JP7208195B2 - イオンミリング装置および試料ホルダー - Google Patents
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Description
図54において、試料200は、試料載台210に貼り付けて固定されている。試料載台210の上方には、板状の遮蔽部材220が配置されている。試料200は、試料載台210と遮蔽部材220との間に挟まれて固定されている。このように固定された試料200には、図示しないイオンソースから放出されたイオンビーム230が、遮蔽部材220を介して照射される。これにより、遮蔽部材220のエッジ部220aから突き出した試料200の先端部(以下、「加工対象部」ともいう。)200aがエッチングによって取り除かれる。このため、遮蔽部材220のエッジ部220aの直下に、試料200の断面が形成される。このような断面加工を行うことにより、電子顕微鏡での観察あるいは分析装置での分析に適した試料が得られる。
また本発明は、イオンビームの照射によって試料を加工するイオンミリング装置に用いられる試料ホルダーであって、試料の加工対象部を除く部分を遮蔽する遮蔽部材と、遮蔽部材との間に前記試料を挟んで固定する試料固定部材と、を備える。遮蔽部材は、試料の加工位置を決めるエッジ部を先端に有する。試料固定部材は、イオンビームの照射方向においてエッジ部よりも下流側に配置され、エッジ部との間で加工対象部を支持する支持部を有するとともに、イオンビームによって加工される材料で構成される。試料固定部材の先端は、イオンビームの照射によって試料と試料固定部材とを同時に加工するために遮蔽部材の先端よりも突き出した状態で配置される。支持部は、試料と接触する第1面と、第 面と所定の角度をなす第2面とを有し、所定の角度が90°以下である。
図1は、本発明の第1実施形態に係るイオンミリング装置の構成例を示す概略図である。
図1に示すイオンミリング装置10は、たとえば、走査型電子顕微鏡や透過型電子顕微鏡で観察される試料を作製するため、あるいは、電子プローブマイクロアナライザー、オージェマイクロスコープなどの分析装置で分析される試料を作製するために用いられる。イオンミリング装置10は、加工の対象物である試料11にイオンビーム12を照射することにより、走査型電子顕微鏡や透過型電子顕微鏡での観察に適した形状に試料11を加工する装置である。
図2に示すように、試料ホルダー27は、上述したホルダー本体28および遮蔽部材29の他に、試料固定部材31および試料載台32を備えている。遮蔽部材29は、板状に形成されている。遮蔽部材29は、エッジ部29aを有している。エッジ部29aは、遮蔽部材29の先端に形成されている。遮蔽部材29の先端面29bは、イオンビーム12の中心軸12aに対して僅かに傾いている。
図9は、本発明の第2実施形態に係るイオンミリング装置の要部を示す概略側面図であり、図10は、本発明の第2実施形態に係るイオンミリング装置の要部を示す概略正面図である。
図9および図10に示すように、試料ホルダー27は、上述した遮蔽部材29および試料固定部材31の他に、一対のクランプ部材41,42を備えている。クランプ部材41は第1のクランプ部材に相当し、クランプ部材42は第2のクランプ部材に相当する。遮蔽部材29は、ネジ43によってクランプ部材41に固定されている。試料固定部材31は、ネジ44によってクランプ部材42に固定されている。遮蔽部材29には、ネジ43の雄ネジ部に噛み合う雌ネジ部(図示せず)が形成され、クランプ部材41には、ネジ43の頭部と軸部とを挿入可能な段付き孔(図示せず)が形成されている。同様に、試料固定部材31には、ネジ44の雄ネジ部に噛み合う雌ネジ部が形成され、クランプ部材42には、ネジ44の頭部と軸部とを挿入可能な段付き孔(図示せず)が形成されている。
図11に示す比較例では、遮蔽部材29と試料固定部材31とが、一対のネジ47a,47bによって締め付けられている。試料11は、遮蔽部材29と試料固定部材31との間に配置されている。また、試料11は、一対のネジ47a,47bによる締め付け力により固定されている。
図13は、本発明の第3実施形態に係るイオンミリング装置の要部を示す概略側面図である。
