JPH081940B2 - 微細パターン構造体及びその製造方法 - Google Patents
微細パターン構造体及びその製造方法Info
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- JPH081940B2 JPH081940B2 JP1176798A JP17679889A JPH081940B2 JP H081940 B2 JPH081940 B2 JP H081940B2 JP 1176798 A JP1176798 A JP 1176798A JP 17679889 A JP17679889 A JP 17679889A JP H081940 B2 JPH081940 B2 JP H081940B2
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Description
ち板厚/孔径または板厚/スリット幅(以下、アスペク
ト比と称する)が1より大きな孔またはスリットを有す
る微細パターン構造体及びその製造方法に関するもので
ある。
体、特に金属製の構造体は、例えばLSIパッケージ用リ
ードフレーム、各種マスク等に用いられており、それら
リードフレーム等を2段構成にして配線密度を向上させ
る技術は、特開昭58−90752号,特開昭60−92646号,特
開昭60−103652号,特開昭60−107848号,特開昭60−20
6144号,特開昭60−227457号,特開昭62−81739号の各
公報により公知である。また、それらの製造方法は、一
般的には、プレス加工或いはエッチング法を用いて製造
されるのであるが、このような製造手法では、アスペク
ト比の大きい孔やスリットを形成することは困難であっ
た。そのため、アスペクト比の大きな孔やスリットを形
成する場合には、イオンミリング加工やレーザー加工等
の加工法が用いられている。
くして、同一形状に加工した複数枚の板を重ね合わせる
ことによって、所定の厚さの構造体を得る技術も公知で
ある。
ては、それら複数の板の相対位置を正確に定めることが
著しく困難であるため、高精度な寸法が得られず、加え
て、複数枚の板の重ね合わせにより目的とする構造体の
厚さが定められるところから、該構造体に厚さ精度が要
求される部分がある場合に、当初の板の厚さ精度が得ら
れないという欠点があった。ことに、リードフレームに
おいては、その厚みの分だけ、樹脂、セラミックス等に
よる封止も厚くなる。しかし、それでは、その分だけ放
熱特性が悪化することとなる。
は、その加工速度が遅く、また被加工物の除去を所望し
ない部分への損傷が生じる場合があり、更にそれらの加
工手法を用いる場合には極めて高価な加工設備が必要と
なるという欠点があった。また、アスペクト比を小さく
するために板厚を薄くすると、形成される構造体の強度
が低下したり、皺等によって板厚の均一性が低下した
り、またその取扱いが困難となったりする等の問題が惹
起され、製品構造上においても、工程上においても、欠
点の多いものであった。
数枚の板を重ね合わせる方法では、それら複数の板の相
対位置間の位置合わせを正確に定めることが著しく困難
であるため、高精度な寸法が得られず、加えて、複数枚
の板の重ね合わせにより目的とする構造体の厚さが定め
られるところから、該構造体に厚さ精度が要求される部
分がある場合に、当初の板の厚さ精度が得られないとい
う欠点があった。
て為されたものであって、その解決すべき課題とすると
ころは、簡易な工程及び設備で、アクペクト比の大きな
孔やスリットを良好な寸法精度で形成し得る微細パター
ン構造体及びその製造手法を実現することにある。
とも1枚のシート状部材が、少なくとも他の1枚のシー
ト状部材を嵌め合わせる部分の少なくとも一部に形成さ
れた肉薄部を有している、シート状部材の複数よりなる
微細パターン構造体を、その要旨とするものであり、ま
た、複数のシート状部材をそれぞれ所定形状に加工する
一方、それら複数のシート状部材のうちの少なくとも1
枚に対して、その所定部位に肉薄部を形成せしめ、そし
て該肉薄部に他のシート状部材の一部を嵌め合わせて重
ね合わせることにより、該複数のシート状部材のそれぞ
れの相対位置を規制して、アスペクト比の大きなスリッ
ト或いは孔を有するパターンの構造体を形成することを
特徴とする微細パターン構造体の製造方法をも、その要
旨とするものである。
複数のシート状部材、好ましくは金属シート部材が、目
的とする板状微細パターン構造体の形状を考慮して、そ
れぞれ所定の外形形状に成形される。なお、この際の成
形手段としては、目的とする構造体によって制限される
ものでなく、プレス成形法や超音波加工法等の公知の手
法を用いることが出来るが、特に好ましくは、フォトリ
ソグラフィ技術や精密印刷技術により形成されたパター
ン化した耐エッチング材からなるマスク等を用いるエッ
チング手法が、母材に歪を残し難く、高精度加工が出来
るところから、有利に採用される。
の部位)が除去され、所定の肉薄部が形成される。な
お、かかる肉薄部の形成に際して、嵌め合わされる部分
に対応する肉薄部の全てを一枚のシートに設ける必要は
なく、一部の嵌め合わされる部分のみを一つのシートに
おいて肉薄部とする一方、他の嵌め合わせ部分に対応す
る肉薄部については他のシートに設けるようにしても、
何等差支えない。また、この肉薄部の形成に際して、有
利に採用されるエッチング処理には、公知の各種のウェ
ットエッチング、ドライエッチング等のエッチング手法
が適宜に選択され、そして目的とする厚さの肉薄部が形
成されるように、エッチング条件が選定されることとな
るが、その際シート状部材の非エッチング部位には、フ
ォトリソグラフィ、精密印刷等によりパターン化した耐
エッチング材よりなる適当なマスキングが施される。こ
のように、シートの厚さ方向に一部分(所定厚さ部分)
のみをエッチング除去して、肉薄部を形成する手法を、
ハーフエッチングと称する。
法を用いる場合にあっては、ハーフエッチングの実施が
所望される部分の位置する片面だけ、耐エッチング材に
よりマスキングして、エッチングすることにより、かか
る外形形状の成形とハーフエッチングによる肉薄部の形
成とを同時工程とすることが出来る。また、上記の説明
とは逆に、シート状部材の所定の部位にハーフエッチン
グを施した後、かかるシート状部材の外形形状の成形操
作を実施することも可能である。
いるシート状部材は1枚でも良いが、より好ましくは、
複数枚のシート状部材のそれぞれに肉薄部が形成された
ものが採用され、そしてそれら肉薄部同士が重なり合う
ように複数枚のシート状部材を組み合わせることも可能
である。
に形成される肉薄部の厚さを、異なる2種以上の厚さと
することも、好適に採用され得る。即ち、例えば、2枚
のシート状部材を組み合わせて1つの板状の微細パター
ン構造体を形成する場合において、第一,第二のシート
状部材のそれぞれに、シート厚の1/3の厚さを有する第
一の肉薄部と、シート厚の2/3の厚さを有する第二の肉
薄部とを設け、第一のシート状部材の第一の肉薄部と第
二のシート状部材の第二の肉薄部とが、また第一のシー
ト状部材の第二の肉薄部と第二のシート状部材の第一の
肉薄部とが、それぞれ重なり合うように組み合わせるこ
とが、出来るのである。
ても良いが、必要に応じて、それぞれのシート状部材が
離れないように接着剤やスポット溶接、超音波溶接等に
より固定して用いることも出来る。また、重ね合わせ部
分で板厚方向に複数のシートから構成されている構造が
好ましくない場合には、該重ね合わせが好ましくない部
分以外のパターン部の肉薄部で重ね合わせ部分を構成し
た構造体、或いはそれぞれのシート状部材に捨てパター
ン部を形成し、該捨てパターン部に肉薄部を用いた重ね
合わせ部分を構成して、板状の微細パターン構造体を所
望の部分に組み込んだ後、該捨てパターン部を除去し得
る構成も用いられ得る。また、重ね合わせ部分全てを肉
薄部にする必要性はなく、シートの一部を折り曲げ若し
くは湾曲させた部分に肉薄部を設けても良い。更に、位
置合わせ若しくは同一平面化を所望する部分に肉薄部を
設けることが好ましい。
肉薄部をハーフエッチングにて形成すると、従来のプレ
ス加工等の機械的加工法に比較し、母材に歪を残し難
く、高精度加工が可能となることに加えて、加工厚さの
制御が容易であること、バリや余肉の盛り上がりがない
こと、工程や設備が比較的簡易であること等の数々の利
点が奏されるのである。
シート状部材の一部分とを嵌め合わせ形態において重ね
合わせることにより、複数のシート状部材の相対位置を
正確に規制することが出来、また1枚のシート状部材で
は加工が困難であった、大きなアスペクト比を有する孔
やスリットが所定部分に形成されてなるパターンを備え
た板状の微細パターン構造体が、有利に形成され得るの
である。
が重なり合うように、複数枚のシート状部材を組み合わ
せることによって得られる、板状微細パターン構造体に
おいては、板厚をシート状部材のシート厚と実質的に同
一とすることが出来るのであり、これにより重ね合わさ
れていない部分と同一平面にすることが出来ることとな
る。
に形成される肉薄部の厚さを、異なる2種以上の厚さに
て形成することにより、目的とする板状の微細パターン
構造体の板厚を大きくすることなく、第一及び第二の肉
薄部の嵌合構造をとることが出来るのである。
に具体的に明らかにすることとするが、本発明が、その
ような実施例の記載によって、何等の制約をも受けるも
のでないことは、言うまでもないところである。
記の具体的記述以外にも、本発明の趣旨を逸脱しない限
りにおいて、当業者の知識に基づいて種々なる変更、修
正、改良等を加え得るものであることが、理解されるべ
きである。
〜(g)に、またそれを製造する方法の一実施例が第1
図(a)〜(g)に、示されているが、そこにおいて、
2は、一枚の金属シートを用いて、エッチング法により
第1図(a)及び(b)に示される如き櫛状の外形形状
とされた第一の重合シート片であって、その所定部分
に、エッチングによってシート厚(非エッチング部位2b
の厚さ)の1/2の厚さを有する肉薄部2aが形成されてい
る。また、同じ厚さの別の金属シートを用いて、第1図
(c)及び(d)に示される形状の第二の重合シート片
4が形成され、前記と同様の手法により、その所定部分
に、シート厚(非エッチング部位4bの厚さ)の1/2の厚
さを有する肉薄部4aが形成されている。そして、これら
第一及び第二の重合シート片2,4が、それぞれの肉薄部2
a,4aによって相対位置を規制して嵌め合わされることに
よって、第1図(e)及び(f),(g)に示される如
き、微細な幅のスリット8を有する、目的とする構造体
10が構成されるのである。
例においては、得られる板状の微細パターン構造体10の
総厚さは、1枚の金属シートの厚さの約1.5倍となって
いる。
が第2図(e)〜(g)に、そしてそれを製造する方法
の一実施例が第2図(a)〜(g)に、示されている。
この実施例にあっては、用いられる2枚の金属製の重合
シート片12,14の外形形状は前記実施例と同様である
が、それら第一及び第二の重合シート片12,14において
は、その重ね合わせ部に、エッチング厚さの異なる第一
の肉薄部12a,14a及び第二の肉薄部12b,14bが、それぞれ
形成されている。なお、これら第一の肉薄部12a,14a
は、重合シート片12,14の厚さ、即ち非エッチング部位1
2c,14cの厚さの1/3の厚さとされ、また第二の肉薄部12
b,14bは、2/3の厚さとされている。
薄部とが重なり合うように、2枚の重合シート片を組み
合わせて重ね合わせることにより、目的とする、微細な
幅のスリット18を有する構造体20が得られるのである。
この場合には、該構造体20の総厚さは、第2図(g)か
ら明らかなように、1枚の金属シートの厚さと略同一の
厚さとして得られる。
(d),(f)及び(g)は、それぞれ、第1図及び第
2図の(a),(c)及び(e)におけるB−B断面、
D−D断面、F−F断面及びG−G断面を示す図であ
る。
造体及びその製造方法のうち、肉薄部が1枚の重合シー
ト片のみに形成される一実施例が示されている。そこに
おいて、先ず、1枚の金属シートにエッチング法により
加工を施して、第3図(a)に示される如き形状が実現
され、そしてその金属シートの所定部分に、エッチング
法にてシート厚の1/2の厚さの肉薄部22aを形成すること
により、第一の重合シート片22が作製される。なお、か
かる重合シート片22において、23は、目的とするスリッ
トを形成するための矩形孔である。そして、別の金属シ
ートを加工して得られた、第3図(b)に示される如き
形状の第二の重合シート片24が、前記第一の重合シート
片22に対して、該第一の重合シート片22に形成された肉
薄部22aに第二の重合シート片24が嵌合されるようにし
て組み合わされ、第3図(c)に示される如き、微細な
幅のスリット28を有する構造体26が形成されるのであ
る。即ち、かかるスリット28は、第一の重合シート片22
の矩形孔23内に第二の重合シート片24の帯状部25が配置
せしめられることによって、該帯状部25の左右に形成さ
れているのである。
異なる実施例が示されており、そこにおいて、第一及び
第二の重合シート片32,34は、それぞれ、1枚の金属シ
ートに対するエッチングによる加工が施されることによ
って作製されている。そして、それら重合シート片32,3
4には、複数の大きな孔36と、エッチングによってシー
ト厚の1/2の厚さとされた肉薄部32a,34aと、エッチング
の施されていない部分32b,34bとが形成されている。
を、前記肉薄部32a,34aにて嵌合するようにして組み合
わせることにより、第4図(c)に示される如き、微細
な孔38を所定位置に有する板状の微細パターン構造体40
が形成されるのである。
しい実施例が示されており、相対位置を肉薄部で規制し
て、非エッチング部位を嵌め合わせることにより、最終
的に、非エッチング部を構成する部位の1本、1本の相
対位置を規制することによって、目的とする構造体が作
製されている。
レス板42,44には、スリット45、肉薄部46がそれぞれエ
ッチング処理により形成されている。このスリット45に
あっては、その肉薄部46に接する両端部位が、中央のス
リット幅広部45aより狭い幅、換言すれば非エッチング
部位48の幅広部48bと実質的に同一の幅の狭幅部45bとさ
れている。また、非エッチング部位48は、中央の狭幅部
48aとその両端部の幅広部48b,48bとから構成されてい
る。なお、これら2枚のステンレス板42,44の板厚は75
μm、スリット45の幅は220μm、スリットのピッチは3
40μmであり、また肉薄部46の板厚は、非エッチング部
位48の1/2の厚さとされている。
5の狭幅部45bに非エッチング部位48の幅広部48bが嵌装
されるように重ね合わせることにより、第5図(e)に
示される如き、微細な幅のスリット52を有する構造体50
が好適に得られるのである。
法精度が高く、しかもアスペクト比が大きい孔またはス
リットを有する板状の微細パターン構造体が提供される
のであり、そしてそれがリードフレーム、各種マスク、
回路基板、各種電極、端子、コネクタ、各種フィルタ等
に好適に用いられ得るところに、本発明の大きな工業的
意義が存するのである。
製造方法の一例を概念的に示した説明図であり、
(a),(c)及び(e)はそれぞれ第一,第二の重合
シート片及び重ね合わせた構造体の平面図、(b),
(d),(f)及び(g)はそれぞれ(a),(c)及
び(e)におけるB−B断面,D−D断面,F−F断面及び
G−G断面を示す説明図である。 また、第2図(a)〜(g)は、本発明の他の実施例を
示す説明図であり、(a),(c)及び(e)はそれぞ
れ第一,第二の重合シート片及び重ね合わせた構造体の
平面図、(b),(d),(f)及び(g)はそれぞれ
(a),(c)及び(e)におけるB−B断面,D−D断
面,F−F断面及びG−G断面を示す説明図である。 さらに、第3図(a)〜(c)は、一枚の金属シートの
みに肉薄部を形成してなる構造の、本発明に係る構造体
及びその製造方法の一例を概念的に示す説明図であっ
て、(a)及び(b)はそれぞれ第一,第二の重合シー
ト片の平面図、(c)は重ね合わせた構造体の平面図で
ある。 更にまた、第4図(a)〜(c)は、本発明に係るアス
ペクト比の大きい孔を有する構造体並びにその製造方法
の一例を概念的に示す説明図であって、(a)及び
(b)はそれぞれ第一,第二の重合シート片の平面図、
(c)は重ね合わせた構造体の平面図である。 また、第5図(a),(d)は、それぞれ、本発明の更
に他の実施例に係る2枚の板を示す平面形態説明図であ
り、第5図(b)及び(c)は、それぞれ、第5図
(a)におけるB−B断面及びC−C断面説明図であ
り、第5図(e)〜(h)は、第5図(a)〜(d)に
示される2枚の板を組み合わせて得られる構造体を示す
説明図であって、(e)はその平面説明図、(f)〜
(h)は、それぞれ、(e)におけるF−F断面、G−
G断面及びH−H断面説明図である。 2,12,22,32:第一の重合シート片 4,14,24,34:第二の重合シート片 2a,4a,22a,32a,34a:肉薄部 12a,14a:第一の肉薄部 12b,14b:第二の肉薄部 8,18,28,52:スリット 10,20,26,40,50:構造体 36:大きい孔、38:小さい孔 42,44:ステンレス板 46:肉薄部、48:非エッチング部位
Claims (7)
- 【請求項1】複数のシート状部材を重ね合わせて、所望
の形状パターンを実現するパターン構造体であって、該
シート状部材は、所定のアスペクト比のスリットまたは
孔によって規定された形状パターンを有しており、 また、該シート状部材は、重ね合わせ部の少なくとも一
部に肉薄部を設けることにより構成された嵌合部を有し
ており、 その嵌合部が、重ね合わせたシート状部材から出来るス
リットまたは孔を一意的に規定し、 もって前記シート状部材のアスペクト比のスリットまた
は孔よりも大きなアスペクト比のスリットまたは孔によ
って規定された板状パターンを有することを特徴とす
る、 パターン構造体。 - 【請求項2】複数のシート状部材を重ね合わせて、所望
の形状パターンを実現するパターン構造体であって、該
シート状部材は、所定のアスペクト比のスリットまたは
孔によって規定された形状パターンを有しており、 また、該シート状部材は、重ね合わせ部の少なくとも一
部に肉薄部を設けることにより構成された嵌合部を有し
ており、 両シート状部材を重ね合わせることにより生まれる両シ
ート状部材の干渉部が、重ね合わせたシート状部材から
出来るスリットまたは孔を一意的に規定し、 もって前記シート状部材のアスペクト比のスリットまた
は孔よりも大きなアスペクト比のスリットまたは孔によ
って規定された形状パターンを有することを特徴とす
る、 パターン構造体。 - 【請求項3】前記パターン構造体がリードフレームであ
る請求項1、2のいずれかに記載のパターン構造体。 - 【請求項4】前記シート状部材の、一部位に板厚方向に
厚みを調整する方法がエッチング処理であることを特徴
とする請求項1ないし3のいずれかに記載のパターン構
造体の製造方法。 - 【請求項5】前記複数のシート状部材のそれぞれに前記
肉薄部を形成し、各シート状部材の肉薄部同士を重ね合
わせることにより、パターン構造体の厚さをそれぞれの
シート状部材のシート厚に略等しくしたことを特徴とす
る請求項4に記載のパターン構造体の製造方法。 - 【請求項6】前記複数の各シート状部材に、厚さの異な
る2種以上の肉薄部を設け、相対的に厚さの厚い肉薄部
を他のシート状部材の相対的に厚さの薄い肉薄部と重ね
合わせることを特徴とする請求項5に記載のパターン構
造体の製造方法。 - 【請求項7】前記シート状部材が、金属製シートである
請求項4ないし6のいずれかに記載のパターン構造体の
製造方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP63-171099 | 1988-07-08 | ||
JP17109988 | 1988-07-08 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02125458A JPH02125458A (ja) | 1990-05-14 |
JPH081940B2 true JPH081940B2 (ja) | 1996-01-10 |
Family
ID=15916967
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1176798A Expired - Lifetime JPH081940B2 (ja) | 1988-07-08 | 1989-07-07 | 微細パターン構造体及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH081940B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3296945B2 (ja) * | 1995-08-24 | 2002-07-02 | アイシン精機株式会社 | 車両用バンパ装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61142125A (ja) * | 1984-11-30 | 1986-06-30 | 伊藤 光雄 | 開閉充填式袋包装方法 |
-
1989
- 1989-07-07 JP JP1176798A patent/JPH081940B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH02125458A (ja) | 1990-05-14 |
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