CN110462806A - 用于衬底运输的方法和设备 - Google Patents

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CN110462806A CN201880023289.5A CN201880023289A CN110462806A CN 110462806 A CN110462806 A CN 110462806A CN 201880023289 A CN201880023289 A CN 201880023289A CN 110462806 A CN110462806 A CN 110462806A
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A.克鲁皮谢夫
L.F.沙罗克
J.哈利西
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Borucos automation USA Co.,Ltd.
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Abstract

一种衬底处理设备，其包括线性细长的基本上六边形形状的衬底运输室，衬底运输室具有六边形的线性细长侧部以及六边形的基本上正交于线性细长侧部的至少一个端壁。多个处理模块沿着线性细长侧部中的至少一者线性地排列。衬底运输臂枢转地安装在衬底运输室内，使得衬底运输臂的枢转轴线相对于衬底运输室固定安装。衬底运输臂具有三连杆‑三接头SCARA配置，其中一个连杆是具有至少一个衬底保持器的末端执行器，其铰接以通过端部和侧部衬底运输开口将由所述至少一个衬底保持器保持的衬底运输进出衬底运输室。

Description

用于衬底运输的方法和设备
相关申请的交叉引用
本非临时专利申请要求2017年2月7日提交的美国临时专利申请号62/455,874的优先权和权益，其公开内容通过引用全部并入本文。
背景技术
1. 技术领域
示例性实施例大体涉及机器人***，并且更特别地涉及机器人运输设备。
2. 相关发展的简要描述
生产量是用于确定半导体制造设施（被称为FAB）效率的一种度量标准。增加FAB的生产量一直都是人们所追求和欢迎的。用于测量FAB效率的另一度量标准是FAB配置的灵活性（以及其中处理工具和设备的配置的灵活性）。
FAB生产量的主要因素是处理工具（衬底在这些处理工具中装载、处理并且在处理之后卸载）的处理能力以及处理模块配合到给定FAB空间中的效率如何（即，有多少处理工具配合到给定FAB空间中并且具有针对生产量优化的配置）。另一方面，对甚至更小的运输室的期望已经导致更长的处理时间以在处理工具中实现处理工作程序，并且已经导致衬底大小的对应增加（诸如400 mm和450 mm以及可能甚至更大的衬底），其试图通过应用比例因子（scaling factor）来减轻较长处理时间对生产量的影响。例如，处理具有不断增加的衬底大小的衬底的影响是例如更大的处理工具部件和更长的处理时间。例如，需要具有更长工作范围的运输设备来处理更大的衬底。还需要具有更大占地面积的较大处理室、运输室和装载锁来处理更大的衬底。在图1中图示了具有较大处理工具部件的常规处理工具100的一个示例，并且该处理工具包括运输室114、设置在运输室114内的衬底运输臂150、联接到运输室114的装载锁110、112、以及联接到运输室114的处理模块120、122、124、126、128、130。在此，三个处理模块联接到运输室的每个侧部，其中衬底运输臂150包括上臂连杆152、前臂连杆154和末端执行器156、158。图1示出了具有常规运输臂150的常规运输室114，常规运输臂150具有三连杆配置（其中，其中一个连杆是末端执行器156）加上另一末端执行器158，并且图示了该常规方法的限制。例如，图1中示出的常规配置在长度和宽度比例（或长宽比）上基本上类似于如在图1A中示出的常规六边形平面形式处理工具100'，其在处理模块容量和效率上具有适度的增加以补偿处理时间。
处理模块和装载锁的大小的增加会例如增加每个衬底的处理时间。每个衬底在一个或多个处理模块/装载锁处的处理时间的该增加可能导致在处理工具中可用于在衬底的处理工作程序中用于执行随后的处理的其它处理模块的空闲时间更长，这可能容易实现对处理工具生产量的有害影响。这种有害影响可通过增加处理模块的数量（如上所述，用常规运输室不可实现）并因此在针对处理工具的给定装载/卸载操作的任何给定时间处增加处理工具内的衬底的数量而自然地得到改善。因此，需要一种具有最小化的占地面积和大量处理模块（或者处理模块与处理工具占地面积的高密度比）以及对应的部件配置效果且在处理工具中的期望衬底位置处具有改进的衬底定位特性的处理工具。
附图说明
结合附图，在如下描述中解释了所公开的实施例的前述方面和其它特征，在附图中：
图1和图1A是具有不同配置的现有技术衬底处理工具的示意图；
图2A是根据所公开的实施例的方面的衬底处理工具的示意图；
图2B、图2C、图2D、图2E、图2F、图2G、图2H和图2I是根据所公开的实施例的方面的图2A的衬底处理工具的部分的示意图；
图3A至图3D是图2A至图2E中的衬底处理工具的运输设备的驱动部段的示意图；
图4是根据所公开的实施例的方面的图2A至图2E中的衬底处理工具的衬底运输设备的一部分的示意图；
图5是根据所公开的实施例的方面的图2A至图2E中的衬底处理工具的示意图；
图6是根据所公开的实施例的方面的图2A至图2E中的衬底处理工具的示意图；
图7、图8、图9A、图9B、图10、图11、图12和图12A是根据所公开的实施例的方面的布置在不同衬底处理工具配置中的图2A至图2E的衬底处理工具的示意图；
图13A、图13B、图13C和图13D是根据所公开的实施例的方面的衬底处理工具的操作的示意图；
图14A、图14B和图14C是根据所公开的实施例的方面的衬底处理工具的操作的示意图；
图15A、图15B和图15C是根据所公开的实施例的方面的衬底处理工具的操作的示意图；
图16A、图16B和图15C是根据所公开的实施例的方面的衬底处理工具的操作的示意图；以及
图17是根据所公开的实施例的方面的示例性流程图。
具体实施方式
参考图2A至图2E，所公开的实施例的方面提供了一种衬底处理工具200，衬底处理工具200具有线性处理工具配置并且其可针对增加的衬底处理工具生产量以及增加的效率调节，其中，与诸如上文描述的常规衬底处理工具相比，衬底处理工具200对于给定空间（诸如，衬底处理工具200的宽度W1）具有更高的处理模块密度。本文所描述的所公开的实施例的方面提供了模块化的衬底处理工具200，使得联接到运输室210的处理模块PM的数量可以仅仅通过增加运输室长度L而不增加运输室210的宽度W通过运输室210的模块化来实现。此外，本文描述的模块化运输室210可以被容纳在常规衬底处理工具的现有空间（诸如，宽度）内，诸如，图1中图示的常规衬底处理工具100，其在处理工具的一端处具有双装载锁配置，双装载配置基本上类似于具有六边形平面/八面体运输室的常规处理工具，常规处理工具约1:1或小于2:1的长度与宽度长宽比。
在一方面，衬底处理工具200包括前端201、后端202和任何合适的控制器299，控制器299用于以本文所描述的方式来控制衬底处理工具200的操作。一方面，控制器299可以是任何合适控制架构（诸如，例如，集群式架构控制）的一部分。控制***可以是闭环控制器，其具有主控制器（其一方面可以是控制器110）、集群控制器和自主远程控制器，诸如，在于2011年3月8日授权的题为“Scalable Motion Control System”的美国专利号7,904,182中公开的控制器，其公开内容通过引用全部并入本文。在其它方面，可使用任何合适的控制器和/或控制***。
一方面，前端201可以是大气前端，其包括装备前端模块（EFEM）290、装载端口292A-292C以及一个或多个装载锁LL1、LL2。一方面，装备前端模块290包括运输室291，一个或多个装载端口292A-292C联接到运输室291。装载端口292A-292B配置成保持衬底盒/载体C，衬底S被保持在衬底盒/载体C中以用于通过装载端口292A-292B装载到衬底处理工具200以及从衬底处理工具200卸载。一个或多个装载锁LL1、LL2联接到运输室291以用于在运输室291与后端202之间传送衬底S。
后端202可以是真空后端。应注意，如本文所使用的术语“真空”可表示衬底在其中进行处理的高真空（诸如，10-5托或更低）。一方面，后端202包括线性细长的基本上六边形形状的运输室210，运输室210具有线性细长侧部210S1、210S2以及在侧部210S1、210D2之间延伸的端壁210E1、210E2。一方面，侧部210S1、210S2具有长度L，并且端壁210E1、210E2具有宽度W，使得六边形形状的运输室210具有高长宽比的侧部长度L与宽度W长宽比，并且宽度W相对于设置在运输室210内的衬底运输臂250的占地面积FP（例如，在衬底运输臂处于完全缩回配置的情况下该衬底运输臂的最小摆动直径）是紧凑的。宽度W相对于运输臂250的占地面积FP是紧凑的，因为在侧壁210S1、210S2与占地面积FP之间仅提供了足够的最小间隙以允许如本文描述的衬底运输臂250的操作。一方面，运输室210的长宽比大于2:1，并且衬底运输臂占地面积对于衬底运输臂的预定最大工作范围而言是紧凑的；而在其它方面，长宽比为约3:1，并且衬底运输臂占地面积对于衬底运输臂的预定最大工作范围而言是紧凑的。
一方面，来自设置成靠近六边形形状的衬底运输室210的与所述至少一个端壁210E1、210E2相对的另一端壁210E1、210E2的侧部衬底运输开口270A1-270A6、270B1-270B6的线性阵列的侧部衬底运输开口270A1-270A6、270B1-270B6被定向成使得穿过靠近相对端壁210E1、210E2的侧部衬底运输开口270A1-270A6、270B1-270B6的对应衬底保持器运动轴线270A1X-270A6X、270B1X-270B6X（见图6）基本上正交于穿过所述至少一个端壁250E1、250E2的端部衬底运输开口260A、260B的另一衬底保持器运动轴线260AX、260BX。例如，六边形形状的运输室210的至少一个端壁210E1、210E2基本上正交于线性细长侧部210S1、210S2。所述至少一个端壁210E1、210E2具有至少一个端部衬底运输开口260A、260B。线性细长侧部210S1、210S2中的至少一者具有侧部衬底运输开口270A1-270A6、270B1-270B6的线性阵列。一方面，与衬底运输室210的所述至少一个线性细长侧部210S1、210S2相对的线性细长侧部210S1、210S2中的另一者具有至少一个其它侧部衬底运输开口270A1-270A6、270B1-270B6，并且衬底运输臂250配置成通过端部衬底运输开口260A、260B、侧部衬底运输开口和其它侧部衬底运输开口270A1-270A6、270B1-270B6将由衬底运输臂250、250A1、250A2的末端执行器250E、250E1、250E2的至少一个衬底保持器250EH保持的衬底S运输进出衬底运输室，使得末端执行器250E、250E1、250E2对于分别设置在衬底运输室210的端壁210E1、210E2和线性细长侧部210S1、210S2以及线性细长相对侧部210S1、210S2中的端部衬底运输开口260A、260B、侧部衬底运输开口和其它衬底运输开口270A1-270A6、270B1-270B6中的每一者是公共的。一方面，端部衬底运输开口260A、260B和侧部衬底运输开口270A1-270A6、270B1-270B6中的每个开口被布置成用于通过所述开口将衬底S传送进出运输室210。一方面，穿多每个侧部衬底运输开口270A1-270A6、270B1-270B6的对应衬底保持器运动轴线270A1X-270A6X、270B1X-270B6X基本上彼此平行地分别延伸穿过一个衬底运输开口270A1-270A6、270B1-270B6。一方面，衬底运输室210包括缓冲站BS，缓冲站BS邻近开口260A、260B、270A1-270A6、270B1-270B6中的至少一者，衬底在衬底运输室210内的运输期间在缓冲站BS上进行缓冲。
