CN113365958A - 玻璃板的制造方法、玻璃板以及玻璃板集合体 - Google Patents

玻璃板的制造方法、玻璃板以及玻璃板集合体 Download PDF

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Abstract

包括准备玻璃板(1)的第一工序以及在玻璃板(1)形成贯通孔(2)的第二工序，在第一工序中，以将贯通孔(2)的内壁面(2a)相对于板厚方向的倾斜角度设为θ，将贯通孔(2)的最小孔宽设为D，并将对于最小孔宽D能够允许的偏差的范围设为最小孔宽D的A％为条件，在贯通孔(2)仅朝向板厚方向的一侧逐渐扩开的情况下，准备板厚的偏差的范围ΔT满足ΔT≤(D×A/tanθ)/200的关系的玻璃板(1)，或者在贯通孔(2)从板厚方向的中央区域内的部位朝向板厚方向的一侧与另一侧这两方逐渐扩开的情况下，准备板厚的偏差的范围ΔT满足ΔT≤(D×A/tanθ)/100的关系的玻璃板(1)。

Description

玻璃板的制造方法、玻璃板以及玻璃板集合体
技术领域
本发明涉及用于在玻璃板形成朝向板厚方向的至少一侧逐渐扩开的贯通孔的方法以及用于形成那样的贯通孔的玻璃板。
背景技术
近年来，具有贯通孔的玻璃板被用作电子设备等的基板。作为这种玻璃板，在下述的专利文献1、2中公开了形成有向板厚方向的一侧逐渐扩径的锥状的贯通孔的玻璃板。
详细而言，在专利文献1中公开有在玻璃板的主面与锥状的贯通孔的内壁面之间形成有曲面的玻璃板及其制造方法。另外，在专利文献2中公开了：从玻璃板的一主面侧照射激光而形成了锥状的贯通孔之后，从玻璃板的另一主面侧朝向所述贯通孔喷射蚀刻液。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2003-226551号公报
专利文献2：日本特开2016-222529号公报
发明内容
发明要解决的课题
另外，在对玻璃板形成锥状的贯通孔的情况下，贯通孔的最小孔宽(最小孔径)在决定带孔玻璃板的品质的优劣的方面是重要因素。在该情况下，若玻璃板的板厚存在差异，则伴随于此，贯通孔的最小孔宽也存在差异。因此，玻璃板的板厚的偏差给贯通孔的最小孔宽的偏差带来负面影响，且成为使板厚方向全长范围内的贯通孔的尺寸精度恶化的重要因素。
然而，专利文献1、2所公开的玻璃板、其制造方法对于上述那样的玻璃板的板厚与贯通孔的最小孔宽的关系性等没有进行任何考虑。因此，难以在玻璃板形成优异的尺寸精度的贯通孔。
出于以上的观点，本发明的课题在于，在玻璃板形成尺寸精度得到改善的锥状的贯通孔。
用于解决课题的方案
为了解决上述课题而做出的本发明的第一方面为一种玻璃板的制造方法，所述玻璃板具有贯通孔，所述玻璃板的制造方法的特征在于，包括准备玻璃板的第一工序以及在所述玻璃板形成朝向板厚方向的至少一侧逐渐扩开的贯通孔的第二工序，在所述第一工序中，以将所述贯通孔的内壁面相对于板厚方向的倾斜角度设为θ，将所述贯通孔的最小孔宽设为D，并将对于所述最小孔宽D能够允许的偏差的范围设为所述最小孔宽D的A％为条件，
在所述贯通孔仅朝向板厚方向的一侧逐渐扩开的情况下，准备所述玻璃板的板厚的偏差的范围ΔT满足ΔT≤(D×A/tanθ)/200的关系的玻璃板，或者
在所述贯通孔从板厚方向的中间部朝向板厚方向的一侧与另一侧这两方逐渐扩开的情况下，准备所述玻璃板的板厚的偏差的范围ΔT满足ΔT≤(D×A/tanθ)/100的关系的玻璃板。这里，上述的“对于最小孔宽D能够允许的偏差的范围”是指对于最小孔宽D能够允许的最大值与最小值之差。另外，上述的“玻璃板的板厚的偏差的范围”是指玻璃板的板厚的最大值与最小值之差。并且，上述的倾斜角度θ以及最小孔宽D均为设计上的值(为了在第二工序中形成贯通孔而预先决定的值)。
根据这种方法，贯通孔的形态不论为上述两种的哪种，玻璃板的板厚的偏差的范围ΔT都收敛在基于贯通孔的内壁面相对于板厚方向的倾斜角度θ、贯通孔的最小孔宽D、对于最小孔宽D能够允许的偏差的范围A而得到的规定范围内。因此，能够抑制玻璃板的板厚的偏差给锥状的贯通孔的尺寸精度(特别是最小孔宽D的尺寸精度)带来负面影响的情况。其结果是，能够将尺寸精度得到改善的锥状的贯通孔形成于玻璃板。
