JP4732903B2 - カンチレバーホルダ及び走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents
カンチレバーホルダ及び走査型プローブ顕微鏡 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4732903B2 JP4732903B2 JP2006012859A JP2006012859A JP4732903B2 JP 4732903 B2 JP4732903 B2 JP 4732903B2 JP 2006012859 A JP2006012859 A JP 2006012859A JP 2006012859 A JP2006012859 A JP 2006012859A JP 4732903 B2 JP4732903 B2 JP 4732903B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cantilever
- main body
- pressing
- cantilever holder
- mounting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims description 90
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 93
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 21
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 21
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 17
- 239000012260 resinous material Substances 0.000 claims description 15
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 9
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 22
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 4
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 description 3
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000003575 carbonaceous material Substances 0.000 description 3
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 3
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 3
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 3
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 238000000594 atomic force spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000005381 magnetic domain Effects 0.000 description 1
- 230000005389 magnetism Effects 0.000 description 1
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q70/00—General aspects of SPM probes, their manufacture or their related instrumentation, insofar as they are not specially adapted to a single SPM technique covered by group G01Q60/00
- G01Q70/02—Probe holders
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09B—EDUCATIONAL OR DEMONSTRATION APPLIANCES; APPLIANCES FOR TEACHING, OR COMMUNICATING WITH, THE BLIND, DEAF OR MUTE; MODELS; PLANETARIA; GLOBES; MAPS; DIAGRAMS
- G09B23/00—Models for scientific, medical, or mathematical purposes, e.g. full-sized devices for demonstration purposes
- G09B23/06—Models for scientific, medical, or mathematical purposes, e.g. full-sized devices for demonstration purposes for physics
- G09B23/18—Models for scientific, medical, or mathematical purposes, e.g. full-sized devices for demonstration purposes for physics for electricity or magnetism
