JP2001236913A - 試料移動装置 - Google Patents
試料移動装置Info
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 4
- 239000000523 sample Substances 0.000 abstract description 88
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 238000004453 electron probe microanalysis Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 操作性の良い電子プローブマイクロアナライ
ザなどの試料移動装置を提供すること。 【解決手段】 オペレータは、入力装置１９により、ジ
ョイスティック１６によって指示されたステージ移動方
向に試料ステージ３が移動する同方向移動モードと、ジ
ョイスティック１６によって指示されたステージ移動方
向と逆方向に試料ステージ３が移動する逆方向移動モー
ドの何れか一方を選択する。すると、コンピュータ１８
は、どの移動モードが選択されたかをステージ制御手段
１５に知らせる。すると、ステージ制御手段１５は、選
択された移動モードで試料ステージの移動を制御する。
ザなどの試料移動装置を提供すること。 【解決手段】 オペレータは、入力装置１９により、ジ
ョイスティック１６によって指示されたステージ移動方
向に試料ステージ３が移動する同方向移動モードと、ジ
ョイスティック１６によって指示されたステージ移動方
向と逆方向に試料ステージ３が移動する逆方向移動モー
ドの何れか一方を選択する。すると、コンピュータ１８
は、どの移動モードが選択されたかをステージ制御手段
１５に知らせる。すると、ステージ制御手段１５は、選
択された移動モードで試料ステージの移動を制御する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】 本発明は、電子プローブマ
イクロアナライザなどにおける試料移動装置に関する。
イクロアナライザなどにおける試料移動装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】 電子プローブマイクロアナライザは、
電子線を試料に照射し、その電子線照射により試料から
発生した特性Ｘ線を検出して試料分析を行う装置であ
る。
電子線を試料に照射し、その電子線照射により試料から
発生した特性Ｘ線を検出して試料分析を行う装置であ
る。
【０００３】このような電子プローブマイクロアナライ
ザは、試料の２次電子像や反射電子像を表示させる機能
を備えており、試料を載せた試料ステージが移動され
て、試料上の観察視野が変更される。そして、その試料
ステージの移動は、コンピュータモニタ上からの操作
や、ジョイスティック操作によって行われる。
ザは、試料の２次電子像や反射電子像を表示させる機能
を備えており、試料を載せた試料ステージが移動され
て、試料上の観察視野が変更される。そして、その試料
ステージの移動は、コンピュータモニタ上からの操作
や、ジョイスティック操作によって行われる。
【０００４】たとえば、従来のジョイスティック操作に
よるステージ移動においては、図１に示すようにスティ
ックが右に倒されると、試料ステージが右に移動して、
観察画面上の目標物が右に移動する。また、スティック
が左に倒されると試料ステージが左に移動し、スティッ
クが上に倒されると試料ステージが上に移動し、スティ
ックが下に倒されると試料ステージが下に移動する。こ
のような移動制御は、試料をどちらに移動させるかとい
った考えに基づくものである。
よるステージ移動においては、図１に示すようにスティ
ックが右に倒されると、試料ステージが右に移動して、
観察画面上の目標物が右に移動する。また、スティック
が左に倒されると試料ステージが左に移動し、スティッ
クが上に倒されると試料ステージが上に移動し、スティ
ックが下に倒されると試料ステージが下に移動する。こ
のような移動制御は、試料をどちらに移動させるかとい
った考えに基づくものである。
【０００５】一方、近年のＴＶゲームなどにおいては、
ゲームを行っている者をどちらに移動させるかという考
えが採用されており、この場合、図２に示すようにステ
ィックが右に倒されると、画面上の目標物が左に移動す
る。また、スティックが左に倒されると前記目標物が右
に移動し、スティックが上に倒されると前記目標物が下
に移動し、スティックが下に倒されると前記目標物が上
に移動する。
ゲームを行っている者をどちらに移動させるかという考
えが採用されており、この場合、図２に示すようにステ