在该方法中，也可以是，将相同大小且呈相同形状的多个所述贯通孔形成于所述板厚的偏差的范围ΔT满足任一种所述关系的玻璃板。
如此一来，能够抑制玻璃板的板厚的偏差给相同大小且呈相同形状的多个锥状的贯通孔的尺寸精度带来负面影响的情况。其结果是，能够将尺寸精度得到改善的多个锥状的贯通孔形成于玻璃板。
在以上的方法中，也可以是，在所述第一工序中，准备多张所述板厚的偏差的范围ΔT满足任一种所述关系的玻璃板。
如此一来，关于全部的多张玻璃板的板厚的偏差的范围ΔT收敛在基于贯通孔的内壁面相对于板厚方向的倾斜角度θ、贯通孔的最小孔宽D、对于最小孔宽D能够允许的偏差的范围A而得到的规定范围内。因此，能够适当地抑制多张玻璃板的相互间的板厚的偏差，对于多张玻璃板中的任一玻璃板都能够形成尺寸精度得到改善的锥状的贯通孔。
在以上的方法中，也可以是，在所述第二工序中，通过对所述玻璃板的主面进行的激光照射处理以及对该激光照射处理后的玻璃板进行的蚀刻处理，而形成所述贯通孔。
如此一来，能够在玻璃板形成通过激光照射处理与蚀刻处理被优质精加工的锥状的贯通孔。
在该方法中，也可以是，通过所述激光照射处理，而在所述玻璃板形成照射处理区域，通过所述蚀刻处理，将所述照射处理区域去除而形成所述贯通孔。需要说明的是，通过激光照射处理而形成于玻璃板的照射处理区域可以是具有贯通孔的区域，或者也可以是不具有贯通孔的改质区域。
如此一来，能够将具有平滑的内壁面的锥状的贯通孔形成于玻璃板。
在该方法中，也可以是，在进行所述激光照射处理时，在所述玻璃板的主面上，对与所述贯通孔的开口部的轮廓线对应的假想线的相互分开的多个点照射激光。
如此一来，在玻璃板的与贯通孔的开口部的轮廓线对应的假想线的相互分开的多个位置形成由激光的照射得到的照射处理区域或者贯通孔，并通过之后的蚀刻处理将锥状的贯通孔精加工。由此，与沿着贯通孔的开口部的轮廓线所对应的假想线连续照射激光的情况相比，能够缩短激光的照射时间，实现作业的简化、制造成本的低廉化。
在以上的方法中，也可以是，在对用于形成仅朝向板厚方向的一侧逐渐扩开的所述贯通孔的玻璃板进行所述蚀刻处理时，仅在所述玻璃板的单侧的主面配设掩模。
如此一来，从玻璃板的与配设有掩模的主面相反一侧的主面侧进行基于蚀刻的溶解浸蚀。因此，能够简易且高精度地在玻璃板形成仅朝向板厚方向的一侧(朝向与配设有掩模的主面相反一侧的主面)逐渐扩开的锥状的贯通孔。
在以上的方法中，也可以是，所述玻璃板的板厚T0为30～1300μm，也可以是，所述贯通孔的内壁面相对于板厚方向的倾斜角度θ为2～45°，也可以是，所述贯通孔的最小孔宽D为5～200μm，也可以是，对于所述最小孔宽D能够允许的偏差的范围A为所述最小孔宽D的2～40％。这里，上述的“玻璃板的板厚T0”是玻璃板的设计上的板厚。
如此一来，能够更可靠地将尺寸精度得到改善的锥状的贯通孔形成于玻璃板。
为了解决上述课题而做出的本发明的第二方面为一种玻璃板，其用于形成朝向板厚方向的至少一侧逐渐扩开、且内壁面相对于板厚方向的倾斜角度α为2～45°、且最小孔宽d为5～200μm的贯通孔，所述玻璃板的特征在于，以板厚t0为30～1300μm，并将对于所述最小孔宽d能够允许的偏差的范围设为所述最小孔宽d的a％且a是2～40％为条件，
在所述贯通孔仅朝向板厚方向的一侧逐渐扩开的情况下，所述玻璃板的板厚的偏差的范围Δt满足Δt≤(d×a/tanα)/200的关系，或者
在所述贯通孔从板厚方向的中间部朝向板厚方向的一侧与另一侧这两方逐渐扩开的情况下，所述玻璃板的板厚的偏差的范围Δt满足Δt≤(d×a/tanα)/100的关系。这里，上述的“对于最小孔宽d能够允许的偏差的范围”是指对于最小孔宽d能够允许的最大值与最小值之差。另外，上述的“板厚的偏差的范围”是指板厚的最大值与最小值之差。并且，上述的板厚t0、倾斜角度α以及最小孔宽d均为设计上的值(为了形成贯通孔而预先决定的值)。
根据这种结构，贯通孔的形态不论为上述两种的哪种，玻璃板的板厚的偏差的范围Δt都收敛在基于贯通孔的内壁面相对于板厚方向的倾斜角度α、贯通孔的最小孔宽d、对于最小孔宽d能够允许的偏差的范围a而得到的规定范围内。因此，能够抑制玻璃板的板厚的偏差给锥状的贯通孔的尺寸精度(特别是最小孔宽d的尺寸精度)带来负面影响的情况。其结果是，能够在该玻璃板形成尺寸精度得到改善的锥状的贯通孔。
为了解决上述课题而做出的本发明的第三方面提供一种玻璃板集合体，所述玻璃板集合体通过将所述板厚的偏差的范围Δt满足任一种所述关系的玻璃板集合多个而成。
根据这种玻璃板集合体，适当地抑制多张玻璃板的相互间的板厚的偏差，对于多张玻璃板中的任一玻璃板都能够形成尺寸精度得到改善的锥状的贯通孔。
发明效果
根据本发明，能够在玻璃板形成尺寸精度得到改善的锥状的贯通孔。
附图说明
图1是示出本发明的实施方式的玻璃板的制造方法的各工序的流程图。
图2是示出应由本发明的实施方式的玻璃板的制造方法制造的带贯通孔的玻璃板的第一例的纵剖主视图。
图3是示出应由本发明的实施方式的玻璃板的制造方法制造的带贯通孔的玻璃板的第二例的纵剖主视图。
图4是示出应由本发明的实施方式的玻璃板的制造方法制造的带贯通孔的玻璃板的第三例的纵剖主视图。
图5是示出应由本发明的实施方式的玻璃板的制造方法制造的带贯通孔的玻璃板的第四例的纵剖主视图。
图6是示出本发明的实施方式的玻璃板的制造方法的第二工序的实施状况的玻璃板的俯视图。
具体实施方式
以下，一边参照附图一边对本发明的实施方式进行说明。
[玻璃板的制造方法]
图1是示出本发明的第一实施方式的玻璃板的制造方法的各工序的流程图。如该图所示，该玻璃板的制造方法包括准备玻璃板1的第一工序F1以及在玻璃板1形成锥状的贯通孔的第二工序F2。在第一工序F1中，进行计测玻璃板1的板厚的计测处理g1以及进行用于将玻璃板1所要求的条件求出的运算的运算处理g2。并且，基于计测处理g1与运算处理g2的结果，选出通过第一工序F1准备的玻璃板1。
这里，玻璃板1的尺寸例如是，纵向尺寸为50～2200mm且横向尺寸为50～2500mm。另外，玻璃板1的材质能够使用钠玻璃、石英玻璃、无碱玻璃、硼硅酸玻璃、铝硅酸盐玻璃、结晶化玻璃等，但在玻璃板1被用作电子设备用的基板的情况下，优选为石英玻璃或无碱玻璃或者硼硅酸玻璃。
在计测处理g1中，利用超声波、激光等对玻璃板1的多个测定点处的实测板厚T进行计测。例如将在玻璃板1的主面的纵横方向上分别为1mm间距的多个位置(例如几十处或者几百处)作为测定点来进行该计测。并且，将多个实测板厚T的偏差的范围设为ΔT。这里的偏差的范围ΔT是指实测板厚T的最大值与最小值之差。在运算处理g2中，基于图2～图5所示的具有设计上的板厚T0的玻璃板1的各要素进行运算。图2～图5例示出应通过第二工序F2形成于玻璃板1的设计上的贯通孔2。该贯通孔2以及与其为相同大小且呈相同形状的贯通孔在一张玻璃板1形成有多个(省略图示)。
在运算处理g2中进行运算时，将图2～图5所示的贯通孔2的内壁面2a相对于板厚方向的倾斜角度(严格来说，与主面1a、1b成直角的面3和内壁面2a所成的角度)设为θ，将贯通孔2的最小孔宽设为D，并且将对于最小孔宽D能够允许的偏差的范围设为最小孔宽D的A％。这里的偏差的范围是指对于最小孔宽D能够允许的最大值与最小值之差。需要说明的是，该A％的数值由本实施方式的制造方法的实施者即玻璃板制造业者或者作业者等设定。
在这种设定之下，
在贯通孔2仅朝向板厚方向的一侧逐渐扩开的情况下，选出板厚的偏差的范围ΔT满足ΔT≤(D×A/tanθ)/200的关系(以下，称作数学式1。)的玻璃板1，或者
在贯通孔2从板厚方向的中间部朝向板厚方向的一侧与另一侧这两方逐渐扩开的情况下，选出板厚的偏差的范围ΔT满足ΔT≤(D×A/tanθ)/100的关系(以下，称作数学式2。)的玻璃板1。
上述的数学式1以及数学式2是示出将最小孔宽D的沿着宽度方向的偏差的范围换算为沿着板厚方向的偏差的范围而得到的范围与玻璃板1的板厚(实测板厚T)的偏差的范围ΔT的关系的数学式。
这里，对于图2～图5所示的方式的贯通孔2的最小孔宽D，在2～100μm或者超过100μm且200μm以下的范围内设定数值，且将该数值代入数学式1。
图2所示的贯通孔2仅朝向板厚方向的一侧逐渐扩开，且内壁面2a的倾斜角度θ为2～45°，特别为3～35°。除此以外，这种贯通孔2也可以如图3所示，内壁面2a的倾斜角度θ超过35°且小于60°。以处于这种范围内的方式设定倾斜角度θ的数值，且将该数值代入数学式1。
