JP2008159288A - 試料観察位置の移動制御方法及び試料表面の分析装置 - Google Patents

Abstract

【課題】オペレータの操作を簡便にしながら、視野移動モードと観察点移動モードを切り替える。
【解決手段】ディスプレイ画面を中心を含む内側領域７０及びその外側の外側領域７２に区分けし、カーソルが位置する領域に基づいて少なくとも以下の移動モードにより画面に表示される試料表面の視野を制御する。（Ａ）内側領域７０にある状態でマウスのドラッグを開始すると、画面の中心点からカーソルまでの距離又はカーソルの軌跡に応じて、画面上に表示される視野の移動を制御する視野移動モード。（Ｂ）外側領域７２にある状態でマウスのドラッグを開始すると、カーソルが示す軌跡に追従して、画面上に表示される観察点の移動を制御する観察点移動モード。
【選択図】図３

Description

本発明はカーソル移動を用いた画像表示方法、特に、表面分析装置において視野移動及び観察点移動の操作性を向上させた試料観察位置の移動制御方法に関する。例えば、電子ビームやイオンビーム等を用いて試料表面の分析を行なう試料表面観察システムに関するものである。

試料表面観察システムは、試料に電子ビームやイオンビーム等の荷電粒子ビームを照射し、その荷電粒子ビームとの相互作用によって試料から得られる試料信号を検出することによって試料の局所領域の分析を行うものである。例えば、試料に電子ビームを照射し、試料信号として試料透過電子のエネルギーロススペクトルを検出することによって元素分析を行うことができ、試料信号として非弾性散乱電子を検出することで試料微小部分の元素組成や電子状態を分析することができる。あるいは、試料に電子ビーム又はイオンビームを照射し、試料信号として試料から発せられるＸ線を検出してそのエネルギーを分析することにより微小部分の元素組成についての情報を画像情報として得ることができる。

また、入射ビームとして電子ビームを用い、試料信号としてＸ線を検出して試料の元素分析を行う試料分析装置においては、高真空に保たれた走査電子顕微鏡の試料室に試料を挿入し、電子ビームで試料上の微小領域を走査することによって試料から発生する２次電子又は反射電子を検出して得られる試料像を画像情報により観察しながら、目的とする分析位置に電子ビームを点状、線状もしくは面状に照射し、電子ビーム照射位置から発生する特性Ｘ線を検出することにより元素分析が行われている（特許文献１参照。）。

従来、画像表示方法に用いられるコンピュータのユーザインタフェースの一つとして、グラフィカル・ユーザ・インタフェース（ＧＵＩ；Graphical User Interface）が利用されている。ＧＵＩでは、ユーザがボタンやメニュー、アイコン等のグラフィカルな部品（以下、ＧＵＩ部品と称する）をマウスなどのポインティング・デバイスで制御して操作する。ポインティング・デバイスとは、コンピュータ画面上の特定箇所を指し示すための機器であり、マウスはその代表的なものである。他のポインティング・デバイスとしては、主にノート型パーソナルコンピュータで使用されているトラックボールやスティック型ポインティング・デバイス、タッチパッドなどがある。

また、ＧＵＩ環境では、そのポインティング・デバイスの操作により指し示される箇所を示すためにマウスカーソルと呼ばれるカーソル（例えば矢印）が画面上に表示され、このマウスカーソルによって画面上の操作箇所が示される。このマウスカーソルは、ＧＵＩ部品の一つであり、ポインティング・デバイスと連動して画面上を移動する。これにより、ポインティング・デバイスを使用すれば、画面上の任意のＧＵＩ部品を素早く指定することが可能である。例えば、ユーザは、マウスを使用して操作したいＧＵＩ部品（ボタンやメニュー、アイコン等）の位置までマウスカーソルを移動させ、ボタンを押したり、あるいはメニューを選択したり、あるいはアイコンをクリックしてアプリケーションプログラムを起動したりファイルを開いたりすることができる（特許文献２参照。）。