ィックが右に倒されると、画面上の目標物が左に移動す
る。また、スティックが左に倒されると前記目標物が右
に移動し、スティックが上に倒されると前記目標物が下
に移動し、スティックが下に倒されると前記目標物が上
に移動する。
【０００６】このように、電子プローブマイクロアナラ
イザとＴＶゲームにおいては、ジョイスティックを同じ
ように倒しても、画面上の目標物の移動方向は逆とな
る。
イザとＴＶゲームにおいては、ジョイスティックを同じ
ように倒しても、画面上の目標物の移動方向は逆とな
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】 そのため、ＴＶゲー
ムの操作にかなり慣れている人からは、ＴＶゲーム的な
操作方式を採用した電子プローブマイクロアナライザを
提供してほしいという要求が高まっている。
ムの操作にかなり慣れている人からは、ＴＶゲーム的な
操作方式を採用した電子プローブマイクロアナライザを
提供してほしいという要求が高まっている。
【０００８】一方、ＴＶゲームに慣れていない人から
は、現状のままで良いという要求がある。
は、現状のままで良いという要求がある。
【０００９】本発明はこのような点に鑑みて成されたも
ので、その目的は、操作性の良い電子プローブマイクロ
アナライザなどの試料移動装置を提供することにある。
ので、その目的は、操作性の良い電子プローブマイクロ
アナライザなどの試料移動装置を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】 この目的を達成する本
発明の試料移動装置は、試料を載置するための試料ステ
ージと、該試料ステージの移動方向を指示する試料ステ
ージ移動指示手段と、該試料ステージ移動指示手段によ
って指示される試料ステージの移動方向と、試料ステー
ジの実際の移動方向の関係を指示する移動モード指示手
段と、前記試料ステージ移動指示手段の出力と、前記移
動モード指示手段の出力に基づき、前記試料ステージの
移動を制御するステージ制御手段を備えたことを特徴と
する。
発明の試料移動装置は、試料を載置するための試料ステ
ージと、該試料ステージの移動方向を指示する試料ステ
ージ移動指示手段と、該試料ステージ移動指示手段によ
って指示される試料ステージの移動方向と、試料ステー
ジの実際の移動方向の関係を指示する移動モード指示手
段と、前記試料ステージ移動指示手段の出力と、前記移
動モード指示手段の出力に基づき、前記試料ステージの
移動を制御するステージ制御手段を備えたことを特徴と
する。
【００１１】
【発明の実施の形態】 以下、図面を用いて本発明の実
施の形態について説明する。
施の形態について説明する。
【００１２】図３は、本発明の試料移動装置の一例を示
した図であり、本発明の試料移動装置を備えた電子プロ
ーブマイクロアナライザ（ＥＰＭＡ:Electron Probe x-
rayMicro Analyzer）を示した図である。
した図であり、本発明の試料移動装置を備えた電子プロ
ーブマイクロアナライザ（ＥＰＭＡ:Electron Probe x-
rayMicro Analyzer）を示した図である。
【００１３】図３において、１は試料室チャンバであ
り、試料室チャンバ１の内部、すなわち試料室２は、図
示していない排気装置により排気されている。
り、試料室チャンバ１の内部、すなわち試料室２は、図
示していない排気装置により排気されている。
【００１４】３は試料ステージであり、試料ステージ３
は試料室２に配置されていて、ｘ，ｙおよびｚ方向に移
動可能に構成されている。この試料ステージ３上には、
分析試料４がセットされている。
は試料室２に配置されていて、ｘ，ｙおよびｚ方向に移
動可能に構成されている。この試料ステージ３上には、
分析試料４がセットされている。
【００１５】５は鏡筒であり、鏡筒５は試料室チャンバ
１に固定されている。この鏡筒５の内部には電子光学手
段が配置されており、上から順に、電子銃６、集束レン
ズ７、スキャンコイル８、対物レンズ９が配置されてい
る。
１に固定されている。この鏡筒５の内部には電子光学手
段が配置されており、上から順に、電子銃６、集束レン
ズ７、スキャンコイル８、対物レンズ９が配置されてい
る。
【００１６】前記電子銃６からの電子線は、集束レンズ
７と対物レンズ９により試料４上に集束される。また、
試料４の２次電子像を得るときには、電子線はスキャン
コイル８により偏向されて、試料４上を２次元的に走査
する。この電子線走査により試料４から２次電子が発生
するが、その２次電子は２次電子検出器１０で検出さ
れ、２次電子検出器１０の出力が供給される処理装置１
１は、その表示画面上に２次電子像を表示させる。
