JP2017003579A - ミクロ構造診断用の試料を作製する方法及びミクロ構造診断用の試料 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】材料を除去するレーザービーム加工によって、基材から予め定められた形態を有する試料本体が作製される。次に、試料本体の目標部分が、レーザービーム加工及び/又はイオンビーム加工によって、ミクロ構造調査に適した目標体積を露出させるために、更に加工される。この方法は、基材から試料本体を切り離すステップと、試料本体とは別体の試料本体ホルダを形成するステップと、切り離された試料本体を基材から取り出すステップと、基材から取り出した試料本体を試料本体ホルダの収容構造に固定するステップと、目標部分の領域内で試料本体の少なくとも1つの側面の材料を除去するステップと、を有する。
【選択図】図3
Description
PH 試料本体ホルダ
PK 試料本体
PO 試料本体上側
SO 基材表面
Claims (15)
- ミクロ構造診断のための試料(P)を作製する方法であって、材料を除去するレーザービーム加工によって、基材から、予め定めることができる形状を有する試料本体(PK)が作製され、次に、試料本体の目標部分(ZA)が、レーザービーム加工及び/又はイオンビーム加工によって、ミクロ構造調査に適した目標体積(ZV)を露出させるために、更に加工されるもので、
(a)少なくとも1つのレーザー加工操作を用いて、少なくとも1つのレーザービームを、基材表面(SO)に対して垂直及び/又は斜めに入射させることによって、基材から試料本体(PK)を切り離すステップであって、1つの試料本体が、試料本体上側(PO)を、基材表面の領域によって画成され、側方を、基材表面に対して斜め又は垂直の方向の側面(S1、S2、S3)によって画成されるように、基材から試料本体(PK)を切り離すステップであって、
前記試料本体の形態が、少なくとも1つの剛なハンドリング部分(HA、HA1、HA2)を有し、前記ハンドリング部分に続いて、前記ハンドリング部分に比較して薄い、目標部分(ZA)を有するようにされ、前記目標部分が、幅狭側においては、試料本体上側(PO)によって画成され、側方においては、試料本体上側に対して垂直又は斜めに延びる側面(S1、S3)によって画成される、ステップと、
(b)定められた収容位置内に前記試料本体を収容するための、前記試料本体の形状に適合された収容構造を有する、試料本体とは別体の試料本体ホルダ(PH)を形成するステップと、
(c)切り離された試料本体を、基材から取り出すステップと、
(d)基材から取り出した試料本体を、前記試料本体ホルダの前記収容構造に固定するステップと、
(e)目標体積を露出させるために、目標部分の領域内で、前記試料本体の少なくとも1つの側面の材料を更に除去する、少なくとも1つの他の加工を実施するステップであって、レーザービーム加工及び/又はイオンビーム加工によって実施するステップと、
を備える、
ミクロ構造診断のための試料を作製する方法。 - 前記試料本体(PK)が、接着又は挟持によって、前記収容構造(AST)に固定される、
ことを特徴とする、請求項1に記載の方法。 - 第1のハンドリング部分(HA1)と第2のハンドリング部分(HA2)とが形成され、前記第1のハンドリング部分と第2のハンドリング部分との間に、より薄い中間セクションが存在し、前記中間セクションが、目標部分(ZA)として形成されていることが好ましい、
ことを特徴とする、請求項1又は2に記載の方法。 - 切り離しのステップ(a)において、基材材料からなる保持構造(HS)が、ハンドリング部分の側面の少なくとも1点で残され、前記保持構造が、前記1点以外の箇所においては切り離されるようにして、前記試料本体を、ハンドリング部分(HA)の領域内で、基材(SUB)の隣接するセクションと結合し、前記試料本体(PK)が、保持構造のみを介して基材の残りと結合されているようにし、ステップ(c)における試料本体の取り出しが、保持構造の領域における試料本体と基材との間の結合の分離をもたらすことが好ましい、
ことを特徴とする、請求項1から3のいずれか1項に記載の方法。 - 切り離しのステップ(a)において、レーザービーム加工する場合に、基材材料からなる体積領域(VOL)が、前記側面の少なくとも1つに隣接して配置されており、前記体積領域が、側面に対して垂直に、レーザービームカットパスの幅の数倍ある幅(B)を有し、好ましくは体積領域の幅(B)が、200μm以上であり、特に300μmから400μmの領域内にある、
ことを特徴とする、請求項1から4のいずれか1項に記載の方法。 - 前記体積領域(VOL)が、集束されたレーザービームの走査によって連続して除去される、
ことを特徴とする、請求項5に記載の方法。 - 切り離しのステップ(a)において、試料本体が、基材表面に対して垂直に測定した試料本体(PK)の広がりが、基材表面に対して垂直に測定した基材(SUB)の厚みよりも小さくなるように、形成され、好ましくは、切り離しのステップ(a)において、中間ステップで、レーザービーム加工によって、2つの互いに対して角度をもって対向する側面(S1、S3)が形成され、前記側面が、基材の内部に位置する切断ライン内で交差する、
ことを特徴とする、請求項1から6のいずれか1項に記載の方法。 - 基材が、基材表面の領域内に、1つ又は境界面(G1)によって分離される複数の層(L1、L2)又は層セグメントを有し、試料本体は、1つ又は複数の境界面が、目標部分(ZA)の少なくとも1つの側面(S3)に対して垂直に方向づけされるように形成される、
ことを特徴とする、請求項1から7のいずれか1項に記載の方法。 - 試料本体(PK)が、目標部分(ZA)と隣接するハンドリング部分(HA1、HA2)との間に内角(IW)が生じ、前記内角において、目標部分の側面(S3)とハンドリング部分(HA1、HA2)の側面とが、角度をもって、特に直角で出合うように、構成されている、
ことを特徴とする、請求項1から8のいずれか1項に記載の方法。 - 試料本体ホルダ(PH)が、基材材料とは異なるホルダ材料から形成され、好ましくは、ホルダ材料が、金属を含み、或いは金属であり、特にチタンであり、及び/又は、試料本体ホルダが、レーザー加工によってホルダ材料のプレート又は箔から形成される、
ことを特徴とする、請求項1から9のいずれか1項に記載の方法。 - 試料本体(PK)を、試料本体ホルダ(PH)に固定する場合に、試料本体ホルダに対する試料本体の位置が、少なくとも2つの互いに対して垂直の方向に設定されるように、互いに対して角度を有する2つの面で面接触が形成される、
ことを特徴とする、請求項1から10のいずれか1項に記載の方法。 - 収容構造(AST)が、試料本体(PK)を固定するための1つ又は複数の保持ウェブ(HST1、HST2)を有し、以下の条件の少なくとも1つが満たされ、すなわち、
(i)保持ウェブに、試料本体(PK)の対応する側面を添接させるための少なくとも1つのストッパ面が形成されており、特に保持ウェブに、内角(IW)に適合した外界が形成されており、
(ii)保持ウェブが、第1のウェブセクション(ST1)と、第1のウェブセクションに対して角度をもって方向付けされた、第2のウェブセクション(ST2)と、を有し、前記角度が、好ましくは直角であり、及び/又は、保持ウェブが、T形状又はL形状を有している、
ことを特徴とする、請求項1から11のいずれか1項に記載の方法。 - 収容構造(AST)が、試料本体上側に適合したシャドウウェブ(ABST)を有し、前記シャドウウェブが、イオン照射及び/又はレーザー照射をする場合に、基材材料よりも低い除去率を有する材料からなる、
ことを特徴とする、請求項1から12のいずれか1項に記載の方法。 - 試料本体を収容構造に固定する前に、試料本体上側に、少なくとも目標部分の幅狭側の領域内で犠牲層が設けられ、前記犠牲層は、イオン照射及び/又はレーザー照射をした場合に、基材材料よりも低い除去率を有する材料からなる、
ことを特徴とする、請求項1から13のいずれか1項に記載の方法。 - 特に請求項1から14の少なくとも1項の特徴を有する方法によって得られる、或いは得られた、ミクロ構造診断のための試料であって、
定められた収容位置において試料本体を収容するための収容構造を備えた、試料本体ホルダ(PH)と、
試料本体ホルダとは別に形成された、少なくとも1つの試料本体(PK)と、
を有し、
前記試料本体が、少なくとも1つの剛なハンドリング部分(HA、HA1、HA2)と、前記ハンドリング部分に隣接して、ハンドリング部分に比較して薄い目標部分(ZA)と、を有し、前記目標部分が、幅狭側においては、試料本体上側(PO)によって、また、側方においては、試料本体上側に対して垂直又は斜めに延びる側面(S1、S3)によって、画成されており、
試料本体が、収容位置内で収容構造に固定されている、
ミクロ構造診断のための試料。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018194469A (ja) * | 2017-05-18 | 2018-12-06 | 住友ゴム工業株式会社 | 試料の観察方法 |
JP2022164530A (ja) * | 2021-04-15 | 2022-10-27 | ▲コウ▼康科技股▲フン▼有限公司 | 試料分析方法および試料作製方法 |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6730008B2 (ja) * | 2015-06-16 | 2020-07-29 | アオイ電子株式会社 | 微小試料台、その製造方法および微小試料の取付方法 |
EP3153838B1 (de) * | 2015-10-06 | 2022-07-06 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren zur präparation einer probe für die mikrostrukturdiagnostik sowie probe für die mikrostrukturdiagnostik |
LU100024B1 (de) * | 2017-01-20 | 2018-07-30 | Leica Microsystems | Verfahren zum sequentiellen Untersuchen einer Mehrzahl von Proben, Probenträgereinheit und Aufnahmeeinheit für Lichtblattebenenmikroskopie |
US10522324B1 (en) * | 2018-08-02 | 2019-12-31 | Expresslo Llc | Method of producing lift out specimens for teaching, practice, and training |
TW202035977A (zh) * | 2019-03-20 | 2020-10-01 | 美商卡爾蔡司Smt公司 | 樣品固定架、系統及方法 |
CN110672881A (zh) * | 2019-09-30 | 2020-01-10 | 上海华力集成电路制造有限公司 | 金属栅结构及其制造方法 |
CN110879164B (zh) * | 2019-12-03 | 2021-12-24 | 中南大学 | 一种土料力学试样制作、拆卸一体化装置和制备方法 |
US20220349789A1 (en) * | 2021-04-28 | 2022-11-03 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Method to prepare a sample for atom probe tomography (apt), preparation device to perform such method and method to investigate a region of interest of a sample including such performing method |
Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06129962A (ja) * | 1992-10-16 | 1994-05-13 | Mitsubishi Electric Corp | 透過形電子顕微鏡用試料 |
JPH06180277A (ja) * | 1992-12-14 | 1994-06-28 | Matsushita Electron Corp | 透過電子顕微鏡用試料の作成方法 |
JPH09210883A (ja) * | 1996-02-01 | 1997-08-15 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡用試料作成装置および方法 |
JP2002174571A (ja) * | 2000-12-06 | 2002-06-21 | Seiko Instruments Inc | Tem試料薄片化加工 |
JP2002333387A (ja) * | 2001-05-08 | 2002-11-22 | Hitachi Ltd | はり部材およびはり部材を用いた試料加工装置ならびに試料摘出方法 |
US20080258056A1 (en) * | 2007-04-23 | 2008-10-23 | Omniprobe, Inc. | Method for stem sample inspection in a charged particle beam instrument |
JP2009115582A (ja) * | 2007-11-06 | 2009-05-28 | Sii Nanotechnology Inc | 透過電子顕微鏡用試料作製方法、透過電子顕微鏡用試料支持構造、試料ホルダ及び荷電粒子ビーム装置 |
JP2009133833A (ja) * | 2007-11-06 | 2009-06-18 | Sii Nanotechnology Inc | 透過電子顕微鏡用試料作製方法及び透過電子顕微鏡用試料片 |
JP2009216534A (ja) * | 2008-03-11 | 2009-09-24 | Jeol Ltd | 薄膜試料作製方法 |
JP2010040505A (ja) * | 2008-07-08 | 2010-02-18 | Miyazaki Hironari | 試料ホルダー及び試料ホルダー駆動装置 |
JP2010507781A (ja) * | 2006-10-20 | 2010-03-11 | エフ・イ−・アイ・カンパニー | S/temのサンプルを作成する方法およびサンプル構造 |
JP2011221023A (ja) * | 2010-04-12 | 2011-11-04 | Samsung Electronics Co Ltd | 試片製造装置及び方法 |
US20120133757A1 (en) * | 2009-05-11 | 2012-05-31 | Carl Zeiss Ag | Microscopic examination of an object using a sequence of optical microscopy and particle beam microscopy |
US20130214468A1 (en) * | 2012-02-22 | 2013-08-22 | L.A. Giannuzzi & Associates Llc | Method and apparatus for ex-situ lift-out specimen preparation |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2774884B2 (ja) * | 1991-08-22 | 1998-07-09 | 株式会社日立製作所 | 試料の分離方法及びこの分離方法で得た分離試料の分析方法 |
US5424244A (en) * | 1992-03-26 | 1995-06-13 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Process for laser processing and apparatus for use in the same |
EP1585973A2 (en) * | 2003-01-17 | 2005-10-19 | Europäisches Laboratorium Für Molekularbiologie (Embl) | Silicone/graphite sample holder |
DE102004001173B4 (de) * | 2004-01-05 | 2005-09-15 | 3D-Micromac Ag | Verfahren zur Herstellung von zur Untersuchung mittels Transmissionselektronenmikroskopie geeigneten Proben |
JP2006015333A (ja) * | 2004-05-31 | 2006-01-19 | Showa Denko Kk | 有機ポリマーモノリス、その製造方法、およびその用途 |
US7735146B2 (en) * | 2005-01-27 | 2010-06-08 | The George Washington University | Protein microscope |
JP4747952B2 (ja) * | 2006-05-31 | 2011-08-17 | 株式会社日立製作所 | 試料加工装置および試料加工方法 |
EP1953789A1 (en) * | 2007-02-05 | 2008-08-06 | FEI Company | Method for thinning a sample and sample carrier for performing said method |
WO2009020150A1 (ja) * | 2007-08-08 | 2009-02-12 | Sii Nanotechnology Inc. | 複合集束イオンビーム装置及びそれを用いた加工観察方法、加工方法 |
US7920252B2 (en) * | 2007-10-19 | 2011-04-05 | Xin Hua Hu | Method and apparatus for spectrophotometric characterization of turbid materials |
US8191168B2 (en) * | 2007-11-06 | 2012-05-29 | Sii Nanotechnology Inc. | Method of preparing a transmission electron microscope sample and a sample piece for a transmission electron microscope |
JP2012529058A (ja) * | 2009-06-03 | 2012-11-15 | ウエイン・ステート・ユニバーシテイ | レーザースプレーイオン化を用いる質量分析 |
JP5406621B2 (ja) * | 2009-08-06 | 2014-02-05 | 勝 堀 | レーザー脱離イオン化質量分析用試料基板、これを用いたレーザー脱離イオン化質量分析方法及び装置 |
CN102023108B (zh) * | 2009-09-23 | 2012-06-06 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 透射电子显微镜样品的制备方法 |
DE102011111190A1 (de) | 2011-08-25 | 2013-02-28 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren und Vorrichtung zur Präparation einer Probe für die Mikrostrukturdiagnostik |
WO2013126385A1 (en) * | 2012-02-21 | 2013-08-29 | Northwestern University | Photoluminescent compounds |
JP5986408B2 (ja) * | 2012-03-22 | 2016-09-06 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 試料作製方法 |
US9113559B2 (en) * | 2012-08-21 | 2015-08-18 | University Of Cincinnati | Pressure reconfigured electromagnetic devices |
EP2787338B1 (en) | 2013-04-04 | 2021-10-06 | FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Method and arrangement for manufacturing a sample for microstructural materials diagnostics and corresponding sample |
US9799501B2 (en) * | 2013-08-07 | 2017-10-24 | Citizen Finedevice Co., Ltd. | Sample mounting plate |
-
2015
- 2015-06-05 EP EP15170876.5A patent/EP3101406B1/de active Active
-
2016
- 2016-06-01 TW TW105117178A patent/TWI687671B/zh active
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Patent Citations (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06129962A (ja) * | 1992-10-16 | 1994-05-13 | Mitsubishi Electric Corp | 透過形電子顕微鏡用試料 |
JPH06180277A (ja) * | 1992-12-14 | 1994-06-28 | Matsushita Electron Corp | 透過電子顕微鏡用試料の作成方法 |
JPH09210883A (ja) * | 1996-02-01 | 1997-08-15 | Jeol Ltd | 電子顕微鏡用試料作成装置および方法 |
JP2002174571A (ja) * | 2000-12-06 | 2002-06-21 | Seiko Instruments Inc | Tem試料薄片化加工 |
JP2002333387A (ja) * | 2001-05-08 | 2002-11-22 | Hitachi Ltd | はり部材およびはり部材を用いた試料加工装置ならびに試料摘出方法 |
JP2010507781A (ja) * | 2006-10-20 | 2010-03-11 | エフ・イ−・アイ・カンパニー | S/temのサンプルを作成する方法およびサンプル構造 |
US20080258056A1 (en) * | 2007-04-23 | 2008-10-23 | Omniprobe, Inc. | Method for stem sample inspection in a charged particle beam instrument |
JP2009115582A (ja) * | 2007-11-06 | 2009-05-28 | Sii Nanotechnology Inc | 透過電子顕微鏡用試料作製方法、透過電子顕微鏡用試料支持構造、試料ホルダ及び荷電粒子ビーム装置 |
JP2009133833A (ja) * | 2007-11-06 | 2009-06-18 | Sii Nanotechnology Inc | 透過電子顕微鏡用試料作製方法及び透過電子顕微鏡用試料片 |
JP2009216534A (ja) * | 2008-03-11 | 2009-09-24 | Jeol Ltd | 薄膜試料作製方法 |
JP2010040505A (ja) * | 2008-07-08 | 2010-02-18 | Miyazaki Hironari | 試料ホルダー及び試料ホルダー駆動装置 |
US20120133757A1 (en) * | 2009-05-11 | 2012-05-31 | Carl Zeiss Ag | Microscopic examination of an object using a sequence of optical microscopy and particle beam microscopy |
JP2011221023A (ja) * | 2010-04-12 | 2011-11-04 | Samsung Electronics Co Ltd | 試片製造装置及び方法 |
US20130214468A1 (en) * | 2012-02-22 | 2013-08-22 | L.A. Giannuzzi & Associates Llc | Method and apparatus for ex-situ lift-out specimen preparation |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018194469A (ja) * | 2017-05-18 | 2018-12-06 | 住友ゴム工業株式会社 | 試料の観察方法 |
JP2022164530A (ja) * | 2021-04-15 | 2022-10-27 | ▲コウ▼康科技股▲フン▼有限公司 | 試料分析方法および試料作製方法 |
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