在为这种贯通孔2的情况下，将对于最小孔宽D能够允许的偏差的范围A设为最小孔宽D的2～40％，在此基础上设定其百分比的数值，且将该数值代入数学式1。在该情况下，随着倾斜角度θ变大，关于最小孔宽D的偏差变大。因而，在倾斜角度θ大且最小孔宽D小的情况下，使能够允许的偏差的范围A相对较小，例如设为最小孔宽D的2～30％，在倾斜角度θ小且最小孔宽D大的情况下，使能够允许的偏差的范围A相对较大，例如设为最小孔宽D的超过30％且40％以下，在此基础上设定百分比的数值，且将该数值代入数学式1。
图4所示的贯通孔2从板厚方向的中间部(板厚方向的中央部)朝向板厚方向的一侧与另一侧这两方逐渐扩开，内壁面2a的倾斜角度θ为2～45°，特别为3～35°。除此以外，这种贯通孔2也可以如图5所示，内壁面2a的倾斜角度θ为2°以上且小于10°。以处于这种范围内的方式设定倾斜角度θ的数值，且将该数值代入数学式2。在该情况下，也是将对于最小孔宽D能够允许的偏差的范围A设为最小孔宽D的2～40％，在此基础上设定百分比的数值，且将该数值代入数学式2。在为这种贯通孔2的情况下，也是随着倾斜角度θ变大，关于最小孔宽D的偏差变大。因而，在倾斜角度θ大且最小孔宽D小的情况下，使能够允许的偏差的范围A相对较小，在倾斜角度θ小且最小孔宽D大的情况下，使能够允许的偏差的范围A相对较大，在此基础上设定百分比的数值，且将该数值代入数学式2。
在为图2以及图3所示的形态的贯通孔2的情况下，与为图4以及图5所示的形态的贯通孔2的情况相比，关于最小孔宽D的偏差变大。因而，优选的是，在为图2以及图3所示的形态的贯通孔2的情况下，使对于最小孔宽D能够允许的偏差的范围A相对较小，在为图4以及图5所示的形态的贯通孔2的情况下，使对于最小孔宽D能够允许的偏差的范围A相对较大。
需要说明的是，图4以及图5所例示的贯通孔2从板厚方向的中央部朝向板厚方向的一侧与另一侧这两方逐渐扩开，但即使是板厚方向的中央部以外，也可以从板厚方向的中间部朝向板厚方向的一侧与另一侧这两方逐渐扩开。在该情况下，也可以是，将从板厚方向的一端(一主面1a)朝向中央侧为板厚的1/3以上且从板厚方向的另一端(另一主面1b)朝向中央侧为板厚的1/3以上的区域作为中间部，对从该区域内的部位朝向板厚方向的一侧与另一侧这两方逐渐扩开的贯通孔2使用数学式2，对从脱离了该区域的部位朝向板厚方向的一侧与另一侧这两方逐渐扩开的贯通孔2使用数学式1。
上述各图所示的玻璃板1的设计上的板厚T0优选为30～1300μm，更优选为30～500μm或者超过500μm且1300μm以下。在设计上的板厚T0大的玻璃板1形成贯通孔2的情况下，与在设计上的板厚T0小的玻璃板1形成贯通孔2的情况相比，关于最小孔宽D的偏差变大。因而，优选的是，在设计上的板厚T0大的玻璃板1形成贯通孔2的情况下，使对于最小孔宽D能够允许的偏差的范围A相对较小，在设计上的板厚T0小的玻璃板1形成贯通孔2的情况下，使对于最小孔宽D能够允许的偏差的范围A相对较大。
在第一工序F1中，如以上那样将设计上的各数值代入数学式1或者数学式2，选出玻璃板1的实测板厚T的偏差的范围ΔT满足数学式1或者数学式2的关系的多张玻璃板1。需要说明的是，计测处理g1与运算处理g2可以先进行任一者，也可以将两者同时进行。以上，通过第一工序F1进行的玻璃板1的准备作业完成。
该第一实施方式的玻璃板的制造方法通过执行以上那样的第一工序F1，而起到以下所示的作用效果。即，对于通过第一工序F1选出的玻璃板1来说，板厚的偏差的范围ΔT收敛在基于贯通孔2的内壁面2a相对于板厚方向的倾斜角度θ、贯通孔2的最小孔宽D以及对于最小孔宽D能够允许的偏差的范围A而得到的规定范围内。因此，能够抑制玻璃板1的板厚的偏差给多个贯通孔2的尺寸精度(特别是最小孔宽D的尺寸精度)带来负面影响的情况。并且，关于已准备的全部的多张玻璃板1的偏差的范围ΔT收敛于上述的规定范围内，因此能够适当地抑制多张玻璃板1的相互间的板厚的偏差。其结果是，在第二工序F2(详细内容在后叙述)中，能够对多张玻璃板1中的任一张玻璃板1形成尺寸精度得到改善的贯通孔2。需要说明的是，实测板厚T的偏差的范围ΔT若小于设计上的板厚T0的1μm，则需要对玻璃板1的主面1a、1b进行超精密的研磨精加工，从而导致成本的高涨。因此，ΔT的下限值优选为T0/500。
接下来，对该第一实施方式的玻璃板的制造方法的第二工序F2进行说明。在该第二工序F2中，如图1所示，进行对玻璃板1进行的激光照射处理h1以及对施加过激光照射处理h1的玻璃板1进行的蚀刻处理h2。
在激光照射处理h1中，对如上述那样准备的玻璃板1照射激光，从而形成照射处理区域。具体而言，如图6所示，在玻璃板1的一主面1a上，对与贯通孔2的开口部的轮廓线对应的假想线4的相互分开的多个点5照射激光，从而在多个位置分别形成照射处理区域。形成于该多个位置的照射处理区域可以彼此相连，或者也可以不相连。在该情况下，在形成开口部呈圆形的贯通孔2的情况下，如图示那样在圆形的假想线4上间歇地照射激光即可，在形成开口部呈矩形(详细而言，角部弯曲了的矩形)的贯通孔2的情况下，在矩形的假想线上间歇地照射激光即可。
照射处理区域优选设为在激光的照射的作用下不形成将玻璃板1贯通的孔的改质区域，但也可以伴随着激光的照射而形成贯通的孔。这里使用的激光例如为CO2激光、CO激光、准分子激光、YAG激光、YVO激光、光纤激光，波长能够应用紫外线区域、可见光区域、红外线区域，但在将照射处理区域设为改质区域的情况下，优选为具有对玻璃的透过性的波长。另外，照射方法优选为间歇的脉冲照射。
接下来，对具有上述那样的照射处理区域的玻璃板1实施蚀刻处理h2。具体而言，使该玻璃板1浸渍于蚀刻液并实施湿式蚀刻处理，从而从玻璃板1去除照射处理区域。由此，在玻璃板1形成多个贯通孔2。这里，在如图2以及图3所示在玻璃板1形成仅朝向板厚方向的一侧逐渐扩开的贯通孔2的情况下，仅从玻璃板1的一主面1a侧照射激光而形成照射处理区域。之后，在另一主面1b贴附树脂膜等膜而对另一主面1b进行掩蔽，在这种状态下对玻璃板1实施湿式蚀刻处理。由此，通过仅从玻璃板1的一主面1a侧进行溶解浸蚀，而形成上述各图所示的锥状的贯通孔2。也可以通过从玻璃板1的一主面1a侧与另一主面1b侧这两侧照射激光来进行该情况下的照射处理区域的形成。
另一方面，在如图4以及图5所示在玻璃板1形成从板厚方向的中间部朝向两侧逐渐扩开的贯通孔2的情况下，在从玻璃板1的一主面1a侧与另一主面1b侧这两侧照射激光而形成了照射处理区域之后，不进行掩蔽地实施湿式蚀刻处理。由此，通过从玻璃板1的一主面1a侧与另一主面1b侧这两侧进行溶解浸蚀，而形成上述各图所示的锥状的贯通孔2。也能够通过仅从任一主面1a、1b侧照射激光来进行该情况下的照射处理区域的形成。需要说明的是，也可以是，在该第二工序F2中，不实施蚀刻处理h2，而仅利用激光的沿着假想线4的连续照射在玻璃板1形成贯通孔2。
用于在该第二工序F2中形成贯通孔2的玻璃板1是在第一工序F1中作为满足数学式1或者数学式2的关系而被选出的玻璃板。因此，形成于玻璃板1的多个贯通孔2均为尺寸精度(特别是最小孔宽D的尺寸精度)得到改善的贯通孔。
[玻璃板]
本发明的第二实施方式是涉及玻璃板的实施方式。该玻璃板是用于形成朝向板厚方向的至少一侧逐渐扩开的贯通孔的玻璃板。该玻璃板的板厚t0为30～1300μm。另外，对于在该玻璃板形成的贯通孔来说，内壁面相对于板厚方向的倾斜角度α为2～45°，最小孔宽d为5～200μm。并且，对于最小孔宽d能够允许的偏差的范围a％为最小孔宽d的2～40％。
在这种条件之下，
在贯通孔2仅朝向板厚方向的一侧逐渐扩开的情况下，板厚(实测板厚t)的偏差的范围Δt满足Δt≤(d×a/tanα)/200的关系，或者
在贯通孔2从板厚方向的中间部朝向板厚方向的一侧与另一侧这两方逐渐扩开的情况下，板厚(实测板厚t)的偏差的范围Δt满足Δt≤(d×a/tanα)/100的关系。需要说明的是，上述的板厚t0、倾斜角度α、最小孔宽d均为设计上的值。
在该玻璃板也形成有多个贯通孔，但这些贯通孔呈图2～图5所示的形态。因而，若将这里的板厚t0、倾斜角度α，最小孔宽d、对于最小孔宽d能够允许的偏差的范围a、板厚的偏差的范围Δt以及实测板厚t分别置换为已叙述的倾斜角度θ、最小孔宽D、对于最小孔宽D能够允许的偏差的范围A、板厚的偏差的范围ΔT以及实测板厚T，则在第一实施方式的[玻璃板的制造方法]中已经说明了的事项适用于这里的玻璃板。
在为该玻璃板的情况下，也同样地，板厚的偏差的范围Δt收敛在基于贯通孔的内壁面相对于板厚方向的倾斜角度α、贯通孔的最小孔宽d、对于最小孔宽d能够允许的偏差的范围a而得到的规定范围内。因此，能够抑制玻璃板的板厚的偏差给多个贯通孔的尺寸精度(特别是最小孔宽d的尺寸精度)带来负面影响的情况。其结果是，能够在该玻璃板形成尺寸精度得到改善的多个贯通孔。需要说明的是，对于该玻璃板也同样地，若实测板厚t的偏差的范围Δt小于设计上的板厚t0的1μm，则需要对主面进行超精密的研磨精加工，有可能导致成本的高涨。因此，Δt的下限值优选为t0/500。
另外，通过集合多个该玻璃板，能够获得玻璃板集合体。根据该玻璃板集合体，不仅能够抑制多个玻璃板的相互间的板厚的偏差，且对于多个玻璃板中的任一玻璃板都能够形成尺寸精度得到改善的贯通孔。
实施例1
以下，对关于上述的[玻璃板的制造方法]的实施例进行说明。需要说明的是，关于上述的[玻璃板]的实施例也和这里的关于[玻璃板的制造方法]的实施例共通。因而，以下，将关于[玻璃板]的倾斜角度α、最小孔宽d、最小孔宽d的偏差的范围a、板厚的偏差的范围Δt以及实测板厚t分别置换为关于[玻璃板的制造方法]的倾斜角度θ、最小孔宽D、最小孔宽D的偏差的范围A、板厚的偏差的范围ΔT以及实测板厚T来进行说明。
实施例1是形成图2所示那样的形态的贯通孔2的实施例。具体而言，如下述的表1所示，在玻璃板的板厚T0(设计上的板厚)为100μm，且将贯通孔2的内壁面2a的倾斜角度θ设为9.9°，将贯通孔2(开口部为圆形)的最小孔宽D设为20μm，将对于最小孔宽D能够允许的偏差的范围A设为20％的情况下，基于数学式1得到的ΔT的运算值(ΔT的上限值)为11.5μm。因此，准备了板厚(实测板厚T)的偏差的范围的具体数值ΔT1为9μm(最小值为97μm，最大值为106μm)的玻璃板。该玻璃板的材质为无碱玻璃。对于该玻璃板，仅通过激光的照射而形成了贯通孔2。其结果是，对于在该玻璃板形成的多个贯通孔2的最小孔宽D1来说，最小值为19.0μm，最大值为22.1μm，最小孔宽D1的偏差的范围ΔD1为15.5％(3.1μm)。根据该结果，确认了在该玻璃板形成有尺寸精度(特别是最小孔宽D1的尺寸精度)得到改善的多个贯通孔。
[表1]
板厚T0 100μm
倾斜角度θ 9.9°
最小孔宽D 20μm
允许误差A 20％
ΔT的运算值 11.5μm
板厚的偏差ΔT1 9μm(97～106μm)
玻璃材质 无碱玻璃
加工方法 仅激光
结果：最小孔宽D1 19.0～22.1μm
结果：D1的偏差ΔD1 15.5％
实施例2也是形成图2所示那样的方式的贯通孔2的实施例。具体而言，如下述的表2所示，在玻璃板的板厚T0为300μm，且将贯通孔2的内壁面2a的倾斜角度θ设为11.3°，将贯通孔2的最小孔宽D设为30μm，将对于最小孔宽D能够允许的偏差的范围A设为20％的情况下，基于数学式1得到的ΔT的运算值(ΔT的上限值)为15.0μm。因此，准备了板厚(实测板厚T)的偏差的范围的具体数值ΔT1为13μm(最小值为292μm，最大值为305μm)的玻璃板。该玻璃板的材质为钠玻璃。对于该玻璃板，在利用激光的照射形成了具有贯通的孔的照射处理区域之后，实施蚀刻处理，从而形成了贯通孔2。其结果是，对于在该玻璃板形成的多个贯通孔2的最小孔宽D1来说，最小值为26.8μm，最大值为32.0μm，最小孔宽D1的偏差的范围ΔD1为17.3％(5.2μm)。根据该结果，确认了在该玻璃板形成有尺寸精度(特别是最小孔宽D1的尺寸精度)得到改善的多个贯通孔。
[表2]
板厚T0 300μm
倾斜角度θ 11.3°
最小孔宽D 30μm
允许误差A 20％
ΔT的运算值 15.0μm
板厚的偏差ΔT1 13μm(292～305μm)
玻璃材质 钠玻璃
加工方法 激光贯通+蚀刻
结果：最小孔宽D1 268～32.0μm
结果：D1的偏差ΔD1 17.3％
实施例3是形成图3所示那样的方式的贯通孔2的实施例。具体而言，如下述的表3所示，在玻璃板的板厚T0为50μm，且将贯通孔2的内壁面2a的倾斜角度θ设为35°，将贯通孔2的最小孔宽D设为10μm，将对于最小孔宽D能够允许的偏差的范围A设为40％的情况下，基于数学式1得到的ΔT的运算值(ΔT的上限值)为2.9μm。因此，准备了板厚(实测板厚T)的偏差的范围的具体数值ΔT1为2.5μm(最小值为48.5μm，最大值为51μm)的玻璃板。该玻璃板的材质为无碱玻璃。对于该玻璃板，在利用激光的照射形成了未贯通的改质区域之后，实施蚀刻处理，从而形成贯通孔2。其结果是，对于在该玻璃板形成的多个贯通孔2的最小孔宽D1来说，最小值为7.9μm，最大值为11.4μm，最小孔宽D1的偏差的范围ΔD1为35.0％(3.5μm)。根据该结果，确认了在该玻璃板形成有尺寸精度(特别是最小孔宽D1的尺寸精度)得到改善的多个贯通孔。
[表3]
板厚T0 50μm
倾斜角度θ 35°
最小孔宽D 10μm
允许误差A 40％
ΔT的运算值 2.9μm
板厚的偏差ΔT1 25μm(48.5～51μm)
玻璃材质 无碱玻璃
加工方法 激光改质+蚀刻
结果：最小孔宽D1 7.9～11.4μm
结果：D1的偏差ΔD1 35.0％
实施例4是形成图4所示那样的形态的贯通孔2的实施例。具体而言，如下述的表4所示，在玻璃板的板厚T0为100μm，且将贯通孔2的内壁面2a的倾斜角度θ设为14°，将贯通孔2的最小孔宽D设为30μm，将对于最小孔宽D能够允许的偏差的范围A设为20％情况下，基于数学式2得到的ΔT的运算值(ΔT的上限值)为24.1μm。因此，准备了板厚(实测板厚T)的偏差的范围的具体数值ΔT1为22μm(最小值为89μm，最大值为111μm)的玻璃板。该玻璃板的材质为无碱玻璃。对于该玻璃板，在利用激光的照射形成了未贯通的改质区域之后，实施蚀刻处理，从而形成贯通孔2。其结果是，对于在该玻璃板形成的多个贯通孔2的最小孔宽D1来说，最小值为27.3μm，最大值为32.7μm，最小孔宽D1的偏差的范围ΔD1为18.0％(5.4μm)。根据该结果，确认了在该玻璃板形成有尺寸精度(特别是最小孔宽D1的尺寸精度)得到改善的多个贯通孔。
[表4]
板厚T0 100μm
倾斜角度θ 14°
最小孔宽D 30μm
允许误差A 20％
ΔT的运算值 24.1μm
板厚的偏差ΔT1 22μm(89～111μm)
玻璃材质 无碱玻璃
加工方法 激光改质+蚀刻
结果：最小孔宽D1 27.3～32.7μm
结果：D1的偏差ΔD1 18.0％
实施例5是形成图5所示那样的形态的贯通孔2的实施例。具体而言，如下述的表5所示，在玻璃板的板厚T0为500μm，且将贯通孔2的内壁面2a的倾斜角度θ设为5.1°，将贯通孔2的最小孔宽D设为55μm，将对于最小孔宽D能够允许的偏差的范围A设为15％的情况下，基于数学式2得到的ΔT的运算值(ΔT的上限值)为92.4μm。因此，准备了板厚(实测板厚T)的偏差的范围的具体数值ΔT1为85μm(最小值为457μm，最大值为542μm)的玻璃板。该玻璃板的材质为石英玻璃。对于该玻璃板，在利用激光的照射形成了具有贯通的孔的照射处理区域之后，实施蚀刻处理，从而形成贯通孔2。其结果是，对于在该玻璃板形成的多个贯通孔2的最小孔宽D1来说，最小值为51.2μm，最大值为58.7μm，最小孔宽D1的偏差的范围ΔD1为13.6％(7.5μm)。根据该结果，确认了在该玻璃板形成有尺寸精度(特别是最小孔宽D1的尺寸精度)得到改善的多个贯通孔。
[表5]
板厚T0 500μm
倾斜角度θ 5.1°
最小孔宽D 55μm
允许误差A 15％
ΔT的运算值 92.4μm
板厚的偏差ΔT1 85μm(457～542μm)
玻璃材质 石英玻璃
加工方法 激光贯通+蚀刻
结果：最小孔宽D1 51.2～58.7μm
结果：D1的偏差ΔD1 13.6％
实施例6也是形成图5所示那样的形态的贯通孔2的实施例。具体而言，如下述的表6所示，在玻璃板的板厚T0为50μm，且将贯通孔2的内壁面2a的倾斜角度θ设为2°，将贯通孔2的最小孔宽D设为20μm，将对于最小孔宽d能够允许的偏差的范围A设为3％的情况下，基于数学式2得到的ΔT的运算值(ΔT的上限值)为17.2μm。因此，准备了板厚(实测板厚T)的偏差的范围的具体数值ΔT1为14μm(最小值为42μm，最大值为56μm)的玻璃板。该玻璃板的材质为硼硅酸玻璃。对于该玻璃板，在利用激光的照射形成了未贯通的改质区域之后，实施蚀刻处理，从而形成贯通孔2。其结果是，对于在该玻璃板形成的多个贯通孔2的最小孔宽D1来说，最小值为19.8μm，最大值为20.3μm，最小孔宽D1的偏差的范围ΔD1为2.5％(0.5μm)。根据该结果，确认了在该玻璃板形成有尺寸精度(特别是最小孔宽D1的尺寸精度)得到改善的多个贯通孔。
[表6]
板厚T0 50μm
倾斜角度θ 2°
最小孔宽D 20μm
允许误差A 3％