７と対物レンズ９により試料４上に集束される。また、
試料４の２次電子像を得るときには、電子線はスキャン
コイル８により偏向されて、試料４上を２次元的に走査
する。この電子線走査により試料４から２次電子が発生
するが、その２次電子は２次電子検出器１０で検出さ
れ、２次電子検出器１０の出力が供給される処理装置１
１は、その表示画面上に２次電子像を表示させる。
【００１７】また、図３において、１２はＸ線検出装置
であり、試料室チャンバ１に取り付けられたＸ線検出装
置１２は、電子線照射により試料４から発生した特性Ｘ
線を検出するものである。
であり、試料室チャンバ１に取り付けられたＸ線検出装
置１２は、電子線照射により試料４から発生した特性Ｘ
線を検出するものである。
【００１８】１３はステージ駆動手段であり、ステージ
駆動手段１３は前記試料ステージ３を駆動させるもので
ある。このステージ駆動手段１３は、モード内容記憶部
１４を備えたステージ制御手段１５によって制御され
る。
駆動手段１３は前記試料ステージ３を駆動させるもので
ある。このステージ駆動手段１３は、モード内容記憶部
１４を備えたステージ制御手段１５によって制御され
る。
【００１９】また、前記ステージ制御手段１５は、試料
ステージ移動指示手段であるジョイスティック１６に接
続されている。このジョイスティック１６は、前記試料
ステージ３の移動方向と移動量を指示するものである。
ステージ移動指示手段であるジョイスティック１６に接
続されている。このジョイスティック１６は、前記試料
ステージ３の移動方向と移動量を指示するものである。
【００２０】また、前記ステージ制御手段１５は移動モ
ード指示手段１７に接続されている。この移動モード指
示手段１７は、コンピュータ１８と、キーボードとマウ
スから成る入力装置１９と、表示装置２０で構成されて
いる。
ード指示手段１７に接続されている。この移動モード指
示手段１７は、コンピュータ１８と、キーボードとマウ
スから成る入力装置１９と、表示装置２０で構成されて
いる。
【００２１】以上、図３の装置構成について説明した
が、以下、このような装置の動作説明を行う。
が、以下、このような装置の動作説明を行う。
【００２２】まず、オペレータは、入力装置１９によ
り、ジョイスティック１６によって指示される試料ステ
ージ３の移動方向と、試料ステージ３の実際の移動方向
の関係を選択入力する。
り、ジョイスティック１６によって指示される試料ステ
ージ３の移動方向と、試料ステージ３の実際の移動方向
の関係を選択入力する。
【００２３】詳しく説明すると、表示装置２０の画面上
には、図４に示すように、「同方向移動モード」と「逆
方向移動モード」の表示が行われている。この同方向移
動モードとは、ジョイスティック１６によって指示され
た試料ステージ移動方向に試料ステージ３が移動するモ
ードである。これは、従来から電子プローブマイクロア
ナライザで採用されている移動方式である。
には、図４に示すように、「同方向移動モード」と「逆
方向移動モード」の表示が行われている。この同方向移
動モードとは、ジョイスティック１６によって指示され
た試料ステージ移動方向に試料ステージ３が移動するモ
ードである。これは、従来から電子プローブマイクロア
ナライザで採用されている移動方式である。
【００２４】一方、逆方向移動モードとは、ジョイステ
ィック１６によって指示された試料ステージ移動方向と
逆方向に試料ステージ３が移動するモードである。これ
は、上述したＴＶゲーム的な移動方式である。
ィック１６によって指示された試料ステージ移動方向と
逆方向に試料ステージ３が移動するモードである。これ
は、上述したＴＶゲーム的な移動方式である。
【００２５】そこで、オペレータは、入力装置１９によ
り、表示装置２０の画面上のカーソルｃを動かして、そ
れら２つのモードのうち一方を選択する。
り、表示装置２０の画面上のカーソルｃを動かして、そ
れら２つのモードのうち一方を選択する。
【００２６】たとえば、オペレータが逆方向移動モード
を選択すると、コンピュータ１８は、逆方向移動モード
が選択されたことをステージ制御手段１５に知らせる。
すると、ステージ制御手段１５は、逆方向移動モードが
選択されたことをモード内容記憶部１４に記憶すると共
に、それ以降の試料ステージ制御を逆方向移動モードで
行う。
を選択すると、コンピュータ１８は、逆方向移動モード
が選択されたことをステージ制御手段１５に知らせる。
すると、ステージ制御手段１５は、逆方向移動モードが
選択されたことをモード内容記憶部１４に記憶すると共
に、それ以降の試料ステージ制御を逆方向移動モードで
行う。
【００２７】このため、オペレータがジョイスティック
１６を右に倒すと、ステージ制御手段１５は、試料ステ