コンピュータ制御される試料表面観察システムにおいても、一般に観察画面上のマウス操作によりＧＵＩ部品を選択し、マウスカーソルを移動させることで観察位置を任意に変更する手段を有している。
例えば、ユーザはディスプレイ画面に表示されている「分析位置制御モード」（下層には「視野移動モード」と「観察点移動モード」が含まれている。）や「カーソルの中心化設定」、「走査回数設定」などのアイコンから「視野移動モード」をクリックすることで、マウスの操作モードを「視野移動モード」に変更する。

そのような試料表面観察システムには、例えば次のような移動モードがある。
「視野移動モード（Ａ”）」を選択した場合、観察画面上の任意の位置にカーソルを配置し、マウスを押し続けると観察画像中央の位置とマウスカーソルを結ぶ方向に観察視野が一定速度で移動する。移動速度は画面中央の位置からマウスカーソルの位置までの距離が長い程速くなる。また、マウスを押したままカーソル位置を変更すると、その軌跡に応じて移動方向や移動速度を変更することができる。
「観察点移動モード（Ｂ”）」を選択した場合、観察画像上の目的の観察点にカーソルを配置し、マウスを押しながらカーソル位置を移動させたときにその観察点がカーソル位置に伴って移動するように、観察点が移動する。
これらの方法によって画面表示位置は変更される。

特開平１１−７３９０１号公報 特開２００３−３３０５９４号公報

しかし、前述の視野移動モード（Ａ”）と観察点移動モード（Ｂ”）の移動モードの切替えは、オペレータがマウスをクリックするなど、何らかの操作を行なう必要があり、煩雑であった。

そこで本発明は、オペレータの操作を簡便にしながら、視野移動モードと観察点移動モードを切り替えることができる試料観察位置の移動制御方法及びその方法を用いた試料表面の分析装置を提供することを目的とする。

本発明の試料観察位置の移動制御方法は、ディスプレイ画面を中心を含む内側領域及びその外側の外側領域に区分けし、カーソルが位置する領域に基づいて少なくとも以下の移動モード（Ａ）及び（Ｂ）により画面に表示される試料表面の分析位置の移動を制御する。
（Ａ）カーソルが内側領域にある状態でマウスのドラッグを開始すると、画面の中心点からカーソルまでの距離又はカーソルの軌跡に応じて、画面上に表示される視野の移動を制御する視野移動モード、及び
（Ｂ）カーソルが外側領域にある状態でマウスのドラッグを開始すると、カーソルが示す位置に追従して、画面上に表示される観察点の移動を制御する観察点移動モード。

画面の中心点からカーソルまでの距離に応じて視野を制御する視野移動モードの場合、一般に低速度の条件で移動を開始することが多く、カーソルが画面の中心に初期化されている方がユーザにとってマウス操作が容易であるので、カーソルが内側領域にある状態でマウスをクリックすることにより、カーソルが画面の中心点に移動するように制御してもよい。

外側領域のうち、画面外周部を外周領域として割り当て、さらに以下のいずれかの移動モード（Ｃ）〜（Ｆ）の少なくとも１つを含むようにしてもよい。これらの移動モード（Ｃ）〜（Ｆ）は、本発明の移動モード（Ａ），（Ｂ）と組み合わせて行なうことができる。
（Ｃ）カーソルが外周領域の上下端にある状態でマウスのドラッグを開始すると、カーソルの左右の移動に追従して横方向に観察点の移動を制御する観察点移動モード、
（Ｄ）カーソルが外周領域の左右端にある状態でマウスのドラッグを開始すると、カーソルの上下の移動に追従して縦方向に観察点の移動を制御する観察点移動モード、
（Ｅ）カーソルが外周領域の上下端の中央部として割り当てられた特定の領域内にある状態でマウスのドラッグを開始すると、上下端の中央からカーソルの横方向までの距離又はカーソルの軌跡に応じて、横方向に視野の移動を制御する視野移動モード、及び
（Ｆ）カーソルが外周領域の左右端の中央部として割り当てられた特定の領域内にある状態でマウスのドラッグを開始すると、左右端の中央からカーソルの縦方向までの距離又はカーソルの軌跡に応じて、縦方向に視野の移動を制御する視野移動モード。
実施例では上下端及び左右端は一定の幅を持った領域を示しているが、市販のソフトウエアに使われているようなスクロールバーによっても実施することができる。

移動は水平面内の二次元における移動方向、移動距離又は移動速度をパラメータとして制御されるものである。

移動モード（Ａ）〜（Ｆ）は、カーソル位置の領域によって切り替わるため、カーソルは移動モードに応じたカーソルデザインに変化するようにすることが好ましい。

また、内側領域、外側領域又は外周領域を画面上で視覚的に区分けして表示するようにしてもよい。区分けする領域は内側領域のみでも、全領域にわたってもよい。例えば、実施例で示すように実線や破線で区分けしたり、半透明色などの色彩を用いて表示したりすることができる。

本発明の試料表面の分析装置は、マウスの操作を認識するマウス操作認識手段と、カーソルの軌跡を認識するカーソル位置制御手段と、マウス操作認識手段によるボタン操作状態、カーソル位置制御手段によるカーソルの軌跡、又は試料ステージにおける現在位置座標に基づいて、視野移動モード又は観察点移動モードを行なうための演算を行なう演算手段と、演算手段により出力されたステージ座標信号をステージ駆動信号に変換するステージ座標制御手段と、ステージ駆動信号をステージモータ駆動信号に変換するステージ駆動手段と、ステージモータ駆動信号に基づいて少なくとも水平面内の二次元に制御される試料ステージを有する電子顕微鏡と、を備えている。そして上記演算手段は本発明の試料観察位置の移動制御方法を行なうものである。

ディスプレイ画面を中心を含む内側領域及びその外側の外側領域に区分けし、その領域に基づいて移動モード（Ａ）と観察点移動モード（Ｂ）を制御するようにしたので、マウスによるドラッグの開始位置のみに応じて移動モードを切り替えることができ、オペレータが従来行なっていた煩雑な移動モードの切替えを行なうことなく、オペレータが意図している移動モードを選択できるようになる。

簡単なマウス操作（例えば、クリック）によってカーソルを画面の中心点に移動することができるので、オペレータは煩雑な操作をすることなく画面上に表示されているカーソルを把握するのが容易になり、特に視野移動モード（Ａ）においては、スタート位置が中心に設定されるため、視野の移動を制御するのが容易になる。

ディスプレイ画面の外周領域において移動モード（Ｃ）〜（Ｆ）を制御するようにすれば、上下方向又は左右方向のみの視野移動と観察点移動を制御することができ、例えば、横方向に長い電子顕微鏡写真を撮影することも可能になる。さらに、本発明の移動モード（Ａ），（Ｂ）と組み合わせることで、オペレータは、任意の方向へ移動する視野移動モード（Ａ）と任意の観察点を移動する観察点移動（Ｂ）のみならず、上下方向又は左右方向のみの移動モード（Ｃ）〜（Ｆ）を同時に行なうこともできるようになり、より操作性が向上した装置を提供することができる。

移動方向、移動距離又は移動速度を制御することで、オペレータの指示通りに視野の移動を行なうことができるようになる。

従来は、オペレータが移動モードを視野移動モード（Ａ”）／観察点移動モード（Ｂ”）間で切り替えた際に、マウスカーソルのデザイン表示が変更されるようにしていても、オペレータが現在の操作モードを誤認する場合があり、そのときには意図しない場所に分析位置が変更され、効率よく表面分析する上で妨げとなっていたが、本発明で、カーソルが存在する領域によって、移動モードに応じたカーソルデザインに変化するようにすれば、領域とマウスデザインによる２重の視覚効果により、オペレータが移動モードを誤認する恐れが低下し、表面分析を効率よく行なうことができるようになる。

領域は表示画面上に明示されている必要はないが、内側領域、外側領域又は外周領域の少なくとも一つを画面上に視覚的に区分けできるように表示すれば、オペレータは必要とする移動モードを選択するのが容易になり、移動モードを誤認する恐れが大幅に低下するので好ましい。
その際、破線で区分けすれば、実線で区分けした場合よりも視野を広く感じることができ、また、半透明色により区分けすれば実線等によって視野が妨害される恐れが減少する。

以下に本発明の一実施例を詳細に説明する。
図１は走査電子顕微鏡による試料表面分析装置の概略図（右側）、及びその動作の制御を行なうブロック図（左側）である。

[走査電子顕微鏡]
２は電子銃であり、フィラメント４から発生した電子をアノード６と収束レンズ８、対物絞り１０により収束した電子ビームとして、試料ステージ１２上の分析試料１４に照射する。１６は電子ビーム４を分析試料１４上でＸ，Ｙ方向に走査するための走査コイルであり、走査コイル１６の通電を制御することにより、電子ビームの照射位置を平面内で自由に移動させることができる。収束レンズ８、走査コイル１６及び対物レンズ１８からなる電子光学系が設けられている筐体２０には真空排気機構（図示略）が接続されており、筐体２０内はフィラメント４から電子を発生させることができる程度の真空度に保たれる。

分析試料１４の近傍には、分析試料から発生する２次電子や反射電子を検出して走査電子顕微鏡観察ために、二次電子検出器２２が配置されている。
試料ステージ１２は制御機構によって光軸方向（Ｚ方向）と水平面内（Ｘ，Ｙ方向）に移動して分析試料をＸ線の照射位置に位置決めできるようになっている。

[制御機構]
ブロック図の左側のマウス操作モード選択手段３０は、ディスプレイ画面上に表示されており、「分析位置制御モード」や「走査回数設定」、「シフト量設定」など、演算手段３２にプログラミングされているモードをマウス操作により選択するものである。「分析位置制御モード」は後述の［試料ステージ移動方法］で説明する。

走査波形生成手段３４は、演算手段３２（例えばＣＰＵ，演算処理装置）によって生成された走査波形振幅とシフト量に基づいて、走査波形信号を出力する。走査コイル駆動手段３６は走査波形信号を走査コイル駆動電力に変換し、走査コイル１６を駆動する。
分析試料１４のデータの取得を開始すると、二次電子検出器２２によって検出された検出二次電子信号は信号増幅手段３８によって増幅されて増幅二次電子信号となり、走査波形生成手段３４からのデータ取得開始トリガ信号とともに、Ａ／Ｄ変換器４０によって表示画像生成手段４２に対する取得データに変換される。

表示画像生成手段４２は例えばメモリーであり、演算手段３２から出力されたカーソル位置情報とＡ／Ｄ変換器４０から得られる取得データに基づいて画像信号を出力し、画像表示手段４４（例えばディスプレイ画面）に表示する。
走査像倍率設定手段４６は分析試料１４の分析倍率や表示倍率を設定するものである。

試料ステージの制御機構としては、走査像倍率設定手段４６と、マウスの操作状態を認識するマウス操作認識手段５０と、カーソルの軌跡を制御するカーソル位置制御手段４８を備えている。演算手段３２は、マウス操作認識手段５０による操作、カーソル位置制御手段４８によるカーソルの軌跡、及び試料ステージ１２における現在の座標に基づいて、視野移動モード（Ａ）と観察点移動モード（Ｂ）を切り替えて行なうためのプログラムを有している。

図２は試料ステージ１２を制御するための演算手段３２を説明するブロック図である。
演算手段３２は移動モード判別部５２、相対移動画素数計算部５４、移動距離計算部５６及び移動速度計算部５８を少なくとも有している。これらによる演算結果はステージ座標信号としてステージ座標制御手段６０に出力される。演算方法については、後述するフローチャートで説明する。

図１に戻って説明を続ける。演算手段３２からのステージ座標信号は、ステージ座標制御手段６０によってステージ駆動信号に変換され、ステージ駆動手段６２によってステージモータ駆動信号に変換され、試料ステージ１２に出力される。試料ステージ１２は通常２次元（Ｘ，Ｙ）に制御されるが、３次元に制御してもよい。

次に、画像表示手段４４の一例を図３に説明する。７０はディスプレイ画面の中心を含む内側領域であり、外側領域７２のほぼ中央に位置している。内側領域７０は、例えば、横幅に対して１０分の１の直径を有している円形であるが、方形でもよい。
外側領域７２のうち、画面外周部として割り当てられている外周領域は７４〜７７によって構成される。７４Ｌは上端左、７４Ｃは上端中央、７４Ｒは上端右であり、下端の７５Ｌ，７５Ｃ，７５Ｒはそれぞれ下端の左、中央、右である。７６Ｕは左端上、７６Ｃは左端中央、７６Ｄは左端下であり、右端の７７Ｕ，７７Ｃ，７７Ｄはそれぞれ右端の上、中央、下である。それぞれの領域は破線によって区分けして表示されているが、透過率の異なる色彩によって区分けしてもよい。

［試料ステージ移動方法］
以下に同実施例の動作として、試料ステージの移動方法を説明する。
図４は「分析位置制御モード」を選択した際、移動モード判別部５６が視野移動モード（Ａ）と観察点移動モード（Ｂ）を判別する際のフローチャートである。
ユーザはマウス操作モード選択手段３０により「分析位置制御モード」を選択する。
その後、マウスにより左ボタンの押下げを開始した際にカーソル位置が内側領域７０内にあるときは視野移動モード（Ａ）、外側領域７２にあるときは観察点移動モード（Ｂ）に移る。ここでの押下げはマウスによるドラッグの開始状態である。

いずれの移動モード（Ａ），（Ｂ）の場合にも、マウスが押されている間はマウスカーソルのデザインが変更される。視野移動モード（Ａ）では移動方向と移動速度を示すデザイン、観察点移動モード（Ｂ）の場合にはカーソルの位置を手で掴むデザインを用いてもよい。

［視野移動モード］
図５は視野移動モードを説明するフローチャートであり、図６は同モードの動作を示す図である。
内側領域７０内でマウスをクリックしたとき、カーソル位置は画面の中心に設定され、そのカーソルのデザインは十字カーソルになる。

（１）カーソルの移動があると、相対移動画素数計算部５４は画面の中心からカーソル位置までの相対移動画素数をＸ軸、Ｙ軸方向について求める。
移動距離計算部５６は、走査像倍率設定手段４６による現在の走査像倍率に基づき、上記相対移動画素数をＸ軸、Ｙ軸の移動距離に変換する。
移動速度計算部５８は、Ｘ軸、Ｙ軸それぞれに対して求めた相対距離に比例した速度を計算する。上記の演算結果により、試料ステージ１２における視野を、例えば図６に示すように右上方向に駆動する。
カーソルの移動を止め、マウスの左ボタンの押下げを終了すると、試料ステージ１２は駆動を停止し、カーソルのデザインは元に戻る。
（２）カーソルの移動がなく、ドラッグを行なわずにマウスのボタンを離した場合にはカーソルは元の位置に戻る。

［観察点移動モード］
図７は観察点移動モードを説明するフローチャートであり、図８は同モードの動作を示す図である。
外側領域７２内でマウスをクリックしたとき、カーソルのデザインは例えば手で掴むことを示すカーソルとする。
（１）カーソルの移動があると、相対移動画素数計算部５４は、左ボタン押下げ開始時のカーソル位置から現在のカーソル位置までの相対移動画素数をＸ軸、Ｙ軸方向について求める。

移動距離計算部５６は、走査像倍率設定手段４６からの現在の走査像倍率に基づき、上記相対画素数をＸ軸、Ｙ軸の移動距離に変換する。
移動速度計算部５８は、Ｘ軸、Ｙ軸それぞれに対して、求めた相対距離に比例した速度を計算する。上記の演算結果により、試料ステージ１２を、例えば左上方向に駆動する。
カーソルの移動を止め、マウスの左ボタンの押下げを終了すると、試料ステージ１２における観察点は駆動を停止し、カーソルのデザインは元の矢印に戻る。
（２）カーソルの移動をすることなしにマウスのボタンを離した場合には、観察点は移動しない。

この観察点移動モードは目的の観察点を視野中心に移動させるために使う場合が多いため、画面の中央付近以外の場所からマウスによるドラッグを開始することが多い。そのため、ドラッグの開始位置に応じて移動モードを切り替えることができるので、オペレータはマウス操作モード選択手段３０により移動モードの変更を行なうことなく、マウスによるドラッグを開始するだけで、オペレータが意図している可能性が高い移動モードを自動的に選択できる。

［視野移動モード（Ａ）］及び［観察点移動モード（Ｂ）］のいずれにおいても、マウスのボタンを押した時にマウスカーソルのデザインが変更されるので、選択された移動モードをオペレータが認識することが容易である。
また、ドラッグせずにマウスから手を離した場合は、移動に関する動作は行なわない。これにより、オペレータが意図しない移動モードを選択した場合や、誤ってマウスの操作をした場合も、分析位置が移動してしまうという誤動作を防ぐことができる。

さらに、マウスの一つのボタンのみで移動モードの切替えができるので、マウスの他のボタンに他の機能（例えば、ピント設定や写真撮影）を割り当てることも可能となり、高効率に表面分析を行なうことができる。
また、ユーザが両移動モード（Ａ），（Ｂ）を選択せず、単にカーソルの中心化設定を行ないたい場合、「分析位置制御モード」を選択した後に画面上の任意の場所でダブルクリックを行なうと、カーソル位置を画面の中心に設定する工程を加えても良い。
ユーザが一方の移動モード、例えば「視野移動モード（Ａ）」を選択できないように設定する手段を加えてもよい。この場合、画面上に「視野移動モード（Ａ）」の可／不可を選択するアイコンを設けたり、マウスの他のボタンに可／不可を選択する設定機能を割り当てるようにすればよい。

次に他の実施例を説明する。
図３で示したように、ディスプレイ画面を中心を含む内側領域、その外側の外側領域及び外周領域に区分けし、さらに以下のいずれかの移動モード（Ｃ）〜（Ｆ）の少なくとも１つを含むようにする。これらの移動モード（Ｃ）〜（Ｆ）は、上記の視野移動モード（Ａ）や観察点移動モード（Ｂ）と組み合わせて行なうことができる。

（Ｃ）外周領域の上下端７４Ｌ，７４Ｒ，７５Ｌ，７５Ｒでマウスのドラッグを開始すると、カーソルが示す位置の左右の移動に追従して横方向に観察点の移動を制御する観察点移動モード（Ｂ'）。
（Ｄ）外周領域の左右端７６Ｕ，７６Ｄ，７７Ｕ，７７Ｄでマウスのドラッグを開始すると、カーソルが示す位置の上下の移動に追従して縦方向に観察点の移動を制御する観察点移動モード（Ｂ'）。
（Ｅ）外周領域の上下端の中央部７４Ｃ，７５Ｃでマウスのドラッグを開始すると、上下端の中央部からカーソルの横方向までの距離又はその中央部の中心からのカーソルの軌跡に応じて、その横方向に視野の移動を制御する視野移動モード（Ａ’）。
（Ｆ）外周領域の左右端の中央部７６Ｃ，７７Ｃでマウスのドラッグを開始すると、左右端の中央部からカーソルの縦方向までの距離又はその中央部の中心からのカーソルの軌跡に応じて、その縦方向に視野の移動を制御する視野移動モード（Ａ’）。

図３では上下端及び左右端は一定の幅を持った領域を示しているが、市販のソフトウエアに使われているようなスクロールバーによっても実施することができる。
同実施例におけるカーソルのデザインは、視野移動モード（Ａ’）では上述した視野移動モード（Ａ）、観察点移動モード（Ｂ'）では上述した観察点移動モード（Ｂ）に対応するデザインに変更される。
また、試料ステージ１２の制御機構も上述の図１，２で説明したシステムを用いることができる。

上記の実施例では走査型電子顕微鏡を示したが、観察画像は電子顕微鏡像に限らず、光学顕微鏡など、他の観察手段を備える場合にも適用することができる。
また、通常の分析位置の移動は試料ステージの移動によって行なうが、電子線走査像では、観察倍率が高い場合にはビームシフトによっても移動させることが可能である。本発明においては、試料テーブルによる移動とビームシフトによる移動を組み合わせることもできる。

本発明は、電子ビームやイオンビーム等を用いて試料表面の分析を行なう電子顕微鏡のシステムに利用することができる。

走査電子顕微鏡による試料表面分析装置の概略図（右側）、及びその動作の制御を行なうブロック図（左側）である。 試料ステージを制御するための演算手段を説明するブロック図である 画像表示手段の一例を示す図である。 「分析位置制御モード」を選択した際、移動モード判別部が視野移動モード（Ａ）と観察点移動モード（Ｂ）を判別する際のフローチャートである。 視野移動モードを説明するフローチャートである。 同移動モードの動作を示す図である。 観察点移動モードを説明するフローチャートである。 同移動モードの動作を示す図である。

符号の説明

２ 電子銃
４ フィラメント
６ アノード
８ 収束レンズ
１０ 対物絞り
１２ 試料ステージ
１４ 分析試料
１６ 走査コイル
１８ 対物レンズ
２０ 筐体
２２ 二次電子検出器

Claims (7)

1. ディスプレイ画面を中心を含む内側領域及びその外側の外側領域に区分けし、カーソルが位置する領域に基づいて少なくとも以下の移動モードにより前記画面に表示される試料表面の分析位置の移動を制御する試料観察位置の移動制御方法。
   （Ａ）カーソルが前記内側領域にある状態でマウスのドラッグを開始すると、前記画面の中心点からカーソルまでの距離又はカーソルの軌跡に応じて、前記画面上に表示される視野の移動を制御する視野移動モード、及び
   （Ｂ）カーソルが前記外側領域にある状態でマウスのドラッグを開始すると、カーソルが示す位置に追従して、前記画面上に表示される観察点の移動を制御する観察点移動モード。
2. カーソルが前記内側領域にある状態でマウスをクリックすると、カーソルは前記画面の中心点に移動するように制御する請求項１に記載の試料観察位置の移動制御方法。
3. 前記外側領域のうち、画面外周部を外周領域として割り当て、さらに以下のいずれかの移動モードの少なくとも１つを含む請求項１又は２に記載の試料観察位置の移動制御方法。
   （Ｃ）カーソルが前記外周領域の上下端にある状態でマウスのドラッグを開始すると、カーソルの左右の移動に追従して横方向に観察点の移動を制御する観察点移動モード、
   （Ｄ）カーソルが前記外周領域の左右端にある状態でマウスのドラッグを開始すると、カーソルの上下の移動に追従して縦方向に観察点の移動を制御する観察点移動モード、
   （Ｅ）カーソルが前記外周領域の上下端の中央部として割り当てられた特定の領域内にある状態でマウスのドラッグを開始すると、前記上下端の中央からカーソルの横方向までの距離又はカーソルの軌跡に応じて、横方向に視野の移動を制御する視野移動モード、及び
   （Ｆ）カーソルが前記外周領域の左右端の中央部として割り当てられた特定の領域内にある状態でマウスのドラッグを開始すると、前記左右端の中央からカーソルの縦方向までの距離又はカーソルの軌跡に応じて、縦方向に視野の移動を制御する視野移動モード。
4. 前記移動は移動方向、移動距離又は移動速度をパラメータとして制御される請求項１から３のいずれか一項に記載の試料観察位置の移動制御方法。
5. カーソルは前記移動モードそれぞれに応じたカーソルデザインに変化する請求項１から４のいずれか一項に記載の試料観察位置の移動制御方法。
6. 前記内側領域、前記外側領域又は前記外周領域を前記画面上で視覚的に区分けして表示する請求項３から５のいずれか一項に記載の試料観察位置の移動制御方法。
7. マウスの操作を認識するマウス操作認識手段と、
   カーソルの軌跡を認識するカーソル位置制御手段と、
   前記マウス操作認識手段によるボタン操作状態、前記カーソル位置制御手段によるカーソルの軌跡、又は試料ステージにおける現在位置座標に基づいて、視野移動モード又は観察点移動モードを行なうための演算を行なう演算手段と、
   前記演算手段により出力されたステージ座標信号をステージ駆動信号に変換するステージ座標制御手段と、
   前記ステージ駆動信号をステージモータ駆動信号に変換するステージ駆動手段と、
   前記ステージモータ駆動信号に基づいて少なくとも水平面内の二次元に制御される試料ステージを有する電子顕微鏡と、を備え、
   前記演算手段は請求項１から６のいずれか一項に記載の試料観察位置の移動制御方法を行なうものである試料表面の分析装置。

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