ΔT的运算值 17.2μm
板厚的偏差ΔT1 14μm(42～56μm)
玻璃材质 硼硅酸玻璃
加工方法 激光改质+蚀刻
结果：最小孔宽D1 19.8～20.3μm
结果：D1的偏差ΔD1 2.5％
附图标记说明
1 玻璃板
1a 一主面
1b 另一主面
2 贯通孔
2a 内壁面
4 假想线
5 多个点
F1 第一工序
F2 第二工序
A 误差
a 误差
D 最小孔宽
d 最小孔宽
g1 计测处理
g2 运算处理
h1 激光照射处理
h2 蚀刻处理
T 实测板厚
t 实测板厚
T0 板厚
t0 板厚
T1 平均板厚
t1 平均板厚
θ 倾斜角度
α 倾斜角度
ΔT 板厚的偏差的范围
Δt 板厚的偏差的范围。

Claims (13)

1.一种玻璃板的制造方法，所述玻璃板具有贯通孔，
所述玻璃板的制造方法的特征在于，
包括准备玻璃板的第一工序以及在所述玻璃板形成朝向板厚方向的至少一侧逐渐扩开的贯通孔的第二工序，
在所述第一工序中，以将所述贯通孔的内壁面相对于板厚方向的倾斜角度设为θ，将所述贯通孔的最小孔宽设为D，并将对于所述最小孔宽D能够允许的偏差的范围设为所述最小孔宽D的A％为条件，
在所述贯通孔仅朝向板厚方向的一侧逐渐扩开的情况下，准备所述玻璃板的板厚的偏差的范围ΔT满足ΔT≤(D×A/tanθ)/200的关系的玻璃板，或者
在所述贯通孔从板厚方向的中间部朝向板厚方向的一侧与另一侧这两方逐渐扩开的情况下，准备所述玻璃板的板厚的偏差的范围ΔT满足ΔT≤(D×A/tanθ)/100的关系的玻璃板。
2.根据权利要求1所述的玻璃板的制造方法，其中，
将相同大小且呈相同形状的多个所述贯通孔形成于所述板厚的偏差的范围ΔT满足任一种所述关系的玻璃板。
3.根据权利要求1或2所述的玻璃板的制造方法，其中，
在所述第一工序中，准备多张所述板厚的偏差的范围ΔT满足任一种所述关系的玻璃板。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的玻璃板的制造方法，其中，
在所述第二工序中，通过对所述玻璃板的主面进行的激光照射处理以及对该激光照射处理后的玻璃板进行的蚀刻处理，而形成所述贯通孔。
5.根据权利要求4所述的玻璃板的制造方法，其中，
通过所述激光照射处理，而在所述玻璃板形成照射处理区域，通过所述蚀刻处理，将所述照射处理区域去除而形成所述贯通孔。
6.根据权利要求4或5所述的玻璃板的制造方法，其中，
在进行所述激光照射处理时，在所述玻璃板的主面上，对与所述贯通孔的开口部的轮廓线对应的假想线的相互分开的多个点照射激光。
7.根据权利要求4～6中任一项所述的玻璃板的制造方法，其中，
在对用于形成仅朝向板厚方向的一侧逐渐扩开的所述贯通孔的玻璃板进行所述蚀刻处理时，仅在所述玻璃板的单侧的主面配设掩模。
8.根据权利要求1～7中任一项所述的玻璃板的制造方法，其中，
所述玻璃板的板厚T0为30～1300μm。
9.根据权利要求1～8中任一项所述的玻璃板的制造方法，其中，
所述贯通孔的内壁面相对于板厚方向的倾斜角度θ为2～45°。
10.根据权利要求1～9中任一项所述的玻璃板的制造方法，其中，
所述贯通孔的最小孔宽D为5～200μm。
11.根据权利要求1～10中任一项所述的玻璃板的制造方法，其中，
对于所述最小孔宽D能够允许的偏差的范围A为所述最小孔宽D的2～40％。
12.一种玻璃板，其用于形成朝向板厚方向的至少一侧逐渐扩开、且内壁面相对于板厚方向的倾斜角度α为2～45°、且最小孔宽d为5～200μm的贯通孔，
所述玻璃板的特征在于，
以板厚t0为30～1300μm，并将对于所述最小孔宽d能够允许的偏差的范围设为所述最小孔宽d的a％且a是2～40％为条件，
在所述贯通孔仅朝向板厚方向的一侧逐渐扩开的情况下，板厚的偏差的范围Δt满足Δt≤(d×a/tanα)/200的关系，或者
在所述贯通孔从板厚方向的中间部朝向板厚方向的一侧与另一侧这两方逐渐扩开的情况下，板厚的偏差的范围Δt满足Δt≤(d×a/tanα)/100的关系。
13.一种玻璃板集合体，其特征在于，
所述玻璃板集合体通过将权利要求12所述的板厚的偏差的范围Δt满足任一种所述关系的玻璃板集合多个而成。
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