ージ３が左（−ｘ方向）に移動するようにステージ駆動
手段１３を制御する。また、ステージ制御手段１５は、
スティック１６が左に倒されると試料ステージ３が右
（ｘ方向）に、スティック１６が上に倒されると試料ス
テージ３が下（−ｙ方向）に、そして、スティック１６
が下に倒されると試料ステージ３が上（ｙ方向）に移動
するようにステージ駆動手段１３を制御する。
１６を右に倒すと、ステージ制御手段１５は、試料ステ
ージ３が左（−ｘ方向）に移動するようにステージ駆動
手段１３を制御する。また、ステージ制御手段１５は、
スティック１６が左に倒されると試料ステージ３が右
（ｘ方向）に、スティック１６が上に倒されると試料ス
テージ３が下（−ｙ方向）に、そして、スティック１６
が下に倒されると試料ステージ３が上（ｙ方向）に移動
するようにステージ駆動手段１３を制御する。
【００２８】このような制御により、上述した２次電子
像が処理装置１１の画面上に表示されているときに、ジ
ョイスティック１６が右に倒されると、前記図２に示し
たときと同じように、処理装置１１画面上の目標物が左
に移動する。また、この場合、スティックが左に倒され
ると前記目標物が右に移動し、スティックが上に倒され
ると前記目標物が下に移動し、スティックが下に倒され
ると前記目標物が上に移動する。
像が処理装置１１の画面上に表示されているときに、ジ
ョイスティック１６が右に倒されると、前記図２に示し
たときと同じように、処理装置１１画面上の目標物が左
に移動する。また、この場合、スティックが左に倒され
ると前記目標物が右に移動し、スティックが上に倒され
ると前記目標物が下に移動し、スティックが下に倒され
ると前記目標物が上に移動する。
【００２９】以上、逆方向移動モードにおけるステージ
移動について説明したが、ＴＶゲーム操作にかなり慣れ
ている人はこのモードを選択すれば、試料ステージを所
望の方向に迅速に移動させることができる。
移動について説明したが、ＴＶゲーム操作にかなり慣れ
ている人はこのモードを選択すれば、試料ステージを所
望の方向に迅速に移動させることができる。
【００３０】一方、ＴＶゲーム操作に慣れておらず、Ｅ
ＰＭＡにおける従来のジョイスティック操作に慣れてい
る人は、移動モード指示手段１７において同方向移動モ
ードを選択すれば、試料ステージを所望の方向に迅速に
移動させることができる。
ＰＭＡにおける従来のジョイスティック操作に慣れてい
る人は、移動モード指示手段１７において同方向移動モ
ードを選択すれば、試料ステージを所望の方向に迅速に
移動させることができる。
【００３１】この同方向移動モードにおけるステージ移
動について説明すると、同方向移動モードが選択される
と、コンピュータ１８は、同方向移動モードが選択され
たことをステージ制御手段１５に知らせる。すると、ス
テージ制御手段１５は、同方向移動モードが選択された
ことをモード内容記憶部１４に記憶すると共に、それ以
降の試料ステージ制御を同方向移動モードで行う。
動について説明すると、同方向移動モードが選択される
と、コンピュータ１８は、同方向移動モードが選択され
たことをステージ制御手段１５に知らせる。すると、ス
テージ制御手段１５は、同方向移動モードが選択された
ことをモード内容記憶部１４に記憶すると共に、それ以
降の試料ステージ制御を同方向移動モードで行う。
【００３２】このため、オペレータがジョイスティック
１６を右に倒すと、ステージ制御手段１５は、試料ステ
ージ３が右（ｘ方向）に移動するようにステージ駆動手
段１３を制御する。また、ステージ制御手段１５は、ス
ティック１６が左に倒されると試料ステージ３が左（−
ｘ方向）に、スティック１６が上に倒されると試料ステ
ージ３が上（ｙ方向）に、そして、スティック１６が下
に倒されると試料ステージ３が下（−ｙ方向）に移動す
るようにステージ駆動手段１３を制御する。
１６を右に倒すと、ステージ制御手段１５は、試料ステ
ージ３が右（ｘ方向）に移動するようにステージ駆動手
段１３を制御する。また、ステージ制御手段１５は、ス
ティック１６が左に倒されると試料ステージ３が左（−
ｘ方向）に、スティック１６が上に倒されると試料ステ
ージ３が上（ｙ方向）に、そして、スティック１６が下
に倒されると試料ステージ３が下（−ｙ方向）に移動す
るようにステージ駆動手段１３を制御する。
【００３３】このような制御により、上述した２次電子
像が処理装置１１の画面上に表示されているときに、ジ
ョイスティック１６が右に倒されると、前記図１に示し
たときと同じように、処理装置１１画面上の目標物が右
に移動する。また、この場合、スティックが左に倒され
ると前記目標物が左に移動し、スティックが上に倒され
ると前記目標物が上に移動し、スティックが下に倒され
