JP7390343B2 - 散布図表示装置、散布図表示方法、および分析装置 - Google Patents

散布図表示装置、散布図表示方法、および分析装置 Download PDF

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Description

本発明は、散布図表示装置、散布図表示方法、および分析装置に関する。
電子プローブマイクロアナライザー（ＥＰＭＡ）等の表面分析装置により取得した元素マップデータ（元素ごとの検出強度または濃度の分布データ）を解析する手法として、相分析が知られている。相分析は、複数の元素の相関関係から化合物の相を抽出し、相ごとの相関を調べる手法である。
相分析において、多数の元素が試料に含まれる場合には、分析者はいずれの元素の組み合わせについて相分析すべきかを判断する必要がある。そのため、異なる２元素を組み合わせて作成された散布図をマトリックス状に配置して散布図マトリックス（散布図行列）を作成し、複数の元素の相関をわかりやすく表示する手法が用いられる。
例えば、特許文献１には、主成分分析の結果に基づいて元素に優先順位をつけて散布図を配列することによって、複数の散布図を元素の相関がわかりやすいように表示できる散布図表示装置が開示されている。
特開２０１６－８０５７５号公報
散布図マトリックスでは、散布図マトリックスを構成する散布図の表示範囲を変更することで、元素の相関をわかりやすく表示できる場合がある。例えば、２つの試料を比較する場合には、２つの散布図マトリックスを並べて表示する。このとき、２つの散布図マトリックスにおいて、散布図の表示範囲を揃えることで、目視による比較が容易になる。
本発明に係る散布図表示装置の一態様は、
分析装置で取得した複数のマップデータに基づいて複数の散布図を作成し、作成された前記複数の散布図をマトリックス状に配置した散布図マトリックスを表示部に表示する散布図表示装置であって、
前記複数の散布図の各々における項目の表示範囲の指定を受け付ける表示条件受付部と、
前記複数の散布図から表示範囲が指定された項目を有する全ての散布図を抽出し、抽出された前記散布図の項目の表示範囲を表示範囲の指定に基づいて変更する表示制御部と、を含む。
このような散布図表示装置では、散布図マトリックスを構成する散布図の表示範囲を容易に変更することができる。また、表示制御部は、複数の散布図から表示範囲が指定された項目を有する全ての散布図を抽出するため、１つの項目の表示範囲を指定することで、当該項目を含む全ての散布図の表示範囲を一括して変更できる。
本発明に係る散布図表示方法の一態様は、
分析装置で取得した複数のマップデータに基づいて複数の散布図を作成し、作成された
前記複数の散布図をマトリックス状に配置した散布図マトリックスを表示部に表示する散布図表示方法であって、
前記複数の散布図の各々における項目の表示範囲の指定を受け付ける工程と、
前記複数の散布図から表示範囲が指定された項目を有する全ての散布図を抽出し、抽出された前記散布図の項目の表示範囲を表示範囲の指定に基づいて変更する工程と、
を含む。
このような散布図表示方法では、散布図マトリックスを構成する散布図の表示範囲を容易に変更することができる。また、複数の散布図から表示範囲が指定された項目を有する全ての散布図を抽出するため、１つの項目の表示範囲を指定することで、当該項目を含む全ての散布図の表示範囲を一括して変更できる。
本発明に係る分析装置の一態様は、
上記散布図表示装置を含む。
表面分析装置の構成を示す図。 散布図表示装置の構成を示す図。 散布図マトリックスの一例を示す図。 散布図マトリックスを説明するための図。 散布図を説明するための図。 散布図マトリックスを模式的に示す図。 表示範囲指定ダイアログを説明するための図。 表示範囲変更処理の一例を示すフローチャート。 元素選択ダイアログを説明するための図。 配置変更処理の一例を示すフローチャート。 ２つの散布図マトリックスを模式的に示す図。 ２つの表示範囲指定ダイアログを説明するための図。 ２つの散布図マトリックスの表示範囲を１つの表示範囲指定ダイアログで指定する場合を説明するための図。 表示範囲変更処理の変形例を示すフローチャート。 表示範囲を指定するためのラバーバンドを模式的に示す図。
以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
１． 散布図表示装置
まず、本発明の一実施形態に係る散布図表示装置について図面を参照しながら説明する。図１は、本発明の一実施形態に係る散布図表示装置１００を含む表面分析装置１０００の構成を示す図である。
表面分析装置１０００は、図１に示すように、分析装置本体部１０と、散布図表示装置１００と、を含む。
表面分析装置１０００は、電子線ＥＢを試料Ｓに照射して電子線ＥＢの照射に応じて試料Ｓから発生する特性Ｘ線を検出し、試料Ｓに含まれている元素の定性分析または定量分析を行う。また、表面分析装置１０００は、試料Ｓに対して面分析（マップ分析）を行うことができる。表面分析装置１０００は、例えば、電子プローブマイクロアナライザー（
ＥＰＭＡ）である。
（１）分析装置本体部
分析装置本体部１０は、電子銃１１と、集束レンズ１２と、偏向器１３と、対物レンズ１４と、試料ステージ１５と、二次電子検出器１７と、エネルギー分散型検出器１８と、波長分散型検出器１９と、を含む。
電子銃１１は、電子線ＥＢを発生させる。電子銃１１は、所定の加速電圧により加速された電子線ＥＢを試料Ｓに向けて放出する。
集束レンズ１２は、電子線ＥＢを集束させる。偏向器１３は、電子線ＥＢを偏向させる。対物レンズ１４は、電子線ＥＢを試料Ｓ上で集束させて、電子プローブを形成する。集束レンズ１２および対物レンズ１４で電子線ＥＢを収束して電子プローブを形成し、偏向器１３で電子線ＥＢを偏向することによって、電子プローブで試料Ｓを走査できる。
試料ステージ１５は、試料Ｓを保持している。試料ステージ１５上には、試料Ｓが載置される。試料ステージ１５は、試料Ｓを移動させる移動機構を有している。試料ステージ１５で試料Ｓを移動させることにより、電子線ＥＢ（電子プローブ）が照射される位置（分析位置）を変更できる。
二次電子検出器１７は、試料Ｓから放出された二次電子を検出するための検出器である。二次電子検出器１７の測定結果（出力信号）から、二次電子像を得ることができる。二次電子検出器１７の出力信号は、電子線ＥＢの走査信号と同期した画像データとして、例えば、散布図表示装置１００の記憶部に記憶される。
エネルギー分散型検出器１８は、Ｘ線をエネルギーで弁別し、スペクトルを得るための検出器である。エネルギー分散型検出器１８は、電子線ＥＢを試料Ｓに照射することによって試料Ｓから放出された特性Ｘ線を検出する。
波長分散型検出器１９は、電子線ＥＢを試料Ｓに照射することによって試料Ｓから放出された特性Ｘ線を分離して検出する。波長分散型検出器１９は、例えば、分光結晶によるＸ線のブラッグ反射を利用して特定波長のＸ線を分離する。波長分散型検出器１９は、例えば、波長分散型Ｘ線分光器（ＷＤＳ）である。
分析装置本体部１０では、試料Ｓのマップ分析（面分析）を行うことができる。具体的には、分析装置本体部１０では、試料Ｓの指定範囲を所定のピクセル（単位領域）に区切り、エネルギー分散型検出器１８または波長分散型検出器１９によって、各ピクセルのＸ線強度を測定することで元素マップデータを得ることができる。
元素マップデータは、元素の２次元的な分布の情報を含むデータであり、２次元的な位置（座標）と、各位置でのＸ線の強度（または元素の濃度）の情報を含む。元素マップデータは、元素ごとに得られる。例えば、元素ａの元素マップデータは、元素ａの２次元的な分布の情報を含むデータであり、位置と、各位置での元素ａのＸ線強度（または元素ａの濃度）の情報を含む。分析装置本体部１０から出力された元素マップデータは、散布図表示装置１００の記憶部１２４に記憶される。
（２）散布図表示装置
散布図表示装置１００は、分析装置本体部１０におけるマップ分析の結果として得られた元素マップデータを取得し、取得した元素マップデータに対して主成分分析を行い、主成分分析の結果に基づいて元素に優先順位をつけ、散布図を優先順位に基づいて配列し、表示部１２２に表示させる。
図２は、散布図表示装置１００の構成を示す図である。散布図表示装置１００は、図２に示すように、処理部１１０と、操作部１２０と、表示部１２２と、記憶部１２４と、を含む。
操作部１２０は、ユーザーが操作情報を入力するためのものであり、入力された操作情報を処理部１１０に出力する。操作部１２０の機能は、キーボード、マウス、ボタン、タッチパネル、タッチパッドなどの入力機器により実現することができる。
表示部１２２は、処理部１１０によって生成された画像を表示するものであり、その機能は、ＬＣＤ、ＣＲＴなどのディスプレイにより実現できる。表示部１２２は、例えば、処理部１１０（表示制御部１１８）で作成された散布図マトリックスを表示することができる。また、表示部１２２は、例えば、二次電子像や、元素マップ等を表示することができる。
記憶部１２４は、処理部１１０の各部としてコンピューターを機能させるためのプログラムや各種データを記憶している。また、記憶部１２４は、処理部１１０のワーク領域としても機能する。記憶部１２４の機能は、ハードディスク、ＲＡＭ（Random Access Memory）などにより実現できる。
処理部１１０は、記憶部１２４に記憶されているプログラムを実行することで、以下に説明する、元素マップデータ取得部１１２、主成分分析部１１４、順位付与部１１６、表示制御部１１８、表示条件受付部１１９として機能する。処理部１１０の機能は、各種プロセッサ（ＣＰＵ、ＤＳＰ等）、ＡＳＩＣ（ゲートアレイ等）などのハードウェアで、プログラムを実行することにより実現できる。なお、処理部１１０の少なくとも一部をハードウェア（専用回路）で実現してもよい。処理部１１０は、元素マップデータ取得部１１２と、主成分分析部１１４と、順位付与部１１６と、表示制御部１１８と、表示条件受付部１１９と、を含む。
元素マップデータ取得部１１２は、複数の元素マップデータを取得する。例えば、元素マップデータ取得部１１２は、分析装置本体部１０での面分析で得られた元素マップデータの情報を取得する。なお、元素マップデータ取得部１１２は、分析装置本体部１０での面分析で得られた元素マップデータから、ユーザーによって選択された、複数の元素マップデータの情報を取得してもよい。分析装置本体部１０での面分析で得られた元素マップデータは、記憶部１２４に記憶されており、元素マップデータ取得部１１２は、記憶部１２４から元素マップデータを読み出す。
主成分分析部１１４は、元素マップデータ取得部１１２で取得した複数の元素マップデータに対して主成分分析を行う。
ここで、主成分分析とは、多変量解析の手法の一つであり、多変量のデータからそのデータ群の特徴を表す少数の特徴的な変量（合成変量）を求める手法である。合成変量（主成分）ｕは、下記式（１）で表される。
Figure 0007390343000001
ただし、Ｎは変量の数、ｉは自然数、ｘは各変量のデータ、ａ１，ａ２，・・・，ａＮ－１，ａＮは合成変量の係数（主成分係数）である。
合成変量の係数（主成分係数）ａ１，ａ２，・・・，ａＮ－１，ａＮは、合成変量ｕの分散が最大になるように求める。ただし、合成変量の係数（主成分係数）は以下の関係を満たす。
Figure 0007390343000002
合成変量の係数（主成分係数）ａ１，ａ２，・・・，ａＮ－１，ａＮを求めるためには、まず、元のデータ群の分散・共分散行列を計算し、その分散・共分散行列の固有値問題を解く。その固有値問題の解である固有値ベクトルが係数ａ１，ａ２，・・・，ａＮ－１，ａＮに対応する。また、得られる主成分はＮ組（元のデータ群の個数と同じ）であり、固有値の大きいものから第１主成分、第２主成分、・・・、第Ｎ主成分と呼ばれる。
主成分分析部１１４は、元素マップデータ取得部１１２で取得した複数の元素マップデータの全ピクセルのデータ（強度値または濃度値）に対して主成分分析を行い、第１主成分の主成分係数、および第２主成分の主成分係数を求める。
順位付与部１１６は、主成分分析部１１４における主成分分析の結果に基づいて、元素に優先順位をつける。順位付与部１１６は、第１主成分の主成分係数の絶対値が最も大きい元素を優先順位が１番目に高い元素とし、第２主成分の主成分係数の絶対値が最も大きい元素を優先順位が２番目に高い元素とする。