- G09B23/183—Models for scientific, medical, or mathematical purposes, e.g. full-sized devices for demonstration purposes for physics for electricity or magnetism for circuits
- G09B23/186—Models for scientific, medical, or mathematical purposes, e.g. full-sized devices for demonstration purposes for physics for electricity or magnetism for circuits for digital electronics; for computers, e.g. microprocessors
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y35/00—Methods or apparatus for measurement or analysis of nanostructures
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F21—LIGHTING
- F21K—NON-ELECTRIC LIGHT SOURCES USING LUMINESCENCE; LIGHT SOURCES USING ELECTROCHEMILUMINESCENCE; LIGHT SOURCES USING CHARGES OF COMBUSTIBLE MATERIAL; LIGHT SOURCES USING SEMICONDUCTOR DEVICES AS LIGHT-GENERATING ELEMENTS; LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F21K9/00—Light sources using semiconductor devices as light-generating elements, e.g. using light-emitting diodes [LED] or lasers
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Radiology & Medical Imaging (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Algebra (AREA)
- Mathematical Optimization (AREA)
- Pure & Applied Mathematics (AREA)
- Business, Economics & Management (AREA)
- Educational Administration (AREA)
- Educational Technology (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Mathematical Analysis (AREA)
- Computational Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
カンチレバーをカンチレバーホルダに固定するには、通常、カンチレバーの基端側を片持ち状に支持する本体部をカンチレバーホルダの取付部にセットし、該本体部を各種の押さえ部材で取付部に押さえつけて固定している。
この押さえ部材としては、様々なものが提供されているが、通常はワイヤ(例えば、特許文献1参照)や板ばね(例えば、特許文献2参照)が採用されている。また、これらワイヤや板ばねは、カンチレバーの固定を確実なものにするため、一般的に金属材料が使用されている。
即ち、SPMでは、試料をより多角的に観察するために、様々な測定モードが用意されており、観察者は目的に応じて最適な測定モードを選択して試料の観察を行っている。
例えば、カンチレバーを所定の周波数(共振周波数又はその近傍)で振動させ、探針と試料との距離が一定になるように制御しながら走査を行うACモードAFMがある。
即ち、ワイヤを利用して固定を行う方法では、例えば図11に示すようにワイヤ43で本体部4をカンチレバーホルダ2に押し付けて固定しているが、ワイヤ43は金属製の硬度を有する線材であるので、カンチレバーホルダ2の外形形状に沿って変形せずに、本体部4の両端部で2点接触した状態になってしまうことがあった。従ってこの場合、本体部4をカンチレバーホルダ2に押し付けて確実に固定することができなかった。
また、カンチレバーホルダの振動が本体部に伝達する場合があるが、この場合においても伝達された振動によって本体部が振動してしまい、この振動がさらにカンチレバーに伝達してしまっていた。つまり、本体部の固定が確実ではないので、カンチレバーホルダの振動が本体部を介してカンチレバーまで伝達してしまい、カンチレバーを所定の周波数で振動させることができなかった。
本発明に係るカンチレバーホルダは、先端に探針を有すると共に基端側が平板状の本体部に片持ち状態に支持されたカンチレバーを、着脱自在に固定するカンチレバーホルダであって、前記本体部を所定位置に位置決めした状態で載置する載置部を有するベース部材と、前記本体部を前記載置部に載置した状態で該本体部の表面に少なくとも接触可能とされ、前記カンチレバーの長手方向に略直交する方向に延びた押さえ部材と、該押さえ部材の両端を前記ベース部材に向けて所定の圧力で押圧し、押さえ部材を介して前記本体部を前記載置部に固定すると共に、押圧を解いて押さえ部材を本体部の表面から離間可能な押圧手段とを備え、前記押さえ部材が、樹脂性材料から形成されていることを特徴とするものである。
