DE
Inventors: Tae-Ho Lee; Yung-Hwan Chae; Woo-Kyu Lee; Jong-Mo Ahn; Kwang-Ho Lee; Jin-Sun Kim; Moon-Gi Kim; Chang-Kee Hong; Won-Soo Cho
Original assignee: Hyundai Electronics Industries Co Ltd
Current assignee: SK Hynix Inc
Priority date: 1999-05-20
Filing date: 2000-05-19
Publication date: 2001-01-18
Also published as: CN1278620A; CN1196059C; US6516238B1; GB2351161B; TW514958B; JP2000357723A; JP4306925B2; GB2351161A; GB0012373D0

Abstract

Ein Verfahren zum Transportieren von Halbleiterwafern in einem Halbleiterfabrikautomatisierungssystem umfasst die Schritte: a) Verarbeiten eines Loses von Halbleiterwafern, die in einer Halbleiterwaferkassette enthalten sind, in einer Prozessanlage; b) Senden einer Kassettentransportanforderung von der Prozessanlage zu einem Zellenmanagementserver, wenn die Prozessanlage das Los der Halbleiterwafer verarbeitet hat; c) Erzeugen einer Transportanweisung in Reaktion auf die Kassettentransportanforderung; und d) wenn die Halbleiterwaferkassette von der Prozessanlage zu einer Stockereinheit durch ein automatisches geführtes Fahrzeug (AGV) transportiert worden ist, gleichzeitiges Aktivieren des AGV und der Stockereinheit durch gleichzeitiges Aussenden der Transportanweisung zu dem AGV und der Stockereinheit. Das Verfahren gemäß der vorliegenden Erfindung kann eine zum Transport der Halbleiterwafer benötigte Zeit verringern.

Description

Gebiet der Erfindung

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Halbleiterfabrikautomatisierungs-(FA)-System; und insbesondere ein Halbleiter-FA-System und Verfahren zum Transportieren von Halbleiter wafern.

Beschreibung des Stands der Technik

Im Allgemeinen prozessiert ein herkömmliches Halbleiterfabrikautomatisierungs-(FA)- System automatisch Halbleiterwafer. Das herkömmliche Halbleiter-FA-System umfasst Prozessanlagen, Vorrats- bzw. Stockereinheiten und ein automatisches geführtes Fahrzeug (AGV). Eine Prozessanlage führt einen Halbleiterprozess an den Halbleiterwafern aus. Eine Stockereinheit lädt die zu bearbeitenden Halbleiterwafer in die Prozessanlage. Ferner nimmt die Stockereinheit die Halbleiterwafer auf, die bereits in der Prozessanlage verar beitet worden sind. Das AGV transportiert die Halbleiterwafer von einer Prozessanlage zu einer anderen Prozessanlage. Ferner transportiert das AGV die Halbleiterwafer von der Stockereinheit zur Prozessanlage. Ferner transportiert das AGV die Halbleiterwafer von der Prozessanlage zu der Stockereinheit.

Wenn die in der Prozessanlage verarbeiteten Halbleiterwafer von dem AGV zu einer weite ren Prozessanlage transportiert werden, werden das AGV und eine weitere Prozessanlage der Reihe nach aktiviert. Das heißt, nachdem das AGV aktiviert worden ist, wird die weitere Prozessanlage aktiviert. Folglich wird, wenn das AGV und eine weitere Prozessanlage nacheinander aktiviert werden, viel Zeit benötigt, um die Halbleiterwafer von der Prozess anlage zu einer weiteren Prozessanlage mittels des AGV zu transportieren.

In ähnlicher Weise werden, wenn die in die Stockereinheit geladenen Halbleiterwafer durch das AGV zu der Prozessanlage transportiert werden, das AGV und die Prozessanlage nacheinander aktiviert. Das heißt, nachdem das AGV aktiviert worden ist, wird die Prozess anlage aktiviert. Folglich wird, wenn das AGV und die Prozessanlage nacheinander aktiviert werden, viel Zeit benötigt, um die Halbleiterwafer von der Stockereinheit zu der Prozess anlage mittels des AGV zu transportieren.

In ähnlicher Weise werden, wenn die in der Prozessanlage verarbeiteten Halbleiterwafer durch das AGV zu der Stockereinheit transportiert werden, das AGV und die Stockereinheit nacheinander aktiviert. Das heißt, nachdem das AGV aktiviert worden ist, wird die Stocke reinheit aktiviert. Folglich wird, wenn das AGV und die Stockereinheit nacheinander aktiviert werden, viel Zeit benötigt, um die Halbleiterwafer von der Prozessanlage zu der Stocke reinheit mittels des AGV zu transportieren.

Folglich entsteht das Problem, dass das herkömmliche Halbleiter-FA-System die zum Transport der Halbleiterwafer durch das AGV benötigte Zeit vergrößert.

Überblick über die Erfindung

Es ist daher eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Halbleiter-FA-System und ein Verfahren zum Transportieren von Halbleiterwafern bereitzustellen, die eine Zeitdauer zum Transportieren der Halbleiterwafer reduzieren kann.

Es ist daher eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein computerlesbares Medi um, das Programmanweisungen speichert, bereitzustellen, wobei die auf einem Computer angeordneten Programmanweisungen ein Verfahren zum Transportieren von Halbleiter wafern ausführen, das eine Zeitdauer zum Transport der Halbleiterwafer reduziert.

Gemäß einem Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Halbleiterfabrikautomatisierungs- (FA)-System bereitgestellt, mit: einer gemeinsamen Kommunikationsleitung; mehreren Pro zesseinrichtungen zum Prozessieren eines Loses von Halbleiterwafern, die in einer Halbleiterwaferkassette enthalten sind, wobei eine der Prozesseinrichtungen eine Kasset tentransportanforderung sendet, wenn die eine der Prozesseinrichtungen das Los der Halbleiterwafer prozessiert hat; einer mit der gemeinsamen Kommunikationsleitung gekop pelten Anweisungserzeugungseinrichtungen zum Erzeugen einer Transportanweisung in Reaktion auf die Kassettentransportanforderung; einer mit der gemeinsamen Kommunikati onsleitung gekoppelten Transportkontrolleinrichtung zum Steuern eines Halbleiterwaferkas settentransportes in Reaktion auf die Transportanweisung; mehreren Transporteinrichtun gen zum Transportieren der Halbleiterwaferkassette, wobei die Transporteinrichtungen von der Transportkontrolleinrichtung gesteuert werden; und mehreren mit der Transportkontroll einrichtung gekoppelten Stockereinrichtungen zum Beladen der Halbleiterwaferkassette, wobei die Transportkontrolleinrichtung gleichzeitig eine der Transporteinrichtungen und ei ne der Stockereinrichtungen durch gleichzeitiges Aussenden der Transportanweisung zu der einen der Transporteinrichtungen und zu der einen der Stockereinrichtungen aktiviert, wenn die Halbleiterwaferkassette von der einen der Prozesseinrichtungen zu der einen der Stockereinrichtungen durch die eine der Transporteinrichtungen transportiert wird.

Gemäß einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein Verfahren zum Trans portieren von Halbleiterwafern in einen Halbleiterfabrikautomatisierungssystem bereitge stellt, mit den Schritten: a) Prozessieren eines Loses von Halbleiterwafern, die in einer Halbleiterwaferkassette in einer Prozessanlage enthalten sind; b) Senden einer Kassetten transportanforderung von der Prozessanlage zu einem Zellenmanagementserver, wenn die Prozessanlage das Los von Halbleiterwafern prozessiert hat; c) Erzeugen einer Transport anweisung in Reaktion auf die Kassettentransportanforderung; und d) wenn die Halbleiter waferkassette von der Prozessanlage zu einer Stockereinheit durch ein automatisches ge führtes Fahrzeug (AGV) transportiert wird, gleichzeitiges Aktivieren des AGV und der Sto ckereinheit durch gleichzeitiges Aussenden der Transportanweisung zu dem AGV und der Stockereinheit.

Gemäß einem weiteren Aspekt der vorliegenden Erfindung wird ein computerlesbares Me dium mit gespeicherten Programminstruktionen bereitgestellt, wobei die auf einem Com puter angeordneten Programminstruktionen ein Verfahren zum Transportieren von Halblei terwafern in einem Halbleiterfabrikautomatisierungssystem ausführen, mit den Schritten: a) Prozessieren eines Loses von Halbleiterwafern, die in einer Halbleiterwaferkassette ent halten sind, in einer Prozessanlage; b) Senden einer Kassettentransportanforderung von der Prozessanlage zu einem Zellenmanagementserver, wenn die Prozessanlage das Los von Halbleiterwafern prozessiert hat; c) Erzeugen einer Transportanweisung in Reaktion auf die Kassettentransportanforderung; und d) wenn die Halbleiterwaferkassette von der Prozessanlage zu einer Stockereinheit durch ein automatisches geführtes Fahrzeug (AGV) transportiert wird, gleichzeitiges Aktivieren des AGV und der Stockereinheit durch gleich zeitiges Aussenden der Transportanweisung zu dem AGV und der Stockereinheit.

Kurze Beschreibung der Zeichnungen

Die obigen und weiteren Aufgaben und Merkmale der vorliegenden Erfindung werden aus der folgenden Beschreibung der bevorzugten Ausführungsformen in Verbindung mit den begleitenden Zeichnungen ersichtlich; es zeigen:

Fig. 1A ein Blockdiagramm, das ein Halbleiterfabrikautomatisierungs-(FA)-System gemäß der vorliegenden Erfindung darstellt;

Fig. 1B ein Blockdiagramm, das einen in Fig. 1A dargestellten Transportkontrollbe reich zeigt;

Fig. 2 einen Bedienerschnittstellenbildschirm, der von einem Bedienerschnittstel lenserver (OIS), in Fig. 1A gezeigt, bereitgestellt wird;

Fig. 3 einen weiteren Bedienerschnittstellenbildschirm, der von einem in Fig. 1A gezeigten Bedienerschnittstellenserver (OIS) bereitgestellt wird;

Fig. 4 ein Flussdiagramm, das ein Verfahren zum Transportieren einer Halbleiter waferkassette gemäß der vorliegenden Erfindung zeigt;

Fig. 5 bis 16 Flussdiagramme, die eine Prozedur zum Transportieren einer Halbleiterwa ferkassette von einer EQ (Prozessanlage) zu einer weiteren EQ, die in Fig. 4 gezeigt sind, darstellen;

Fig. 17 bis 20 Flussdiagramme, die eine Prozedur des Transports einer Halbleiterwafer kassette von einer EQ zu einer in Fig. 4 gezeigten Stockereinheit darstellt; und

Fig. 21 und 26 Flussdiagramme, die eine Prozedur des Transports einer Halbleiterwafer kassette von einer Stockereinheit zu einer in Fig. 4 gezeigten EQ darstellen.

Detaillierte Beschreibung der Erfindung

In Fig. 1A ist ein Blockdiagramm gezeigt, das ein Halbleiterfabrikautomatisierungs-(FA)- System gemäß der vorliegenden Erfindung darstellt. Wie gezeigt ist, umfasst das Halblei terfabrik-FA-System mindestens eine Zelle, die eine vorbestimmte Anzahl, beispielsweise 4, an Halbleiterproduktionsbuchten aufweist. Eine Halbleiterproduktionsbucht 160 oder 162. Die Halbleiterbearbeitungsbuch 160 ist mit Prozessanlagen (EQs) 136 und 138, Stockerein heiten 124 und 126 und einem automatischen geführten Fahrzeug (AGV) 132 ausgestattet. Die Halbleiterproduktionsbucht 162 ist mit EQs 150 und 152, Stockereinheiten 140 und 142 und einem AGV 148 ausgestattet. Die EQs 136, 138, 150 oder 152 bearbeiten Halbleiter wafer, um Halbleiterbauelemente zu erhalten. Die Prozessanlage umfasst beispielsweise eine Ätzanlage, eine Fotolithographieanlage und dergleichen. Die Stockereinheit 124, 126, 140 oder 142 nimmt vorübergehend eine Anzahl von Halbleiterwaferkassetten auf. Jede der Halbleiterwaferkassetten besitzt eine vorbestimmte Anzahl an Halbleiterwafern, die als ein Los bezeichnet wird. Die Halbleiterwaferkassetten werden selektiv zu einer Prozessanlage (EQ) unter Verwendung des AGV 132 oder 148 transportiert. Die in der Stockereinheit 124 aufbewahrte Halbleiterwaferkassette wird zu einer weiteren Halbleiterproduktionsbucht 162 transportiert. Ein Anlagenserver (EQS) 134, 138 oder 156 ist mit einer gemeinsamen Kom munikationsleitung 170, beispielsweise ein von Xerox Corporation geliefertes Ethernet, ge koppelt. AGV-Kontroller (AGVCs) 128 und 130 steuern jeweils das AGV 132. AGVCs 144 und 146 steuern jeweils das AGV 148.

Das Halbleiter-FA-System umfasst ferner einen Zellenmanagementbereich 100, eine Echt zeitdatenbank 108, die mit dem Zellenmanagementbereich 100 verbunden ist, eine Zwi schenspeichereinheit 110, einen Historienmanagementbereich 112, der mit der Zwischen speichereinheit 100 verbunden ist, und eine Historiendatenbank 114, die mit dem Histo rienmanagementbereich 112 verbunden ist. Der Zellenmanagementbereich 100, der Histo rienmanagementbereich 112 und die Historiendatenbank 114 sind jeweils mit der gemein samen Kommunikationsleitung 170 zur Kommunikation untereinander verbunden.

Der Zellenmanagementbereich 100 umfasst einen Zellenmanagementserver (CMS) 104, einen Bedienerschnittstellenserver (OIS) 106 und einen Datensammelserver (DGS) 102. Der DGS 102 speichert mit dem Los verknüpfte Prozessdaten in der Echtzeitdatenbank 108.

Die EQ 136 sendet eine Kassettentransportanforderung, wenn die EQ 136 das Los von Halbleiterwafern prozessiert hat. Der CMS 104 erzeugt eine Transportanweisung in Reakti on auf die Kassettentransportanforderung. Wenn die Halbleiterwaferkassette von der EQ 136 zu der Stockereinheit 124 oder 126 durch das AGV 132 transportiert wird, aktiviert ein Transportkontrollbereich 166 gleichzeitig das AGV 132 und die Stockereinheit 124 oder 126 durch gleichzeitiges Aussenden der Transportanweisung zu dem AGV 132 und der Stocke reinheit 124 oder 126.

Ferner sendet die Stockereinheit 124 oder 126 die Kassettentransportanforderung zu dem AGV 132. Wenn die Halbleiterwaferkassette von der Stockereinheit 124 oder 126 zu der EQ 136 durch das AGV 132 transportiert wird, aktiviert ferner der Transportkontrollbereich 166 gleichzeitig das AGV 132 und die EQ 136 durch gleichzeitiges Aussenden der Trans portanweisung an das AGV 132 und die EQ 136.

Wenn ferner die Halbleiterwaferkassette von der EQ 136 zu der EQ 138 mittels des AGV 132 transportiert wird, aktiviert der Transportkontrollbereich 116 gleichzeitig das AGV 132 und die EQ 128 durch gleichzeitiges Aussenden der Transportanweisung an das AGV 132 und die EQ 138. Die EQs 136 und 138 sind miteinander in der gleichen Halbleiterbearbei tungsbuch 160 angeordnet.

Ein Fahrzeug 118 transportiert die Halbleiterwaferkassette zwischen den Halbleiterproduk tionsbuchten 160 und 162. Wenn ferner noch die Halbleiterwaferkassette von der EQ 136 zu der EQ 150 transportiert wird, aktiviert der Transportkontrollbereich 116 gleichzeitig die AGVs 132 und 148, die EQ 150 und das Fahrzeug 118 durch gleichzeitiges Aussenden der Transportanweisung zu den AGVs 132 und 148, der EQ 150 und dem Fahrzeug 118. Die EQs 136 und 150 sind in unterschiedlichen Halbleiterproduktionsbuchten angeordnet. Die EQ 136 und das AGV 132 sind in einer gleichen Halbleiterproduktionsbucht 160 angeord net. Die EQ 150 und das AGV 148 sind in einer gleichen Halbleiterbearbeitungsbuch 162 angeordnet.

In Fig. 1B ist ein Blockdiagramm gezeigt, das einen in Fig. 1A gezeigten Transportkontroll bereich darstellt. Wie gezeigt ist, umfasst der Transportkontrollbereich 116 buchteninterne, an die gemeinsame Kommunikationsleitung 170 gekoppelte Kontrollserver 138 und 186, ei ne an die gemeinsame Kommunikationsleitung 170 gekoppelten Kontrollserver 192, SCSs 182 und 188, AGV-Kontrollserver 184 und 190, einen Fahrzeugkontrollserver 194. Die buchteninternen Kontrollserver 180 und 186 und der Zwischenbuchtenkontrollserver 192 wandelt jeweils die Transportnachricht in die Transportanweisung um. Die SCSs 182 und 188 erzeugen ein Stockerkontrollsignal, um die Stockereinheiten 124, 126, 140 und 142 in Reaktion auf die Transportanweisung zu steuern. Der Fahrzeugkontrollserver 194 erzeugt ein Fahrzeugkontrollsignal in Reaktion auf die Transportanweisung. Der AGV-Kontrollserver 184 sendet die Transportanweisung zu dem AGVC 128 oder 130. Der AGVC 138 oder 130 erzeugt ein AGV-Kontrollsignal, um ein AGV in Reaktion auf die Transportanweisung zu steuern.

In Fig. 2 ist ein Bedienerschnittstellenbildschirm dargestellt, der von einem in Fig. 1A ge zeigten Bedienerschnittstellenserver (OIS) bereitgestellt wird. Wie gezeigt ist, umfasst der Bedienerschnittstellenbildschirm mehrere Anzeigebereiche. Ein Anzeigebereich 200 zeigt eine Positionsinformation der EQs und AGVs an. Die Anzeigebereiche 202 und 204 zeigen eine Fehlerinformation der AGV als Farbe an. Ein Anzeigebereich 206 zeigt eine Identifika tionsinformation eines ausgewählten AGV an. Ein Anzeigebereich 208 zeigt eine Zu standsinformation des ausgewählten AGV an. Ein Anzeigebereich 210 zeigt eine Identifika tion von Halbleiterwaferkassetten an, die von dem ausgewählten AGV transportiert werden. Ein Anzeigebereich 212 zeigt eine Identifikationsinformation einer Halbleiterproduktions bucht an, die dem ausgewählten AGV entspricht. Ein Anzeigebereich 214 zeigt die Anzahl der inaktiven AGVs, die in der Halbleiterproduktionsbucht enthalten sind, an. Ein Anzeige bereich 216 zeigt die in der Halbleiterproduktionsbucht aktivierten AGVs an. Ein Anzeigebe reich 218 zeigt die Anzahl der fehlerhaften AGVs an. Ein Anzeigebereich 211 zeigt eine Startinformation der Halbleiterwaferkassette, eine Zielinformation der Halbleiterwaferkas sette, eine Identifikationsinformation der Halbleiterwaferkassette und eine Momentanpositi onsinformation der Halbleiterwaferkassette, die in dem ausgewählten AGV enthalten ist, an.

In Fig. 3 ist ein weiterer Bedienerschnittstellenbildschirm dargestellt, der von einem in Fig. 1A gezeigten Bedienerschnittstellenserver (OIS) bereitgestellt wird. Wie gezeigt, zeigt ein Anzeigebereich 300 Stockereinheiten 304, Halbleiterproduktionsbuchten 202, Halbleiter waferkassetteninformation 308 und ein Fahrzeug 306 an. Der Anzeigebereich 300 stellt Momentanpositionsinformationen des Fahrzeugs 306 bereit. Der Anzeigebereich 310 zeigt eine Verzeichnisinformation der in dem Fahrzeug 306 enthaltenen Halbleiterwaferkassette an. Anzeigebereiche 312, 314, 316 und 318 zeigen die Anzahl der Stockereinheiten, die Anzahl der inaktivierten Stockereinheiten, die Anzahl der aktivierten Stockereinheiten und die Anzahl der fehlerhaften Stockereinheiten an.

In Fig. 4 ist ein Flussdiagramm gezeigt, das ein Verfahren zum Transportieren einer Halbleiterwaferkassette gemäß der vorliegenden Erfindung darstellt.

Im Schritt S402 empfängt ein CMS eine Kassettentransportanforderung über das Ethernet aus einer ersten EQ oder einer ersten Stockereinheit.

Im Schritt S404 überprüft der CMS ein Prozessverzeichnis einer Halbleiterwaferkassette in einer Echtzeitdatenbank.

Im Schritt S406 erzeugt der CMS eine Kassettentransportvorbereitungsanweisung.

Im Schritt S408 wird bestimmt, ob eine Art der Kassettentransportvorbereitungsanweisung mit dem Transport der Halbleiterwaferkassette von der ersten EQ zu einer zweiten EQ dem Transport der Halbleiterlaserkassette von der ersten EQ zu der ersten Stockereinheit oder dem Transport der Halbleiterwaferkassette von der ersten Stockereinheit zu der ersten EQ in Beziehung steht.

Im Schritt S410 wird, wenn die Art der Kassettentransportvorbereitungsanweisung mit dem Transport der Halbleiterwaferkassette von der ersten EQ zu der zweiten EQ in Beziehung steht, die Halbleiterwaferkassette von der ersten EQ zu der zweiten EQ transportiert.

Im Schritt S412 wird, wenn die Art der Kassettentransportvorbereitungsanweisung mit dem Transport der Halbleiterwaferkassette von der ersten EQ zu der ersten Stockereinheit in Beziehung steht, die Halbleiterwaferkassette von der ersten EQ zu der ersten Stockerein heit transportiert.

Im Schritt S414 wird, wenn die Art der Kassettentransportvorbereitungsanweisung mit dem Transport der Halbleiterwaferkassette von der ersten Stockereinheit zu der ersten EQ in Beziehung steht, die Halbleiterwaferkassette von der ersten Stockereinheit zu der ersten EQ transportiert.

In den Fig. 5 bis 16 sind Flussdiagramme gezeigt, die ein Verfahren zum Transportieren ei ner Halbleiterwaferkassette von der ersten EQ zu der zweiten EQ, die in Fig. 4 gezeigt ist, darstellen.

Gemäß Fig. 5 wandelt im Schritt S502 der CMS die Kassettentransportvorbereitungsanwei sung in eine Kassettentransportvorbereitungsnachricht um.

Im Schritt S504 sendet der CMS die Kassettentransportvorbereitungsnachricht über das Ethernet an einen mit der ersten EQ verbundenen EQS.

Im Schritt S506 wandelt der ersten EQS die Kassettentransportvorbereitungsnachricht in die Kassettentransportvorbereitungsanweisung um.

Im Schritt S508 erzeugt der erste EQS ein erstes EQ-Kontrollsignal entsprechend der Kas settentransportvorbereitungsanweisung.

Im Schritt S510 sendet der erste EQS das erste EQ-Kontrollsignal zu der ersten EQ, die die Kassettentransportanforderung zu dem CMS gesendet hat.

Im Schritt S512 legt die erste EQ in Reaktion auf das erste EQ-Kontrollsignal ein Los von Halbleiterwafern in der Halbleiterwaferkassette ab. Ein Glossar des Loses ist als eine vor bestimmte Anzahl von Halbleiterwafern definiert, die in der ersten EQ bearbeitet werden.

Im Schritt S514 informiert die erste EQ den ersten EQS darüber, dass die Halbleiterwafer kassette aus der ersten EQ entladen werden kann.

Gemäß Fig. 6 informiert im Schritt S516 der erste EQS den CMS darüber, dass die Halbleiterwaferkassette aus der ersten EQ entladen werden kann.

Im Schritt S518 erzeugt der CMS eine Kassettentransportausführungsanweisung.

Im Schritt S520 wandelt der CMS die Kassettentransportausführungsanweisung in eine Kassettentransportausführungsnachricht um.

Im Schritt S522 wird bestimmt, ob die erste EQ in der gleichen Halbleiterbearbeitungsbuch als die zweite EQ lokalisiert ist.

Im Schritt S524 sendet der CMS, wenn die erste EQ in der gleichen Halbleiterproduktions bucht als die zweite EQ lokalisiert ist, gleichzeitig die Kassettentransportausführungsnach richt an einen mit der zweiten EQ verbundenen EQS und einen ersten buchteninternen Kontrollserver, der in einem automatischen Kassettenhandhabungsbereich enthalten ist.

Im Schritt S526 empfangen der zweite EQS und der erste buchteninterne Kontrollserver gleichzeitig die Kassettentransportanweisungsnachricht von dem CMS.

Im Schritt S528 sendet der CMS, wenn die erste EQ nicht in der gleichen Halbleiterproduk tionsbucht wie die zweite EQ lokalisiert ist, gleichzeitig die Kassettentransportausführungs nachricht zu dem ersten buchteninternen Kontrollserver, den zweiten buchteninternen Kon trollserver und einen Zwischenbuchtkontrollserver, der in dem automatischen Kassetten handhabungsbereich enthalten ist, und den mit der zweiten EQ gekoppelten zweiten EQS.

Im Schritt S530 empfangen der erste buchteninterne Kontrollserver, der zweite buchtenin terne Kontrollserver, der Zwischenbuchtkontrollserver und der zweite EQS gleichzeitig die Kassettentransportausführungsnachricht von dem CMS.

In Fig. 7 ist ein Flussdiagramm gezeigt, das ein Verfahren zeigt, nachdem der zweite EQS die Kassettentransportausführungsnachricht von dem CMS im in Fig. 6 gezeigte Schritt S526 empfängt.

Im Schritt S702 wandelt der zweite EQS die Kassettentransportausführungsnachricht in die Kassettentransportausführungsanweisung um.

Im Schritt S704 erzeugt der zweite EQS ein zweites EQ-Kontrollsignal entsprechend der Kassettentransportausführungsanweisung.

Im Schritt S706 sendet der zweite EQS das zweite EQ-Kontrollsignal zu der zweiten EQ.

Im Schritt S708 wird die zweite EQ in Reaktion auf das zweite EQ-Kontrollsignal aktiviert.

In Fig. 8 ist ein Flussdiagramm gezeigt, das ein Verfahren darstellt, nachdem der erste buchteninterne Kontrollserver die Kassettentransportausführungsnachricht von dem CMS im in Fig. 6 gezeigten Schritt S526 empfängt.

Im Schritt S802 wandelt der erste buchteninterne Kontrollserver die Kassettentransport ausführungsnachricht in die Kassettentransportausführungsanweisung um.

Im Schritt S804 sendet der erste buchteninterne Kontrollserver die Kassettentransportaus führungsanweisung über einen ersten AGV-Kontrollserver zu einem ersten AGVC.

Im Schritt S806 erzeugt der erste AGVC ein erstes AGV-Kontrollsignal entsprechend der Kassettentransportausführungsanweisung.

Im Schritt S808 sendet der erste AGVC das erste AGV-Kontrollsignal zu einem ersten AG.

Im Schritt S810 entlädt das erste AGV die Halbleiterwaferkassette aus der ersten EQ in Reaktion auf das erste AGV-Kontrollsignal.

Im Schritt S812 lädt das erste AGV die Halbleiterwaferkassette in die zweite EQ.

Im Schritt S814 informiert das erste AGV dem ersten AGVC, dass die Halbleiterwaferkas sette von der ersten EQ zur zweiten EQ transportiert worden ist.

Im Schritt S816 informiert der erste AGVC den ersten buchteninternen Kontrollserver, dass die Halbleiterwaferkassette von der ersten EQ zu der zweiten EQ transportiert worden ist.

Im Schritt S818 informiert der erste buchteninterne Kontrollserver den CMS, das die Halbleiterwaferkassette von der ersten EQ zur zweiten EQ transportiert worden ist.

In den Fig. 9 und 11 sind Flussdiagramme gezeigt, die eine Prozedur darstellen, nachdem der erste buchteninterne Kontrollserver die Kassettentransportausführungsnachricht von dem CMS im in Fig. 6 gezeigten Schritt S530 empfangen hat.

Gemäß Fig. 9 wandelt im Schritt S902 der erste buchteninterne Kontrollserver die Kasset tentransportausführungsnachricht in die Kassettentransportausführungsanweisung um.

Im Schritt S904 sendet der erste buchteninterne Kontrollserver gleichzeitig die Kassetten transportausführungsanweisung zu einem ersten SCS und dem ersten AGVC- Kontrollserver.

Im Schritt S906 empfangen der erste SCS und der erste AGVC-Kontrollserver gleichzeitig die Kassettentransportausführungsanweisung und dem ersten buchteninternen Kontrollser ver.

In Fig. 10 ist ein Flussdiagramm gezeigt, das eine Prozedur darstellt, nachdem der erste SCS die Kassettentransportausführungsanweisung vom ersten buchteninternen Kontroll server im in Fig. 9 gezeigten Schritt S906 empfangen hat.

Im Schritt S1002 erzeugt der erste SCS ein erstes Stockerkontrollsignal entsprechend der Kassettentransportausführungsanweisung.

Im Schritt S1004 sendet der erste SCS das erste Stockerkontrollsignal zu der ersten Sto ckereinheit.

Im Schritt 1006 wird die erste Stockereinheit in Reaktion auf das erste Stockerkontrollsignal aktiviert.

In Fig. 11 ist ein Flussdiagramm gezeigt, das eine Prozedur darstellt, nachdem der erste AGV-Kontrollserver die Kassettentransportausführungsanweisung von dem ersten buch teninternen Kontrollserver im in Fig. 9 gezeigten Schritt S906 empfangen hat.

Im Schritt S1102 sendet der erste AGV-Kontrollserver die Kassettentransportausführungs anweisung zu dem ersten AGVC.

Im Schritt S1104 erzeugt der erste AGVC ein erstes AGV-Kontrollsignal entsprechend der Kassettentransportausführungsanweisung.

Im Schritt S1106 sendet der erste AGVC das erste AGV-Kontrollsignal mit dem ersten AGV.

Im Schritt S1108 entlädt das erste AGV die Halbleiterwaferkassette aus der ersten EQ.

Im Schritt S1110 lädt das erste AGV die Halbleiterwaferkassette in die erste Stockereinheit.

In Fig. 12 ist ein Flussdiagramm gezeigt, das eine Prozedur darstellt, nachdem der Zwi schenbuchtkontrollserver die Kassettentransportausführungsnachricht von dem CMS im in Fig. 6 gezeigten Schritt S530 empfangen hat.

Im Schritt S1202 wandelt der Zwischenbuchtkontrollserver die Kassettentransportausfüh rungsnachricht in die Kassettentransportausführungsanweisung um.

Im Schritt S1204 sendet der Zwischenbuchtkontrollserver die Kassettentransportausfüh rungsanweisung an einen Fahrzeugkontrollserver.

Im Schritt S1206 erzeugt der Fahrzeugkontrollserver ein Fahrzeugkontrollsignal.

Im Schritt S1208 entlädt ein Fahrzeug die Halbleiterwaferkassette aus der ersten Stocke reinheit.

Im Schritt S1210 lädt das Fahrzeug die Halbleiterwaferkassette in eine zweite Stockerein heit.

In den Fig. 13 und 15 sind Flussdiagramme gezeigt, die eine Prozedur darstellen, nachdem der zweite buchteninterne Kontrollserver die Kassettentransportausführungsnachricht von dem CMS aus dem in Fig. 6 gezeigten Schritt S530 empfangen hat.

Gemäß Fig. 13 wandelt im Schritt S1302 der zweite buchteninterne Kontrollserver die Kas settentransportausführungsnachricht in die Kassettentransportausführungsanweisung um.

Im Schritt S1304 sendet der zweite buchteninterne Kontrollserver gleichzeitig die Kasset tentransportausführungsanweisung zu einem zweiten SCS und einem zweiten AGVC- Kontrollserver.

Im Schritt S1306 empfangen der zweite SCS und der zweite AGVC-Kontrollserver gleich zeitig die Kassettentransportausführungsanweisung von dem zweiten buchteninternen Kontrollserver.

In Fig. 14 ist ein Flussdiagramm gezeigt, das eine Prozedur darstellt, nachdem der zweite SCS die Kassettentransportausführungsanweisung von dem zweiten buchteninternen Kon trollserver im in Fig. 13 gezeigten Schritt S1306 empfängt.

Im Schritt S1402 erzeugt der zweite SCS ein zweites Stockerkontrollsignal entsprechend der Kassettentransportausführungsanweisung.

Im Schritt S1404 sendet der zweite SCS das zweite Stockerkontrollsignal zu einer zweiten Stockereinheit.

Im Schritt S1406 wird die zweite Stockereinheit in Reaktion auf das zweite Stockerkontroll signal aktiviert.

In Fig. 15 ist ein Flussdiagramm gezeigt, das eine Prozedur darstellt, nachdem der zweite AGVC-Kontrollserver die Kassettentransportausführungsanweisung von dem zweiten buchteninternen Kontrollserver im in Fig. 13 gezeigten Schritt S1306 empfangen hat.

Im Schritt S1502 sendet der zweite AGVC-Kontrollserver die Kassettentransportausfüh rungsanweisung zu einem zweiten AGVC.

Im Schritt S1504 erzeugt der zweite AGVC ein zweites AGV-Kontrollsignal entsprechend der Kassettentransportausführungsanweisung.

Im Schritt S1506 sendet der zweite AGVC das zweite AGV-Kontrollsignal zu einem zweiten AGV.

Im Schritt S1508 entlädt das zweite AGV die Halbleiterwaferkassette aus der zweiten Sto ckereinheit in Reaktion auf das zweite AGV-Kontrollsignal.

Im Schritt S1510 lädt das zweite AGV die Halbleiterwaferkassette in die zweite EQ als Be stimmungsort der Halbleiterwaferkassette.

Im Schritt S1512 informiert das zweite AGV den zweiten AGVC, dass die Halbleiterwafer kassette von der ersten EQ zu der zweiten EQ transportiert worden ist.

Im Schritt S1514 informiert der zweite AGVC den zweiten buchteninternen Kontrollserver, dass die Halbleiterwaferkassette von der ersten EQ zur zweiten EQ transportiert worden ist.

Im Schritt S1516 informiert der zweite buchteninterne Kontrollserver dem CMS, dass die Halbleiterwaferkassette von der ersten EQ zu der zweiten EQ transportiert worden ist.

In Fig. 16 ist ein Flussdiagramm gezeigt, das eine Prozedur darstellt, nachdem der zweite EQS die Kassettentransportausführungsnachricht von dem CMS im in Fig. 6 gezeigten Schritt S530 empfangen hat.

Im Schritt S1602 wandelt der zweite EQS die Kassettentransportausführungsnachricht in die Kassettentransportausführungsanweisung um.

Im Schritt S1604 erzeugt der zweite EQS ein zweites EQ-Kontrollsignal entsprechend der Kassettentransportausführungsanweisung.

Im Schritt S1606 sendet der zweite EQS das zweite EQ-Kontrollsignal zu der zweiten EQ.

Im Schritt S1608 wird die zweite EQ in Reaktion auf die zweite EQ-Kontrollsignal aktiviert.

In den Fig. 17 bis 20 sind Flussdiagramme gezeigt, die ein Verfahren zum Transportieren einer Halbleiterwaferkassette von der ersten EQ zu der in Fig. 4 gezeigten ersten Stocke reinheit darstellen.

Gemäß Fig. 17 wandelt im Schritt S1702 der CMS die Kassettentransportvorbereitungsan weisung in die Kassettentransportvorbereitungsnachricht um.

Im Schritt S1704 sendet der CMS die Kassettentransportausführungsnachricht über das Ethernet zu dem mit der ersten EQ gekoppelten EQS.

Im Schritt S1706 wandelt der erste EQS die Kassettentransportausführungsnachricht in die Kassettentransportausführungsanweisung um.

Im Schritt S1708 erzeugt der erste EQS ein erstes EQ-Kontrollsignal entsprechend der Kassettentransportvorbereitungsnachricht.

Im Schritt S1710 sendet der erste EQS das erste EQ-Kontrollsignal zu der ersten EQ, die die Kassettentransportanforderung zu dem CMS gesendet hat.

Im Schritt S1712 fegt die erste EQ ein Los von Halbleiterwafern in der Halbleiterwaferkas sette in Reaktion auf das erste EQ-Kontrollsignal ab.

Gemäß Fig. 18 informiert im Schritt S1714 die erste EQ den ersten EQS, dass die Halblei terwaferkassette aus der ersten EQ entladen werden kann.

Im Schritt S1716 informiert der erste EQS den CMS, dass die Halbleiterwaferkassette aus der ersten EQ entladen werden kann.

Im Schritt S1718 erzeugt der CMS eine Kassettentransportausführungsanweisung.

Im Schritt S1720 wandelt der CMS die Kassettentransportausführungsanweisung in eine Kassettentransportausführungsnachricht um.

Im Schritt S1722 sendet der CMS die Kassettentransportausführungsnachricht zu dem ersten buchteninternen Kontrollserver.

Im Schritt S1724 wandelt der erste buchteninterne Kontrollserver die Kassettentransport ausführungsnachricht in die Kassettentransportausführungsanweisung um.

Im Schritt S1726 sendet der erste buchteninterne Kontrollserver gleichzeitig die Kassetten transportausführungsanweisung zu dem erste SCS und dem ersten AGV-Kontrollserver.

Im Schritt S1728 empfangen der erste SCS und der erste AGV-Kontrollserver gleichzeitig die Kassettentransportausführungsanweisung von dem ersten buchteninternen Kontrollser ver.

In Fig. 19 ist ein Flussdiagramm gezeigt, das eine Prozedur darstellt, nachdem der erste SCS die Kassettentransportausführungsanweisung von dem ersten buchteninternen Kon trollserver im in Fig. 18 gezeigten Schritt S1728 empfangen hat.

Im Schritt S1902 erzeugt der erste SCS das erste Stockerkontrollsignal entsprechend der Kassettentransportausführungsanweisung.

Im Schritt S1904 sendet der erste SCS das erste Stockerkontrollsignal zu der ersten Sto ckereinheit.

Im Schritt S1906 wird der erste Stocker in Reaktion auf das erste Stockerkontrollsignal akti viert.

In Fig. 20 ist ein Flussdiagramm gezeigt, das eine Prozedur darstellt, nachdem der erste AGV-Kontrollerserver die Kassettentransportausführungsanweisung von dem ersten buch teninternen Kontrollserver im in Fig. 18 gezeigten Schritt S1728 empfangen hat.

Im Schritt S2002 sendet der erste AGV-Kontrollserver die Kassettentransportausführungs anweisung zu dem ersten AGVC.

Im Schritt S2004 erzeugt der erste AGVC das erste AGV-Kontrollsignal entsprechend der Kassettentransportausführungsanweisung.

Im Schritt S2006 sendet der erste AGVC das erste AGV-Kontrollsignal zu dem ersten AGV.

Im Schritt S2008 entlädt das erste AGV die Halbleiterwaferkassette aus der erste EQ.

Im Schritt S2010 lädt das erste AGV die Halbleiterwaferkassette in die erste Stockereinheit.

Im Schritt S2012 informiert das erste AGV den ersten AGVC, dass die Halbleiterwaferkas sette von der ersten EQ zu der ersten Stockereinheit transportiert worden ist.

Im Schritt S2014 informiert das erste AGVC den ersten buchteninternen Kontrollserver, dass die Halbleiterwaferkassette von der ersten EQ zu der ersten Stockereinheit transpor tiert worden ist.

Im Schritt S2016 informiert der erste buchteninterne Kontrollserver den CMS, dass die Halbleiterwaferkassette von der ersten EQ zu der ersten Stockereinheit transportiert wor den ist.

In den Fig. 21 bis 26 sind Flussdiagramme gezeigt, die ein Verfahren zum Transportieren einer Halbleiterwaferkassette von der ersten Stockereinheit zu der ersten EQ, die in Fig. 4 gezeigt ist, darstellen.

Gemäß Fig. 21 wandelt im Schritt S2102 der CMS die Kassettentransportausführungsan weisung in die Kassettentransportausführungsnachricht um.

Im Schritt S2104 sendet der CMS die Kassettentransportausführungsnachricht über das Ethernet zu dem ersten buchteninternen Kontrollserver.

Im Schritt S2106 wandelt der erste buchteninterne Kontrollserver die Kassettentransport vorbereitungsnachricht in die Kassettentransportausführungsanweisung um.

Im Schritt S2108 sendet der erste buchteninterne Kontrollserver die Kassettentransport ausführungsanweisung zu dem ersten SCS.

Im Schritt S2110 erzeugt der erste SCS das erste Stockerkontrollsignal entsprechend der Kassettentransportausführungsanweisung.

Im Schritt S2112 wird die erste Stockereinheit in Reaktion auf das erste Stockerkontroll signal aktiviert.

Gemäß Fig. 22 informiert im Schritt S2114 die erste Stockereinheit den ersten SCS, dass die erste Stockereinheit aktiviert worden ist.

Im Schritt S2116 informiert der erste SCS dem CMS, dass die erste Stockereinheit aktiviert worden ist.

Im Schritt S2118 erzeugt der CMS eine Kassettentransportausführungsanweisung.

Im Schritt S2120 wandelt der CMS die Kassettentransportausführungsanweisung in eine Kassettentransportausführungsnachricht um.

Im Schritt S2122 sendet der CMS gleichzeitig die Kassettentransportausführungsnachricht zu dem ersten buchteninternen Kontrollserver und dem ersten EQS.

Im Schritt S2124 empfangen der erste buchteninterne Kontrollserver und der erste EQS gleichzeitig die Kassettentransportausführungsnachricht von dem CMS.

In Fig. 23 ist ein Flussdiagramm gezeigt, das eine Prozedur darstellt, nachdem der erste EQS die Kassettentransportausführungsanweisung von dem CMS im in Fig. 22 gezeigten Schritt S2134 empfangen hat.

Im Schritt S2302 wandelt der erste EQS die Kassettentransportausführungsnachricht in die Kassettentransportausführungsanweisung um.

Im Schritt S2304 erzeugt der erste EQS ein erstes EQ-Kontrollsignal entsprechend der Kassettentransportausführungsanweisung.

Im Schritt S2306 sendet der erste EQS das erste EQ-Kontrollsignal zu der ersten EQ.

Im Schritt S2308 wird die erste EQ in Reaktion auf das erste EQ-Kontrollsignal aktiviert.

In Fig. 24 ist ein Flussdiagramm gezeigt, das eine Prozedur darstellt, nachdem der erste buchteninterne Kontrollserver die Kassettentransportausführungsanweisung von dem CMS im in Fig. 22 gezeigten Schritt S2134 empfangen hat.

Im Schritt S2402 wandelt der erste buchteninterne Kontrollserver die Kassettentransport ausführungsnachricht in die Kassettentransportausführungsanweisung um.

Im Schritt S2404 sendet der erste buchteninterne Kontrollserver gleichzeitig die Kassetten transportausführungsanweisung zu dem ersten SCS und dem ersten AGV-Kontrollserver.

Im Schritt S2406 empfangen der erste SCS und der erste AGV-Kontrollserver gleichzeitig die Kassettentransportausführungsanweisung von dem ersten buchteninternen Kontrollser ver.

In Fig. 25 ist ein Flussdiagramm gezeigt, das eine Prozedur darstellt, nachdem der erste SCS die Kassettentransportausführungsanweisung von dem ersten buchteninternen Kon trollserver im in Fig. 24 gezeigten Schritt S2406 empfangen hat.

Im Schritt S2502 erzeugt der erste SCS das erste Stockerkontrollsignal entsprechend der Kassettentransportausführungsanweisung.

Im Schritt S2504 sendet der erste SCS das erste Stockerkontrollsignal zu der ersten Sto ckereinheit.

Im Schritt S2506 wird die erste Stockereinheit in Reaktion auf das erste Stockerkontroll signal aktiviert.

In Fig. 26 ist ein Flussdiagramm gezeigt, das eine Prozedur darstellt, nachdem der erste AGV-Kontrollserver die Kassettentransportausführungsanweisung von dem ersten buch teninternen Kontrollserver aus dem in Fig. 24 gezeigten Schritt S2406 empfangen hat.

Im Schritt S2602 sendet der erste AGV-Kontroller die Kassettentransportausführungsan weisung zu dem ersten AGVC.

Im Schritt S2604 erzeugt der erste AGVC das erste AGV-Kontrollsignal entsprechend der Kassettentransportausführungsanweisung.

Im Schritt S2606 sendet der erste AGVC das erste AGV-Kontrollsignal zu dem ersten AGV.

Im Schritt S2608 entlädt das erste AGV die Halbleiterwaferkassette aus der ersten Stocke reinheit.

Im Schritt S2610 lädt das erste AGV die Halbleiterwaferkassette in die erste EQ.

Im Schritt S2612 informiert das erste AGV den ersten AGVC, dass die Halbleiterwaferkas sette von der ersten Stockereinheit zu der ersten EQ transportiert worden ist.

Im Schritt S2614 informiert der erste AGVC den ersten buchteninternen Kontrollserver, dass die Halbleiterwaferkassette von der ersten Stockereinheit zu der ersten EQ transpor tiert worden ist.

Im Schritt S2616 informiert der erste buchteninterne Kontrollserver dem CMS, dass die Halbleiterwaferkassette von der ersten Stockereinheit zu der ersten EQ transportiert wor den ist.

Ein computerlesbares Medium, wie etwa eine optische Scheibe oder Festplatte, können auf einem Computer angeordnete Programmanweisungen speichern, um das Verfahren zum Transportieren einer Halbleiterwaferkassette gemäß der vorliegenden Erfindung auszufüh ren.

Obwohl die bevorzugten Ausführungsformen der Erfindung zu illustrativen Zwecken offen bart wurden, erkennt der Fachmann auf diesem Gebiet, dass diverse Modifikationen, Hin zufügungen und Substitutionen möglich sind, ohne vom Schutzbereich und Grundgedanken der Erfindung, wie sie in den begleitenden Patentansprüchen offenbart ist, abzuweichen.

Claims

1. Halbleiterfabrikautomatisierungs-(FA)-System mit:
einer gemeinsamen Kommunikationsleitung;
mehreren Prozesseinrichtungen zum Prozessieren eines Loses von Halbleiterwa fern, die in einer Halbleiterwaferkassette enthalten sind, wobei eine der Prozessein richtungen eine Kassettentransportanforderung aussendet, wenn die eine der Pro zesseinrichtungen das Los aus Halbleiterwafern prozessiert hat;
einer Anweisungserzeugungseinrichtung, die an die gemeinsame Kommunikations leitung gekoppelt ist, zum Erzeugen einer Transportanweisung in Reaktion auf die Kassettentransportanforderung;
einer Transportkontrolleinrichtung, die an die gemeinsame Kommunikationsleitung gekoppelt ist, zum Steuern eines Halbleiterwaferkassettentransportes in Reaktion auf die Transportanweisung;
mehreren Transporteinrichtungen zum Transportieren der Halbleiterwaferkassette, wobei die Transporteinrichtungen von der Transportkontrolleinrichtung gesteuert sind; und
mehreren Stockereinrichtungen, die an die Transportkontrolleinrichtung gekoppelt sind, zum Be- und Entladen der Halbleiterwaferkassette,
wobei die Transportkontrolleinrichtung gleichzeitig eine der Transporteinrichtungen und eine der Stockereinrichtungen durch gleichzeitiges Aussenden der Transport anweisung zu der einen der Transporteinrichtung und zu der einen der Stockerein richtungen aktiviert, wenn die Halbleiterwaferkassette von der einen der Prozessein richtung zu der einen der Stockereinrichtung durch die eine der Transporteinrichtun gen transportiert wird.

2. Das Halbleiter-FA-System nach Anspruch 1, wobei die eine der Stockereinrichtun gen die Kassettentransportanforderung weiterhin zu der Transportkontrolleinrichtung sendet.

3. Das Halbleiter-FA-System nach Anspruch 2, wobei die Transportkontrolleinrichtung ferner die eine der Transporteinrichtungen und die eine der Prozesseinrichtungen durch gleichzeitiges Aussenden der Transportanweisung zu der einen der Trans porteinrichtungen und zu der einen der Prozesseinrichtungen gleichzeitig aktiviert, wenn die Halbleiterwaferkassette von der einen der Stockereinrichtungen zu der ei nen der Prozesseinrichtungen durch die eine der Transporteinrichtungen transpor tiert wird.

4. Das Halbleiter-FA-System nach Anspruch 1, wobei die Prozesseinrichtung, die Transporteinrichtung und die Stockereinrichtung in Halbleiterproduktionsbuchten an geordnet sind.

5. Das Halbleiter-FA-System nach Anspruch 4, wobei die Transportkontrolleinrichtung ferner die eine der Transporteinrichtungen und eine weitere Prozesseinrichtung durch gleichzeitiges Aussenden der Transportanweisung zu der einen der Trans porteinrichtungen und der weiteren Prozesseinrichtung gleichzeitig aktiviert, wenn die Halbleiterwaferkassette von der einen der Prozesseinrichtungen zu der weiteren Prozesseinrichtung durch die eine der Transporteinrichtungen transportiert wird, wobei die eine der Prozesseinrichtungen und die weitere Prozesseinrichtung in einer gleichen Halbleiterproduktionsbucht in Bezug zueinander angeordnet sind.

6. Das Halbleiter-FA-System nach Anspruch 4, weiterhin umfassend: eine zweite Transporteinrichtung zum Transportieren der Halbleiterwaferkassette zwischen den Halbleiterproduktionsbuchten.

7. Das Halbleiter-FA-System nach Anspruch 6, wobei die Transportkontrolleinrichtung ferner die eine der Transporteinrichtungen, eine weitere Transporteinrichtung, eine weitere Prozesseinrichtung und die zweite Transporteinrichtung durch gleichzeitiges Aussenden der Transportanweisung zu der einen der Transporteinrichtungen, der weiteren Transporteinrichtung, der weiteren Prozesseinrichtung und der zweiten Transporteinrichtung gleichzeitig aktiviert, wenn die Halbleiterwaferkassette von der einen der Prozesseinrichtungen zu der weiteren Prozesseinrichtung transportiert wird, wobei die eine der Prozesseinrichtungen und die weitere Prozesseinrichtung in un terschiedlichen Halbleiterproduktionsbuchten zueinander angeordnet sind; und wo bei die eine der Prozesseinrichtungen und die eine der Transporteinrichtungen in ei ner gleichen Halbleiterproduktionsbucht zueinander angeordnet sind; und wobei die weitere Prozesseinrichtung und die weitere Transporteinrichtung in einer gleichen Halbleiterproduktionsbucht zueinander angeordnet sind.

8. Das Halbleiter-FA-System nach Anspruch 7, wobei die Transportkontrolleinrichtung umfasst:
mehrere Stockerkontrolleinrichtungen zum Erzeugen eines Stockerkontrollsignals, um die Stockereinrichtungen in Reaktion auf die Transportanweisung zu steuern;
mehrere dritte Transporteinrichtungen zum Erzeugen eines ersten Transportkontroll signals, um die Transporteinrichtungen in Reaktion auf die Transportanweisung zu steuern; und
eine vierte Transporteinrichtung zum Erzeugen eines zweiten Transportkontrollsig nals, um die zweite Transporteinrichtung in Reaktion auf die Transportanweisung zu steuern.

9. Das Halbleiter-FA-System nach Anspruch 8, weiterhin umfassend: eine Bedienerschnittstelleneinrichtung zum Bereitstellen eines Bedienerschnittstel lenbildschirms.

10. Das Halbleiter-FA-System nach Anspruch 9, wobei der Bedienerschnittstellenbild schirm umfasst:
einen ersten Anzeigebereich zum Anzeigen von Informationen, der in einer Halblei terproduktionsbucht angeordneten Transporteinrichtung;
einen zweiten Anzeigebereich zum Anzeigen von Information der Halbleiterprodukti onsbucht;
einen dritten Anzeigebereich zum Anzeigen von Information der Halbleiterwaferkas sette, die in der in einer Halbleiterbucht positionierten Transporteinrichtung enthalten ist.

11. Das Halbleiter-FA-System nach Anspruch 10, wobei die Information über die Trans porteinrichtung eine Fehlerinformation über die Transporteinrichtung umfasst; und wobei der erste Anzeigebereich eine Farbe als die Fehlerinformation anzeigt.

12. Das Halbleiter-FA-System nach Anspruch 10, wobei die Information über die Halbleiterwaferkassette eine Startinformation der Halbleiterwaferkassette, eine Ziel ortsinformation der Halbleiterwaferkassette, eine Identifikationsinformation der Halbleiterwaferkassette und eine Momentanpositionsinformation der Halbleiterwa ferkassette umfasst.

13. Das Halbleiter-FA-System nach Anspruch 9, wobei der Bedienerschnittstellenbild schirm umfasst:
einen ersten Anzeigebereich zum Anzeigen einer Momentanpositionsinformation der zweiten Transporteinrichtung;
einen zweiten Anzeigebereich zum Anzeigen von Information der Halbleiterprodukti onsbucht; und
einen dritten Anzeigebereich zum Anzeigen von Information der in der zweiten Transporteinrichtung enthaltenen Halbleiterwaferkassette.

14. Das Halbleiter-FA-System nach Anspruch 1, wobei die gemeinsame Kommunikati onsleitung ein Ethernetkabel, das von der Xerox Corporation lieferbar ist, umfasst.

15. Verfahren zum Transportieren von Halbleiterwafern in einem Halbleiterfabrikauto matisierungssystem mit den Schritten:

a) Prozessieren eines Loses von Halbleiterwafern, die in einer Halbleiterwaferkas sette enthalten sind, in einer Prozessanlage;
b) Senden einer Kassettentransportanforderung von der Prozessanlage zu einem Zellenmanagementserver, wenn die Prozessanlage das Los der Halbleiterwafer pro zessiert hat;
c) Erzeugen einer Transportanweisung in Reaktion auf die Kassettentransportanfor derung; und
d) wenn die Halbleiterwaferkassette von der Prozessanlage zu einer Stockereinheit durch ein automatisches geführtes Fahrzeug (AGV) transportiert wird, gleichzeitiges Aktivieren des AGV und der Stockereinheit durch gleichzeitiges Aussenden der Transportanweisung zu dem AGV und der Stockereinheit.

16. Das Verfahren nach Anspruch 15, das weiterhin den Schritt umfasst:

a) Senden der Kassettentransportanforderung von der Stockereinheit zu dem Zel lenmanagementserver.

17. Das Verfahren nach Anspruch 16, das weiterhin den Schritt umfasst:

a) wenn die Halbleiterwaferkassette von der Stockereinheit zu der Prozessanlage durch das AGV transportiert wird, gleichzeitiges Aktivieren des AGV und der Pro zessanlage durch gleichzeitiges Aussenden der Transportanweisung zu dem AGV und der Prozessanlage.

18. Das Verfahren nach Anspruch 17, das weiterhin den Schritt umfasst:

a) wenn die Halbleiterwaferkassette von der Prozessanlage zu einer weiteren Pro zessanlage durch das AGV transportiert wird, gleichzeitiges Aktivieren des AGV und der weiteren Prozessanlage durch gleichzeitiges Aussenden der Transportanwei sung zu dem AGV und der weiteren Prozessanlage,

wobei die Prozessanlage und die weitere Prozessanlage in einer gleichen Halblei terproduktionsbucht zueinander angeordnet sind.

19. Das Verfahren nach Anspruch 18, das weiterhin den Schritt umfasst:

a) Transportieren der Halbleiterwaferkassette zwischen den Halbleiterproduktions buchten durch Verwendung eines Fahrzeuges.

20. Das Verfahren nach Anspruch 19, das weiterhin den Schritt umfasst:

a) wenn die Halbleiterwaferkassette von der Prozessanlage zu einer weiteren Pro zessanlage transportiert wird, gleichzeitiges Aktivieren des AGV, eines weiteren AGV, der weiteren Prozessanlage und des Fahrzeugs durch gleichzeitiges Aussen den der Transportanweisung zu dem AGV, dem weiteren AGV, der weiteren Pro zessanlage und der zweiten Transporteinrichtung,

wobei die Prozessanlage und die weitere Prozessanlage in unterschiedlichen Halb leiterproduktionsbuchten zueinander angeordnet sind; und wobei die Prozessanlage und das AGV in einer gleichen Halbleiterproduktionsbucht zueinander angeordnet sind; und wobei die weitere Prozessanlage und das weitere AGV in einer gleichen Halbleiterproduktionsbucht zueinander angeordnet sind.

21. Das Verfahren nach Anspruch 15, das weiterhin den Schritt umfasst:

a) Bereitstellen eines Bedienerschnittstellenbildschirms.

22. Das Verfahren nach Anspruch 21, wobei der Bedienerschnittstellenbildschirm um fasst:
einen ersten Anzeigebereich zum Anzeigen von Information über das in einer Halb leiterproduktionsbucht positionierte AGV;
einen zweiten Anzeigebereich zum Anzeigen von Information über die Halbleiterpro duktionsbucht; und
einen dritten Anzeigebereich zum Anzeigen von Information über die Halbleiterwa ferkassette, die in den in einer Halbleiterproduktionsbucht positionierten AGV ent halten ist.

23. Das Verfahren nach Anspruch 22, wobei die Information über das AGV eine Fehler information über das AGV umfasst; und wobei der erste Anzeigebereich eine Farbe als die Fehlerinformation anzeigt.

24. Das Verfahren nach Anspruch 23, wobei die Information über die Halbleiterwafer kassette eine Startinformation der Halbleiterwaferkassette, eine Bestimmungsinfor mation der Halbleiterwaferkassette, eine Identifikationsinformation der Halbleiterwa ferkassette und eine Momentanpositionsinformation der Halbleiterwaferkassette umfasst.

25. Das Verfahren nach Anspruch 21, wobei der Bedienerschnittstellenbildschirm um fasst:
einen ersten Anzeigebereich zum Anzeigen einer Momentanpositionsinformation des Fahrzeuges;
einen zweiten Anzeigegebereich zum Anzeigen von Informationen über die Halblei terproduktionsbucht; und
einen dritten Anzeigebereich zum Anzeigen von Information über die Halbleiterwa ferkassette, die in dem Fahrzeug enthalten ist.

26. Computerlesbares, Programmanweisungen speicherndes Medium, wobei die Pro grammanweisungen auf einem Computer angeordnet ein Verfahren zum Transpor tieren von Halbleiterwafern in einem Halbleiterfabrikautomatisierungssystem durch führen, mit den Schritten:

a) Verarbeiten eines Loses von Halbleiterwafern, die in einer Halbleiterwaferkassette enthalten sind, in einer Prozessanlage;
b) Senden einer Kassettentransportanforderung von der Prozessanlage zu einem Zellenmanagementserver, wenn die Prozessanlage das Los der Halbleiterwafer be arbeitet hat;
c) Erzeugen einer Transportanweisung in Reaktion auf die Kassettentransportanfor derung; und
d) wenn die Halbleiterwaferkassette von der Prozessanlage zu einer Stockereinheit durch automatisches Führungsfahrzeug (AGV) transportiert worden ist, gleichzeiti ges Aktivieren des AGV und der Stockereinheit durch gleichzeitiges Aussenden der Transportanweisung zu dem AGV und der Stockereinheit.