図13に示すように、試料固定部材31は、Y方向の両端部に支持部33a,33bを有している。支持部33aは、試料固定部材31の先端部に、第1面34と第2面35aとによって形成されている。支持部33bは、試料固定部材31の後端部に、第1面34と第2面35bとによって形成されている。第2面35aは、第1面34に対して所定の角度θ1で傾斜し、第2面35bは、第1面34に対して所定の角度θ2で形成している。所定の角度θ1は、90°以下(ただし、0°よりも大きい)である。所定の角度θ1は、好ましくは鋭角である。また、所定の角度θ1は、好ましくは、60°以下であり、より好ましくは、55°以下であり、さらに好ましくは、45°以下である。この点は、所定の角度θ2についても同様である。本実施形態では、θ1=θ2に設定されている。ただし、θ1≠θ2に設定されていてもよい。
図13に示すように、試料11にイオンビーム12を照射すると、試料固定部材31の先端部にもイオンビーム12が照射される。このため、試料固定部材31は、先端31aから徐々に削れて摩耗する。試料固定部材31の摩耗量が多くなると、支持部33を鋭角に形成することで得られる効果が小さくなる。そこで、試料固定部材31の摩耗量が所定量に達した場合は、試料固定部材31の先端部と後端部の位置を入れ替える。これにより、試料固定部材31の先端部のみに支持部33を形成する場合(図2参照)に比べて、支持部33を鋭角に形成することで得られる効果を維持しつつ、試料固定部材31を使用できる回数を増やすことができる。
図14は、本発明の第4実施形態に係るイオンミリング装置の要部を示す概略側面図である。
図14に示すように、試料ホルダー27は、水平面と平行なXY平面に対してZ方向(上下方向)に傾斜可能に設けられている。これに対し、イオンビーム12の中心軸12aは、XY平面に対して垂直、すなわちZ方向と平行である。イオンミリング装置の構成として、試料ホルダー27の傾斜角度は、一定角度でもよいし、変更可能でもよい。試料ホルダー27を傾斜させ、かつ、その傾斜角度を調整可能な機構については、たとえば特開2018-190628号公報に記載された機構(回動機構)を利用することができる。
一般に、イオンミリング装置のオペレーターは、試料ホルダー27に試料11をセットする場合、図24に示すように、遮蔽部材29の上方にカメラ22を配置し、このカメラ22で試料11と遮蔽部材29とを撮影する。また、オペレーターは、表示部26に表示されるカメラ22の撮影画像を見ながら、Y方向における試料11の位置を微調整することにより、エッジ部29aからの試料11の突き出し量Lを所望の寸法に設定する。
試料位置決め治具は、イオンミリング装置10で加工対象となる試料11を位置決めするために用いられる治具であり、より具体的には、試料ホルダー27に試料11をセットする際に用いて好適な治具である。
図27は、第1の接触部61と第2の接触部62との段差Dを設定する例を示す図である。
第1の接触部61と第2の接触部62との段差D(μm)は、試料11の突き出し量L(μm)に応じて、下記の(1)式により設定される。
D=L×cos(90-θa)° …(1)
したがって、試料11の突き出し量Lを100μmに設定したい場合は、第1の接触部61と第2の接触部62との段差Dを99.6μmに設定し、この設定にしたがって突き出し量設定部材56を作製すればよい。
まず、オペレーターは、図28に示すように、遮蔽部材29を支持するホルダー本体28と第1のツール57とをネジ63によって固定する。これにより、ホルダー本体28に第1のツール57が固定される。
(a)試料11の後端を工具などで押す。
(b)試料11の後端をバネの力を利用して押す。
(c)試料11の後端をネジによって押し込む。
(d)試料位置決め治具55全体を傾斜させて試料11を重力によって滑り落とす。
図30は、本発明の第5実施形態に係る試料位置決め治具の第1具体例を示す斜視図である。
図30に示すように、試料位置決め治具55-1は、突き出し量設定部材56-1と、第1のツール57-1と、第2のツール58-1とを備えている。
図33および図34に示すように、突き出し量設定部材56-1は、一対のガイドピン75と、抜け止め用ネジ76と、バネ77とを用いて、第2のツール58-1の取り付け用ブロック73に取り付けられている。バネ77は、上述したバネ65(図25参照)と同様に、付勢部材に相当する。バネ77の一端側は、突き出し量設定部材56-1に形成されたポケット部56aに挿入され、バネ77の他端側は、取り付け用ブロック73に形成されたネジ孔73aに挿入されている。ネジ孔73aには、セットスクリュー(六角孔付き止めネジ)78が挿入されている。セットスクリュー78は、ネジ孔73aの中心軸方向に移動可能である。セットスクリュー78は、ネジ孔73aの中心軸方向でバネ77の端部位置を変えることにより、バネ77による突き出し量設定部材56-1の付勢力を調整可能である。
まず、オペレーターは、遮蔽部材29を含む試料ホルダーを第1のツール57-1のホルダー受け部66に載せる。次に、オペレーターは、固定用つまみ67を回転操作することにより、試料ホルダーを第1のツール57-1に固定する。このとき、遮蔽部材29は、固定用つまみ67により試料ホルダーと共に固定される。
図35は、本発明の第5実施形態に係る試料位置決め治具の第2具体例を示す側面図である。また、図36は、図35に示す試料位置決め治具55-2が備える第1のツール57-2の構成を示す斜視図であり、図37は、図35に示す試料位置決め治具55-2が備える第2のツール58-2および突き出し量設定部材56-2の構成を示す斜視図である。
図39に示すように、突き出し量設定部材56-2は、抜け止め用ネジ92と、バネ93とを用いて、第2のツール58-2の収容部88に取り付けられている。バネ93は、上述したバネ65(図25参照)と同様に、付勢部材に相当する。バネ93の一端側は、突き出し量設定部材56-2に形成された第1ポケット部94に挿入され、バネ93の他端側は、第2のツール58-2に形成された第2ポケット部95に挿入されている。
まず、オペレーターは、遮蔽部材29を含む試料ホルダーを第1のツール57-2のホルダー受け部80に載せる。次に、オペレーターは、固定用つまみ81を回転操作することにより、試料ホルダーを第1のツール57-1に固定する。このとき、遮蔽部材29は、固定用つまみ81により試料ホルダーと共に固定される。
図40は、本発明の第5実施形態に係る試料位置決め治具の第3具体例として、第1のツール57-3の構成を示す斜視図であり、図41は、第2のツール58-3および突き出し量設定部材56-3の構成を示す斜視図である。なお、この第3具体例においては、前述した第2具体例のツール構成と相違する点について説明し、重複する内容は省略する。
まず、オペレーターは、第1のツール57-3に第2のツール58-3を取り付ける。この取り付けに際して、オペレーターは、まず、第1のツール57-3の位置合わせ用溝118と第2のツール58-3の位置合わせ用溝119とを目印に、ツール同士の位置を合わせる。これにより、3つの止めネジ103と3つの磁石106との位置合わせがなされる。また、オペレーターは、第1のツール57-3の止めネジ103に第2のツール58-3の磁石106を近づける。そうすると、図42に示すように、止めネジ103と磁石106との間に発生する磁気吸引力F5により、各々のツールの突き当て面104,107同士が突き当たる。これにより、第1のツール57-3に第2のツール58-3を取り付けてツール同士を固定することができる。
図43は、本発明の第6実施形態に係る試料位置決め治具の構成を示す概略側面図である。
本発明の第6実施形態に係る試料位置決め治具は、前述した第5実施形態に係る試料位置決め治具(図25参照)と比較して、第1のツール57および第2のツール58を、単体のツールで構成した点が異なる。具体的には、図43に示すように、試料位置決め治具55は、ホルダー本体28にネジ63によって固定されるツール120を備え、このツール120が一体構造になっている。
図44は、本発明の第7実施形態に係る試料位置決め治具の構成を示す概略側面図である。
本発明の第7実施形態に係る試料位置決め治具は、前述した第5実施形態に係る試料位置決め治具(図25参照)と比較して、突き出し量設定部材56を透明な材料によって構成した点と、第1のツール57に観察窓122を形成した点とが異なる。突き出し量設定部材56を構成する透明な材料としては、たとえば、ガラス、樹脂などを挙げることができる。
図45は、本発明の第8実施形態に係る試料位置決め治具の構成を示す概略側面図である。
図45に示すように、試料位置決め治具55は、突き出し量設定部材56によって構成されている。突き出し量設定部材56は、第1の接触部61および第2の接触部62の他に、磁石123を有している。磁石123は、第1の接触部61の表面であって、かつ、遮蔽部材29の先端面29bと対向する位置に配置されている。突き出し量設定部材56が有する磁石123の数は、1つでもよいし、複数でもよい。遮蔽部材29は、たとえばステンレス鋼などの磁性材料によって構成される。
まず、オペレーターは、遮蔽部材29の先端面29bと突き出し量設定部材56の第1の接触部61とを近づける。これにより、遮蔽部材29と突き出し量設定部材56との間に磁気吸引力が発生し、この磁気吸引力によって突き出し量設定部材56の第1の接触部61が遮蔽部材29の先端面29bに押し付けられる。
図46は、本発明の第9実施形態に係る試料位置決め治具の構成を示す概略側面図である。
図46に示すように、試料位置決め治具55は、クリップ式の突き出し量設定部材56cを備えている。突き出し量設定部材56cは、第1の接触部61および第2の接触部62を有している。突き出し量設定部材56cの端部には、クリップ用のバネ125の一端が取り付けられている。バネ125の他端は、クリップ片126に取り付けられている。クリップ片126は、揺動支点部127を中心に揺動自在に支持されている。揺動支点部127は、突き出し量設定部材56cとクリップ片126との間に挟まれている。突き出し量設定部材56cおよびクリップ片126に対して、バネ125の力F7は外向きに加わっている。
まず、オペレーターは、ホルダー本体28に遮蔽部材29を固定する。次に、オペレーターは、遮蔽部材29に突き出し量設定部材56cを取り付ける。その際、オペレーターは、バネ125の付勢力に抗して突き出し量設定部材56cの端部とクリップ片126の端部とを近づけ、その状態で突き出し量設定部材56cとクリップ片126との間に遮蔽部材29を挟んだ後、バネ125の力を解放する。そうすると、遮蔽部材29は、突き出し量設定部材56cとクリップ片126とによって挟み込まれる。このため、突き出し量設定部材56cの第1の接触部61は、バネ125の付勢力によって遮蔽部材29の先端面29bに押し付けられる。
図49は、本発明の第10実施形態に係る試料位置決め治具の構成を示す概略側面図である。
本発明の第10実施形態に係る試料位置決め治具55は、前述した第5実施形態に係る試料位置決め治具55(図25参照)と比較して、2つの点が異なる。
1つは、遮蔽部材29と試料固定部材31との間に試料11を挟んで固定している点である。もう1つは、突き出し量設定部材56の第2の接触部62が、試料固定部材31の先端31aと試料11の先端面11aとに接触するように構成している点である。
図50は、本発明の第11実施形態に係る試料位置決め治具の構成を示す概略側面図であり、図51は、図50に示す試料位置決め治具の構成を示す概略平面図である。なお、図51においては、ホルダー本体28、クリップ51およびバネ53を省略している。
本発明の第11実施形態に係る試料位置決め治具55は、上述した第10実施形態に係る試料位置決め治具55(図49参照)と比較して、第2のツール58に一対の突き出し部58aを設けた点が異なる。各々の突き出し部58aの突端面58bは、遮蔽部材29と試料固定部材31とを位置決めするための基準面である。
本発明の第12実施形態に係る試料位置決め治具は、上述した第2実施形態に係るイオンミリング装置が備える試料ホルダー27(図9参照)の構成に適用される治具である。
図52は、本発明の第12実施形態に係る試料位置決め治具の構成を示す概略側面図である。
図52に示すように、試料位置決め治具55は、前述した第5実施形態等と同様に、突き出し量設定部材56と、第1のツール57と、第2のツール58とを備えている。第1のツール57および第2のツール58は一体構造になっていてもよい。第1のツール57には起立部57aが設けられている。起立部57aは、第1のツール57に一体に形成されている。ただし、これに限らず、起立部57aは、ネジ止め等によって第1のツール57に固定される構成であってもよい。起立部57aは、垂直な基準面57bを有している。基準面57bは、遮蔽部材29と試料固定部材31とを位置決めするための面である。
(付記1)
試料の加工位置を決めるエッジ部を先端に有し、前記試料の加工対象部を除く部分を遮蔽する遮蔽部材を備えるイオンミリング装置に用いられる試料位置決め治具であって、
前記遮蔽部材の前記エッジ部からの前記試料の突き出し量を設定する突き出し量設定部材を備え、
前記突き出し量設定部材は、前記遮蔽部材の先端面に接触する第1の接触部と、前記第1の接触部よりも凹んで形成され、前記試料の先端面に接触する第2の接触部と、を有する
試料位置決め治具。
(付記2)
前記遮蔽部材の先端面に前記第1の接触部を押し付けるように前記突き出し量設定部材を付勢する付勢部材を備える
付記1に記載の試料位置決め治具。
(付記3)
前記付勢部材はバネである
付記2に記載の試料位置決め治具。
(付記4)
前記遮蔽部材が固定されるツールを備え、
前記突き出し量設定部材は、前記ツールに取り付けられている
付記1~3のいずれか一つに記載の試料位置決め治具。
(付記5)
前記ツールは、前記遮蔽部材が固定される第1のツールと、前記第1のツールに着脱可能な第2のツールと、を備え、
前記突き出し量設定部材は、前記第2のツールに取り付けられている
付記4に記載の試料位置決め治具。
(付記6)
前記ツールは、一体構造になっている
付記4に記載の試料位置決め治具。
(付記7)
前記突き出し量設定部材は、透明な材料によって構成され、
前記ツールは、前記突き出し量設定部材を通して前記試料の前記加工対象部を観察可能な位置に観察窓を有する
付記4に記載の試料位置決め治具。
(付記8)
前記遮蔽部材は、磁性材料によって構成され、
前記突き出し量設定部材は、前記遮蔽部材の先端面と対向する位置に磁石を有する
付記1に記載の試料位置決め治具。
(付記9)
前記突き出し量設定部材の少なくとも前記第2の接触部は、絶縁材料によって構成されている
付記1~8のいずれか一つに記載の試料位置決め治具。
11…試料
11a…先端面
11b…加工対象部
12…イオンビーム
27…試料ホルダー
29…遮蔽部材
29a…エッジ部
29b…先端面
31…試料固定部材
33…支持部
34…第1面
35…第2面
41…クランプ部材(第1のクランプ部材)
42…クランプ部材(第2のクランプ部材)
45a,45b…ネジ(締め付け部材)
55…試料位置決め治具
37,56…突き出し量設定部材
57…第1のツール
58…第2のツール
61…第1の接触部
62…第2の接触部
122…観察窓
123…磁石
バネ…バネ(付勢部材)
L…突き出し量
θ…角度
Claims (7)
- イオンビームの照射によって試料を加工するとともに、前記試料を支持する試料ホルダーを備えるイオンミリング装置であって、
前記試料ホルダーは、
前記試料の加工対象部を除く部分を遮蔽する遮蔽部材と、
前記遮蔽部材との間に前記試料を挟んで固定する試料固定部材と、
を備え、
前記遮蔽部材は、前記試料の加工位置を決めるエッジ部を先端に有し、
前記試料固定部材は、前記イオンビームの照射方向において前記エッジ部よりも下流側に配置され、前記エッジ部との間で前記加工対象部を支持する支持部を有するとともに、前記イオンビームによって加工される材料で構成され、
前記試料固定部材の先端は、前記イオンビームの照射によって前記試料と前記試料固定部材とを同時に加工するために前記遮蔽部材の先端よりも突き出した状態で配置され、
前記支持部は、前記試料と接触する第1面と、前記第1面と所定の角度をなす第2面とを有し、前記所定の角度が90°以下である
イオンミリング装置。 - 前記所定の角度が鋭角である
請求項1に記載のイオンミリング装置。 - 前記試料ホルダーに対して着脱可能な突き出し量設定部材を備え、前記突き出し量設定部材を用いて、前記遮蔽部材、前記試料固定部材および前記試料を位置決めすることにより、前記試料の突き出し量が設定可能に構成されている
請求項1または2に記載のイオンミリング装置。 - 前記遮蔽部材が固定される第1のクランプ部材と、
前記試料固定部材が固定される第2のクランプ部材と、
前記第1のクランプ部材および前記第2のクランプ部材を介して、前記遮蔽部材と前記試料固定部材とを締め付ける締め付け部材と、
を備える請求項1~3のいずれか一項に記載のイオンミリング装置。 - 前記試料固定部材は、前記第1面と前記第2面とを有する前記支持部を複数有する
請求項1~4のいずれか一項に記載のイオンミリング装置。 - 前記試料ホルダーは、前記試料固定部材の先端側が後端側よりも高くなるように傾斜可能に設けられている
請求項1~5のいずれか一項に記載のイオンミリング装置。 - イオンビームの照射によって試料を加工するイオンミリング装置に用いられる試料ホルダーであって、
前記試料の加工対象部を除く部分を遮蔽する遮蔽部材と、
前記遮蔽部材との間に前記試料を挟んで固定する試料固定部材と、
を備え、
前記遮蔽部材は、前記試料の加工位置を決めるエッジ部を先端に有し、
前記試料固定部材は、前記イオンビームの照射方向において前記エッジ部よりも下流側に配置され、前記エッジ部との間で前記加工対象部を支持する支持部を有するとともに、前記イオンビームによって加工される材料で構成され、
前記試料固定部材の先端は、前記イオンビームの照射によって前記試料と前記試料固定部材とを同時に加工するために前記遮蔽部材の先端よりも突き出した状態で配置され、
前記支持部は、前記試料と接触する第1面と、前記第1面と所定の角度をなす第2面とを有し、前記所定の角度が90°以下である
試料ホルダー。
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