また、押圧を解くことで押さえ部材を本体部の表面から離間させることができ、カンチレバーを載置部から取り外すことができる。
従って、ACモードAFMによりカンチレバーを振動させたときに、該カンチレバーの振動が伝達して本体部が振動してしまうのを抑えることができるので、該カンチレバーの振動状態に影響を与えることはなく、カンチレバーを所定の周波数で確実に振動させることができる。その結果、Qカーブを正確に安定して測定することができ、ACモードAFMによる測定結果の信頼性を向上することができると共に取り扱いも容易になる。
特に、押さえ部材は樹脂性材料から形成されるので、自身の弾性により振動を減衰(ダンピング)させることができることからも、カンチレバーの振動状態に影響を与えることはない。
また、ワイヤの両端を固定する際に、樹脂部分に極力影響を与えないよう内部の軸芯を利用して固定することが可能である。これにより、樹脂部分に両端からの引張力が作用することを防止できるので、引張力に起因する延びを生じさせることがない。従って、樹脂部分の耐久性を向上することができると共に、自身の弾性を確実に維持することができる。
なお、導電性樹脂材料としては、樹脂性材料自体が導電性を有しているものを利用しても構わないし、導電性を有していない樹脂性材料に、例えば、カーボンナノチューブ等の炭素材料や金属材料を混合して得られたものを利用しても構わない。
また、押圧を解くことで板状部材を本体部の表面から離間させることができ、カンチレバーを載置部から取り外すことができる。
従って、ACモードAFMによりカンチレバーを振動させたときに、該カンチレバーの振動が伝達して本体部が振動してしまうのを抑えることができるので、該カンチレバーの振動状態に影響を与えることはなく、カンチレバーを所定の周波数で確実に振動させることができる。その結果、Qカーブを正確に安定して測定することができ、ACモードAFMによる測定結果の信頼性を向上することができると共に取り扱いも容易になる。
また、樹脂性の膜は、自身の弾性により振動を減衰(ダンピング)させることができることからも、カンチレバーの振動状態に影響を与えることはない。
また、板バネを持ち上げて該板バネによる押圧を解くことで、カンチレバーを載置部から取り外すことができる。
従って、ACモードAFMによりカンチレバーを振動させたときに、該カンチレバーの振動が伝達して本体部が振動してしまうのを抑えることができるので、該カンチレバーの振動状態に影響を与えることはなく、カンチレバーを所定の周波数で確実に振動させることができる。その結果、Qカーブを正確に安定して測定することができ、ACモードAFMによる測定結果の信頼性を向上することができると共に取り扱いも容易になる。
また、樹脂性の膜は、自身の弾性により振動を減衰(ダンピング)させることができることからも、カンチレバーの振動状態に影響を与えることはない。
なお、導電性樹脂材料としては、樹脂性材料自体が導電性を有しているものを利用しても構わないし、導電性を有していない樹脂性材料に、例えば、カーボンナノチューブ等の炭素材料や金属材料を混合して得られたものを利用しても構わない。
本実施形態の走査型プローブ顕微鏡1は、図1に示すように、カンチレバーホルダ2と、先端に探針3を有すると共に基端側が平板状の本体部4に片持ち状態に支持され、該本体部4を介してカンチレバーホルダ2に着脱自在に固定されるカンチレバー5と、試料Sを載置し、該試料Sを探針3に対向配置させることができるステージ6と、探針3と試料Sとを試料表面に平行なXY方向に相対移動させると共に、試料表面に垂直なZ方向に相対移動させるXYスキャナ7及びZスキャナ8とからなる移動手段9と、カンチレバー5の変位を測定する測定手段10とを備えている。
なお、本実施形態では、カンチレバー5を所定の周波数で振動させて、試料Sの表面形状を測定する場合を例にして説明する。
この押さえ板16は、図3に示すように、先端側が上面視U字状に形成されていると共に基端側が上面視長方形状に形成されている。そして、押さえ板16は、先端側の開口部内に上記載置部11が位置するように配されている。即ち、2つの突起部16aが、載置部11を間に挟むように両側に位置している。
また、図4に示すように、押さえ板16の基端側とベース部材12との間には、基端側をベース部材12から離間させるように該ベース部材12を付勢するスプリング18が設けられている。これにより、押さえ板16は、常にピン17を中心に回転して先端側がベース部材12に向けて付勢されるようになっている。
ここで、押さえ板16は、上述したように先端側が常にベース部材12に向けて付勢されているので、2つの突起部16aに固定されたシート13も同様にベース部材12に向けて付勢されるようになっている。つまり、シート13を介して本体部4の少なくとも表面4aを載置部11に向けて押圧できるようになっている。
即ち、これら押さえ板16、支柱部15及びスプリング18は、上記押圧手段14を構成している。
また、上記ステージ6は、XYスキャナ7上に載置されており、該XYスキャナ7は上記Zスキャナ8上に載置されている。また、Zスキャナ8は、図示しない防振台上に載置されている。このXYスキャナ7及びZスキャナ8は、例えば、ピエゾ素子であり、それぞれXY制御部22及びZ制御部23から電圧を印加されてそれぞれの方向に微小移動するようになっている。
そして、制御部26は、出力されたDIF信号に基づいて、上記Z制御部23をフィードバック制御して、探針3と試料Sとの距離が常に一定になるように制御している。また、同時にDIF信号に基づいて試料Sの表面形状を測定できるようになっている。即ち、上記光照射部24及び光検出部25は、上記測定手段10を構成している。
なお、制御部26は、上記各構成品を総合的に制御する機能を有している。
まず、試料Sをステージ6上に載置すると共に、試料Sに応じたカンチレバー5を選択し、該カンチレバー5をカンチレバーホルダ2に装着する。カンチレバー5を固定した後、該カンチレバー5の反射面に確実にレーザ光Lが照射されるように、また、反射したレーザ光Lが光検出部25に確実に入射するように、光照射部24及び光検出部25の位置等を調整する。次いで、加振電源21からピエゾ素子20に所定の電圧を印加してカンチレバー5を振動させ、Qカーブの測定を行うと共に動作点(加振周波数の最適値)の設定を行う。
まず、押さえ板16の基端側をスプリング18の力に抗する力でベース部材12に向けて押圧する。これにより、押さえ板16は、ピン17を中心に回転して先端側がベース部材12から離間するように移動する。この状態で、カンチレバー5の本体部4を載置部11上に載置する。この際、本体部4の裏面4b及び後端部4cが載置部11に接触するので、本体部4が位置ずれせずに確実に位置決めされた状態となる。また、この載置状態で、カンチレバー5の軸線Aと水平面とのなす角度θ1が所定の角度に維持された状態となる。
特に、シート13は、樹脂性材料からなるので、自身の弾性により変形し易い。よって、シート13は、本体部4の表面4aの微小な凹凸及び本体部4の外形形状に応じて変形し、密着した状態で接触する。つまり、従来の点接触と異なり、シート13と本体部4との間に隙間がない状態になり接触面積が増加する。よって、確実に本体部4を載置部11に押し付けて固定することができる。
なお、樹脂性材料として、ポリイミドやポリアミドを採用することで、延びを極力なくすことができるので、長期間使用したとしても、使用開始時と同じ状態で確実に本体部4を介してカンチレバー5を固定することができる。よって、信頼性を向上することができる。
第2実施形態と第1実施形態との異なる点は、第1実施形態では、シート13を利用して本体部4を固定したが、第2実施形態のカンチレバーホルダは、樹脂性材料から形成されるワイヤを利用して本体部4を固定する点である。
即ち、本実施形態のカンチレバーホルダ30は、本体部4を載置部11に載置した状態で本体部4の表面4aに少なくとも接触可能とされ、軸線A方向に略直交する方向に延びたワイヤ(押さえ部材)31と、該ワイヤ31の両端をベース部材12に向けて所定の圧力で押圧し、ワイヤ31を介して本体部4を載置部11に固定すると共に、押圧を解いてワイヤ31を本体部4の表面4aから離間可能な押圧手段32とを備えている。
なお、本実施形態においては、ベース部材12は、上面視長方形状に形成されている。
また、側面の開口34bから貫通孔34の内部に向けて、プラグ35が貫通孔34内を移動自在に挿入されている。また、貫通孔34内には、スプリング36が配されており、プラグ35の基端側を外方に向けて付勢している。
そして、上記ワイヤ31の他端側は、上面の開口34aを介して貫通孔34内に入り、プラグ35の基端側に接続されている。これにより、ワイヤ31は、常に引っ張られた状態となり、載置部11に載置された本体部4をベース部材12に向けて押し付けるようになっている。
即ち、上記ねじ部材33、貫通孔34、プラグ35及びスプリング36は、上記押圧手段32を構成している。
まず、プラグ35をスプリング36の力に抗する力で貫通孔34内部に押し込んで、ワイヤ31を弛ませる。この状態で、カンチレバー5の本体部4を載置部11上に載置する。この際、本体部4の裏面4b及び後端部4cが載置部11に接触するので、本体部4が位置ずれせずに位置決めされた状態となる。また、この載置状態で、カンチレバー5の軸線Aと水平面とのなす角度が所定の角度θ1に維持された状態となる。
特に、ワイヤ31は、樹脂性材料からなるので、自身の弾性により変形し易い。よって、図7に示すように、ワイヤ31は、押圧されたときに本体部4の表面4aの微小な凹凸及び本体部4の外形形状に応じて変形し、密着した状態で線接触する。つまり、従来の点接触と異なり、ワイヤ31と本体部4との間に隙間がない状態になり、接触面積が増加する。よって、確実に本体部4を載置部11に押し付けて固定することができる。
従って、上記第1実施形態と同様に、カンチレバー5を、振動状態に影響を与えることなく固定することができるので、Qカーブを正確に安定して測定でき、測定結果の信頼性を向上することができる。
第3実施形態と第1実施形態との異なる点は、第1実施形態では、シート13を利用して本体部4を固定したが、第3実施形態のカンチレバーホルダ40は、押さえ板(板状部材)41自身で本体部4を固定する点である。
即ち、本実施形態のカンチレバーホルダ40は、図8及び図10に示すように、本体部4を載置部11に載置した状態で、本体部4の表面4aに少なくとも接触する押さえ板41を備えている。
この押さえ板41は、上面視長方形状に形成されており、支柱部15にピン接合されている。また、押さえ板41の先端側が本体部4の表面4aに接触しており、基端側がスプリング18により付勢されている。また、押さえ板41には、図10に示すように、本体部4の表面4aと接触する領域(先端側)に樹脂性の膜42が形成されている。
まず、押さえ板41の基端側をスプリング18の力に抗する力でベース部材12に向けて押圧する。これにより、押さえ板41は、ピン17を中心に回転して先端側がベース部材12から離間するように移動する。この状態で、カンチレバー5の本体部4を載置部11上に載置する。
特に、押さえ板41と本体部4との接触領域には、樹脂性の膜42が設けられているので、押圧されたときに本体部4の表面4aの微小な凹凸及び本体部4の外形形状に応じて変形し、密着した状態で接触する。つまり、従来の点接触と異なり、樹脂性の膜42と本体部4との間に隙間がない状態になり、接触面積が増加する。よって、確実に本体部4を載置部11に押し付けて固定することができる。
従って、上記第1実施形態と同様に、カンチレバー5を、振動状態に影響を与えることなく固定することができるので、Qカーブを正確に安定して測定でき、測定結果の信頼性を向上することができる。
即ち、本体部4を所定位置に位置決めした状態で載置する載置部11を有するベース部材12と、本体部4を載置部11に載置した状態で該本体部4の少なくとも表面4aを所定の圧力で押圧して、本体部4を載置部4に固定する板バネとでカンチレバーを構成しても構わない。また、この場合には、上記第3実施形態と同様に、板バネの、本体部4の表面4aと接触する領域に樹脂性の膜42を設ければ良い。
こうすることで、カンチレバーの帯電を防止したり、帯電した静電気を除去したりすることができる。また、これにより、電界や磁界から受ける影響を極力低減することができる。よって、測定結果の信頼性をさらに向上することができる。
なお、導電性樹脂材料としては、樹脂性材料自体が導電性を有しているものを利用しても構わないし、導電性を有していない樹脂性材料に、例えば、カーボンナノチューブ等の炭素材料や金属材料を混合して得られたものを利用しても構わない。
S 試料
1 走査型プローブ顕微鏡
2、30、40 カンチレバーホルダ
3 探針
4 本体部
4a 本体部の表面
5 カンチレバー
6 ステージ
7 XYスキャナ
8 Zスキャナ
9 移動手段
10 測定手段
11 載置部
12 ベース部材
13 シート(押さえ部材)
14、32 押圧手段
31 ワイヤ(押さえ部材)
41 押さえ板(板状部材)
42 樹脂性の膜
Claims (7)
- 先端に探針を有すると共に基端側が平板状の本体部に片持ち状態に支持されたカンチレバーを、着脱自在に固定するカンチレバーホルダであって、
前記本体部を所定位置に載置する載置部と、
該載置部を固定するベース部材と、
一方の面で前記載置部に支持させた前記本体部を、その他方の面からその形状に沿って変形を伴う程度に樹脂性材料を接触させて押圧により前記本体部を前記載置部へ一体的に密着固定する押さえ部材と、
該押さえ部材への前記押圧および該押圧の解除により前記本体部を前記載置部から着脱可能とする押圧手段とを備え、
前記樹脂性材料が導電性樹脂材料であることを特徴とするカンチレバーホルダ。 - 請求項1記載のカンチレバーホルダにおいて、
前記押さえ部材が、帯状のシートであるカンチレバーホルダ。 - 請求項1記載のカンチレバーホルダにおいて、
前記押さえ部材が、板状部材であるカンチレバーホルダ。 - 請求項3記載のカンチレバーホルダにおいて、
前記板状部材が、板バネであるカンチレバーホルダ。 - 先端に探針を有すると共に基端側が平板状の本体部に片持ち状態に支持されたカンチレバーを、着脱自在に固定するカンチレバーホルダであって、
前記本体部を所定位置に載置する載置部と、
該載置部を固定するベース部材と、
一方の面で前記載置部に支持させた前記本体部を、その他方の面からその形状に沿って変形を伴う程度に樹脂性材料を接触させて押圧により前記本体部を前記載置部へ一体的に密着固定する押さえ部材と、
該押さえ部材への前記押圧および該押圧の解除により前記本体部を前記載置部から着脱可能とする押圧手段とを備え、
前記押さえ部材が、内部に金属性材料からなる可撓性の軸芯を備えたワイヤであることを特徴とするカンチレバーホルダ。 - 請求項5記載のカンチレバーホルダにおいて、
前記樹脂性材料が導電性樹脂材料であることを特徴とするカンチレバーホルダ。 - 請求項1から6のいずれか1項に記載のカンチレバーホルダと、
先端に探針を有すると共に基端側が平板状の本体部に片持ち状態に支持され、該本体部を介して前記カンチレバーホルダに着脱自在に固定されるカンチレバーと、
試料を載置し、該試料を前記探針に対向配置させることができるステージと、
前記探針と前記試料とを試料表面に平行な方向に相対移動させる移動手段と、
前記カンチレバーの変位を測定する測定手段と、
を備えることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006012859A JP4732903B2 (ja) | 2005-03-15 | 2006-01-20 | カンチレバーホルダ及び走査型プローブ顕微鏡 |
KR1020060023078A KR101235982B1 (ko) | 2005-03-15 | 2006-03-13 | 캔틸레버 홀더 및 주사형 탐침 현미경 |
US11/374,841 US7375322B2 (en) | 2005-03-15 | 2006-03-14 | Cantilever holder and scanning probe microscope |
CN2006100591609A CN1835128B (zh) | 2005-03-15 | 2006-03-15 | 悬臂固定器及扫描探测显微镜 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005072262 | 2005-03-15 | ||
JP2005072262 | 2005-03-15 | ||
JP2006012859A JP4732903B2 (ja) | 2005-03-15 | 2006-01-20 | カンチレバーホルダ及び走査型プローブ顕微鏡 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006292722A JP2006292722A (ja) | 2006-10-26 |
