JP7116926B2 - ガラス板の製造方法、及びガラス板、並びにガラス板集合体 - Google Patents
ガラス板の製造方法、及びガラス板、並びにガラス板集合体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7116926B2 JP7116926B2 JP2019081851A JP2019081851A JP7116926B2 JP 7116926 B2 JP7116926 B2 JP 7116926B2 JP 2019081851 A JP2019081851 A JP 2019081851A JP 2019081851 A JP2019081851 A JP 2019081851A JP 7116926 B2 JP7116926 B2 JP 7116926B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass plate
- hole
- plate
- glass
- plate thickness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C15/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by etching
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/062—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by direct control of the laser beam
- B23K26/0622—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by direct control of the laser beam by shaping pulses
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/36—Removing material
- B23K26/38—Removing material by boring or cutting
- B23K26/382—Removing material by boring or cutting by boring
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/36—Removing material
- B23K26/40—Removing material taking account of the properties of the material involved
- B23K26/402—Removing material taking account of the properties of the material involved involving non-metallic material, e.g. isolators
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/50—Working by transmitting the laser beam through or within the workpiece
- B23K26/53—Working by transmitting the laser beam through or within the workpiece for modifying or reforming the material inside the workpiece, e.g. for producing break initiation cracks
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C23/00—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments
- C03C23/0005—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments by irradiation
- C03C23/0025—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments by irradiation by a laser beam
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K2103/00—Materials to be soldered, welded or cut
- B23K2103/50—Inorganic material, e.g. metals, not provided for in B23K2103/02 – B23K2103/26
- B23K2103/54—Glass
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
- Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Description
図1は、本発明の第一実施形態に係るガラス板の製造方法の各工程を示すフローチャートである。同図に示すように、このガラス板の製造方法は、ガラス板1を準備する第一工程F1と、ガラス板1にテーパ状の貫通孔を形成する第二工程F2とを備える。第一工程F1では、ガラス板1の板厚を計測する計測処理g1と、ガラス板1に要求される条件を求めるための演算を行う演算処理g2とが行われる。そして、計測処理g1と演算処理g2との結果に基づいて第一工程F1で準備するガラス板1が選び出される。
このような設定の下で、
貫通孔2が板厚方向の一方側のみに向かって漸次拡開するものである場合に、板厚のバラツキの範囲ΔTが、
ΔT≦(D×A/tanθ)/200
の関係(以下、数式1という。)を満たすガラス板1を選び出すか、または、
貫通孔2が板厚方向の中間部から板厚方向の一方側と他方側との双方に向かって漸次拡開するものである場合に、板厚のバラツキの範囲ΔTが、
ΔT≦(D×A/tanθ)/100
の関係(以下、数式2という。)を満たすガラス板1を選び出す。
上記の数式1及び数式2は、最小孔幅Dの幅方向に沿うバラツキの範囲を板厚方向に沿うバラツキの範囲に換算したものと、ガラス板1の板厚(実測板厚T)のバラツキの範囲ΔTとの関係を示すものである。
本発明の第二実施形態は、ガラス板に係るものである。このガラス板は、板厚方向の少なくとも一方側に向かって漸次拡開する貫通孔を形成するために用いられるものである。このガラス板の板厚t0は、30~1300μmである。また、このガラス板に形成される貫通孔は、内壁面の板厚方向に対する傾斜角度αが2~45°、最小孔幅dが5~200μmである。そして、最小孔幅dについて許容できるバラツキの範囲a%が最小孔幅dの2~40%である。
