CN111077347B - 原子力显微术探针夹持装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种原子力显微术探针夹持装置，其包括探针底座，所述探针底座用于装设探针基片，所述探针底座具有第一斜面和第二斜面，分别与水平面呈第一夹角和第二夹角，所述第一夹角小于第二夹角，其中在所述第一斜面上设有用于装载探针基片的探针基片定位槽；所述探针基片定位槽的两侧，设有夹持工具定位槽；在所述探针基片装入所述探针基片定位槽后，所述夹持工具定位槽位于所述探针基片中部的两侧。

Description

原子力显微术探针夹持装置

技术领域

本发明涉及扫描探针显微技术领域，具体涉及一种用于原子力显微术仪器设备中夹持和固定原子力探针的装置。

背景技术

原子力显微术(AFM)是一种扫描探针显微成像技术，利用该技术人们能以纳米甚至原子级的精度来观测样品的表面结构。AFM成像可直接在大气环境下进行，无需保持超高真空等极端条件；还能够在溶液中接近样品生理条件的环境下对其表面进行观测。AFM的工作原理是利用一个一端带有针尖的微悬臂靠近样品表面并与之产生力的相互作用，通过检测针尖-样品的相互作用信息再以光栅扫描的方式逐点收集，最后用计算机软件绘制出反映样品表面结构的高分辨图像。目前，常见的AFM技术中都采用了基于光杠杆检测的原理，其中的微悬臂探针是一种使用现代微加工工艺制作的力学传感器。典型的探针结构包括：针尖、微悬臂和探针基片。除了可实现常规的形貌成像和力学探测功能之外，通过在探针上覆盖不同功能的薄膜材料还可对试样进行电学、磁学等多种模式的观测。

通常在实际操作AFM进行实验的过程中，第一步就是装载AFM探针到仪器设备上。接着在扫描成像的过程中，针尖在扫描过不同的测试材料表面后，由于磨损效应的存在，针尖的尖锐程度会不可避免的降低；或针尖在扫描过程中粘接上了样品表面的杂质颗粒；这些因素将导致观测图像分辨率的下降甚至出现假象。为保证测量精度还需要时常对损坏的或者不再尖锐的探针进行更换。最后在使用完AFM仪器设备之后，为便于其他用户继续使用，还需要将装载的探针取出并装回探针盒内。

由于探针特别是微悬臂的尺寸较小，可操作性的部分主要为探针基片，直接装载探针到仪器设备上或从仪器设备中取出探针时人工操作都较为困难，容易人为造成探针的损坏。

发明内容

根据本发明的一个方面，提供了一种原子力显微术探针夹持装置，包括探针底座，所述探针底座用于装设探针基片，所述探针底座具有第一斜面和第二斜面，分别与水平面呈第一夹角和第二夹角，所述第一夹角小于第二夹角，其中在所述第一斜面上设有用于装载探针基片的探针基片定位槽；所述探针基片定位槽的两侧，设有夹持工具定位槽；在所述探针基片装入所述探针基片定位槽后，所述夹持工具定位槽位于所述探针基片中部的两侧。

根据一种实施方式，所述原子力显微术探针夹持装置还包括夹持基座和压滑组件，所述压滑组件包括弹簧、固定螺丝件和压滑片，所述压滑片上设置有本体部、滑孔部和前伸部，所述夹持基座包括弹簧容纳孔、螺纹孔、以及探针底座安装部，所述弹簧的一端设置在所述弹簧容纳孔中，所述本体部设置在所述弹簧的另一端，用于压制所述弹簧，所述固定螺丝件穿过所述滑孔部，并与所述螺纹孔相连接，从而将所述压滑片和所述弹簧设置在所述夹持基座上，能够推动所述本体部，利用所述滑孔部，使得所述前伸部前后移动，所述探针底座安装在所述探针底座安装部上，所述前伸部移动到前部时，所述前伸部压制所述探针底座上设置的所述探针基片，所述前伸部移动到前部时，放开所述探针基片。

根据一种实施方式，所述前伸部与所述本体部成第三夹角，所述第三夹角小于所述第一夹角，所述第二夹角大于45度。

根据一种实施方式，所述第二夹角与所述第一夹角和所述第三夹角的差的比值大于15小于25，所述第一夹角和所述第三夹角的差大于等于3度并且小于等于5度。

根据一种实施方式，所述第二夹角为60度，第一夹角为15度，第三夹角为12度。

根据一种实施方式，所述探针底座和所述探针底座安装部之间设有压电陶瓷块；所述弹簧为压簧，所述弹簧容纳孔为盲孔，盲孔的末端设有便于安装用的过孔；所述夹持工具定位槽为半圆形，所述探针基片定位槽为方形。

根据一种实施方式，所述原子力显微术探针夹持装置还包括探针架固定底座，所述探针底座设有至少两个连接孔，所述探针架固定底座设有对应的螺孔，所述探针架固定底座与所述探针底座利用所述连接孔和所述螺孔固定连接。

根据一种实施方式，所述探针架固定底座具有三个定位点，各定位点上包括两个定位销槽和一个圆孔，相邻的各组定位销槽之间相差120度，各定位销槽中设有定位销。

根据一种实施方式，所述两个连接孔上靠近基座本体边沿处设置有豁口部，能够更宽范围地进行连接部件种类的选择。

以上各角度并不排除制造时的各种加工误差。

根据一种实施方式，探针架固定底座上具有两个磁铁槽，所述磁铁槽为圆柱形盲孔，所述磁铁槽中设置有磁铁，盲孔的末端设有便于安装用的过孔。

本发明的实施方式提供了一种探针夹持和固定装置能够让操作者更加便捷、可靠地放置或取出AFM探针，利用此装置操作者能够更容易地将AFM探针装载到仪器主体上。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对本发明实施例所需要使用的附图作简要地介绍。应该注意，这些附图都是示意性的，不是对本发明保护范围的限制，也不是按照比例绘制的。

图1示出了依据本发明的一种实施方式的探针夹持装置的顶面朝上状态的立体图；

图2示出了依据本发明的一种实施方式的探针夹持装置的底面朝上状态的立体图；

图3示出了依据本发明的一种实施方式的探针夹持装置的装配***图；

图4示出了依据本发明一种实施方式的夹持基座的立体图、仰视图和正视图；

图5示出了依据本发明一种实施方式的压滑片的立体图、侧视图和俯视图；

图6示出了安装后的依据本发明一种实施方式的探针夹持装置的剖面示意图；

图7示出了依据本发明一种实施方式的探针底座的立体图及加工操作中由铣刀轨迹覆盖区域的示意图；

图8示出了其与金属或陶瓷片结合后的立体图、主视图和俯视图；

图9示出了使用一种镊子作为夹持工具时依据本发明一种实施方式的夹持加载探针的示意图以及用于比较镊子操作探针基片不同位置的差异的示意图。

具体实施方式

为了更清楚的说明本发明的目的和具体实施方案，下面结合附图对本发明的实施方式做进一步的详细阐述。这些描述都是示例性的，不是对本发明的保护范围的限制。

图1示出了依据本发明的一种实施方式的探针夹持装置的顶面朝上状态的立体图；图2示出了依据本发明的一种实施方式的探针夹持装置的底面朝上状态的立体图；图3示出了依据本发明的一种实施方式的探针夹持装置的装配***图。如图1到图3所示，依据本发明的一种实施方式的探针夹持装置主要包括探针夹持机构10和探针架固定底座20。

如图1到图3所示，探针夹持机构10包括夹持基座101，夹持基座101设有连接孔1013(参见图4)。探针架固定底座20包括固定基座201，固定基座201上设有螺孔。根据一种实施方式，该螺孔上有螺纹。螺杆109和螺杆108可穿过夹持基座101上的连接孔而与固定基座201上设有的螺孔螺纹连接，从而将夹持基座101和固定基座201连接起来，即将探针架固定底座20和探针夹持机构10连接起来。

本发明该实施方式的固定基座的一侧设置有螺纹接口，可以通过螺纹连接固定不同结构的探针夹持机构，增加了整个装置的灵活性。

固定基座201可为铝合金或不锈钢等金属材料作为加工原料所制作的立方体结构。

固定基座201上设有3个定位点210。每个定位点上包含两个定位销槽和一个定位圆孔所组成，相邻的每组定位销槽之间相差120度。定位销204和205、定位销206和207以及定位销208和209设置在对应的定位点的定位销槽中。应该注意，这里的3个定位点是为了与该探针架固定底座20要安装到的仪器设备相配合，可以为更多或更少的定位点。例如：在该仪器主体上可预设3钢珠的定位结构，其可与该实施方式的3个定位点210相匹配。定位销可为圆柱形，圆柱定位销(直径约1.5mm)可采用粘接的方式固定在定位圆孔两侧的槽中，槽间距与仪器主体上定位钢珠的半径相当(约4.5mm)。定位点210、定位销204到209可以统称为定位机构。

固定基座201上还设有两个磁铁槽211，分别用于安装磁铁202和203。磁铁202和203可以为采用材料为钕铁硼的磁铁片，直径约6mm，厚度约3mm，可根据与仪器的配合情况而选择设置更多的磁铁和磁铁槽。磁铁槽可以为圆柱形盲孔，所述盲孔的末端设有便于安装用的过孔。固定装置底座和仪器接口间定位良好后，固定装置底座上的两块磁铁与仪器主体上对应的两块磁铁间产生足够的吸引力，以保障固定装置底座和仪器设备主体间具有足够的结合力。磁铁和磁铁槽可以统称为定位保障机构。采用磁吸式的装载和定位结构，能够使定位保障机构的机械结构更为简化，无需其他工具即可将固定底座取下，便于操作者直接装载或取出带有探针的夹持装置及其底座。同时也减小了因反复从仪器设备上拆装夹持装置及其底座，而带来的机械装置磨损。探针架固定底座20主要依据该定位点210、磁铁和磁铁槽将探针夹持机构10固定在仪器上。

本发明的该实施方式的探针架固定底座20采用可装配的方式，加工方便，组装灵活。

图4示出了依据本发明一种实施方式的夹持基座的立体图、仰视图和正视图。如图3和图4所示，依据本发明的一种实施方式的夹持基座101包括基座本体和设置在基座本体两侧上的两个连接部，连接部上设有连接孔1013，并在两个连接孔上靠近基座本体边沿处设置有豁口部1016。该两个连接部之间，设有组件连接部1015，组件连接部1015的两边设有凹槽1014，结构上能方便走线，例如引出来自压电陶瓷块或来自针尖的导线。在组件连接部1015后部设有螺纹孔1011和弹簧容纳孔1012，在其前部设有探针底座安装部。在本发明的图示的实施方式中，螺纹孔1011为通孔，但也可以为盲孔。弹簧容纳孔1012为盲孔。盲孔是指不是整体贯穿的孔。在一种实施方式中，在盲孔的底部设置一个小的过孔(过孔是通孔)，从而可以方便弹簧的安装。例如使用引导物通过该过孔将弹簧引入孔中，再取出引导物。这样的实施方案还能扩展弹簧的选择范围。

弹簧106、固定螺丝件111、压滑片102一起构成了压滑组件。

图5示出了依据本发明一种实施方式的压滑片102的立体图、侧视图和俯视图。如图5所示，依据本发明一种实施方式的压滑片102包括本体部1023、设置在本体部1023上的滑孔部1022、以及前伸压制部1021。

压滑片102的主要作用是配合压簧和固定螺丝，形成杠杆结构将探针基片103固定在探针槽内。在一种实施方式中，可以通过激光加工的方式，在约0.2mm厚度的金属片(例如不锈钢或铜片)上刻画出图中的图案。几个特征区域包括顶端为宽度略小于AFM探针基片宽度(约1.6mm)的矩形，可确保压住探针底座105的定位槽中的探针基片；中部的长圆孔孔径略大于固定压滑片的固定螺丝的螺径，如平头螺丝(螺径约2mm)，且长圆孔的长度(固定螺丝可在其中滑动的长度)约3.5mm，可确保压滑片前端矩形部分的位置完全从探针槽上移开；利用机械钣金的方式，在金属片前段制作约12度倾角(第三倾角)；后端两侧分别制作约90度弯曲的结构，以防止直接用手操作金属片时被割伤。将弹簧106(可以是压簧，约2.5mm直径，5mm长)放入圆孔中，调整固定压滑片的平头螺丝紧固程度，使压簧产生一定的预压力，由于杠杆效应，压滑片的另一端将产生向下的压力，此压力将用于使探针基片固定在探针底座的定位槽内。

图6示出了安装后的依据本发明一种实施方式的探针夹持装置的剖面示意图。

如图3到图6所示，在安装所述装置时，首先使夹持基座101的底面朝上，将压电陶瓷块107设置在夹持基座101的组件连接部1015上，然后将粘合了挡阻片(可为金属或陶瓷材质)104的探针底座105设置在压电陶瓷块107上。阻挡片104可以视为是探针底座105的一个组成部分。在一种实施方式中，可通过例如粘结的方式将陶瓷块固定到夹持基座101的组件连接部1015上；压电陶瓷块和探针底座105也可以通过粘结等方式固定在一起。

然后，将弹簧106设置在夹持基座101的弹簧容纳孔1012中，将压滑片102的本体部1023设置在弹簧106上，并使固定螺丝件111穿过压滑片102的滑孔部1022，与螺纹孔1011相连接，从而将压滑片102和弹簧106设置在夹持基座101上。由于滑孔部1022的存在，使得压滑片102能够前后移动。

在装载探针时，先使压滑片后移，避免前伸压制部1021盖住探针槽影响后续的探针安装。最后将探针基片103设置在探针底座105的探针槽内。抬起压滑片的前伸压制部1021并向前推动压滑片102；放下前伸压制部1021使其压制并固定住探针103，从而完成探针的装载。

图7示出了依据本发明一种实施方式的探针底座的立体图。图8示出了其与阻挡片104结合后的立体图、主视图和俯视图。

如图7和图8所示，依据本发明一种实施方式的探针底座具有两个斜面(平斜面1054和斜面1055)，分别与水平面呈15度和60度夹角，其中在斜面1054上设有用于装载探针基片103的探针基片定位槽1052，探针基片定位槽为方形，与探针基片的形状相配合；在探针基片定位槽1052两侧的凸部1053上，中部留有方便夹持工具(例如镊子)操作的夹持工具定位槽1051，夹持工具定位槽1051可为半圆形；阻挡片104设置在定位槽1052末端，其作用是将定位槽的一端封住防止放入的探针滑落。探针基片装入探针基片定位槽1052后，两侧留给镊子尖操作的半圆定位槽恰好位于探针基片中部的两侧。

在制造时，以铝合金或不锈钢等金属作为加工材料，从一个立方体结构出发加工出两个与水平面分别呈15度(第一倾角)和60度夹角(第二倾角)的平面(平面1054和1055)，其余平面均保持竖直或水平方向；其中平面1054和平面1056由于分别涉及到探针固定和压电陶瓷块粘接，对机械加工的表面粗糙度要求高于其他面。平面1054用于进一步加工放置探针的定位槽；采用小尺寸铣刀在该平面上加工出0.5mm深，约2mm宽度的探针定位槽，并在槽的两侧加工出同样深度的半圆定位槽1051(直径约1mm)以方便镊子进行操作，由铣刀操作的轨迹覆盖区域(见图7)也被去除0.5mm厚的材料；为保证槽的一端封闭防止放入的探针滑落，在探针槽的末端粘接厚度与槽深相同的阻挡片104。

所述的探针夹持和固定装置其使用方法为：首先从仪器主体上取下磁吸方式所固定的装置底座并翻转至底面朝上进行放置；调节压滑片102位置至探针槽1052全部暴露于视野中；使用镊子夹住探针基片的中段，将探针基片放置于探针槽中并做位置微调。由于留给镊子尖操作的半圆槽位于探针基片的中段，因此在放置和调整的过程中，镊子可始终对探针基片的中段进行操作，避免了由于夹持装置结构限制而必须操作基片其他部分(如：仅在前端或后端)容易人为造成的探针损坏。然后抬起压滑片的前伸压制部1021并向前推动压滑片102，使得前伸压制部1021的位置刚好位于探针基片上；放下前伸压制部1021使其压制并固定住探针103，从而将探针基片固定良好。

另外，如图6所示，夹持基座101的边缘可具有一倾角，该倾角与第二角度B相同。根据本发明的一种实施方式，第二倾角大于45度并小于75度。同时第一角度A与第三角度C的差应大于等于3度小于等于5度，并且同时B/(A—C)应在15到25之间。此技术方案既能确保探针正常工作，又有利于探针基片的夹持。

图9比较了镊子操作探针基片不同位置时的差异，例如：为使用弹片式探针夹持装置固定基片，在用镊子操作时通常夹住基片的前端部位；由于此处离悬臂较近，由操作失误造成人为针尖损坏的可能性较大。另一种方式探针基片定位槽中虽然给夹持工具预留出了空间，但镊子仅能操作基片的末端，而常见的AFM探针基片边缘都有倒角，仅操作基片的末端易造成夹持不稳定的状态。

应该注意，本文各角度值并不排除制造时的各种加工误差。

本发明实施方式的原子力显微术探针的夹持和固定装置具有以下的一个或更多个的优点和积极效果：采用杠杆式压滑片结构作为AFM探针的夹持装置，在操作时可将压滑片的压制端从探针槽上完全移开，将探针定位槽完全暴露于操作者的视野中，便于进行探针基片装载的操作；在使用夹持工具(如镊子)进行操作时，探针槽预留给镊子操作的半圆定位槽位于探针基片的中段，可使操作者更方便地进行基片放入和取出的操作；磁吸式的固定底座可使操作者无需其他工具，直接装载或取出带有探针的夹持装置，同时避免机械插件方式造成的结构磨损。这些措施使探针的手工放置及自动化放置变得更加便捷、可靠，减少了AFM探针在装载时由操作造成的不必要损耗。

应该注意，所描述的实施例仅仅是本发明的部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明的构思，在本发明的权利要求范围内的任何所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

Claims (8)

1.一种原子力显微术探针夹持装置，其特征在于，原子力显微术探针夹持装置包括探针底座，所述探针底座用于装设探针基片，所述探针底座具有第一斜面和第二斜面，分别与水平面呈第一夹角和第二夹角，所述第一夹角小于第二夹角，其中在所述第一斜面上设有用于装载探针基片的探针基片定位槽；所述探针基片定位槽的两侧，设有夹持工具定位槽；在所述探针基片装入所述探针基片定位槽后，所述夹持工具定位槽位于所述探针基片中部的两侧，在所述探针基片定位槽的末端设有阻挡片，用于防止探针基片滑落，其中，所述阻挡片与所述探针底座相粘接，所述探针基片定位槽端部的两侧不具有夹持工具定位槽；

其中，采用铣刀在所述第一斜面上加工出所述探针基片定位槽，由铣刀操作的轨迹覆盖区域也被去除相同厚的材料，并在所述探针基片定位槽的两侧加工出同样深度的夹持工具定位槽，然后在探针基片定位槽的末端粘接厚度与探针基片定位槽的槽深相同的所述阻挡片，

其中，所述原子力显微术探针夹持装置还包括夹持基座和压滑组件；所述压滑组件包括弹簧、固定螺丝件和压滑片，所述压滑片上设置有本体部、滑孔部和前伸部，

所述夹持基座的边缘具有一倾角，该倾角与所述第二夹角相同，

所述前伸部与所述本体部成第三夹角，所述第三夹角小于所述第一夹角，

所述第二夹角与所述第一夹角和所述第三夹角的差的比值大于15小于25，所述第一夹角和所述第三夹角的差大于等于3度并且小于等于5度，

其中，所述第二夹角大于45度，小于75度。

2.根据权利要求1所述的原子力显微术探针夹持装置，其特征在于，所述夹持工具定位槽包括两个半圆槽，所述阻挡片为金属片或陶瓷片，所述阻挡片的厚度与所述探针基片定位槽的槽深相同；

所述夹持基座包括弹簧容纳孔、螺纹孔、以及探针底座安装部，所述前伸部为金属片；

所述弹簧的一端设置在所述弹簧容纳孔中，所述本体部设置在所述弹簧的另一端，用于压制所述弹簧，所述固定螺丝件穿过所述滑孔部，并与所述螺纹孔相连接，从而将所述压滑片和所述弹簧设置在所述夹持基座上，能够推动所述本体部，利用所述滑孔部，使得所述前伸部前后移动；

所述探针底座安装在所述探针底座安装部上，所述前伸部移动到前部时，所述前伸部压制所述探针底座上设置的所述探针基片，所述前伸部移动到后部时，放开所述探针基片。

3.根据权利要求2所述的原子力显微术探针夹持装置，其特征在于，所述第二夹角为60度，第一夹角为15度，第三夹角为12度。

4.根据权利要求2所述的原子力显微术探针夹持装置，其特征在于，所述探针底座和所述探针底座安装部之间设有压电陶瓷块；所述弹簧为压簧，所述弹簧容纳孔为盲孔，所述盲孔的末端设有便于安装用的过孔；所述夹持工具定位槽为半圆形，所述探针基片定位槽为方形。

5.根据权利要求2所述的原子力显微术探针夹持装置，其特征在于，所述原子力显微术探针夹持装置还包括探针架固定底座，所述夹持基座设有至少两个连接孔，所述探针架固定底座设有对应的螺孔，所述探针架固定底座与所述夹持基座利用所述连接孔和所述螺孔固定连接。

6.根据权利要求5所述的原子力显微术探针夹持装置，其特征在于，所述探针架固定底座具有三个定位点，各定位点上包括两个定位销槽和一个圆孔，相邻的各组定位销槽之间相差120度，各定位销槽中设有定位销。

7.根据权利要求5所述的原子力显微术探针夹持装置，其特征在于，所述两个连接孔上靠近基座本体边沿处设置有豁口部。

8.根据权利要求5所述的原子力显微术探针夹持装置，其特征在于，探针架固定底座上具有两个磁铁槽，所述磁铁槽为圆柱形盲孔，所述磁铁槽中设置有磁铁，盲孔的末端设有便于安装用的过孔。

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