一方面，至少一个端壁210E1、210E2的尺寸设置成并排接收两个并排的装载锁LL1、LL2或其它处理模块PM（例如，见图7、图9A、图9B和图11），装载锁LL1、LL2或其它处理模块PM被放置成在公共水平面或平面（例如，如在图2F中示出的衬底运输平面TP1，仅出于示例性目的，图2F仅仅图示了端部开口）上大致彼此邻近并且通常面向相应端壁210E1、210E2。应理解，尽管在附图中将衬底运输室210图示为在一个或多个端壁210E1、210E2上具有两个端部开口260A、260B，但在其它方面，可以在端壁210E1、210E2中的一个或多个上提供仅一个端部开口，使得仅一个装载锁或处理模块联接到相应端壁210E、210E2。类似地，侧部210S1、210S2配置成并排接收并排的处理模块PM或装载锁LL1、LL2，处理模块PM和装载锁LL1、LL2被放置成在公共水平面或平面（例如，衬底运输平面TP1）上大致彼此邻近并且通常面向相应侧部210S1、210S2。在其它方面，装载锁LL1、LL2和/或处理模块PM可在彼此上下重叠地堆叠在相应端壁210E1、210E2或侧部210S1、210S2上的不同水平面或平面（例如，衬底运输平面TP1、TP2）上，以便形成开口260A、260B、260A'、260B'、270A、270B（见图2E，出于示例性目的，图2E仅仅图示了端部开口）的任何合适网格（具有任何合适大小），以将处理模块PM或装载锁LL1、LL2连接到运输室210。一方面，处理模块PM是串联处理模块TPM（例如，在公共壳体内且联接到衬底运输室的两个并排开口的两个衬底保持站PMH1、PMH2）；而在其它方面，处理模块可以是单个处理模块SPM（例如，在壳体内且联接到衬底运输室的单个开口的一个衬底保持站PMH——见图2A）或者联接到公共衬底运输室210的相应开口的单个和串联处理模块的组合（见图2A）。
一方面，衬底处理工具200包括多个处理模块PM，多个处理模块PM沿着线性细长侧部210S1、210S2中的至少一者线性地排列并且分别经由对应的侧部衬底运输开口270A1-270A6、270B1-270B6与运输室210连通。一方面，处理模块PM线性阵列提供至少六个处理模块衬底保持站PMH、PMH1、PMH2，至少六个处理模块衬底保持站PMH、PMH1、PMH2在基本上公共的水平面处沿着至少一个线性细长侧部210S1、210S2分布，并且每个衬底保持站由衬底运输臂250、250A、250B的公共末端执行器250E、250E1、250E2通过对应的侧部运输开口270A1-270A6、270B1-270B6接近。尽管在衬底运输室210的每个侧部210S1、210S1上大体图示了三个处理模块PM（除了图2A中的单个处理模块SPM之外），但在每个侧部210S1、210S2上也可具有多于三个处理模块PM或少于三个处理模块PM，从而在每个侧部210S1、210S2上提供任何合适数量的衬底保持站。一方面，侧部开口270A1-270A6、270B1-270B6和处理模块PM可被布置在不同水平面上以形成开口的网格和处理模块，其布置方式基本上类似于本文参考图2E和端壁210E1、210E2开口260A、260B、260A'、260B'描述的方式（其中，运输设备245包括Z轴线驱动器以将末端执行器250E、250E1、250E2升高和降低至不同水平面TP1、TP2）。一方面，处理模块PM可通过各种沉积、蚀刻、或者其它类型的处理来在衬底上操作以在衬底上形成电路或者其它期望结构。典型的处理包括但不限于使用真空的薄膜工艺（诸如，等离子蚀刻或其它蚀刻工艺）、化学气相沉积（CVD）、等离子气相沉积（PVD）、注入（诸如，离子植入）、度量法（metrology）、快速热处理（RTP）、干式剥离原子层沉积（ALD）、氧化/扩散、形成氮化物、真空光刻、磊晶（EPI）、打线接合和蒸发或利用真空压力的其它薄膜工艺。
参考图2A、图2B和图2C，如上文所描述的，衬底处理工具200具有模块化配置。一方面，前端201可以是衬底处理工具200的一个模块（例如，前端模块200M1），使得具有运输室291、装载端口292A-292C和装载锁LL1、LL2的任何合适的前端可通过衬底运输室210的一个或多个端壁210E1、210E2上的端部开口260A、260B联接到衬底运输室210。一方面，运输室210形成衬底处理工具的另一模块，其中，运输室210包括公共或核心模块200M2以及一个或多个室端部或***模块200M3、200M4、200M5、200M6、200M7、200M8。一方面，核心模块200M2包括框架200F2，并且所述至少一个衬底运输设备245以任何合适的方式安装到框架200F1。***模块200M3、200M4、200M5、200M6、200M7、200M8中的每一者还包括相应框架200F3、200F4、200F5、200F6、200F7、200F8，这些相应框架在结合到核心模块200M2的框架200F2时形成衬底运输室210的框架200F。
一方面，***模块200M3、200M4、200M5、200M6、200M7、200M8中的每一者具有不同的配置，使得它们可选择以用于连接到核心模块200M2以便为衬底运输室210提供具有可选择的可变长度L的线性细长侧部210S1、210S2，其中，衬底运输室的侧部210S1、210S2可在不同长度之间选择并限定衬底运输室的可选择的可变配置。例如，***模块200M3包括侧部210M3S1、210M3S2，其中，每个侧部210M3S1、210M3S2具有长度L1并且包括例如侧部开口270A1-270A6、270B1-270B6中的两者（在图2D中大体称为开口270A和270B），而***模块200M3的端壁210M3E1不具有使末端执行器250E、250E1、250E2从其穿过的任何开口。***模块200M5基本上类似于***模块200M3，然而，***模块200M5的端壁210M5E包括开口260A、260B。类似地，***模块200M6包括侧部210M6S1、210M6S2，其中每个侧部210M6S1、210M6S2具有长度L2并且包括例如侧部开口270A、270B中的一者，而***模块200M6的端壁210M6E1不具有使末端执行器250E、250E1、250E2从其穿过的任何开口。***模块200M4基本上类似于***模块200M6，然而，***模块200M4的端壁210M4E包括开口260A、260B。***模块200M8包括侧部210M8S1、210M8S2，其中每个侧部210M8S1、210M8S2具有长度L3并且不包括任何侧部开口，而***模块200M8的端壁210M8E1不具有使末端执行器250E、250E1、250E2从其穿过的任何开口。***模块200M7基本上类似于***模块200M8，然而，***模块200M7的端壁210M7E包括开口260A、260B。***模块200M3、200M4、200M5、200M6、200M7、200M8以任何合适的方式（诸如，界面BLT上的螺栓）联接到核心模块200M2，其中在***模块200M3、200M4、200M5、200M6、200M7、200M8中的每一者与核心模块200M2的相应端部200M2E1、200M2E2之间提供任何合适的密封件200SL。
在这方面，***模块200M3、200M5的长度L1大于***模块200M4、200M6的长度L2；并且***模块200M4、200M6的长度L2大于***模块200M7、200M8的长度L3。进一步地，尽管***模块被图示为不具有侧部开口、在每个侧部上有一个侧部开口270A、270B并且在每个侧部上有两个侧部开口270A、270B、具有或不具有端部开口260A、260B，但在其它方面，***模块可具有任何合适数量的侧部开口270A、270B和任何合适的长度，以为衬底运输室210提供可变长度以及任何合适数量的侧部开口270A、270B和设置在衬底运输室210的一个或多个端部210E1、210E2上的端部开口260A、260B。例如，参考图7、图8、图9A、图9B、图10、图11和图12，衬底运输室210被图示为具有可选择的可变配置，其中，该配置可在侧部长度L与宽度W（见图2A）长宽比从高长宽比（诸如，3:1或更大）变化至一致（例如，1:1）长宽比的配置之间选择，并且其中，衬底运输臂250对于衬底运输室210的每个可选配置是公共的。
如在图7中可以看到的，衬底运输室210包括核心模块200M2和两个***模块200M5，两个***模块200M5联接到核心模块200M2的每个端部200M2E1、200M2E2。在这方面，***模块200M5被选择成为衬底运输室210提供3:1的长度L与宽度W长宽比，同时在衬底运输室210的每个端壁210E1、210E2上提供端部开口260A、260B。图8中图示的衬底运输室210的配置还包括***模块200M5、200M6，***模块200M5、200M6被选择成使得衬底运输室210具有3:1的长度L与宽度W长宽比，然而，在这方面，运输室的仅一个端壁210E1包括端部开口260A、260B，而端壁210E2不包括任何开口。在这方面，***模块200M5联接到核心模块200M2的第一端200M2E1，并且***模块200M6联接到核心模块200M2的第二端200M2E2。
如在图9A和图9B中可以看到的，衬底运输室210包括核心模块200M2和两个***模块200M4，这两个***模块200M4被选择成为衬底运输室210提供2:1的长度L对宽度W长宽比。在此，***模块200M4中的一者联接到核心模块的第一端200M2E1，而另一***模块200M4联接到核心模块200M2的第二端200M2E2以提供2:1的长宽比，同时还在衬底运输室210的每个端壁210E1、210E2处为衬底运输室210提供端部开口260A、260B。尽管未在图中示出，但可用***模块200M6来代替联接到核心模块200M2的第二端200M2E2的***模块200M4，使得端部开口260A、260B仅以基本上类似于图8中图示的方式设置在衬底运输室210的端壁210E1处。
图10中图示的衬底运输室210的配置还包括***模块200M3、200M7，***模块200M3、200M7被选择成使得衬底运输室210具有2:1的长度L与宽度W长宽比，然而，在这方面，运输室的仅一个端壁210E2包括端部开口260A、260B，而端壁210E2不包括任何开口。在这方面，***模块200M3联接到核心模块200M2的第二端200M2E2，使得核心模块200M2和***模块200M3为衬底运输室210的每个侧壁210S1、210S2提供四个侧部开口270A、270B。***模块200M7联接到核心模块200M2的第一端200M2E1，使得前端模块200M1的装载锁LL1、LL2可以联接到衬底运输室210，其中***模块200M7仅包括端部开口260A、260B。尽管在图中未示出，但可用***模块200M5来代替联接到核心模块200M2的第二端200M2E2的***模块200M6，使得端部开口260A、260B以基本上类似于图7、图9A和图9B中图示的方式设置在衬底运输室210的两个端壁210E1、210E2处。
图11中图示的衬底运输室210的配置包括两个***模块200M7，这两个***模块200M7被选择成使得衬底运输室210具有1:1的长度L与宽度W长宽比（例如，一致长宽比）。在这方面，运输室的两个端壁210E1、210E2均包括端部开口260A、260B。在这方面，***模块200M7中的一者联接到核心模块200M2的第二端200M2E2，而***模块200M7中的另一者联接到核心模块200M2的第一端200M2E1，使得仅核心模块200M2为衬底运输室210的每个侧壁210S1、210S2提供两个侧部开口270A、270B。在这方面，***模块200M7联接到核心模块200M2，使得前端模块200M1的装载锁LL1、LL2可以联接到衬底运输室210，并且使得处理模块PM可以联接到衬底运输室210的第二端210E2，其中***模块200M7仅包括端部开口260A、260B。一方面，如在图12中图示的，可用***模块200M8来代替联接到核心模块200M2的第二端200M2E2的***模块200M7，***模块200M8用于给核心模块200M2的第二端200M2E2加盖而不提供任何侧部开口或端部开口，使得衬底运输室维持1:1的长度L与宽度W长宽比，同时仅在衬底运输室210的端壁210E1上提供端部开口260A、260B。一方面，如在图12A中图示的，***模块200M7可联接到核心模块200M2的端部200M2E1、200M2E2，其中处理模块PM可定位在衬底运输室210的一个或多个侧部210S1、210S2和/或第二端210E2上（其中，一个或多个装载锁联接到衬底运输室210的第一端210E1）。尽管已经在图7、图8、图9A、图9B、图10、图11和图12中图示了衬底运输室210的示例性配置，但应理解，任何数量的核心模块200M2和任何数量的***模块200M可以以任何合适的方式组合以便为衬底运输室210提供具有任何合适数量的侧部开口270A、270B和端部开口260A、260B的任何合适的长度L与宽度W长宽比。