このような条件の下で、
貫通孔2が板厚方向の一方側のみに向かって漸次拡開するものである場合に、板厚(実測板厚t)のバラツキの範囲Δtが、
Δt≦(d×a/tanα)/200
の関係を満たすか、または、
貫通孔2が板厚方向の中間部から板厚方向の一方側と他方側との双方に向かって漸次拡開するものである場合に、板厚(実測板厚t)のバラツキの範囲Δtが、
Δt≦(d×a/tanα)/100
の関係を満たしている。なお、上記の板厚t0、傾斜角度α、最小孔幅dは、何れも、設計上の値である。
1a 一方の主面
1b 他方の主面
2 貫通孔
2a 内壁面
4 仮想線
5 複数の点
F1 第一工程
F2 第二工程
A 誤差
a 誤差
D 最小孔幅
d 最小孔幅
g1 計測処理
g2 演算処理
h1 レーザー照射処理
h2 エッチング処理
T 実測板厚
t 実測板厚
T0 板厚
t0 板厚
T1 平均板厚
t1 平均板厚
θ 傾斜角度
α 傾斜角度
ΔT 板厚のバラツキの範囲
Δt 板厚のバラツキの範囲
Claims (13)
- 貫通孔を有するガラス板の製造方法であって、
ガラス板を準備する第一工程と、前記ガラス板に板厚方向の少なくとも一方側に向かって漸次拡開する貫通孔を形成する第二工程とを備え、
前記第一工程では、前記貫通孔の内壁面の板厚方向に対する傾斜角度をθとし、前記貫通孔の最小孔幅をDとし、前記最小孔幅Dについて許容できるバラツキの範囲を前記最小孔幅DのA%とすることを条件に、
前記貫通孔が板厚方向の一方側のみに向かって漸次拡開するものである場合に、前記ガラス板の板厚のバラツキの範囲ΔTが、
ΔT≦(D×A/tanθ)/200の関係を満たすガラス板を準備し、または、
前記貫通孔が板厚方向の中間部から板厚方向の一方側と他方側との双方に向かって漸次拡開するものである場合に、前記ガラス板の板厚のバラツキの範囲ΔTが、
ΔT≦(D×A/tanθ)/100の関係を満たすガラス板を準備することを特徴とするガラス板の製造方法。 - 同一の大きさで同一の形状をなす複数の前記貫通孔を、前記板厚のバラツキの範囲ΔTが前記何れかの関係を満たすガラス板に形成する請求項1に記載のガラス板の製造方法。
- 前記第一工程では、前記板厚のバラツキの範囲ΔTが前記何れかの関係を満たす複数枚のガラス板を準備する請求項1または2に記載のガラス板の製造方法。
- 前記第二工程では、前記ガラス板の主面に対するレーザー照射処理と、該レーザー照射処理後のガラス板に対するエッチング処理とによって、前記貫通孔を形成する請求項1~3の何れかに記載のガラス板の製造方法。
- 前記レーザー照射処理によって、前記ガラス板に照射処理領域を形成し、前記エッチング処理によって、前記照射処理領域を除去して前記貫通孔を形成する請求項4に記載のガラス板の製造方法。
- 前記レーザー照射処理を行う際に、前記ガラス板の主面上で、前記貫通孔の開口部の輪郭線に対応する仮想線の互いに離隔した複数の点に対して、レーザーを照射する請求項4または5に記載のガラス板の製造方法。
- 板厚方向の一方側のみに向かって漸次拡開する前記貫通孔を形成するためのガラス板に対して前記エッチング処理を行う際に、前記ガラス板の片側の主面のみにマスクを配設する請求項4~6の何れかに記載のガラス板の製造方法。
- 前記ガラス板の板厚T0が、30~1300μmである請求項1~7の何れかに記載のガラス板の製造方法。
- 前記貫通孔の内壁面の板厚方向に対する傾斜角度θが、2~45°である請求項1~8の何れかに記載のガラス板の製造方法。
- 前記貫通孔の最小孔幅Dが、5~200μmである請求項1~9の何れかに記載のガラス板の製造方法。
- 前記最小孔幅Dについて許容できるバラツキの範囲Aが、前記最小孔幅Dの2~40%である請求項1~10の何れかに記載のガラス板の製造方法。
- 板厚方向の少なくとも一方側に向かって漸次拡開し、内壁面の板厚方向に対する傾斜角度αが2~45°で、最小孔幅dが5~200μmの貫通孔を形成するためのガラス板であって、
板厚t0が30~1300μmであり、前記最小孔幅dについて許容できるバラツキの範囲を前記最小孔幅dのa%としてaが2~40%であることを条件に、
前記貫通孔が板厚方向の一方側のみに向かって漸次拡開するものである場合に、板厚のバラツキの範囲Δtが、
Δt≦(d×a/tanα)/200の関係を満たし、または、
前記貫通孔が板厚方向の中間部から板厚方向の一方側と他方側との双方に向かって漸次拡開するものである場合に、板厚のバラツキの範囲Δtが、
Δt≦(d×a/tanα)/100の関係を満たすことを特徴とするガラス板。 - 請求項12に記載の板厚のバラツキの範囲Δtが前記何れかの関係を満たすガラス板を複数集めたガラス板集合体。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019081851A JP7116926B2 (ja) | 2019-04-23 | 2019-04-23 | ガラス板の製造方法、及びガラス板、並びにガラス板集合体 |
PCT/JP2020/015416 WO2020217936A1 (ja) | 2019-04-23 | 2020-04-03 | ガラス板の製造方法、及びガラス板、並びにガラス板集合体 |
CN202080011074.9A CN113365958B (zh) | 2019-04-23 | 2020-04-03 | 玻璃板的制造方法、玻璃板以及玻璃板集合体 |
KR1020217026868A KR102670240B1 (ko) | 2019-04-23 | 2020-04-03 | 유리판의 제조 방법 및 유리판, 및 유리판 집합체 |
US17/602,473 US20220204393A1 (en) | 2019-04-23 | 2020-04-03 | Method for manufacturing glass sheet, and glass sheet and glass sheet assembly |
TW109112539A TWI842874B (zh) | 2019-04-23 | 2020-04-14 | 玻璃板的製造方法、玻璃板以及玻璃板集合體 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019081851A JP7116926B2 (ja) | 2019-04-23 | 2019-04-23 | ガラス板の製造方法、及びガラス板、並びにガラス板集合体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020180009A JP2020180009A (ja) | 2020-11-05 |
JP7116926B2 true JP7116926B2 (ja) | 2022-08-12 |
Family
ID=72942351
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019081851A Active JP7116926B2 (ja) | 2019-04-23 | 2019-04-23 | ガラス板の製造方法、及びガラス板、並びにガラス板集合体 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20220204393A1 (ja) |
JP (1) | JP7116926B2 (ja) |
KR (1) | KR102670240B1 (ja) |
CN (1) | CN113365958B (ja) |
WO (1) | WO2020217936A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11524366B2 (en) * | 2018-07-26 | 2022-12-13 | Coherent Munich GmbH & Co. KG | Separation and release of laser-processed brittle material |
CN116529217A (zh) * | 2020-11-20 | 2023-08-01 | 日本电气硝子株式会社 | 电子设备的制造方法及玻璃板组 |
WO2023219213A1 (ko) * | 2022-05-10 | 2023-11-16 | 주식회사 필옵틱스 | 적외선 레이저를 이용한 고속 정밀 관통홀 형성 방법 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003226551A (ja) | 2002-02-05 | 2003-08-12 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 微細孔を有するガラス板およびその製造方法 |
JP2006290630A (ja) | 2005-02-23 | 2006-10-26 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | レーザを用いたガラスの加工方法 |
JP2017061401A (ja) | 2015-09-25 | 2017-03-30 | 旭硝子株式会社 | 貫通孔を有するガラス基板の製造方法、貫通電極を備えるガラス基板の製造方法、およびインターポーザの製造方法 |
JP2017190285A (ja) | 2016-04-06 | 2017-10-19 | 旭硝子株式会社 | 貫通孔を有するガラス基板の製造方法およびガラス基板に貫通孔を形成する方法 |
JP2018024571A (ja) | 2016-08-05 | 2018-02-15 | 旭硝子株式会社 | 孔を有するガラス基板の製造方法 |
WO2018162385A1 (de) | 2017-03-06 | 2018-09-13 | Lpkf Laser & Electronics Ag | Verfahren zum einbringen zumindest einer ausnehmung in ein material mittels elektromagnetischer strahlung und anschliessendem ätzprozess |
JP2018188351A (ja) | 2017-04-28 | 2018-11-29 | Agc株式会社 | ガラス基板 |
JP2018531205A6 (ja) | 2015-10-09 | 2018-12-13 | コーニング インコーポレイテッド | ビアを有するガラス系基板およびそれを形成するプロセス |
JP2018199605A (ja) | 2017-05-29 | 2018-12-20 | Agc株式会社 | ガラス基板の製造方法およびガラス基板 |
JP2019021916A (ja) | 2017-07-11 | 2019-02-07 | Agc株式会社 | ガラス基板 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07164225A (ja) * | 1993-12-15 | 1995-06-27 | Dijet Ind Co Ltd | 段付きドリル |
JP2000343000A (ja) * | 1999-06-07 | 2000-12-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ノズルおよびノズル穴の加工方法ならびに加工装置 |
JP2004188834A (ja) * | 2002-12-12 | 2004-07-08 | Konica Minolta Holdings Inc | ノズルプレートの製造方法、ノズルプレート及びインクジェット記録ヘッド |
JP4778257B2 (ja) * | 2005-04-11 | 2011-09-21 | 日本特殊陶業株式会社 | 配線基板の製造方法およびセラミックグリーンシートの打ち抜き装置 |
US20160347643A1 (en) | 2015-05-29 | 2016-12-01 | Asahi Glass Company, Limited | Glass substrate manufacturing method |
US20170103249A1 (en) | 2015-10-09 | 2017-04-13 | Corning Incorporated | Glass-based substrate with vias and process of forming the same |
CN108779013B (zh) * | 2016-03-30 | 2022-08-12 | Hoya株式会社 | 玻璃坯料、玻璃坯料的制造方法以及磁盘用玻璃基板的制造方法 |
-
2019
- 2019-04-23 JP JP2019081851A patent/JP7116926B2/ja active Active
-
2020
- 2020-04-03 CN CN202080011074.9A patent/CN113365958B/zh active Active
- 2020-04-03 US US17/602,473 patent/US20220204393A1/en active Pending
- 2020-04-03 WO PCT/JP2020/015416 patent/WO2020217936A1/ja active Application Filing
- 2020-04-03 KR KR1020217026868A patent/KR102670240B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003226551A (ja) | 2002-02-05 | 2003-08-12 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 微細孔を有するガラス板およびその製造方法 |
JP2006290630A (ja) | 2005-02-23 | 2006-10-26 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | レーザを用いたガラスの加工方法 |
JP2017061401A (ja) | 2015-09-25 | 2017-03-30 | 旭硝子株式会社 | 貫通孔を有するガラス基板の製造方法、貫通電極を備えるガラス基板の製造方法、およびインターポーザの製造方法 |
JP2018531205A6 (ja) | 2015-10-09 | 2018-12-13 | コーニング インコーポレイテッド | ビアを有するガラス系基板およびそれを形成するプロセス |
JP2017190285A (ja) | 2016-04-06 | 2017-10-19 | 旭硝子株式会社 | 貫通孔を有するガラス基板の製造方法およびガラス基板に貫通孔を形成する方法 |
JP2018024571A (ja) | 2016-08-05 | 2018-02-15 | 旭硝子株式会社 | 孔を有するガラス基板の製造方法 |
WO2018162385A1 (de) | 2017-03-06 | 2018-09-13 | Lpkf Laser & Electronics Ag | Verfahren zum einbringen zumindest einer ausnehmung in ein material mittels elektromagnetischer strahlung und anschliessendem ätzprozess |
JP2018188351A (ja) | 2017-04-28 | 2018-11-29 | Agc株式会社 | ガラス基板 |
JP2018199605A (ja) | 2017-05-29 | 2018-12-20 | Agc株式会社 | ガラス基板の製造方法およびガラス基板 |
JP2019021916A (ja) | 2017-07-11 | 2019-02-07 | Agc株式会社 | ガラス基板 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW202039396A (zh) | 2020-11-01 |
WO2020217936A1 (ja) | 2020-10-29 |
KR20210153596A (ko) | 2021-12-17 |
CN113365958A (zh) | 2021-09-07 |
CN113365958B (zh) | 2023-05-23 |
US20220204393A1 (en) | 2022-06-30 |
JP2020180009A (ja) | 2020-11-05 |
KR102670240B1 (ko) | 2024-05-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7116926B2 (ja) | ガラス板の製造方法、及びガラス板、並びにガラス板集合体 | |
JP2018199605A (ja) | ガラス基板の製造方法およびガラス基板 | |
TWI716577B (zh) | 製造具有貫通孔之玻璃基板之方法以及系統、與於玻璃基板形成貫通孔之方法 | |
TW201803824A (zh) | 玻璃之加工方法 | |
JP2018024571A (ja) | 孔を有するガラス基板の製造方法 | |
CN104812178B (zh) | 具有分段式金手指的电路板的制作方法 | |
JP7478255B2 (ja) | 凹部を基板中に生成するための方法 | |
JP2024075582A5 (ja) | ||
TWI762807B (zh) | 蒸鍍遮罩用基材、蒸鍍遮罩用基材的製造方法、蒸鍍遮罩的製造方法及顯示裝置的製造方法 | |
TWI842874B (zh) | 玻璃板的製造方法、玻璃板以及玻璃板集合體 | |
JP7396899B2 (ja) | パルスレーザ光を用いた基板の加工、特に分離のための方法 | |
JPH11199400A (ja) | 水晶基板のエッチング方法 | |
JP6962332B2 (ja) | 非貫通孔を有する基板 | |
JP2000030990A (ja) | チップ部品の保持プレートの製造方法 | |
TWI592382B (zh) | 硬質基板、觸控面板及硬質基板的處理方法 | |
EP2484478B1 (de) | Verfahren zum Einbringen einer Durchbrechung in ein Substrat | |
TW202337611A (zh) | 有孔之玻璃板之製造方法及玻璃板 | |
RU2006137478A (ru) | Способ изготовления из кремниевых пластин лезвий со сложной геометрией и упрочнения таких лезвий | |
JP6018837B2 (ja) | 水晶振動素子及びその製造方法 | |
KR102223816B1 (ko) | 쉐도우 마스크의 제조방법 및 이 제조방법에 의해 제조된 쉐도우 마스크 | |
JP2024010320A (ja) | 金型の製造方法 | |
JP2007259051A (ja) | 水晶振動子片の製造方法 | |
DE10105190A1 (de) | Verfahren zur Herstellung einer Feinstrukturierung eines Materials und Vorrichtung | |
DE10232914A1 (de) | Wiederverwendbarer Trägerwafer und Verfahren zur Herstellung desselben | |
CN108376644A (zh) | 一种半导体晶圆孔洞制作方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20211109 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220614 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220620 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220701 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220714 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7116926 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |