JP2011151484A

JP2011151484A - 光通信装置

Info

Publication number: JP2011151484A
Application number: JP2010009278A
Authority: JP
Inventors: Yoji Maejima; 洋治前嶋
Original assignee: Hokuyo Automatic Co Ltd
Current assignee: Hokuyo Automatic Co Ltd
Priority date: 2010-01-19
Filing date: 2010-01-19
Publication date: 2011-08-04

Abstract

【課題】双方の光データ伝送装置が共に送信待機モードに設定されるような誤った設定がなされた場合であっても、確実に送受信できる光通信装置を提供する。
【解決手段】送信信号をパルス状の光信号に変調して出力する送信部と、パルス状の光信号を受光して受信信号に復調する受信部とを備えた光データ伝送装置を固定設備及び移動設備に夫々設置し、固定設備と移動設備との間で半二重通信する光通信装置であって、各光データ伝送装置は、前記送信部から出力した光信号に対する応答が前記受信部で確認されない場合に、所定の再送時間間隔で前記送信部から光信号を出力する再送処理を繰り返す再送制御部を備え、一方の光データ伝送装置に備えた再送制御部は、他方の光データ伝送装置に備えた再送制御部による再送時間間隔Ｔ１よりも長い再送時間間隔Ｔ２で再送処理を繰り返すように設定されている。
【選択図】図６

Description

本発明は、送信信号をパルス状の光信号に変調して出力する送信部と、パルス状の光信号を受光して受信信号に復調する受信部とを備えた光データ伝送装置を固定設備及び移動設備に夫々設置し、固定設備と移動設備との間で半二重通信する光通信装置、及び、光通信装置に用いられる光データ伝送装置に関する。

半導体デバイスの製造設備では、各製造装置間で半導体ウェハを自動搬送するために、各製造装置に設けられたロードポート上に載置された複数枚の半導体ウェハが収容されたウェハキャリア装置を搬送する搬送台車が用いられている。

このような搬送台車と製造装置には光データ伝送装置が組み込まれ、光データ伝送装置を介して授受される制御情報に基づいて、搬送台車と製造装置間でウェハキャリア装置が移載される。つまり、各製造装置が固定設備となり、搬送台車が移動設備となる。

特許文献１に記載されているように、光データ伝送装置は、ビット情報が予め設定された二種類の周期と二種類のパルス数とを組み合わせたパルス信号列に変調されるとともに、任意のビット数で構成されビット間に所定幅のヌル期間が設定された十数ｍｓｅｃ．のフレームデータを、発光素子と受光素子を介して送受信するように構成されている。

光データ伝送装置は、自装置側の送信部から出力された光信号が迷光として自装置側の受信部に受信される誤受信を回避するために、自装置側の送信部から光信号が出力される間は自装置側の受信部で光信号の受信が禁止されているため、相手側の光データ伝送装置との間で全二重通信を行なえず、半二重通信するように構成されている。

当該光データ伝送装置は、相手側の光データ伝送装置からの光信号を受信部で受信すると、それに応答して送信部から相手側の光データ伝送装置に光信号を送信する受信待機モードと、相手側の光データ伝送装置からの光信号を受信部で受信する前に、自装置側の送信部から相手側の光データ伝送装置に光信号を送信する送信優先モードの何れかにモードを設定するモード設定部が設けられている。

送信優先モードに設定された光データ伝送装置は、外部から通信許可信号が入力されると、相手側の光データ伝送装置に対して送信部から光信号を出力し、相手側の光データ伝送装置が応答して出力した光信号を受信部で受信することにより、ハンドシェークが成立し、以後双方で半二重通信が行なわれる。

受信待機モードに設定された光データ伝送装置は、外部から通信許可信号が入力されると、相手側の光データ伝送装置から出力される光信号を受信部で受信するまで待機し、当該光信号を受信すると、これに応答して相手側の光データ伝送装置に対して送信部から光信号を出力することにより、ハンドシェークが成立し、以後双方で半二重通信が行なわれる。

また、各光データ伝送装置には、相手側の光データ伝送装置に対して送信部から光信号を出力し、相手側の光データ伝送装置が応答して出力した光信号を受信部で受信する迄の間は、所定の再送時間間隔で送信部から光信号を出力する再送処理を繰り返す再送制御部を備えている。そして、再送制御部は、光データ伝送装置が送信優先モードに設定された場合にのみ作動するように構成されている。

一対の光データ伝送装置で半二重通信する場合、一方の光データ伝送装置が送信優先モードに設定され、他方の光データ伝送装置が受信待機モードに設定される必要がある。

特許第４３７２８３０号

しかし、双方の光データ伝送装置が共に送信優先モードに設定されるような誤った設定がなされ、双方の光データ伝送装置に通信許可信号が入力され、ほぼ同時に送信がなされるような場合には、双方の再送制御部がほぼ同時に作動して、同じ再送時間間隔で同期して光信号が出力される状態になり、通信不良状態が継続するという問題があった。

このような場合に、数多くの固定設備及び移動設備に設置された数多くの光データ伝送装置の一方側の光データ伝送装置に対して、モード設定部によるモード設定を送信優先モードから受信待機モードに変更する必要があるが、非常に煩雑で時間を要する作業となっていた。

本発明の目的は、上述した従来の問題に鑑み、双方の光データ伝送装置が共に送信優先モードに設定されるような誤った設定がなされた場合であっても、確実に送受信できる光通信装置、及び、光データ伝送装置を提供する点にある。

この目的達成をするため、本発明による光通信装置の第一の特徴構成は、特許請求の範囲の書類の請求項１に記載した通り、送信信号をパルス状の光信号に変調して出力する送信部と、パルス状の光信号を受光して受信信号に復調する受信部とを備えた光データ伝送装置を固定設備及び移動設備に夫々設置し、固定設備と移動設備との間で半二重通信する光通信装置であって、各光データ伝送装置は、前記送信部から出力した光信号に対する応答が前記受信部で確認されない場合に、所定の再送時間間隔で前記送信部から光信号を出力する再送処理を繰り返す再送制御部を備え、一方の光データ伝送装置に備えた再送制御部は、他方の光データ伝送装置に備えた再送制御部による再送時間間隔よりも長い再送時間間隔で再送処理を繰り返すように設定されている点にある。

上述の構成によれば、固定設備と移動設備の双方に設置された光データ伝送装置の双方の再送制御部によって、各送信部から光信号が再送出力される場合であっても、一方の光データ伝送装置に備えた再送制御部が、他方の光データ伝送装置に備えた再送制御部による再送時間間隔よりも長い再送時間間隔で再送処理を繰り返すため、一方の光データ伝送装置の送信部から光信号が再送されるまでの間に、他方の光データ伝送装置の送信部から再送された光信号が一方の光データ伝送装置の受信部で受信される機会が確保できるようになり、確実にハンドシェークできるようになる。

同第二の特徴構成は、同請求項２に記載した通り、上述の第一特徴構成に加えて、一方の光データ伝送装置に備えた再送制御部は、再送回数が所定回数に達する迄の間、他方の光データ伝送装置に備えた再送制御部による再送時間間隔よりも長い再送時間間隔で再送処理を繰り返すように設定されている点にある。

少なくとも再送回数が所定回数に達する迄は、一方の光データ伝送装置の送信部から光信号が再送されるまでの間に、他方の光データ伝送装置の送信部から再送された光信号が一方の光データ伝送装置の受信部で受信される機会が確保できるようになり、確実にハンドシェークできるようになる。

同第三の特徴構成は、同請求項３に記載した通り、上述の第一特徴構成に加えて、一方の光データ伝送装置に備えた再送制御部は、他方の光データ伝送装置に備えた再送制御部による再送時間間隔と等しい再送時間間隔で所定回数再送処理を繰り返しても、前記送信部から出力した光信号に対する応答が前記受信部で確認されない場合に、他方の光データ伝送装置に備えた再送制御部による再送時間間隔よりも長い再送時間間隔で再送処理を繰り返すように設定されている点にある。

上述の構成によれば、一方の光データ伝送装置に備えた再送制御部が、他方の光データ伝送装置に備えた再送制御部による再送時間間隔と等しい再送時間間隔で所定回数再送処理を繰り返しても、送信部から出力した光信号に対する応答が受信部で確認されない場合に、双方が同期して光信号を再送していると推定し、その後、他方の光データ伝送装置に備えた再送制御部による再送時間間隔よりも長い再送時間間隔で再送処理を繰り返すことにより、他方の光データ伝送装置の送信部から再送された光信号が一方の光データ伝送装置の受信部で受信される機会が確保できるようになり、確実にハンドシェークできるようになる。

同第四の特徴構成は、同請求項４に記載した通り、上述の第一または第二特徴構成に加えて、前記一方の光データ伝送装置が移動設備に設置される光データ伝送装置である点にある。

通常、移動設備よりも固定設備の台数の方が圧倒的に多いため、移動設備に設置される光データ伝送装置の再送制御部が、他方の光データ伝送装置に備えた再送制御部による再送時間間隔よりも長い再送時間間隔で再送処理を繰り返すように変更する方が、作業効率が格段によい。

本発明による光データ伝送装置は、送信信号をパルス状の光信号に変調して出力する送信部と、パルス状の光信号を受光して受信信号に復調する受信部とを備え、移動設備に設置される光データ伝送装置であって、前記送信部から出力した光信号に対する他の光データ伝送装置からの応答が前記受信部で確認されない場合に、所定の再送時間間隔で前記送信部から光信号を出力する再送処理を繰り返す再送制御部を備え、前記再送制御部は、再送回数が所定回数に達する迄の間、再送回数が前記所定回数に達した後の再送時間間隔よりも長い再送時間間隔で再送処理を繰り返すように設定されている点にある。

以上説明したように、本発明によれば、双方の光データ伝送装置が共に送信優先モードに設定されるような誤った設定がなされた場合であっても、確実に送受信できる光通信装置、及び、光データ伝送装置を提供することができるようになった。

半導体デバイスの製造設備における製造装置，ウェハキャリア装置，搬送台車の概略斜視図光データ伝送装置の要部の回路図（ａ）は変調されたビット情報で構成されるフレームデータの説明図、（ｂ）は変調されたビット情報のパルス周期とパルス数の説明図半二重通信が確立するまでのシーケンスを示すタイムチャート半二重通信が確立できない通信不良状態を示すタイムチャート本発明による再送処理を示すタイムチャート

本発明による光通信装置及び光通信装置に組み込まれる光データ伝送装置の実施形態を説明する。

図１に示すように、半導体デバイスの製造設備では、半導体ウェハに順次所定の処理を施すための固定設備としての各種の製造装置１０（１０ａ，１０ｂ，１０ｃ，１０ｄ）が通路１３に沿って配設され、製造装置１０間で半導体ウェハ２１を自動搬送するために、製造装置１０に設けられたロードポート１１との間でウェハキャリア装置２０を受け渡し搬送する移動設備としての搬送台車３０が走行レール１２に沿って走行可能に設けられている。

搬送台車３０は、製造装置１０の上部空間に設置された走行レール１２に沿って自走する走行機構３２を備えた基台３１に、ウェハキャリア装置２０を掴持するためのチャック機構３６を備えた昇降体３５を所定の昇降経路に沿って昇降させる昇降機構３３が組み込まれている。

昇降機構３３は、昇降体３５と、昇降体３５の上面の所定の箇所に一端が固着された複数のベルト３４と、基台３１にベルト３４の夫々の他端が固着された巻取軸を回転駆動する昇降用モータを備え、昇降用モータの駆動によりベルト３４が巻き上げまたは繰り出され、昇降体３５が昇降可能に構成されている。

チャック機構３６は、ウェハキャリア装置２０の上面の被掴持部を掴持するための一対の爪３７を備え、昇降体３４内部に備えた掴持用ソレノイドまたはモータの駆動により、爪３７が掴持姿勢または開放姿勢となることでウェハキャリア装置２０を掴持又は開放するように構成されている。

このような搬送台車３０は、例えば、走行レール１２に組み込まれた通信インタフェースを介してホストコンピュータと通信可能なシステム通信部を備え、ホストコンピュータからの指示に基づいて、所定の製造装置１０に走行し、当該製造装置１０との間でウェハキャリア装置２０を授受するように構成されている。

また、搬送台車３０と各製造装置１０との間でウェハキャリア装置２０を授受するために、双方に光データ伝送装置１が組み込まれている。当該光データ伝送装置１は、ＳＥＭＩＥ８４−０２００Ａインタフェース規格等に基づき動作する。

搬送台車３０には、システム通信部を介してホストコンピュータからの指令に基づいて所定の製造装置１０に移動するために走行機構３２を制御し、光データ伝送装置１を介した製造装置１０との送受信データに基づいて昇降機構３３及びチャック機構３６等を制御する制御装置が搭載されている。

図２に示すように、光データ伝送装置１には、所定のフレームデータを、発光素子と受光素子を介して送受信するマイクロコンピュータ１ａ，１ｂが組み込まれている。

搬送台車３０側のマイクロコンピュータ１ａは、搬送台車３０側の制御装置３００との間でデータの送受信を行なう複数の入出力信号線３０１，３０２と、光データ伝送装置１による通信を許可する通信許可信号線３０３が接続されている。

製造装置１０側のマイクロコンピュータ１ｂは、製造装置１０側の制御装置１００との間でデータの送受信を行なう複数の入出力信号線１０１，１０２と、光データ伝送装置１による通信を許可する通信許可信号線１０３が接続されている。

搬送台車３０側のマイクロコンピュータ１ａと、製造装置１０側のマイクロコンピュータ１ｂには、それぞれ近赤外領域の波長で発光する発光ダイオード２ａ，２ｂと、発光ダイオード２ａ，２ｂから出力された信号光を受光するフォトダイオード３ａ，３ｂが接続されている。つまり、発光ダイオード２ａとフォトダイオード３ｂ、及び、発光ダイオード２ｂとフォトダイオード３ａの組合せにより、データの送受信が行なわれる。

フォトダイオード３ａ，３ｂにより検出された信号光は、二値化処理部であるコンパレータ４ａ、４ｂを介して二値化されてパルス信号に波形整形され、マイクロコンピュータ１ａ，１ｂの割込み信号ポートに入力されるように構成されている。

また、マイクロコンピュータ１ａ，１ｂの出力ポートにはスイッチング用のトランジスタのベース端子が接続され、出力ポートから出力されるパルス信号により発光ダイオード２ａ，２ｂが駆動されるように構成されている。

それぞれのマイクロコンピュータ１ａ，１ｂは、制御装置３００，１００から入力信号線３０１，１０１を介して入力された所定ビット数（例えば８ビット）の送信信号を送信用のフレームデータに変調して、発光ダイオード２ａ，２ｂを介して光信号を出力する送信部５と、フォトダイオード３ａ，３ｂを介して受信された光信号からフレームデータを再生し、所定ビット数の受信信号に復調して、出力信号線３０２，１０２を介して制御装置３００，１００に出力する受信部６を備えている。

図３（ａ）に示すように、送信部５で変調されるフレームデータは、フレームの先頭を示すスタートビットＳＴＡと、複数のデータビットＤと、データビットＤのパリティを示すパリティビットＰと、フレームの終了を示すストップビットＳＴＰで構成されている。

図３（ｂ）に示すように、０または１で表される各ビット情報は、７５μｓｅｃ．または１０５μｓｅｃ．の二種類のパルス周期と、１１パルスまたは６パルスの二種類のパルス数の組合せで定義されている。

スタートビットＳＴＡはパルス周期が７５μｓｅｃ．でパルス数が１１、ストップビットＳＴＰはパルス周期が１０５μｓｅｃ．でパルス数が１１、送信信号を構成する各データビットＤの０はパルス周期が７５μｓｅｃ．でパルス数が６、データビットＤの１はパルス周期が１０５μｓｅｃ．でパルス数が６、パリティビットＰはパルス周期が７５μｓｅｃ．または１０５μｓｅｃ．でパルス数が６に設定されている。

さらに、各ビットを構成するパルス出力期間ＳＰの間、即ち、各ビット間には５００μｓｅｃ．のヌル期間ＮＰが設定されている。以後、パルス出力期間ＳＰに検出される一連のパルス信号列をビットグループとも表記する。

つまり、各ビット情報が予め設定された任意の周期とパルス数とを組み合わせたパルス信号列に変調されるとともに、ビット間に所定幅のヌル期間が設定されたフレームデータが光データ伝送装置１間で送受信される。

受信部６は、フォトダイオードで受信された各ビットグループを構成するパルス信号の周期とパルス数を計測し、当該周期とパルス数が所定の許容範囲（図３（ｂ）の括弧内に示す数値）に収まるときに真のビット情報であると判定する処理を、全ビットグループに対して実行してフレームデータを再生し、適正に再生されたフレームデータからデータビットＤを抽出して受信信号を取り出す復調処理を実行する。

尚、ビット情報を示す周期とパルス数及びその組合せ、ヌル期間の長さ、フレームデータに含まれるデータビット数はシステムに応じて任意に設定することができ、上述の具体的数値に制限されるものではない。１フレームのフレームデータの送信時間は、制御装置３００，１００から入力信号線３０１，１０１を介して入力された送信信号のビット数に依存するが、通常、数ｍｓｅｃ．から数十ｍｓｅｃ．の範囲に設定される。

図２に戻り、マイクロコンピュータ１ａ，１ｂのそれぞれには、相手側の光データ伝送装置１からの光信号を受信部で受信すると、それに応答して送信部から相手側の光データ伝送装置１に光信号を送信する受信待機モードと、相手側の光データ伝送装置からの光信号を受信部で受信する前に、自装置側の送信部から相手側の光データ伝送装置１に光信号を送信する送信優先モードの何れかにモードを設定するモード設定部８が設けられている。

モード設定部８は、設定されたモードをマイクロコンピュータ１ａ，１ｂに入力するモード信号線１０４，３０４と、モード信号線１０４，３０４の論理をハイレベルまたはローレベルに切り替えるスイッチ１０５，３０５を備えている。

マイクロコンピュータ１ａ，１ｂのモード信号線１０４，３０４の入力端子は電源電圧にプルアップされており、スイッチ１０５，３０５が閉じられるとローレベルの信号が入力され、スイッチ１０５，３０５が開けられるとハイレベルの信号が入力される。

通常、スイッチ１０５，３０５を設けることなく、モード信号線１０４，３０４を接地するか否かによってモードが設定される。マイクロコンピュータ１ａ，１ｂに入力されるモード信号線１０４，３０４の信号レベルがローレベルのときに受信待機モードに設定され、ハイレベルのときに送信優先モードに設定される。そして、通常は、搬送台車３０側のマイクロコンピュータ１ａが送信優先モードに設定され、製造装置１０側のマイクロコンピュータ１ｂが受信待機モードに設定される。

さらに、各光データ伝送装置１には、相手側の光データ伝送装置１に対して送信部５から光信号を出力し、相手側の光データ伝送装置が応答して出力した光信号を受信部６で受信する迄の間は、所定の再送時間間隔Ｔ１で送信部から光信号を出力する再送処理を繰り返す再送制御部７を備えている。そして、再送制御部７は、光データ伝送装置１が送信優先モードに設定された場合にのみ作動するように構成されている。

搬送台車３０に設置された光データ伝送装置１は、製造装置１０間の移動中には、制御装置３００から通信許可信号線３０３を介した制御信号により通信が禁止され、目的とする製造装置１０の前に到達すると通信許可信号線３０３を介した制御信号により通信が許可される。

目的とする製造装置１０に設置された光データ伝送装置１も、搬送台車３０が自装置の前に到達すると、通信許可信号線１０３を介した制御信号により通信が許可される。

搬送台車３０に設置された光データ伝送装置１は、製造装置１０に設置された光データ伝送装置１に対して光信号を出力し、製造装置１０に設置された光データ伝送装置１からの応答光信号が受信部６で受信される迄、再送時間間隔Ｔ１で光信号を再送し、製造装置１０に設置された光データ伝送装置１からの応答光信号が受信部６で受信されると、その後、半二重通信方式で送受信を開始する。

搬送台車３０の停止時に双方の光データ伝送装置１の光軸一致した後、製造装置１０に設置された光データ伝送装置１に入力される通信許可信号が遅延し、受信処理が滞った場合であっても、搬送台車３０に設置された光データ伝送装置１から光信号が再送されるため、その後通信許可信号が入力されると製造装置１０に設置された光データ伝送装置１は適正に光信号を受信できるようになる。

半二重通信方式が採用されるのは、自装置側の送信部５から出力された光信号が迷光として自装置側の受信部６に受信される誤受信を回避するためであり、自装置側の送信部６から光信号が出力される間は自装置側の受信部６では光信号の受信が禁止されている。

再送時間間隔Ｔ１は、平均的なフレームデータの送信時間、または受信時間に所定のマージンを加算した値であり、例えば、平均的なフレームデータの送信時間Ｔが３０ｍｓｅｃ．であれば、再送時間間隔Ｔ１が４０ｍｓｅｃ．程度に設定される。尚、この値は例示であり、再送時間間隔Ｔ１はシステムに応じて適宜設定される値である。

図４には、半二重通信が確立するまでのシーケンスが示されている。時刻ｔ１で搬送台車３０が停止位置に到達し、製造装置１０に設置された光データ伝送装置１に通信許可信号線１０３を介した制御信号が入力されて通信が許可されると、製造装置１０に設置された光データ伝送装置１は、搬送台車３０に設置された光データ伝送装置１から出力される１フレームの光信号の受信を待つ。

その後、双方の光軸が一致し、時刻ｔ２で搬送台車３０に設置された光データ伝送装置１に通信許可信号線３０３を介した制御信号が入力されて通信が許可されると、製造装置１０に設置された光データ伝送装置１は、当該光信号を受信して、搬送台車３０に設置された光データ伝送装置１に応答信号を出力する。

搬送台車３０に設置された光データ伝送装置１が当該応答信号を受信することによりハンドシェークされ、半二重通信が確立する。尚、製造装置１０に設置された光データ伝送装置１への通信許可信号が遅延した場合には、搬送台車３０に設置された光データ伝送装置１から、再送時間間隔Ｔ１で１フレームの光信号が繰り返し出力される。

しかし、図５に示すように、製造装置１０に設置された光データ伝送装置１が送信優先モードに設定されるような誤った設定がなされると、時刻ｔ１で製造装置１０に設置された光データ伝送装置１から光信号が出力される。

その後、時刻ｔ３で搬送台車３０に設置された光データ伝送装置１に通信許可信号線３０３を介した制御信号が入力されて通信が許可されると、搬送台車３０に設置された光データ伝送装置１からも光信号が出力される。

このとき、通信許可信号線３０３を介した制御信号の入力タイミングが製造装置１０に設置された光データ伝送装置１からの再送タイミングと一致すると、双方の再送制御部がほぼ同時に作動して、同じ再送時間間隔Ｔ１で同期して光信号が出力される状態になり、通信不良状態が継続する。図５には、このような通信不良状態が示されている。

そこで、図６に示すように、搬送台車３０に設置された光データ伝送装置１に備えた再送制御部７は、再送回数が所定回数、例えば１０回に達する迄の間、製造装置１０に設置された光データ伝送装置１に備えた再送制御部７による再送時間間隔Ｔ１よりも長い再送時間間隔Ｔ２で再送処理を繰り返し、その後再送時間間隔Ｔ１で再送するように設定されている。

再送時間間隔Ｔ２での再送回数ｎは、確実にハンドシェークの機会が得られるように複数回に設定することが好ましく、バースト的な外来ノイズを回避できる値であればよい。

このように構成すれば、仮にモード設定部８の設定に誤りが発生し、固定設備である製造装置１０と移動設備である搬送台車３０の双方に設置された光データ伝送装置１の双方の再送制御部７によって、各送信部５から光信号が再送出力される場合であっても、搬送台車３０の光データ伝送装置１に備えた再送制御部７が、製造装置１０の光データ伝送装置１に備えた再送制御部７による再送時間間隔Ｔ１よりも長い再送時間間隔Ｔ２で再送処理を繰り返すため、搬送台車３０の光データ伝送装置１の送信部５から光信号が再送されるまでの間に、製造装置１０の光データ伝送装置１の送信部５から再送された光信号が搬送台車３０の光データ伝送装置１の受信部６で受信される機会が確保できるようになり、確実にハンドシェークできるようになる。図６では、時刻ｔ４で半二重通信が確立する。

例えば、再送時間間隔Ｔ１が４０ｍｓｅｃ．に設定されている場合、再送時間間隔Ｔ１を数ｍｓｅｃ．から十数ｍｓｅｃ．程度長く設定すれば、その間に製造装置１０の光データ伝送装置１の送信部５から再送された光信号が搬送台車３０の光データ伝送装置１の受信部６で受信される機会が確保できる。受信部６で光信号が受信されている間は、送信部５からの光信号の送信は禁止される。

つまり、再送時間間隔Ｔ２は、少なくともフレームデータのスタートビットＳＴＡが認識可能な時間だけ、再送時間間隔Ｔ１よりも長くなるように設定すればよい。

一般に半導体製造設備に設置される製造装置１０の台数は１０００台以上あり、製造装置１０の光データ伝送装置１のモード設定部８の誤設定を正しい設定に修正するための作業量は膨大となるが、それに比べて台数が少ない搬送台車３０の光データ伝送装置１を改造する方が遥かに作業量が少なくて済む。

具体的には、搬送台車３０の光データ伝送装置１のマイクロコンピュータ１ａの再送制御部７として機能する制御プログラムを交換すればよいのであるが、予め、このような制御プログラムを搬送台車３０の光データ伝送装置１のＲＯＭに記憶しておいてもよい。

また、予め、搬送台車３０の光データ伝送装置１のマイクロコンピュータ１ａの再送制御部７として機能する制御プログラムに、再送時間間隔Ｔ１で再送するか再送時間間隔Ｔ２で再送するかを切り替えるスイッチを光データ伝送装置１に組み込み、マイクロコンピュータ１ａでスイッチが何れに操作されたかを検知して、再送時間間隔を自動切替するように構成してもよい。

以下、本発明の別実施形態を説明する。
上述した実施形態では、搬送台車３０に設置された光データ伝送装置１に備えた再送制御部７が、再送回数が所定回数に達する迄の間、製造装置１０に設置された光データ伝送装置１に備えた再送制御部７による再送時間間隔Ｔ１よりも長い再送時間間隔Ｔ２で再送処理を繰り返すように設定され、所定回数が経過すると、元の再送時間間隔Ｔ１で再送する例を説明したが、再送回数に制限を設けずに、搬送台車３０に設置された光データ伝送装置１に備えた再送制御部７が、製造装置１０に設置された光データ伝送装置１に備えた再送制御部７による再送時間間隔Ｔ１よりも長い再送時間間隔Ｔ２で再送処理を繰り返すように設定されてもよい。

つまり、互いに送受信する光データ伝送装置１の再送制御部７により光信号が再送される再送時間間隔が異なる値に設定されていればよい。

また、搬送台車３０に設置された光データ伝送装置１に備えた再送制御部７は、製造装置１０に設置された光データ伝送装置１に備えた再送制御部７による再送時間間隔Ｔ１と等しい再送時間間隔Ｔ１で所定回数再送処理を繰り返しても、送信部５から出力した光信号に対する応答が受信部６で確認されない場合に、双方が同期して光信号を再送していると推定し、製造装置１０に設置された光データ伝送装置１に備えた再送制御部７による再送時間間隔Ｔ１よりも長い再送時間間隔Ｔ２で再送処理を繰り返すように設定されてもよい。

上述した実施形態では、何れも搬送台車３０に設置された光データ伝送装置１に備えた再送制御部７による再送時間間隔を他方より長く設定する場合を好ましい例として説明したが、本発明は、製造装置１０に設置された光データ伝送装置１に備えた再送制御部７による再送時間間隔を他方より長く設定してもよいことはいうまでもない。

上述した各実施形態は何れも本発明の一例に過ぎず、当該記載により本発明の範囲が限定されるものではなく、各部の具体的構成は本発明による作用効果を奏する範囲において適宜変更することができることはいうまでもない。

本発明は、製造設備等に使用され、空間を伝播するパルス光により固定設備と移動設備間の通信を行なう光データ伝送装置に広く適用できる。

１：光データ伝送装置
１ａ，１ｂ：光データ伝送装置に組み込まれたマイクロコンピュータ
５：送信部
６：受信部
７：再送制御部
８：モード設定部
１０：製造装置
１１：ロードポート
１２：走行レール
２０：ウェハキャリア装置

Claims

送信信号をパルス状の光信号に変調して出力する送信部と、パルス状の光信号を受光して受信信号に復調する受信部とを備えた光データ伝送装置を固定設備及び移動設備に夫々設置し、固定設備と移動設備との間で半二重通信する光通信装置であって、
各光データ伝送装置は、前記送信部から出力した光信号に対する応答が前記受信部で確認されない場合に、所定の再送時間間隔で前記送信部から光信号を出力する再送処理を繰り返す再送制御部を備え、
一方の光データ伝送装置に備えた再送制御部は、他方の光データ伝送装置に備えた再送制御部による再送時間間隔よりも長い再送時間間隔で再送処理を繰り返すように設定されている光通信装置。
一方の光データ伝送装置に備えた再送制御部は、再送回数が所定回数に達する迄の間、他方の光データ伝送装置に備えた再送制御部による再送時間間隔よりも長い再送時間間隔で再送処理を繰り返すように設定されている請求項１記載の光通信装置。
一方の光データ伝送装置に備えた再送制御部は、他方の光データ伝送装置に備えた再送制御部による再送時間間隔と等しい再送時間間隔で所定回数再送処理を繰り返しても、前記送信部から出力した光信号に対する応答が前記受信部で確認されない場合に、他方の光データ伝送装置に備えた再送制御部による再送時間間隔よりも長い再送時間間隔で再送処理を繰り返すように設定されている請求項１記載の光通信装置。
前記一方の光データ伝送装置が移動設備に設置される光データ伝送装置である請求項１または２記載の光通信装置。
送信信号をパルス状の光信号に変調して出力する送信部と、パルス状の光信号を受光して受信信号に復調する受信部とを備え、移動設備に設置される光データ伝送装置であって、
前記送信部から出力した光信号に対する他の光データ伝送装置からの応答が前記受信部で確認されない場合に、所定の再送時間間隔で前記送信部から光信号を出力する再送処理を繰り返す再送制御部を備え、
前記再送制御部は、再送回数が所定回数に達する迄の間、再送回数が前記所定回数に達した後の再送時間間隔よりも長い再送時間間隔で再送処理を繰り返すように設定されている光データ伝送装置。