再次参考图2A和图2E，一方面，至少一个衬底运输设备245至少部分地设置在运输室210内。一方面，每个衬底运输设备245包括衬底运输臂250，衬底运输臂250枢转地安装在运输室210内使得衬底运输臂250的枢转轴线（例如，肩部轴线）SX相对于运输室210固定安装，使得枢转轴线SX不横穿衬底运输室210的长度L或宽度W。一方面，与将运输臂250安装到线性平移器相比，枢转轴线SX的固定安装是有利的，因为枢转轴线SX的固定安装使运输室210内的粒子产生最小化并且限制或消除隔离滑动特征的任何密封界面，以实现枢转接头SX的定位。进一步地，与配置有枢转连杆（运输臂安装在枢转连杆上）的常规铰接臂形成对照，本文描述的铰接运输臂250为紧凑占地面积提供长工作范围，以允许在一个端壁210E1（例如，装载锁LL1、LL2与其连接）、另一端壁210E1（例如，装载锁或处理模块与其连接）和沿着高长宽比运输室210的侧部210S1、210S2设置在其间的处理模块PM之间传送，从而解决下垂影响（如由常规壁表现出的）；为衬底运输臂250提供如下文所描述的用于对应的长工作范围的基本上不受限制的臂移动性；以及针对长工作范围处（诸如，在侧部开口270A1、270A6、270B1、270B6和端部开口260A、260B处）的高精度衬底定位提供枢转刚度。
一方面，衬底运输臂250具有三连杆-三接头SCARA（选择顺应性铰接机器人臂）配置。例如，衬底运输臂250包括第一臂连杆或上臂250UA、第二臂连杆或前臂250FA以及至少第三臂连杆或至少一个末端执行器250E、250E1、250E2，其中，每个末端执行器250E、250E1、250E2包括至少一个衬底保持器250EH（其运动控制实现衬底保持器250EH在衬底运输臂250的整个运动范围内的完整运输运动和定位）。一方面，参考图2A，衬底运输臂250包括具有单个衬底保持器250EH的单个末端执行器250E。一方面，参考图5，衬底运输臂250A包括具有多于一个衬底保持器250EH的单个末端执行器250E1。在图5图示的方面，末端执行器250E1设置有两个衬底保持器250EH，但在其它方面，可提供任何合适数量的衬底保持器，使得基本上同时从并排衬底保持站PMH1、PMH2拾取和放置以并排布置结构设置的衬底S。例如，末端执行器250E1的衬底保持器250EH被布置成使得末端执行器250E1利用公共末端执行器运动通过线性排列的侧部衬底运输开口270A1-270A6、270B1-270B6中的多于一者（或者端壁210E1、210E2上的线性排列的开口260A、260B中的一者或多者）使多于一个衬底保持器250EH基本上同时延伸或缩回。一方面，衬底运输臂250B包括多于一个末端执行器，诸如，末端执行器250E、250E2，其中，末端执行器250E、250E2从属于衬底运输臂250B的公共前臂连杆250FA，使得末端执行器250E、250E2围绕公共旋转轴线（例如，腕部轴线WX）相对于前臂250FA枢转，并且其中，两个末端执行器250E、250E2对于端部和侧部衬底运输开口260A、260B、270A1-270A2、270B1-270B2中的每一者是公共的。在衬底运输臂250B包括多于一个末端执行器250E、250E2的情况下，末端执行器250E、250E2为衬底运输臂250B提供快速交换末端执行器，该快速交换末端执行器对于端部和侧部衬底运输开口260A、260B、270A1-270A2、270B1-270B2中的每一者是公共的。一方面，每个末端执行器250E、250E2由驱动部段300A、300B、300C、300D的相应自由度独立地旋转驱动，而在其它方面，末端执行器250E、250E2可由驱动部段300A、300B、300C、300D的公共自由度以基本上类似于在2016年7月26日授权的美国专利号9,401,294（其公开内容通过引用全部并入本文）中描述的方式来差动地驱动，诸如，在末端执行器250E、250E2中的一者由任何合适的反向传输驱动器驱动的情况下。
参考图4，一方面，末端执行器250E、250E1、250E2以及上臂250UA和前臂250FA中的每一者可使用任何合适的传输装置由任何合适的驱动部段300A、300B、300C、300D（在下文描述——作为示例在图4中图示了驱动部段300A）驱动。例如，一方面，衬底运输臂250、250A、250B包括分带传输装置，该分带传输装置基本上类似于在如下专利文件中描述的分带传输装置：2015年5月14日公开的美国专利公开号2015/0128749和1997年11月4日授权的美国专利号5,682,795；1998年7月14日授权的5,778,730；1998年8月18日授权的5,794,487号；1999年6月1日授权的5,908,281；以及2002年8月6日授权的6,428,266，其公开内容通过引用全部并入本文。例如，参考用于前臂250FA的驱动传输装置400（应理解，用于（多个）末端执行器的驱动传输装置是基本上相似的），肩部滑轮410可围绕肩部轴线SX安装到驱动部段300A，使得驱动部段300A的驱动轴中一者驱动肩部滑轮410的旋转。肘部滑轮411可旋转地安装在肘部轴线EX处，使得肘部滑轮411与前臂250FA一起围绕肘部轴线EX作为整体旋转。具有任何合适高度的驱动带400A、400B沿相反方向围绕滑轮410、411部分地环绕，使得带400A、400B两者在衬底运输臂250的操作期间都处于张紧状态以至少为衬底运输臂250的接头EX、WX提供刚度。
再次参考图2A和图2E，一方面，上臂250UA具有从接头SX中心至接头EX中心的第一长度AL1；前臂250FA具有从接头EX中心至接头WX中心的第二长度AL2；并且末端执行器250E具有从接头中心WX至衬底保持器250EH的衬底保持参考基准DD的第三长度AL3。一方面，第一长度AL1、第二长度AL2和第三长度AL3中的一者或多者不同于第一长度AL1、第二长度AL2和第三长度AL3中的一个或多个其它长度（即，运输臂250具有不等长臂连杆）。一方面，长度AL2可以比长度AL1和AL3更长。
上臂250UA的第一端250UAE1在枢转接头SX处可旋转地联接到例如任何合适的驱动部段，诸如，本文描述的驱动部段300A、300B、300C、300D（见图3A至图3D），以为衬底运输臂250提供至少两个自由度。如在图3A、图3B、图3C和图3D中可以看到的，驱动部段300A、300B、300C、300D的每个驱动轴380S、380AS、380BS、388（其中驱动轴的集合形成驱动主轴）和与其联接的衬底运输臂250、250A、250B的肩部轴线SX同轴。一方面，衬底运输臂250包括三个自由度，而在其它方面，衬底运输臂具有四个或更多个自由度。前臂250FA的第一端在枢转接头（例如，肘部接头）EX处可旋转地联接到上臂250UA的第二端250UAE2。所述至少一个末端执行器250E的第一端在枢转接头（例如，腕部接头）WX处可旋转地联接到前臂250FA的第二端，其中，末端执行器250E的第二端包括用于保持衬底S的衬底保持器250E。在此，衬底运输臂250被铰接以通过端部和侧部衬底运输开口260A、260B、270A1-270A6、270B1-270B6将由所述至少一个衬底保持器250EH保持的衬底S运输进出运输室210，使得末端执行器250E对于端部和侧部衬底运输开口260A、260B、270A1-270A6、270B1-270B6中的每一者是公共的。
还参考图3A、图3B、图3C、图3D，一方面，运输设备245包括至少一个驱动部段300A、300B、300C、300D和具有所述至少一个运输臂250、250A、250B的至少一个运输臂部分。所述至少一个运输臂250、250A、250B可在任何合适的连接CNX处以任何合适的方式联接到驱动部段300A-300D的驱动轴，使得驱动轴的旋转实现如本文描述的所述至少一个运输臂250、250A、250B的移动。一方面，所述至少一个运输臂250、250A、250B可与多个不同的可互换运输臂250、250A、250B互换，以便在连接CNX处与驱动部段交换，其中，可互换运输臂250、250A、250B中的每一者具有不同的下垂特性和与之相关联的对应下垂距离寄存器（其描述相关联的运输臂250、250A、250B的臂下垂距离），使得驱动部段可使用补偿臂沿Z方向的运动来补偿下垂，其方式基本上类似于在如下文件中描述的方式：例如，2017年1月26日提交的且题为“Method and Apparatus for Substrate Transport Apparatus PositionCompensation”的美国临时专利申请号62/450,818，其公开内容通过引用全部并入本文。
所述至少一个驱动部段300A、300B、300C、300D安装到处理设备200的任何合适框架200F，诸如，安装到核心模块200M2的框架200F2。一方面，所述至少一个驱动部段300A、300B、300C可包括公共驱动部段，该公共驱动部段包括框架300F，框架300F容纳Z轴线驱动器370和旋转驱动部段382中的一者或多者。框架300F的内部300FI可以以将在下文描述的任何合适的方式密封。一方面，Z轴线驱动器370可以是任何合适的驱动器，其配置成使所述至少一个运输臂250、250A、250B沿着Z轴线移动。一方面，Z轴线驱动器可以是螺旋式驱动器，但在其它方面，驱动器可以是任何合适的线性驱动器，诸如，线性致动器、压电马达等。旋转驱动部段382可配置为任何合适的驱动部段，诸如，例如，谐波驱动部段。例如，旋转驱动部段382可包括任何合适数量的同轴布置的谐波驱动马达380，诸如，在图3A中可以看见的，其中驱动部段382包括三个同轴布置的谐波驱动马达380、380A、380B。在其它方面，驱动部段382的驱动器可并排和/或以同轴布置结构定位。一方面，旋转驱动部段382可包括任何合适数量的谐波驱动马达380、380A、380B，例如，这些谐波驱动马达对应于同轴驱动***中的任何合适数量的驱动轴380S、380AS、380BS。谐波驱动马达380可以具有高容量输出轴承，使得铁磁流体密封件376、377的组成零件在运输设备245的期望旋转T和延伸R移动期间至少部分地由谐波驱动马达380以足够的稳定性和间隙居中和支撑。应注意，铁磁流体密封件376、377可包括形成如将在下文描述的基本上同心的同轴密封件的若干个部分。在该示例中，旋转驱动部段382包括用于容纳一个或多个驱动马达380的壳体381，其可以基本上类似于在美国专利6,845,250、5,899,658、5,813,823和5,720,590中描述的驱动马达，这些专利文件的公开内容通过引用全部并入本文。铁磁流体密封件376、377可以被容许密封驱动轴组件中的每个驱动轴380S、380AS、380BS。一方面，可不提供铁磁流体密封件。例如，驱动部段382可包括具有定子的驱动器，这些定子基本上与运输臂操作所处的环境密封，而转子和驱动轴共用臂操作所处的环境。不具有铁磁流体密封件并且可在所公开的实施例的方面中使用的驱动部段的合适示例包括来自Brooks Automation有限公司的MagnaTran®7和MagnaTran®8机器人驱动部段，其可具有密封的罐布置结构，如将在下文描述的。应注意，（多个）驱动轴380S、380AS、380BS还可具有中空结构（例如，具有沿着驱动轴的中心纵向延伸的孔），以允许电线或任何其它合适的物品穿过驱动组件以用于连接到例如另一驱动部段（如在2016年7月7日提交并于2016年11月10日公开为US2016/0325440的美国专利申请号15/110,130中描述的驱动部段，其公开内容通过引用全部并入本文）、任何合适的位置编码器、控制器、和/或安装到驱动器300A、300B、300C的所述至少一个运输臂250、250A、250B。如可认识到的，驱动部段300A、300B、300C的每个驱动马达可包括任何合适的编码器，编码器配置成检测相应马达的位置以用于确定每个运输臂250、250A、250B的末端执行器250E、250E1、250E2的位置。
一方面，壳体381可以安装到托架，托架联接到Z轴线驱动器370，使得Z轴线驱动器370使托架（和定位在其上的壳体381）沿着Z轴线移动。如可认识到的，为了将所述至少一个运输臂250、250A、250B操作所述的受控气氛与驱动器300A、300B、300C（其可以在大气压ATM环境中操作）的内部密封隔开，可包括铁磁流体密封件376、377和波纹管密封件中的一者或多者。波纹管密封件可具有联接到托架的一端和联接到框架300FI的任何合适部分的另一端，使得框架300F的内部300FI与所述至少一个运输臂250、250A、250B操作所处的受控气氛隔离。
在其它方面，可在托架上提供具有定子（该定子在没有铁磁流体密封件的情况下与运输臂操作所处的气氛密封隔开）的驱动器，诸如，来自Brooks Automation有限公司的MagnaTran®7和MagnaTran®8机器人驱动部段。例如，同样参考图3B、图3C和图3D，旋转驱动部段382配置成使得马达定子与机器人臂操作所处的环境密封隔开，而马达转子共用机器人臂操作所处的环境。
图3B图示了具有第一驱动马达380'和第二驱动马达380A'的同轴驱动器。第一驱动马达380'具有定子380S'和转子380R'，其中，转子380R'联接到驱动轴380S。罐密封件380CS可定位在定子380S'与转子380R'之间，并以任何合适的方式连接到壳体381，以便将定子380S'与机器人臂操作所处的环境密封隔开。类似地，马达380A'包括定子380AS'和转子380AR'，其中，转子380AR'联接到驱动轴380AS。罐密封件380ACS可设置在定子380AS'与转子380AR'之间。罐密封件380ACS可以以任何合适的方式连接到壳体381，以便将定子380AS'与机器人臂操作所处的环境密封隔开。如可认识到的，可提供任何合适的编码器/传感器368A、368B来确定驱动轴（和（多个）驱动轴所操作的（多个）臂）的位置。
参考图3C，图示了三轴旋转驱动部段382。该三轴旋转驱动部段可基本上类似于上文参考图3B描述的同轴驱动部段，然而，在这方面，有三个马达380'、380A'、380B'，其各自具有联接到相应驱动轴380A、380AS、380BS的转子380R'、380AR'、380BR'。每个马达还包括相应定子380S'、380AS'、380BS'，其通过相应的罐密封件380SC、380ACS、380BCS与（多个）机器人臂操作所处的气氛密封隔开。如可认识到的，可提供如上文参考图3C所描述的任何合适的编码器/传感器来确定驱动轴（和（多个）驱动轴所操作的（多个）臂）的位置。同样参考图3D，图示了驱动器300D，其具有基本上类似于上文描述的三轴旋转驱动部段的多轴旋转驱动部段382，驱动器300D具有四个驱动轴380S、380AS、380BS、388和四个相应马达380'、380A'、380B'、388M，其中，马达388M包括基本上类似于上文所描述的定子、转子和罐密封件的定子388S、转子388R和罐密封件388CS。一方面，可提供四个自由度（不包括Z轴线驱动器）驱动器300D，诸如，当衬底运输臂（诸如，衬底运输臂250B）设置有快速交换末端执行器时，其中每个末端执行器可相对于（多个）其它末端执行器独立旋转。一方面，可提供三个自由度（不包括Z轴线驱动器）驱动器300C，诸如，当衬底运输臂（诸如，衬底运输臂250B）设置有快速交换末端执行器时，这些快速交换末端执行器差分联接，如上文所描述的那样。如可认识到的，一方面，在图3B、3C和3D中图示的马达的驱动轴可能不允许电线进给通过，而在其它方面，可提供任何合适的密封件，使得电线可以穿过，例如，在图3B、3C和3D中图示的马达的中空驱动轴。
一方面，参考图2A、图2G和图2H，为了补偿臂下垂（例如，除了或代替补偿上文所描述的下垂寄存器实现的Z移动之外）和/或为了减轻由于衬底运输臂250的重量而施加在所述至少一个驱动部段300A、300B、300C、300D上的任何弯曲力矩，上臂250UA的第一端250UAE1包括平衡压载配重构件247（出于图示目的，在附图中以代表性配置示意性地示出），平衡压载配重构件247沿与衬底运输臂的延伸方向基本上相反的方向从枢转轴线SX延伸，并且具有基于衬底运输臂下垂力矩在枢转轴线SX上（例如，在驱动主轴上）的平衡和/或衬底运输臂250的紧凑占地面积FP内的配合而限定配置和配重。一方面，压载配重构件247在相对于如图2G图示的枢转轴线SX的固定位置处固定地安装到衬底运输臂250的框架（诸如，上臂250UA的框架250UAF）；而在其它方面，压载配重构件247可移动地安装到衬底运输臂250的框架（诸如，上臂250UA的框架250UAF），以便朝向和远离（例如，在沿着上臂250UA的纵向轴线LAX的方向296上）枢转轴线SX设置在框架上的不同位置处。在其它方面，压载配重构件247可安装到衬底运输设备245的任何合适部分，诸如，独立于运输臂连杆250UA、250FA、250E、250E1、250E2。例如，压载配重构件247可以以任何合适的方式固定地或可移动地安装到驱动部段300A、300B、300C、300D的框架或壳体，诸如，例如，通过将压载配重构件247安装到驱动轴中的任何一者或多者或者通过将压载配重构件247安装到枢转轴247PA，枢转轴247PA安装到例如如图2I图示的驱动部段的驱动轴380S、380AS、380BS、388中的一者。在该示例中，枢转轴247PA被图示为与上臂250UA一起但独立于上臂250UA安装到驱动轴280S，但如上文所述，枢转轴247PA可安装到驱动部段300A、300B、300C、300D的驱动轴380S、380AS、380BS、388中的任一者。
一方面，压载配重构件247是有效配重，其相对于框架（诸如，上臂250UA的框架250UAF）沿方向296远离和朝向枢转轴线SX移动，与衬底运输臂250的延伸和缩回互补。例如，当衬底运输臂250延伸时，压载配重构件247沿方向296移动远离肩部轴线SX，并且当衬底运输臂250缩回时，压载配重构件247沿方向296朝向肩部轴线SX移动。一方面，压载配重构件247通过驱动部段300A、300B、300C、300D的至少一个驱动轴线相对于衬底运输臂框架（诸如，上臂250UA的框架250UAF）移动，驱动部段300A、300B、300C、300D可操作地联接到衬底运输臂250并且以任何合适的方式实现衬底运输臂250的铰接。例如，压载配重构件247可在上臂250UA内（或者在枢转轴247PA内）安装在任何合适的滑动件247SL上，滑动件247SL由驱动部段300A、300B、300C、300D以任何合适的方式（诸如，通过带式和滑轮驱动器或任何其它合适的驱动传输装置）致动。一方面，驱动部段300A、300B、300C、300D的所述至少一个驱动轴线实现压载配重构件247沿方向296远离和朝向枢转轴线的移动并且实现衬底运输臂250的延伸和缩回，使得所述至少一个驱动轴线是用于压载配重构件246的运动和衬底运输臂250的延伸和缩回的公共驱动轴线。例如，同样参考图3A至图3D，外驱动轴380S可联接到上臂250UA以使上臂250UA围绕肩部轴线SX旋转。中间驱动轴380AS可联接到前臂250FA（诸如，通过本文描述的带式和滑轮布置结构）以使前臂250FA围绕肘部轴线EX旋转。（多个）内驱动轴380BS、388可联接到（多个）末端执行器250E、250E1、250E2（诸如，通过本文所描述的带式和滑轮布置结构）以使（多个）末端执行器250E、250E1、250E2围绕腕部轴线WX旋转。中间驱动轴380AS也可以以任何合适的方式（诸如，通过带式和滑轮布置结构）联接到压载配重构件246，带式和滑轮布置结构包括肩部滑轮410和相对于肩部轴线SX与肘部滑轮411相对地设置在上臂250UA上的另一滑轮412。带400A'、400B'可连接滑轮410、412，并且压载配重构件246可以以任何合适的方式联接到带400A'、400B'中的一者以便沿着任何合适的线性滑动件247SL沿方向296移动。如可认识到的，滑轮410与滑轮411之间的滑轮大小比可不同于滑轮410与滑轮412之间的滑轮大小比，使得压载配重构件246的移动被校准至臂延伸/缩回（例如，肩部滑轮410可包括与带400A、400B联接的第一直径和与带400A'、400B'联接的第二直径，其中第一直径和第二直径对应于滑轮411、412中的相应一者）。在其它方面，压载配重构件246可与上臂250UA、前臂250FA和末端执行器250E、250E1、250E2中的任一者一样以任何合适的方式联接到驱动部段300A、300B、300C、300D的任何合适的驱动轴380S、380AS、380BS、388，使得压载配重构件246沿方向296移动。
参考图2G，压载配重构件247具有压载配重部分247A、247B、247C，这些压载配重部分可选自多个不同的可互换压载配重部分247A、247B、247C。一方面，可互换压载配重部分247A、247B、247C的选择取决于衬底运输室210的长度L与宽度W长宽比。在其它方面，可互换压载配重部分247A、247B、247C的选择还可取决于衬底运输臂250中所包括的末端执行器250E、250E1、250E2的类型（例如，单个衬底保持器末端执行器（诸如，末端执行器250E、250E2），或并排衬底保持器末端执行器（诸如，末端执行器250E1））或数量。作为示例，为配置有六个侧部开口的运输室210选择的压载配重部分247A、247B、247C（如在例如图2A中图示的）可比为配置有四个侧部开口的运输室210选择的压载配重部分247A、247B、247C（如在例如图9A中图示的）更重。类似地，为配置有四个侧部开口的运输室210选择的压载配重部分247A、247B、247C（如在例如图9A中图示的）可比为配置有两个侧部开口的运输室210选择的压载配重部分247A、247B、247C（如在例如图11中图示的）更重。一方面，在衬底运输室210具有1:1的长度L与宽度W长宽比的情况下，可不提供压载（例如，压载配重部分基本上不给衬底运输臂250添加任何配重）。如可以认识到的，压载配重部分247A、247B、247C可根据需要被添加到衬底运输臂250或从其移除，例如，这取决于衬底运输室210和/或衬底运输室250中所包括的（多个）末端执行器的长宽比。
现在参考图2A、图2G、图2H和图13A至图17，将描述衬底处理工具200的示例性操作。一方面，提供衬底运输室210（图17，框1700）并且多个处理模块PM沿着衬底运输室的至少一个侧部210S1、210S2线性地排列（图17，框1710），如上文所描述的。一方面，处理模块PM和/或装载锁LL1、LL2也排列在衬底运输室210的端壁210E1、210E2上。一方面，提供驱动部段300A、300B、300C、300D并将其连接到衬底运输室210（图17，框1705），其中，驱动部段包括至少两个自由度，并且驱动部段300A、300B、300C、300D的每个驱动轴380S、380AS、380BS、388与驱动部段300A、300B、300C、300D的其它驱动轴380S、380AS、380BS、388一起围绕公共轴线（诸如，肩部轴线SX）旋转。一方面，提供衬底运输臂250（图17，框1720）并且将其枢转地安装在衬底运输室210内，使得运输臂的枢转轴线（例如，肩部轴线SX）如上文所描述的那样相对于衬底运输室210固定安装。同样如上文所描述的，一方面，运输臂250的肩部轴线SX是与驱动部段300A、300B、300C、300D的驱动轴380S、380AS、380BS、388的公共轴线。
一方面，衬底运输臂250铰接以通过端部和侧部衬底运输开口260A、260B、270A1-270A6、270B1-270B6将由末端执行器250E、250E1、250E2的所述至少一个衬底保持器250EH保持的衬底（图17，框1730）运输进出衬底运输室210，使得末端执行器250E、250E1、250E2对于端部和侧部衬底运输开口260A、260B、270A1-270A6、270B1-270B6中的每一者是公共的。一方面，在压载配重构件247是有效的情况下，臂的铰接包括取决于衬底运输臂250的延伸使压载配重构件247沿方向296移动。
一方面，如上文所描述的，穿过侧部衬底运输开口270A1-270A6、270B1-270B6的衬底保持器运动轴线270A1X-270A6X、270B1X-270B6X基本上正交于穿过所述至少一个端壁250E1、250E2的端部衬底运输开口260A、260B的另一衬底保持器运动轴线260AX、260BX。同样如上所述，一些运动轴线（诸如，270A1X、270A6X、270B1X、270B6X）邻近衬底运输室210的端壁210E1、210E2。衬底运输臂250通过驱动部段300A、300B、300C、300D的铰接使得衬底运输臂250设置有移动性，以使末端执行器250E、250E1、250E2围绕由运动轴线260AX、260BX和运动轴线270A1X、270A6X、270B1X、270B6X限定的基本上正交的拐角转动。
参考图13A、图13B，图示了在衬底运输臂250缩回和延伸到每个端部开口260A、260B中时的末端执行器250E、250E1、250E2的示例性移动性。在此，在运输臂250的缩回配置中，在肩部轴线SX相对于衬底运输室210固定并具有与肩部轴线SX同轴设置的驱动运输臂的驱动轴情况下，末端执行器相对于衬底运输臂250的腕部轴线WX设置有大于270°但小于360°的旋转运动范围1300（见图13B）。当衬底运输臂250延伸使得末端执行器250E延伸穿过端部开口260B时，末端执行器250E（以及末端执行器250E2）相对于腕部轴线WX维持大于270°但小于360°的旋转运动范围1300（见图13C）。类似地，当衬底运输臂250延伸使得末端执行器250E延伸穿过端部开口260A时，末端执行器250E（以及末端执行器250E2）相对于腕部轴线WX维持大于270°但小于360°的旋转运动范围1300（见图13C）。如可认识到的，贯穿臂运动的工作范围和位置，衬底运输臂250运动的整个范围在没有限制的情况下通过分带传输装置400（包括末端执行器250E、250E1、250E2的独立铰接）实现，以用于快速交换，这与常规衬底处理***（诸如，图1中图示的常规处理工具100）形成对照，常规衬底处理***具有常规线性细长衬底运输室并且采用长臂连杆，这导致具有带式传输装置的末端执行器的移动性减小，并且由于运输室114的长度增加以在运输室114的每一侧上容纳多于三个处理模块（每个处理模块具有单个衬底保持站），所以导致附加的臂连杆被添加到衬底运输臂150，其中附加的连杆通过增加衬底运输臂的重量来增加作用在衬底运输臂驱动***上的力矩。衬底运输臂150的增加的重量以及用于联接臂连杆的接头之间的不对准一起导致增加衬底运输臂150的下垂或下沉，这可能导致衬底运输臂150的衬底放置和/或拾取精度降低。尽管端部开口260A、260B被图示在衬底运输室210的端壁210E1上，但应理解，末端执行器250E、250E1、250E2延伸到端壁210E2上的端部开口260A、260B中（诸如，例如在图7中）是基本上相似的。
参考图14A至图14C，图示了在衬底运输臂250延伸到核心模块200M2的每个侧部开口270A3、270A4、270B3、270B4（或如例如图11和图12中一致的长宽比运输室210的端部开口260A、260B）中时末端执行器250E、250E1、250E2的示例性移动性。在此，当衬底运输臂250延伸使得末端执行器250E延伸穿过侧部开口270B3或270B4时，末端执行器250E（以及末端执行器250E2）相对于腕部轴线WX维持大于270°但小于360°的旋转运动范围1300（见图14B）。类似地，当衬底运输臂250延伸使得末端执行器250E延伸穿过侧部开口270A3、270A4时，末端执行器250E（以及末端执行器250E2）相对于腕部轴线WX维持大于270°但小于360°的旋转运动范围1300（见图14C）。尽管在图14B和14C中图示了侧部开口270A3、270B3，但应理解，末端执行器250E、250E1、250E2延伸到侧部开口270A4、270B4中是基本上相似的。
参考图15A至图15C，图示了在衬底运输臂250延伸到每个侧部开口270A2、270A5、270B2、270B5（或者邻近如例如图9A和图9B中具有2:1的长度L与宽度W长宽比的运输室210的端壁210E1、210E2的侧部开口270A2、270A5、270B2、270B5）中时，末端执行器250E、250E1、250E2的示例性移动性。在此，当衬底运输臂250延伸使得末端执行器250E延伸穿过侧部开口270B2时，末端执行器250E（以及末端执行器250E2）相对于腕部轴线WX维持大于270°但小于360°的旋转运动范围1300（见图15B）。类似地，当衬底运输臂250延伸使得末端执行器250E延伸穿过侧部开口270A2时，末端执行器250E（以及末端执行器250E2）相对于腕部轴线WX维持大于270°但小于360°的旋转运动范围1300（见图15C）。尽管在图15B和15C中图示了侧部开口270A2、270B2，但应理解，末端执行器250E、250E1、250E2延伸到侧部开口270A5、270B5中是基本上相似的。
参考图16A至图16C，图示了在衬底运输臂250延伸到邻近具有3:1的长度L与宽度W长宽比的运输室210的端壁210E1、210E2的每个侧部开口270A1、270A6、270B1、270B6中时，末端执行器250E、250E1、250E2的示例性移动性。在此，当衬底运输臂250延伸使得末端执行器250E延伸穿过侧部开口270B1时，末端执行器250E（以及末端执行器250E2）相对于腕部轴线WX维持大于270°但小于360°的旋转运动范围1300（见图16B）。类似地，当衬底运输臂250延伸使得末端执行器250E延伸穿过侧部开口270A1时，末端执行器250E（以及末端执行器250E2）相对于腕部轴线WX维持大于270°但小于360°的旋转运动范围1300（见图16C）。尽管在图16B和16C中图示了侧部开口270A1、270B1，但应理解，末端执行器250E、250E1、250E2延伸到侧部开口270A6、270B6中是基本上相似的。
尽管图13A至图16C已经描述了衬底运输臂250包括一个或多个末端执行器350E、350E2，但应理解，多个衬底保持器250EH末端执行器250E2的运动范围1300基本上类似于上文所描述的。如可认识到的，所公开的实施例的方面为运输臂250提供基本上不受限制的移动性，其包括末端执行器250E、250E1、250E2的运动范围1300，其使得衬底运输臂能够到达由基本上正交的运动轴线270AX1-270AX6、270BX1-270BX6和260AX、260BX限定的基本上正交的拐角周围，而无论运动轴线是否邻近衬底运输室210的端壁210E1、210E2。一方面，末端执行器250E、250E1、250E2的运动范围1300设置有肩部轴线SX，肩部轴线SX相对于衬底运输室210静止或固定，其中驱动部段300A、300B、300C、300D的驱动主轴与肩部轴线SX和/或与驱动衬底运输臂250连杆（例如，前臂250FA和末端执行器250E、250E1、250E2）的旋转的驱动带传输装置400（图4）同轴，其中，无论滑轮的旋转方向如何，驱动带传输装置都在滑轮410、411的两侧上提供张力（例如，这增加了衬底运输臂250的刚度）。一方面，末端执行器250E、250E1、250E2的运动范围1300可超过用于在使末端执行器250E、250E1、250E2旋转以补偿上臂250UA和前臂250FA驱动轴线（例如，驱动轴280A、280AS）的旋转之后使末端执行器250E、250E1、250E2沿着相应运动轴线270AX1-270AX6、270BX1-270BX6、260AX、260BX（诸如，邻近端壁210E1、210E2或端壁210E1、210E2之间的任何位置）延伸穿过开口270A1-270A6、270B1-270B6、260A、260B的运动范围，以实现衬底运输臂250的延伸，同时将末端执行器250E、250E1、250E2维持在预定取向上（诸如，沿着相应运动轴线270AX1-270AX6、270BX1-270BX6、260AX、260BX）。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，一种衬底处理设备包括：
线性细长的基本上六边形形状的衬底运输室，其具有六边形的线性细长侧部和六边形的基本上正交于线性细长侧部的至少一个端壁，所述至少一个端壁具有端部衬底运输开口，线性细长侧部中的至少一者具有侧部衬底运输开口的线性阵列，端部和侧部衬底运输开口中的每个开口被布置成用于通过所述开口将衬底传送进出衬底运输室；
多个处理模块，所述多个处理模块沿着所述线性细长侧部中的所述至少一者线性地排列并且分别经由对应的侧部衬底运输开口与衬底运输室连通；以及
衬底运输臂，衬底运输臂枢转地安装在衬底运输室内，使得衬底运输臂的枢转轴线相对于衬底运输室固定安装，衬底运输臂具有三连杆-三接头SCARA配置，其中一个连杆是具有至少一个衬底保持器的末端执行器，其铰接以通过端部和侧部衬底运输开口将由所述至少一个衬底保持器保持的衬底运输进出衬底运输室，使得末端执行器对于端部和侧部衬底运输开口中的每一者是公共的；
其中，六边形具有高长宽比的侧部长度与宽度长宽比，并且宽度相对于衬底运输臂的占地面积是紧凑的。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，长宽比大于2:1，并且对于衬底运输臂的预定最大工作范围而言，衬底运输臂占地面积是紧凑的。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，长宽比为约3:1，并且对于衬底运输臂的预定最大工作范围而言，衬底运输臂占地面积是紧凑的。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，端壁的尺寸设置成并排接收两个并排的装载锁或其它处理模块，装载锁或其它处理模块被放置成在公共水平面上大致彼此邻近并且通常面向端壁。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，SCARA臂具有三个自由度和不等长连杆，并且枢转轴线限定SCARA臂的肩部接头。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，处理模块线性阵列提供至少六个处理模块衬底保持站，所述至少六个处理模块衬底保持站在基本上公共的水平面处沿着所述至少一个线性细长侧部分布，并且每个衬底保持站由衬底运输臂的公共末端执行器通过对应的侧部运输开口接近。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，包括至少一个装载锁或其它处理模块，所述装载锁或其它处理模块经由端部衬底运输开口与衬底运输室连通。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，与衬底运输室的所述至少一个线性细长侧部相对的另一线性细长侧部具有至少一个其它侧部衬底运输开口，并且衬底运输臂配置成通过端部衬底运输开口、侧部衬底运输开口和其它侧部衬底运输开口将由所述至少一个衬底保持器保持的衬底运输进出衬底运输室，使得末端执行器对于分别设置在衬底运输室的端壁、线性细长侧部和线性细长相对侧部中的端部衬底运输开口、侧部衬底运输开口和其它衬底运输开口中的每一者是公共的。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，衬底运输室的线性细长相对侧部具有沿着相对侧部线性地排列的多于一个的其它侧部衬底运输开口，并且其中，末端执行器对于其它侧部衬底运输开口中的每一者是公共的。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，包括驱动部段，驱动部段连接到衬底运输室并且具有驱动主轴，驱动主轴包括同轴驱动轴，同轴驱动轴可操作地联接到衬底运输臂并限定至少两个自由度，从而实现衬底运输臂的铰接，并且驱动主轴定位成使得其旋转轴线基本与枢转轴线上重合。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，衬底运输臂具有平衡压载配重构件，平衡压载配重构件设置在衬底运输臂上以便沿与衬底运输臂的延伸方向基本上相反的方向从枢转轴线延伸，并且平衡压载配重构件具有基于衬底运输臂下垂力矩在驱动主轴上的平衡而限定的配置和重量。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，衬底运输臂对于衬底运输臂的预定最大工作范围而言具有紧凑的占地面积，并且压载配重构件的配置和重量进一步基于衬底运输臂的紧凑占地面积内的配合来限定。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，末端执行器的所述至少一个衬底保持器包括多于一个衬底保持器，所述衬底保持器设置在末端执行器上并且布置成使得末端执行器利用公共末端执行器运动通过多于一个的线性排列的侧部衬底运输开口使所述多于一个衬底保持器基本上同时延伸或缩回。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，末端执行器是第一末端执行器，并且衬底运输臂具有第二末端执行器，第二末端执行器与第一末端执行器从属于衬底运输臂的公共前臂连杆，使得第一末端执行器和第二末端执行器相对于前臂围绕公共旋转轴线枢转，其中，第二末端执行器对于端部和侧部衬底运输开口中的每一者是公共的。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，第一末端执行器和第二末端执行器为衬底运输臂提供快速交换末端执行器，快速交换末端执行器对于端部和侧部衬底运输开口中的每一者是公共的。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，线性细长侧部具有可选择的可变长度，其中，衬底运输室的侧部可在不同长度之间选择并限定衬底运输室的可选择的可变配置。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，衬底运输室的可选择的可变配置可在其中侧部长度与宽度长宽比从高长宽比变化至一致长宽比的配置之间选择，并且其中，衬底运输臂对于衬底运输室的每个可选配置是公共的。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，衬底运输臂对于衬底运输臂的预定最大工作范围而言具有紧凑的占地面积，并且具有平衡压载配重构件，平衡压载配重构件设置在衬底运输臂上以便沿与衬底运输臂的延伸方向基本上相反的方向从枢转轴线延伸，并且平衡压载配重构件具有基于衬底运输臂下垂力矩在枢转轴线上的平衡且基于在衬底运输臂的紧凑占地面积内的配合而限定的配置和重量。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，压载配重构件在相对于枢转轴线的固定位置处固定地安装到衬底运输臂的框架。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，压载配重构件可移动地安装到衬底运输臂的框架，以便朝向和远离枢转轴线设置在框架上的不同位置处。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，压载配重构件可移动地安装到衬底运输臂的框架，以便相对于框架远离和朝向枢转轴线移动，以与衬底运输臂的延伸和缩回互补。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，压载配重构件通过驱动部段的至少一个驱动轴线相对于衬底运输臂框架移动，驱动部段可操作地联接到衬底运输臂并实现衬底运输臂的铰接。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，所述至少一个驱动轴线实现压载配重构件远离和朝向枢转轴线的移动并实现衬底运输臂的延伸和缩回，使得所述至少一个驱动轴线是用于压载配重构件的运动和衬底运输臂的延伸和缩回的公共驱动轴线。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，压载配重构件具有压载配重部分，压载配重部分可选自多个不同的可互换配重部分并且该选择取决于衬底运输室的长宽比。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，衬底运输臂包括分带传输***，该分带传输***实现衬底运输臂的铰接。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，衬底运输臂是三自由度运输臂。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，一种衬底运输设备包括：
线性细长的基本上六边形形状的衬底运输室，该衬底运输室具有六边形的线性细长侧部以及六边形的至少一个端壁，所述至少一个端壁具有端部衬底运输开口，六边形的线性细长侧部中的至少一者具有侧部衬底运输开口的线性阵列，端部和侧部衬底运输开口中的每个开口被布置成用于通过所述开口将衬底传送进出衬底运输室；
驱动部段，其连接到衬底运输室并且具有驱动主轴，驱动主轴包括同轴驱动轴，同轴驱动轴限定至少两个自由度，该驱动轴围绕公共轴线旋转；以及
衬底运输臂，衬底运输臂枢转地安装在衬底运输室内，使得衬底运输臂的枢转轴线基本上与驱动主轴的公共轴线重合地相对于衬底运输室固定安装，衬底运输臂具有三连杆-三接头SCARA配置，其中一个连杆是具有衬底保持器的末端执行器，其可操作地联接到驱动主轴使得衬底运输臂以由同轴驱动轴实现的所述至少两个自由度铰接，以通过端部和侧部衬底运输开口将衬底保持器上的衬底运输进出衬底运输室；
其中，衬底运输臂具有平衡压载配重构件，平衡压载配重构件设置在衬底运输臂上以便沿与衬底运输臂的延伸方向基本上相反的方向从驱动主轴的公共轴线延伸，并且平衡压载配重构件具有基于衬底运输臂下垂力矩在驱动主轴上的平衡限定的配置和重量。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，来自侧部衬底运输开口的线性阵列（其设置成靠近六边形形状的衬底运输室的与所述至少一个端壁相对的另一端）的侧部衬底运输开口被定向成使得穿过靠近相对端的侧部衬底运输开口的对应衬底保持器运动轴线基本上正交于穿过所述至少一个端壁的端部衬底运输开口的另一衬底保持器运动轴线。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，衬底运输臂铰接以通过端部和侧部衬底运输开口将衬底保持器上的衬底运输进出衬底运输室，使得末端执行器对于端部和侧部衬底运输开口中的每一者是公共的。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，每个侧部衬底运输开口具有穿过每个侧部衬底运输开口的对应衬底保持器运动轴线，侧部衬底运输开口的线性阵列的每个衬底保持器运动轴线基本上彼此平行地分别延伸穿过每个衬底运输开口。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，衬底运输臂对于衬底运输臂的预定最大工作范围而言具有紧凑的占地面积，并且所述六边形具有高长宽比的侧部长度与宽度长宽比，并且宽度相对于衬底运输臂的占地面积是紧凑的。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，所述六边形的所述至少一个端壁基本上正交于所述六边形的线性细长侧部。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，衬底运输臂包括分带传输***，该分带传输***实现衬底运输臂的铰接。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，同轴驱动轴为衬底运输臂提供三个自由度。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，一种方法包括：
提供线性细长的基本上六边形形状的衬底运输室，该衬底运输室具有六边形的线性细长侧部以及六边形的基本上正交于线性细长侧部的至少一个端壁，所述至少一个端壁具有端部衬底运输开口，所述线性细长侧部中的至少一者具有侧部衬底运输开口的线性阵列，端部和侧部衬底运输开口中的每个开口被布置成用于通过所述开口将衬底传送进出衬底运输室；
提供多个处理模块，所述多个处理模块沿着所述线性细长侧部中的所述至少一者线性地排列并且分别经由对应的侧部衬底运输开口与衬底运输室连通；
提供衬底运输臂，衬底运输臂枢转地安装在衬底运输室内，使得运输臂的枢转轴线相对于衬底运输室固定安装，衬底运输臂具有三连杆-三接头SCARA配置，其中一个连杆是具有至少一个衬底保持器的末端执行器；并且
铰接衬底运输臂,以通过端部和侧部衬底运输开口将由所述至少一个衬底保持器保持的衬底运输进出衬底运输室，使得末端执行器对于端部和侧部衬底运输开口中的每一者是公共的；
其中，所述六边形具有高长宽比的侧部长度与宽度长宽比，并且宽度相对于衬底运输臂的占地面积是紧凑的。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，长宽比大于2:1，并且对于衬底运输臂的预定最大工作范围而言，衬底运输臂占地面积是紧凑的。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，长宽比为约3:1，并且对于衬底运输臂的预定最大工作范围而言，衬底运输臂占地面积是紧凑的。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，端壁的尺寸设置成并排接收两个并排的装载锁或其它处理模块，装载锁或其它处理模块在公共水平面上被放置成大致彼此邻近并且通常面向端壁。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，进一步包括：为SCARA臂提供三个自由度和不等长连杆，其中枢转轴线限定SCARA臂的肩部接头。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，处理模块线性阵列提供至少六个处理模块衬底保持站，所述至少六个处理模块衬底保持站在基本上公共的水平面处沿着所述至少一个线性细长侧部分布，并且该方法进一步包括：利用衬底运输臂的公共末端执行器通过对应的侧部运输开口来接近每个衬底保持站。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，至少一个装载锁或其它处理模块经由端部衬底运输开口与衬底运输室连通。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，与衬底运输室的所述至少一个线性细长侧部相对的另一线性细长侧部具有至少一个其它侧部衬底运输开口，并且该方法进一步包括：利用衬底运输臂通过端部衬底运输开口、侧部衬底运输开口和其它侧部衬底运输开口将由所述至少一个衬底保持器保持的衬底运输进出衬底运输室，使得末端执行器对于分别设置在衬底运输室的端壁、线性细长侧部和线性细长相对侧部中的端部衬底运输开口、侧部衬底运输开口和其它衬底运输开口中的每一者是公共的。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，衬底运输室的线性细长相对侧部具有沿着相对侧部线性排列的多于一个的其它侧部衬底运输开口，并且其中，末端执行器对于所述其它侧部衬底运输开口中的每一者是公共的。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，驱动部段连接到衬底运输室并且具有驱动主轴，驱动主轴包括同轴驱动轴，同轴驱动轴可操作地联接到衬底运输臂并限定至少两个自由度，该方法进一步包括：利用驱动部段实现衬底运输臂的铰接，其中驱动主轴定位成使得其旋转轴线基本上与枢转轴线重合。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，进一步包括：为衬底运输臂提供平衡压载配重构件，平衡压载配重构件设置在衬底运输臂上以便沿与衬底运输臂的延伸方向基本上相反的方向从枢转轴线延伸，并且平衡压载配重构件具有基于衬底运输臂下垂力矩在驱动主轴上的平衡而限定的配置和重量。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，衬底运输臂对于衬底运输臂的预定最大工作范围而言具有紧凑的占地面积，并且进一步基于在衬底运输臂的紧凑占地面积内的配合来限定压载配重构件的配置和重量。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，末端执行器的所述至少一个衬底保持器包括设置在末端执行器上的多于一个衬底保持器，该方法进一步包括使末端执行器延伸或缩回，使得所述多于一个衬底保持器利用公共末端执行器运动通过多于一个线性排列的侧部衬底运输开口基本上同时延伸或缩回。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，末端执行器是第一末端执行器，并且衬底运输臂具有第二末端执行器，第二末端执行器与第一末端执行器从属于衬底运输臂的公共前臂连杆，该方法进一步包括：使第一末端执行器和第二末端执行器相对于前臂围绕公共旋转轴线枢转，其中，第二末端执行器对于端部和侧部衬底运输开口中的每一者是公共的。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，第一末端执行器和第二末端执行器为衬底运输臂提供快速交换末端执行器，快速交换末端执行器对于端部和侧部衬底运输开口中的每一者是公共的。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，线性细长侧部具有可选择的可变长度，其中，该方法进一步包括：从具有不同长度的侧部中选择衬底运输室的侧部以限定衬底运输室的可选择的可变配置。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，衬底运输室的可选择的可变配置可在其中侧部长度与宽度长宽比从较高长宽比变化至一致长宽比的配置之间选择，并且其中，衬底运输臂对于衬底运输室的每个可选配置是公共的。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，衬底运输臂对于衬底运输臂的预定最大工作范围而言具有紧凑的占地面积，该方法进一步包括：为衬底运输臂提供平衡压载配重构件，平衡压载配重构件设置在衬底运输臂上以便沿与衬底运输臂的延伸方向基本上相反的方向从枢转轴线延伸，并且平衡压载配重构件具有基于衬底运输臂下垂力矩在枢转轴线上的平衡且基于在衬底运输臂的紧凑占地面积内的配合而限定的配置和重量。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，压载配重构件在相对于枢转轴线的固定位置处固定地安装到衬底运输臂的框架。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，该方法进一步包括：使压载配重构件相对于衬底运输臂的框架移动，使得压载配重构件朝向和远离枢转轴线设置在框架上的不同位置处。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，该方法进一步包括：使压载配重构件相对于衬底运输臂的框架移动，使得压载配重构件相对于框架远离和朝向枢转轴线移动，以与衬底运输臂的延伸和缩回互补。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，压载配重构件通过驱动部段的至少一个驱动轴线相对于衬底运输臂框架移动，驱动部段可操作地联接到衬底运输臂并实现衬底运输臂的铰接。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，所述至少一个驱动轴线实现压载配重构件远离和朝向枢转轴线的移动并且实现衬底运输臂的延伸和缩回，使得所述至少一个驱动轴线是用于压载配重构件的运动和衬底运输臂的延伸和缩回的公共驱动轴线。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，该方法进一步包括：从多个不同的可互换压载配重部分选择压载配重构件的压载配重部分，并且该选择取决于衬底运输室的长宽比。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，进一步包括：利用衬底运输臂的分带传输***来实现衬底运输臂的铰接。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，衬底运输臂是三自由度运输臂。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，一种方法包括：
提供线性细长的基本上六边形形状的衬底运输室，该衬底运输室具有六边形的线性细长侧部以及六边形的至少一个端壁，所述至少一个端壁具有端部衬底运输开口，所述六边形的线性细长侧部中的至少一者具有侧部衬底运输开口的线性阵列，端部和侧部衬底运输开口中的每个开口被布置成用于通过所述开口将衬底传送进出衬底运输室；
提供驱动部段，该驱动部段连接到衬底运输室并且具有驱动主轴，驱动主轴包括同轴驱动轴，同轴驱动轴限定至少两个自由度，同轴驱动轴围绕公共轴线旋转；
提供衬底运输臂，衬底运输臂枢转地安装在衬底运输室内，使得运输臂的枢转轴线基本上与驱动主轴的公共轴线重合地相对于衬底运输室固定安装，衬底运输臂具有三连杆-三接头SCARA配置，其中一个连杆是具有衬底保持器的末端执行器；并且
利用由驱动主轴的同轴驱动轴实现的所述至少两个自由度来铰接衬底运输臂，以通过端部和侧部衬底运输开口将衬底保持器上的衬底运输进出衬底运输室；
其中，衬底运输臂具有平衡压载配重构件，平衡压载配重构件设置在衬底运输臂上以便沿与衬底运输臂的延伸方向基本上相反的方向从驱动主轴的公共轴线延伸，并且平衡压载配重构件具有基于衬底运输臂下垂力矩在驱动主轴上的平衡而限定的配置和重量。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，来自设置成靠近六边形形状的衬底运输室的与所述至少一个端壁相对的另一端的侧部衬底运输开口的线性阵列的侧部衬底运输开口被定向成使得穿过靠近相对端的侧部衬底运输开口的对应衬底保持器运动轴线基本上正交于穿过所述至少一个端壁的端部衬底运输开口的另一衬底保持器运动轴线。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，衬底运输臂铰接以通过端部和侧部衬底运输开口将衬底保持器上的衬底运输进出衬底运输室，使得末端执行器对于端部和侧部衬底运输开口中的每一者是公共的。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，侧部衬底运输开口中的每一者具有穿过每个侧部衬底运输开口的对应衬底保持器运动轴线，侧部衬底运输开口的线性阵列的每个衬底保持器运动轴线基本上彼此平行地分别延伸穿过每个衬底运输开口。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，衬底运输臂对于衬底运输臂的预定最大工作范围而言具有紧凑的占地面积，并且六边形具有高长宽比的侧部长度与宽度长宽比，并且宽度相对于衬底运输臂的占地面积是紧凑的。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，所述六边形的所述至少一个端壁基本上正交于六边形的线性细长侧部。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，进一步包括：利用衬底运输臂的分带传输***实现衬底运输臂的铰接。
根据所公开的实施例的一个或多个方面，衬底运输臂是三自由度运输臂。
应理解，前述描述仅说明所公开的实施例的各方面。在不脱离所公开的实施例的各方面的情况下，本领域的技术人员可以设想各种替代方式和修改。因此，所公开的实施例的各方面意图涵盖落入所附权利要求书的范围内的所有这种替代方式、修改以及变型。进一步地，在相互不同的从属或独立权利要求中陈述不同特征的这一的事实并不表明这些特征的组合不能被有利地使用，这种组合仍保留在本发明的各方面的范围内。

Claims (68)

1.一种衬底处理设备，包括：
线性细长的基本上六边形形状的衬底运输室，所述衬底运输室具有所述六边形的线性细长侧部以及所述六边形的基本上正交于所述线性细长侧部的至少一个端壁，所述至少一个端壁具有端部衬底运输开口，所述线性细长侧部中的至少一者具有侧部衬底运输开口的线性阵列，所述端部和侧部衬底运输开口中的每个开口被布置成用于通过所述开口将衬底传送进出所述衬底运输室；
多个处理模块，所述多个处理模块沿着所述线性细长侧部中的所述至少一者线性地排列并且分别经由对应的侧部衬底运输开口与所述衬底运输室连通；以及
衬底运输臂，所述衬底运输臂枢转地安装在所述衬底运输室内，使得所述衬底运输臂的枢转轴线相对于所述衬底运输室固定安装，所述衬底运输臂具有三连杆-三接头SCARA配置，其中一个连杆是具有至少一个衬底保持器的末端执行器，其铰接以通过所述端部和侧部衬底运输开口将由所述至少一个衬底保持器保持的所述衬底运输进出所述衬底运输室，使得所述末端执行器对于所述端部和侧部衬底运输开口中的每一者是公共的；
其中，所述六边形具有高长宽比的侧部长度与宽度长宽比，并且所述宽度相对于所述衬底运输臂的占地面积是紧凑的。
2.根据权利要求1所述的衬底处理设备，其中，所述长宽比大于2:1，并且对于所述衬底运输臂的预定最大工作范围而言，所述衬底运输臂占地面积是紧凑的。
3.根据权利要求1所述的衬底处理设备，其中，所述长宽比为约3:1，并且对于所述衬底运输臂的预定最大工作范围而言，所述衬底运输臂占地面积是紧凑的。
4.根据权利要求1所述的衬底处理设备，其中，所述端壁的尺寸设置成并排接收两个并排的装载锁或其它处理模块，所述装载锁或其它处理模块被放置成在公共水平面上大致彼此邻近并且通常面向所述端壁。
5.根据权利要求1所述的衬底处理设备，其中，所述SCARA臂具有三个自由度和不等长连杆，并且所述枢转轴线限定所述SCARA臂的肩部接头。
6.根据权利要求1所述的衬底处理设备，其中，所述处理模块线性阵列提供至少六个处理模块衬底保持站，所述至少六个处理模块衬底保持站在基本上公共的水平面处沿着所述至少一个线性细长侧部分布，并且每个所述衬底保持站由所述衬底运输臂的所述公共末端执行器通过对应的所述侧部运输开口接近。
7.根据权利要求1所述的衬底处理设备，所述衬底处理设备进一步包括至少一个装载锁或其它处理模块，所述至少一个装载锁或其它处理模块经由所述端部衬底运输开口与所述衬底运输室连通。
8.根据权利要求1所述的衬底处理设备，其中，与所述衬底运输室的所述至少一个线性细长侧部相对的另一所述线性细长侧部具有至少一个其它侧部衬底运输开口，并且所述衬底运输臂配置成通过所述端部衬底运输开口、所述侧部衬底运输开口和所述其它侧部衬底运输开口将由所述至少一个衬底保持器保持的所述衬底运输进出所述衬底运输室，使得所述末端执行器对于分别设置在所述衬底运输室的所述端壁、线性细长侧部和线性细长相对侧部中的所述端部衬底运输开口、所述侧部衬底运输开口和所述其它衬底运输开口中的每一者是公共的。
9.根据权利要求8所述的衬底运输设备，其中，所述衬底运输室的所述线性细长相对侧部具有沿着所述相对侧部线性排列的多于一个的所述其它侧部衬底运输开口，并且其中，所述末端执行器对于所述其它侧部衬底运输开口中的每一者是公共的。
10.根据权利要求1所述的衬底处理设备，所述衬底处理设备进一步包括驱动部段，所述驱动部段连接到所述衬底运输室并且具有驱动主轴，所述驱动主轴包括同轴驱动轴，所述同轴驱动轴可操作地联接到所述衬底运输臂并且限定至少两个自由度，从而实现所述衬底运输臂的铰接，并且所述驱动主轴定位成使得其旋转轴线基本上与所述枢转轴线重合。
11.根据权利要求1所述的衬底处理设备，其中，所述末端执行器的所述至少一个衬底保持器包括多于一个衬底保持器，所述多于一个衬底保持器设置在所述末端执行器上并且布置成使得所述末端执行器利用公共末端执行器运动通过多于一个所述线性排列的侧部衬底运输开口使所述多于一个衬底保持器基本上同时延伸或缩回。
12.根据权利要求1所述的衬底处理设备，其中，所述末端执行器是第一末端执行器，并且所述衬底运输臂具有第二末端执行器，所述第二末端执行器与所述第一末端执行器从属于所述衬底运输臂的公共前臂连杆，使得所述第一末端执行器和所述第二末端执行器相对于所述前臂围绕公共旋转轴线枢转，其中，所述第二末端执行器对于所述端部和侧部衬底运输开口中的每一者是公共的。
13.根据权利要求12所述的衬底处理设备，其中，所述第一末端执行器和所述第二末端执行器为所述衬底运输臂提供快速交换末端执行器，所述快速交换末端执行器对于所述端部和侧部衬底运输开口中的每一者是公共的。
14.根据权利要求1所述的衬底处理设备，其中，所述线性细长侧部具有可选择的可变长度，其中，所述衬底运输室的所述侧部可在不同长度之间选择并限定所述衬底运输室的可选择的可变配置。
15.根据权利要求14所述的衬底处理设备，其中，所述衬底运输室的所述可选择的可变配置可在其中所述侧部长度与宽度长宽比从高长宽比变化至一致长宽比的配置之间选择，并且其中，所述衬底运输臂对于所述衬底运输室的每个可选配置是公共的。
16.根据权利要求1所述的衬底处理设备，其中，所述衬底运输臂对于所述衬底运输臂的预定最大工作范围而言具有紧凑的占地面积，并且具有平衡压载配重构件，所述平衡压载配重构件设置在所述衬底运输臂上以便沿与所述衬底运输臂的延伸方向基本上相反的方向从所述枢转轴线延伸，并且所述平衡压载配重构件具有基于衬底运输臂下垂力矩在所述枢转轴线上的平衡且基于所述衬底运输臂的所述紧凑占地面积内的配合而限定的配置和重量。
17.根据权利要求16所述的衬底处理设备，其中，所述压载配重构件在相对于所述枢转轴线的固定位置处固定安装到所述衬底运输臂的框架。
18.根据权利要求16所述的衬底处理设备，其中，所述压载配重构件可移动地安装到所述衬底运输臂的框架，以便朝向和远离所述枢转轴线设置在所述框架上的不同位置处。
19.根据权利要求16所述的衬底处理设备，其中，所述压载配重构件可移动地安装到所述衬底运输臂的框架，以便相对于所述框架远离和朝向所述枢转轴线移动，以与所述衬底运输臂的延伸和缩回互补。
20.根据权利要求19所述的衬底处理设备，其中，所述压载配重构件通过驱动部段的至少一个驱动轴线相对于所述衬底运输臂框架移动，所述驱动部段可操作地联接到所述衬底运输臂并实现所述衬底运输臂的铰接。
21.根据权利要求20所述的衬底处理设备，其中，所述至少一个驱动轴线实现所述压载配重构件远离和朝向所述枢转轴线的所述移动并实现所述衬底运输臂的延伸和缩回，使得所述至少一个驱动轴线是用于所述压载配重构件的运动和所述衬底运输臂的延伸和缩回的公共驱动轴线。
22.根据权利要求18所述的衬底处理设备，其中，所述压载配重构件具有压载配重部分，所述压载配重部分可选自多个不同的可互换配重部分并且选择取决于所述衬底运输室的长宽比。
23.根据权利要求10所述的衬底处理设备，其中，所述衬底运输臂具有平衡压载配重构件，所述平衡压载配重构件设置在所述衬底运输臂上以便沿与所述衬底运输臂的延伸方向基本上相反的方向从所述枢转轴线延伸，并且所述平衡压载配重构件具有基于衬底运输臂下垂力矩在所述驱动主轴上的平衡而限定的配置和重量。
24.根据权利要求23所述的衬底处理设备，其中，所述衬底运输臂对于所述衬底运输臂的预定最大工作范围而言具有紧凑的占地面积，并且所述压载配重构件的所述配置和重量进一步基于在所述衬底运输臂的紧凑的占地面积内的配合而限定。
25.根据权利要求1所述的衬底处理设备，其中，所述衬底运输臂包括分带传输***，所述分带传输***实现所述衬底运输臂的铰接。
26.根据权利要求1所述的衬底处理设备，其中，所述衬底运输臂是三自由度运输臂。
27.一种衬底运输设备，所述衬底运输设备包括：
线性细长的基本上六边形形状的衬底运输室，所述衬底运输室具有所述六边形的线性细长侧部以及所述六边形的至少一个端壁，所述至少一个端壁具有端部衬底运输开口，所述六边形的所述线性细长侧部中的至少一者具有侧部衬底运输开口的线性阵列，所述端部和侧部衬底运输开口中的每个开口被布置成用于通过所述开口将衬底传送进出所述衬底运输室；
驱动部段，所述驱动部段连接到所述衬底运输室并且具有驱动主轴，所述驱动主轴包括同轴驱动轴，所述同轴驱动轴限定至少两个自由度，所述同轴驱动轴围绕公共轴线旋转；以及
衬底运输臂，所述衬底运输臂枢转地安装在所述衬底运输室内，使得所述衬底运输臂的枢转轴线基本上与所述驱动主轴的所述公共轴线重合地相对于所述衬底运输室固定安装，所述衬底运输臂具有三连杆-三接头SCARA配置，其中一个连杆是具有衬底保持器的末端执行器，其可操作地联接到所述驱动主轴使得所述衬底运输臂以由所述同轴驱动轴实现的所述至少两个自由度铰接，以便通过所述端部和侧部衬底运输开口将所述衬底保持器上的所述衬底运输进出所述衬底运输室；
其中，所述衬底运输臂具有平衡压载配重构件，所述平衡压载配重构件设置在所述衬底运输臂上以便沿与所述衬底运输臂的延伸方向基本上相反的方向从所述驱动主轴的所述公共轴线延伸，并且所述平衡压载配重构件具有基于衬底运输臂下垂力矩在所述驱动主轴上的平衡而限定的配置和重量。
28.根据权利要求27所述的衬底运输设备，其中，来自侧部衬底运输开口的所述线性阵列的侧部衬底运输开口被定向成使得穿过靠近所述相对端的所述侧部衬底运输开口的对应衬底保持器运动轴线基本上正交于穿过所述至少一个端壁的所述端部衬底运输开口的另一衬底保持器运动轴线，所述侧部衬底运输开口的所述线性阵列设置成靠近所述六边形形状的衬底运输室的与所述至少一个端壁相对的另一端。
29.根据权利要求28所述的衬底运输设备，其中，所述衬底运输臂铰接以通过所述端部和侧部衬底运输开口将所述衬底保持器上的所述衬底运输进出所述衬底运输室，使得所述末端执行器对于所述端部和侧部衬底运输开口中的每一者是公共的。
30.根据权利要求29所述的衬底运输设备，其中，每个所述侧部衬底运输开口具有通过每个侧部衬底运输开口的对应衬底保持器运动轴线，所述侧部衬底运输开口的线性阵列的每个所述衬底保持器运动轴线基本上彼此平行地分别延伸穿过每个衬底运输开口。
31.根据权利要求27所述的衬底运输设备，其中，所述衬底运输臂对于所述衬底运输臂的预定最大工作范围而言具有紧凑的占地面积，并且所述六边形具有高长宽比的侧部长度与宽度长宽比，并且所述宽度相对于所述衬底运输臂的占地面积是紧凑的。
32.根据权利要求31所述的衬底运输设备，其中，所述六边形的所述至少一个端壁基本上正交于所述六边形的所述线性细长侧部。
33.根据权利要求27所述的衬底运输设备，其中，所述衬底运输臂包括分带传输***，所述分带传输***实现所述衬底运输臂的铰接。
34.根据权利要求27所述的衬底运输设备，其中，所述同轴驱动轴为所述衬底运输臂提供三个自由度。
35.一种方法，包括：
提供线性细长的基本上六边形形状的衬底运输室，所述衬底运输室具有所述六边形的线性细长侧部以及所述六边形的基本上正交于所述线性细长侧部的至少一个端壁，所述至少一个端壁具有端部衬底运输开口，所述线性细长侧部中的至少一者具有侧部衬底运输开口的线性阵列，所述端部和侧部衬底运输开口中的每个开口被布置成用于通过所述开口将衬底传送进出所述衬底运输室；
提供多个处理模块，所述多个处理模块沿着所述线性细长侧部中的所述至少一者线性地排列并且分别经由对应的侧部衬底运输开口与所述衬底运输室连通；
提供衬底运输臂，所述衬底运输臂枢转地安装在所述衬底运输室内，使得所述运输臂的枢转轴线相对于所述衬底运输室固定安装，所述衬底运输臂具有三连杆-三接头SCARA配置，其中一个连杆是具有至少一个衬底保持器的末端执行器；以及
铰接所述衬底运输臂以通过所述端部和侧部衬底将开口将由所述至少一个衬底保持器保持的所述衬底运输进出所述衬底运输室，使得所述末端执行器对于所述端部和侧部衬底运输开口中的每一者是公共的；
其中，所述六边形具有高长宽比的侧部长度与宽度长宽比，并且所述宽度相对于所述衬底运输臂的占地面积是紧凑的。
36.根据权利要求35所述的方法，其中，所述长宽比大于2:1，并且对于所述衬底运输臂的预定最大工作范围而言，所述衬底运输臂占地面积是紧凑的。
37.根据权利要求35所述的方法，其中，所述长宽比为约3:1，并且对于所述衬底运输臂的预定最大工作范围而言，所述衬底运输臂占地面积是紧凑的。
38.根据权利要求35所述的方法，其中，所述端壁的尺寸设置成并排并排接收两个并排的装载锁或其它处理模块，所述装载锁或其它处理模块被放置成在公共水平面上大致彼此邻近并且通常面向所述端壁。
39.根据权利要求35所述的方法，所述方法进一步包括：提供所述SCARA臂，所述SCARA臂具有三个自由度和不等长连杆，其中所述枢转轴线限定所述SCARA臂的肩部接头。
40.根据权利要求35所述的方法，其中，所述处理模块线性阵列提供至少六个处理模块衬底保持站，所述至少六个处理模块衬底保持站在基本上公共的水平面处沿着所述至少一个线性细长侧部分布，并且所述方法进一步包括：利用所述衬底运输臂的所述公共末端执行器通过所述对应的侧部运输开口接近每个所述衬底保持站。
41.根据权利要求35所述的方法，其中，至少一个装载锁或其它处理模块经由所述端部衬底运输开口与所述衬底运输室连通。
42.根据权利要求35所述的方法，其中，与所述衬底运输室的所述至少一个线性细长侧部相对的另一所述线性细长侧部具有至少一个其它侧部衬底运输开口，并且所述方法进一步包括：利用所述衬底运输臂通过所述端部衬底运输开口、侧部衬底运输开口和其它侧部衬底运输开口将由所述至少一个衬底保持器保持的所述衬底运输进出所述衬底运输室，使得所述末端执行器对于分别设置在所述衬底运输室的所述端壁、线性细长侧部和线性细长相对侧部中的所述端部衬底运输开口、侧部衬底运输开口和其它衬底运输开口中的每一者是公共的。
43.根据权利要求42所述的方法，其中，所述衬底运输室的所述线性细长相对侧部具有沿着所述相对侧部线性排列的多于一个的所述其它侧部衬底运输开口，并且其中，所述末端执行器对于所述其它侧部衬底运输开口中的每一者是公共的。
44.根据权利要求35所述的方法，其中，驱动部段连接到所述衬底运输室并且具有驱动主轴，所述驱动主轴包括同轴驱动轴，所述同轴驱动轴可操作地联接到所述衬底运输臂并限定至少两个自由度，所述方法进一步包括：利用所述驱动部段实现所述衬底运输臂的铰接，其中所述驱动主轴定位成使得其旋转轴线基本上与所述枢转轴线重合。
45.根据权利要求44所述的方法，所述方法进一步包括：为所述衬底运输臂提供平衡压载配重构件，所述平衡压载配重构件设置在所述衬底运输臂上以便沿与所述衬底运输臂的延伸方向基本上相反的方向从所述枢转轴线延伸，并且所述平衡压载配重构件具有基于衬底运输臂下垂力矩在所述驱动主轴上的平衡而限定的配置和重量。
46.根据权利要求45所述的方法，其中，所述衬底运输臂对于所述衬底运输臂的预定最大工作范围而言具有紧凑的占地面积，并且所述压载配重构件的配置和重量进一步基于在所述衬底运输臂的所述紧凑占地面积内的配合限定。
47.根据权利要求35所述的方法，其中，所述末端执行器的所述至少一个衬底保持器包括设置在所述末端执行器上的多于一个衬底保持器，所述方法进一步包括：使所述末端执行器延伸或缩回，使得所述多于一个衬底保持器利用公共末端执行器运动通过所述线性排列的侧部衬底运输开口的多于一者基本上同时延伸或缩回。
48.根据权利要求35所述的方法，其中，所述末端执行器是第一末端执行器，并且所述衬底运输臂具有第二末端执行器，所述第二末端执行器与所述第一末端执行器从属于所述衬底运输臂的公共前臂连杆，所述方法进一步包括：使所述第一末端执行器和所述第二末端执行器相对于所述前臂围绕公共旋转轴线枢转，其中，所述第二末端执行器对于所述端部和侧部衬底运输开口中的每一者是公共的。
49.根据权利要求48所述的方法，其中，所述第一末端执行器和所述第二末端执行器为所述衬底运输臂提供快速交换末端执行器，所述快速交换末端执行器对于所述端部和侧部衬底运输开口中的每一者是公共的。
50.根据权利要求35所述的方法，其中，所述线性细长侧部具有可选择的可变长度，其中，所述方法进一步包括：从具有不同长度的侧部中选择所述衬底运输室的所述侧部以限定所述衬底运输室的可选择的可变配置。
51.根据权利要求50所述的方法，其中，所述衬底运输室的所述可选择的可变配置可在所述侧部长度与宽度长宽比从高长宽比变化至一致长宽比的配置之间选择，并且其中，所述衬底运输臂对于所述衬底运输室的每个可选配置是公共的。
52.根据权利要求35所述的方法，其中，所述衬底运输臂对于所述衬底运输臂的预定最大工作范围而言具有紧凑的占地面积，所述方法进一步包括：为所述衬底运输臂提供平衡压载配重构件，所述平衡压载配重构件设置在所述衬底运输臂上以便沿与所述衬底运输臂的延伸方向基本上相反的方向从所述枢转轴线延伸，并且所述平衡压载配重构件具有基于衬底运输臂下垂力矩在所述枢转轴线上的平衡并基于在所述衬底运输臂的所述紧凑占地面积内的配合而限定的配置和重量。
53.根据权利要求52所述的方法，其中，所述压载配重构件在相对于所述枢转轴线的固定位置处固定地安装到所述衬底运输臂的框架。
54.根据权利要求52所述的方法，所述方法进一步包括：使所述压载配重构件相对于所述衬底运输臂的框架移动，使得所述压载配重构件朝向和远离所述枢转轴线设置在所述框架上的不同位置处。
55.根据权利要求52所述的方法，所述方法进一步包括：使所述压载配重构件相对于所述衬底运输臂的框架移动，使得所述压载配重构件相对于所述框架远离和朝向所述枢转轴线移动，以与所述衬底运输臂的延伸和缩回互补。
56.根据权利要求55所述的方法，其中，所述压载配重构件通过驱动部段的至少一个驱动轴线相对于所述衬底运输臂框架移动，所述驱动部段可操作地联接到所述衬底运输臂并实现所述衬底运输臂的铰接。
57.根据权利要求56所述的方法，其中，所述至少一个驱动轴线实现所述压载配重构件远离和朝向所述枢转轴线的所述移动并实现所述衬底运输臂的延伸和缩回，使得所述至少一个驱动轴线是用于所述压载配重构件的运动以及所述衬底运输臂的延伸和缩回的公共驱动轴线。
58.根据权利要求55所述的方法，所述方法进一步包括：从多个不同的可互换压载配重部分选择所述压载配重构件的压载配重部分，并且所述选择取决于所述衬底运输室的长宽比。
59.根据权利要求35所述的方法，所述方法进一步包括：利用所述衬底运输臂的分带传输***实现所述衬底运输臂的铰接。
60.根据权利要求35所述的方法，其中，所述衬底运输臂是三自由度运输臂。
61.一种方法，所述方法包括：
提供线性细长的基本上六边形形状的衬底运输室，所述衬底运输室具有所述六边形的线性细长侧部以及所述六边形的至少一个端壁，所述至少一个端壁具有端部衬底运输开口，所述六边形的所述线性细长侧部中的至少一者具有侧部衬底运输开口的线性阵列，所述端部和侧部衬底运输开口中的每个开口被布置成用于通过所述开口将衬底传送进出所述衬底运输室；
提供驱动部段，所述驱动部段连接到所述衬底运输室并且具有驱动主轴，所述驱动主轴包括同轴驱动轴，所述同轴驱动轴限定至少两个自由度，所述同轴驱动轴围绕公共轴线旋转；
提供衬底运输臂，所述衬底运输臂枢转地安装在所述衬底运输室内，使得所述运输臂的枢转轴线基本上与所述驱动主轴的所述公共轴线重合地相对于所述衬底运输室固定安装，所述衬底运输臂具有三连杆-三接头SCARA配置，其中一个连杆是具有衬底保持器的末端执行器；并且
利用由所述驱动主轴的所述同轴驱动轴实现的所述至少两个自由度铰接所述衬底运输臂，以便通过所述端部和侧部衬底运输开口将所述衬底保持器上的所述衬底运输进出所述衬底运输室；
其中，所述衬底运输臂具有平衡压载配重构件，所述平衡压载配重构件设置在所述衬底运输臂上以便沿与所述衬底运输臂的延伸方向基本上相反的方向从所述驱动主轴的所述公共轴线延伸，并且所述平衡压载配重构件具有基于衬底运输臂下垂力矩在所述驱动主轴上的平衡而限定的配置和重量。
62.根据权利要求61所述的方法，其中，来自所述侧部衬底运输开口的线性阵列的侧部衬底运输开口被定向成使得穿过靠近所述相对端的所述侧部衬底运输开口的对应衬底保持器运动轴线基本上正交于穿过所述至少一个端壁的所述端部衬底运输开口的另一衬底保持器运动轴线，所述所述侧部衬底运输开口的线性阵列设置成靠近所述六边形形状的衬底运输室的与所述至少一个端壁相对的另一端。
63.根据权利要求62所述的方法，其中，铰接所述衬底运输臂以通过所述端部和侧部衬底运输开口将所述衬底保持器上的所述衬底运输进出所述衬底运输室，使得所述末端执行器对于所述端部和侧部衬底运输开口中的每一者是公共的。
64.根据权利要求63所述的方法，其中，每个所述侧部衬底运输开口具有通过每个侧部衬底运输开口的对应衬底保持器运动轴线，所述侧部衬底运输开口的线性阵列的每个所述衬底保持器运动轴线基本上彼此平行地分别延伸穿过每个衬底运输开口。
65.根据权利要求61所述的方法，其中，所述衬底运输臂对于所述衬底运输臂的预定最大工作范围而言具有紧凑的占地面积，并且所述六边形具有高长宽比的侧部长度与宽度长宽比，并且所述宽度相对于所述衬底运输臂的所述占地面积是紧凑的。
66.根据权利要求65所述的方法，其中，所述六边形的所述至少一个端壁基本上正交于所述六边形的所述线性细长侧部。
67.根据权利要求61所述的方法，所述方法进一步包括：利用所述衬底运输臂的分带传输***实现所述衬底运输臂的铰接。
68.根据权利要求61所述的方法，其中，所述衬底运输臂是三自由度运输臂。
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