ると前記目標物が下に移動する。
像が処理装置１１の画面上に表示されているときに、ジ
ョイスティック１６が右に倒されると、前記図１に示し
たときと同じように、処理装置１１画面上の目標物が右
に移動する。また、この場合、スティックが左に倒され
ると前記目標物が左に移動し、スティックが上に倒され
ると前記目標物が上に移動し、スティックが下に倒され
ると前記目標物が下に移動する。
【００３４】なお、ステージ制御手段１５は、移動モー
ドが変更されるまで、装置の電源が停止されても現在の
設定内容をモード内容記憶部１４に保持する。
ドが変更されるまで、装置の電源が停止されても現在の
設定内容をモード内容記憶部１４に保持する。
【００３５】以上、図３の装置について説明したが、本
発明はこの例に限定されるものではない。
発明はこの例に限定されるものではない。
【００３６】たとえば、図３の装置においては、試料ス
テージの移動モードをソフトウエア的に設定するように
したが、切換スイッチをステージ制御手段１５に接続
し、そのスイッチを切り換えて、前記同方向移動モード
と逆方向移動モードの何れか一方を設定するようにして
も良い。
テージの移動モードをソフトウエア的に設定するように
したが、切換スイッチをステージ制御手段１５に接続
し、そのスイッチを切り換えて、前記同方向移動モード
と逆方向移動モードの何れか一方を設定するようにして
も良い。
【００３７】また、上記例では、試料ステージ移動指示
手段としてジョイスティックが用いられているが、これ
に代えて、トラックボールやマウス、キーボードのカー
ソル移動キーなどを用いるようにしても良い。
手段としてジョイスティックが用いられているが、これ
に代えて、トラックボールやマウス、キーボードのカー
ソル移動キーなどを用いるようにしても良い。
【００３８】また、上記例では、試料ステージをｘｙ方
向に移動させる場合について説明したが、本発明を、試
料ステージを傾斜、または回転させる場合にも適用する
ことができる。
向に移動させる場合について説明したが、本発明を、試
料ステージを傾斜、または回転させる場合にも適用する
ことができる。
【００３９】その傾斜の場合、上述した逆方向移動モー
ドが選択されると、ジョイスティックが右に倒されると
試料ステージが左に傾斜し、ジョイスティックが左に倒
されると試料ステージが右に傾斜するようにステージ制
御が行われる。
ドが選択されると、ジョイスティックが右に倒されると
試料ステージが左に傾斜し、ジョイスティックが左に倒
されると試料ステージが右に傾斜するようにステージ制
御が行われる。
【００４０】また、試料ステージの回転の場合、上述し
た逆方向移動モードが選択されると、試料ステージ移動
指示手段によって右回転が指示されると試料ステージが
左に回転し、左回転が指示されると試料ステージが右に
回転するようにステージ制御が行われる。
た逆方向移動モードが選択されると、試料ステージ移動
指示手段によって右回転が指示されると試料ステージが
左に回転し、左回転が指示されると試料ステージが右に
回転するようにステージ制御が行われる。
【００４１】また、本発明を、走査電子顕微鏡やオージ
ェマイクロプローブなどにも適用することができる。
ェマイクロプローブなどにも適用することができる。
【図１】 従来の電子プローブマイクロアナライザにお
いて、ジョイスティックを操作したときの像の移動を説
明するために示した図である。
いて、ジョイスティックを操作したときの像の移動を説
明するために示した図である。
【図２】 ＴＶゲームにおいて、ジョイスティックを操
作したときの像の移動を説明するために示した図であ
る。
作したときの像の移動を説明するために示した図であ
る。
【図３】 本発明の試料移動装置の一例を示した図であ
る。
る。
【図４】 図３の装置の動作を説明するために示した図
である。
である。
１…試料室チャンバ、２…試料室、３…試料ステージ、
４…試料、５…鏡筒、６…電子銃、７…集束レンズ、８
…スキャンコイル、９…対物レンズ、１０…２次電子検
出器、１１…処理装置、１２…Ｘ線検出装置、１３…ス
テージ駆動手段、１４…モード内容記憶部、１５…ステ
ージ制御手段、１６…ジョイスティック、１７…移動モ
ード指示手段、１８…コンピュータ、１９…入力装置、
２０…表示装置
４…試料、５…鏡筒、６…電子銃、７…集束レンズ、８
…スキャンコイル、９…対物レンズ、１０…２次電子検
出器、１１…処理装置、１２…Ｘ線検出装置、１３…ス
テージ駆動手段、１４…モード内容記憶部、１５…ステ
ージ制御手段、１６…ジョイスティック、１７…移動モ
ード指示手段、１８…コンピュータ、１９…入力装置、
２０…表示装置
Claims (5)
- 【請求項１】 試料を載置するための試料ステージと、
該試料ステージの移動方向を指示する試料ステージ移動
指示手段と、該試料ステージ移動指示手段によって指示
される試料ステージの移動方向と、試料ステージの実際
の移動方向の関係を指示する移動モード指示手段と、前
記試料ステージ移動指示手段の出力と、前記移動モード
指示手段の出力に基づき、前記試料ステージの移動を制
御するステージ制御手段を備えたことを特徴とする試料
移動装置。 - 【請求項２】 前記移動モード指示手段は、前記試料ス
テージ移動指示手段によって指示された試料ステージ移
動方向に試料ステージが移動するモードと、前記試料ス
テージ移動指示手段によって指示された試料ステージ移
動方向と逆の方向に試料ステージが移動するモードの何
れか一方を指示することを特徴とする請求項１記載の試
料移動装置。 - 【請求項３】 前記ステージ制御手段は、前記移動モー
ド指示手段の指示したモード内容を記憶する手段を備え
ていることを特徴とする請求項１または２に記載の試料
移動装置。 - 【請求項４】 試料を載置するための試料ステージと、
該試料ステージの移動方向を指示する試料ステージ移動
指示手段と、該試料ステージ移動指示手段の出力に基づ
き、その試料ステージ移動指示手段によって指示された
試料ステージ移動方向と逆の方向に前記試料ステージを
移動させるステージ制御手段を備えたことを特徴とする
試料移動装置。 - 【請求項５】 試料ステージの移動方向を試料ステージ
移動指示手段で指示して、その指示された方向に試料ス
テージを移動させるようにした試料移動装置において、
前記試料ステージ移動指示手段によって指示される試料
ステージの移動方向に対する試料ステージの実際の移動
方向を、正逆反対方向に切り換えられるようにした試料
移動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000044001A JP2001236913A (ja) | 2000-02-22 | 2000-02-22 | 試料移動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000044001A JP2001236913A (ja) | 2000-02-22 | 2000-02-22 | 試料移動装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001236913A true JP2001236913A (ja) | 2001-08-31 |
Family
ID=18566833
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000044001A Pending JP2001236913A (ja) | 2000-02-22 | 2000-02-22 | 試料移動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001236913A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006343193A (ja) * | 2005-06-08 | 2006-12-21 | Shimadzu Corp | Ｘ線透視装置 |
| CN113518913A (zh) * | 2019-03-05 | 2021-10-19 | 株式会社岛津制作所 | 分析装置 |
| CN113518913B (zh) * | 2019-03-05 | 2024-06-28 | 株式会社岛津制作所 | 分析装置 |
-
2000
- 2000-02-22 JP JP2000044001A patent/JP2001236913A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006343193A (ja) * | 2005-06-08 | 2006-12-21 | Shimadzu Corp | Ｘ線透視装置 |
| CN113518913A (zh) * | 2019-03-05 | 2021-10-19 | 株式会社岛津制作所 | 分析装置 |
| JPWO2020179102A1 (ja) * | 2019-03-05 | 2021-12-16 | 株式会社島津製作所 | 分析装置 |
| JP7173277B2 (ja) | 2019-03-05 | 2022-11-16 | 株式会社島津製作所 | 分析装置 |
| CN113518913B (zh) * | 2019-03-05 | 2024-06-28 | 株式会社岛津制作所 | 分析装置 |
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