順位付与部１１６は、例えば、優先順位が２番目に高い元素を除いて、第１主成分の主成分係数の絶対値が２番目に大きい元素を優先順位が３番目に高い元素とし、第１主成分の主成分係数の絶対値が３番目に大きい元素を優先順位が４番目に高い元素とする。５番目以降も同様にして第１主成分の主成分係数が大きいほうから順に優先順位を決定する。
表示制御部１１８は、各元素を組み合わせて作成された複数の散布図を、順位付与部１１６で各元素につけられた優先順位に基づいて配列し、表示部１２２に表示させる。表示制御部１１８は、例えば、各元素を組み合わせて作成された複数の散布図を、優先順位に基づいてマトリックス状に配列して散布図マトリックス（散布図行列）を作成する。
図３は、散布図マトリックスの一例を示す図である。図３に示すように、散布図マトリックスは、異なる２元素を組み合わせて作成された散布図をマトリックス状に配置したものである。
図４は、散布図マトリックスを説明するための図である。なお、図４では各散布図を簡略化して図示している。
図４に示す例では、元素ａ，ｂ，ｃ，ｄ，ｅのうちの２元素を組み合わせて作成された散布図が配置されている。図２に示す例では、縦方向に並ぶ散布図は横軸が同じ元素であり、横方向に並ぶ散布図は縦軸が同じ元素である。
表示制御部１１８は、優先順位が１番目に高い元素（例えば元素ａ）と、２番目に高い元素（例えば元素ｂ）と、を組み合わせて作成された散布図（（ａ，ｂ）散布図）を、散
布図マトリックスの角部に配置する。次に、優先順位が１番目に高い元素と、優先順位が３番目以降の元素（ｃ，ｄ，ｅ）と、を組み合わせて作成された散布図（（ａ，ｃ）散布図、（ａ，ｄ）散布図、（ａ，ｅ）散布図）を、優先順位が高い順に角部から縦方向に配置する。
次に、表示制御部１１８は、優先順位が２番目に高い元素と、優先順位が３番目以降の元素（ｃ，ｄ，ｅ）と、を組み合わせて作成された散布図（（ｂ，ｃ）散布図、（ｂ，ｄ）散布図、（ｂ，ｅ）散布図）を、優先順位が高い順に端部から角部に向かって横方向に配置する。これにより、残りの散布図（（ｃ，ｄ）散布図、（ｃ，ｅ）散布図、（ｄ，ｅ）散布図）の配置も決まり、散布図マトリックスを作成することができる。
図５は、（ａ，ｂ）散布図を説明するための図である。
表示制御部１１８は、散布図の各項目（軸）の表示範囲を、マップデータの信号強度の最大値および最小値に基づいて決定する。表示制御部１１８は、元素ａのマップデータの信号強度の最大値または最大値よりも大きい値を散布図の元素ａの軸の表示範囲の上限値とし、元素ａのマップデータの信号強度の最小値または最小値よりも小さい値を元素ａの軸の表示範囲の下限値として、散布図の表示範囲を決定する。散布図のその他の軸についても同様に、マップデータの信号強度の最大値または最大値よりも大きい値を上限値とし、マップデータの信号強度の最小値または最小値よりも小さい値を下限値とする。これにより、元素ａのマップデータおよび元素ｂのマップデータを散布図内に表示できる。
例えば、元素ａのマップデータにおいて信号強度の最大値がＡｍａｘ、最小値がＡｍｉｎのとき、（ａ，ｂ）散布図の元素ａの軸（横軸）の表示範囲は、Ａｍｉｎ－Ｃ以上Ａｍａｘ＋Ｄ以下の範囲となる。なお、ＣおよびＤは、任意の値に設定可能である。また、元素ｂのマップデータにおいて信号強度の最大値がＢｍａｘ、最小値がＢｍｉｎのとき、元素ｂの軸（縦軸）の表示範囲は、Ｂｍｉｎ－Ｅ以上Ｂｍａｘ＋Ｆ以下の範囲となる。なお、ＥおよびＦは、任意の値に設定可能である。表示制御部１１８は、その他の散布図についても同様に表示範囲を決定する。
表示制御部１１８は、上記のようにして作成された散布図を元素の優先順位に従って配置し、散布図マトリックスを表示部１２２に表示させる。
表示条件受付部１１９は、散布図マトリックスを構成する複数の散布図の各々における項目の表示範囲の指定を受け付ける。
表示制御部１１８は、表示条件受付部１１９が項目の表示範囲の指定を受け付けると、複数の散布図から表示範囲が指定された項目を有する散布図を抽出する。そして、表示制御部１１８は、抽出された散布図の項目の表示範囲を、表示範囲の指定に基づいて変更する。
２． 散布図表示方法
２．１． 散布図マトリックスの表示
図６は、散布図マトリックスを模式的に示す図である。図６に示す例では、主成分分析の結果、Ａｌ、Ｆｅ、Ｚｎ、Ｓｉ、Ｍｇの順で優先順位が高いと順位づけされた。表示制御部１１８は、各元素を組み合わせて作成された複数の散布図を順位付与部１１６で各元素につけられた優先順位に基づいて配列し、表示部１２２に表示させる。
具体的には、表示制御部１１８は、優先順位が１番目に高いＡｌと、２番目に高いＦｅと、を組み合わせて散布図を作成し、当該散布図（（Ａｌ，Ｆｅ）散布図）を、散布図マ
トリックスの左下の角部に配置する。
また、表示制御部１１８は、優先順位が１番目に高いＡｌと、優先順位が３番目以降の元素（元素Ｚｎ，Ｓｉ，Ｍｇ）と、を組み合わせて作成された散布図（（Ａｌ，Ｚｎ）散布図、（Ａｌ，Ｓｉ）散布図、（Ａｌ，Ｍｇ）散布図）を、優先順位が高い順に角部から縦方向に配置する。次に、優先順位が２番目に高いＦｅと、優先順位が３番目以降の元素（元素Ｚｎ，Ｓｉ，Ｍｇ）と、を組み合わせて作成された散布図（（Ｆｅ，Ｚｎ）散布図、（Ｆｅ，Ｓｉ）散布図、（Ｆｅ，Ｍｇ）散布図）を、優先順位が高い順に端部から角部に向かって横方向に配置する。これにより、残りの散布図（（Ｚｎ，Ｓｉ）散布図、（Ｚｎ，Ｍｇ）散布図、（Ｓｉ，Ｍｇ）散布図）の配置も決まり、散布図マトリックスを作成することができる。
このとき、表示制御部１１８は、（Ａｌ，Ｆｅ）散布図のＡｌ（横軸）の表示範囲をＡｌのマップデータの信号強度の最小値および最大値に基づいて決定する。また、Ｆｅ（縦軸）の表示範囲をＦｅのマップデータの信号強度の最小値および最大値に基づいて決定する。表示制御部１１８は、その他の散布図についても同様に、表示範囲を決定する。
２．２． 表示範囲の変更
（１）表示範囲指定ダイアログの操作
図７は、表示範囲指定ダイアログ２を説明するための図である。表示範囲指定ダイアログ２を用いることによって、散布図マトリックスを構成する各散布図の表示範囲を変更することができる。
表示範囲指定ダイアログ２は、散布図の項目ごとに、表示範囲を指定する欄が設けられたテーブル２１０と、適用ボタン２２０と、を含む。テーブル２１０は、項目欄２１２と、表示範囲を指定するための下限欄２１４および上限欄２１６と、を含む。
項目欄２１２には、散布図の各軸の項目が表示されている。項目欄２１２には、項目を特定するための名前が記載されており、図示の例では、元素名と信号の種類が記載されている。ここでは、信号の種類として、ＥＤＳとＷＤＳが記載される。
下限欄２１４は、散布図の表示範囲の下限が入力され、上限欄２１６には、散布図の表示範囲の上限が入力される。初期状態では、下限欄２１４にはマップデータの信号強度の最小値に基づく値が入力され、上限欄２１６にはマップデータの信号強度の最大値に基づく値が入力される。
下限欄２１４および上限欄２１６には、ユーザーが任意の値を入力できる。ユーザーが操作部１２０を操作して下限欄２１４および上限欄２１６にそれぞれ値を入力し、適用ボタン２２０を押すことで、表示範囲が指定される。
例えば、Ｓｉ ＷＤＳの下限欄２１４に「１０」を入力し、上限欄２１６に「５００」を入力し適用ボタン２２０を押して表示範囲を指定すると、Ｓｉの項目を有する４つの散布図において、Ｓｉの表示範囲が「１０－５００」に変更される。具体的には、Ｓｉ ＷＤＳを横軸とする（Ｓｉ，Ｆｅ）散布図および（Ｓｉ，Ｚｎ）散布図では、横軸の下限値が「１０」、横軸の上限値が「５００」に変更される。また、Ｓｉ ＷＤＳを縦軸とする（Ａｌ，Ｓｉ）散布図および（Ｍｇ，Ｓｉ）散布図では、縦軸の下限値が「１０」、縦軸の上限値が「５００」に変更される。
複数の項目について、それぞれ下限欄２１４および上限欄２１６に値を入力して表示範
囲を指定した場合には、指定された項目を含む全ての散布図について指定された項目の表示範囲が変更される。
なお、表示範囲指定ダイアログ２で設定された、各項目（元素）ごとの表示範囲の情報は、記憶部１２４に記憶される。例えば、表示制御部１１８は、散布図表示装置１００を起動した際に、記憶部１２４に記憶された情報を読み出して、表示範囲指定ダイアログ２のテーブル２１０に各項目ごとの表示範囲を再現してもよい。
（２）処理
図８は、散布図表示装置１００の処理部１１０の表示範囲変更処理の一例を示すフローチャートである。
表示制御部１１８は、図６に示す散布図マトリックスおよび図７に示す表示範囲指定ダイアログ２を表示部１２２に表示する（Ｓ１００）。このとき、散布図マトリックスを構成する散布図の各項目（元素）の表示範囲は、下限値が各元素のマップデータの信号強度の最小値に基づく値であり、上限値が信号強度の最大値に基づく値である。また、表示範囲指定ダイアログ２のテーブル２１０には、各元素ごとに、下限欄２１４には表示範囲の最小値が示され、上限欄２１６には表示範囲の最大値が示されている。
表示条件受付部１１９は、ユーザーがテーブル２１０において表示範囲を入力する操作を行ったか否かを判定し（Ｓ１０２）、表示範囲を入力する操作が行われるまで待機する（Ｓ１０２のＮｏ）。例えば、各項目の下限欄２１４および上限欄２１６に値が入力され、適用ボタン２２０を押す操作が行われた場合に、表示範囲を入力する操作が行われたと判定する。
表示条件受付部１１９は、ユーザーが表示範囲を入力する操作を行ったと判定した場合（Ｓ１０２のＹｅｓ）、指定された項目の表示範囲の指定を受け付ける（Ｓ１０４）。表示条件受付部１１９は、例えば、テーブル２１０の下限欄２１４に入力された値および上限欄２１６に入力された値から指定された表示範囲の情報を取得する。
表示制御部１１８は、散布図マトリックスから表示範囲が指定された元素を項目とする全ての散布図を抽出する（Ｓ１０６）。次に、表示制御部１１８は、抽出した散布図の項目の表示範囲が指定された表示範囲となるように、マップデータを用いて散布図を再作成する（Ｓ１０８）。
表示制御部１１８は、再作成した散布図を初期状態の散布図と入れ替えて散布図マトリックスに組み込み、表示部１２２に表示する（Ｓ１１０）。処理部１１０は、再作成した散布図を表示部１２２に表示した後、表示範囲変更処理を終了する。
（３）動作例
散布図表示装置１００の動作の一例として、図６に示す散布図マトリックスと図７に示す表示範囲指定ダイアログ２が表示された状態で、ユーザーが表示範囲指定ダイアログ２において、Ａｌの下限欄２１４に「２０」、上限欄２１６に「２００」を入力し、Ｚｎの下限欄２１４に「３０」、上限欄２１６に「３００」を入力する操作を行った場合の動作について説明する。
上記のユーザーの操作が行われると、表示条件受付部１１９は、ユーザーが表示範囲を入力する操作を行ったと判定し、Ａｌの表示範囲を「２０－２００」とする指定、およびＺｎの表示範囲を「３０－３００」とする指定を受け付ける。
表示制御部１１８は、散布図マトリックスから、Ａｌを項目とする４つの散布図（（Ａｌ，Ｆｅ）散布図、（Ａｌ，Ｚｎ）散布図、（Ａｌ，Ｓｉ）散布図、（Ａｌ，Ｍｇ）散布図）と、Ｚｎを項目とする４つの散布図（（Ａｌ，Ｚｎ）散布図、（Ｍｇ，Ｚｎ）散布図、（Ｓｉ，Ｚｎ）散布図、（Ｚｎ，Ｆｅ）散布図）を抽出する。
表示制御部１１８は、（Ａｌ，Ｆｅ）散布図、（Ａｌ，Ｚｎ）散布図、（Ａｌ，Ｓｉ）散布図、および（Ａｌ，Ｍｇ）散布図の横軸を「２０－２００」の範囲に変更する。また、表示制御部１１８は、（Ａｌ，Ｚｎ）散布図、（Ｍｇ，Ｚｎ）散布図、および（Ｓｉ，Ｚｎ）散布図の縦軸を「３０－３００」に変更し、（Ｚｎ，Ｆｅ）散布図の横軸を「３０－３００」の範囲に変更する。表示制御部１１８は、表示範囲が変更された散布図を再作成する。
表示制御部１１８は、抽出した散布図を、再作成した散布図と入れ替えて散布図マトリックスを表示部１２２に表示する。
以上の処理により、散布図の表示範囲を変更できる。
２．３． 散布図の配置の変更
図９は、元素選択ダイアログ４を説明するための図である。
元素選択ダイアログ４は、散布図マトリックスの構成する散布図の項目となる元素を選択し、散布図マトリックスにおける散布図の配置を指定するためのものである。元素選択ダイアログ４で散布図の配置を指定することで、散布図マトリックスを構成する複数の散布図の配置を変更できる。
元素選択ダイアログ４は、散布図マトリックスのプレビュー４０１と、使用できる元素の一覧が表示される元素リスト４０２と、選択された元素の一覧が表示される選択リスト４０４と、元素入れ替えボタン４０６と、優先順位入れ替えボタン４０８と、適用ボタン４１０と、を含む。
プレビュー４０１には、散布図マトリックスのプレビューが表示される。プレビュー４０１には、元素の優先順位を示す番号が付されている。図示の例では、散布図の各項目に、元素の優先順位を示す１から５の番号が付されている。
元素リスト４０２には、散布図マトリックスを構成する散布図の項目に使用できる元素の一覧が表示される。元素リスト４０２の元素を選択し、元素入れ替えボタン４０６を操作することで、選択された元素を選択リスト４０４に含めることができる。また、選択リスト４０４の元素を選択し、元素入れ替えボタン４０６を操作することで、元素を選択リスト４０４から外すことができる。
選択リスト４０４には、散布図の項目として選択された元素の一覧が表示される。選択リスト４０４には、選択された元素と、選択された元素の優先順位を示す番号と、が表示される。初期状態では、選択リスト４０４には、主成分分析の結果に基づいてつけられた優先順位の順で、元素が並んでいる。
選択リスト４０４では、選択リスト４０４に表示された元素名を選択し、優先順位入れ替えボタン４０８を操作することで、元素の優先順位を変更できる。選択リスト４０４を変更した後、適用ボタン２２０を押すことで、元素の優先順位を指定できる。ここで、散布図マトリックスにおける散布図の配置は、元素の優先順位で決まるため、元素の優先順
位を指定することで、散布図マトリックスにおける散布図の配置を指定できる。
例えば、選択リスト４０４において、Ａｌの優先順位を「２」とし、Ｆｅの優先順位を「１」とすることによって、散布図マトリックスにおいて、表示位置「１」にＦｅ、表示位置「２」にＡｌが設定され、散布図が並び変えられる。
元素選択ダイアログ４で設定された元素の優先順位の情報（散布図の配置の情報）は、記憶部１２４に記憶される。例えば、表示制御部１１８は、散布図表示装置１００を起動した際に、記憶部１２４に記憶された優先順位の情報を読み出して、散布図の配置を再現してもよい。
（２）処理
図１０は、散布図表示装置１００の処理部１１０の配置変更処理の一例を示すフローチャートである。
表示制御部１１８は、図９に示す元素選択ダイアログ４を表示部１２２に表示する（Ｓ２００）。このとき、選択リスト４０４には、主成分分析の結果に基づいてつけられた優先順位の順で、元素が並んでいる。
表示条件受付部１１９は、ユーザーが選択リスト４０４において元素の優先順位を変更する操作を行ったか否かを判定し（Ｓ２０２）、優先順位を変更する操作が行われるまで待機する（Ｓ２０２のＮｏ）。例えば、選択リスト４０４において元素の優先順位が変更され、適用ボタン４１０を押す操作が行われた場合に、優先順位を変更する操作、すなわち、散布図の配置を変更する操作が行われたと判定する。
表示条件受付部１１９は、ユーザーが元素の優先順位を変更する操作を行ったと判定した場合（Ｓ２０２のＹｅｓ）、散布図の配置の指定を受け付ける（Ｓ２０４）。
表示制御部１１８は、元素の優先順位に基づいて、散布図マトリックスにおいて散布図が指定された配置となるように散布図を再配置し（Ｓ２０６）、表示部１２２に表示する（Ｓ２０８）。処理部１１０は、再配置した散布図を表示部１２２に表示した後、配置変更処理を終了する。
３． 効果
散布図表示装置１００では、分析装置本体部１０で取得した複数のマップデータに基づいて複数の散布図を作成し、作成された複数の散布図をマトリックス状に配置した散布図マトリックスを表示部１２２に表示する。また、表示条件受付部１１９は、複数の散布図の各々における項目の表示範囲の指定を受け付け、表示制御部１１８は、複数の散布図から表示範囲が指定された項目を有する全ての散布図を抽出し、抽出された散布図の項目の表示範囲を表示範囲の指定に基づいて変更する。
そのため、散布図表示装置１００では、散布図マトリックスを構成する散布図の表示範囲を容易に変更できる。
また、表示制御部１１８は、複数の散布図から表示範囲が指定された項目を有する全ての散布図を抽出するため、１つの項目の表示範囲を指定することで、当該項目を含む全ての散布図の表示範囲を一括して変更できる。
散布図表示装置１００では、表示制御部１１８は、抽出された散布図の項目の表示範囲が指定された表示範囲となるように、散布図を再作成する。そのため、散布図表示装置１
００では、散布図マトリックスを構成する散布図の表示範囲を変更することができる。
散布図表示装置１００では、表示条件受付部１１９は、項目ごとに表示範囲を指定する欄が設けられたテーブル２１０に表示範囲を入力する操作に基づいて、指定された項目の表示範囲の指定を受け付ける。そのため、散布図表示装置１００では、ユーザーは容易に表示範囲を指定できる。
散布図表示装置１００では、表示条件受付部１１９は、散布図マトリックスを構成する複数の散布図の配置の指定を受け付ける。そのため、散布図表示装置１００では、散布図マトリックスにおける散布図の配置を変更できる。
４． 変形例
次に、本発明の一実施形態に係る散布図表示装置の変形例について説明する。以下では、上述した散布図表示装置１００の例と異なる点について説明し、同様の点については説明を省略する。
４．１． 第１変形例
４．１．１． 動作例１
（１）動作
図１１は、表示部１２２に表示された、２つの散布図マトリックスを模式的に示す図である。
図１１に示すように、表示部１２２には、散布図マトリックスを表示するためのウィンドウ３００Ａおよびウィンドウ３００Ｂが表示されている。ウィンドウ３００Ａには、試料Ａの散布図マトリックスが表示され、ウィンドウ３００Ｂには、試料Ｂの散布図マトリックスが表示されている。
ここで、試料Ａの散布図マトリックスと試料Ｂの散布図マトリックスを比較する場合、２つの散布図マトリックスにおいて、各散布図の配置が同じであって、対応する項目の表示範囲が同じであれば比較が容易である。
図１２は、ウィンドウ３００Ａに表示された散布図マトリックスのための表示範囲指定ダイアログ２Ａ、およびウィンドウ３００Ｂに表示された散布図マトリックスのための表示範囲指定ダイアログ２Ｂを説明するための図である。
散布図表示装置１００では、表示部１２２に複数の散布図マトリックスが表示される場合には、表示される複数の散布図マトリックスに１対１に対応して複数の表示範囲指定ダイアログが表示される。ここでは、２つの散布図マトリックスに対応して２つの表示範囲指定ダイアログ２（表示範囲指定ダイアログ２Ａおよび表示範囲指定ダイアログ２Ｂ）が表示される。
表示範囲指定ダイアログ２Ａおよび表示範囲指定ダイアログ２Ｂは、コピーボタン２３０と、ペーストボタン２３２と、を含む。
ユーザーがコピーボタン２３０を押す操作を行うことで、テーブル２１０に入力された内容をすべてコピーできる。また、ユーザーがペーストボタン２３２を押す操作を行うことで、テーブル２１０にコピーされた内容を入力できる。
なお、このコピー処理およびペースト処理は、下限欄２１４および上限欄２１６にのみ適用可能であってもよい。この場合、項目欄２１２の変更は、元素選択ダイアログ４を用
いて行われてもよい。
また、コピー処理によって得られた情報を、テキストファイル形式で保存してもよい。
（２）処理
表示条件受付部１１９は、テーブル２１０に入力された情報をコピーする操作、およびコピーした情報を他のテーブルにペーストする操作に基づいて、指定された項目の表示範囲の指定を受け付ける。
例えば、ユーザーが操作部１２０を介して、表示範囲指定ダイアログ２Ａのテーブル２１０においてコピーボタン２３０を押す操作を行うと、表示条件受付部１１９は、表示範囲指定ダイアログ２Ａのテーブル２１０に入力された値をすべて記憶部１２４に記憶させる。
次に、ユーザーが操作部１２０を介して表示範囲指定ダイアログ２Ｂのテーブル２１０においてペーストボタン２３２を押す操作を行うと、表示条件受付部１１９は、記憶部１２４に記憶されたコピーされた値を、表示範囲指定ダイアログ２Ｂのテーブル２１０にペーストする。
この状態で、表示範囲指定ダイアログ２Ｂの適用ボタン２２０を押す操作が行われると、処理部１１０は、上述した図８に示す表示範囲変更処理を行う。
この結果、図１１に示すウィンドウ３００Ｂに表示された試料Ｂの散布図マトリックスを構成する各散布図の表示範囲を、ウィンドウ３００Ａに表示された試料Ａの散布図マトリックスを構成する各散布図の表示範囲と同じにできる。
４．１．２． 動作例２
（１）動作
なお、テーブル２１０の項目欄２１２を選択した状態でコピーボタン２３０を押す操作を行うことで、選択された項目欄２１２に入力された元素名をコピーできる。また、テーブル２１０の項目欄２１２を選択した状態でペーストボタン２３２を押す操作を行うことで、選択された項目欄２１２にコピーされた元素名を入力できる。
テーブル２１０の下限欄２１４を選択した状態でコピーボタン２３０を押す操作を行うことで、選択された下限欄２１４に入力された値をコピーできる。同様に、テーブル２１０の上限欄２１６を選択した状態でコピーボタン２３０を押す操作を行うことで、選択された上限欄２１６に入力された値をコピーできる。
テーブル２１０の下限欄２１４を選択した状態でペーストボタン２３２を押す操作を行うことで、選択された下限欄２１４にコピーされた値を入力できる。同様に、テーブル２１０の上限欄２１６を選択した状態でペーストボタン２３２を押す操作を行うことで、選択された上限欄２１６にコピーされた値を入力できる。
したがって、例えば、まず、表示範囲指定ダイアログ２Ａにおいて、５つの項目欄２１２、５つの下限欄２１４、および５つの上限欄２１６を選択した状態でコピーボタン２３０を押す操作を行う。次に、表示範囲指定ダイアログ２Ｂにおいて、５つの項目欄２１２、５つの下限欄２１４、および５つの上限欄２１６を選択した状態でペーストボタン２３２を押す操作を行う。これにより、表示範囲指定ダイアログ２Ｂのテーブル２１０に入力された内容を、表示範囲指定ダイアログ２Ａのテーブル２１０に入力された内容と同じにできる。この結果、ウィンドウ３００Ｂに表示された試料Ｂの散布図マトリックスの各散
布図の配置と各項目の表示範囲を、ウィンドウ３００Ａに表示された試料Ａの散布図マトリックスの各散布図の配置と各項目の表示範囲と同じにできる。
（２）処理
表示条件受付部１１９は、テーブル２１０に入力された情報をコピーする操作、およびコピーした情報を他のテーブルにペーストする操作に基づいて、指定された項目の表示範囲の指定を受け付ける。
例えば、ユーザーが操作部１２０を介して、表示範囲指定ダイアログ２Ａのテーブル２１０においてＡｌの下限欄２１４および上限欄２１６を選択し、選択されたＡｌの下限欄２１４および上限欄２１６に入力された値をコピーする操作（コピーボタン２３０を押す操作）を行うと、表示条件受付部１１９は、Ａｌの下限欄２１４の値および上限欄２１６の値を記憶部１２４に記憶させる。
次に、ユーザーが操作部１２０を介して表示範囲指定ダイアログ２Ｂのテーブル２１０においてＡｌの下限欄２１４および上限欄２１６を選択し、選択されたＡｌの下限欄２１４および上限欄２１６にコピーした値をペーストする操作（ペーストボタン２３２を押す操作）を行うと、表示条件受付部１１９は、記憶部１２４に記憶されたコピーした値を、選択されたＡｌの下限欄２１４および上限欄２１６にペーストする。
この状態で、表示範囲指定ダイアログ２Ｂの適用ボタン２２０を押す操作が行われると、処理部１１０は、上述した図８に示す表示範囲変更処理を行う。
この結果、図１１に示すウィンドウ３００Ｂに表示された試料Ｂの散布図マトリックスを構成する散布図のＡｌの項目の表示範囲を、ウィンドウ３００Ａに表示された試料Ａの散布図マトリックスを構成する散布図のＡｌの項目の表示範囲と同じにできる。
４．１．３． 効果
第１変形例に係る散布図表示装置１００では、表示部１２２には、試料Ａの散布図マトリックスと、試料Ｂの散布図マトリックス（他の散布図マトリックス）が表示される。また、表示条件受付部１１９は、表示範囲指定ダイアログ２Ａのテーブル２１０に表示範囲を入力する操作に基づいて試料Ａの散布図マトリックスにおける表示範囲の指定を受け付け、表示範囲指定ダイアログ２Ｂのテーブル２１０（他のテーブル）に表示範囲を入力する操作に基づいて、試料Ｂの散布図マトリックスにおける表示範囲の指定を受け付ける。
そのため、第１変形例に係る散布図表示装置１００では、試料Ａの散布図マトリックスの表示条件と、試料Ｂの散布図マトリックスの表示条件を、容易に揃えることができる。したがって、試料間の散布図の比較を容易にすることができる。
４．１．４． 変形例
図１３は、２つの散布図マトリックスの表示範囲を１つの表示範囲指定ダイアログ２で指定する場合を説明するための図である。
図１２に示す例では試料Ａの散布図マトリックスの表示範囲を表示範囲指定ダイアログ２Ａで指定し、試料Ｂの散布図マトリックスの表示範囲を表示範囲指定ダイアログ２Ｂで指定した。これに対して、試料Ａの散布図マトリックスの表示範囲および試料Ｂの散布図マトリックスの表示範囲を１つの表示範囲指定ダイアログ２で指定してもよい。この場合、表示範囲指定ダイアログ２は１つであるため、２つの散布図マトリックスに対して同じ表示範囲を指定できる。
４．２． 第２変形例
第１変形例では、表示範囲指定ダイアログ２Ａのテーブル２１０の値をコピーし、表示範囲指定ダイアログ２Ｂのテーブル２１０にペーストすることで、２つの散布図マトリックスの各散布図の表示条件を揃えた。
これに対して、第２変形例では、表示範囲指定ダイアログ２Ａのテーブル２１０の情報（各項目の下限値および上限値の情報）が表示条件設定ファイルとして記憶部１２４に記憶され、記憶部１２４に記憶された表示条件設定ファイルを読み出すことで、表示範囲指定ダイアログ２Ｂのテーブル２１０を、表示範囲指定ダイアログ２Ａと同じ条件にする。
なお、表示条件設定ファイルを読み出す際には、下限値および上限値の情報だけを読み出してもよい。
ここでは、試料Ａの散布図マトリックスの表示条件設定ファイルを、試料Ｂの散布図マトリックスに適用した場合について説明したが、例えば、事前に試料Ａの散布図マトリックスの表示条件設定ファイルを作成し、事前に作成した表示条件設定ファイルを試料Ａの散布図マトリックスに適用してもよい。
４．３． 第３変形例
上述した実施形態では、図８に示すように、表示範囲を変更するために散布図を再作成した。これに対して、表示範囲を変更するために散布図を拡大または縮小してもよい。すなわち、画像処理によって散布図の表示範囲を変更してもよい。
図１４は、処理部１１０の表示範囲変更処理の変形例を示すフローチャートである。図８に示す表示範囲変更処理では、散布図を再作成する処理Ｓ１０８を行うが、図１４に示す表示範囲変更処理では、散布図を拡大または縮小する処理Ｓ１０９を行う点で相違する。以下では、上述した図８に示す表示範囲変更処理の例と異なる点について説明し、同様の点については説明を省略する。
表示制御部１１８は、散布図マトリックスから表示範囲が指定された元素を項目とする全ての散布図を抽出した後（Ｓ１０６の後）、抽出した散布図の項目の表示範囲が指定された表示範囲となるように、散布図を拡大または縮小する（Ｓ１０９）。散布図の拡大または縮小は、画像処理によって行われる。
表示制御部１１８は、散布図マトリックスの各散布図を、拡大または縮小された散布図に更新し、表示部１２２に表示する（Ｓ１１０）。
第３変形例に係る散布図表示装置１００の動作の一例として、図６に示す散布図マトリックスと図７に示す表示範囲指定ダイアログ２が表示された状態で、ユーザーが表示範囲指定ダイアログ２において、Ａｌの下限欄２１４に「２０」、上限欄２１６に「２００」を入力し、Ｚｎの下限欄２１４に「０」、上限欄２１６に「３００」を入力した場合の動作について説明する。
上記のユーザーの操作が行われると、表示条件受付部１１９は、ユーザーが表示範囲を入力する操作を行ったと判定し、Ａｌの表示範囲を「２０－２００」とする指定、およびＺｎの表示範囲を「０－３００」とする指定を受け付ける。
表示制御部１１８は、散布図マトリックスから、Ａｌを項目とする４つの散布図（（Ａｌ，Ｆｅ）散布図、（Ａｌ，Ｚｎ）散布図、（Ａｌ，Ｓｉ）散布図、（Ａｌ，Ｍｇ）散布図）と、Ｚｎを項目とする４つの散布図（（Ａｌ，Ｚｎ）散布図、（Ｍｇ，Ｚｎ）散布図
、（Ｓｉ，Ｚｎ）散布図、（Ｚｎ，Ｆｅ）散布図）を抽出する。
表示制御部１１８は、（Ａｌ，Ｆｅ）散布図、（Ａｌ，Ｚｎ）散布図、（Ａｌ，Ｓｉ）散布図、および（Ａｌ，Ｍｇ）散布図の横軸を「２０－２００」となるように散布図を横方向に拡大する。次に、表示制御部１１８は、（Ａｌ，Ｚｎ）散布図、（Ｍｇ，Ｚｎ）散布図、（Ｓｉ，Ｚｎ）散布図の縦軸が「０－３００」となるように散布図を縦方向に縮小する。次に、表示制御部１１８は、（Ｚｎ，Ｆｅ）散布図の横軸が「０－３００」となるように散布図を横方向に縮小する。
表示制御部１１８は、抽出した散布図を、拡大または縮小した散布図と入れ替えて散布図マトリックスの表示を更新し表示部１２２に表示する。
以上の処理により、散布図の表示範囲を変更できる。
４．４． 第４変形例
図１５は、表示範囲を指定するためのラバーバンド６を模式的に示す図である。
上述した実施形態では、表示範囲指定ダイアログ２のテーブル２１０に値を入力することによって表示範囲を変更したが、図１５に示すように、散布図上のラバーバンド６で表示範囲を指定してもよい。
例えば、散布図マトリックスを構成する散布図上で、マウスのドラッグ操作によりラバーバンド６を表示し、ラバーバンド６を用いて散布図上の領域を指定する。これにより、指定された領域に対応した表示範囲が指定される。ラバーバンド６を用いて表示範囲を指定することによって、図７に示す表示範囲指定ダイアログ２の下限欄２１４の値および上限欄２１６の値が、ラバーバンド６で指定された表示範囲に応じた値に変更される。図示の例では、Ｍｇの下限欄２１４および上限欄２１６の値、Ｚｎの下限欄２１４および上限欄２１６の値が変更される。
表示条件受付部１１９は、ラバーバンド６を用いて表示範囲を指定する操作に基づいて指定された項目（元素）の表示範囲の指定を受け付ける。なお、表示範囲指定ダイアログ２を表示せずに、ラバーバンド６を用いて指定した表示範囲を、直接、表示条件受付部１１９が受け付けてもよい。
４．５． 第５変形例
上述した実施形態では、散布図マトリックスを構成する散布図がＸ線信号強度を項目とした散布図である場合について説明したが、散布図マトリックスを構成する散布図は、電子信号強度を項目とした散布図であってもよい。
例えば、上述した実施形態では、Ｘ線信号強度のマップデータに基づいて散布図を作成したが、電子信号強度のマップデータに基づいて散布図を作成してもよい。例えば、二次電子像の各ピクセルの信号強度のデータや、反射電子像の各ピクセルの信号強度のデータから散布図を作成してもよい。
４．６． 第６変形例
例えば、上述した実施形態では、表面分析装置１０００が電子プローブマイクロアナライザー（ＥＰＭＡ）である例について説明したが、本発明に係る表面分析装置は、Ｘ線信号強度のマップデータや電子信号強度のマップデータを取得できる装置であれば特に限定されない。
例えば、本発明に係る分析装置は、オージェ電子分光装置、Ｘ線光電子分光装置、エネルギー分散型Ｘ線分光器が搭載された走査電子顕微鏡などであってもよい。
また、例えば、上述した実施形態では、散布図表示装置１００が表面分析装置１０００に含まれている場合について説明したが、本発明に係る散布図表示装置は、表面分析装置に含まれていなくてもよい。本発明に係る散布図表示装置は、例えば、情報記憶媒体やネットワークを介してマップデータを取得して、上述した散布図を表示させる処理を行ってもよい。
なお、上述した実施形態及び変形例は一例であって、これらに限定されるわけではない。例えば各実施形態及び各変形例は、適宜組み合わせることが可能である。
本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、さらに種々の変形が可能である。例えば、本発明は、実施形態で説明した構成と実質的に同一の構成を含む。実質的に同一の構成とは、例えば、機能、方法、及び結果が同一の構成、あるいは目的及び効果が同一の構成である。また、本発明は、実施形態で説明した構成の本質的でない部分を置き換えた構成を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成と同一の作用効果を奏する構成又は同一の目的を達成することができる構成を含む。また、本発明は、実施形態で説明した構成に公知技術を付加した構成を含む。
１０…分析装置本体部、１１…電子銃、１２…集束レンズ、１３…偏向器、１４…対物レンズ、１５…試料ステージ、１７…二次電子検出器、１８…エネルギー分散型検出器、１９…波長分散型検出器、１００…散布図表示装置、１１０…処理部、１１２…元素マップデータ取得部、１１４…主成分分析部、１１６…順位付与部、１１８…表示制御部、１１９…表示条件受付部、１２０…操作部、１２２…表示部、１２４…記憶部、２１０…テーブル、２１２…項目欄、２１４…下限欄、２１６…上限欄、２２０…適用ボタン、２３０…コピーボタン、２３２…ペーストボタン、３００Ａ…ウィンドウ、３００Ｂ…ウィンドウ、４０１…プレビュー、４０２…元素リスト、４０４…選択リスト、４０６…元素入れ替えボタン、４０８…優先順位入れ替えボタン、４１０…適用ボタン、１０００…表面分析装置

Claims (11)

  1. 分析装置で取得した複数のマップデータに基づいて複数の散布図を作成し、作成された前記複数の散布図をマトリックス状に配置した散布図マトリックスを表示部に表示する散布図表示装置であって、
    前記複数の散布図の各々における項目の表示範囲の指定を受け付ける表示条件受付部と、
    前記複数の散布図から表示範囲が指定された項目を有する全ての散布図を抽出し、抽出された前記散布図の項目の表示範囲を表示範囲の指定に基づいて変更する表示制御部と、を含む、散布図表示装置。
  2. 請求項１において、
    前記表示制御部は、抽出された前記散布図の項目の表示範囲が指定された表示範囲となるように、前記散布図を再作成する、散布図表示装置。
  3. 請求項１において、
    前記表示制御部は、抽出された前記散布図の項目の表示範囲が指定された表示範囲となるように、前記散布図を拡大または縮小する、散布図表示装置。
  4. 請求項１ないし３のいずれか１項において、
    前記表示条件受付部は、項目ごとに表示範囲を指定する欄が設けられたテーブルに表示範囲を入力する操作に基づいて、指定された項目の表示範囲の指定を受け付ける、散布図表示装置。
  5. 請求項４において、
    前記表示部には、前記散布図マトリックスと、他の前記散布図マトリックスが表示され、
    前記表示条件受付部は、
    前記テーブルに表示範囲を入力する操作に基づいて、前記散布図マトリックスにおける表示範囲の指定を受け付け、
    他の前記テーブルに表示範囲を入力する操作に基づいて、他の前記散布図マトリックスにおける表示範囲の指定を受け付ける、散布図表示装置。
  6. 請求項１ないし３のいずれか１項において、
    前記表示条件受付部は、前記散布図上の領域を指定するためのラバーバンドを用いて、表示範囲を指定する操作に基づいて、指定された項目の表示範囲の指定を受け付ける、散布図表示装置。
  7. 請求項１ないし６のいずれか１項において、
    表示範囲の情報を記憶する記憶部を含む、散布図表示装置。
  8. 請求項７において、
    前記表示条件受付部は、前記記憶部に記憶された表示範囲の情報を読み出して、表示範囲の指定を受け付ける、散布図表示装置。
  9. 請求項１ないし８のいずれか１項において、
    前記表示条件受付部は、前記散布図マトリックスを構成する前記複数の散布図の配置の指定を受け付ける、散布図表示装置。
  10. 分析装置で取得した複数のマップデータに基づいて複数の散布図を作成し、作成された
    前記複数の散布図をマトリックス状に配置した散布図マトリックスを表示部に表示する散布図表示方法であって、
    前記複数の散布図の各々における項目の表示範囲の指定を受け付ける工程と、
    前記複数の散布図から表示範囲が指定された項目を有する全ての散布図を抽出し、抽出された前記散布図の項目の表示範囲を表示範囲の指定に基づいて変更する工程と、
    を含む、散布図表示方法。
  11. 請求項１ないし９のいずれか１項に記載の散布図表示装置を含む、分析装置。
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