JP4732903B2 true JP4732903B2 (ja) | 2011-07-27 |
Family
ID=37069191
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006012859A Active JP4732903B2 (ja) | 2005-03-15 | 2006-01-20 | カンチレバーホルダ及び走査型プローブ顕微鏡 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7375322B2 (ja) |
JP (1) | JP4732903B2 (ja) |
KR (1) | KR101235982B1 (ja) |
CN (1) | CN1835128B (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100761059B1 (ko) | 2006-09-29 | 2007-09-21 | 파크시스템스 주식회사 | 오버행 샘플 측정이 가능한 주사 탐침 현미경 |
TW201013963A (en) * | 2008-08-15 | 2010-04-01 | Ulvac Inc | Method and apparatus for manufacturing solar battery |
US20100102673A1 (en) * | 2008-10-24 | 2010-04-29 | Nokia Corporation | Kinetic harvesting frequency optimizer |
JP5461917B2 (ja) * | 2009-08-12 | 2014-04-02 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 軟化点測定装置および熱伝導測定装置 |
JP2013113727A (ja) * | 2011-11-29 | 2013-06-10 | Hitachi High-Technologies Corp | ヘッド素子検査機 |
CN103529245B (zh) * | 2013-10-16 | 2016-08-24 | 西南交通大学 | 一种可应用于酸碱环境中的原子力显微镜液下针尖支架 |
CN105092900B (zh) * | 2014-05-20 | 2018-01-02 | 中国科学院沈阳自动化研究所 | 一种用于原子力显微镜的扫描探针夹持装置 |
CN104155479B (zh) * | 2014-07-15 | 2016-08-17 | 大连理工大学 | 模块式扫描探针显微镜用探针架 |
JP2016065800A (ja) * | 2014-09-25 | 2016-04-28 | 国立大学法人金沢大学 | 走査型プローブ顕微鏡 |
AT517809B1 (de) | 2015-08-19 | 2017-11-15 | Anton Paar Gmbh | Mit Masterkraft werkzeuglos betätigbarer und eine Messsonde lösbar fixierender Fixiermechanismus für Rastersondenmikroskop |
JP6885585B2 (ja) * | 2017-03-28 | 2021-06-16 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 走査型プローブ顕微鏡、及びその走査方法 |
CN109061232B (zh) * | 2018-08-29 | 2020-03-10 | 河南大学 | 原子力显微镜探针装置 |
CN111077347B (zh) * | 2019-12-25 | 2022-05-03 | 北京航空航天大学 | 原子力显微术探针夹持装置 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08146013A (ja) * | 1994-11-18 | 1996-06-07 | Shimadzu Corp | 走査型プローブ顕微鏡 |
JPH11153609A (ja) * | 1997-11-21 | 1999-06-08 | Seiko Instruments Inc | プローブ顕微鏡 |
JPH11337560A (ja) * | 1998-05-28 | 1999-12-10 | Seiko Instruments Inc | 走査型プローブ顕微鏡 |
JP2000249714A (ja) * | 1999-03-01 | 2000-09-14 | Jeol Ltd | カンチレバーホルダおよびカンチレバー装着器 |
JP2000258330A (ja) * | 1999-03-04 | 2000-09-22 | Seiko Instruments Inc | 走査型プローブ顕微鏡 |
JP2001074635A (ja) * | 1999-08-31 | 2001-03-23 | Jeol Ltd | 走査プローブ顕微鏡 |
JP2003121335A (ja) * | 2001-10-10 | 2003-04-23 | Jeol Ltd | カンチレバ保持機構および走査形プローブ顕微鏡 |
JP2006184079A (ja) * | 2004-12-27 | 2006-07-13 | Tohoku Univ | 原子間力顕微鏡 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000090872A (ja) | 1998-09-16 | 2000-03-31 | Seiko Epson Corp | 微細加工装置、微細加工方法および微細加工装置の製造方法 |
JP3811004B2 (ja) * | 2000-11-26 | 2006-08-16 | 喜萬 中山 | 導電性走査型顕微鏡用プローブ |
CN2465175Y (zh) * | 2001-02-26 | 2001-12-12 | 中国科学院长春应用化学研究所 | 原子力显微镜多探针针座 |
CN2488061Y (zh) * | 2001-05-25 | 2002-04-24 | 中国科学院长春应用化学研究所 | 原子力显微镜可调多探针针座 |
CN2587043Y (zh) * | 2002-03-27 | 2003-11-19 | 上海卓伦微纳米设备有限公司 | 扫描探针显微镜的智能针尖连接结构 |
JP4190936B2 (ja) * | 2002-09-17 | 2008-12-03 | エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 | 走査型プローブ顕微鏡およびその操作法 |
JP2004325075A (ja) * | 2003-04-21 | 2004-11-18 | Sii Nanotechnology Inc | 走査型プローブ顕微鏡 |
JP4446929B2 (ja) * | 2004-08-24 | 2010-04-07 | エスアイアイ・ナノテクノロジー株式会社 | 走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーホルダおよびそれを用いた走査型プローブ顕微鏡 |
-
2006
- 2006-01-20 JP JP2006012859A patent/JP4732903B2/ja active Active
- 2006-03-13 KR KR1020060023078A patent/KR101235982B1/ko active IP Right Grant
- 2006-03-14 US US11/374,841 patent/US7375322B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2006-03-15 CN CN2006100591609A patent/CN1835128B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08146013A (ja) * | 1994-11-18 | 1996-06-07 | Shimadzu Corp | 走査型プローブ顕微鏡 |
JPH11153609A (ja) * | 1997-11-21 | 1999-06-08 | Seiko Instruments Inc | プローブ顕微鏡 |
JPH11337560A (ja) * | 1998-05-28 | 1999-12-10 | Seiko Instruments Inc | 走査型プローブ顕微鏡 |
JP2000249714A (ja) * | 1999-03-01 | 2000-09-14 | Jeol Ltd | カンチレバーホルダおよびカンチレバー装着器 |
JP2000258330A (ja) * | 1999-03-04 | 2000-09-22 | Seiko Instruments Inc | 走査型プローブ顕微鏡 |
JP2001074635A (ja) * | 1999-08-31 | 2001-03-23 | Jeol Ltd | 走査プローブ顕微鏡 |
JP2003121335A (ja) * | 2001-10-10 | 2003-04-23 | Jeol Ltd | カンチレバ保持機構および走査形プローブ顕微鏡 |
JP2006184079A (ja) * | 2004-12-27 | 2006-07-13 | Tohoku Univ | 原子間力顕微鏡 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101235982B1 (ko) | 2013-03-19 |
CN1835128A (zh) | 2006-09-20 |
US7375322B2 (en) | 2008-05-20 |
US20060219916A1 (en) | 2006-10-05 |
JP2006292722A (ja) | 2006-10-26 |
CN1835128B (zh) | 2010-05-26 |
KR20060101267A (ko) | 2006-09-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4732903B2 (ja) | カンチレバーホルダ及び走査型プローブ顕微鏡 | |
US7089787B2 (en) | Torsional harmonic cantilevers for detection of high frequency force components in atomic force microscopy | |
KR101440450B1 (ko) | 고속 주사 탐침 현미경 구성요소의 능동 댐핑 | |
US6935167B1 (en) | Harmonic cantilevers and imaging methods for atomic force microscopy | |
US8037762B2 (en) | Whispering gallery mode ultrasonically coupled scanning probe microscopy | |
JP4688643B2 (ja) | 加振型カンチレバーホルダ及び走査型プローブ顕微鏡 | |
JP5046039B2 (ja) | 液中観察用センサ及び液中観察装置 | |
JPH11108940A (ja) | 走査プローブ顕微鏡 | |
JP2009300116A (ja) | カンチレバー、カンチレバーシステム、走査型プローブ顕微鏡、質量センサ装置、弾性計測装置及びマニピュレーション装置並びにカンチレバーの変位測定方法、カンチレバーの加振方法及びカンチレバーの変形方法 | |
JP3953958B2 (ja) | 走査プローブ顕微鏡のための作動および検知装置 | |
JP2017040656A (ja) | マスター力により工具なしで作動可能であり測定探針を解除可能に固定する走査型プローブ顕微鏡用固定機構 | |
EP2463665B1 (en) | Cantilever excitation device and scanning probe microscope | |
JP2012093325A (ja) | 原子間力顕微鏡用のカンチレバー、原子間力顕微鏡、および、原子間力の測定方法 | |
JP2006184079A (ja) | 原子間力顕微鏡 | |
JP4895379B2 (ja) | レバー加振機構及び走査型プローブ顕微鏡 | |
US7657947B2 (en) | Method and device for the contactless excitation of torsional vibrations in a one-sidedly clamped-in spring cantilever of an atomic force microscope | |
JP3595849B1 (ja) | マイクロ・ナノ材料用疲労試験装置 | |
JP2009537840A (ja) | 制御される原子間力顕微鏡 | |
US20080060426A1 (en) | Atomic force microscope | |
JP4891838B2 (ja) | 走査形プローブ顕微鏡 | |
Vairac et al. | Scanning microdeformation microscopy: experimental investigations on non-linear contact spectroscopy | |
RU2494406C2 (ru) | Сканирующий зондовый микроскоп | |
JP2007309903A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡用走査機構および走査型プローブ顕微鏡 | |
JPH0829148A (ja) | ニアフィールド顕微鏡 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080909 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20091105 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20091113 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100727 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100803 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100928 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20101026 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110119 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20110124 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110308 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110328 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110419 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110421 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140428 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4732903 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140428 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140428 Year of fee payment: 3 |
|
R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140428 Year of fee payment: 3 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140428 Year of fee payment: 3 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |